JP4019561B2 - Evaluation method and design method of magnetic recording medium - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピューター等の情報処理装置の外部記録装置として用いられるハードディスク装置に用いて好適な磁気記録媒体の評価手法および設計方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
周知のように、ハードディスク装置には、薄い円板状の磁気記録媒体(ディスク)が用いられている。この装置においては、使用時にはディスクが回転し、その風圧により磁気記録ヘッドが浮上し、停止時にはディスクの回転も停止し、それに伴って磁気記録ヘッドは記録媒体と接触状態となるという、いわゆるCSS(Contact start and stop方式)が、採用されている。
【0003】
この制御方式では、停止時には磁気記録ヘッドと記録媒体との吸着を防止する必要がある。また、回転の立ち上がり時には、磁気記録ヘッドが記録媒体上を摺動しながら浮上するが、この際の摩擦係数の低減を図り信頼性を確保する必要がある。そのために、記録媒体表面には意図的にあるコントロールされた粗さを機械的に付与したり、レーザーによる加工やリソグラフィにより微細な凹凸を付与している。前記磁気記録ヘッドと記録媒体との吸着力が記録媒体を回転させるモーターのトルク以上である場合は、当然ドライブは動作しない。また、磁気記録ヘッドと記録媒体とが摺動する時の摩擦係数が高すぎる場合、CSSサイクルを繰り返していくと、磁気記録ヘッドがクラッシュする危険性がある。
【0004】
近年、高記録密度媒体においては、磁気記録および読み取り精度を向上させるために、磁気記録ヘッドの記録媒体からの浮上寸法を低減化する努力が続けられている。このような磁気記録ヘッドの低浮上化を可能とするために、極めて粗さの小さな平滑な表面と上記のCSSを行う領域にのみレーザーで凹凸を形成している。このような記録媒体は、レーザーゾーンテクスチャー(LZT)記録媒体と呼称され、磁気記録媒体における最近の主流となっている。なお、前記凹凸の凸部はバンプと呼称されている。
【0005】
前述のLZT記録媒体において、吸着性やCSS耐久性と関係する制御因子としては、バンプ高さ、バンプのピッチ、バンプ密度が議論されている。その中でも磁気記録ヘッドと記録媒体との間の摩擦係数やCSS耐久性との関係は、主にバンプ高さ、バンプピッチで規定されていることが多い。しかし、バンプ高さやバンプピッチ以外に前記制御因子として考えられるものに、バンプ先端の形状や曲率半径の寸法を上げることができる。ところが、従来、これらの制御因子と、前述の摩擦係数、吸着性、CSS耐久性との関係については、定量的な議論は皆無に等しかった。
【0006】
従来のバンプ高さやバンプ密度という制御因子を用いてLZT記録媒体を設計しようとした場合、個々の設計仕様が異なる磁気記録ヘッドに対しては、前記制御因子と吸着性やCSS耐久性との関係を上手く捉えられないという問題がある。そのため、経験的、試行錯誤的にレーザーゾーンテクスチャーにおけるバンプ設計を行わざるを得ず、その結果、記録媒体の良好な設計を行うための吸着性やCSS耐久性の検討に多大な時間を要するという問題があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、前記従来の問題点を解決し、磁気記録ヘッドとの間に生じる吸着性やCSS耐久性を効果的に改善した磁気記録媒体の評価手法および設計方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前述の課題を達成するために鋭意実験、検討を重ねたところ、以下の知見を得るに至った。
【0009】
記録媒体と磁気記録ヘッドのスライダー面との接触面積は、磁気記録媒体表面にレーザー等により形成された円形メサ形バンプの先端の円形平坦な部分(以下、バンプ先端と記す)の半径から、近似的に算出される。そして、記録媒体における単位面積当たりの前記近似接触面積を所定の値以下とすれば、停止時に磁気記録ヘッドと記録媒体との間に生じる吸着を駆動開始を阻害しない好適な範囲に設定することができる。そして、このような記録媒体における単位面積当たりの近似接触面積の制御は、レーザーバンプの先端曲率半径の値とバンプ密度の値とを適宜組み合わせることにより達成される。
【0010】
一方、CSS耐久性については、例え、バンプ密度が同じ場合であっても、磁気記録ヘッドのスライダーの最小幅に対応するバンプの個数により著しい差が認められる。そして、高いCSS耐久性は、磁気記録ヘッドのスライダーの最小幅に対応するバンプの個数を所定の値以上にすることにより達成される。
【0011】
本発明は、前記知見に基づいて成されたものである。すなわち、本発明にかかる磁気記録媒体の評価手法は、非磁性基板上に順次Ni−P層,中間層,磁性層,保護膜が形成され、前記保護膜上に潤滑剤層が形成されてなる円板状の磁気記録媒体の評価手法であり、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域における前記Ni−P層上に複数の微細な円形クレーター状のバンプが形成されており、該バンプの直径をr、該バンプ先端の曲率半径をRc、該バンプの単位面積1mm2あたりの密度をDとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ1個あたりの近似接触面積を(π×r×Rc)として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積1mm2あたりの近似接触面積(π×r×Rc×D)を求めることを特徴とする。
【0012】
また、本発明の磁気記録媒体の設計方法は、非磁性基板上にNi−P層,中間層,磁性層,保護膜を成膜し、潤滑剤をコートして、円板状の磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の設計方法であり、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域に対応した領域の前記Ni−P層上に、レーザー加工により円形クレーター状の微細な複数のバンプを形成する際に、該バンプの直径をr、該バンプ先端の曲率半径をRc、該バンプの単位面積1mm2あたりの密度をDとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ1個あたりの近似接触面積を(π×r×Rc)として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積1mm2あたりの近似接触面積(π×r×Rc×D)がある一定値以下となるように、前記バンプを形成することを特徴とする。
【0013】
本発明の設計方法では、前記ある一定値が、0.55mm 2 であることが好ましい。さらに、前記ある一定値が、0.45mm 2 であることがより好ましい。また、前記ある一定値が、0.28mm 2 であることがさらに好ましく、前記ある一定値が、0.25mm 2 であることが特に好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明は、磁気記録媒体の評価手法および設計方法に関する。具体的には、以下の通りである。
【0015】
本発明にかかる磁気記録媒体の評価手法は、非磁性基板上に順次Ni−P層,中間層,磁性層,保護膜が形成され、前記保護膜上に潤滑剤層が形成されてなる円板状の磁気記録媒体の評価手法である。この評価手法では、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域における前記Ni−P層上に複数の微細な円形クレーター状のバンプが形成されており、該バンプの直径をr、該バンプ先端の曲率半径をRc、該バンプの単位面積1mm 2 あたりの密度をDとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ1個あたりの近似接触面積を(π×r×Rc)として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積1mm 2 あたりの近似接触面積(π×r×Rc×D)を求めることを特徴とする。
【0016】
さらに本発明は、磁気記録媒体の設計方法に関する。この設計方法は、非磁性基板上にNi−P層,中間層,磁性層,保護膜を成膜し、潤滑剤をコートして、円板状の磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の設計方法である。この方法では、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域に対応した領域の前記Ni−P層上に、レーザー加工により円形クレーター状の微細な複数のバンプを形成する際に、該バンプの直径をr、該バンプ先端の曲率半径をRc、該バンプの単位面積1mm 2 あたりの密度をDとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ1個あたりの近似接触面積を(π×r×Rc)として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積1mm 2 あたりの近似接触面積(π×r×Rc×D)がある一定値以下となるように、前記バンプを形成することを特徴とする。
【0017】
本発明の設計方法では、前記ある一定値が、0.55mm 2 であることが好ましい。さらに、前記ある一定値が、0.45mm 2 であることがより好ましい。また、前記ある一定値が、0.28mm 2 であることがさらに好ましく、前記ある一定値が、0.25mm 2 であることが特に好ましい。
【0022】
(作用)
本発明によれば、レーザーバンプの先端曲率半径から算出されるレーザーバンプとヘッドスライダー面との近似接触面積を所定の値以下とすることにより低い摩擦係数を得ることが出来ることが実験の結果見出され、耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【0023】
また、通常ヘッドは一つの機種に対し複数のヘッドメーカーのデザインが異なるヘッドが使用されることが多く、それぞれのヘッドに対するレーザーバンプのバンプ高さや密度などの最適値を見出すため、膨大な数のCSS試験をする必要があり、多大な時間を要していた。しばしばヘッドのデザインは媒体開発の当初明らかになっていない場合が多い。このようなヘッドのデザインが既知でない場合においても、本発明は先端曲率半径から算出されるCSSゾーンの単位面積1mm2当たりの近似接触面積を0.55mm2以下、好ましくは0.45mm2以下とすることにより、レーザーバンプや密度を設計するための指針を示し、低い摩擦係数を有する耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【0024】
本発明によれば、ヘッドのスライダーデザインが既知の場合スライダー面に対する近似接触面積を規定することにより、より精度高く好ましいレーザーバンプとバンプ密度を選択することが出来、耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【0025】
一方、スライダーの幅の最小部分の幅に対するバンプの個数が2個以上、好ましくは3個以上配置することにより、媒体にとってもう一方の重要な特性であるCSS耐久性を向上させることが出来ることが実験の結果判明した。スライダーの幅の最小部分の幅に対するバンプの個数を規定した本発明によれば、CSS耐久性に優れた磁気記録媒体を提供することが出来る。
【0026】
【実施例】
以下に本発明の実施例および比較的について説明する。
【0027】
図1は、本発明の一実施例と比較例を説明するために示した磁気記録媒体の断面図である。図中、符号1はアルミニウム合金基板(非磁性基板)、2はNi−Pメッキ層,3はCrまたはCr合金からなる中間層(下地層)、4はCo合金磁性層、5はカーボン系保護膜、6は潤滑層から構成されている。
【0028】
アルミニウム合金基板1の上に約10μmのNi−Pメッキ層2を施し、このメッキ層2の表面をポリッシュ加工してRa10Åの表面粗さとした。その後、1μmサイズのダイヤスラリーで円周方向にテクスチャー加工を行い、表面粗さRa13Åの仕上げ面とした。
【0029】
続いて、このメッキ層2上に、図2(a)に示すように、半径位置r16〜r20のリング状のCSS領域内に、IBM製のレーザー加工装置を用いて、レーザーバンプを形成した。その際、半径方向のレーザービームの送りを調整することにより、図2(b)に示すように、半径方向のバンプピッチ(以下、Prと記す)を可変させた。同様に、レーザーの発振周波数と基板の回転数を調整することにより、各種の円周方向のバンプピッチ(以下、Pθと記す)を可変させた。さらに、レーザービーム径、レーザーパワーとレーザー発振周波数の組み合わせを調整することにより、バンプ径およびバンプ高さを可変させた。このようにして、下記の実施例および比較例に示すような、各種の試料を作製した。図3(a)(b)に形成されたバンプ形状の断面の代表例の測定結果を示した。レーザーパワーとレーザー発振周波数の組み合わせにより、図3(a)に示すようなV型や図3(b)に示すようなW型と呼ばれるバンプ形状を作製することができる。
【0030】
前述のようにしてレーザーバンプをNiPメッキ層2上に形成した後、このNiPメッキ層2上に、順次、Cr合金中間層3、Co合金磁性層4、カーボン系保護膜4をスパッタ法にて成膜し、保護膜4上に、さらにパーフルオロアルキルエーテル潤滑剤Z−Dolをディップ法で17Å塗布し、潤滑剤とカーボン膜の密着性を高めるための120℃、1時間の加熱処理を行って、潤滑層6を形成した。このようにして、下記のような実施例および比較例の磁気記録媒体を作製した。
【0031】
なお、レーザー加工を行うCSS領域は、ドライブの機種により変わりうる。また、上記作製工程において、メッキ後のポリッシュ加工した表面に直接レーザー加工し、その後のテクスチャー加工しても良い。または、テクスチャー加工を省き、直接レーザー加工を行い、その後、そのままスパッタ成膜を行ってもかまわない。
【0032】
前述の手順により作製した試料は、AFMにてバンプ高さの測定を行い、図3に示すAFM断面形状のバンプ先端部分に対し2次曲線でフィッティングを行って、先端曲率半径を求めた。
【0033】
それぞれスライダー部分の設計仕様が異なる3社の磁気記録ヘッドを使用して、単板CSSテスターによるCSS(Contact start and stop)テストを行った。初期Break awayトルクと、CSS20k回後に24時間放置した後のBreak awayトルクとを測定した。単板CSSテスターは、Lotus社のModel7200を用い、CSSテストは、図4に示すようなドライブでのCSS動作に近づけるための定常回転に入ったところでseek動作が入るというシーケンスで行った。一方、実際のドライブ(以下、HDDと記す)でのCSSも実施し、耐久性の評価を行った。
【0034】
Pr/Pθを30/30μmに固定し、バンプ径およびバンプ高さを変化させ、バンプの先端曲率半径を変化させた実施例および比較例と、Pr/Pθが30/30μm以外のバンプピッチの比較例とを、表1にまとめた。
【0035】
(実施例1−1)
上記の構成において、表1に示すように、バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/30μmとし、バンプ径は4μm、バンプ高さを160Åとした。バンプの先端半径は、バンプ径とバンプ高さに依存する関係が認められ、この場合のバンプの先端半径は18μmであった。
【0036】
(実施例1−2)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/30μmとし、バンプ径は6μm、バンプ高さを220Åとした。この場合のバンプの先端半径は20μmであった。
【0037】
(実施例1−3)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/30μmとし、バンプ径は6μm、バンプ高さを190Åとした。この場合のバンプの先端半径は25μmであった。
【0038】
(比較例1−1)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/30μmとし、バンプ径は6μm、バンプ高さを160Åとした。この場合のバンプの先端半径は35μmであった。
【0039】
(比較例1−2)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/30μmとし、バンプ径は6μm、バンプ高さを130Åとした。この場合のバンプの先端半径は53μmであった。
【0040】
(比較例1−3)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=64/64μmとし、バンプ径は10μm、バンプ高さを250Åとした。この場合のバンプの先端半径は75μmであった。
【0041】
(比較例1−4)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=40/70μmとし、バンプ径は10μm、バンプ高さを220Åとした。この場合のバンプの先端半径は80μmであった。
【0042】
次に、バンプ高さを概ね190Åと固定し、Pr,Pθを変化させ、バンプ密度を変化させて、試料を作製した実施例,比較例を表2に示す。
【0043】
(実施例2−1)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=60/60μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0044】
(実施例2−2)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=40/40μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0045】
(実施例2−3)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=35/35μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0046】
(実施例2−4)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=30/40μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0047】
(実施例2−5)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。この場合のみバンプ形状はW型とし、Pr/Pθ=32/135μmとし、バンプ径は15μm、バンプ高さは230Åとした。この場合のバンプの先端半径は18.5μmであった。
【0048】
(比較例2−1)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=20/40μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0049】
(比較例2−2)
実施例1−1と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はV型でPr/Pθ=20/20μmとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例1−3と同様にそれぞれ6μmと190Åにした。
【0050】
また、図5および図6は、前記実施例1−1,1−2,1−3、および比較例1−1,1−2についてHeadA,B,Cに対するCSSテストを行った結果を示したグラフである。図5はCSSテストを行う初期のBreak awayトルクをプロットしたグラフであり、図6はCSSを20k回行った後に24時間放置した後のBreak awayトルクをプロットしたものである。これらの結果からわかるように、バンプピッチすなわちバンプ密度が同じ試料に対して、バンプの先端曲率半径が35μmを超えるあたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【0051】
なお、バンプ先端の曲率半径は、バンプ径とバンプ高さの両方に依存する関係を持ち、同じバンプ径であればバンプ高さが高い方が先端曲率半径が小さい値を示す。したがって、実施例1−1と比較例1−1と比べてわかるように、バンプ高さが同じであれば、バンプ径が小さい方がバンプ先端の曲率半径が小さい値を示すことが分かる。
【0052】
図7、図8は、実施例1−3、実施例2−1,2−2,2−3,2−4、および比較例2−1,2−2におけるバンプ径とバンプ高さを同じにするとともに、バンプピッチを変動させることによりバンプ密度を変化させた記録媒体試料に対して、A社製の磁気記録ヘッドでCSSテストを行った結果を示すグラフである。図7は初期Break awayトルク測定結果を示し、図8はCSSを20k回行った後に24時間放置した後のBreak awayトルク測定結果を示している。この場合、バンプ密度がバンプピッチPr/Pθ=20/40に対応する1250ドット/mm2あたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【0053】
図9および図10は、上記図5、図6に示した実施例1−1,1−2,1−3、および比較例1−1,1−2、並びに上記図7、図8に示した実施例2−1,2−2,2−3,2−4、および比較例2−1,2−2の結果に、さらに実施例2−5、比較例1−3,1−4の結果を加え、これらの全てのCSS結果を、バンプ密度(D:ドット/mm2)およびバンプ径(r)とバンプ先端の曲率半径(Rc)から算出した単位面積当たりの近似接触面積(=Rc×πr×D)に対して、グラフにまとめたものである。比較例1−1(バンプピッチPr/Pθ=30/30μm、バンプ径6μm、B.H160Å、この時バンプ先端曲率半径は35μmで、単位面積当りの近似接触面積は0.733mm2/mm2)と、比較例2−2(バンプピッチPr/Pθ=20/40μm、バンプ径6μm、B.H190Å、この場合バンプ先端曲率半径は25μmで、単位面積当たりの近似接触面積は0.589mm2/mm2)のあたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【0054】
従って、レーザーゾーン単位面積当たりの近似接触面積は、0.55mm2/mm2以下、好ましくは0.45mm2/mm2以下が望ましいことがわかる。
【0055】
表3に、磁気記録ヘッドA,B,Cのスライダーの最小部の幅とスライダー面積(S)を示す。使用される磁気記録ヘッドが既知の場合には、バンプ密度とバンプ先端の曲率半径およびスライダー面積とから、スライダーとレーザーバンプが接触する面積(=Rc×πr×D×S)を見積もることができる。実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドA,B,Cのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図9および図10をプロットし直したものが、図11および図12である。
【0056】
スライダーの形状や面積が異なる磁気記録ヘッドA,B,CについてBreak awayトルクは概ね一つのラインにのり、接触面積が0.3mm2以上になる辺りからCSS20k回+24時間放置後のBreak awayトルクが高まることがわかる。CSS+放置後のBreak awayトルクを良好なレベルを確保するためには、接触面積は0.28mm2以下、好ましくは0.25mm2以下が望ましい。
【0057】
表4は、表1と表2に示した実施例および比較例についての測定項目と、半径方向のピッチ(Pr)とCSS耐久性との関係を明らかにするため、各ヘッドのABSの最小幅に対応するバンプ個数に着目して、表1と表2とを統合再整理したものである。
【0058】
HDD CSSの結果を表5に示す。HDD CSSは、常温,常湿下で40k回行い、終了後の起動電流と記録媒体の損傷の有無の確認を行った。その結果、磁気記録ヘッドのABS最小幅に対応するバンプの個数が2個未満の場合、明らかにクラッシュする確率が高まる。クラッシュを起こさないためには、磁気記録ヘッドのABSの最小幅に対して少なくとも2個以上のバンプが必要であり、好ましくは2.5個以上が望ましい。
【0059】
その理由は、以下のように考察される。CSS動作では、記録媒体(ディスク)がある回転数以上になると、その風圧により磁気記録ヘッドは完全に浮上する。しかし、その回転数以下のところでは、磁気記録ヘッドは、記録媒体上を摺動または断続的に衝突する状態となっている。すなわち、この場合、記録媒体上のレーザーバンプは、磁気記録ヘッドによる摩擦・摩耗や衝突によるストレスを受けている。ストレスに対する耐久性が不十分な場合、摩耗したり、膜破壊を起こしたりといったクラッシュ状態に至る。このストレスは、バンプの個数が多ければ、それら複数のバンプに分散することができ、耐久性を上げることができることになる。一方、磁気記録ヘッドのスライダーには、通常、クラウン形状が付与されていて、バンプに接触するのは磁気記録ヘッドの進行方向の一部であり、実質的に接触して磁気記録ヘッドの荷重が集中する部分は、スライダー(ABS)の最も幅の狭い部分と考えられる。したがって、スライダーの最小幅に対応する記録媒体の半径方向に存在する個数のバンプで衝突エネルギーが分散されると考えられ、そのようなバンプ数としては、前述のように、少なくとも2個以上必要であり、好ましくは2.5個以上が望ましいことになる。
【0060】
以上を総合すると、吸着性の観点から、レーザーゾーンの単位面積当たりの近似接触面積は、0.55mm2/mm2以下が要求される。また、実際に磁気記録ヘッドのABSの面積が既知の場合、記録媒体上のレーザーバンプと磁気記録ヘッドのABSとの接触面積は、0.28mm2以下とする必要がある。一方、CSS耐久性の面からは、磁気記録ヘッドのABSの最小幅に対して少なくとも2個以上のバンプが必要と結論される。
【0061】
【表1】
【0062】
【表2】
【0063】
【表3】
【0064】
【表4】
【0065】
【表5】
【0066】
【発明の効果】
上記実施例から明らかなように、本発明によれば、従来、試行錯誤的に多くの時間を要していたレーザーゾーンテクスチャーによる記録媒体上のバンプ高さやバンプ密度、バンプピッチの決定について系統的な指針を与えることができ、耐吸着性ならびに耐摩耗性に優れた高い信頼性を有する磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気記録媒体の部分断面図である。
【図2】本発明の実施例を説明するためのもので、(a)は円板状の記録媒体上のレーザーバンプ形成領域を示す平面図であり、(b)は(a)のレーザーバンプを形成した部分の拡大図である。
【図3】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上に形成したレーザーバンプの断面形状を測定したグラフであり、(a)はV型のレーザーバンプの断面形状を示し、(b)はW型のレーザーバンプの断面形状を示している。
【図4】本発明の実施例の記録媒体に対するCSSテストのシーケンスパターン図である。
【図5】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ先端の曲率半径とCSS初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図6】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ先端の曲率半径と経時後のCSSBreak awayトルクの関係を示すグラフである。
【図7】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ密度とCSS初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図8】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ密度とCSS経時後Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図9】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上の単位面積あたりのレーザーバンプとヘッドスライダーの接触面積とCSS初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図10】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上の単位面積あたりのレーザーバンプとヘッドスライダーの接触面積とCSS経時後Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図11】本発明の実施例を説明するためのもので、本発明の実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドA,B,Cのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図9のグラフをプロットし直したグラフである。
【図12】本発明の実施例を説明するためのもので、本発明の実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドA,B,Cのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図10のグラフをプロットし直したグラフである。
【符号の説明】
1 非磁性基板
2 Ni−Pメッキ層
3 Cr下地層
4 Co合金磁性層
5 カーボン系保護膜
6 液体潤滑層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording medium suitable for use in a hard disk device used as an external recording device of an information processing apparatus such as a computer.Evaluation methodanddesignIt is about the method.
[0002]
[Prior art]
As is well known, a thin disk-shaped magnetic recording medium (disk) is used in a hard disk device. In this apparatus, the disk rotates during use, the magnetic recording head floats by the wind pressure, and the disk also stops rotating when stopped, and the magnetic recording head is brought into contact with the recording medium. Contact start and stop method) is adopted.
[0003]
In this control method, it is necessary to prevent the magnetic recording head and the recording medium from being attracted when stopped. Further, at the start of rotation, the magnetic recording head floats while sliding on the recording medium. However, it is necessary to reduce the friction coefficient at this time to ensure reliability. For this purpose, the recording medium surface is intentionally mechanically imparted with a controlled roughness, or fine irregularities are imparted by laser processing or lithography. Naturally, the drive does not operate when the attractive force between the magnetic recording head and the recording medium is equal to or greater than the torque of the motor that rotates the recording medium. Also, if the friction coefficient when the magnetic recording head and the recording medium slide is too high, there is a risk that the magnetic recording head will crash if the CSS cycle is repeated.
[0004]
In recent years, in high recording density media, efforts have been made to reduce the flying height of the magnetic recording head from the recording medium in order to improve the magnetic recording and reading accuracy. In order to make the magnetic recording head as low as possible, irregularities are formed with a laser only on a smooth surface having a very small roughness and the region where the CSS is performed. Such a recording medium is referred to as a laser zone texture (LZT) recording medium and has become the mainstream in recent years for magnetic recording media. Note that the uneven projections are called bumps.
[0005]
In the above-described LZT recording medium, bump height, bump pitch, and bump density are discussed as control factors related to adsorptivity and CSS durability. Among them, the relationship between the friction coefficient between the magnetic recording head and the recording medium and the CSS durability is often defined mainly by the bump height and bump pitch. However, in addition to the bump height and bump pitch, the shape of the bump tip and the radius of curvature can be increased to those considered as the control factors. Conventionally, however, there has been no quantitative discussion regarding the relationship between these control factors and the aforementioned friction coefficient, adsorptivity, and CSS durability.
[0006]
When an LZT recording medium is designed using conventional control factors such as bump height and bump density, the relationship between the control factor and the adsorptivity and CSS durability for magnetic recording heads with different design specifications. There is a problem that cannot be captured well. Therefore, it is necessary to empirically and trial and error to design the bump in the laser zone texture, and as a result, it takes a lot of time to study the adsorptivity and CSS durability for the good design of the recording medium. There was a problem.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to solve the above-described conventional problems and to effectively improve the adsorptivity generated between the magnetic recording head and the CSS durability.Evaluation methodanddesignIt is to provide a method.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
As a result of intensive experiments and studies to achieve the above-mentioned problems, the present inventors have obtained the following knowledge.
[0009]
The contact area between the recording medium and the slider surface of the magnetic recording head is approximated from the radius of the circular flat portion (hereinafter referred to as the bump tip) of the circular mesa bump formed on the surface of the magnetic recording medium by a laser or the like. Is calculated automatically. If the approximate contact area per unit area in the recording medium is set to a predetermined value or less, the adsorption generated between the magnetic recording head and the recording medium when stopped can be set within a suitable range that does not impede the start of driving. it can. Control of the approximate contact area per unit area in such a recording medium is achieved by appropriately combining the value of the radius of curvature of the tip of the laser bump and the value of the bump density.
[0010]
On the other hand, regarding the CSS durability, even if the bump density is the same, a significant difference is recognized depending on the number of bumps corresponding to the minimum width of the slider of the magnetic recording head. High CSS durability is achieved by setting the number of bumps corresponding to the minimum width of the slider of the magnetic recording head to a predetermined value or more.
[0011]
The present invention has been made based on the above findings. That is, the magnetic recording medium according to the present inventionEvaluation methodIs a disk-shaped magnetic recording medium in which a Ni-P layer, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective film are sequentially formed on a nonmagnetic substrate, and a lubricant layer is formed on the protective film.Evaluation methodA plurality of fine circular crater-like bumps are formed on the Ni-P layer in a region where contact start / stop is performed by a magnetic recording head used in combination with the medium of the magnetic recording medium, The diameter of the bump is r, the radius of curvature of the bump tip is Rc, and the unit area of the bump is 1 mm.2When the per-bump density is defined as D and the approximate contact area per bump between the medium surface on the bump and the slider surface of the magnetic recording head is defined as (π × r × Rc), the contact start start stop Unit area in the region where2Approximate contact area per area (π × r × Rc × D)To seekFeatures.
[0012]
The magnetic recording medium designing method of the present invention is a disk-shaped magnetic recording medium in which a Ni-P layer, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective film are formed on a nonmagnetic substrate, and a lubricant is coated. Of magnetic recording mediaDesign methodOn the Ni-P layer in a region corresponding to a region where contact, start and stop are performed by a magnetic recording head used in combination with the medium of the magnetic recording medium, a plurality of minute crater-like circular craters are formed by laser processing. The bump diameter is r, the radius of curvature of the bump tip is Rc, and the unit area of the bump is 1 mm.2When the per-bump density is defined as D and the approximate contact area per bump between the medium surface on the bump and the slider surface of the magnetic recording head is defined as (π × r × Rc), the contact start start stop Unit area in the region where2The approximate contact area (π × r × Rc × D)A certain valueThe bumps are formed as follows.
[0013]
In the designing method of the present invention, the certain constant value is 0.55 mm. 2 It is preferable that Further, the certain fixed value is 0.45 mm. 2 It is more preferable that The certain value is 0.28 mm. 2 More preferably, the certain value is 0.25 mm. 2 It is particularly preferable that.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording medium evaluation method and design method. Specifically, it is as follows.
[0015]
An evaluation method for a magnetic recording medium according to the present invention is a disk in which a Ni-P layer, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective film are sequentially formed on a nonmagnetic substrate, and a lubricant layer is formed on the protective film. Is a method for evaluating a magnetic recording medium. In this evaluation method, a plurality of fine circular crater-like bumps are formed on the Ni-P layer in a region where contact start / stop is performed by a magnetic recording head used in combination with the medium of the magnetic recording medium. The diameter of the bump is r, the radius of curvature of the bump tip is Rc, and the unit area of the bump is 1 mm. 2 The contact start / stop is defined as (π × r × Rc) where the approximate contact area per bump between the surface of the medium on the bump and the slider surface of the magnetic recording head is defined as D Unit area in the region where 2 The approximate contact area per area (π × r × Rc × D) is obtained..
[0016]
The present invention further relates to a method for designing a magnetic recording medium. This design method is a method for designing a magnetic recording medium in which a Ni-P layer, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective film are formed on a nonmagnetic substrate, and a lubricant is coated to obtain a disk-shaped magnetic recording medium. It is. In this method, a circular crater-like shape is formed by laser processing on the Ni-P layer in a region corresponding to a region where contact start / stop is performed by a magnetic recording head used in combination with the medium of the magnetic recording medium. When forming a plurality of fine bumps, the diameter of the bump is r, the radius of curvature of the bump tip is Rc, and the unit area of the bump is 1 mm. 2 The contact start / stop is defined as (π × r × Rc) where the approximate contact area per bump between the surface of the medium on the bump and the slider surface of the magnetic recording head is defined as D Unit area in the region where 2 The bumps are formed so that the approximate contact area (π × r × Rc × D) per round is less than a certain value.
[0017]
In the designing method of the present invention, the certain constant value is 0.55 mm. 2 It is preferable that Further, the certain fixed value is 0.45 mm. 2 It is more preferable that The certain value is 0.28 mm. 2 More preferably, the certain value is 0.25 mm. 2 It is particularly preferable that.
[0022]
(Function)
According to the present invention, experimental results show that a low friction coefficient can be obtained by setting the approximate contact area between the laser bump and the head slider surface calculated from the radius of curvature of the tip of the laser bump to a predetermined value or less. It is possible to provide a magnetic recording medium with excellent anti-adsorption properties.
[0023]
In addition, the heads are often used with heads with different designs from multiple head manufacturers for a single model. To find optimum values such as the bump height and density of laser bumps for each head, a huge number of heads are used. It was necessary to perform a CSS test, which required a lot of time. Often, the head design is often unclear at the beginning of media development. Even when the design of such a head is not known, the present invention provides a unit area of 1 mm for the CSS zone calculated from the tip radius of curvature.2Approximate contact area per contact is 0.55mm2Below, preferably 0.45mm2By setting the following, it is possible to provide a guide for designing the laser bump and density, and to provide a magnetic recording medium having a low friction coefficient and excellent in anti-adsorption characteristics.
[0024]
According to the present invention, when the slider design of the head is known, by specifying the approximate contact area with respect to the slider surface, it is possible to select a preferable laser bump and bump density with higher accuracy, and magnetic recording with excellent adsorption resistance characteristics Media can be provided.
[0025]
On the other hand, the CSS durability, which is another important characteristic for the medium, can be improved by arranging two or more, preferably three or more bumps with respect to the width of the minimum portion of the slider. As a result of experiment, it became clear. According to the present invention in which the number of bumps with respect to the width of the minimum portion of the slider is defined, a magnetic recording medium having excellent CSS durability can be provided.
[0026]
【Example】
Examples and comparative examples of the present invention will be described below.
[0027]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic recording medium shown for explaining one embodiment of the present invention and a comparative example. In the figure,
[0028]
An approximately 10 μm Ni—
[0029]
Subsequently, as shown in FIG. 2A, laser bumps were formed on the plated
[0030]
After the laser bump is formed on the
[0031]
In addition, the CSS area | region which laser-processes can change with the model of a drive. Further, in the above production process, the polished surface after plating may be directly laser processed and then textured. Alternatively, texture processing may be omitted, direct laser processing may be performed, and then sputter film formation may be performed as it is.
[0032]
The sample produced by the above-mentioned procedure was measured for bump height with AFM, and fitted with a quadratic curve to the bump tip portion of the AFM cross section shown in FIG. 3 to obtain the tip curvature radius.
[0033]
A CSS (Contact start and stop) test was performed by a single plate CSS tester using magnetic recording heads of three companies, each having a different design specification of the slider portion. The initial Break away torque and the Break away torque after being left for 24 hours after
[0034]
Comparison of Examples and Comparative Examples in which Pr / Pθ is fixed at 30/30 μm, bump diameter and bump height are changed, and the tip radius of curvature of the bump is changed, and bump pitches other than Pr / Pθ is 30/30 μm Examples are summarized in Table 1.
[0035]
(Example 1-1)
In the above configuration, as shown in Table 1, the bump shape was V type, Pr / Pθ = 30/30 μm, the bump diameter was 4 μm, and the bump height was 160 mm. The relationship between the bump tip radius and the bump diameter and bump height was recognized, and the bump tip radius in this case was 18 μm.
[0036]
(Example 1-2)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped, Pr / Pθ = 30/30 μm, the bump diameter was 6 μm, and the bump height was 220 mm. In this case, the tip radius of the bump was 20 μm.
[0037]
(Example 1-3)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V, Pr / Pθ = 30/30 μm, the bump diameter was 6 μm, and the bump height was 190 mm. In this case, the tip radius of the bump was 25 μm.
[0038]
(Comparative Example 1-1)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped, Pr / Pθ = 30/30 μm, the bump diameter was 6 μm, and the bump height was 160 mm. In this case, the tip radius of the bump was 35 μm.
[0039]
(Comparative Example 1-2)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped, Pr / Pθ = 30/30 μm, the bump diameter was 6 μm, and the bump height was 130 mm. In this case, the tip radius of the bump was 53 μm.
[0040]
(Comparative Example 1-3)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped, Pr / Pθ = 64/64 μm, the bump diameter was 10 μm, and the bump height was 250 mm. In this case, the tip radius of the bump was 75 μm.
[0041]
(Comparative Example 1-4)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped, Pr / Pθ = 40/70 μm, the bump diameter was 10 μm, and the bump height was 220 mm. In this case, the tip radius of the bump was 80 μm.
[0042]
Next, Table 2 shows examples and comparative examples in which samples were prepared by fixing the bump height to approximately 190 mm, changing Pr and Pθ, and changing the bump density.
[0043]
(Example 2-1)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped and Pr / Pθ = 60/60 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0044]
(Example 2-2)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped and Pr / Pθ = 40/40 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0045]
(Example 2-3)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V type and Pr / Pθ = 35/35 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0046]
(Example 2-4)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped and Pr / Pθ = 30/40 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0047]
(Example 2-5)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. Only in this case, the bump shape was W-shaped, Pr / Pθ = 32/135 μm, the bump diameter was 15 μm, and the bump height was 230 mm. In this case, the tip radius of the bump was 18.5 μm.
[0048]
(Comparative Example 2-1)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped and Pr / Pθ = 20/40 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0049]
(Comparative Example 2-2)
Sample preparation was performed in the same process as Example 1-1. The bump shape was V-shaped and Pr / Pθ = 20/20 μm. The bump diameter and bump height were set to 6 μm and 190 mm, respectively, as in Example 1-3.
[0050]
FIG. 5 and FIG. 6 show the results of performing CSS tests on Heads A, B, and C for Examples 1-1, 1-2, 1-3, and Comparative Examples 1-1, 1-2. It is a graph. FIG. 5 is a graph plotting an initial Break away torque for performing a CSS test, and FIG. 6 is a plot of a Break away torque after being left for 24 hours after performing
[0051]
The radius of curvature of the bump tip has a relationship that depends on both the bump diameter and the bump height. If the bump diameter is the same, the higher the bump height, the smaller the radius of curvature of the tip. Therefore, as can be seen in comparison with Example 1-1 and Comparative Example 1-1, it can be seen that if the bump height is the same, the smaller the bump diameter, the smaller the radius of curvature of the bump tip.
[0052]
7 and 8, the bump diameter and bump height are the same in Example 1-3, Examples 2-1, 2-2, 2-3, 2-4, and Comparative Examples 2-1, 2-2. 4 is a graph showing the result of a CSS test performed on a recording medium sample with a bump density changed by changing the bump pitch using a magnetic recording head manufactured by A company. FIG. 7 shows the measurement result of the initial Break away torque, and FIG. 8 shows the measurement result of the Break away torque after being left for 24 hours after performing
[0053]
9 and 10 are shown in Examples 1-1, 1-2, 1-3 and Comparative Examples 1-1, 1-2 shown in FIGS. 5 and 6, and FIGS. In addition to the results of Examples 2-1 2-2, 2-3, 2-4, and Comparative Examples 2-1 and 2-2, Example 2-5 and Comparative Examples 1-3, 1-4 Results are added and all these CSS results are expressed as bump density (D: dots / mm2) And the approximate contact area per unit area (= Rc × πr × D) calculated from the bump diameter (r) and the curvature radius (Rc) of the bump tip. Comparative Example 1-1 (Bump Pitch Pr / Pθ = 30/30 μm,
[0054]
Therefore, the approximate contact area per unit area of the laser zone is 0.55 mm.2/ mm2Below, preferably 0.45mm2/ mm2It can be seen that the following is desirable.
[0055]
Table 3 shows the minimum width and slider area (S) of the sliders of the magnetic recording heads A, B, and C. If the magnetic recording head to be used is known, the area (= Rc × πr × D × S) where the slider and the laser bump contact can be estimated from the bump density, the radius of curvature of the bump tip, and the slider area. . The contact area for each of the magnetic recording heads A, B, and C is calculated for the example and the comparative example, and FIG. 9 and FIG. 10 are plotted again with respect to the contact area. It is.
[0056]
For magnetic recording heads A, B, and C with different slider shapes and areas, the Break away torque is generally on one line and the contact area is 0.3 mm.2From the above, it can be seen that the Break away torque after leaving
[0057]
Table 4 shows the measurement items for the examples and comparative examples shown in Tables 1 and 2, and the minimum width of the ABS of each head in order to clarify the relationship between the radial pitch (Pr) and CSS durability. Focusing on the number of bumps corresponding to, Table 1 and Table 2 are integrated and rearranged.
[0058]
Table 5 shows the results of HDD CSS. The HDD CSS was performed 40k times at normal temperature and normal humidity, and the startup current after completion and the presence or absence of damage to the recording medium were confirmed. As a result, when the number of bumps corresponding to the ABS minimum width of the magnetic recording head is less than 2, the probability of a crash clearly increases. In order not to cause a crash, at least two bumps are necessary with respect to the minimum width of the ABS of the magnetic recording head, preferably 2.5 or more.
[0059]
The reason is considered as follows. In the CSS operation, when the recording medium (disk) exceeds a certain rotational speed, the magnetic recording head is completely lifted by the wind pressure. However, below the rotational speed, the magnetic recording head is in a state of sliding or intermittently colliding on the recording medium. That is, in this case, the laser bump on the recording medium is subjected to stress due to friction / wear and collision by the magnetic recording head. If the durability against stress is insufficient, it will lead to a crash state such as wear or film breakage. If the number of bumps is large, the stress can be distributed to the plurality of bumps, and durability can be improved. On the other hand, the slider of the magnetic recording head is usually provided with a crown shape, and the portion that contacts the bump is a part of the traveling direction of the magnetic recording head. The concentrated part is considered to be the narrowest part of the slider (ABS). Accordingly, it is considered that the collision energy is dispersed by the number of bumps existing in the radial direction of the recording medium corresponding to the minimum width of the slider. As described above, at least two bumps are necessary. Yes, preferably 2.5 or more.
[0060]
In summary, from the standpoint of adsorptivity, the approximate contact area per unit area of the laser zone is 0.55 mm.2/ mm2The following are required: When the ABS area of the magnetic recording head is actually known, the contact area between the laser bump on the recording medium and the ABS of the magnetic recording head is 0.28 mm.2It is necessary to do the following. On the other hand, from the viewpoint of CSS durability, it is concluded that at least two bumps are necessary for the minimum width of the ABS of the magnetic recording head.
[0061]
[Table 1]
[0062]
[Table 2]
[0063]
[Table 3]
[0064]
[Table 4]
[0065]
[Table 5]
[0066]
【The invention's effect】
As is clear from the above embodiments, according to the present invention, conventionally, determination of bump height, bump density, and bump pitch on a recording medium by a laser zone texture, which has required a lot of time by trial and error, is systematic. Therefore, it is possible to provide a highly reliable magnetic recording medium having excellent adhesion resistance and wear resistance.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium.
FIGS. 2A and 2B are views for explaining an embodiment of the present invention, in which FIG. 2A is a plan view showing a laser bump formation region on a disk-shaped recording medium, and FIG. 2B is a laser bump of FIG. It is an enlarged view of the part which formed.
FIG. 3 is a graph for measuring the cross-sectional shape of a laser bump formed on a recording medium for explaining an example of the present invention, and (a) shows the cross-sectional shape of a V-type laser bump; (B) has shown the cross-sectional shape of a W-type laser bump.
FIG. 4 is a sequence pattern diagram of a CSS test for a recording medium according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a graph illustrating the relationship between the radius of curvature of the tip of a laser bump on a recording medium and the CSS initial break away torque for explaining an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a graph illustrating the relationship between the radius of curvature of the tip of a laser bump on a recording medium and the CSS Break away torque after elapse of time for explaining an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a graph for explaining an example of the present invention and showing a relationship between a laser bump density on a recording medium and a CSS initial Break away torque.
FIG. 8 is a graph for explaining an example of the present invention and showing a relationship between a laser bump density on a recording medium and a Break away torque after CSS lapse.
FIG. 9 is a graph for explaining an embodiment of the present invention and showing a relationship between a contact area between a laser bump and a head slider per unit area on a recording medium and a CSS initial Break away torque.
FIG. 10 is a graph for explaining an embodiment of the present invention and showing a relationship between a contact area between a laser bump and a head slider per unit area on a recording medium and a break away torque after CSS lapse.
FIG. 11 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and calculates the contact area with respect to each of the magnetic recording heads A, B, and C with respect to the embodiment of the present invention and the comparative example; FIG. 10 is a graph obtained by re-plotting the graph of FIG. 9.
FIG. 12 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and calculates the contact area for each of the magnetic recording heads A, B, and C with respect to the embodiment of the present invention and the comparative example; 11 is a graph obtained by re-plotting the graph of FIG.
[Explanation of symbols]
1 Non-magnetic substrate
2 Ni-P plating layer
3 Cr underlayer
4 Co alloy magnetic layer
5 Carbon protective film
6 Liquid lubrication layer
Claims (6)
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