JP4051328B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4051328B2 JP4051328B2 JP2003344048A JP2003344048A JP4051328B2 JP 4051328 B2 JP4051328 B2 JP 4051328B2 JP 2003344048 A JP2003344048 A JP 2003344048A JP 2003344048 A JP2003344048 A JP 2003344048A JP 4051328 B2 JP4051328 B2 JP 4051328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling device
- heat
- semiconductor element
- semiconductor
- heat absorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
図1は、本実施の形態にかかる半導体装置を概念的に示す上面図(a)と側面図(b)であり、半導体装置Aがヒートパイプ式冷却装置1,2と半導体素子11,12とを備える場合が示されている。
実施の形態1で説明した半導体装置Aにおいて、吸熱部22を吸熱部21に設ける際にボルト111を強くねじ込むと、金具102が変形、例えば湾曲する可能性がある。この場合には、吸熱部21,22の接触面で発生する接触強度が面内で一定に保てなくなる。このため接触抵抗が面内で一定でなくなり、半導体素子12を吸熱部22で十分に冷却できなくなる可能性がある。また、ボルト111を強くねじ込まないでいるとボルト111が緩んで、吸熱部21,22の接触面で発生する接触抵抗が面内で一定でなくなり、半導体素子12を冷却部22で十分に冷却できなくなる可能性がある。
実施の形態2で説明した半導体装置Bの固定アーム103,104が設けられる側に、例えば半導体装置Bと並列に半導体装置をさらに設けると、それらの間に固定アーム103,104の突出している分だけスペースが必要となる。このため固定アームが成形された複数の半導体装置Bを有する装置は、寸法が大きくなる可能性がある。
実施の形態1〜3で説明した半導体装置A〜Cのいずれにおいても、冷却板411を有する放熱部41,42に替えて水冷装置を採用することもできる。図7は、水冷装置を採用した場合の半導体装置Dを概念的に示す上面図(a)と側面図(b)であり、例えば半導体装置Cについて水冷装置を採用した場合が示されている。
Claims (7)
- 第一の半導体素子と、
第二の半導体素子と、
第一の冷却装置と、
第二の冷却装置と
を備え、
前記第一の冷却装置は、
互いに接続される吸熱部と放熱部を有し、
前記吸熱部の第一面には前記第一の半導体素子と前記第二の半導体素子が載置されて、前記第一の半導体素子は前記放熱部との接続側に、前記第二の半導体素子は前記第一の半導体素子に対して前記放熱部とは反対側に配置され、
前記第二の冷却装置は、前記第一面とは反対側の前記吸熱部の第二面上に設けられ、前記第二の半導体素子を前記第一の半導体素子よりも冷却し、
前記第二の冷却装置は、
前記第二の半導体素子を前記第二面に射影したときの射影部を覆う吸熱部と、
放熱部と
を有し、
前記第二の冷却装置の前記吸熱部と前記放熱部との境界が、前記第一の冷却装置の前記吸熱部と前記放熱部との境界よりも、前記第二の半導体素子に近い、半導体装置。 - 前記第一の冷却装置及び前記第二の冷却装置は、各々の前記吸熱部に固定アームを更に有し、
前記第一の冷却装置の前記吸熱部と前記第二の冷却装置の前記吸熱部とは、前記固定アームによって固定される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記固定アームは、凹部を有し、
前記吸熱部は、凸部を有し、
前記固定アームは、前記凹部と前記凸部が噛み合うことで前記吸熱部に設けられる、請求項2記載の半導体装置。 - 前記第一の冷却装置及び前記第二の冷却装置は、各々の前記吸熱部を貫通する穴を更に有し、
前記第一の冷却装置の前記吸熱部と前記第二の冷却装置の前記吸熱部とは、前記穴を用いて固定される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記第一の冷却装置の前記放熱部または/及び前記第二の冷却装置の前記放熱部は水冷装置である、請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記水冷装置は、前記第一の冷却装置の前記吸熱部または/及び前記第二の冷却装置の前記吸熱部に対して垂直もしくは鋭角に設けられる、請求項5記載の半導体装置。
- 前記第一の冷却装置または/及び前記第二の冷却装置は、水滴の進入を防ぐ防止部を更に有し、
前記防止部は、前記水冷装置と、前記第一の冷却装置の前記吸熱部または/及び前記第二の冷却装置の前記吸熱部との間に設けられる、請求項5及び請求項6のいずれか一つに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003344048A JP4051328B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003344048A JP4051328B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005109380A JP2005109380A (ja) | 2005-04-21 |
JP4051328B2 true JP4051328B2 (ja) | 2008-02-20 |
Family
ID=34537800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003344048A Expired - Fee Related JP4051328B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4051328B2 (ja) |
-
2003
- 2003-10-02 JP JP2003344048A patent/JP4051328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005109380A (ja) | 2005-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101159992B1 (ko) | 전력 변환 장치 | |
US7921663B2 (en) | Heat pipe heat sink | |
JP5252781B2 (ja) | コンデンサ冷却構造及び電力変換装置 | |
KR970005711B1 (ko) | 전자 소자용 냉각 장치 | |
US20120113598A1 (en) | Base for power module | |
JP5581119B2 (ja) | 冷却装置,電力変換装置,鉄道車両 | |
JP2000092819A (ja) | 半導体冷却装置 | |
JP2003115684A (ja) | パワーコンバータエンクロージャ | |
JP5028822B2 (ja) | パワーモジュールの冷却装置 | |
JP2000161880A (ja) | ヒートパイプ式冷却器 | |
JP2017059768A (ja) | ヒートシンク | |
JP2012079950A (ja) | 半導体冷却装置 | |
JP6590952B2 (ja) | 半導体装置 | |
CN111418058A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
JP6932632B2 (ja) | 液冷式冷却装置 | |
JPWO2020105075A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP5070877B2 (ja) | 半導体電力変換装置 | |
JP4051328B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3726767B2 (ja) | 半導体モジュール | |
JP4360624B2 (ja) | 半導体素子冷却用ヒートシンク | |
JPH1187586A (ja) | マルチチップモジュールの冷却構造 | |
JP6496845B2 (ja) | 電子機器 | |
JP2012160669A (ja) | 電子部品冷却装置 | |
JP2008262974A (ja) | 半導体装置 | |
GB2523625A (en) | Power conversion device and railway vehicle equipped with the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071105 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |