JP4081260B2 - 成膜方法、及び成膜装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、成膜方法及び成膜装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路を製造する際、基板上には様々な膜が形成される。その一例としてチッ化珪素膜がある。チッ化珪素膜の形成には、プラズマCVD装置が広く採用される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
プラズマCVD装置において、基板が載置されるステージ面は、絶縁材料から構成されることが多い。また、ステージを保持する治具、及びこの治具にステージを固定するのに使用されるボルトやナットは、一般には、金属製である。
【0004】
本発明者は、これらの材料が、製造される半導体装置に与える影響を調べるために構成材料について調査した。その一例について示す。ステージがチッ化アルミニウム(AlN)又はアルミナ(Al2O3)といったAl系の材料で構成される場合、ステージの温度が例えば500℃を超えると、ステージからAl原子が脱離してしまう。ステージを保持する治具、ボルト、及びナットが鉄(Fe)やクロム(Cr)を含有するステンレススティールから構成される場合には、ステージが加熱されると共にこれらもまた加熱され、微量ながらもFe原子やCr原子が脱離してしまう。このようなAl、Fe、及びCrの原子は、プロセスチャンバ内を浮遊することとなるため、プロセスチャンバ内に基板が搬入される際に、これらの物質が基板に付着される可能性がある。付着する量が増大すれば、基板はこれらの物質で汚染されることとなる。基板の汚染は、基板上に製造される半導体装置の特性に悪影響を生じさせる。
【0005】
本発明は、ステージ及びステージを保持するための治具を構成する構成元素が基板に到達するのを抑止できる成膜方法及び成膜装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る成膜方法は、基板上に膜を形成する成膜方法であって、(a) 基板が収容される収容室とプロセスチャンバとの間に位置する搬送室において、該搬送室内の上記プロセスチャンバ内に基板を搬入するための搬送路に面して配置されたイオン発生器を用いて基板を正に帯電させる工程と、(b)帯電された基板をプロセスチャンバ内のステージ上に載置する工程と、(c)ステージ上に配置された基板に膜を形成する工程と、を含む。上記の方法によれば、基板は正に帯電された後、プロセスチャンバ内に入れられてステージ上に載置される。そのため、ステージ及びステージを保持するための治具から脱離する正イオンが基板に到達するのを抑制できる。
また、イオン発生器のイオン放出部が搬送中の基板に対面するように配置されており、帯電させる工程において、基板に正イオンを照射する。
【0007】
上記の帯電させる工程において、基板に正イオンを照射すると、基板を容易かつ確実に正に帯電できる。
【0008】
さらに、膜を形成する工程において、形成されるべき膜の構成元素を含むプロセスガスをプロセスチャンバ内に供給し、プロセスチャンバ内に供給されたプロセスガスをプラズマ化して膜を形成すると好ましい。このようにすれば、プロセスガスがプラズマにより分解されて基板上に所望の膜が形成される。また、膜を形成する工程において、形成されるべき膜の構成元素を含むプロセスガスをプロセスチャンバ内に供給し、基板が載置されたステージを加熱して膜を形成すると好ましい。このようにすれば、プロセスガスが熱分解されて、基板上に所望の膜を形成することができる。しかも、いずれの場合においても、基板をステージ上に載置する前に、基板は正に帯電されているため、ステージ及びステージを保持するための治具から脱離する正イオンが基板に到達するのを抑制できる。よって、基板上に堆積される膜が汚染されるのを防止できる。
【0009】
また、上記のプロセスガスは、ケイ素元素を含むガスと、酸素元素を含むガス又は窒素元素を含むガスと、を含むと好ましい。このようにすれば、酸化ケイ素膜又はチッ化珪素膜を形成できるとともに、これらの膜が汚染されるのを防止できる。
【0010】
さらに、帯電させる工程は、(a)プロセスチャンバに搬送されるべき基板が通過できるよう設けられた搬送室に基板を搬送する工程と、(b)搬送室において、搬送室に搬送された基板を正に帯電させる工程と、を含むと好適である。このようにすれば、プロセスチャンバにより近い位置で基板を正に帯電させることが可能となる。したがって、基板が確実に正に帯電した状態で、基板をステージ上に載置できる。
【0011】
本発明に係る成膜装置は、基板上に膜を形成する成膜装置であって、(a)プロセスチャンバと、(b)プロセスチャンバ内に設けられたステージと、(c)基板が収容される収容室とプロセスチャンバとの間に位置する搬送室内の該プロセスチャンバ内に基板を搬入するための搬送路に面して配置されており、プロセスチャンバへの搬入前に基板を正に帯電させるためのイオン発生器と、(d)帯電された基板をステージ上に載置するための基板搬送部と、(e)プロセスチャンバ内にプロセスガスを供給するガス供給部と、を備える。この装置によれば、膜を形成する前に、基板を正に帯電させることができる。
また、イオン発生器は、搬送路上の基板に対面するように配置されており正イオンを発生するイオン放出部を含む。
【0012】
このようなイオン発生器を用いれば、基板を容易かつ確実に正に帯電させることができる。
【0013】
また、上記の成膜装置は、(a)基板が収容される収容室と、(b)収容室とプロセスチャンバとの間に位置しており帯電手段が設けられた搬送室と、を更に備えると好適である。
【0014】
また、上記の成膜装置は、プロセスガスをプラズマ化する高周波電力をプロセスチャンバに対して供給する高周波電源を更に備えると好ましく、基板が載置されたステージの温度を調整する温度調整器を更に備えると好ましい。ガス供給部は、ケイ素元素を含むガスと、酸素元素を含むガス又は窒素元素を含むガスと、をプロセスチャンバに供給できるよう構成されると好ましい。このようにすれば、酸化ケイ素膜やチッ化珪素膜を始めとする様々な膜を形成できる。しかも、基板をステージ上に載置する前に、基板は正に帯電されているため、ステージ及びステージを保持するための治具から脱離する正イオンが基板に到達するのを抑制できる。よって、基板上に堆積される膜が汚染されるのを防止できる。
【0015】
基板搬送部は基板と接触する基板支持部を有し、基板支持部は絶縁体で構成されると好適である。このようにすれば、基板を確実に正に帯電された状態でステージ上に載置できる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る成膜装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態では、プラズマCVD装置、及び当該プラズマCVD装置を用いた成膜方法について説明する。なお、図面の説明においては、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【0017】
図1は、本実施形態によるプラズマCVD装置の平面図である。図2は、図1のI−I線に沿った断面図である。図1及び図2を参照しながら、プラズマCVD装置1を説明する。図1において、プラズマCVD装置1は、基板カセット収容部2、搬送室3、チャンバ格納部4、高周波電源5、及びガス供給部6を有する。基板カセット収容部2及び搬送室3は、ゲート弁7を介して設けられている。搬送室3及びチャンバ格納部4は、ゲート弁8を介して設けられている。
【0018】
チャンバ格納部4はチャンバ40を有する。チャンバ40は基板Wが載置されるステージ41を有する。ステージ41の基板載置面は、AlNやAl2O3といったAl系の絶縁材料から構成されることができる。また、ステージ41は、図2に示す通り、ヒータ42を内蔵する。ヒータ42には温度調整器43が接続され、温度調整器43によりステージ41の温度が調整される。さらに、ステージ41は接地されることができる。
【0019】
また、チャンバ40は、図2に図示の通り、シャワーヘッド44を有する。シャワーヘッド44にはガス供給部6が接続されており、ガス供給部6からシャワーヘッド44に対してプロセスガスが供給される。プロセスガスは、チッ化珪素膜を堆積する場合には、シラン(SiH4)といったケイ素を含むガスと、窒素(N2)ガス又はアンモニア(NH3)ガスとを含むことができる。酸化ケイ素膜を堆積する場合には、プロセスガスは、シラン(SiH4)といったケイ素を含むガスと、一酸化二窒素 (N2O)ガスといった窒素を含むガスとを含むことができる。シャワーヘッド44に供給されたプロセスガスは、シャワーヘッド44が有する複数の貫通孔を通して基板W上に均一に分配される。また、シャワーヘッド44には、高周波電源5が接続される。高周波電源5からシャワーヘッド44に対して高周波電力が供給されると、チャンバ40内にプラズマが発生する。プラズマによりプロセスガスが分解され、基板W上に所定の絶縁膜が堆積される。
【0020】
基板カセット収容部2には、基板Wが収納される基板カセット9が保持される。また、基板カセット収容部2はロボット20を有する。ロボット20は、基板Wの裏面に接して基板Wを吸着するチャック部20aといった基板指示部と、チャック部を保持するとともに伸縮自在に設けられたアーム部20bとを有する。チャック部20aは、アルミナ(Al2O3)又はAlNといった絶縁体から構成される。ロボット20は基板カセット9から基板Wを抜き出す。また、ロボット20は基板Wを基板カセット9に挿入する。
【0021】
搬送室3はロボット30を有する。ロボット30は、ロボット20と同様に、チャック部30a及びアーム部30bを有する。ロボット30は、ロボット20から基板Wを受け取ってチャンバ40に搬入する。また、ロボット30はチャンバ40から基板Wを取り出してロボット20へ受け渡す。また、搬送室3は、正イオンを発生させるイオン発生器31を有する。イオン発生器31は、例えば直流コロナ放電を利用して正イオンを発生させる機器であることができる。図2に示す通り、イオン発生器31は、基板Wが通過する搬送路に面して配置されている。また、イオン発生器31は、そのイオン放出部が搬送中の基板面に対面するように配置されていることが好ましい。このようにすれば、イオン発生器31から放出される正イオンは基板面に直接に到達する。よって、基板Wを確実に正に帯電させることができる。また、イオン発生器31は、図1に示す通り、ゲート弁7よりむしろゲート弁8の近くに設けられると好ましい。これは次の理由による。正に帯電させた後、長時間が経過してしまうと、正の電荷が中和されてしまう。ゲート弁8の近くにイオン発生器31を設ければ、帯電された後より短い時間でチャンバ40内に基板Wを搬入できる。そのため、基板Wがステージ上に載置される際、基板Wが確実に正に帯電した状態とできる。
【0022】
以下、図3(a)〜(d)を参照しながら、プラズマCVD装置1を用いたチッ化珪素膜の成膜方法について説明する。チッ化珪素膜を堆積する際には、チッ化珪素膜中に混入する水素を低減するため、基板Wの温度を例えば550℃程度の高温とすると好ましい。以下では、ステージの温度は、チッ化珪素膜の堆積工程中に変化されることなく、常に550℃に保たれることとする。
【0023】
先ず、図3(a)を参照すると、チッ化珪素膜が堆積されるべき基板Wが基板カセット9内に収められている。ここで、基板Wは、例えば、シリコン(Si)基板であってよく、また、その上に酸化シリコン(SiO2)膜といった絶縁膜が形成されたSi基板であってよい。さらに、基板Wは、半導体集積回路を製造する過程の途中にあるSi基板であってもよい。次に、基板Wが収められた基板カセット9が基板カセット収容部2に保持される。
【0024】
基板カセット収容部2において、ロボット20は基板カセット9から基板Wを抜き出す。次に、ゲート弁7が開き、基板Wは搬送室3の内部に搬入される。続いて、搬送室3の内部において、基板Wはロボット20からロボット30へ受け渡される。基板Wをロボット30に受け渡したロボット20は、基板カセット収容部2に戻り、ゲート弁7が閉まる。
【0025】
続いて、基板Wは、ロボット30により移動されて、イオン発生器31の下方に位置する。ここで、イオン発生器31から正イオンPが放出され、図3(b)に示す通り、正イオンPが基板Wに対して照射される。正イオンPの照射により、基板Wが正に帯電される。正イオンPが基板Wに照射される時間、及びイオン発生器31の動作条件は適宜決定されてよい。基板Wが正に帯電された後、ゲート弁8が開き、基板Wはチャンバ40内へ搬入される。チャンバ40内に搬入された基板Wは、図3(c)に示す通り、ステージ41上に載置される。その後、ロボット30は搬送室3に戻り、ゲート弁8が閉まる。
【0026】
この後、ガス供給部6からチャンバ40内に所定の流量のSiH4ガスとN2ガスとが供給されるとともに、シャワーヘッド44に対して高周波電力が印加される。高周波電力の印加によりチャンバ40内にプラズマが発生する。プラズマ中に含まれる高エネルギー粒子によりSiH4ガス及びN2ガスが分解されて、図3(d)に示すように、基板W上にチッ化珪素膜Fが堆積される。このとき、チッ化珪素膜の主な堆積条件は、例えば、以下の通りとできる。
・SiH4ガス供給量:100sccm
・N2ガス供給量:9000sccm
・チャンバ内の圧力:8.0×102Pa
・ステージ温度:550℃
・高周波電力:423W
【0027】
基板W上に堆積されるチッ化珪素膜Fの厚さが所定の値となった後、高周波電力の印加を停止するとともに、SiH4ガスとN2ガスとの供給を停止する。この後、ロボット30がチャンバ40から基板Wを取り出して、ロボット20に受け渡す。ロボット20は基板Wを基板カセット9に収納する。以上により、チッ化珪素膜Fの成膜が終了する。
【0028】
以上のように、本実施形態のチッ化珪素膜の成膜方法においては、基板Wが正に帯電されてチャンバ40内に搬入される。本発明者の知見によれば、上述の通り、Al系の材料から成るステージを500℃を超える程度の温度に加熱すると、AlがAl3+といったAlイオンとなってステージより脱離する。そのため、チャンバ40の雰囲気中、及びステージ41上にはAl3+イオンが存在している。本実施形態のチッ化珪素膜の成膜方法によれば、基板Wは正に帯電されてチャンバ40内に搬入されるため、基板WにAl3+イオンが吸着されるのが抑制される。したがって、基板WのAlによる汚染が低減される。
【0029】
以上、実施形態を参照しながら、本発明に係る成膜方法及び成膜装置を説明したが、本発明はこれに限られることなく、種々の変形が可能である。上記実施形態においては、チッ化珪素膜を形成する場合について説明したが、酸化ケイ素膜を形成する場合に本発明の成膜方法を適用できることは言うまでもない。この場合、珪素元素を含むガスとしては、SiH4ガスに限らず、例えばテトラエチルオルソシリコン(Tetra Ethyl Orso Silicon:TEOS)ガスを使用できる。酸素元素を含むガスとしては、一酸化二窒素(N2O)ガスを使用できる。酸素元素を含むガスとしてオゾン(O3)ガスを用いても構わない。
【0030】
さらに、例えば、タングステン(W)膜やチタン(Ti)膜といった金属膜、又はチッ化タングステン(WNx)膜やチッ化チタン(TiN)膜といったチッ化金属膜を基板W上に形成する場合にも、本発明に係る成膜方法を適用できる。この場合には、プラズマCVD装置1において、これらの膜の構成元素を含むプロセスガスを六フッ化タングステン(WF6)ガス及びSiH4ガスをガス供給部6からチャンバ40に対して供給できるように変形する必要がある。
【0031】
さらにまた、Al、銅(Cu)、及びSiを含む金属膜を基板W上に形成する場合についても、本発明に係る成膜方法を適用できる。この場合、プラズマCVD装置1は、Al、Cu、及びSiを構成元素として含む固体原料をチャンバ40内に有することができる。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る成膜方法及び成膜装置においては、基板を正に帯電した後に、プロセスチャンバ内のステージ上に載置できる。そのため、ステージ及びステージを保持するための治具から脱離する正イオンが基板に到達するのを抑制できる。すなわち、ステージ及びステージを保持するための治具を構成する構成元素が基板に到達するのを抑止できる成膜方法及び成膜装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、実施形態によるプラズマCVD装置の平面図である。
【図2】図2は、図1のI−I線に沿った断面図である。
【図3】図3(a)〜図3(d)は、実施形態による成膜方法を説明する図である。
【符号の説明】
1…プラズマCVD装置、2…基板カセット収容部、3…搬送室、4…チャンバ格納部、5…高周波電源、6…ガス供給部、7…ゲート弁、8…ゲート弁、9…基板カセット、20…ロボット、20a…チャック部、20b…アーム部、30…ロボット、30a…チャック部、30b…アーム部、31…イオン発生器、40…チャンバ、41…ステージ、42…ヒータ、43…温度調整器、44…シャワーヘッド。
Claims (9)
- 基板上に膜を形成する成膜方法であって、
基板が収容される収容室とプロセスチャンバとの間に位置する搬送室において、該搬送室内の前記プロセスチャンバ内に基板を搬入するための搬送路に面して配置されたイオン発生器を用いて該基板を正に帯電させる工程と、
前記帯電された基板を前記プロセスチャンバ内に搬入して該プロセスチャンバ内のステージ上に載置する工程と、
前記ステージ上に配置された基板に膜を形成する工程と、
を含み、
前記イオン発生器のイオン放出部が搬送中の前記基板に対面するように配置されており、
前記帯電させる工程において、前記基板に正イオンを照射する成膜方法。 - 前記膜を形成する工程において、
形成されるべき膜の構成元素を含むプロセスガスを前記プロセスチャンバ内に供給し、
前記プロセスチャンバ内に供給された前記プロセスガスをプラズマ化して膜を形成する請求項1に記載の成膜方法。 - 前記膜を形成する工程において、
形成されるべき膜の構成元素を含むプロセスガスを前記プロセスチャンバ内に供給し、
前記基板が載置されたステージを加熱して膜を形成する請求項1に記載の成膜方法。 - 前記プロセスガスは、ケイ素元素を含むガスと、酸素元素を含むガス又は窒素元素を含むガスと、を含む請求項2又は請求項3に記載の成膜方法。
- 基板上に膜を形成する成膜装置であって、
プロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバ内に設けられたステージと、
基板が収容される収容室と前記プロセスチャンバとの間に位置する搬送室内の前記プロセスチャンバ内に基板を搬入するための搬送路に面して配置されており、前記プロセスチャンバへの搬入前に前記基板を正に帯電させるためのイオン発生器と、
前記帯電された基板を前記ステージ上に載置するための基板搬送部と、
前記形成されるべき膜の構成元素を含むプロセスガスを前記プロセスチャンバ内に供給するガス供給部と、
を備え、
前記イオン発生器は、前記搬送路上の基板に対面するように配置されており正イオンを発生するイオン放出部を含む、成膜装置。 - 前記プロセスガスをプラズマ化する高周波電力を前記プロセスチャンバに対して供給する高周波電源を更に備える請求項5に記載の成膜装置。
- 前記基板が載置されたステージの温度を調整する温度調整器を更に備える請求項5または請求項6に記載の成膜装置。
- 前記ガス供給部は、ケイ素元素を含むガスと、酸素元素を含むガス又は窒素元素を含むガスと、を前記プロセスチャンバに供給できるよう構成される請求項5〜請求項7のいずれかに記載の成膜装置。
- 前記基板搬送部は前記基板と接触する基板支持部を有し、前記基板支持部は絶縁体で構成される請求項5〜請求項8のいずれかに記載の成膜装置。
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