JP3986599B2

JP3986599B2 - IC container supply method and IC container supply apparatus

Info

Publication number: JP3986599B2
Application number: JP32150896A
Authority: JP
Inventors: 和久宮本; 博荒武
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1996-12-02
Filing date: 1996-12-02
Publication date: 2007-10-03
Anticipated expiration: 2016-12-02
Also published as: JPH10157849A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣパッケージの特性選別装置などに用いられ、ＩＣ収納容器（以下、チューブマガジンと呼ぶ）を供給する際のチューブマガジン供給方法、及びチューブマガジン供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハプロセスが終了すると、ＬＳＩテスタを用いてウェハ状態で良品チップの選別が行われる。良品チップは切断され、ＩＣパッケージにマウントされた後、ボンディングされる。ＩＣパッケージにキャップがかぶせられて、溶着密封される（以下、この状態のＩＣパッケージを単にＩＣパッケージと呼ぶ）。そして、ＩＣパッケージの特性選別装置により、ＩＣパッケージの最終テストが行われ、良品／不良品が判別されて、外観検査などを経て、良品が出荷される。
このＩＣパッケージの特性選別装置は、ＩＣパッケージを収納したチューブマガジンをハンドラに供給する供給部、ＩＣパッケージを測定部に搬送するハンドラ、ＩＣパッケージの電気特性や機能のテストをする測定部、良品／不良品を空のチューブマガジンに収納する収納部により構成される。
【０００３】
図２は、チューブマガジンとゴムストッパの斜視図である。
特性選別装置で用いるチューブマガジン１は、筒状をなし、収納するＩＣパッケージが落下しないように、一端部がゴムストッパ２で閉塞され、他端部が解放されている。そして、解放された他端部からＩＣパッケージを供給／収納している。
チューブマガジン１を供給部に一定量搭載した状態でチューブマガジン１を下から１本ずつロードし、搬送して、ＩＣパッケージをハンドラに供給する。ＩＣパッケージは、１個ずつハンドラのロボットハンドなどで吸着して、搬送し、アライメントステージにて位置決めする。
そして、測定部に搬送して、良品／不良品の判定を行った後、良品／不良品の毎に、収納部の空のチューブマガジン１に収納して行き、チューブマガジン１が一杯になると、一定量搭載された空のチューブマガジン１を下から１本ずつロードして、この空のチューブマガジン１に良品／不良品のＩＣパッケージを収納して行く。
このように供給部では、ＩＣパッケージが収納されたチューブマガジン１を下から一本ずつロードし、収納部では、空のチューブマガジン１を下から１本ずつロードする。このようなチューブマガジン１を下からロードする装置をチューブマガジン供給装置と呼ぶ。
【０００４】
図３は、従来のチューブマガジン供給装置の側面図である。
従来のチューブマガジン供給装置は、筐体１１、ベース板１２、マガジンガイド１３−１，１３−２、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２、センサ１５、シリンダ１６−１，１６−２、ガイド１７−１、ＬＭガイド１７−２、シリンダ１７−３、及びシャフト１７−４などを備えている。
一端部がゴムストッパ２で閉塞され、他端部が解放されたチューブマガジン１が、ベース板１２に支持され、対向して配設された２つのマガジンガイド１３−１，１３−２の内壁に沿って、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２に係止されて一定量搭載されている。センサ１５により、チューブマガジン１が正しく搭載されているかを確認した後、チューブマガジン１のロードを開始する。
ロードの際は、シリンダ１６−１，１６−２のシャフトを共に上昇し、シリンダ１６−１により、最も下に位置したチューブマガジン１を支持した後、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２を解放する。シリンダ１６−１のシャフトを下降して、チューブマガジン１をシリンダ１６−２に載せると共に、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２により、チューブマガジン１を係止する。
シリンダ１６−２のシャフトを下降して、チューブマガジン１をガイド１７−１に沿って、ＬＭガイド１７−２に支持する。シリンダ１７−３のシャフト１７−４を移動して、ＬＭガイド１７−２をスライドさせて、マガジンガイド１３−１，１３−２の内壁に沿って、チューブマガジン１を搬送している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のチューブマガジン供給装置には、以下の課題があった。
図４は、従来の問題点を示す図である。
チューブマガジン１をロードする際、チューブマガジン１の一端部に嵌め込んであるゴムストッパ２が図４に示すようにマガジンガイド１３−１の内壁に引っ掛かり、斜め状態になり、上手く切り出すことがてきず、チョコ停の原因となる。この状態で、チューブマガジン１を強引に供給すると、チューブマガジン１が変形して、チューブマガジン１に収容されたＩＣパッケージ（供給部の場合）のリードを変形させてしまうという問題があった。リードが変形すると外観検査により、ＩＣパッケージは不良品と判定されてしまう。
図５（ａ），（ｂ）は、不具合の改善方法を示す図であり、特に、同図（ａ）は改善前、同図（ｂ）は改善後を示す図である。
上記不具合を改善するため、チューブマガジン１がマガジンガイド１３−１に引っ掛かりロードできない場合は、警告を出しており、この警告に従って、作業者が図５（ｂ）に示すように、マガジンガイド１３−１に引掛かったチューブマガジン１内にゴムストッパ２をチューブマガジン１に押し込む作業工数が発生するという問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のうちの請求項１に係る発明のチューブマガジン供給方法では、立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のチューブマガジンの前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のチューブマガジンの前記各他端部を前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ移動自在に突出して前記チューブマガジンの前記一端部を係止する第１のマガジンストッパと、前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ移動自在に突出して前記チューブマガジンの前記他端部を係止する第２のマガジンストッパと、前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置された押板と、前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動または前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動させる押圧手段と、前記チューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、を備えたチューブマガジン供給装置を用いている。
そして、前記第１のマガジンストッパを前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁側へ、前記第２のマガジンストッパを前記第２のマガジンガイドの前記第２の内壁側へそれぞれ突出させ、前記チューブマガジンの前記一端部を前記第１の内壁側に、前記チューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁側にして、前記複数のチューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置する工程と、前記複数のチューブマガジンが前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置された後に、前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンに取り付けられている前記ゴムストッパを押圧して、前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列する工程と、前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除した後に、前記取り出し手段により、前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記複数のチューブマガジンから所望のものを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する工程と、を有している。
【０００７】
請求項２、４、５に係る発明のチューブマガジン供給装置では、立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のチューブマガジンの前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のチューブマガジンの前記各他端部を、前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ突出して前記チューブマガジンの前記一端部を係止し、または前記第１の内壁側から後退して前記一端部から離脱する第１のマガジンストッパと、前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ突出して前記チューブマガジンの前記他端部を係止し、または前記第２の内壁側から後退して前記他端部から離脱する第２のマガジンストッパと、前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置され、前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置される前記各チューブマガジンに取り付けられている前記ゴムストッパを押圧する押板と、前記複数のチューブマガジンが前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置されたか否かを検出するセンサと、前記複数のチューブマガジンが正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させ、この整列後に前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除させる押圧手段と、前記押圧が解除された後に前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記チューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、を備えている。
請求項３、４、５、６に係る発明のチューブマガジン供給装置では、請求項２の押圧手段に代えて、移動支持手段と、新たな押圧手段とを備えている。
前記移動支持手段は、前記押板を移動自在に支持し、弾性力により前記押板を前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパから引き離して前記第１の内壁側へ後退させるものである。さらに、前記新たな押圧手段は、前記複数のチューブマガジンが正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記弾性力に抗して前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させるものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の側面図であり、図６は、図１のチューブマガジン供給装置の平面図である。
このチューブマガジン供給装置３０は、筐体３１、ベース板３２、マガジンガイド３３−１，３３−２、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２、シリンダ３４−２、ＬＭガイド３４−３、センサ３５、シリンダ３６−１，３６−２、ガイド３７−１、シリンダ３７−２、ＬＭガイド３７−３、シャフト３７−４、ストッパ３８、ガイド３９、押板４０、支持板４１、シリンダ４２−１、シャフト４２−２、エアチューブ４２−３、及び電磁弁４２−４を備えている。
チューブマガジン１を収納するチューブマガジン収納装置５０は、筐体３１、ベース板３２、マガジンガイド５１、シリンダ５２、チャック５３、シリンダ５４、及びレール５６などを備えている。
筐体３１には、電源部、及び制御部などが収納されている。制御部は、コンピュータを有し、チューブマガジン１をロードするプログラムをコンピュータ上で実行することにより、チューブマガジン１のロードは自動制御されるようになっている。
【０００９】
筐体３１上には、アルミニウムなどで構成されるベース板３２（支持手段）が水平に配設されている。ベース板３２には、前後に２つの第１のマガジンガイド３３−１と第２のマガジンガイド３３−２、第１のマガジンストッパ３４−１−１、第２のマガジンストッパ３４−１−２、及びガイド３９が配設されている。
第１及び第２のマガジンガイド３３−１，３３−２は、「コ」の字型になっており、「コ」の字の中央に沿って、チューブマガジン１が搭載されるようになっている。第１のマガジンガイド３３−１には、ゴムストッパ２により閉塞されたチューブマガジン１の一端部が近接して搭載され、第２のマガジンガイド３３−２には、解放されたチューブマガジン１の他端部が密着して搭載される。
「コ」の字型のマガジンガイド３３−１，３３−２は、チューブマガジン１の両端部及び両側面をガイドするものであり、その形状及びマガジンガイド３３−１，３３−２間の距離は、チューブマガジン１の大きさにより決定されるが、チューブマガジン１の温度による形状の変形、製造上のばらつきや作業者がチューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２に搭載しやすいように、チューブマガジン１を搭載した状態でのマガジンガイド３３−１，３３−２との間隙のクリアランスを設けている。
【００１０】
第１のマガジンストッパ３４−１−１は、第１のマガジンガイド３３−１の内壁に設けた第１の欠損部に貫通し、ベース板３２に支持されている。
第２のマガジンストッパ３４−１−２は、第２のマガジンガイド３３−２の内壁に設けた第２の欠損部に貫通し、ベース板３２に支持されている。
第１、第２のマガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２は、ＬＭガイド３４−３に連結され、ＬＭガイド３４−３と共に、水平に移動するようになっており、第１のマガジンストッパ３４−１−１は、チューブマガジン１を支持する第１の位置と解放する第２の位置との間を移動し、第２のマガジンストッパ３４−１−２は、チューブマガジン１を支持する第３の位置と解放する第４の位置との間を移動するようになっている。
ＬＭガイド３４−３がシャフトに連結されて、シャフトを内部に配設したシリンダ３４−２に連結される。シリンダ３４−２にはエアが供給されて、シャフトが前後に移動することにより、ＬＭガイド３４−３、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２が移動するようになっている。センサ３５は、ベース板３２上に前後に２つ、それぞれがチューブマガジン１の最下段の位置に合わせて配設されている。
【００１１】
シリンダ３６−１は、筐体３１から突出するように、前後に２つ配設されており、シリンダ３６−１に配設されたシャフトが内部に供給されるエアによって、チューブマガジン１を支持する第５の位置とシリンダ３６−２にチューブマガジン１を渡す第６の位置との間を昇降するようになっている。
シリンダ３６−２は、筐体３１から突出するように、前後に２つ配設されており、シリンダ３６−２に配設されたシャフトが内部に供給されるエアによって、シリンダ３６−１からチューブマガジン１を受け取る第７の位置とガイド３７−１にチューブマガジン１を渡す第８の位置との間を昇降するようになっている。
ガイド３７−１は、ロードしたチューブマガジン１をガイドするためのものであり、前後・左右に都合４個、ベース板３２上の所定の高さに配設されている。このガイド３７−１は、ＬＭガイド３７−３に連結されている。ＬＭガイド３７−３は、シャフト３７−４に連結されている。シャフト３７−４は、シリンダ３７−２内に配設されている。
【００１２】
シリンダ３７−２に供給されるエアによって、シャフト３７−４が移動して、シャフト３７−４の移動に伴い、ＬＭガイド３７−３がスライドして、チューブマガジン１が搬送されるようになっている。ガイド３７−１、シリンダ３７−２、ＬＭガイド３７−３、及びシャフト３７−４は、ロードしたチューブマガジン１を搬送する搬送手段であり、この搬送手段とシリンダ３６−１，３６−２などにより、チューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２から取り出して所定の位置へ搬送するための取り出し手段が構成されている。
ストッパ３８は、ＬＭガイド３７−３の停止位置を示すためのものであり、チューブマガジン１を供給する側と供給される側にそれぞれ配設されている。ガイド３９は、チューブマガジン１の搬送時にガイドするためのものであり、ベース板３２に支持され、マガジンガイド３３−１，３３−２に隣接して配設されている。
図７は、図６中のＢ部拡大図である。
図８は、図１中のＡ部拡大図である。
【００１３】
第１のマガジンガイド３３−１の内壁の中央部に近接して、押板４０が配設されている。マガジンガイド３３−１の外壁には、支持板４１が図示しないがネジにより固定されている。支持板４１と第１のマジジンガイド３３−１に設けた第３の欠損部を貫通して、第１のマガジンガイド３３−１の中央に、シリンダ４２−１が配設されている。シリンダ４２−１は図示しないがネジにより支持板４１に固定されている。
押板４０は、ネジ４３によりシリンダ４２−１に配設されたシャフト４２−２に固定されている。この押板４０は、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に密着した状態で、シャフト４２−２が最も第２のマガジンガイド３３−２に接近した時にゴムストッパ２を押圧する第１０の位置とシャフト４２−２が第２のマガジンガイド３３−２から最も離間した時、押板４０によるゴムストッパ２への押圧を解除する、例えば、押板４０がゴムストッパ２の先端から離間して、ゴムストッパ２との間に、間隙（例えば、２〜３ｍｍ程度）が生じる第９の位置との間を移動するように配設されている。
【００１４】
エアチューブ４２−３へのエアの供給は、電磁弁４２−４の開閉により行われるようになっている。電磁弁４２−４の開閉は、筐体３１の内部に配設された制御部のコンピュータからの制御信号によって制御されるようになっている。
チューブマガジン１をガイドするマガジンガイド５１が対向して、ベース板３２の上に支持されている。空（測定部にＩＣパッケージを供給する場合）又は満杯（測定部から測定済みのＣパッケージが供給される場合）のチューブマガジン１をレール５６側に移動して、チューブマガジン１をレール５６に接触させるためのシリンダ５４が配設されている。
チューブマガジン１を持ち上げ、次のチューブマガジン１を受け取るためのシリンダ５２が配設されている。チューブマガジン１を掴むためのチャック５３が前後、左右に４個配設されている。図示しないハンドラからＩＣパッケージを受け取る、又はハンドラにＩＣパッケージを渡すために、ＩＣパッケージを搬送するためのレール５６が配設されている。
以下、これらの図を参照しつつ、本発明の第１の実施形態のチューブマガジン供給方法及びチューブマガジン供給装置の動作の説明（ａ），（ｂ）をする。
【００１５】
（ａ）チューブマガジン１のマガジンガイド３３−１，３３−２への搭載
ロードする際のチューブマガジン１よりも下の第６、第８の位置にシリンダ３６−１，３６−２の先端がそれぞれ位置するようにそれぞれ移動する。第１のマガジンストッパ３４−１−１を、第１の位置に、第２のマガジンストッパ３４−１−２を、第３の位置にそれぞれ移動し、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド３３−２から最も離間した位置にする。押板４０がシャフト４２−２と共に移動して、ゴムストッパ２への押圧が解除されて、作業者がチューブマガジン１を搭載し易い第９の位置まで来る。
作業者は、一端部がゴムストッパ２により閉塞され、他端部が解放されたチューブマガジン１を、複数個、ゴムストッパ２を押板４０側にして搭載する。最下段のチューブマガジン１は、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２により支持され、上方にチューブマガジン１が積み上げられる。
【００１６】
（ｂ）チューブマガジン１のロード
作業者は、筐体３１に設けられた図示しないロードスイッチを押す。センサ３５によってチューブマガジン１が正しい位置に搭載されたかをチェックして、正しい位置に搭載されていなければ、警告を出す。この警告に従って、作業者は、チューブマガジン１の搭載のやり直しを行う。
チューブマガジン１が正しい位置に搭載されると、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド３３−２に最も近づく位置にする。押板４０は、シャフト４２−２と共に移動し、第１０の位置にて、チューブマガジン１を閉塞するゴムストッパ２を押圧する。
この時、ゴムストッパ２を押圧する力は、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に密着して整列すると共に、チューブマガジン１の一端部に密着していないようなゴムストッパ２がチューブマガジン１の一端部に密着する程度とする。これにより、搭載された各チューブマガジン１は、第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列し、水平に搭載される。
【００１７】
シリンダ３６−１は、ロードする最下段のチューブマガジン１を持ち上げられる第５の位置に、シリンダ３６−２は、ロードするチューブマガジン１の直ぐ上のチューブマガジン１がマガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２に支持される第７の位置にそれぞれ上昇させる。シリンダ３６−２内のシャフトを移動させて、ＬＭガイド３４−３をスライドさせて、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２を解放する。
シリンダ３６−１をロード前の初期状態の第６の位置に下降させ、シリンダ３６−１に支持したチューブマガジン１を隣のシリンダ３６−２に移す。この時、搭載されたチューブマガジン１がマガジンガイド３３−１，３３−２に沿って下降するが、各チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列してあり、各チューブマガジン１が水平に搭載された状態となっており、ゴムストッパ２への押圧を解除している、例えば、ゴムストッパ２と押板４０との間には間隙が生じているので、チューブマガジン１が自重により下降する際に、押板４０に引っ掛かることがなくなり、確実にチューブマガジン１をロードすることができる。
【００１８】
マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２を閉じて、チューブマガジン１を係止する。シリンダ３６−２をロード前の初期状態の第８の位置まで下降させて、チューブマガジン１をガイド３７−１で支持する。
シャフト３７−４を移動させ、ＬＭガイド３７−３をスライドさせて、チューブマガジン１を、ガイド３９に沿って、ストッパ３８の停止位置まで移動する。シリンダ５４によりチューブマガジン１をレール５６側に移動させて、チューブマガジン１とレール５６との隙間をなくす。チャック５３を上昇させて、チューブマガジン１を支持する。
ハンドラにＩＣパッケージを供給する場合は、片方のチャック５３を更に上昇させ、チューブマガジン１を傾け、収容されていたＩＣパッケージを１個ずつレール５６に載せる。レール５６に載せられたＩＣパッケージは、ハンドラのロボットなどにより測定部に搬送され、良品／不良品の判別のテストが行われる。
測定部からＩＣパッケージを収納する収納部においては、ＩＣバッケージをロードされた空のチューブマガジン１に収容してゆき、チューブマガジン１にＩＣパッケージが一杯になると、シリンダ５２を上昇して、空のチューブマガジンのロードに備える。
【００１９】
チューブマガジン１がロードされると作業者が、適宜、チューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２に搭載できるようするため、チューブマガジン１をロードする前は、上述したように、押板４０によりチューブマガジン１を押圧し、搭載したチューブマガジン１の解放端を第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列した後、上述したと同様に、押板４０の解放、シリンダ３６−１，３６−２の上昇、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２の解放などをして、最下段のチューブマガジン１をロードするという動作を繰り返す。
以上説明したように、本第１の実施形態によれば、チューブマガジン１をロードする際は、シリンダ４２−１のシャフト４２−２を移動して、押板４０によりチューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２を押圧してチューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列し、その後、押板４０を解放してこの押板４０とゴムストッパ２との間に間隙を生じさせるので、ゴムストッパ２がマガジンガイド３３−１，３３−２に引っ掛かるようなことがなく、確実にロードすることができる。そのため、チョコ停低減、ＩＣパッケージのリード曲り防止、作業者によるゴムストッパ２の押し込みの工数の削減が期待できる。
【００２０】
（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の構成図であり、図１中の要素に共通する要素には共通の符号を付している。
本第２の実施形態のチューブマガジン供給装置が第１の実施形態のチューブマガジン供給装置３０と異なる点は、第１の実施形態では、押板４０をシリンダ４２−１のシャフト４２−２にネジ４３により固定していたのに対して、第２の実施形態では、押板４０を、シリンダ４２−１のシャフト４２−２からは分離し、支持板４１の上下の位置に、バネ６２が周囲に巻かれたリニアブッシュ６１を設けて、そのリニアブッシュ６１の先端をネジ６３により、押板４０を支持するようにしたことである。
図１０は、図９中の拡大平面図である。
図１１は、図９中のＣ部拡大図である。
支持板４１の上下に、支持板４１及び第１のマガジンガイド３３−１に設けた欠損部を貫通して、リニアブッシュ６１が支持板４１に図示しないネジにより固定されている。リニアブッシュ６１の外側の先端に、バネ６２の一方の端部が固定されている。このバネ６２は、リニアブッシュ６１の周囲を取り囲んで巻かれており、他方の端部は、支持板４１に固定されている。リニアブッシュ６１の内側の先端は、ネジ６３によって、押板４０に固定されている。リニアブッシュ６１及びバネ６２により、移動支持手段が構成されている。
【００２１】
バネ６２が弛緩した状態で、押板４０とチューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２との間に間隙（２〜３ｍｍ程度）が生じ、且つ、押板４０がシャフト４４−２の先端により押されることにより、ゴムストッパ２を押圧するように、リニアブッシュ６１及びバネ６２の長さを決定している。支持板４１の中央に、シリンダ４２−１が固定されている。シリンダ４２−１には、シャフト４２−２が配設されているが、このシャフト４２−２と押板４０とは分離されている。
以下、図９の動作説明をする。
図９のチューブマガジン供給装置の動作は、第１の実施形態のチューブマガジン供給装置５０の動作とは、押板４０によって、ゴムストッパ２を押圧、押板４０の押圧の解放の動作が異なるので、この点を以下（ａ），（ｂ）に説明する。
（ａ）ゴムストッパ２への押圧
チューブマガジン１をロードする前は、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を最も内側の位置にする。シャフト４２−２が押板４０に接触し、押板４０が内側に移動すると共に、押板４０に固定されたリニアブッシュ６１がバネ６２を押し縮めながら、内側に移動する。そして、押板４０がゴムストッパ２を押圧する。
押板４０には、上下のリニアブッシュ６１の先端からも力を受けるので、押板４０には均一に力がかけられることになり、搭載されたチューブマガジン１を閉塞するゴムストッパ２を一様に押圧して、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列する。
【００２２】
（ｂ）ゴムストッパ２への押圧の解放
エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を最も外側の位置にして、押板４０への押圧を解放する。これにより縮んでいたバネ６２は、定常状態に戻り、リニアブッシュ６１が外側に移動し、押板４０がリニアブッシュ６１と共に移動する。これによって、ゴムストッパ２への押板４０による押圧が解放されて、例えば、ゴムストッパ２と押板４０との間に間隙が生じる。そして、チューブマガジン１をロードする。
以上説明したように、本第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の利点がある上に、リニアブッシュ６１によって押板４０の上下に押圧をかけるので、押板４０が均一に押圧されて、全てのゴムストッパ２が一様に押板４０によって押圧されるため、より確実にチューブマガジン１をロードすることができる。
【００２３】
（第３の実施形態）
図１２は、本発明の第３の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の構成図であり、図９中の要素に共通する要素には共通の符号を付している。
本第３の実施形態のチューブマガジン供給装置が第２の実施形態のチューブマガジン供給装置と異なる点は、第２の実施形態の支持板４１の中央に配設したシリンダ４２−１などを小型バイブレータ７１に代えたことである。
図１３は、図１２中のＤ部拡大図である。
支持板４１の中央部に設けた欠損部に貫通して、図示しないネジにより小型バイブレータ７１が固定されている。小型バイブレータ７１の先端部と押板４０とは、分離されている。この小型バイブレータ７１は、電磁振動と板バネ共振型のものであり、先端部が前後に振動し、且つ、この先端部の板バネに力をかけることによって、先端部が振動の際、最も外側に位置する位置まで移動するように構成されている。
【００２４】
その先端部が振動によって最も内側に位置した時に、押板４０に押圧をかけて、押板４０を移動させて、ゴムストッパ２を押圧する振動となるよう小型バイブレータ７１を設けている。小型バイブレータ７１は、制御部からの制御信号によってオン／オフの制御がなされるようになっている。
以下、図１２の動作説明をする。
第２の実施形態のチューブマガジン供給装置の動作とは、押板４０によって、ゴムストッパ２を押圧、押板４０の押圧の解放の動作が異なるので、この点を、以下（ａ），（ｂ）に説明する。
【００２５】
（ａ）ゴムストッパ２への押圧
チューブマガジン１をロードする前は、小型バイブレータ７１を制御部からの制御信号によってオンする。小型バイブレータ７１は、オンすることにより、振動を開始する。この振動によって、押板４１及びバネ６２が振動し、ゴムストッパ２がランダムに押圧されて、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列することになる。
（ｂ）ゴムストッパ２への押圧の解放
小型バイブレータ７１を制御部からの制御信号によってオフする。バネ６２には、定常状態に戻ろうとする外側の方向の力が働く。この力がリニアブッシュ６１及び押板４１を通して、小型バイブレータ７１の先端部に加わり、先端が振動時の最も外側の位置に戻る。これにより、ゴムストッパ２への押板４０への押圧が解放されて、例えば、押板４１とゴムストッパ２との間に間隙（２〜３ｍｍ程度）が生じる。そして、チューブマガジン１をロードする。
【００２６】
以上説明したように、本第３の実施形態によれば、小型バイブレータ７１によって先端を振動させ、ゴムストッパ２にランダムに押圧をかけるので、チューブマガジン１が整列し、ロードの際は、小型バイブレータ７１をオフして、押板４０によるゴムストッパ２への押圧を解放して、押板４０とゴムストッパ２との間に間隙を生じさせるので第２の実施形態と同様の利点がある。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば次のようなものがある。
（１）実施形態では、測定部にＩＣパッケージを供給するためのチューブマガジンの供給、測定したＩＣパッケージを収容するために、空のチューブマガジンを供給する場合を例に説明したが、水平に複数段搭載したチューブマガジンを下からロードする場合にも、適用可能である。
（２）図１では、シリンダ４２−１などは１個としたが、複数個あってもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１〜６に係る発明によれば、第１、第２のマガシンガイド間に正常に積層配置された複数のチューブマガジンに対して押板により各チューブマガジンに取り付けられているゴムストッパを押圧するようにしている。即ち、チューブマガジンを積層する際には、チューブマガジンが充分収納されるようなスペースを第１、第２のマカジンガイド間に準備し、複数のチューブマガジンが第１、第２のマガジンガイド間に正常に積層配置された後に、第１のマガジンガイドの延在方向に沿って配置されている押板を第２のマガジンガイドの方向へと移動してゴムストッパを押圧した後に、押板を第２のマガジンガイドから離間させる方向へと移動させるようになっている。つまり、ゴムストッパを確実にチューブマガジンに密着させるため、整列配置したチューブマガジンに対して押板で押圧するものとしている。
このように、正常に積層配置された後にチューブマガジンの端部を閉塞するゴムストッパをチューブマガジンの端部へ密着させるために押板を動作させ、押板にてゴムストッパを押圧した後は、チューブマガジンの落下を阻害しないように押板を移動（チューブマガジンから離間）させるようにしている。この結果、大規模な構造の変更をすることもなく、チューブマガジンからゴムストッパが外れて不測の引っ掛かりを発生することをも低減させることができ、チョコ停が少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図２】チューブマガジンとゴムストッパとを示す図である。
【図３】従来のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図４】従来の問題点を示す図である。
【図５】不具合の改善方法を示す図である。
【図６】図１のチューブマガジン供給装置の平面図である。
【図７】図６中のＢ部拡大図である。
【図８】図１中のＡ部拡大図ある。
【図９】本発明の第２の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図１０】図９中の拡大平面図である。
【図１１】図９中のＣ部拡大図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図１３】図１２中のＤ部拡大図である。
【符号の説明】
３１筐体
３２ベース板
３３−１第１のマガジンガイド
３３−２第２のマガジンガイド
３４−１−１第１のマガジンストッパ
３４−１−２第２のマガジンストッパ
３４一２，３６−１，３６−２シリンダ
３７−２，４２−１シリンダ
３４−３，３７−３ＬＭガイド
４０押板
４１支持板
４２−２シャフト
４２−３エアチューブ
４２−４電磁弁
６１リニアブッシュ
６２バネ
７１小型バイブレータ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used in an IC package characteristic selection device or the like, and a tube magazine supply method for supplying an IC storage container (hereinafter referred to as a tube magazine), and a tube magazineSupplyIt relates to the device.
[0002]
[Prior art]
  When the wafer process is completed, non-defective chips are selected in the wafer state using an LSI tester. Non-defective chips are cut, mounted on an IC package, and then bonded. The IC package is covered with a cap and welded and sealed (hereinafter, the IC package in this state is simply referred to as an IC package). AndIC packageThe final screening of the IC package is performed by the characteristic selection device, and the non-defective product / defective product is discriminated, and the non-defective product is shipped through an appearance inspection and the like.
  This IC package characteristic selection device includes a supply unit that supplies a tube magazine containing an IC package to a handler, a handler that conveys the IC package to a measurement unit, a measurement unit that tests the electrical characteristics and functions of the IC package, Consists of a storage unit that stores defective products in an empty tube magazine.
[0003]
  FIG. 2 is a perspective view of the tube magazine and the rubber stopper.
  The tube magazine 1 used in the characteristic sorting device isCylindrical,One end so that IC package to be stored does not fallPartIs closed by rubber stopper 2 and the other endPartHas been released. And the other end releasedPartIC package is supplied / stored from
  The tube magazine 1 is loaded one by one from the bottom with a certain amount of the tube magazine 1 mounted on the supply unit, transported, and the IC package is supplied to the handler. The IC packages are sucked one by one by a robot hand of a handler, conveyed, and positioned by an alignment stage.
  Then, after transporting to the measurement unit and determining whether the product is good / defective, each good / defective product is stored in an empty tube magazine 1 in the storage unit. When the tube magazine 1 is full, A fixed amount of empty tube magazines 1 are loaded one by one from the bottom, and good / defective IC packages are stored in the empty tube magazine 1.
  As described above, the supply unit loads the tube magazines 1 storing the IC packages one by one from the bottom, and the storage unit loads the empty tube magazines 1 one by one from the bottom. An apparatus for loading such a tube magazine 1 from below is called a tube magazine supply apparatus.
[0004]
  FIG.These are the side views of the conventional tube magazine supply apparatus.
  A conventional tube magazine supply apparatus includes a housing 11, a base plate 12, magazine guides 13-1, 13-2, magazine stoppers 14-1-1, 14-1-2, a sensor 15, and cylinders 16-1, 16-. 2, a guide 17-1, an LM guide 17-2, a cylinder 17-3, a shaft 17-4, and the like.
  one endPartIs closed by rubber stopper 2 and the other endPartOf the two magazine guides 13-1 and 13-2, which are supported by the base plate 12 and arranged to face each other.InsideMagazine stopper along the wall14-1-1, 14-1-2InLockingA certain amount has been installed. Sensor15After confirming whether the tube magazine 1 is correctly loaded, the loading of the tube magazine 1 is started.
  When loading, both the shafts of the cylinders 16-1 and 16-2 are lifted, and the cylinder 16-1,After supporting the lowermost tube magazine 1, the magazine stoppers 14-1-1 and 14-1-2 are released. The shaft of the cylinder 16-1 is lowered and the tube magazine 1 is placed on the cylinder 16-2, and the tube magazine 1 is removed by the magazine stoppers 14-1-1 and 14-1-2.LockingTo do.
  Lower the shaft of the cylinder 16-2 and selectTheThe magazine 1 is supported by the LM guide 17-2 along the guide 17-1. The shaft 17-4 of the cylinder 17-3 is moved, the LM guide 17-2 is slid, and the magazine guides 13-1 and 13-2 areInsideThe tube magazine 1 is conveyed along the wall.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
  However, the conventional tube magazine supply apparatus has the following problems.
  FIG. 4 is a diagram showing a conventional problem.
  When loading the tube magazine 1, one end of the tube magazine 1PartThe rubber stopper 2 fitted in the magazine guide 13-1 as shown in FIG.InsideCaught on the wallOrAs a result, it becomes slanted and cannot be cut out well, causing a chocolate stop. If the tube magazine 1 is forcibly supplied in this state, there is a problem that the tube magazine 1 is deformed and the leads of the IC package (in the case of the supply unit) accommodated in the tube magazine 1 are deformed. If the lead is deformed, the IC package is determined to be defective by the appearance inspection.
  5 (a) and 5 (b) are diagrams showing a method for improving a defect. In particular, FIG. 5 (a) is a diagram before improvement and FIG. 5 (b) is a diagram showing after improvement.
  In order to remedy the above problems, when the tube magazine 1 is caught on the magazine guide 13-1 and cannot be loaded, a warning is issued. According to this warning, the operator guides the magazine guide 13- as shown in FIG. There is a problem in that the man-hours for pushing the rubber stopper 2 into the tube magazine 1 are generated in the tube magazine 1 caught by 1.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  In order to solve the above-mentioned problem, in the tube magazine supply method according to the first aspect of the present invention, a tubular shape having a first inner wall standing upright and having one end and the other end released. The one end was closed by a rubber stopperpluralThe tube magazineeachOne end along the first inner wallRespectivelyA first magazine guide for guiding, and a second inner wall erected facing the first inner wall of the first magazine guide,pluralThe tube magazineeachThe other end along the second inner wallRespectivelyA second magazine guide to be guided; and provided at a lower portion of the first magazine guide and projecting movably toward the first inner wall sideTube magazineA first magazine stopper that locks the one end of the second magazine guide, and a lower portion of the second magazine guide that faces the first magazine stopper and protrudes movably toward the second inner wall. A second magazine stopper for locking the other end of the tube magazine, and a pressing plate arranged to extend along the inner wall of the first magazine guide;Driving the push plate,Move the push plate toward the second magazine guideMove or move away from the second magazine guideA tube magazine supply apparatus including pressing means and taking-out means for taking out the tube magazine from the first and second magazine guides and transporting it to a predetermined position is used.
  Then, the first magazine stopper is protruded toward the first inner wall side of the first magazine guide, and the second magazine stopper is protruded toward the second inner wall side of the second magazine guide. The one end of the tube magazine is on the first inner wall side, and the other end of the tube magazine is on the second inner wall side,The plurality ofTube magazineStacking arrangement between the first and second magazine guidesAnd a process ofAfter the plurality of tube magazines are normally stacked and arranged between the first and second magazine guides, the pressing plate is moved in the second magazine guide direction by the pressing means and attached to the tube magazines. The rubber stopperPressing and aligning the other end portions of the plurality of tube magazines with the second inner wall; andThe pressing means moves the pressing plate away from the second magazine guide.After releasing the pressure, the take-out means takes out a desired one from the first and second magazine guides from the plurality of tube magazines locked by the first and second magazine stoppers. And a step of conveying to a predetermined position.
[0007]
  In the tube magazine supply device of the invention according to claims 2, 4, and 5, the first inner wall is provided upright, and has a cylindrical shape with one end and the other end being released, and the one end is a rubber stopper. Blocked bypluralThe tube magazineeachOne end along the first inner wallRespectivelyA first magazine guide for guiding, and a second inner wall erected facing the first inner wall of the first magazine guide,pluralThe tube magazineeachThe other end along the second inner wallRespectivelyA second magazine guide for guiding, and provided at a lower portion of the first magazine guide, protruding toward the first inner wall side to lock the one end portion of the tube magazine, or from the first inner wall side A first magazine stopper that retreats and separates from the one end, a lower portion of the second magazine guide that faces the first magazine stopper, protrudes toward the second inner wall, and protrudes toward the second inner wall. A second magazine stopper that locks the other end portion of the first magazine wall or retracts from the second inner wall side and separates from the other end portion, and extends along the inner wall of the first magazine guide., Pressing the rubber stoppers attached to the tube magazines that are stacked between the first and second magazine guidesA pressing plate,A sensor for detecting whether the plurality of tube magazines are normally stacked between the first and second magazine guides, and the sensor detects that the plurality of tube magazines are normally stacked. In response to this, the push plate is driven, the push plate is moved in the second magazine guide direction, and the rubber stoppers of the tube magazines are pressed to move the other end portions of the plurality of tube magazines. Abutting against the second inner wall and aligning, and after the alignment, the pressing plate is moved away from the second magazine guide to release the pressing.Depressing means and taking out the tube magazine locked by the first and second magazine stoppers after releasing the push from the first and second magazine guides and transporting them to a predetermined position Means.
  The tube magazine supply apparatus according to the third, fourth, fifth, and sixth aspects of the present invention includes a moving support unit and a new pressing unit in place of the pressing unit of the second aspect.
  The movement support means movably supports the push plate, and the push plate is moved by an elastic force.eachThe tube magazine is pulled away from the rubber stopper and retracted toward the first inner wall. Furthermore, the new pressing means isThe push plate is driven in response to detection by the sensor that the plurality of tube magazines are normally stacked, and the push plate is moved in the second magazine guide direction against the elastic force. Move and press the rubber stopper of each tube magazine so that the other end portions of the plurality of tube magazines are in contact with the second inner wall to be aligned.Is.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
  FIG. 1 is a side view of a tube magazine supply apparatus showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a plan view of the tube magazine supply apparatus of FIG.
  The tube magazine supply device 30 includes a housing 31, a base plate 32, magazine guides 33-1 and 33-2, magazine stoppers 34-1-1 and 34-1-2, a cylinder 34-2, and an LM guide 34-3. , Sensor 35, cylinders 36-1, 36-2, guide 37-1, cylinder 37-2, LM guide 37-3, shaft 37-4, stopper 38, guide 39, push plate 40, support plate 41, cylinder 42 -1, shaft 42-2, air tube 42-3, and electromagnetic valve 42-4.
  The tube magazine storage device 50 that stores the tube magazine 1 includes a housing 31, a base plate 32, a magazine guide 51, a cylinder 52, a chuck 53, a cylinder 54, and a rail.56Etc.
  The housing 31 houses a power supply unit, a control unit, and the like. The control unit has a computer, and the loading of the tube magazine 1 is automatically controlled by executing a program for loading the tube magazine 1 on the computer.
[0009]
  A base plate 32 (supporting means) made of aluminum or the like is horizontally disposed on the housing 31. The base plate 32 includes two front and rear first magazine guides 33-1 and 33-2, a first magazine stopper 34-1-1, a second magazine stopper 34-1-2, And a guide 39 is provided.
  The first and second magazine guides 33-1 and 33-2 have a “U” shape, and the tube magazine 1 is mounted along the center of the “U” shape. Yes. The first magazine guide 33-1 includes a tube magazine 1 closed by the rubber stopper 2.One endIs mounted in close proximity to the second magazine guide33-2In the released tube magazine 1The other endIs mounted closely.
  "U" -shapedMagazine guides 33-1 and 33-2IsBoth ends and both side surfaces of the tube magazine 1 are guided, and the shape and the distance between the magazine guides 33-1 and 33-2 are determined by the size of the tube magazine 1, but the temperature of the tube magazine 1 is determined. Magazine guides 33-1 and 33- with the tube magazine 1 mounted so that the operator can easily mount the tube magazine 1 on the magazine guides 33-1 and 33-2. Clearance of the gap with 2 is provided.
[0010]
  First magazine stopper34-1-1Is the first magazine guide 33-1InsideIt penetrates through the first defect portion provided on the wall and is supported by the base plate 32.
  Second magazine stopper34-1-2The second magazine guide33-2ofInsideIt penetrates through a second defect provided in the wall and is supported by the base plate 32.
  First,Second magazine stopper34-1-1, 34-1-2Is connected to the LM guide 34-3,BothThe first magazine stopper 34-1-1 moves between a first position for supporting the tube magazine 1 and a second position for releasing the first magazine stopper 34-1-1. The magazine stopper 34-1-2 is adapted to move between a third position for supporting the tube magazine 1 and a fourth position for releasing it.
  The LM guide 34-3 is connected to a shaft, and is connected to a cylinder 34-2 in which the shaft is disposed. Air is supplied to the cylinder 34-2, and the LM guide 34-3 and the magazine stoppers 34-1-1 and 34-1-2 are moved by moving the shaft back and forth. The sensor 35 is a base plate32Two pieces are arranged on the front and back in accordance with the position of the lowermost stage of the tube magazine 1.
[0011]
  Cylinder36-1Are arranged at the front and rear so as to protrude from the casing 31, and a shaft disposed in the cylinder 36-1 is supported at the fifth position by the air supplied to the inside thereof. And a sixth position where the tube magazine 1 is passed to the cylinder 36-2.
  Cylinder36-2Are arranged at the front and rear so as to protrude from the housing 31, and the shaft arranged in the cylinder 36-2 receives the tube magazine 1 from the cylinder 36-1 by air supplied to the inside. It moves up and down between the seventh position and the eighth position where the tube magazine 1 is passed to the guide 37-1.
  The guides 37-1 are for guiding the loaded tube magazine 1, and are arranged at a predetermined height on the base plate 32 for convenience in the front and rear and left and right directions. The guide 37-1 is connected to the LM guide 37-3. LM Guide37-3Is connected to the shaft 37-4. The shaft 37-4 is disposed in the cylinder 37-2.
[0012]
  The shaft 37-4 is moved by the air supplied to the cylinder 37-2, and the LM guide 37-3 slides along with the movement of the shaft 37-4 so that the tube magazine 1 is conveyed. Yes. Guide 37-1, cylinder 37-2,LM Guide37-3, andshaft37-4 is a conveying means for conveying the loaded tube magazine 1.Thus, the conveying means and the cylinders 36-1, 36-2 and the like constitute an extracting means for extracting the tube magazine 1 from the magazine guides 33-1, 33-2 and conveying it to a predetermined position.
  The stopper 38 is for indicating the stop position of the LM guide 37-3, and is disposed on the side where the tube magazine 1 is supplied and the side where it is supplied. The guide 39 is for guiding the tube magazine 1 when it is transported.32And is disposed adjacent to the magazine guides 33-1 and 33-2.
  FIG. 7 is an enlarged view of part B in FIG.
  FIG. 8 is an enlarged view of a portion A in FIG.
[0013]
  Of the first magazine guide 33-1InsideA push plate 40 is disposed in the vicinity of the central portion of the wall. Magazine guide 33-1outer wallThe support plate 41 is fixed by a screw (not shown). A cylinder 42-1 is disposed in the center of the first magazine guide 33-1 through the support plate 41 and the third defect portion provided in the first majidin guide 33-1. Although not shown, the cylinder 42-1 is fixed to the support plate 41 with screws.
  The pressing plate 40 is fixed to a shaft 42-2 disposed in the cylinder 42-1 by a screw 43. The pressing plate 40 presses the rubber stopper 2 when the shaft 42-2 is closest to the second magazine guide 33-2 with the open end of the tube magazine 1 being in close contact with the second magazine guide 33-2. When the tenth position and the shaft 42-2 are farthest from the second magazine guide 33-2, the pressing of the pressing plate 40 to the rubber stopper 2 is released. For example, the pressing plate 40 is the tip of the rubber stopper 2. It is arrange | positioned so that it may move apart and 9th position which a gap | interval (for example, about 2-3 mm) may arise between the rubber stoppers 2.
[0014]
  Air is supplied to the air tube 42-3 by opening and closing the electromagnetic valve 42-4. The opening and closing of the electromagnetic valve 42-4 is controlled by a control signal from a computer of a control unit disposed in the housing 31.
  A magazine guide 51 for guiding the tube magazine 1 is supported on the base plate 32 so as to face each other. Rail tube magazine 1 that is empty (when IC package is supplied to measurement unit) or full (when measured C package is supplied from measurement unit)56A cylinder 54 for moving the tube magazine 1 in contact with the rail 56 is disposed.
  A cylinder 52 for lifting the tube magazine 1 and receiving the next tube magazine 1 is provided. Four chucks 53 for gripping the tube magazine 1 are arranged on the front and rear and on the left and right. In order to receive the IC package from a handler (not shown) or to deliver the IC package to the handler, a rail 56 for transporting the IC package is provided.
  The followingThisThe operations (a) and (b) of the tube magazine supply method and the tube magazine supply apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to these drawings.
[0015]
(A) Mounting the tube magazine 1 on the magazine guides 33-1 and 33-2
  Tube magazine when loadingThan 16th below,The cylinders 36-1 and 36-2 are moved so as to be positioned at the eighth positions, respectively. The first magazine stopper 34-1-1 is moved to the first position, the second magazine stopper 34-1-2 is moved to the third position, and the opening and closing of the electromagnetic valve 42-4 is controlled. By controlling the air supplied to the cylinder 42-1 from the air tube 42-3, the shaft 42-2 is moved to the position farthest from the second magazine guide 33-2. The pressing plate 40 moves together with the shaft 42-2, the pressing to the rubber stopper 2 is released, and the operator reaches the ninth position where the tube magazine 1 can be easily mounted.
  The worker is one endPartIs closed by the rubber stopper 2 and the other endPartA plurality of tube magazines 1 are released, and the rubber stopper 2 is mounted on the pressing plate 40 side. The lowermost tube magazine 1 is supported by magazine stoppers 34-1-1 and 34-1-2, and the tube magazines 1 are stacked above.
[0016]
(B) Loading the tube magazine 1
  The operator presses a load switch (not shown) provided on the housing 31. The sensor 35 checks whether or not the tube magazine 1 is mounted at the correct position. If the tube magazine 1 is not mounted at the correct position, a warning is issued. In accordance with this warning, the operator redoes the loading of the tube magazine 1.
  When the tube magazine 1 is mounted at the correct position, the opening and closing of the electromagnetic valve 42-4 is controlled, and the air supplied from the air tube 42-3 to the cylinder 42-1 is controlled, whereby the shaft 42-2 is moved to the first position. 2 to the position closest to the magazine guide 33-2. The pressing plate 40 moves together with the shaft 42-2 and presses the rubber stopper 2 that closes the tube magazine 1 at the tenth position.
  At this time, the force pressing the rubber stopper 2 is such that the open end of the tube magazine 1 is in close contact with the second magazine guide 33-2 and aligned.BothThe tube magazine 1One endThe rubber stopper 2 that is not in close contact with the tube magazine 1One endTo the extent that it adheres closely. As a result, each tube magazine 1 mounted is connected to the second magazine guide 33-2.InsideAligned along the wall and mounted horizontally.
[0017]
  The cylinder 36-1 is at the fifth position where the lowermost tube magazine 1 to be loaded is lifted, and the cylinder 36-2 is the magazine stopper 34-1-1 immediately above the tube magazine 1 to be loaded. Each is raised to a seventh position supported by 34-1-2. Cylinder36-2LM guide by moving the inner shaft34-3To release the magazine stoppers 34-1-1 and 34-1-2.
  The cylinder 36-1 is lowered to the sixth position in the initial state before loading, and the tube magazine 1 supported by the cylinder 36-1 is moved to the adjacent cylinder 36-2. At this time, the mounted tube magazine 1 descends along the magazine guides 33-1 and 33-2, but the release ends of the tube magazines 1 are aligned along the second magazine guide 33-2. Each tube magazine 1 is in a state of being horizontally mounted, and the pressure on the rubber stopper 2 is released. For example, a gap is formed between the rubber stopper 2 and the pressing plate 40, so that the tube When the magazine 1 is lowered by its own weight, the tube magazine 1 can be reliably loaded without being caught by the push plate 40.
[0018]
  Close the magazine stoppers 34-1-1 and 34-1-2 and remove the tube magazine 1.LockingTo do. The cylinder 36-2 is lowered to the eighth position in the initial state before loading, and the tube magazine 1 is moved to the guide 37-1.soTo support.
  The shaft 37-4 is moved, the LM guide 37-3 is slid, and the tube magazine 1 is moved along the guide 39 to the stop position of the stopper 38. The tube magazine 1 is moved to the rail 56 side by the cylinder 54, and the gap between the tube magazine 1 and the rail 56 is eliminated. The chuck 53 is raised to support the tube magazine 1.
  When supplying an IC package to the handler, one of the chucks 53 is further raised, the tube magazine 1 is tilted, and the stored IC packages are placed on the rail 56 one by one. The IC package placed on the rail 56 is transported to the measurement unit by a robot of a handler or the like, and a non-defective / defective product discrimination test is performed.
  In the storage unit for storing the IC package from the measurement unit, the IC package is stored in the loaded empty tube magazine 1, and when the tube magazine 1 is filled with the IC package, the cylinder 52 is raised and the empty package is stored. Prepare for loading the tube magazine.
[0019]
  When the tube magazine 1 is loaded, the operator can appropriately mount the tube magazine 1 on the magazine guides 33-1 and 33-2. Before the tube magazine 1 is loaded, as described above, the push plate is loaded. 40, the tube magazine 1 is pressed, and the open end of the mounted tube magazine 1 is moved to the second magazine guide 33-2.InsideAfter alignment along the wall, release the push plate 40, raise the cylinders 36-1, 36-2, release the magazine stoppers 34-1-1, 34-1-2, etc., as described above. The operation of loading the lowermost tube magazine 1 is repeated.
  As described above, according to the first embodiment, when the tube magazine 1 is loaded, the rubber that moves the shaft 42-2 of the cylinder 42-1 and closes the tube magazine 1 with the push plate 40. The stopper 2 is pressed so that the open end of the tube magazine 1 is aligned along the second magazine guide 33-2;After that, release the push plate 40Since a gap is generated between the pressing plate 40 and the rubber stopper 2, the rubber stopper 2 is not caught by the magazine guides 33-1 and 33-2 and can be loaded reliably. Therefore, reduction of chocolate stop, prevention of lead bending of IC package, rubber stopper 2 by operatorPush inReduction of man-hours can be expected.
[0020]
(Second embodiment)
  FIG. 9 is a configuration diagram of a tube magazine supply apparatus showing a second embodiment of the present invention, and elements common to the elements in FIG.
  The tube magazine supply device of the second embodiment is different from the tube magazine supply device 30 of the first embodiment in that, in the first embodiment, the push plate 40 is screwed onto the shaft 42-2 of the cylinder 42-1.43In the second embodiment, the push plate 40 is fixed to the shaft of the cylinder 42-1.42-2The linear bush 61 around which the spring 62 is wound is provided at the upper and lower positions of the support plate 41, and the end of the linear bush 61 is supported by the screw 63 to support the pressing plate 40. It is.
  FIG. 10 is an enlarged plan view of FIG.
  FIG. 11 is an enlarged view of a portion C in FIG.
  A linear bushing is formed above and below the support plate 41 through the support plate 41 and the missing portion provided in the first magazine guide 33-1.61Is fixed to the support plate 41 by screws (not shown). One end of the spring 62 is fixed to the outer end of the linear bush 61. This spring62The linear bush61The other end is fixed to the support plate 41. The inner tip of the linear bush 61 is a screw63By the push plate 40InIt is fixed.The linear bush 61 and the spring 62 constitute moving support means.
[0021]
  With the spring 62 relaxed, a gap (about 2 to 3 mm) is generated between the push plate 40 and the rubber stopper 2 that closes the tube magazine 1, and the push plate 40 is pushed by the tip of the shaft 44-2. In order to press the rubber stopper 2,61as well asSpring 62Has determined the length. In the center of the support plate 41, a cylinder42-1Is fixed. Cylinder42-1The shaft42-2This shaft is arranged42-2And the push plate 40 are separated.
  The operation of FIG. 9 will be described below.
  The operation of the tube magazine supply device in FIG. 9 is different from the operation of the tube magazine supply device 50 of the first embodiment in that the operation of pressing the rubber stopper 2 and releasing the press of the push plate 40 is different by the push plate 40. This point will be described below in (a) and (b).
(A) Press against rubber stopper 2
  Before loading tube magazine 1, solenoid valve42-4Control the opening and closing of the air tube42-3From cylinder42-1By controlling the air supplied to the shaft42-2To the innermost position. shaft42-2Comes into contact with the pressing plate 40 and the pressing plate 40 moves inward.BothFurther, the linear bush 61 fixed to the push plate 40 moves inward while compressing the spring 62. Then, the push plate 40 presses the rubber stopper 2.
  Since force is also applied to the push plate 40 from the tips of the upper and lower linear bushes 61, the force is uniformly applied to the push plate 40, and the rubber stopper 2 that closes the mounted tube magazine 1 is uniformly provided. The release end of the tube magazine 1 is aligned along the second magazine guide 33-2.
[0022]
(B) Release of pressure to rubber stopper 2
  Air tube42-3From cylinder42-1By controlling the air supplied to the shaft42-2To the outermost position to release the pressure on the pressing plate 40. As a result, the contracted spring 62 returns to a steady state, the linear bush 61 moves outward, and the push plate 40 moves together with the linear bush 61. Thereby, the pressing by the pressing plate 40 to the rubber stopper 2 is released, and for example, a gap is generated between the rubber stopper 2 and the pressing plate 40. Then, the tube magazine 1 is loaded.
  As described above, according to the second embodiment, there are advantages similar to those of the first embodiment, and the linear bush 61 presses the push plate 40 up and down.40Are uniformly pressed and all the rubber stoppers 2 are uniformly pressed by the pressing plate 40, so that the tube magazine 1 can be loaded more reliably.
[0023]
(Third embodiment)
  FIG. 12 is a configuration diagram of a tube magazine supply apparatus showing a third embodiment of the present invention, and elements common to the elements in FIG. 9 are denoted by common reference numerals.
  The tube magazine supply device of the third embodiment is different from the tube magazine supply device of the second embodiment in that the support plate of the second embodiment41This is to replace the cylinder 42-1 and the like disposed at the center of the small vibrator 71 with the small vibrator 71.
  FIG. 13 is an enlarged view of a portion D in FIG.
  A small vibrator 71 is fixed by a screw (not shown) penetrating through a missing portion provided at the center of the support plate 41. The tip of the small vibrator 71 and the pressing plate 40 are separated. This small vibrator 71 is of the electromagnetic vibration and leaf spring resonance type, the tip portion vibrates back and forth, and the tip portion vibrates by applying a force to the leaf spring at the tip portion. It is comprised so that it may move to the position located in.
[0024]
  When the tip portion is located on the innermost side by vibration, the pressing plate 40 is pressed to move the pressing plate 40, and the rubber stopper2A small vibrator 71 is provided so as to vibrate to press the. The small vibrator 71 is controlled to be turned on / off by a control signal from the control unit.
  The operation of FIG. 12 will be described below.
  The operation of the tube magazine supply device of the second embodiment is different from the operation of pressing the rubber stopper 2 and releasing the pressing of the pressing plate 40 by the pressing plate 40. This point is described below as (a), (b ).
[0025]
(A) Press against rubber stopper 2
  Before the tube magazine 1 is loaded, the small vibrator 71 is turned on by a control signal from the control unit. The small vibrator 71 starts to vibrate when turned on. Due to this vibration, the push plate 41 and the spring 62 vibrate, and the rubber stopper 2 is randomly pressed, so that the tube magazine 1ofThe release end of the second magazine guide 33-2InsideAlign along the wall.
(B) Release of pressure to rubber stopper 2
  The small vibrator 71 is turned off by a control signal from the control unit. Spring 62InActs in the outward direction to return to the steady state. This force is applied to the tip of the small vibrator 71 through the linear bush 61 and the push plate 41, and the tip returns to the outermost position during vibration. Thereby, the pressing to the pressing plate 40 to the rubber stopper 2 is released, and for example, a gap (about 2 to 3 mm) is generated between the pressing plate 41 and the rubber stopper 2. Then, the tube magazine 1 is loaded.
[0026]
  As described above, according to the third embodiment, since the tip is vibrated by the small vibrator 71 and the rubber stopper 2 is randomly pressed, the tube magazine 1 is aligned, and the small vibrator is loaded when loading. Since 71 is turned off and the pressing of the pressing plate 40 to the rubber stopper 2 is released to create a gap between the pressing plate 40 and the rubber stopper 2, there is an advantage similar to that of the second embodiment.
  In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible. Examples of such modifications include the following.
(1) In the embodiment, an empty tube magazine is used to supply a tube magazine for supplying an IC package to the measurement unit and to store the measured IC package.TheThe case of supplying was explained as an example.AlsoApplicable.
(2) In FIG. 1, the cylinder42-1The number is one, but there may be a plurality.
[0027]
【The invention's effect】
  As explained in detail above, the claims1-6According to the invention according toA rubber stopper attached to each tube magazine is pressed by a pressing plate against a plurality of tube magazines that are normally stacked between the first and second magazine guides. That is, when stacking the tube magazines, a space is provided between the first and second macagin guides so that the tube magazines are sufficiently stored, and a plurality of tube magazines are provided between the first and second magazine guides. After the layers are normally stacked and moved, the pressing plate arranged along the extending direction of the first magazine guide is moved in the direction of the second magazine guide to press the rubber stopper, and then the pressing plate is moved. The second magazine guide is moved away from the second magazine guide. That is, in order to ensure that the rubber stopper is in close contact with the tube magazine, the tube magazine is pressed against the arranged tube magazines by the push plate.
As described above, after the rubber plate that closes the end of the tube magazine after being normally stacked and disposed is operated in close contact with the end of the tube magazine, and after pressing the rubber stopper with the press plate, The push plate is moved (separated from the tube magazine) so as not to hinder the fall of the tube magazine. As a result, it is possible to reduce the occurrence of unexpected catches due to the rubber stopper being detached from the tube magazine without changing the structure on a large scale, and the number of chocolate stops is reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a tube magazine supply apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a tube magazine and a rubber stopper.
FIG. 3 is a side view of a conventional tube magazine supply apparatus.
FIG. 4 is a diagram illustrating a conventional problem.
FIG. 5 is a diagram showing a method for improving a defect.
6 is a plan view of the tube magazine supply device of FIG. 1. FIG.
7 is an enlarged view of a portion B in FIG.
FIG. 8 is an enlarged view of a part A in FIG.
FIG. 9 is a side view of a tube magazine supply device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 10 is an enlarged plan view in FIG. 9;
11 is an enlarged view of a portion C in FIG. 9;
FIG. 12 is a side view of a tube magazine supply device according to a third embodiment of the present invention.
13 is an enlarged view of a part D in FIG. 12;
[Explanation of symbols]
  31 housing
  32 Base plate
  33-1 First magazine guide
  33-2 Second magazine guide
  34-1-1 First magazine stopper
  34-1-2 Second magazine stopper
  34, 1, 36-1, 36-2 Cylinder
  37-2, 42-1 cylinder
  34-3,37-3                      LM Guide
  40 pressure plate
  41 Support plate
  42-2                                shaft
  42-3 Air tube
  42-4 Solenoid valve
  61 Linear bushing
  62 Spring
  71 Small vibrator

Claims

Each of the one end portions of the plurality of IC storage containers having a first inner wall standing upright, having a cylindrical shape in which one end portion and the other end portion are released, and the one end portion closed by a rubber stopper, A first magazine guide for guiding each along the first inner wall;
A second inner wall which is erected so as to face the first inner wall of the first magazine guide, respectively along each of said other ends of said plurality of IC container to said second inner wall A second magazine guide to guide,
A first magazine stopper provided at a lower part of the first magazine guide, protruding movably toward the first inner wall and locking the one end of the IC storage container;
The second magazine guide is provided at a lower portion of the second magazine guide so as to face the first magazine stopper, and movably protrudes toward the second inner wall to lock the other end of the IC storage container. Magazine stopper,
A pressing plate disposed along the inner wall of the first magazine guide;
Pressing means for driving the pressing plate and moving the pressing plate in the direction of moving to the second magazine guide or moving away from the second magazine guide ;
Taking-out means for taking out the IC storage container from the first and second magazine guides and transporting it to a predetermined position;
In an IC storage container supply method using an IC storage container supply device comprising:
The first magazine stopper protrudes toward the first inner wall side of the first magazine guide, and the second magazine stopper protrudes toward the second inner wall side of the second magazine guide, respectively. The one end portion of the container is on the first inner wall side, the other end portion of the IC storage container is on the second inner wall side, and the plurality of IC storage containers are placed between the first and second magazine guides. And laminating and arranging ,
After the plurality of IC storage containers are normally stacked and disposed between the first and second magazine guides, the pressing plate is moved in the second magazine guide direction by the pressing means, and each IC storage container is moved. Pressing the rubber stopper attached to the plurality of IC storage containers and bringing the other end portions of the plurality of IC storage containers into contact with the second inner wall for alignment;
After the pressing plate is moved away from the second magazine guide by the pressing unit to release the pressing, the pressing plate is locked by the first and second magazine stoppers. Removing a desired one from the plurality of IC storage containers from the first and second magazine guides and transporting it to a predetermined position;
An IC storage container supply method comprising:

Each of the one end portions of the plurality of IC storage containers having a first inner wall standing upright, having a cylindrical shape in which one end portion and the other end portion are released, and the one end portion closed by a rubber stopper, A first magazine guide for guiding each along the first inner wall;
A second inner wall which is erected so as to face the first inner wall of the first magazine guide, the respective other ends of said plurality of IC container, along the second inner wall A second magazine guide to guide each ,
Provided at the lower part of the first magazine guide and projecting toward the first inner wall to lock the one end of the IC storage container, or retracting from the first inner wall and detaching from the one end A first magazine stopper to
Opposite to the first magazine stopper, provided at the lower part of the second magazine guide, protrudes toward the second inner wall side to lock the other end of the IC storage container, or the second magazine guide A second magazine stopper that retreats from the inner wall and separates from the other end;
A pressing plate that extends along an inner wall of the first magazine guide and presses the rubber stopper attached to each IC storage container that is stacked between the first and second magazine guides ; ,
A sensor for detecting whether or not the plurality of IC storage containers are normally stacked and arranged between the first and second magazine guides ;
In response to the detection by the sensor that the plurality of IC storage containers are normally stacked and arranged, the push plate is driven, and the push plate is moved in the second magazine guide direction so that each IC The rubber stopper of the storage container is pressed to align the other end portions of the plurality of IC storage containers against the second inner wall, and after this alignment, the push plate is separated from the second magazine guide. A pressing means for moving in a direction to release the pressing,
Taking-out means for taking out the IC storage container locked by the first and second magazine stoppers after being released from the first and second magazine guides and transporting them to a predetermined position;
An IC container supply device comprising:

Each of the one end portions of the plurality of IC storage containers having a first inner wall standing upright, having a cylindrical shape in which one end portion and the other end portion are released, and the one end portion closed by a rubber stopper, A first magazine guide for guiding each along the first inner wall;
A second inner wall which is erected so as to face the first inner wall of the first magazine guide, the respective other ends of said plurality of IC container, along the second inner wall A second magazine guide to guide each ,
Provided at the lower part of the first magazine guide and projecting toward the first inner wall to lock the one end of the IC storage container, or retracting from the first inner wall and detaching from the one end A first magazine stopper to
Opposite to the first magazine stopper, provided at the lower part of the second magazine guide, protrudes toward the second inner wall side to lock the other end of the IC storage container, or the second magazine guide A second magazine stopper that retreats from the inner wall and separates from the other end;
A push plate that presses the rubber stopper attached to each of the IC storage containers that are disposed between the first and second magazine guides and that are disposed along the inner wall of the first magazine guide. When,
A sensor for detecting whether or not the plurality of IC storage containers are normally stacked and arranged between the first and second magazine guides;
Moving support means for movably supporting the push plate, and pulling the push plate away from the rubber stopper of each IC storage container by an elastic force and retreating to the first inner wall side;
The push plate is driven in response to detection by the sensor that the plurality of IC storage containers are normally stacked and arranged, and the push plate is moved in the second magazine guide direction against the elastic force. a pressing means for Ru moving to align said said is pressed against the rubber stopper is brought into contact with the other end of said plurality of IC container to said second inner walls of the IC container to,
Taking-out means for taking out the IC storage container locked by the first and second magazine stoppers after being released from the first and second magazine guides and transporting them to a predetermined position;
An IC container supply device comprising:

The pressing means is
A cylinder fixed to the first magazine guide;
A shaft disposed in the cylinder;
An air tube for supplying air into the cylinder;
Opening and closing is controlled by a control signal generated based on the detection result of the sensor, and an electromagnetic valve for controlling the supply of the air to the air tube;
The IC storage container supply device according to claim 2, wherein the IC storage container supply device is provided.

4. The IC container supply device according to claim 2, wherein the pressing means is constituted by a vibrator.

The movement support means includes
A linear bush fixed to the first magazine guide and movably supporting the push plate;
A spring for urging the linear bush from the second magazine guide toward the first magazine guide;
4. The IC container supply device according to claim 3, wherein