JP4071730B2 - 振動解析装置及び振動解析方法 - Google Patents
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本発明の第1の実施の形態に係る振動解析装置は、図1に示すように、機械的振動により振動する振動板21と、この振動板21に対し、繰返し信号で駆動して、強度が周期的に変化する光を照射する変調光照射手段1と、振動板21を経由した光を検出し、且つ周期的な繰返し信号を同期信号として復調することにより、機械的振動の周波数分析をする復調手段2とを備える。「繰返し信号」は、三角波や矩形波に限らず任意の波形でも、周期的に繰返し変化を示せば構わないが、ここでは、簡単化のために、強度xin(t)が、以下の(1)式で示されるような正弦波で変化する場合について説明する。
xin(t)=sin(ω0At+φ) ・・・・・(1)
変調光照射手段1は、振動板21に対し、光を照射する光源43と、光の強度xin(t)が(1)式の正弦波で変化するように光源43の出力を変調する変調器42とを備える。光源43が、例えば半導体レーザ若しくは発光ダイオード(LED)等の半導体発光素子であれば、変調器42は、これらの半導体発光素子の駆動電流を、(1)式の正弦波で変調すれば良い。
fn=(2n−1)c/4l ・・・・・(2)
で与えられる。音声は基本周波数f0とその高調波f1, f2, f3,・・・・・fn,・・・・・から成り立っていると考えられるため、振動板の振幅は
P(f)=U(f)T(f)R(f) ・・・・・(4)
となる(レイ・D・ケント/チャールズ・リード著、荒井隆行/菅原勉監訳「音声の音響分析」海文堂出版参照。)。U(f)、R(f)の項を一定とすると、例えば、複数の特性の異なるフィルタが並列接続されたフィルタバンクのようなアナログフィルタやデジタルフィルタにより、T(f)を求めることで、音声分析できる。この様にして得られた波形の周波数分析するために、従来は、FFT(高速フーリエ変換)により、フーリエ展開(Fourier Transform)して、スペクトル分析をしていた。例えば、次式によりフーリエ変換していた:
図3から容易に理解できるように、振動板21上の回折格子を形成する際、つまり、基板上に溝・格子を形成するにあたって、半導体製造プロセスを用いることは有用である。半導体製造プロセスを用いることにより、任意の格子周期を有する回折格子を再現性良く形成でき、量産に適している。又、支持基板11として用いる半導体基板は様々な物性を有していることから、振動板21の質量やバネ定数を容易に変更できる。例えば、振動板21にシリコン(Si)を用い、光源43に波長λ=1000nm以下のレーザを使用し、格子の側壁に反射率の高い物質をコートすれば、シリコン部に入射した光は吸収し、格子側壁からの回折光のみを光検出器31の上へ回折させるため、光検出器31への迷光をカットし、結果S/Nを向上させることができる。
本発明の第2の実施の形態に係る振動解析装置は、図8に示すように、透過型の回折格子を有し、機械的振動により振動する振動板21を備える点が、第1の実施の形態に係る振動解析装置と異なる。即ち、透過型の回折格子を有する振動板21と、この振動板21に対し、強度xin(t)が正弦波で変化する光を照射する変調光照射手段1と、振動板21を透過し、回折した光を検出し、且つ正弦波の周波数ω0Aで復調(同期検出)することにより、機械的振動の周波数分析をする復調手段2とを備える。なお、第1の実施の形態に係る振動解析装置で述べたように、より一般には、変調光照射手段1は、繰返し信号を用いて強度が周期的に変化する光を照射するようにし、復調手段2は、繰返し信号を同期信号として用いて復調すれば良い。即ち、「繰返し信号」は、三角波や矩形波に限らず任意の波形でも、周期的に繰返し変化を示せば構わないが、第2の実施の形態では、簡単化のために、強度xin(t)が、以下の(1)式で示されるような正弦波で変化する場合について説明する。
第1及び第2の実施の形態に係る振動解析装置では、時分割で、互いに異なる周波数ω0Aを有する複数の正弦波を用いて同期検出したり、正弦波の周波数ω0Aを一定周期で掃引しながら同期検出したりすることにより、入力音波の周波数を同定することが可能であることを述べたが、周波数ω0Aを掃引することは周波数変調になる。
図5(b)は、搬送波の角周波数ω0Aの入射光が、信号波の角周波数ωSで変調された様子を示す。図5(a)は、入射音波の振動を示す。角周波数ωSの変調信号sinωStで周波数変調することにより、入射音波の振動に合わせ込み、周波数解析することも可能を示す。
本発明は第1〜第3の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
2…復調手段
4a,4b…固定部
5a,5b…弾性接続部
9R…空洞部
11…振動板
11…支持基板
12…絶縁膜
13…素子分離絶縁膜
13…素子分離絶縁膜
14…層間絶縁膜
15…パッシベーション膜
18…第2半導体基板
19…エピタキシャル成長層
21…振動板
21a,21b…ポリシリコン接続体
31…光検出器(フォトダイオードアレイ)
32…増幅器
33…復調器
41,46…発信器
42…変調器
43…光源
47…局部発信器
51…半導体基板(第1半導体基板)
53…透明基板
55…実装基板
57…底部空洞部
115a,115b…弾性梁
151a〜151d…パッド
152a,152b,152c,152d…配線
155…光源用凹部
156…光検出器用凹部
162a,162b,162c,162d…ボンディングワイヤ
181…素子分離領域
182…p側電極
191…n側ブラッグ反射膜
192…n側クラッド層
193…活性層
195…側ブラッグ反射膜
321…オペアンプ
331,421…ミキサー
333…アンプ
422…オペアンプ
Claims (10)
- 回折格子を備え、機械的振動により振動する振動板と、
繰返し信号で駆動して、強度が周期的に変化する光を、前記振動板の前記回折格子に照射する変調光照射手段と、
前記振動板の前記回折格子に照射された前記光により形成された回折像を検出して電気信号に変換し、該電気信号を前記繰返し信号を用いて復調することにより、前記機械的振動の周波数分析をする復調手段
とを備えることを特徴とする振動解析装置。 - 前記回折像が、2次元的な像であることを特徴とする請求項1記載の振動解析装置。
- 前記復調手段は、
前記回折格子に照射された前記光により形成された回折像を検出し、電気信号に変換する光検出器と、
前記電気信号を増幅する増幅器と、
該増幅器により増幅された電気信号を、前記繰返し信号を同期信号として用いて同期検出する復調器
とを備え、前記復調手段から前記振動板の振動の振幅及び位相情報を得ることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動解析装置。 - 前記変調光照射手段と前記復調手段とに接続され、変調信号を出力する局部発信器を更に備え、
前記変調信号で、前記周期的に変化する光を周波数変調し、
前記復調手段は、
前記回折格子に照射された前記光により形成された回折像を検出し、電気信号に変換する光検出器と、
前記電気信号を増幅する増幅器と、
該増幅器により増幅された電気信号と前記変調信号とを周波数混合するミキサー
とを備え、前記復調手段から前記振動板の振動の振幅及び位相情報を得ることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動解析装置。 - 前記光検出器がイメージセンサであることを特徴とする請求項3又は4に記載の振動解析装置。
- それぞれ回折格子を備え、機械的振動により振動する、共振周波数の異なる複数の振動板と、
それぞれ繰返し信号で駆動して、強度が周期的に変化する光を、前記複数の振動板のそれぞれの前記回折格子に照射する複数の変調光照射手段と、
前記複数の振動板の前記回折格子のそれぞれに照射された前記光により形成されたそれぞれの回折像を検出して電気信号に変換し、該電気信号を前記繰返し信号を用いて復調することにより、前記機械的振動の周波数分析をする復調手段
とを備えることを特徴とする振動解析装置。 - 前記複数の変調光照射手段が、互いに異なった正弦波の周波数で変調された前記光を、前記複数の振動板のそれぞれの前記回折格子に照射することを特徴とする請求項6記載の振動解析装置。
- 回折格子を備え、機械的振動により振動している振動板の前記回折格子に対し、繰返し信号で駆動して、強度が周期的に変化する光を照射する段階と、
前記振動板の前記回折格子に照射された前記光により形成された回折像を検出して電気信号に変換し、該電気信号を前記繰返し信号を用いて復調することにより、前記機械的振動の周波数分析をする段階
とを備えることを特徴とする振動解析方法。 - それぞれ回折格子を備え、機械的振動により振動する、共振周波数の異なる複数の振動板に対し、それぞれ繰返し信号で駆動して、強度が周期的に変化する光を、それぞれ照射する段階と、
前記複数の振動板の前記回折格子のそれぞれに照射された前記光により形成されたそれぞれの回折像を検出して電気信号に変換し、該電気信号を前記繰返し信号を用いて復調することにより、前記機械的振動の周波数分析をする段階
とを備えることを特徴とする振動解析方法。 - 互いに異なった正弦波の周波数で変調された前記光を、前記複数の振動板のそれぞれの前記回折格子に照射することを特徴とする請求項9記載の振動解析方法。
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