JP4029380B2 - UV irradiation equipment - Google Patents
UV irradiation equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP4029380B2 JP4029380B2 JP2002058136A JP2002058136A JP4029380B2 JP 4029380 B2 JP4029380 B2 JP 4029380B2 JP 2002058136 A JP2002058136 A JP 2002058136A JP 2002058136 A JP2002058136 A JP 2002058136A JP 4029380 B2 JP4029380 B2 JP 4029380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- support member
- pipe
- lamp support
- lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電管部を保持部にて保持した低圧水銀ランプを備えた紫外線照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
かかる紫外線照射装置は、低圧水銀ランプが発する紫外線を利用して、殺菌や洗浄等の種々の用途に利用されている。
この紫外線照射装置で利用する低圧水銀ランプは、発光動作時に放電管内の水銀蒸気圧が適切な蒸気圧となるように、放電管部を保持する保持部を冷却して、保持部の取り付け箇所付近の放電管内に液状に凝縮した水銀を貯留させておく必要がある。
又、低圧水銀ランプの放電管部についても放電管の表面が100℃〜数百℃と高温になるために何らかの冷却手段が必要になる。
【0003】
このように低圧水銀ランプを冷却するために、従来は、図6に概略的に示すように、低圧水銀ランプ1の保持部1aを、ステンレス製の冷却用中空容器100に取り付けると共に、低圧水銀ランプ1の放電管部1bの近くにステンレス製の冷却用角パイプ101を配置し、冷却用中空容器100及び冷却用角パイプ101にステンレス配管102を接続して、冷却水を通水していた。尚、図6では、遊転ローラ103に支承されて紙面に垂直な方向に搬送される板状の被処理部材104に紫外線を照射して洗浄するための装置に紫外線照射装置を適用した場合を例示している。又、ここで、冷却用中空容器100等をそれほど熱伝導率が高くないステンレスにて構成しているのは、低圧水銀ランプから発する紫外線や紫外線によって発生するオゾンによる浸食を抑制するためと、冷却水を通水することによる錆の発生を防止するためであり、例えば、アルミニウム等の熱伝導率が良好な材料を用いようとすると、例えばアルマイト加工のような、紫外線等による浸触を防止するための表面処理を必要とする。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来構成では、ステンレスで中空容器や角パイプを加工形成する必要があるため、加工コストが上昇してしまう不都合があった。
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、紫外線照射装置の装置コストを可及的に低減する点にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記請求項1記載の構成を備えることにより、放電管部を保持部にて保持した低圧水銀ランプを備えた紫外線照射装置において、前記放電管部に沿うように配置される平板状のランプ支持部材に前記保持部が取り付けられ、前記ランプ支持部材における前記放電管部及び前記保持部と対向する領域を冷却する冷却手段が設けられ、前記冷却手段は、前記ランプ支持部材における前記保持部の取り付け面と反対側の面に対して冷却作用するように、冷却液の流路を形成するパイプ部材と、前記ランプ支持部材又は前記ランプ支持部材に連設する部材に前記パイプ部材を固定する固定手段とが備えられると共に、前記パイプ部材と前記ランプ支持部材又は前記ランプ支持部材に連設する部材との間の隙間に熱伝導用の充填部材が充填されて構成されている。
すなわち、冷却手段にて冷却されるランプ支持部材に低圧水銀ランプの保持部を取り付けてその保持部を冷却するのみならず、ランプ支持部材が放電管部から放出される熱に対しても冷却作用するので、低圧水銀ランプを冷却するための構成を簡素化することができる。
【0006】
しかも、冷却手段の直接の冷却対象であるランプ支持部材を単純な形状として低コスト化を図ると共に、冷却手段の直接の冷却対象をランプ支持部材とすることで、紫外線等の悪影響をランプ支持部材の存在によって遮ることが可能となり、冷却手段の構成材料等についての紫外線対策の負担が緩和される。
もって、紫外線照射装置の装置コストを可及的に低減できるに至った。
【0007】
又、低圧水銀ランプを取り付けるランプ支持部材を冷却する冷却手段としては、ランプ支持部材自体の形状を極力単純化するという観点から、ランプ支持部材自体に冷却液の流路を形成するよりも冷却液の流路を形成するパイプ部材をランプ支持部材に対して冷却作用するように固定する構成とする方が合理的であり、又、ランプ支持部材に冷却液に対する耐性を持たせるような必要もなくなる。
【0008】
ところが、本発明の発明者の実験によれば、固定手段にてパイプ部材を固定しても、ランプ支持部材に取り付けた低圧水銀ランプの保持部に対する冷却効果は必ずしも十分ではなく、パイプ部材とランプ支持部材側との接触箇所の隙間に熱伝導用の充填部材を充填することで、低圧水銀ランプの保持部に対する冷却効果が飛躍的に改善することを見出した。
もって、ランプ支持部材及び冷却手段を簡素な構成としながら、十分な冷却効果が得られるものとなった。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の紫外線照射装置を紫外線洗浄装置に適用した場合の実施の形態を図面に基づいて説明する。
紫外線洗浄装置は、図1の断面図に示すように、装置下部に配置される被洗浄物搬送部TUと、装置上部に配置される紫外線照射装置UIとから構成されている。
図示を省略するが、紫外線照射装置UIは、それの一端側を支軸として揺動開閉可能に構成されている。
〔被洗浄物搬送部TUの構成〕
本実施の形態では、被洗浄物としてガラス板等の板材2を例示しており、図1において紙面と垂直な方向に図示を省略する駆動手段にて移動操作される板材2を、支持軸3に支持された遊転ローラ4が支承する。
【0010】
〔紫外線照射装置UIの概略構成〕
紫外線照射装置UIには、低圧水銀ランプ1と、低圧水銀ランプ1を取り付け支持する平板状のランプ支持部材5と、直接的にはランプ支持部材5を冷却する冷却手段CMとが備えられている。
低圧水銀ランプ1は、低圧水銀ランプ1の保持部1aをランプ支持部材5に取り付け固定した状態を底面視で示す図2のように、3台の低圧水銀ランプ1を洗浄処理される板材2の移動方向に沿って並べて備えられ、低圧水銀ランプ1の放電管部1bが形成する面とランプ支持部材5とを平行姿勢として、ランプ支持部材5は放電管部1bに沿うように配置されている。
平板状のランプ支持部材5は、熱伝導率の良好なアルミニウム板にて形成され、その表面にアルマイト加工を施すことで十分な紫外線耐性を確保している。このアルマイト加工は、既にアルマイト加工されたアルミニウム板を購入して必要な機械加工を施しても良いし、アルマイト加工無しのアルミニウム板を購入して必要な機械加工を施した後にアルマイト加工を施しても良い。ランプ支持部材5の厚さは、紫外線照射装置UIのフレームを構成するのに十分な強度を有する厚さに設定してある。
【0011】
〔冷却手段CMの構成〕
冷却手段CMは、紫外線照射装置UIを平面視で示す図3のように、ランプ支持部材5における放電管部1b及び保持部1aと対向する領域を冷却するように構成されており、主に保持部1aの冷却を目的とする第1冷却部C1と、主に放電管部1bの放熱に対する冷却を目的とする第2冷却部C2とから構成されている。
第1冷却部C1及び第2冷却部C2の何れも、ランプ支持部材5における保持部1aの取り付け面と反対側の面(すなわち、ランプ支持部材5の上面側)に対して冷却作用するように、冷却液の流路を形成するパイプ部材6と、ランプ支持部材5又はランプ支持部材5に連設する部材にパイプ部材6を押圧して固定する固定手段PSとが備えられて構成されている。本実施の形態では、冷却液は一般的な冷却水が使用されることを前提としており、パイプ部材6は、冷却水を通水するのに適すると共に、熱伝導率が良好で且つ曲げ加工の容易な銅製のパイプを使用している。パイプ部材6の形状は丸パイプである。
【0012】
図3に示すように、パイプ部材6は、紫外線照射装置UIの側壁に備えられた冷却水流入口10から第1冷却部C1を経て第2冷却部C2を通過し、紫外線照射装置UIの側壁に備えられた冷却水流出口11に至る一連の流路を形成しているが、パイプ部材6の加工上の便宜等の観点から第1冷却部C1と第2冷却部C2との間で管継手12によって接続される2本の丸パイプによって構成されている。
パイプ部材6の曲げ形状は、第1冷却部C1及び第2冷却部C2の何れにおいても、略長方形と想定する冷却対象エリアの短辺側でパイプ部材6を屈曲形成し、パイプ部材6の屈曲回数を極力少なくして冷却水の流路の抵抗を下げるようにしている。
【0013】
前記固定手段PSは、パイプ部材6の直線経路部分を押圧固定するものであるが、第1冷却部C1においては、パイプ部材6をランプ支持部材5に直接押圧するのに対して、ランプ支持部材5に連設する部材にパイプ部材6を押圧している。
前記固定手段PSによるパイプ部材6の押圧構成についてより詳細に説明すると、第1冷却部C1においては、図3のA−A’矢視断面を拡大して示す図4のように、ランプ支持部材5の上面に、パイプ部材6の形状に適合するように断面が半円となる溝13をパイプ部材6の配置位置に沿って形成すると共に、例えばアルミニウム製等の角材の下面にパイプ部材6の形状に適合するように断面が半円となる溝14aを形成した第1押圧部材14にて前記固定手段PSを構成し、パイプ部材6を挟持する状態で第1押圧部材14をランプ支持部材5の上面に強固にネジ止めする。
この第1押圧部材14の固定の際、パイプ部材6とランプ支持部材5との間にわずかに生じる隙間に熱伝導用の充填部材を充填している。
より具体的には、本実施の形態では、前記充填部材として例えばシリコングリース等の放熱用グリース用いており、その放熱用グリースを、パイプ部材6の外周,第1押圧部材14の下面及びランプ支持部材5における第1押圧部材14やパイプ部材6との接触箇所に薄く塗りのばした後に、第1押圧部材14をランプ支持部材5にネジ止めする。
【0014】
一方、第2冷却部C2においては、図3のB−B’矢視断面を拡大して示す図5のように、アルミニウム製の角材の上面にパイプ部材6の形状に適合するように断面が半円となる溝15aを形成したパイプ受け部材15を、ランプ支持部材5の上面にパイプ部材6の配置位置に沿って配置すると共に、例えばアルミニウム製等の角材の下面にパイプ部材6の形状に適合するように断面が半円となる溝16aを形成した第2押圧部材16にて前記固定手段PSを構成し、パイプ部材6及びパイプ部材6を支承するパイプ受け部材15を挟持する状態で第2押圧部材16をランプ支持部材5の上面に強固にネジ止めする。
この第2押圧部材16の固定の際、パイプ部材6とパイプ受け部材15との間、及び、パイプ受け部材15とランプ支持部材5との間にわずかに生じる隙間に熱伝導用の充填部材を充填している。
【0015】
より具体的には、本実施の形態では、第1冷却部C1と同様に前記充填部材として例えばシリコングリース等の放熱用グリースを用いており、パイプ部材6の外周,第2押圧部材16の下面,パイプ受け部材15の上下両面及びランプ支持部材5におけるパイプ受け部材15との接触箇所に薄く塗りのばした後に、第2押圧部材16をランプ支持部材5にネジ止めする。
このように、第2冷却部C2においては、パイプ部材6を直接的にランプ支持部材5の上面に押圧するのではなく、ランプ支持部材5に連設する部材であるパイプ受け部材15にパイプ部材6を押圧する構成としているのは、面積の広いランプ支持部材5の表面にパイプ部材6の配置形状に沿って溝13を形成するよりも、角材に直線の溝15aを形成する方が容易であること、及び、第1冷却部C1においては低圧水銀ランプ1の保持部1aを強力に冷却するために、パイプ部材6と保持部1aとの間の熱抵抗を極力低減するのが望ましいのに対して、第2冷却部C2においては第1冷却部C1ほどの冷却能力を要求されないことを総合的に鑑みてのことである。
【0016】
次に、上述のように構成した冷却手段CMの冷却能力について説明する。
上述の構成において、20℃の冷却水の流量を6.5L/minに設定し、定格電力が1.3kWの低圧水銀ランプ1を使用した場合、低圧水銀ランプ1の保持部1a付近の温度は、点灯開始後30分で30.8℃、点灯開始後60分でも30.8℃と何れも良好な値を示し、低圧水銀ランプ1もほぼ定格出力(電力)で安定して動作した。
一方、上述の構成において、放熱用グリースを塗布せずに冷却手段CMを構成した場合では、上記と同じ実験条件で、低圧水銀ランプ1の保持部1a付近の温度が、点灯開始後30分で38.2℃、点灯開始後60分でも37.6℃と高い値となり、低圧水銀ランプ1は定格出力(電力)に達しなかった。
又、参考のために、上記冷却手段CMの構成において、第1冷却部C1の構成を従来技術において説明したステンレス製の冷却用中空容器100(板厚が2mm弱)に低圧水銀ランプ1の保持部1aを取り付ける構成に置き換えた場合の実験結果を示すと、低圧水銀ランプ1の保持部1a付近の温度は、点灯開始後30分で32.8℃、点灯開始後60分でも32.4℃と何れも良好な値を示すものの、本発明を適用した冷却手段CMより冷却能力が低く、本発明の冷却手段CMの冷却能力の高さを確認できた。
以上のように、アルマイト加工されたアルミニウム板又はそれに連設する部材に冷却水の流路となる銅パイプを押し当てるという簡素な構成として装置の低コスト化を図りながら、隙間を放熱用グリースにて充填することで、低圧水銀ランプ1に対する冷却効果を従来構成よりもむしろ向上できる紫外線照射装置UIを提供できるに至った。
【0017】
次に、上記冷却手段CMに冷却水を供給するための構成について説明する。
冷却水の供給源としては例えば工場の冷却水供給設備を使用し、図3に示すように、その冷却水供給設備から供給された冷却水をフローメータ20にて流量を調整した後、冷却手段CMの冷却水流入口10に流入し、第1冷却部C1及び第2冷却部C2を経て冷却水流出口11から流出した冷却水が、前記冷却水供給設備に環流する。
この冷却水の流路において、冷却水流入口10及び冷却水流出口11にはテフロン(R)等の樹脂パイプからなる中継配管21が接続され、更にその中継配管21にステンレスパイプからなる供給側配管22が接続されている。
【0018】
このように、冷却水流入口10及び冷却水流出口11にステンレス製の配管を直接に接続しないのは、冷却手段CM側の銅製の配管と冷却水供給側のステンレス製の配管とを接触させると、いわゆる電触が発生してしまうためである。
この観点から、パイプ部材6の配管中の管継手12や、冷却水流入口10及び冷却水流出口11の継手は全て黄銅製であり、又、中継配管21と供給側配管22とを接続する管継手23はステンレス製のものを使用している。
更に、中継配管21の樹脂パイプの長さは、1mm以上で3000mm以下であることが望ましく、冷却水の電気伝導率は、1μS/cm以上であることが望ましい。
【0019】
〔別実施形態〕
以下、本発明の別実施形態を列記する。
(1)上記実施の形態では、平板状のランプ支持部材5に低圧水銀ランプ1の保持部1aを直接的に取り付け固定する場合を例示しているが、ランプ支持部材5の一部としてスペーサを備えてそのスペーサを介して保持部1aを取り付けるように構成しても良い。
【0020】
(2)上記実施の形態では、第1冷却部C1ではパイプ部材6をランプ支持部材5に直接押圧し、第2冷却部C2ではパイプ部材6をランプ支持部材5に連設するパイプ受け部材15に押圧する構成を例示しているが、第1冷却部C1及び第2冷却部C2の両方においてパイプ部材6をランプ支持部材5に直接押圧するように構成しても良いし、第1冷却部C1及び第2冷却部C2の両方において、ランプ支持部材5に連設する部材にパイプ部材6を押圧するように構成しても良い。
【0021】
(3)上記実施の形態では、本発明の紫外線照射装置を洗浄装置に備える場合を例示しているが、殺菌装置等の種々の用途に適用できる。
(4)上記実施の形態では、熱伝導用の充填部材として放熱用グリースを例示しているが、エポキシ樹脂(極力熱伝導率の高いものを選択)や放熱用シリコンシート等の種々の充填部材を用いることができる。
【0022】
【発明の効果】
上記請求項1記載の構成によれば、冷却手段にて冷却されるランプ支持部材に低圧水銀ランプの保持部を取り付けてその保持部を冷却するのみならず、ランプ支持部材が放電管部から放出される熱に対しても冷却作用するので、低圧水銀ランプを冷却するための構成を簡素化することができる。
しかも、冷却手段の直接の冷却対象であるランプ支持部材を単純な形状として低コスト化を図ると共に、冷却手段の直接の冷却対象をランプ支持部材とすることで、紫外線等の悪影響をランプ支持部材の存在によって遮ることが可能となるので、冷却手段の紫外線対策の負担が緩和される。
もって、紫外線照射装置の装置コストを可及的に低減できるに至った。
【0023】
又、冷却液の流路を形成するパイプ部材をランプ支持部材に対して冷却作用するように固定する構成として構成の簡素化を図る場合において、固定手段にてパイプ部材を固定しても、ランプ支持部材に取り付けた低圧水銀ランプの保持部に対する冷却効果は必ずしも十分ではなく、パイプ部材とランプ支持部材側との接触箇所の隙間に熱伝導用の充填部材を充填することで、低圧水銀ランプの保持部に対する冷却効果が飛躍的に改善するという知見に基づいて、前記充填部材を利用して紫外線照射装置を構成することで、ランプ支持部材及び冷却手段を簡素な構成としながら、十分な冷却効果が得られるものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の断面図
【図2】本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の底面図
【図3】本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の平面図
【図4】本発明の実施の形態にかかる要部拡大図
【図5】本発明の実施の形態にかかる要部拡大図
【図6】従来の紫外線照射装置の断面図
【符号の説明】
1 低圧水銀ランプ
1a 保持部
1b 放電管部
5 ランプ支持部材
6 パイプ部材
CM 冷却手段
PS 固定手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultraviolet irradiation device including a low-pressure mercury lamp in which a discharge tube portion is held by a holding portion.
[0002]
[Prior art]
Such an ultraviolet irradiation device is used for various applications such as sterilization and washing by using ultraviolet rays emitted from a low-pressure mercury lamp.
The low-pressure mercury lamp used in this ultraviolet irradiation device cools the holding part that holds the discharge tube part so that the mercury vapor pressure in the discharge tube becomes an appropriate vapor pressure during light emission operation, and near the attachment part of the holding part It is necessary to store mercury condensed in liquid form in the discharge tube.
Also, the discharge tube portion of the low-pressure mercury lamp also requires some cooling means because the surface of the discharge tube becomes as high as 100 ° C. to several hundred ° C.
[0003]
In order to cool the low-pressure mercury lamp in this way, conventionally, as schematically shown in FIG. 6, the
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional configuration, it is necessary to process and form a hollow container or a square pipe with stainless steel.
This invention is made | formed in view of this situation, The objective is to reduce the apparatus cost of an ultraviolet irradiation device as much as possible.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In the ultraviolet irradiation apparatus provided with the low pressure mercury lamp which hold | maintained the discharge tube part in the holding | maintenance part by providing the structure of the said
That is, not only the holding part of the low-pressure mercury lamp is attached to the lamp supporting member cooled by the cooling means to cool the holding part, but also the lamp supporting member cools the heat released from the discharge tube part. Therefore, the configuration for cooling the low-pressure mercury lamp can be simplified.
[0006]
In addition, the lamp support member, which is the direct cooling target of the cooling means, has a simple shape to reduce costs, and the direct cooling target of the cooling means is used as the lamp support member, so that adverse effects such as ultraviolet rays can be prevented. It is possible to block by the presence of, and the burden of countermeasures against ultraviolet rays on the constituent materials of the cooling means and the like is eased.
Therefore, the apparatus cost of the ultraviolet irradiation device can be reduced as much as possible.
[0007]
Further, as a cooling means for cooling the lamp support member to which the low-pressure mercury lamp is attached, from the viewpoint of simplifying the shape of the lamp support member itself as much as possible, the cooling liquid can be used rather than forming the coolant flow path in the lamp support member itself. It is more rational to fix the pipe member forming the flow path so as to cool the lamp support member, and it is not necessary to make the lamp support member resistant to the coolant. .
[0008]
However, according to the experiment of the inventor of the present invention, even if the pipe member is fixed by the fixing means, the cooling effect on the holding portion of the low-pressure mercury lamp attached to the lamp support member is not necessarily sufficient. It has been found that the cooling effect on the holding part of the low-pressure mercury lamp is drastically improved by filling the gap between the contact points with the support member side with a filling member for heat conduction.
Accordingly, a sufficient cooling effect can be obtained while the lamp support member and the cooling means are simply configured.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment in which the ultraviolet irradiation device of the present invention is applied to an ultraviolet cleaning device will be described with reference to the drawings.
As shown in the cross-sectional view of FIG. 1, the ultraviolet cleaning apparatus includes an object transport unit TU disposed in the lower part of the apparatus and an ultraviolet irradiation apparatus UI disposed in the upper part of the apparatus.
Although not shown, the ultraviolet irradiation device UI is configured to be able to swing open and close with one end thereof as a support shaft.
[Configuration of object to be cleaned TU]
In the present embodiment, a
[0010]
[Schematic configuration of UV irradiation device UI]
The ultraviolet irradiation device UI includes a low-
The low-
The flat
[0011]
[Configuration of cooling means CM]
The cooling means CM is configured to cool an area facing the
Both the first cooling unit C1 and the second cooling unit C2 cool the surface of the
[0012]
As shown in FIG. 3, the
The bending shape of the
[0013]
The fixing means PS presses and fixes the straight path portion of the
The pressing structure of the
When the first pressing
More specifically, in the present embodiment, a heat radiating grease such as silicon grease is used as the filling member, and the heat radiating grease is used as the outer periphery of the
[0014]
On the other hand, in the second cooling section C2, as shown in FIG. 5 showing an enlarged cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. The
When the second pressing
[0015]
More specifically, in the present embodiment, as in the first cooling unit C1, heat dissipating grease such as silicon grease is used as the filling member, and the outer periphery of the
Thus, in the second cooling unit C2, the
[0016]
Next, the cooling capacity of the cooling means CM configured as described above will be described.
In the above configuration, when the flow rate of the cooling water at 20 ° C. is set to 6.5 L / min and the low-
On the other hand, in the above configuration, when the cooling means CM is configured without applying the heat-dissipating grease, the temperature near the holding
For reference, in the configuration of the cooling means CM, the low
As described above, the gap is made into heat-dissipating grease while reducing the cost of the apparatus with a simple configuration in which the copper pipe serving as the flow path of the cooling water is pressed against the anodized aluminum plate or a member connected thereto. Thus, it is possible to provide an ultraviolet irradiation device UI that can improve the cooling effect on the low-
[0017]
Next, a configuration for supplying cooling water to the cooling means CM will be described.
As a cooling water supply source, for example, a cooling water supply facility in a factory is used. As shown in FIG. 3, after adjusting the flow rate of the cooling water supplied from the cooling water supply facility with a
In this cooling water flow path, a
[0018]
As described above, the stainless steel pipe is not directly connected to the cooling
From this point of view, the pipe joint 12 in the pipe of the
Furthermore, the length of the resin pipe of the
[0019]
[Another embodiment]
Hereinafter, other embodiments of the present invention will be listed.
(1) In the above embodiment, the case where the holding
[0020]
(2) In the above embodiment, the
[0021]
(3) In the above embodiment, the case where the cleaning apparatus is equipped with the ultraviolet irradiation device of the present invention is illustrated, but it can be applied to various uses such as a sterilization apparatus.
(4) In the above embodiment, the heat dissipating grease is exemplified as the heat conducting filling member, but various filling members such as epoxy resin (selecting one having as high thermal conductivity as possible) and a heat dissipating silicon sheet are used. Can be used.
[0022]
【The invention's effect】
According to the configuration of the first aspect, not only the holding part of the low-pressure mercury lamp is attached to the lamp supporting member cooled by the cooling means to cool the holding part but also the lamp supporting member is discharged from the discharge tube part. Since it also cools the generated heat, the configuration for cooling the low-pressure mercury lamp can be simplified.
In addition, the lamp support member, which is the direct cooling target of the cooling means, has a simple shape to reduce costs, and the direct cooling target of the cooling means is used as the lamp support member, so that adverse effects such as ultraviolet rays can be prevented. Therefore, the burden on the cooling means against ultraviolet rays can be reduced.
Therefore, the apparatus cost of the ultraviolet irradiation device can be reduced as much as possible.
[0023]
Further, in the case of simplifying the configuration in which the pipe member forming the coolant flow path is fixed to the lamp support member so as to cool, the lamp member can be fixed even if the pipe member is fixed by the fixing means. The cooling effect on the holding part of the low-pressure mercury lamp attached to the support member is not always sufficient. By filling the gap between the contact points between the pipe member and the lamp support member side with a heat conduction filling member, Based on the knowledge that the cooling effect on the holding part is drastically improved, by configuring the ultraviolet irradiation device using the filling member, a sufficient cooling effect can be achieved while the lamp support member and the cooling means are simply configured. Was obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of an ultraviolet irradiation device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a bottom view of the ultraviolet irradiation device according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is an enlarged view of a main part according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is an enlarged view of a main part according to an embodiment of the present invention. Explanation of]
DESCRIPTION OF
Claims (1)
前記放電管部に沿うように配置される平板状のランプ支持部材に前記保持部が取り付けられ、
前記ランプ支持部材における前記放電管部及び前記保持部と対向する領域を冷却する冷却手段が設けられ、
前記冷却手段は、前記ランプ支持部材における前記保持部の取り付け面と反対側の面に対して冷却作用するように、冷却液の流路を形成するパイプ部材と、前記ランプ支持部材又は前記ランプ支持部材に連設する部材に前記パイプ部材を固定する固定手段とが備えられると共に、
前記パイプ部材と前記ランプ支持部材又は前記ランプ支持部材に連設する部材との間の隙間に熱伝導用の充填部材が充填されて構成されている紫外線照射装置。 An ultraviolet irradiation device equipped with a low-pressure mercury lamp that holds a discharge tube part in a holding part,
The holding part is attached to a flat lamp support member arranged along the discharge tube part,
The lamp cooling means for cooling the area facing the discharge tube portion and said holding portion of the support member is provided, et al is,
The cooling means includes a pipe member that forms a flow path for cooling liquid so as to cool the surface of the lamp support member opposite to the mounting surface of the holding portion, and the lamp support member or the lamp support. A fixing means for fixing the pipe member to a member connected to the member; and
An ultraviolet irradiation device configured such that a gap between the pipe member and the lamp support member or a member connected to the lamp support member is filled with a heat conduction filling member .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002058136A JP4029380B2 (en) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | UV irradiation equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002058136A JP4029380B2 (en) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | UV irradiation equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003255098A JP2003255098A (en) | 2003-09-10 |
JP4029380B2 true JP4029380B2 (en) | 2008-01-09 |
Family
ID=28668178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002058136A Expired - Fee Related JP4029380B2 (en) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | UV irradiation equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4029380B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5023436B2 (en) * | 2005-04-01 | 2012-09-12 | オムロン株式会社 | UV irradiation equipment |
JP5678788B2 (en) * | 2011-04-21 | 2015-03-04 | 岩崎電気株式会社 | UV lamp device |
JP6221550B2 (en) * | 2013-09-19 | 2017-11-01 | 岩崎電気株式会社 | Light irradiation device |
JP6364953B2 (en) * | 2014-05-23 | 2018-08-01 | 岩崎電気株式会社 | Cooling structure and light source unit |
JP2017164223A (en) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 国立大学法人 大分大学 | Ray irradiation treatment apparatus |
-
2002
- 2002-03-05 JP JP2002058136A patent/JP4029380B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003255098A (en) | 2003-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103518257B (en) | Substrate processing device | |
JP5471514B2 (en) | Light processing equipment | |
US20100307686A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP4029380B2 (en) | UV irradiation equipment | |
JP6076631B2 (en) | Heater unit and heat treatment apparatus | |
US20100096110A1 (en) | Methods and apparatus for recovering heat from processing systems | |
JP2023078154A (en) | Organic film forming device | |
US7896526B2 (en) | Light source for endoscopy or microscopy | |
TW201237508A (en) | Liquid crystal panel manufacturing apparatus and method for manufacturing the liquid crystal panel | |
TWI332672B (en) | ||
TWM486508U (en) | Heating unit and vacuum welding machine including the same | |
TWI510662B (en) | A substrate processing system | |
JP4710255B2 (en) | Heating stage | |
JP3680577B2 (en) | Resist removal cleaning method and apparatus | |
TWI537083B (en) | Heating unit and vacuum welding machine including the same | |
JP2018129413A (en) | Light irradiator and light irradiation device | |
KR20170078890A (en) | Electrostatic chuck constructed to improved temperature uniformity | |
JP2009211870A (en) | Light source for ultraviolet ray irradiation | |
JP2001225067A (en) | Ultraviolet irradiation apparatus | |
JP4632316B2 (en) | Plasma processing equipment | |
KR200478829Y1 (en) | Portable UV curing apparatus having a function of cooling | |
JP4157785B2 (en) | Plasma processing equipment | |
WO2002059048A1 (en) | Ultraviolet ray liquid processing device | |
JP4337552B2 (en) | Heating unit | |
JP2022068443A (en) | Ultraviolet irradiation device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050217 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20051213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070704 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070830 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070921 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131026 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |