KR100378496B1 - Laser texturing of magnetic recording medium using multiple lens focusing - Google Patents

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KR100378496B1 KR10-1998-0709018A KR19980709018A KR100378496B1 KR 100378496 B1 KR100378496 B1 KR 100378496B1 KR 19980709018 A KR19980709018 A KR 19980709018A KR 100378496 B1 KR100378496 B1 KR 100378496B1
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Abstract

복수렌즈 포커싱 시스템을 통한 펄싱된 레이저 광 빔으로 텍스춰링되는 자기 기록 매체가 개시되었다. 이와 같은 복수렌즈 포커싱 시스템의 이용은 단일 렌즈 포커싱 시스템으로 획득된 것 보다 작은 비교적 균등한 복수 개 돌출부를 형성할 수 있게 한다. 한 실시예에서, 레이저 광 빔은 중앙집중된 에너지 프로파일을 갖는 레이저 광 빔으로 획득된 것 보다도 작은 복수 개 쌍의 돌출부를 획득하기 위해, 상기 렌즈를 오프셋팅시키므로써 스플리팅된다. 펄싱된, 복수렌즈 포커싱된 레이저 광 빔은 기판, 하부층 및 자성층을 텍스춰링하는 데 사용된다. 최종 레이지 텍스춰링된 자기 기록 매체는 개선된 비행 안정성, 활공 성능 및 신뢰성을 나타낸다.A magnetic recording medium is disclosed that is textured with a pulsed laser light beam through a multilens focusing system. The use of such a multilens focusing system makes it possible to form a relatively even plurality of projections smaller than that obtained with a single lens focusing system. In one embodiment, the laser light beam is split by offsetting the lens to obtain a plurality of pairs of protrusions smaller than that obtained with a laser light beam having a centralized energy profile. The pulsed, multilens focused laser light beam is used to texture the substrate, the underlayer and the magnetic layer. The final lazy textured magnetic recording medium exhibits improved flight stability, glide performance and reliability.

Description

다수 렌즈 포커싱 시스템을 이용한 텍스춰링된 표면을 갖는 자기 기록 매체 및 그 제조 방법{LASER TEXTURING OF MAGNETIC RECORDING MEDIUM USING MULTIPLE LENS FOCUSING}A magnetic recording medium having a textured surface using a multi-lens focusing system and a method of manufacturing the same {LASER TEXTURING OF MAGNETIC RECORDING MEDIUM USING MULTIPLE LENS FOCUSING}

자기 디스크 및 디스크 드라이브는 통상적으로 자화형태로 데이터를 저장하기 위해 이용된다. 전형적으로, 하나 이상의 디스크는 디스크의 기록표면에 매우 근접하여 위치된 데이터 변환 헤드와 결합한 중앙 축상에서 회전되고 이에 대해 축 방향으로 이동된다. 자기 디스크는 일반적으로 디스크의 표면에 대해 탄성적으로 콘택트되어 가압되는 특정 부하를 갖는 자기 헤드와 정지상태의 자기 디스크 유닛에 수용된다.Magnetic disks and disk drives are typically used to store data in magnetized form. Typically, one or more discs are rotated and axially moved about a central axis in combination with a data conversion head located in close proximity to the recording surface of the disc. Magnetic disks are generally housed in a magnetic disk unit and a stationary magnetic disk unit with a specific load that is elastically contacted and pressed against the surface of the disk.

동작시, 자기 디스크는 일반적으로 콘택트 스타트 스톱(CSS) 방법에 의해 구동되며, 여기서 헤드는 디스크가 회전하기 시작함에 따라 디스크의 표면에 대해 활주하기 시작한다. 예정된 빠른 회전 속도에 도달함에 따라, 헤드는 디스크와 헤드의 활주표면 사이의 공기흐름에 의해 야기된 동적 압력 효과에 기인하여 디스크의 표면으로부터 소정의 간격으로 공기중에 뜬다. 판독 및 기록 동작 동안, 트랜스듀서 헤드는 기록표면으로부터 제어된 간격으로 유지되어, 디스크가 회전함에 따라 공기의 베어링상에서 지지된다. 자기 헤드 유닛은 자기 헤드가 소망하는 위치에서 디스크의 표면으로부터 데이터가 검색되거나 기록될 수 있게 하는 상기 부동 상태에서 디스크의 원주방향 및 축방향으로 자유롭게 이동될 수 있도록 배열된다.In operation, the magnetic disk is generally driven by the contact start stop (CSS) method, where the head begins to slide about the surface of the disk as the disk begins to rotate. As the predetermined high rotational speed is reached, the head floats in the air at predetermined intervals from the surface of the disk due to the dynamic pressure effect caused by the airflow between the disk and the sliding surface of the head. During read and write operations, the transducer head is held at a controlled distance from the recording surface, supporting it on the bearing of air as the disk rotates. The magnetic head unit is arranged such that the magnetic head can be freely moved in the circumferential and axial directions of the disc in the floating state, allowing data to be retrieved or written from the surface of the disc at the desired position.

디스크 드라이브의 동작 종료시, 디스크의 회전속도는 감소하고 헤드는 또다시 디스크의 표면에 대해 활주하기 시작하며 궁극적으로 콘택팅하여 정지하여 디스크에 압력을 가한다. 따라서, 트랜스듀서 헤드는 디스크가 정지상태에 있을 때, 정지상태로부터 가속될 때 및 완전히 정지되기 바로 이전의 감속시마다 기록표면과 콘택팅한다. 헤드 및 디스크 조립체가 구동될 때 마다, 헤드의 활주표면은 정지, 디스크 표면에서의 활주, 공기중에서의 부동, 정지로 이루어지는 사이클 동작을 반복한다.At the end of operation of the disc drive, the rotational speed of the disc decreases and the head starts to slide again against the surface of the disc and ultimately contacts and stops to apply pressure to the disc. Thus, the transducer head contacts the recording surface when the disc is at rest, when it is accelerated from the standstill and every deceleration just before it comes to a complete stop. Each time the head and disk assembly is driven, the sliding surface of the head repeats a cycle operation consisting of a stop, a slide on the disk surface, floating in air, and a stop.

판독 및 기록 동작동안 각각의 트랜스듀서 헤드를 가능한 연관된 기록표면에 근접하게 즉, 헤드의 비행 높이를 최소화하기 위해 유지시키는 것이 바람직한 것으로 여겨진다. 본 목적은 지역 기록 밀도가 증가함에 따라 특히 중요해진다. 지역 기록밀도(M비트/인치2)는 단위영역 당 기록밀도이며 인치 당 비트 관점에서 선형밀도(BPI)이고 인치 당 트랙관점에서 트랙밀도(TPI)이다. 따라서, 평탄한 기록표면및 연관된 트랜스듀서 헤드의 평탄한 대향 표면이 바람직하며, 이에 따라 헤드 및 디스크는 헤드를 지지하는 에어 베어링의 일관성있는 작용과 예측가능성에서 존재하는 증가에 더욱 근접하도록 위치될 수 있게 한다. 그러나, 다른 요인이 이 목적에 대해 작용한다. 헤드 표면 및 기록 표면이 지나치게 편평하다면, 이들 표면의 정밀한 매칭(match)은 시작 및 정지 페이즈 동안 과도한 고정 및 마찰이 일어나게 하며, 이렇게하여 헤드 및 기록표면이 "헤드 압착"이라 칭하는 상태로 되도록 마모시킨다. 따라서, 본 발명은 헤드/디스크 마찰을 감소시키고 트랜스듀서 비행 높이를 최소화시키는 것을 목적으로 한다.It is considered desirable to keep each transducer head as close as possible to the associated recording surface during read and write operations, ie to minimize the flying height of the head. This purpose is particularly important as the area recording density increases. The local recording density (Mbits / inch 2 ) is the recording density per unit area, linear density (BPI) in terms of bits per inch, and track density (TPI) in terms of tracks per inch. Thus, a flat recording surface and a flat opposing surface of the associated transducer head are preferred, thereby allowing the head and disk to be positioned closer to the existing increases in the consistent action and predictability of the air bearings supporting the head. . However, other factors work for this purpose. If the head surface and the recording surface are too flat, a precise match of these surfaces causes excessive settling and friction during the start and stop phases, thereby wearing the head and recording surface to a state called "head compression". . Accordingly, the present invention aims to reduce head / disk friction and minimize transducer flight height.

이러한 목적을 만족시키기 위해, 자기 디스크의 기록 표면에는 일반적으로 "텍스춰링"으로서 참조되는 기술로 헤드/디스크 마찰을 감소시키기 위해 거친 표면이 구비된다. 종래의 텍스춰링 기술은 전형적으로 크롬 또는 크롬-합금인 하부층, 자성층, 카본을 포함하는 보호 오버코트 및 윤활성 탑코트와 같은 후속하는 층 증착 이전에 그 위에 텍스춰를 제공하기 위해 디스크 기판의 표면을 연마시키는 것을 포함하고, 여기서 기판상의 텍스춰링된 표면은 자기 디스크의 표면상에서 실질적으로 복제될 것을 의도한다.To meet this purpose, the recording surface of the magnetic disk is provided with a rough surface to reduce head / disk friction with a technique generally referred to as "texturing". Conventional texturing techniques polish the surface of a disk substrate to provide a texture thereon prior to subsequent layer deposition, such as a lower layer, magnetic layer, protective overcoat comprising carbon and lubricity topcoat, typically chromium or chromium-alloy. Wherein the textured surface on the substrate is intended to be substantially replicated on the surface of the magnetic disk.

전형적인 자기 기록 매체가 도 1에 도시되어 있으며 비결정 니켈-인(NiP)층으로 플레이팅된 통상적으로 알루미늄-마그네슘(Al-Mg)합금과 같은 알루미늄(Al)-기초 합금인 기판(10)을 포함한다. 기판(10)은 일반적으로 그 위에 순차적으로 증착된 크롬(Cr) 하부층(11), 일반적으로 코발트(Co)-기초 합금인 자성층(12), 일반적으로 카본을 포함하는 보호 오버코트(13) 및 윤활성 탑코트(14)를 포함한다. 크롬(Cr) 하부층(11), 일반적으로 코발트(Co)-기초 합금인 자성층(12), 일반적으로 카본을 포함하는 보호 오버코트(13) 및 윤활성 탑코트(14)는 일반적으로 스퍼터링 기술에 의해 증착된다. 종래의 Al-합금 기판에는 디스크 표면상에서 실질적으로 재생되는 필수적인 표면 조도(roughness) 또는 텍스춰를 제공하기 위해 연마를 위한 적절한 표면으로서의 역할을 하는, Al 기판의 강도를 증가시키기 위해 NiP 플레이팅이 제공된다.A typical magnetic recording medium is shown in FIG. 1 and includes a substrate 10 which is typically an aluminum (Al) -based alloy, such as an aluminum-magnesium (Al-Mg) alloy, plated with an amorphous nickel-phosphorus (NiP) layer. do. Substrate 10 is generally a chromium (Cr) sublayer 11 deposited sequentially thereon, a magnetic layer 12, typically a cobalt (Co) -based alloy, a protective overcoat (13) generally comprising carbon and lubricity Topcoat 14. The chromium (Cr) underlayer 11, the magnetic layer 12, typically a cobalt (Co) -based alloy, the protective overcoat 13, typically comprising carbon, and the lubricity topcoat 14 are generally deposited by sputtering techniques. do. Conventional Al-alloy substrates are provided with NiP plating to increase the strength of the Al substrate, which serves as a suitable surface for polishing to provide the necessary surface roughness or texture substantially reproduced on the disk surface. .

높은 지역 기록 밀도를 위한 점증하는 필요 조건은 보자력(coercivity), 스틱션 스퀘어니스(stiction squareness), 작은 매체 노이즈 및 좁은 트랙 기록 성능 관점에서 더욱 큰 필요조건을 부과한다. 또한, 증가하는 고밀도 및 대용량 자기 디스크는 점점 더 작은 비행 높이 즉, CSS 드라이브에서 디스크의 표면위에서 헤드가 부동하는 간격을 필요로 한다. 상기 필요조건은 점점 더 증가하는 고 기록밀도 및 용량에 의해 부과되는 헤드의 비행 높이를 더욱 감소시키기 위한 필요조건은 헤드 파손을 방지하기 위해 제어된 텍스춰링을 위한 필요조건을 만족시키는 것이 특히 곤란하다.Increasing requirements for high local recording densities impose greater requirements in terms of coercivity, stiction squareness, small media noise and narrow track recording performance. In addition, increasing high density and large capacity magnetic disks require increasingly smaller flight heights, i.e., the spacing of the heads on the disk's surface in CSS drives. This requirement is particularly difficult to meet the requirement for controlled texturing to prevent head breakage, as the requirement for further reducing the head's flight height imposed by increasingly high recording densities and capacities. .

종래의 텍스춰링 기술은 연마와 같은 기계적 동작을 포함한다. 예로서, Nakamura에 의한 미국 특허 제 5,202,810호를 참조하라. 그러나, 종래의 기계적 텍스춰링 기술은 여러 단점이 뒤따른다. 예로서, 기계적 마모에 의해 생긴 찌꺼기로 인해 청결한 텍스춰링된 표면을 제공하는 것이 곤란하다. 더욱이, 텍스춰링된 표면은 기계적 동작 동안 스크래칭을 피할 수 없어, 결과적으로 열악한 활주 특성 및 큰 결점이 된다. 또한, 종래의 기계적 텍스춰링 기술에 의해선 여러 바람직한기판을 가공하는 것이 곤란하다. 이것은 바람직하지 못하게 기계적 텍스춰링 기술에 의한 패싯(facet)을 제한하며, 실질적으로 고 보자력의 달성을 촉진하는 도전성 그래파이트 기판 및 다수의 기판 사용을 실질적으로 배제한다.Conventional texturing techniques include mechanical operations such as polishing. See, eg, US Pat. No. 5,202,810 by Nakamura. However, conventional mechanical texturing techniques have several disadvantages. As an example, it is difficult to provide a clean textured surface due to debris created by mechanical wear. Moreover, textured surfaces are inevitable to scratch during mechanical operation, resulting in poor sliding properties and large drawbacks. In addition, it is difficult to process various desirable substrates by conventional mechanical texturing techniques. This undesirably limits facets by mechanical texturing techniques and substantially eliminates the use of multiple substrates and conductive graphite substrates that promote the achievement of substantially high coercive forces.

1996년 2월 28일자로 출원된 공동출원중인 출원번호 제 08/608,072호에는 스퍼터 텍스춰링 기술이 개시되어 있다. 개시된 스퍼터 텍스춰링 방법은 다수의 상이한 기판에 유익하게 적용될 수 있다.Co-pending application number 08 / 608,072, filed February 28, 1996, discloses sputter texturing technology. The disclosed sputter texturing method can be advantageously applied to many different substrates.

기계적 텍스춰링 기술에 대한 다른 대안 텍스춰링 기술은 비자성 기판의 상부 표면과 같은, 자기 기록 매체의 층상에 펄싱된 포커싱된 레이저 광 빔을 충돌시킴에 의한 레이저 텍스춰링 기술을 포함한다. 예로서, 스페큘러 종단부에 NiP 플레이팅된 Al 기판을 연마하는 단계, 및 반경의 일부에 대해 펄싱된 레이저 에너지를 향하게 하는 한편 기판을 회전시키는 단계를 포함하며, 이렇게하여 데이터 구역 스페큘러를 남기는 텍스춰링된 랜딩 구역을 제공하는, Ranjan에 의한 미국 특허 제 5,062,021호(유럽 특허 출원 0 447 025 A1)를 참조하라. 랜딩 구역은 실질적으로 원형인 상승된 림에 의해 포위된 중앙 공핍부에 의해 특징지워지는 다수의 개별 레이저 스폿을 포함한다.Other alternatives to mechanical texturing techniques include laser texturing techniques by impinging a pulsed focused laser light beam onto a layer of magnetic recording medium, such as an upper surface of a nonmagnetic substrate. Examples include polishing a NiP plated Al substrate at the specular end, and rotating the substrate while directing pulsed laser energy for a portion of the radius, thereby leaving a data zone specular. See US Pat. No. 5,062,021 (European Patent Application 0 447 025 A1) by Ranjan, which provides a textured landing zone. The landing zone includes a number of individual laser spots characterized by a central depletion surrounded by a substantially circular raised rim.

또다른 레이저 텍스춰링 기술은 Baumgart 등에 의한 "A New Laser Texturing Technique for High Performance Magnetic Disk Drives," IEEE Transactions on Magnetics, Vol. 31, No. 6, pp. 2946-2951, November 1995에 보고되었다. Baumgart 등에 의해 개시된 레이저 텍스춰링 기술은 기판표면에 단일 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔을 충돌시키는 단계를 포함한다. Baumgart 등은 최종 돌출부의 형상이 펄스 에너지를 조정함으로써 변경된다는 것을 개시했다. 낮은 펄스 에너지에서, 범프 또는 돌출부 형상은 중앙 함몰부 및 둘레 림을 포함하며, Ranjan 등에 의해 보고된 것과 유사하다. 펄스 에너지가 증가함에 따라, 함몰부의 바닥부는 "솜브레로(sombrero)"를 닮은 원형의 평탄한 중앙 돔으로 편평해진다. 파워가 높을수록, 상기 중앙 돔은 더 넓어지고 높이가 낮아져서 결국에는 림 과 같거나 림 보다 낮아지게 된다.Another laser texturing technique is described in Baumgart et al. "A New Laser Texturing Technique for High Performance Magnetic Disk Drives," IEEE Transactions on Magnetics, Vol. 31, No. 6, pp. 2946-2951, November 1995. Laser texturing techniques disclosed by Baumgart et al. Include impinging a pulsed laser light beam on a substrate surface through a single lens focusing system. Baumgart et al. Disclosed that the shape of the final protrusion is changed by adjusting the pulse energy. At low pulse energy, the bump or protrusion shape includes a central depression and a circumferential rim, similar to that reported by Ranjan et al. As the pulse energy increases, the bottom of the depression flattens into a circular flat central dome resembling a "sombrero". The higher the power, the wider and lower the central dome will eventually be the same or lower than the rim.

Ranjan 등에 의해 보고된 바와 같이, 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 돌출부의 프로파일이 도 2에 도시되어 있으며, 중앙 함몰부(20)를 둘러싸는 표면(21) 위로 연장되는 실질적으로 원형인 림(23)을 포함한다. 상부표면(21) 아래의 함몰부(20)의 깊이(d)는 Ranjan 등에 의해 보고되었으며 전형적으로 림의 높이(h)의 두 배이다.As reported by Ranjan et al., The profile of the protrusion formed by the laser texturing technique is shown in FIG. 2, with a substantially circular rim 23 extending over the surface 21 surrounding the central depression 20. It includes. The depth d of the depression 20 below the upper surface 21 has been reported by Ranjan et al. And is typically twice the height h of the rim.

Baumgart 등에 의해 보고된 돌출부 형상의 변형이 도 3에 도시되어 있으며 이것은 마이크주울(μj)인 상이한 입사 레이저 펄스 에너지로 생성된 돌출부의 ATM(atomic force microscope) 단면부의 시퀀스를 도시한다.The deformation of the protrusion shape reported by Baumgart et al. Is shown in FIG. 3, which shows a sequence of atomic force microscope (ATM) cross-sections of the protrusions created with different incident laser pulse energies, which are the microphone joules (μj).

레이저 표면 텍스춰링은 기계적 텍스춰링으로 이용할 수 없는 바람직한 제어를 제공한다. 더욱이, 레이저 광 빔의 정확성은 텍스춰링된 영역 경계부의 정밀한 윤곽을 제공하며, 이렇게하여 데이터 저장을 위해 이용가능한 영역을 최대화하는 한편 텍스춰링된 랜딩 구역을 정확하고 재생가능하게 형성할 수 있게 한다. Ranjan 등에 의해 보고된 라운딩된 돌출부가 보고되어 있으며, 마찰 및 마모를 감소시키면서 헤드/디스크의 제어를 가능하게 한다. Ranjan 등에 의해 보고된 일반적으로 원형인 함몰부와 주변 림은 디스크상에 코팅된 윤활 및 찌꺼기를 위한 집합영역으로서의 작용에 의해 마찰에 의한 마모를 더욱 감소시킨다.Laser surface texturing provides desirable control that is not available with mechanical texturing. Moreover, the accuracy of the laser light beam provides a precise contour of the textured area boundary, thereby maximizing the area available for data storage while enabling the accurate and reproducible formation of the textured landing area. Rounded protrusions reported by Ranjan et al. Have been reported, allowing control of the head / disk while reducing friction and wear. The generally circular depressions and peripheral rims reported by Ranjan et al. Further reduce frictional wear by acting as a gathering area for lubrication and debris coated on the disc.

그러나, Ranjan 등과 Baumgart 등에 의해 개시된 바와 같은 종래의 레이저 텍스춰링 기술은 여러가지 단점을 갖는다. 단일 렌즈 포커싱 시스템을 이용하는 상기와 같은 종래 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 위상학적 돌출부의 지형학적 구성은 포커싱된 레이저 스폿의 중앙으로부터 스폿의 에지까지의 열적인 열화 및 고속의 중앙집중된 용융에 의한 결과이다. 이러한 단일 렌즈 포커싱 시스템은 비교적 커다란 위상학적 돌출부를 갖는 텍스춰링된 영역을 형성시키며 자기-기록 헤드의 활주 성능 및 비행 안정성에 역영향을 미치는 급격한 국부적 프로파일 변화에 의해 특징지워지며, 헤드-매체 인터페이스의 신뢰성에 유해한 영향을 미친다. 이러한 문제점이 있는 국부적 프로파일 변화는 종래의 레이저 텍스춰링 기술에 의해 획득된 것 보다 작은 돌출부의 균등한 패턴을 제공함으로써 자기 기록 매체를 텍스춰링하는 데 있어서 더욱 큰 정밀성을 필요로 한다.However, conventional laser texturing techniques as disclosed by Ranjan et al. Baumgart et al. Have various disadvantages. The topographical configuration of the topological projections formed by such a conventional laser texturing technique using a single lens focusing system is the result of thermal degradation and high speed centralized melting from the center of the focused laser spot to the edge of the spot. . This single lens focusing system forms a textured area with relatively large topological projections and is characterized by a sharp local profile change that adversely affects the sliding performance and flight stability of the magnetic recording head, Adversely affects reliability. This problematic local profile change requires greater precision in texturing magnetic recording media by providing an even pattern of protrusions that are smaller than those obtained by conventional laser texturing techniques.

공동계류중인 일련의 출원 번호 제 08/647,407호에서, 자기 기록매체를 텍스춰링하는 방법이 개시되었고, 여기서 포커싱된 레이저 광 빔은 레이저 텍스춰링이 가해지는 렌즈 포커싱 시스템 표면사이에 이격되고 개재된 광학 크리스탈 물질을 통과한다. 광학 크리스탈 물질의 이용은 다수의 제어되고 정확히 이격된 돌출부를 포함하는 텍스춰를 형성할 수 있게 한다.In a series of co-pending application No. 08 / 647,407, a method of texturing a magnetic recording medium is disclosed wherein the focused laser light beam is spaced and interposed between the lens focusing system surfaces to which laser texturing is applied. Pass through the crystal material. The use of optical crystalline materials makes it possible to form a texture comprising a plurality of controlled and precisely spaced protrusions.

Swaminathan에 의한 미국 특허 제 4,060,306호는 마이크로스코우프에서 사용을 위한 구면수차가 없는 매니스커즈 렌즈 및 컴패니언 더블릿 렌즈를 포함하는 다수의 렌즈 시스템 이용을 개시한다. 디스크 드라이브 데이터 기록 및 판독을 위한 다수 렌즈 시스템의 이용은 Euguchi에 의한 미국 특허 제 5,402,407 호, Kurata에 의한 미국 특허 제 5,128,914 호 및 Endo에 의한 미국 특허 제 5,416,755호에 개시되어 있다.US Pat. No. 4,060,306 to Swaminathan discloses the use of multiple lens systems including spherical aberration-free meniscus lenses and companion doublet lenses for use in a microscope. The use of multiple lens systems for recording and reading disc drive data is disclosed in US Pat. No. 5,402,407 to Euguchi, US Pat. No. 5,128,914 to Kurata, and US Pat. No. 5,416,755 to Endo.

따라서, 다수의 제어되고, 균등한 높이의 비교적 작은 돌출부를 포함하는 구조를 제공할 수 있는 레이저 텍스춰링 시스템과 같은 텍스춰링 시스템을 필요로 하며, 이렇게하여 개선된 비행 안정성, 활주 성능 및 신뢰성을 가져다 준다.Thus, there is a need for a texturing system, such as a laser texturing system, which can provide a structure that includes a large number of controlled, even height, relatively small protrusions, thereby resulting in improved flight stability, sliding performance, and reliability. give.

본 발명은 자기 데이터의 기록, 저장 및 판독에 관한 것으로 특히 협동하는 자기 변환 헤드와 콘택팅하기 위해 텍스춰링된 표면을 갖는 박막 자기 디스크와 같은 회전가능한 자기 기록 매체에 관한 것이다. 본 발명은 노이즈가 작으며 개선된 비행(flying) 안정성, 활공(glide) 성능 및 헤드-매체간 인터페이스 신뢰성을 갖는 고밀도 자기 기록 매체에 관한 것이다.The present invention relates to the recording, storage and reading of magnetic data, and more particularly to a rotatable magnetic recording medium such as a thin film magnetic disk having a textured surface for contacting with a cooperating magnetic conversion head. The present invention relates to a high density magnetic recording medium with low noise and improved flying stability, glide performance and head-to-media interface reliability.

도 1은 종래의 자기기록 매체 구조를 나타낸 도.1 is a diagram showing a structure of a conventional magnetic recording medium.

도 2는 종래의 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 돌출부의 프로파일의 개략도.2 is a schematic representation of a profile of a protrusion formed by conventional laser texturing techniques.

도 3은 종래의 레이저 텍스춰링 기술에 따라 레이저 펄스 에너지의 함수로서 돌출부 기하학적 형태에서의 변화를 나타낸 도.3 shows a change in protrusion geometry as a function of laser pulse energy in accordance with conventional laser texturing techniques.

도 4는 종래의 단일 렌즈 레이저 포커싱 시스템을 개략적으로 나타낸 도.4 schematically illustrates a conventional single lens laser focusing system.

도 5는 본 발명의 다수 렌즈 레이저 포커싱 시스템을 개략적으로 나타낸 도.5 schematically illustrates a multi-lens laser focusing system of the present invention.

도 6은 본 발명에 따라 형성된 돌출부를 개략적으로 나타낸 도.6 shows schematically a protrusion formed according to the invention;

본 발명의 목적은 작은 노이즈 및 개선된 비행 안정성, 활주 성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성을 나타내는 텍스춰링된 자기 기록 매체를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a textured magnetic recording medium exhibiting low noise and improved flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability.

본 발명의 다른 목적은 작은 노이즈 및 개선된 비행 안정성, 활주 성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성을 나타내는 텍스춰링된 자기 기록 매체를 제공하기 위해 비자성-기판을 레이저 텍스춰링하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of laser texturing a non-magnetic substrate to provide a textured magnetic recording medium exhibiting low noise and improved flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability.

본 발명의 추가 목적, 이점 및 기타 특징은 부분적으로 다음의 설명에서 개시되고 다음 설명에 대한 시험시 당업자에게 명백하게 될 것이고 본 발명의 실시에 의해 알게 될 것이다. 본 발명의 목적 및 이점은 특히 첨부된 청구범위에서 나타난 바와 같이 구현되어 획득될 수 있다.Additional objects, advantages and other features of the invention will be set forth in part in the description which follows, and will be apparent to those skilled in the art upon examination of the description and will be learned by practice of the invention. The objects and advantages of the invention may be achieved and obtained in particular as indicated in the appended claims.

본 발명에 따라, 상기한 목적 및 기타 목적은, 텍스춰링된 상부 표면을 갖는 비자성-기판; 및 상기 상부표면상에 형성된 자성층을 포함하며, 상기 텍스춰링된상부 표면은 약 7.5 nm(75Å) 내지 약 30 nm(300Å)의 높이까지 상기 상부표면 위에 뻗으며 상기 상부표면 내부로 뻗는 중앙 홀 둘레에서, 약 3㎛ 내지 약 15㎛의 직경을 갖춘 거의 원형인 림을 갖는, 다수의 돌출부를 포함하는 자기 기록 매체에 의해 부분적으로 달성된다.In accordance with the present invention, the above and other objects include: a nonmagnetic substrate having a textured top surface; And a magnetic layer formed on the upper surface, wherein the textured upper surface extends over the upper surface to a height of about 7.5 nm (75 kPa) to about 30 nm (300 kPa) and extends around the central hole extending into the upper surface. In part, by a magnetic recording medium comprising a plurality of protrusions, having a substantially circular rim with a diameter of about 3 μm to about 15 μm.

본 발명의 다른 태양은, 상기 기판의 상부 표면과 제 1 렌즈 사이에 위치되고 서로 이격된 제 2 렌즈와 상기 제 1 렌즈를 포함하는 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 상부 표면을 노광시킴으로써 비자성 기판의 상부표면을 텍스춰링하는 단계를 포함하는 자기 기록매체의 제조 방법이다.Another aspect of the invention is to provide a top surface to a pulsed laser light beam through a multi-lens focusing system comprising a first lens and a second lens located between the top surface of the substrate and a first lens and spaced apart from each other. A method of manufacturing a magnetic recording medium comprising texturing an upper surface of a nonmagnetic substrate by exposing.

본 발명의 또 다른 태양은, 상기 기판의 상부 표면과 제 1 렌즈 사이에 위치되고 서로 이격된 제 2 렌즈와 제 1 렌즈를 포함하는 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 상부 표면을 노광시키므로써 비자성 기판의 상부표면을 텍스춰링하는 단계를 포함하며, 여기서 레이저 광 빔은 각각의 상기 돌출부가 실질적으로 단일 에너지 피크로 중앙집중된 에너지 프로파일을 갖는 레이저 광 빔에 상기 상부표면을 노광시키므로써 발생된 실질적으로 단일 돌출부의 높이 보다 작은 높이로 상기 상부표면 위에서 뻗는 실질적으로 원형인 림을 갖는 적어도 두 개의 돌출부를 상기 상부 표면상에 형성하는 적어도 두 개의 에너지 피크를 갖춘 에너지 프로파일을 갖는다.Another aspect of the present invention is directed to a top surface of a laser light beam pulsed through a multi-lens focusing system comprising a first lens and a second lens located between the top surface of the substrate and a first lens and spaced apart from each other. Exposing the upper surface of the non-magnetic substrate by exposing, wherein the laser light beam exposes the upper surface to a laser light beam having an energy profile where each of the protrusions is centered substantially at a single energy peak. Have an energy profile with at least two energy peaks forming on the upper surface at least two protrusions having substantially circular rims extending above the upper surface at a height less than the height of the substantially single protrusion generated.

본 발명의 추가 목적 및 이점은 다음의 상세한 설명으로부터 당업자에겐 용이하게 명백해지며, 여기서 본 발명의 실시예는 본 발명을 실시하기 위한 최선으로 고려된 예에 의해 간명하게 설명된다. 실현되는 바와 같이, 본 발명은 기타 상이한 실시예가 가능하며, 본 발명의 상세사항은 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 여러 명백한 관점에서 수정될 수 있다. 따라서, 도면 및 상세한 설명은 예시적인 것이며, 본 발명을 제한하는 것으로 간주되지 않는다.Further objects and advantages of the invention will be readily apparent to those skilled in the art from the following detailed description, wherein the embodiments of the invention are briefly illustrated by best contemplated examples for practicing the invention. As will be realized, the invention is capable of other and different embodiments, and its details may be modified in various obvious respects, all without departing from the scope of the invention. Accordingly, the drawings and detailed description are exemplary and should not be regarded as limiting of the invention.

종래의 레이저 텍스춰링 기술은 중앙 홀 또는 중앙 범프를 포위하는 실질적으로 원형인 림을 갖는 다수개의 돌출부를 형성함으로써 비-자성 기판의 토포그래피를 변경시킨다. 광범위한 연구 및 실험 후에, 돌출부를 포함하는 상기와 같은 레이저로 형성된 텍스춰는 급격한 프로파일 변화에 의해 특징지워지며, 이렇게하여 비행 안정성, 활주성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성에 역영향을 미침을 알게 되었다. 상기 급격한 프로파일 변화에 대한 더욱 광범위한 탐색 후에, 종래의 레이저 텍스춰링 시스템과 연관된 허용 오차는 고 지역 밀도 자기 기록 매체의 필요조건을 만족시키키는데 부적절함을 알게 되었다. 급격한 프로파일 변화는 표면 불균일성에 의한 다양한 원인으로부터 비롯되는 것으로 여겨진다. 기본적으로, 기판 표면은 명백히 제조기술에 기인한 일정한 구불구불한 정도를 본질적으로 포함한다. 더욱이, 자기 기록 디스크가 회전함에 따라, 피할 수 없는 일정량의 흔들거림이 연관된 디스크 드라이브에 기인하여 발생한다. 또한, 표면 균일성의 부족은 회전 동안 디스크 클램핑으로부터 생긴다. 이들 요인은 표면 균일도에 역영향을 미치며, 이렇게하여 종래의 텍스춰링 기술 시스템으로는 달성될 수 없는, 레이저 텍스춰링 동안 높은 유용 정도 및 허용오차 정도를 필요로 한다.Conventional laser texturing techniques change the topography of a non-magnetic substrate by forming a plurality of protrusions having substantially circular rims surrounding a central hole or central bump. After extensive research and experiments, it has been found that such laser formed textures including protrusions are characterized by rapid profile changes, thus adversely affecting flight stability, glide performance and head-medium interface reliability. After a more extensive search for such rapid profile changes, the tolerances associated with conventional laser texturing systems have been found to be inadequate to meet the requirements of high area density magnetic recording media. Rapid profile changes are believed to result from a variety of causes due to surface irregularities. Basically, the substrate surface essentially contains a certain degree of meandering due to manufacturing techniques. Moreover, as the magnetic recording disc rotates, an unavoidable amount of shaking occurs due to the associated disc drive. In addition, the lack of surface uniformity results from disk clamping during rotation. These factors adversely affect surface uniformity and thus require a high degree of utility and tolerance during laser texturing, which cannot be achieved with conventional texturing technology systems.

본 발명은 종래의 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 것 보다 작은 다수의 정밀하게 제어된 돌출부를 포함하는 토포그래피를 자기 기록 매체에 제공할 수 있는 레이저 텍스춰링 기술로 상기와 같은 문제점을 극복한다. 본 발명에 따라, 레이저 텍스춰링 시스템에는, 종래에 이용된 것 보다 더 깊은 포커스 깊이를 갖는 포커싱 시스템이 구비되어, 본질적인 표면 불균일성을 수용하기 위한 필수 허용도 및 유용도를 제공한다. 본 발명에 따라 형성된 자기 기록 매체는 매우 감소된 급격한 프로파일 변화를 갖는 다수의 균일하게 제어된 돌출부를 포함하는 텍스춰링된 토포그래피를 포함한다. 최종 텍스춰링된 자기 기록 매체는 작은 노이즈, 개선된 비행 안정성, 활주 성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성을 나타내며 결과적으로 감소된 에어 난기류를 나타낸다. 본 발명에 따라 형성된 레이저 발생된 돌출부는 일반적으로 종래 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 것보다 작으며, 따라서 더 많은 개수의 콘택트 포인트를 제공하므로써 헤드-매체 인터페이스 신뢰도를 개선시키며,따라서 콘택트 당 더 작은 로드 및 마모가 생긴다. 더욱이, 본 발명에 따라 형성된 레이저 텍스춰링된 표면은 단위영역 당 더 많은 수의 돌출부를 포함하며, 이렇게하여 작은 헤드 슬라이더에 의한 유익한 사용을 가능케 한다.The present invention overcomes these problems with a laser texturing technique that can provide a magnetic recording medium with topography that includes a number of precisely controlled protrusions smaller than those formed by conventional laser texturing techniques. In accordance with the present invention, the laser texturing system is equipped with a focusing system having a deeper depth of focus than conventionally used, providing the necessary tolerances and usefulness for accommodating the inherent surface unevenness. Magnetic recording media formed in accordance with the present invention include textured topography that includes a plurality of uniformly controlled protrusions with very reduced sharp profile changes. The final textured magnetic recording medium exhibits low noise, improved flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability and consequently reduced air turbulence. Laser-generated protrusions formed in accordance with the present invention are generally smaller than those formed by conventional laser texturing techniques, thus improving the head-medium interface reliability by providing a larger number of contact points, and thus smaller loads per contact. And wear occurs. Moreover, the laser textured surface formed in accordance with the present invention comprises a larger number of protrusions per unit area, thus enabling beneficial use by small head sliders.

본 발명에 따른 레이저 텍스춰링 기술은 종래의 레이저 텍스춰링 기술에서 이용된 것 보다 깊은 포커스 깊이를 갖는 다수 렌즈 포커싱 시스템을 포함하며, 이렇게하여 종래의 레이저 텍스춰링 기술에 의해 형성된 돌출부 보다 사이즈 면에서 작고 수적인 면에서 더 많은 돌출부의 형성을 가능케 한다. 본 발명의 다수 렌즈 포커싱 시스템은 종래의 단일 렌즈 포커싱 시스템의 f수 보다 작은 f수를 갖도록 설계되고, 이렇게하여 더욱 큰 포커스 깊이를 제공하며, 따라서 본질적인 표면 불균일성을 수용할 수 있는 더욱 큰 허용도를 제공한다.The laser texturing technique according to the present invention comprises a multi-lens focusing system having a deeper depth of focus than that used in conventional laser texturing techniques, and thus is smaller in size than the protrusions formed by conventional laser texturing techniques. It allows for the formation of more protrusions in terms of numbers. The multi-lens focusing system of the present invention is designed to have a smaller number of f than the number of conventional single lens focusing systems, thereby providing greater depth of focus, thus allowing greater tolerance to accommodate inherent surface unevenness. to provide.

본 발명의 한 실시예에서, 다수 레이저 포커싱 시스템은 제 1 렌즈와, 제 1 렌즈와 텍스춰링되어야 할 회전하는 기판의 상부 표면사이에 위치되고 이격된 제 2 렌즈 사이를 포함하며, 따라서 다수 렌즈 포커싱 시스템은 제 1 렌즈의 것 보다 더 큰 포커스 깊이를 갖는다. 본 발명의 다수 렌즈 포커싱 시스템의 제 1 렌즈는 컴패니언 더블릿 렌즈를 포함할 수 있으며, 제 2 렌즈는 구면수차가 없는 매니스커즈 렌즈를 포함할 수 있다. 본 발명의 다수 렌즈 포커싱 시스템의 포커스 깊이는 약 30 내지 약 150㎛ 범위에 이를 수 있다. 본 발명의 한 실시예에서, 제 1 렌즈는 컴패니언 더블릿 렌즈이고 제 2 렌즈는 구면수차가 없는 매니스커즈 렌즈이고, 포커스 깊이는 약 50㎛이다.In one embodiment of the present invention, the multi-laser focusing system comprises a first lens and a second lens positioned and spaced between the first lens and the upper surface of the rotating substrate to be textured, thus multi-lens focusing. The system has a larger depth of focus than that of the first lens. The first lens of the multi-lens focusing system of the present invention may comprise a companion doublet lens, and the second lens may comprise a meniscus lens without spherical aberration. The depth of focus of the multi-lens focusing system of the present invention may range from about 30 to about 150 μm. In one embodiment of the present invention, the first lens is a companion doublet lens and the second lens is a meniscus lens without spherical aberration, and the depth of focus is about 50 μm.

본 발명에 따른 레이저 텍스춰링 방법은 종래의 레이저 소스를 포함하여, 종래의 장비를 포함한다. 예를들어, 멀티모드 Q-스위칭되고 펄싱된 레이저는 NiP 플레이팅된 Al-합금 기판을 텍스춰링할 때 채용될 수 있다. 당업자는 특정 상황에서 펄스 주기 및 파워 입력을 용이하게 최적화할 수 있다. 예로서, 초 당 약 30,000 펄스 내지 70,000 펄스는 소망하는 텍스춰를 형성하는데 충분하다.The laser texturing method according to the present invention includes conventional equipment, including conventional laser sources. For example, a multimode Q-switched and pulsed laser can be employed when texturing NiP plated Al-alloy substrates. One skilled in the art can easily optimize the pulse period and power input in certain situations. As an example, about 30,000 to 70,000 pulses per second are sufficient to form the desired texture.

본 발명의 다수 렌즈 레이저 포커싱 시스템은 자기 기록매체의 제조시 이용되는 여러 다양한 종래 기판을 텍스춰링하기 위해 유익하게 채용될 수 있다. 기판의 텍스춰링된 표면은 하부층, 자성층, 보호 오버코트 및 윤활성 탑코트와 같은 순차적으로 증착된 층에서 실질적으로 복제된다. 본 발명의 한 실시예에서, 기판표면의 선택된 부분은 랜딩 구역을 제공하기 위해 레이저 텍스춰링된다. 따라서, 레이저 텍스춰링 처리 영역을 특정 랜딩 구역에 한정함으로써, 기록영역 또는 데이터 구역은 최대화될 수 있으며 매우 평탄하거나 거울과 같은 원형표면이 구비될 수 있고, 이렇게하여 기록밀도를 증가시키며 헤드 비행 높이를 더욱 감소시킨다.The multi-lens laser focusing system of the present invention can be advantageously employed for texturing a variety of conventional substrates used in the manufacture of magnetic recording media. The textured surface of the substrate is substantially replicated in sequentially deposited layers such as underlayers, magnetic layers, protective overcoats and lubricity topcoats. In one embodiment of the invention, selected portions of the substrate surface are laser textured to provide a landing zone. Thus, by confining the laser texturing area to a particular landing area, the recording area or data area can be maximized and provided with a very flat or mirror-like circular surface, thereby increasing the recording density and increasing the head flight height. Reduce even more.

단일 렌즈 포커싱 시스템을 포함하는 종래의 레이저 텍스춰링 장치의 일부분이 도 4에 개략적으로 예시되어 있으며 단일렌즈(40)를 포함한다. 레이저 광 빔(41)은 비자성기판(43)의 상부표면에 있는 포인트(42)에 포커싱되며 비교적 큰 돌출부의 표면 토포그래피는 본질적인 표면 불균일성에 기인하는 급격한 프로파일 변화에 의해 특징지워진다. 이러한 급격한 국부적 프로파일 변화는 비행 안정성, 활주 성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성에 역영향을 미친다.A portion of a conventional laser texturing apparatus that includes a single lens focusing system is schematically illustrated in FIG. 4 and includes a single lens 40. The laser light beam 41 is focused at point 42 on the upper surface of the nonmagnetic substrate 43 and the surface topography of the relatively large protrusions is characterized by a sharp profile change due to the inherent surface unevenness. This drastic local profile change adversely affects flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability.

본 발명에 따른 다수 렌즈 포커싱 시스템의 일부분이 도 5에 개략적으로 예시되어 있으며 컴패니언 더블릿 렘즈로서 제 1 렌즈(50)를, 비구면수차 매니스커즈렌즈로서 제 2 렌즈(51)를 포함한다. 제 2 렌즈(51)는 분리되어 있으며 제 1 렌즈(50)와 기판(54) 사이에 위치된다. 그러나, 다수 렌즈 포커싱 시스템의 포커스의 깊이는 제 2 렌즈(51)에 의해 포인트(55)로 뻗는다. 초점의 증대된 깊이는 소망하는 굴절률을 제공하며, 큰 정밀도와 함께 작은 높이와 직경을 갖는 돌출부의 형성 및 도 4에 도시된 종래기술의 단일 렌즈 포커스 시스템과 대등한 균일성을 가능케한다. 명백히, 증대된 초점의 깊이를 제공함으로써, 포커스의 조정 및 유지가 촉진되며, 이렇게하여 종래기술의 단일 렌즈 포커스 시스템에서 획득할 수 없는 본질적인 표면 균일성을 수용하기 위한 허용오차를 제공한다. 따라서, 본 발명은 급격한 프로파일 변화를 극복하며, 결과적으로 종래의 자기 기록 매체에 대한 레이저 텍스춰링된 표면의 특성인 에어 난기류를 극복한다.A portion of the multi-lens focusing system according to the present invention is schematically illustrated in FIG. 5 and includes a first lens 50 as companion doublet rams and a second lens 51 as an aspheric aberration meniscus lens. The second lens 51 is separated and positioned between the first lens 50 and the substrate 54. However, the depth of focus of the multi-lens focusing system extends to point 55 by the second lens 51. The increased depth of focus provides the desired index of refraction and enables the formation of protrusions with small heights and diameters with great precision and uniform uniformity with the prior art single lens focus system shown in FIG. Clearly, providing increased depth of focus facilitates adjustment and maintenance of the focus, thereby providing tolerance for accommodating the inherent surface uniformity not obtainable in prior art single lens focus systems. Thus, the present invention overcomes abrupt profile changes and consequently overcomes air turbulence, a characteristic of laser textured surfaces for conventional magnetic recording media.

본 발명에 따른 대표적인 돌출부가 도 6에 도시되어 있고 곡률반경(rB)과 림 직경(ψ)을 갖는 림(60)에 의해 특징지워진다. 헤드 스라이더(61)는 림 높이(Hb)에서 돌출부(60)와 콘택팅한다.A representative protrusion in accordance with the present invention is shown in FIG. 6 and is characterized by a rim 60 having a radius of curvature rB and a rim diameter ψ. The head slider 61 contacts the protrusion 60 at the rim height Hb.

본 발명에 따라 형성된 돌출부는 일반적으로 약 7.5 nm(75Å) 내지 약 30 nm(300Å) 인 림 높이를 갖는다. 본 발명의 한 실시예에서, 약 15 nm(150Å) 내지 약 22.5 nm(225Å)인 림 높이를 갖는 돌출부가 형성된다. 본 발명에 따라 형성된 돌출부의 림 직경은 약 3 ㎛ 내지 15㎛ 범위에 이를 수 있다. 본 발명의 한 실시예에서, 약 5 ㎛ 내지 8 ㎛ 인 림 직경을 갖는 돌출부가 형성된다. 본 발명에 따라 형성된 돌출부는 약 5 ㎛ 내지 200㎛ 범위에 이를 수 있는 곡률반경을 갖춘 림을 갖는다. 본 발명의 한 실시예에서, 림은 약 50 ㎛ 내지 70 ㎛ 인 곡률반경을갖는다.The protrusions formed in accordance with the present invention generally have a rim height of about 7.5 nm (75 mm 3) to about 30 nm (300 mm 3). In one embodiment of the present invention, protrusions are formed having a rim height of about 15 nm (150 mm 3) to about 22.5 nm (225 mm 3). The rim diameter of the protrusions formed in accordance with the present invention may range from about 3 μm to 15 μm. In one embodiment of the invention, protrusions are formed having a rim diameter of about 5 μm to 8 μm. The protrusion formed according to the present invention has a rim with a radius of curvature that can range from about 5 μm to 200 μm. In one embodiment of the present invention, the rim has a radius of curvature of about 50 μm to 70 μm.

본 발명의 레이저 텍스춰링된 토포그래피는 종래의 레이저 텍스춰링된 토포그래피의 중앙 홀 깊이 만큼 기판 내부로 뻗지 않는 중앙 홀 둘레에서 실질적으로 원형인 림을 갖춘 돌출부를 포함한다. 본 발명에 따라, 기판 내부로 뻗는 중앙 홀의 거리 대 림 높이의 비는 1:1 미만 내지 3:1 미만인 범위이다. 본 발명은 1:1을 포함하여 2:1 미만인 기판 내부로 뻗는 중앙 홀의 거리 대 림 높이의 비를 용이하게 달성한다. 종래의 레이저 텍스춰링된 토포그래피에서, 기판 내부로 뻗는 중앙 홀의 거리는 림 높이 보다 상당히 길다. 최종 종래의 레이저 텍스춰링된 토포그래피는 하부 층 및/또는 자성층과 같은 후속하는 층이 상승된 온도에서 스퍼터링에 의해 증착될 때 바람직하지 못한 스트레스 프로파일을 제공한다. 결과적으로, 기판의 상부표면상에 형성된 토포그래피는 후속하여 증착된 층에서 정확하게 재현되지 않는다. 그러나, 본 발명에 따라, 텍스춰링된 토포그래피는 대칭 구성을 나타내며, 이렇게하여 텍스춰링된 토포그래피가 후속하여 증착된 스퍼터링 층에서 실질적으로 정확히 재현될 수 있게 한다.The laser textured topography of the present invention includes protrusions having a substantially circular rim around a central hole that does not extend into the substrate by the depth of the central hole of a conventional laser textured topography. According to the invention, the ratio of distance to rim height of the central hole extending into the substrate is in the range of less than 1: 1 to less than 3: 1. The present invention readily achieves a ratio of distance to rim height of the central hole extending into the substrate, including 1: 1, which is less than 2: 1. In conventional laser textured topography, the distance of the central hole extending into the substrate is considerably longer than the rim height. Final conventional laser textured topography provides undesirable stress profiles when subsequent layers, such as underlying layers and / or magnetic layers, are deposited by sputtering at elevated temperatures. As a result, the topography formed on the upper surface of the substrate is not accurately reproduced in subsequent deposited layers. However, in accordance with the present invention, the textured topography exhibits a symmetrical configuration, thereby allowing the textured topography to be reproduced substantially accurately in subsequently deposited sputtering layers.

본 발명에 따라 형성된 레이저 텍스춰링된 토포그래피의 크기 및 기하학적 구성은 개선된 비행 안정성, 활주 성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성에 대해 기능적으로 중요하다. 본 발명에 의한 토포그래피의 크기 및 특정 기하학적 구성은 마찰학의 최적화 및 마모 특성을 가능케 한다.The size and geometry of the laser textured topography formed in accordance with the present invention is functionally important for improved flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability. The size and specific geometry of the topography according to the present invention allows for optimization of tribology and wear characteristics.

상기한 본 발명의 한 실시예에서, 기판은 기판이 회전하는 동안 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 노광된다. 충돌하는 레이저 광 빔은실질적으로 단일 돌출부를 생성하는 중앙집중된 에너지 프로파일을 갖는다. 본 발명의 다른 실시예에서, 기판은 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 노광되지만, 충돌 영역에 대한 최초의 중앙집중된 빔 에너지 분포는 적어도 주 개의 작은 에너지 피크를 획득하도록 수정된다. 본 발명의 상기 실시예에 따라, 실질적으로 단일 돌출부를 생성하는 중앙집중된 에너지 프로파일을 갖는 수정되지 않은 레이저 광 빔에 의해 형성된 단일 돌출부 보다 사이즈가 작은 적어도 두 개의 돌출부가 형성된다. 이러한 방식으로, 마찰학적 성능 및 신뢰성은 더욱 많은 수의 작은 돌출부를 갖는 레이저 텍스춰링된 토포그래피를 제공하므로써 더욱 개선된다.In one embodiment of the present invention described above, the substrate is exposed to a pulsed laser light beam through a multiple lens focusing system while the substrate is rotating. The impinging laser light beam has a centralized energy profile that substantially produces a single protrusion. In another embodiment of the present invention, the substrate is exposed to a pulsed laser light beam through a multi-lens focusing system, but the original centralized beam energy distribution for the impact area is modified to obtain at least one week small energy peak. In accordance with this embodiment of the present invention, at least two protrusions are formed that are smaller in size than a single protrusion formed by an unmodified laser light beam having a centralized energy profile that produces a substantially single protrusion. In this way, tribological performance and reliability are further improved by providing laser textured topography with a larger number of small protrusions.

수정된 에너지 실시예의 한 태양에 따라, 제 1 렌즈 및 제 2 렌즈는 서로에 대해 오프셋팅되어, 기판표면에 두 개 이상의 돌출부를 생성하는 적어도 두 개의 작은 에너지 피크를 생성한다. 더욱 많은 수의 작은 돌출부를 갖는 최종 레이저 텍스춰링된 토포그래피는 헤드와 매체 표면 사이의 콘택팅 마다 더욱 작은 부하 및 마모에 기인한 개성된 신뢰성을 제공하는 이외에, 더욱 작은 에어 난기류에 기인한 헤드 비행 관점에서 더욱 뛰어난 마찰학적 성능을 제공한다. 유익하게, 다수 에너지 피크를 갖춘 레이저 광 빔을 발생시킬 때, 고 재생율 레이저 펄스는 훨씬 큰 정밀도를 갖춘 작은 스폿을 형성할 수 있게 한다. 다수의 돌출부 형성은 다수 모드 Q-스위칭된 펄스 레이저의 모드를 변경시키는 기술, 또는 레이저 광원과 제 1 렌즈 사이에 마스크를 개재시킴으로써 광학 트레인을 변경시키는 기술과 같은 기술에 의해 획득될 수 있다.According to one aspect of the modified energy embodiment, the first lens and the second lens are offset relative to each other to produce at least two small energy peaks that create two or more protrusions on the substrate surface. Final laser textured topography with a larger number of small protrusions provides head reliability due to smaller air turbulence, in addition to providing individualized reliability due to less load and wear per contact between the head and media surface. Better tribological performance in terms of Advantageously, when generating a laser light beam with multiple energy peaks, high refresh rate laser pulses make it possible to form small spots with much greater precision. Multiple protrusion formation may be obtained by techniques such as changing the mode of the multi-mode Q-switched pulsed laser, or changing the optical train by interposing a mask between the laser light source and the first lens.

본 발명의 레이저 텍스춰링 기술은, 상기한 실시예에서와 같이 회전하는 기판상에 뿐만아니라 자기 기록매체의 임의의 층에 포커싱된 레이저 빔을 충돌시킴으로써 텍스춰링된 자기 기록매체에 채용될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따라, 하부 층 또는 직접 기판에 도포된 Co-합금 자성층과 같은 자성층, 또는 Cr 또는 Cr-합금과 같은 하부층은 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔으로 레이저 텍스춰링될 수 있다. 본 발명의 레이저 텍스춰도 NiP로 플레이팅하기 이전에 Al 또는 Al-합금 기판상에 제공될 수 있다. 본 발명에 따라 제공된 레이저 텍스춰링된 표면은 실질적으로 후속하여 증착된 층에서 재생된다.The laser texturing technique of the present invention can be employed on a textured magnetic recording medium by colliding the laser beam focused on any layer of the magnetic recording medium as well as on the rotating substrate as in the above embodiment. Thus, according to the present invention, a magnetic layer such as a Co-alloy magnetic layer applied directly to a substrate or substrate, or a lower layer such as Cr or Cr-alloy can be laser textured with a pulsed laser light beam through a multiple lens focusing system. have. The laser texture of the present invention may also be provided on an Al or Al-alloy substrate prior to plating with NiP. The laser textured surface provided according to the invention is substantially regenerated in a subsequently deposited layer.

본 발명에 따라 형성된 자기 기록 매체는 자기 기록매체에 채용된 임의의 다양한 종래의 기판을 포함할 수 있다. 이러한 종래의 기판은 Al-Mg-합금과 같은 NiP 플레이팅된 Al또는 Al-합금을 포함한다.The magnetic recording medium formed according to the present invention may include any of various conventional substrates employed in the magnetic recording medium. Such conventional substrates include NiP plated Al or Al-alloys such as Al-Mg-alloys.

본 발명에 따라 증착된 자성층은 자기 기록 매체의 제조시 채용된 종래의 임의의 것일 수 있다. 이러한 종래의 자기 합금은 코발트-크롬(CoCr), 코발트-사마륨(CoSm), 코발트-크롬-탄탈륨(CoCrTa), 코발트-니켈-크롬(CoNiCr), 코발트-크롬-사마륨(CoCrSm), 코발트-크롬-플라티늄-탄타륨(CoCrPtTa), 코발트-크롬-플라티늄(CoCrPt), 코발트-니켈-플라티늄(CoNiPt), 코발트-니켈-크롬-플라티늄(CoNiCrPt)및 코발트-크롬-플라티늄-보론(CoCrPtB)과 같은 코발트(Co)-기초 합금을 포함하지만 이에 한정되지는 않는다. 자성층의 두께는 종래의 실시 및 자기 기록 매체에서와 양립한다. 약 20 nm(200Å) 내지 50 nm(500Å) 과 같은 약 10 nm(100Å) 내지 100 nm(1000Å)인 두께를 갖는 코발트-기초 합금은 적절한 것으로 알려졌다.The magnetic layer deposited in accordance with the present invention may be any conventional one employed in the manufacture of a magnetic recording medium. Such conventional magnetic alloys include cobalt-chromium (CoCr), cobalt-samarium (CoSm), cobalt-chromium-tantalum (CoCrTa), cobalt-nickel-chromium (CoNiCr), cobalt-chromium-samarium (CoCrSm), cobalt-chromium Such as -platinum-titanium (CoCrPtTa), cobalt-chromium-platinum (CoCrPt), cobalt-nickel-platinum (CoNiPt), cobalt-nickel-chromium-platinum (CoNiCrPt) and cobalt-chromium-platinum-boron (CoCrPtB) Cobalt (Co) -based alloys include, but are not limited to. The thickness of the magnetic layer is compatible with the conventional practice and in the magnetic recording medium. Cobalt-based alloys having a thickness of about 10 nm (100 mm 3) to 100 nm (1000 mm 3), such as about 20 nm (200 mm 3) to 50 nm (500 mm 3), are known to be suitable.

종래의 실시에서, 하부층은 자성층을 증착하기 이전에 텍스춰링된 기판상에 증착될 수 있다. 하부층은 크롬-바나듐 또는 크롬-티타늄, 산소-도핑된 Cr과 같은 Cr 합금 또는 Cr, 텅스텐 또는 텅스텐 합금을 포함할 수 있다.In a conventional implementation, the underlying layer may be deposited on a textured substrate prior to depositing the magnetic layer. The underlayer may comprise Cr alloys such as chromium-vanadium or chromium-titanium, oxygen-doped Cr or Cr, tungsten or tungsten alloys.

또한, 카본 오버코트와 같은 보호 오버코트가 자성층에 증착될 수 있고, 윤활성 탑코트가 상기 보호 오버코트에 증착된다. 하부층, 자성층 및 보호 오버코트는 자기 기록매체의 제조에 채용된 임의의 다양한 스퍼터링 기술에 의해, 종래의 방법에서 채용될 수 있다.In addition, a protective overcoat, such as carbon overcoat, may be deposited on the magnetic layer, and a lubricious topcoat is deposited on the protective overcoat. The underlayer, magnetic layer and protective overcoat can be employed in conventional methods by any of the various sputtering techniques employed in the manufacture of magnetic recording media.

본 발명은, 비행 안정성, 활주성능 및 헤드-매체 인터페이스 신뢰성에서 나타난 개선으로, 박막 디스크를 포함하는 임의의 다양한 유형의 자기 기록 매체를 제조하는 데 채용될 수 있다. 더욱이, 랜딩구역이 레이저 텍스춰링될 수 있는 정밀한 방법은 헤드 슬라이더의 사이즈의 감소 및 기록 밀도의 증가를 가능케 한다.The present invention can be employed to produce any of various types of magnetic recording media including thin film discs, with improvements shown in flight stability, sliding performance and head-medium interface reliability. Moreover, the precise way in which the landing zone can be laser textured allows for a reduction in the size of the head slider and an increase in recording density.

본 발명의 몇몇 실시예 및 여러 다양한 예가 본 명세서에서 도시되고 설명되었다. 본 발명은 여러 조합 및 환경에서 사용될 수 있고 본 명세서에서 나타낸 발명의 사상의 범위에서 변경 및 수정이 가능하다.Some embodiments and various examples of the invention have been shown and described herein. The present invention can be used in various combinations and environments and can be changed and modified within the scope of the spirit of the invention shown herein.

Claims (17)

텍스춰링된 상부 표면을 갖는 비자성 기판; 및A nonmagnetic substrate having a textured top surface; And 상기 상부 표면에 형성된 자성층을 포함하며,It includes a magnetic layer formed on the upper surface, 상기 텍스처링된 상부 표면은 상기 상부 표면 위에서 약 7.5nm 내지 약 30nm 높이까지 연장되고 상기 상부 표면으로 연장되는 중앙 홀 부근에 약 3㎛ 내지 약 15㎛의 직경을 갖는 원형 림을 갖는 다수의 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.The textured top surface includes a plurality of protrusions having a circular rim having a diameter of about 3 μm to about 15 μm above a central hole extending from about 7.5 nm to about 30 nm above the top surface and extending to the top surface. And a magnetic recording medium. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 림은 약 5㎛ 내지 약 200㎛의 곡률 반경을 갖고;The rim has a radius of curvature of about 5 μm to about 200 μm; 상기 림은 약 5㎛ 내지 약 8㎛의 직경을 갖고;The rim has a diameter of about 5 μm to about 8 μm; 상기 림의 높이는 약 15nm 내지 22.5nm인 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.And the height of the rim is about 15 nm to 22.5 nm. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판으로 연장되는 중앙 홀의 간격대 상기 림 높이의 비율은 약 1:1 이하 내지 약 3:1 이하 인 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.And the ratio of the height of the rim to the spacing of the central holes extending to the substrate is about 1: 1 or less to about 3: 1 or less. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 텍스춰링된 표면은 제 1 컴패니언 더블릿 렌즈와, 상기 기판과 상기 제 1 컴패니언 더블릿 렌즈 사이에 위치된 제 2 렌즈를 포함하며, 상기 제 1 컴패니언 더블릿 렌즈의 포커스 깊이보다 큰 포커스 깊이를 갖는 다수의 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 기판의 상부 표면을 노출시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.The textured surface includes a first companion doublet lens and a second lens located between the substrate and the first companion doublet lens, the textured surface having a depth of focus greater than the focus depth of the first companion doublet lens. Magnetic exposure medium formed by exposing a top surface of the substrate to a laser light beam pulsed through a plurality of lens focusing systems. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 렌즈가 비수면구차 매니스커스 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.And the second lens comprises a non-surface gradient meniscus lens. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 다수의 렌즈 시스템의 포커스 깊이가 약 30㎛ 내지 약 150㎛인 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체.And a depth of focus of the plurality of lens systems from about 30 μm to about 150 μm. 제 1 렌즈 및, 제 1 렌즈와 비자성 기판의 상부표면 사이에 위치되고 상기 제 1 렌즈로부터 이격된 제 2 렌즈를 포함하는 다수 렌즈 포커싱 시스템을 통해 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 비자성 기판의 표면을 노광시킴으로써 상기 비자성 기판을 텍스춰링하는 단계를 포함하며, 여기서 상기 다수 렌즈 포커싱 시스템은 제 1 컴패니언 더블릿 렌즈, 및 상기 다수 렌즈 포커싱의 포커스 깊이가 기판 표면에 대해 약 50 내지 약 150㎛이고 제 1 컴패니언 더블릿 렌즈의 포커스 깊이 보다 큰 포커스 깊이를 갖도록 선택된 제 2 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.The surface of the non-magnetic substrate on a laser light beam pulsed through a multi-lens focusing system comprising a first lens and a second lens positioned between the first lens and an upper surface of the non-magnetic substrate and spaced from the first lens. And texturing the non-magnetic substrate by exposing the plurality of lens focusing systems, wherein the multi-lens focusing system has a focus depth of a first companion doublet lens and the multi-lens focusing from about 50 to about 150 micrometers relative to the substrate surface. And a second lens selected to have a depth of focus greater than the depth of focus of the first companion doublet lens. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 렌즈가 비구면수차 매니스커스 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.And the second lens comprises an aspherical aberration meniscus lens. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 텍스춰링된 기판에 하부층을 증착하는 단계; 및 상기 하부층에 자성층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Depositing an underlying layer on the textured substrate; And depositing a magnetic layer on the lower layer. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 레이저 광 빔이 상기 기판의 상부 표면상에 단일 돌출부를 형성하는 단일 에너지 피크를 갖는 중앙에 집중된 에너지 프로파일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.And wherein the laser light beam comprises a centrally focused energy profile having a single energy peak forming a single protrusion on the upper surface of the substrate. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 기판 표면에 적어도 두 개의 돌출부를 형성하는 적어도 두 개의 에너지 피크에서 나타나는 에너지 프로파일을 갖는 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 기판의 상부표면을 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Exposing a top surface of the substrate to a pulsed laser light beam having an energy profile that appears at at least two energy peaks forming at least two protrusions on the surface of the substrate. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 1 렌즈 및/또는 제 2 렌즈를 서로에 대해 오프셋팅시킴으로써 적어도 두 개의 에너지 피크를 갖는 에너지 프로파일을 포함하는 레이저 광 빔을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Forming a laser light beam comprising an energy profile having at least two energy peaks by offsetting said first and / or second lenses relative to each other. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 레이저 모드를 변경함으로써 적어도 두 개의 에너지 피크를 갖는 에너지 프로파일을 포함하는 레이저 광 빔을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Forming a laser light beam comprising an energy profile having at least two energy peaks by changing the laser mode. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 광 트레인을 변경함으로써 적어도 두 개의 에너지 피크를 갖는 에너지 프로파일을 포함하는 레이저 광 빔을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Forming a laser light beam comprising an energy profile having at least two energy peaks by altering the light train. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 레이저 광원과 상기 제 1 렌즈 사이에 마스크를 개재시킴으로써 상기 광 트레인을 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.And changing the optical train by interposing a mask between a laser light source and the first lens. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 펄싱된 레이저 광 빔에 상기 상부 표면을 노출시키는 동안 디스크를 회전시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Rotating the disc while exposing the upper surface to a pulsed laser light beam. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 초 당 약 30,000 내지 70,000 펄스의 비율로 상기 레이저 광 빔을 펄싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 매체 제조 방법.Pulsing the laser light beam at a rate of about 30,000 to 70,000 pulses per second.
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