JP4063543B2 - 噴霧器用懸濁液収納容器 - Google Patents
噴霧器用懸濁液収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4063543B2 JP4063543B2 JP2002021029A JP2002021029A JP4063543B2 JP 4063543 B2 JP4063543 B2 JP 4063543B2 JP 2002021029 A JP2002021029 A JP 2002021029A JP 2002021029 A JP2002021029 A JP 2002021029A JP 4063543 B2 JP4063543 B2 JP 4063543B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- sleeve
- contact member
- wall
- high voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0615—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced at the free surface of the liquid or other fluent material in a container and subjected to the vibrations
Description
【発明の属する技術分野及び技術的背景】
本発明は、沈着室のウエハ上に沈着すべき、浮遊粒子を含む懸濁液収納用の容器に関するものである。この容器と液体は、沈着室の粒子を浮遊状態に保つために、高電圧源振動変換器により超音波振動され、高電圧源は、操作員との接触を避けるために、遮蔽されている。
【0002】
また、超音波振動は、エアゾール発生装置において、液を揺り動かし粒子の浮遊を維持するために使われてきた。
高電圧は通常、超音波振動発生器の作動のために必要である。その発生器は、普通、ピエゾ電気セラミックスまたは結晶である。操作員と高電圧伝導体との接触は、回避されることが必要である。
【0003】
【発明の構成並びに使用効果】
本発明は、高電圧接触部を外部から高レベルで隔離できるように組み立てられるた噴霧用懸濁液収納容器を提供する。そうすることによって、操作員の高電圧との接触の可能性は、おおいに減少する。すなわち、本発明に係る噴霧器用容器は、沈着室のウエハ上に沈着させるのに使用される、浮遊粒子を含む懸濁液収納容器であって、液体を超音波振動させるために、容器の底にピエゾ電気超音波変換器が設けられる。粒子は、容器が超音波的に振動すると浮遊状態となるので、望ましい状態で粒子を含む懸濁液が保持される。高電圧接触手段が、ピエゾ電気超音波振動変換器を電圧源に接続させるために使用される。変換器への接続は、絶縁ハウジングによって保持され、操作員と各電源関連部品との接触の可能性を減少させる。
【0004】
懸濁液収納器のノズルを通され、沈着室での粒子沈着用のエアゾールが形成されるときに、懸濁液は振動エネルギーがかけられ、粒子の浮遊が維持される。。一つの沈着室で数種の粒子が沈着される場合、それぞれ異なる懸濁液若しくは特性を有する複数の液体容器が設けられ、それらを順次使用する場合は、それらの1つの容器をとってみれば、長時間使用されずにエアゾールを発生しないことになる。
【0005】
高電圧出力の変換器への連結部は、容器の底部に連結される十分に絶縁されたカップまたはスリーブ部に囲まれるようになされる。同部カップまたはスリーブは、超音波ピエゾ電気変換器に連結する電気コネクターを持っている。ピエゾ電気変換器は、容器の底壁としっかり接触している。従って、容器の電導体が操作員と接触する可能性は減少する。
【0006】
【実施形態】
図1には、粒子の浮遊する液体12(懸濁液)を入れるのに使われる本発明に係る容器10が示されている。この容器は、蓋19によって閉じられる内室を画定する外部円筒側壁11を有する。液体12は、容器10の内部に収納されている。液体12は、粒子を半導体基盤または他の物質の上に沈着させる沈着装置に使われる、ポリスチレン・ラテックス(PSL)粒子、または銅、タングステン、または他の物質の粒子を含む、水でもよい。粒子はその液体中に浮遊している。噴霧器部分14は、粒子を含む液体を吸引し、粒子が18で示される基盤上に沈着される沈着室16に噴射されるエアゾールを形成するのに使用される。
【0007】
浮遊粒子を液体12中に保持するために、容器10の底壁20は、その壁の外表面に密接に結合された超音波ピエゾ電気振動変換器22を有する。図に示すように、変換器22は、容器の底における壁11の延長であるスカート25により形成される凹所24の中に設けられている。絶縁ブロック26は、凹所24内に形成される肩部28に当接して、凹所24内に保持される。絶縁ブロック26は、金属電気接触装置32が保持される凹所または開口30を有する。この接触装置32は、電圧をかけるための接続部であり、適切な線34でピエゾ電気変換器22に接続される。接触装置32は、外部絶縁スリーブまたはカップ42内に保持される絶縁ブロック40上のスリーブ41の凹所または穿孔38の中に受け入れられる突出部または枝部36を有する。この突出部36は、金属電圧伝達スプリング44と係合し、それによってスプリングは接触装置46に接続され、この接触装置は、高電圧源50につながる導線48に確実に結合される。
【0008】
カップ42は、容器のスカート25を受け入れる環状のスリーブまたは壁43を有する。各部が組み立てられた時、バネ力を有するフィンガー52は、カップ42により支持され、容器のスカート25の外表面上の支持溝55に受け入れられる曲がった末端を有する。カップ42は、バネ力を有するフィンガー52によって適切に保たれ、該フィンガーはステンレス鋼容器10へのアース接続を形成する。カップ42は、頑丈な絶縁材料で、壁43は容器10の下方スカート部分を囲み、ピエゾ電気変換器22へ通じる高電圧接触装置を遮蔽する。カップ42は、底部壁54で閉じられ、この壁は、高電圧線48と接地線55が通る開口を有する。
【0009】
噴霧器14は、図に示すように、圧縮気体源58から気体を受け入れ、その気体は、制御穴60を通って噴霧穴または出口62に流れていく。粒子を含む液体12は、管64を通して吸引され、エアゾールとなり、環状壁68で形成される環状衝突室66に噴射される。大きい粒子は衝突し、液体12に落下することになるが、小さな粒子を運ぶエアゾールは、衝突室の開口70を通して吐き出され、出口管72を通して沈着室16に運ばれる。エアゾールは沈着室16に導かれ、エアゾール内で運ばれ、以前液体12内に浮遊していた粒子は、基板18上に沈着する。
【0010】
絶縁カップ42は、突出部または枝部36、スプリング44および接触装置46を通して高電圧を,超音波変換器および容器まで運ぶ、いくつかの接触部を持っている。カップ42の外壁すなわちスリーブ部43は接触および結合を遮蔽し、絶縁カップの使用は、人がアースと高電圧結合の陽電極の両方に接触する可能性を回避する。容器10はアースされているので、該容器に触れても多量の電気が流れないようになる。高電圧電極は十分に遮蔽されている。
【0011】
カップ部42は、絶縁遮蔽または保護を形成するスリーブまたは壁43を有する。同壁43は、ピエゾ電気変換器部分へ通じる全ての高電圧接触部の周りに延びる。
【0012】
変換器は希望する周波数で振動するように設計することができる。電圧源も、変換器にかけられる電圧を制御する制御装置を有することができる。
以上においては、本発明の好ましい実施形態について説明しているが、本発明にこれに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に基づく電気接続部のある振動変換器を有する噴霧用懸濁液収納容器の縦断面図である。
【図2】 電気接続部を分離して示している図1の分解図である。
【図3】 本容器と共に使用される型の噴霧器の一例として、上記容器に示されている噴霧器部分を拡大して示す図である。
10---容器
20---容器の底壁
22---ピエゾ電気振動変換器
24---凹所
25---スカート
32---電気接触装置(高電圧接続部)
42---スリーブ
36---枝状部(突出部)
44---スプリング
52---フィンガー
54---底壁
Claims (3)
- エアゾールを形成するのに使用される液体に粒子を浮遊させてなる懸濁液のための容器であって、同容器が側壁及び底壁を有し、同容器の上部に噴霧手段があり、同容器の下部内に液体と浮遊粒子が含まれ、かつ、ピエゾ電気変換器が容器の底に設けられその容器内の液体に振動を与えるようになされており、高電圧がピエゾ電気変換器に接続され、かつ、同高電圧接続部を操作員の作業から遮蔽するために絶縁物質のスリーブが同容器に設けられ、
上記容器が、電気伝導材料で作られピエゾ電気変換器用にアース接触部を形成する同高電圧接続を囲んでいる容器。 - エアゾールを形成するのに使用される液体に粒子を浮遊させてなる懸濁液のための容器であって、同容器が側壁及び底壁を有し、同容器の上部に噴霧手段があり、同容器の下部内に液体と浮遊粒子が含まれ、かつ、ピエゾ電気変換器が容器の底に設けられその容器内の液体に振動を与えるようになされており、高電圧がピエゾ電気変換器に接続され、高電圧接続部はピエゾ電気変換器に接続されそこから外側に延びる接触部材を有し、上記容器は該接触部材を囲むスカート状壁を有し、同接触部材は上記容器から絶縁されており、かつ同高電圧接続部の接触部材を操作員の作業から遮蔽するために絶縁物質のスリーブが同容器に摺動脱着可能に設けられ、同高電圧接続部の接触部材を囲んでおり、上記スリーブは、該スリーブが形成する開口を閉じるための絶縁材料でできた横断壁を有し、同横断壁が上記容器の底壁と整合されており、上記スリーブは当該スリーブが上記容器に取り付けられた場合に上記接触部材と係合するように配置された接触装置を、備えている容器。
- 沈着装置で使用される懸濁液用容器であって、上記懸濁液は基板上に沈着される粒子を含み、同容器は内室を囲む側壁と内室を閉じる底壁から成り、ピエゾ電気変換器が底壁の外側表面に取り付けられていて、上記容器は底壁に開いた凹部を形成するスカート状壁と、該凹部内に設けられた絶縁サポートと、該絶縁サポートに保持されそして上記ピエゾ電気変換器に電気的に接続された接触部材であって上記容器とは反対側に所定部分を有する接触部材と、上記容器に脱着可能に装着されたスリーブとを備え、該スリーブは上記容器の凹部内の接触部材を外部から遮断するために、同容器のスカートの側部に沿って上方向に伸びる絶縁物質から出来ており、上記スリーブは当該スリーブが上記容器に取り付けられた場合に上記接触部材と係合するように配置された接触装置を有していることを特徴とする懸濁液用容器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/772707 | 2001-01-30 | ||
US09/772,707 US6601777B2 (en) | 2001-01-30 | 2001-01-30 | Suspended particle container for an atomizer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002253996A JP2002253996A (ja) | 2002-09-10 |
JP2002253996A5 JP2002253996A5 (ja) | 2005-08-04 |
JP4063543B2 true JP4063543B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=25095953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002021029A Expired - Fee Related JP4063543B2 (ja) | 2001-01-30 | 2002-01-30 | 噴霧器用懸濁液収納容器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6601777B2 (ja) |
JP (1) | JP4063543B2 (ja) |
DE (1) | DE10203604A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101380989B1 (ko) * | 2003-08-29 | 2014-04-04 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
ES2264608B2 (es) * | 2004-09-30 | 2007-08-16 | Universidad De Sevilla | Dispositivo y procedimiento para la atomizacion neumatica de liquidos mediante flujo implosivo de gas. |
US7954730B2 (en) * | 2005-05-02 | 2011-06-07 | Hong Kong Piezo Co. Ltd. | Piezoelectric fluid atomizer apparatuses and methods |
JP4199288B1 (ja) * | 2007-07-24 | 2008-12-17 | コニシセイコー株式会社 | 携帯用超音波ミスト発生美顔術装置 |
US7712249B1 (en) | 2007-11-16 | 2010-05-11 | Monster Mosquito Systems, Llc | Ultrasonic humidifier for repelling insects |
US8296993B2 (en) | 2007-11-16 | 2012-10-30 | Monster Mosquito Systems, Llc | Ultrasonic humidifier for repelling insects |
CN101660158A (zh) * | 2008-08-27 | 2010-03-03 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 一种薄膜制备装置 |
CN201643492U (zh) * | 2010-01-26 | 2010-11-24 | 陕西坚瑞消防股份有限公司 | 一种新型手持式气溶胶灭火装置 |
WO2011145919A1 (en) * | 2010-05-18 | 2011-11-24 | Edward Bok | Semiconductor substrate transfer/processing-tunnel -arrangement, with successive semiconductor substrate - sections |
CN102274813B (zh) * | 2010-06-09 | 2014-02-26 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 荧光粉的平面涂覆装置及荧光粉的平面涂覆方法 |
TWI432256B (zh) * | 2011-08-05 | 2014-04-01 | Univ Chang Gung | Connecting pipe anti - precipitation device and method |
JP6892118B2 (ja) * | 2017-12-05 | 2021-06-18 | 株式会社日立産機システム | インクジェット記録装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3561444A (en) * | 1968-05-22 | 1971-02-09 | Bio Logics Inc | Ultrasonic drug nebulizer |
US4113809A (en) * | 1977-04-04 | 1978-09-12 | Champion Spark Plug Company | Hand held ultrasonic nebulizer |
US4976259A (en) * | 1986-12-22 | 1990-12-11 | Mountain Medical Equipment, Inc. | Ultrasonic nebulizer |
DE19962280A1 (de) * | 1999-12-23 | 2001-07-12 | Draeger Medizintech Gmbh | Ultraschallvernebler |
-
2001
- 2001-01-30 US US09/772,707 patent/US6601777B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-01-30 JP JP2002021029A patent/JP4063543B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-30 DE DE10203604A patent/DE10203604A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10203604A1 (de) | 2002-08-01 |
JP2002253996A (ja) | 2002-09-10 |
US6601777B2 (en) | 2003-08-05 |
US20020103657A1 (en) | 2002-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4063543B2 (ja) | 噴霧器用懸濁液収納容器 | |
US5996903A (en) | Atomizer and atomizing method utilizing surface acoustic wave | |
US3392916A (en) | Ultrasonic atomizer | |
JP4326336B2 (ja) | プラグイン型液体噴霧器 | |
JP4666769B2 (ja) | 圧電振動器を用いて液体を噴霧化する制御システム | |
US6676034B2 (en) | Atomizer and inhalator using same | |
JPH0691975B2 (ja) | 静電アイソレーシヨン装置 | |
WO2006129592A1 (ja) | 静電霧化装置および同装置を用いた送風機 | |
JP6424049B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
EP1278603A2 (en) | A spraying device for dispensing home care formulations with electrostatic liquid droplets | |
EP0416106A4 (en) | Device for ultrasonic dispersion of a liquid medium | |
JP2002253996A5 (ja) | ||
US20160256888A1 (en) | Jetting device | |
EP2021131A4 (en) | APPARATUS FOR ATOMIZING AND FILTERING LIQUID | |
JPH01159068A (ja) | 導電性噴霧液体を使用する際に静電噴霧装置の高電圧から噴霧液体源を絶縁する装置 | |
KR102057079B1 (ko) | 공기 접촉을 차단하여 이온수의 물성변화를 방지하는 초음파 분무장치 | |
JP2644621B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
WO2004006320A1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH05184993A (ja) | 超音波霧化装置 | |
US11154633B2 (en) | Liquid atomizing system and device electrically charged in wireless manner | |
KR100415435B1 (ko) | 반도체 소자 제조장치 | |
JPH03232562A (ja) | 超音波発生装置および超音波霧化装置 | |
JPH10180204A (ja) | 超音波洗浄装置及び駆動方法 | |
JPH04371257A (ja) | 超音波噴霧装置 | |
RU2003748C1 (ru) | Бытова стиральна машина вибрационного типа |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130111 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130111 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |