JP4031806B2 - 光モジュール - Google Patents
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Description
図1に示す光モジュールM1において、単結晶シリコンから成り高低差のある基板1の低位置面1aに光路変換体2及び面発光レーザー5が配設され、基板1の高位置面1bに形成された断面V字形状の搭載溝6に光ファイバ8が配設されたものとした。なお、本実施例ではVCSELの光源を2×3個のアレイで図示しているが、それ以外の1次元あるいは他の2次元アレイであってもよい。
光路変換体2の作製は実施例1と同様にして行った。
1a:基板1の低位置面
1b:基板1の高位置面
2:光路変換体
2a、2b:光路変換体の上下面
2c:光路変換体の傾斜面
3、4:光伝送体固定用ブロック
5:面発光素子アレイ
6:搭載溝
7:浅溝
8:光伝送体
8a:光伝送体の先端
9a:金属膜
9b:光半導体素子(受光素子、フォトダイオード)
10、13:単結晶ウエハWの両主面
11:SiN膜
12:V溝
14,15:光路変換体用柱状部
16:フォトレジスト
21:n型領域
22:p型領域
23:アノード用線路
24:カソード用線路
25:反射面端部n型領域
30:光伝送体固定ブロック作製用単結晶ウエハ
31、32:光伝送体固定ブロック作製用単結晶ウエハWの両主面
33:レジスト
34:浅溝作製領域
35:搭載溝作製領域
36:切削V溝
37:光伝送体固定ブロック最上面
38:浅溝の一辺
39:突起部
D:ダイシングライン
D1:浅溝深さ
D2:搭載溝深さ
H1:光路変換体2の高さ
L1,L2:出射光
M1,M2:光モジュール
W:単結晶ウエハ
W1:光路変換体2の一辺
W2:浅溝の一辺
X:光モジュールのX方向
Y:光モジュールのY方向
Z:光モジュールのZ方向
θ1、θ2:エッチング面の傾斜角度
Claims (3)
- 高低差のある、高位置面及び低位置面を有する基板と、
前記基板の低位置面に配設され、複数の発光点を備えた面発光素子と、
前記基板の低位置面に配設され、異方性エッチングで形成された、上面と前記基板への配設面である下面と、鏡面研磨された非エッチング面であって前記面発光素子の出射光を反射させる光反射面とを備えた柱状の光路変換体と、
前記基板の高位置面に配設され、前記光路変換体からの反射光を入射させる複数の光伝送体と、
前記光伝送体を覆う一主面と、溝を有する他主面とを有する固定ブロックであって、前記溝の底の一辺部分と前記光路変換体の前記光反射面の一部とを係合させて、前記光路変換体と前記光伝送体とを位置合わせする固定ブロックと、を具備する光モジュール。 - 高低差のある、高位置面及び低位置面を有する基板と、
前記基板の低位置面に配設され、複数の発光点を備えた面発光素子と、
前記基板の低位置面に配設され、異方性エッチングで形成された、上面と前記基板への配設面である下面と、鏡面研磨された非エッチング面である受光素子配設面とを備えた柱状の光路変換体と、
前記受光素子配設面に配設され、前記面発光素子からの出射光をモニターするとともにこの出射光の一部を反射させ前記光伝送体へ入射させる、複数の受光素子と、
前記基板の高位置面に配設され、前記光路変換体からの反射光を入射させる複数の光伝送体と、
前記光伝送体を覆う一主面と、溝を有する他主面とを有する固定ブロックであって、前記溝の底の一辺部分と前記光路変換体の前記受光素子配設面の一部とを係合させて、前記光路変換体と前記光伝送体とを位置合わせする固定ブロックと、を具備する光モジュール。 - 前記光路変換体の前記上面と前記下面との高さは、前記基板の前記低位置面と前記固定ブロックの前記他主面の高低差と等しくされている、請求項1または2に記載の光モジュール。
Priority Applications (1)
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