JP4098326B2 - バリア膜形成方法 - Google Patents
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Description
また、ステップカバレージのよい窒化金属薄膜を形成できる技術を提供することにある。
請求項2記載の発明は、請求項1記載のバリア膜形成方法であって、前記高融点金属の窒化物薄膜を形成した後、前記含高融点金属ガスの導入と真空排気を行い、前記高融点金属の窒化物薄膜表面に第二の高融点金属薄膜を形成することを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のバリア膜形成方法であって、前記含高融点金属ガスとして、Ti、W、又はTaのフッ化物ガス、塩化物ガス、臭化物ガス、ヨウ化物ガス、又は有機金属化合物ガスを用いることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、前記有機金属化合物ガスを用いる請求項3記載のバリア膜形成方法であって、前記有機金属化合物ガスは、アルコキシドガス、Ti[N(C2H5)2]4ガス、又はTi[N(CH3)2]4ガスであることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のバリア膜形成方法であって、前記含高融点金属ガスとして、分子中にTiを含むガスを使用し、基板温度を200℃以上800℃以下の温度にしてTiN膜を形成することを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のバリア膜形成方法であって、前記含高融点金属ガスとして、分子中にWを含むガスを使用し、基板温度を250℃以上600℃以下の温度に維持することを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のバリア膜形成方法であって、前記含高融点金属ガスとして、分子中に、Ti、Ta、Wのいずれか一種の高融点金属を含むガスを用いることを特徴とする。
請求項8記載の発明は、請求項7記載のバリア膜形成方法であって、前記含高融点金属ガスとして、フッ化物ガス、塩化物ガス、臭化物ガス、ヨウ化物ガス、アルコキシドガス、又は有機物ガスのいずれか一種、又は二種以上のガスを用いることを特徴とする。
また、本発明では、含窒素ガスと含高融点金属ガスのうち、一方のガスを導入し真空排気すると、基板表面に、そのガスが吸着した状態になり、その状態で他方のガスを導入しているので、吸着ガスによって含窒素ガスと含高融点金属ガスとが基板表面でCVD反応する。
組成がストイキオメトリで高純度のバリア膜を得ることができる。
搬送室10内には、基板搬送ロボット15が設けられており、先ず、成膜対象の基板を図示しない基板搬出入室に装着し、基板搬送ロボット15によって前処理室11内に搬送した。
基板ローディングを行った後(ステップS1)、図1に示すように、プロセス室20内に搬入した基板5を、300℃に温調されているホットプレート21上に載置し、温調した。真空排気系26によってプロセス室20内は真空排気されている(ステップS2)。
また、コンタクトホール60の壁面にも、膜厚cが200ÅのTiN薄膜が形成されており、バリア膜53はコンフォーマルに成長していることが確認された。
なお、シリコン基板51には、アルミニウムの拡散によるスパイクは観察されておらず、バリア膜53'のバリア性が優れていることが確認された。
F=スハ゜イクの無いコンタクトホール数/コンタクトホール総個数
である。
この第二例では、図9に示すように、Ti薄膜55と、該Ti薄膜55表面に形成されたTiN薄膜56とでバリア膜63が構成された。
基板ローディングと基板の300℃への昇温後(ステップV1、V2)、工程A、工程B、工程Aを行い(ステップV3、V4、V5)、基板のアンローディングを行った(ステップV6)。工程Aの繰り返し回数は5回、工程Bの繰り返し回数は15回である。
このバリア膜73表面に2ステップフロー法によってAl薄膜を形成したところ、Al薄膜が濡れ性のよいTi薄膜59表面に形成されたため、0.5μmのコンタクトホール62の底部までAl薄膜によって完全に充填することができた。バリア膜73の成長量、ステップカバレージ性、組成、バリア性は、第一例、第二例のバリア膜53、53'、63と同等であった。
先ず、プロセス室20内への基板ローディングを行い(ステップW1)、300℃に温調したホットプレート21上に載置し、基板を温調した(ステップW2)。
アルゴンガスの導入は行わず、NH3ガスの導入からWF6ガスの排気までの工程(ステップW3〜W6)を50回繰り返して行った(ステップW9)。
オージェ電子分光分析装置を用い、得られたバリア膜83の組成分析を行ったところ、WNx,x=0.4〜0.6 であった。
F=スハ゜イクの無いコンタクトホール数/コンタクトホール総個数
である。
Claims (8)
- 表面にコンタクトホールが形成された基板を真空槽内に搬入し、所定温度まで昇温させた後、含窒素ガスと含高融点金属ガスとを導入し、
前記基板上と前記コンタクトホール内部とに高融点金属の窒化物薄膜を形成させるバリア膜形成方法であって、
前記高融点金属の窒化物薄膜を形成する前に、前記含高融点金属ガスの導入と真空排気と、還元性ガスの導入と、真空排気とを繰り返し行い、前記基板表面に第一の高融点金属薄膜を形成しておき、
前記含窒素ガスと前記含高融点金属ガスのうち、一方のガスを導入し、該一方のガスを真空排気した後、他方のガスを導入し、該他方のガスを真空排気する工程を複数回繰り返し、前記高融点金属の窒化物薄膜を前記第一の高融点金属薄膜上に形成することを特徴とするバリア膜形成方法。 - 前記高融点金属の窒化物薄膜を形成した後、前記含高融点金属ガスの導入と真空排気を行い、前記高融点金属の窒化物薄膜表面に第二の高融点金属薄膜を形成することを特徴とする請求項1記載のバリア膜形成方法。
- 前記含高融点金属ガスとして、Ti、W、又はTaのフッ化物ガス、塩化物ガス、臭化物ガス、ヨウ化物ガス、又は有機金属化合物ガスを用いることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のバリア膜形成方法。
- 前記有機金属化合物ガスを用いる請求項3記載のバリア膜形成方法であって、前記有機金属化合物ガスは、アルコキシドガス、Ti[N(C 2 H 5 ) 2 ] 4 ガス、又はTi[N(CH 3 ) 2 ] 4 ガスであることを特徴とする請求項3記載のバリア膜形成方法。
- 前記含高融点金属ガスとして、分子中にTiを含むガスを使用し、基板温度を200℃以上800℃以下の温度にしてTiN膜を形成することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のバリア膜形成方法。
- 前記含高融点金属ガスとして、分子中にWを含むガスを使用し、基板温度を250℃以上600℃以下の温度に維持することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のバリア膜形成方法。
- 前記含高融点金属ガスとして、分子中に、Ti、Ta、Wのいずれか一種の高融点金属を含むガスを用いることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のバリア膜形成方法。
- 前記含高融点金属ガスとして、フッ化物ガス、塩化物ガス、臭化物ガス、ヨウ化物ガス、アルコキシドガス、又は有機物ガスのいずれか一種、又は二種以上のガスを用いることを特徴とする請求項7記載のバリア膜形成方法。
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