JP3980732B2 - 相対位置検出装置 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は,各種の測長機器や各種の計測装置,工作機械,複写機などにおいて,移動体の移動量を検出するエンコーダ(光学スケール)として利用可能な相対位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来,相対位置検出装置に関連する参考技術文献として,たとえば特開昭59−132311号公報が開示されている。この構成を図14に示す。図において,1は光源,2は光源1からの光を平行光線に光学補正し,後述するスケールに投射するためのコリメートレンズ,3は一定の格子定数をもつ光学格子からなるスケール,4はスケール3と同じ格子定数を有する光学素子からなるインデックススケールである。このインデックススケール4は互いに1/4波長だけずらされた2つの格子をもっている。5および5’は2つの光学格子のそれぞれを通過した光を検出するための検出器,6はスケール3の移動方向を示す矢印である。
【0003】
上記構成において,スケール3を矢印6の方向に移動させると,インデックススケール4との相対位置関係により,光の通過および遮断が繰り返される。この光の通過および遮断の繰り返しで生じる光量変化を検出5,5’で検出することにより.正弦波状の電気信号が得られ,これをカウントすることで移動量を計測する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,上記に示されるような従来の技術にあっては,分解能の精度を高めようとするには,格子定数の小さいスケールを利用すればよいが,コントラストを維持するためにはスケールとインデックススケールとを微小間隔の位置関係で配置する必要があるため,接触による破損やゴミの付着により装置機能を低下させるという問題点がある。また,スケールとそれ以外の構成要素からなるヘッド部をごく近傍に配置する必要があるため,振動物の測定および被測定物の光軸方向の移動に対して自由度が小さいという問題点もあった。
【0005】
本発明は,上記に鑑みてなされたものであって,スケールとインデックススケールとの距離を広く離間して配置する構成とすることにより,接触による破損やゴミの付着の付着による機能低下を回避し,かつスケールの移動方向と垂直な方向への移動,およびスケールの傾きに対する自由度を向上させることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために,請求項1に係る相対位置検出装置にあっては,コヒーレントな光を出射する光源と,前記光源から出射された光を集光し,略平行光束に光学補正するコリメートレンズと,前記コリメートレンズからの光を分割する所定の光透過率の周期パターン構造を有するスリットと,所定の反射率を有し,前記スリットの周期パターンと同一の周期的パターンを有するスケールと,前記スリットを通過した光を前記スケールに入射して得られる反射光を前記スリットを介さずに受光する位置に配置され,前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出する受光手段と,を備えたものである。
【0007】
すなわち,スケールの反射率または透過率の変化周期と同じ周期になるような光の透過率の周期パターンをスリットとして設け,スリットを通過した光を前記スケールに入射して得られる反射光を前記スリットを介さずに受光する位置に配置され,前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出することにより,光を投射する光ヘッド部分と被測定物との距離を広く確保することができるので,接触による破損やゴミの付着の付着による機能低下を回避し,かつスケールの移動方向と垂直な方向への移動,およびスケールの傾きに対する自由度を向上させることが可能となる。
【0008】
また,請求項2に係る相対位置検出装置にあっては,コヒーレントな光を出射する光源と,前記光源から出射された光を集光し,略平行光束に光学補正するコリメートレンズと,前記コリメートレンズからの光を分割する所定の光透過率の周期パターン構造を有するスリットと,所定の反射率を有し,前記スリットの周期パターンと同一の周期的パターンを有するスケールと,前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出する受光手段と,前記スリットと前記スケールとの間に配置され,前記スリットを通過した光を前記スケールに入射し,該スケールからの反射光を前記受光手段に入射させる光分割手段と,を備えたものである。
【0009】
すなわち,請求項1に加え,スケールに対して垂直に平行光束が入射するように構成したことにより,スケールの振動および光軸方向への移動が生じても検出誤差がなく,かつ正確な相対値が得られる。
【0010】
また,請求項3に係る相対位置検出装置にあっては,請求項1または2に記載の相対位置検出装置に,さらに,前記スケールからの反射光を前記受光手段に集光する集光レンズを備え,前記受光手段は,前記集光レンズを介して前記スリットからの反射光を受光するものである。
【0011】
すなわち,請求項1または2に加え,集光レンズによりスケールからの反射光を受光手段に導くことにより,より小さい面積のフォトディテクタ(PD)を利用可能とし,検出速度が向上する。
【0012】
また,請求項4に係る相対位置検出装置にあっては,請求項2において,前記光分割手段は,前記スリットを介して入射した光を透過する部分反射ミラーであって,前記コリメートレンズは,前記光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置されるものである。
【0013】
すなわち,請求項2に加え,スリットを介して入射した光を透過する部分反射ミラーを用い,またコリメートレンズを,光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置することにより,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0014】
また,請求項5に係る相対位置検出装置にあっては,請求項2において,前記光分割手段は,前記スリットを介して入射した光を透過する部分透過ミラーであって,前記コリメートレンズは,前記光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置されるものである。
【0015】
すなわち,請求項2に加え,スリットを介して入射した光を透過する部分透過ミラーを用い,またコリメートレンズを,光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置することにより,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0016】
また,請求項6に係る相対位置検出装置にあっては,請求項2において,前記光源は,直線偏光光を出射するレーザ光源であり,前記光分割手段は,偏光・分割する偏光ビームスプリッタと,1/4波長板とから構成されるものである。
【0017】
すなわち,請求項2に加え,光源を,直線偏光光を出射するレーザ光源とし,光分割手段を,偏光・分割する偏光ビームスプリッタと,1/4波長板とから構成することにより,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0018】
また,請求項7に係る相対位置検出装置にあっては,請求項3において,前記コリメートレンズは,前記光源からの光を微小に集光あるいは発散する位置に配置され,かつ前記光源と前記コリメートレンズと前記集光レンズとを一体構成としたものである。
【0019】
すなわち,光源とコリメートと集光レンズとを一体構成とすることにより,装置の小型化が実現し,かつ光源も同一樹脂上に一体成形することにより,レンズと光源の位置合わせなどの煩雑で困難な調整作業が不要となる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の相対位置検出装置について添付図面を参照し,詳細に説明する。
【0021】
〔実施の形態1〕
図1は,実施の形態1に係る相対位置検出装置(光透過型)の主要構成を示す説明図である。図において,101は光源,102は光源101からの光を略平行光に光学補正し,スケール104に投射するためのコリメートレンズ,103はコリメートレンズ102により照射された光を分割するスリット,104は透過率が一定周期により変化させるパターンが形成されているスケール,105はスケール104を通過し,スケール104に照射・反射された透過光を検出する受光手段としての受光部である。
【0022】
なお,光源101としてLED,半導体レーザなどが利用可能であり,好ましくはコリメートレンズ102により略平行光束とされたときに収差の発生しにくい半導体レーザがよい。
【0023】
また,スリット103はスケール104上のスケールの透過率の周期と同じ周期のパターンビームを発生させるものであるため完全な平行光であれば,スケール104と同じ周期の透過パターンでよい。また,完全に同じ周期でなくてもコリメートレンズ102により光ビームのパターンがスケール104と同じ周期に調整可能であれば利用することができる。
【0024】
以上のように構成された相対位置検出装置において,光源101からの光をコリメートレンズ102により平行光束化し,これをスリット103を通してスケール104に投射する。このときスケール104上には,図2に示す如くスケール104と同じピッチのパターンビームが形成される。よって,スケール104の移動によりパターンビームが遮断/透過を繰り返し,この遮断/透過による光量変化が受光部105で検出される。
【0025】
スリット103は通常は図3に示すパターンとすればよいが,スケール104の移動方向を検出するためには,図4のスリットに示す如く,1/4周期位相のずれたパターンの組を設け,それぞれ異なる光検出器により信号を検出することにより,エンコーダで一般的に利用されているA・B相の信号を得ることができる。
【0026】
さて,この相対位置検出装置は図1に示したように光透過型のスケール103を用いたが,この他に図5に示すような光反射型のスケール103とした構成であってもよい。この場合図5に示すように,スケール104への入射光を傾け,その正反射位置に受光部105を配置することにより実現可能である。このとき,光ビームを傾ける方向は図示の向きであっても,別な向きであっても本質的に変わりはない。
【0027】
したがって,この実施の形態1によれば,スリット103とスケール104との距離を隔てることのできる構成としたので,従来のようなスケールとインデックススケールとの接触による破損や劣悪環境化におけるゴミなどの汚損に強い装置を実現することができる。
【0028】
〔実施の形態2〕
ところで,反射型のスケールを用いた相対位置検出装置では,検知距離の変化に対して誤差が生じることがある。つまり,図7に示すような反射型のスケールを用いた相対位置検出装置では,スケール104への投光・反射はスケール104に対して傾ける必要がある。このような構成では検知距離(投光・受光部とスケールの距離)が計測中に変化する場合,破線に示すようになり検知位置がずれ,dの誤差が生じる。この実施の形態2では,この不具合を解決する例について説明する。
【0029】
図6は,実施の形態2に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,実施の形態1の光反射型(図5参照)の構成に対し,スケール104への投光・反射をスケール104に垂直するための光分割手段としてのビームスプリッタ106を,スリット103と受光部105との間に設けている。したがって,他の構成要素およびその機能は,実施の形態1と同様であるので図1と同一符号を付し,その説明は省略する。
【0030】
ビームスプリッタ106は,図6に示すように,光源101,コリメートレンズ102およびスリット103からなる投光部と受光部105とが直角をなすように配置された中間部分に配置する。
【0031】
以上のように構成された相対位置検出装置において,投光部(光源101,コリメートレンズ102,スリット103)から投光された平行光束は,ビームスプリッタ106により光量の約50%が直角に曲げられ,スケール104に対して垂直に照射される。このとき,スケール104は反射型であるので,この照射された光束は正反射し,ビームスプリッタ106に戻る。ビームスプリッタ106では,一部は反射されるが,約50%は直進して受光部105に入射し,信号が検出される。その後,実施の形態1と同様に相対値を検出する。
【0032】
したがって,実施の形態1で説明した透過型の相対位置検出装置と同様に,スケール104に対して垂直に光束が入射されるので,スケールの振動や光軸方向への移動が生じても,誤差の発生を阻止し,正確な相対値を検出することができる。また,光反射型とすることにより,光透過型(スルー型)と同じ性能の装置を省スペースに収容することも可能となる。
【0033】
〔実施の形態3〕
この実施の形態3では,前述の実施の形態1および2に対し,さらに信号検知速度が向上し,かつスケール104の傾きの自由度が高くなる例について説明する。
【0034】
図8は,実施の形態3に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,実施の形態2の光反射型(図6参照)の構成に対し,受光用の集光レンズ107をビームスプリッタ106と受光部105との間に設けている。したがって,他の構成要素およびその機能は,実施の形態2と同様であるので図6と同一符号を付し,その説明は省略する。
【0035】
実施の形態1および2では,スケール104からの正反射光を受光するために少なくともビーム径以上の大きさを有する光検出器が必要である。さらに,スケール104と投光・受光部の傾きを許容するためには,ビームの形状を円形とする必要がある。そして,その直径をD,光検出器とスケール104との距離をL,許容傾き誤差をΔθとすると,
Pd=2LsinΔθ+D ・・・(1)
以上の光検出器の直径Pdが必要となる。
【0036】
たとえば,D=0.5mm,L=50mm,Δθ=±2°とすると,約7.5mmの直径が必要となる。通常,光検出器として用いられるフォトディテクタ(PD)の場合,その面積に比例した静電容量をもつので,必要面積の増大は信号検知速度の向上を妨げてしまうことになる。よって,できるだけ小さい面積のフォトディテクタ(PD)を利用することが望ましい。
【0037】
このため,PDに受光光を照射する集光レンズ107の開口は,式(1)より大きい直径とする。なお,図9は,実施の形態3に係るスケール104上のビーム像を示している。
【0038】
したがって,この実施の形態3では,受光する光束を集光レンズ107で集光し,受光部105にビーム照射することにより,さらに小さい面積のフォトディテクタ(PD)による受光が実現し,検出速度が向上する。
【0039】
また,実施の形態2で説明した相対位置検出装置と同様に,スケール104に対して垂直に光束が入射されるので,スケールの振動や光軸方向への移動が生じても,誤差の発生を阻止し,正確な相対値を検出することができる。また,光反射型とすることにより,光透過型(スルー型)と同じ性能の装置を省スペースに収容することも可能となる。
【0040】
〔実施の形態4〕
図10は,実施の形態3に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,図6に示した相対位置検出装置のビームスプリッタ106の代わりに,コリメートレンズ102からの出射光のビーム部分のみを反射する光分割手段としての部分反射ミラー108を配置し,コリメータレンズ102からの出射光を集光もしくは発散するような配置あるいはレンズ定数としたものである。さらにコリメートレンズ102を,光源101からの光をわずかに集光/発散させる配置,あるいはレンズ定数をもたせる。なお,部分反射ミラー108は入射・反射する光線のビーム径とほぼ同じ大きさに設定する。したがって,他の構成要素およびその機能は,実施の形態2と同様であるので図6と同一符号を付し,その説明は省略する。
【0041】
ここでレンズによる光線がやや発散するように設定している場合を例にとって説明する。なお,やや集光する光線を用いる場合についても同様である。光源101から出射された光は,コリメートレンズ102により発散され,さらに,スリット103を通過し,分割された略平行光となる。この光線は部分反射ミラー108により反射され,少しの角度をもってスケール104に入射する。
【0042】
スケール104に照射された光線は,反射則により入射角と対称に正反射し,受光部105に入射する。このとき,投光部からの投光された光線が平行であると,部分反射ミラー108によってほとんどケラレてしまうが,やや発散気味に設定することで大部分の光線を受光部105に導くことができる。
【0043】
ところで,実施の形態2では,投光効率50%,受光効率50%の損失が生じ,25%以下の光利用効率となる。しかし,この実施の形態4では,投光効率100%,受光効率ηは発散・集光角から,下記(2)式により決定される。
【0044】
すなわち,
η=2πLsinθ・(2πLsinθ+D) ・・・(2)
により表される受光効率となる。ここで,Lはコリメータレンズ102からスケール104に反射し,部分反射ミラー108にケラレるまでの光路長,θは発散角,Dは部分反射ミラー108の有効径である。
【0045】
したがって,この実施の形態4によれば,コリメートレンズ102からの出射光のビーム部分のみを反射する部分反射ミラー108を設け,さらにコリメートレンズ102を,光源101からの光をわずかに集光/発散させる配置,あるいはレンズ定数をもたせることにより,光利用効率が向上し,より安定した計測が可能となる。
【0046】
〔実施の形態5〕
図11は,実施の形態5に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,図10に示した相対位置検出装置の部分反射ミラー108の代わりに,コリメートレンズ102からの出射光のビーム部分のみを透過する光分割手段としての部分透過ミラー109を配置し,コリメータレンズ102からの出射光を集光もしくは発散するような配置あるいはレンズ定数としたものである。さらにコリメートレンズ102を,光源101からの光をわずかに集光/発散させる配置,あるいはレンズ定数をもたせる。なお,部分透過ミラー109は入射・透過する光線のビーム径とほぼ同じ大きさに設定する。したがって,他の構成要素およびその機能は,実施の形態4と同様であるので図10と同一符号を付し,その説明は省略する。
【0047】
ここで実施の形態4と同様に,レンズによる光線がやや発散するように設定している場合を例にとって説明する。なお,やや集光する光線を用いる場合についても同様である。光源101から出射された光は,コリメートレンズ102により発散され,さらに,スリット103を通過し,分割された略平行光となる。この光線は部分透過ミラー109により透過され,わずかな角度をもってスケール104に入射する。
【0048】
スケール104に照射された光線は,反射則により入射角と対称に正反射し,受光部105に入射する。このとき,投光部からの投光された光線が平行であると,部分透過ミラー109によってほとんどケラレてしまうが,やや発散気味に設定することで大部分の光線を受光部105に導くことができる。
【0049】
さて,この実施の形態5では,実施の形態4と同様に,投光効率100%,受光効率ηは発散・集光角から,前述の(2)式により決定される。
【0050】
したがって,この実施の形態5によれば,コリメートレンズ102からの出射光のビーム部分のみを透過する部分透過ミラー109を設け,さらにコリメートレンズ102を,光源101からの光をわずかに集光/発散させる配置,あるいはレンズ定数をもたせることにより,光利用効率が向上し,より安定した計測が可能となる。
【0051】
さらに,この実施の形態5のような部分透過ミラー109は,図11にようにスケール104に対し,垂直方向のレイアウトされるため,スケール104の移動方向にコンパクトな装置構成が実現する。また,部分透過ミラー109は,保持することが容易であり,部分反射ミラー108のように保持治具による光線のケラレが発生しない面でも有利である。
【0052】
〔実施の形態6〕
図12は,実施の形態6に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,図6に示した相対位置検出装置のブームスプリッタ106の位置に光分割手段として,偏光ビームスプリッタ111を配置し,さらに偏光ビームスプリッタ111とスケール104との間に1/4波長板110を設けた,いわゆる通常のCD−ROMの光ピックアップに利用されている方式を採用したものである。したがって,他の構成要素およびその機能は,実施の形態2と同様であるので図6と同一符号を付し,その説明は省略する。
【0053】
図12のように構成された相対位置検出装置において,光源101から出射されたコリメータレンズ102へ平行光に光学補正され,スリット103を通過する。さらに,スリット103を通過した光は,偏光ビームスプリッタ111で反射され,1/4波長板110を通過し,スケール104に照射する。スケール104で反射された光は,1/4波長板110を通過し,偏光ビームスプリッタ111を経て,受光部105に入射される。その後,前述と同様の計測動作が行われる。
【0054】
この実施の形態6によれば,前述実施の形態の効果に加え,特に投光・受光ともに90%程度の効率で光を利用することができ,安定した計測が実現する。
【0055】
〔実施の形態7〕
図13は,実施の形態7に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。この相対位置検出装置は,前述した実施の形態におけるコリメートレンズ,受光用のレンズを一体構成し,さらにレンズ光軸上に光源を配置した光源一体化レンズ112をスケール104と受光部105との間に設けた構成となっている。したがって,他の構成要素およびその機能は,前述の実施の形態と同様であるので同一符号を付し,その説明は省略する。
【0056】
図13において,光源一体化レンズ112に配置した光源101からの光は,光源一体化レンズ112のコリメートレンズ,スリットを経て,スケール104に照射される。さらにスケール104の照射された光は反射光として,光源一体化レンズ112で集光され,受光部105に入射される。その後,前述と同様の計測動作が行われる。
【0057】
したがって,この実施の形態7によれば,特に,光源101,コリメートレンズ102,スリット103,受光レンズ,受光部105が同一光路に構成されるので,非常に小型の装置となる。また,光源101も同一樹脂上に一体成形することにより,レンズと光源101の光軸合わせなどの調整作業が不要になるので,生産性も向上する。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように,本発明に係る相対位置検出装置(請求項1)によれば,スケールの反射率または透過率の変化周期と同じ周期になるような光の透過率の周期パターンをスリットとして設け,スリットを通過した光を前記スケールに入射して得られる反射光を前記スリットを介さずに受光する位置に配置され,前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出することにより,光を投射する光ヘッド部分と被測定物との距離を広く確保することができるので,接触による破損やゴミの付着の付着による機能低下を回避し,かつスケールの移動方向と垂直な方向への移動,およびスケールの傾きに対する自由度を向上させることができる。
【0059】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項2)によれば,請求項1に加え,スケールに対して垂直に平行光束が入射するように構成したので,スケールの振動および光軸方向への移動が生じても検出誤差がなく,かつ正確な相対値が得られる。
【0060】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項3)によれば,請求項1または2に加え,集光レンズによりスケールからの反射光を受光手段に導くため,より小さい面積のフォトディテクタ(PD)を利用可能とし,検出速度が向上する。
【0061】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項4)によれば,請求項2に加え,スリットを介して入射した光を透過する部分反射ミラーを用い,またコリメートレンズを,光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置するので,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0062】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項5)によれば,請求項2に加え,スリットを介して入射した光を透過する部分透過ミラーを用い,またコリメートレンズを,光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置するため,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0063】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項6)によれば,請求項2に加え,光源を,直線偏光光を出射するレーザ光源とし,光分割手段を,偏光・分割する偏光ビームスプリッタと,1/4波長板とから構成するので,光利用効率が向上し,安定した計測が可能となる。
【0064】
また,本発明に係る相対位置検出装置(請求項7)によれば,光源とコリメートと集光レンズとを一体構成とすることにより,装置の小型化が実現し,かつ光源も同一樹脂上に一体成形するため,レンズと光源の位置合わせなどの煩雑で困難な調整作業が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る相対位置検出装置(光透過型)の主要構成を示す説明図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係るスケール上のビーム像を示す説明図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係るスリット例を示す説明図である。
【図4】本発明の実施の形態1に係るスリットのAB相用スリットパターン例を示す説明図である。
【図5】本発明の実施の形態1に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図6】本発明の実施の形態2に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図7】光反射型の相対位置検出装置における検知距離計測誤差を示す説明図である。
【図8】本発明の実施の形態3に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図9】本発明の実施の形態3に係るスケールのビーム像を示す説明図である。
【図10】本発明の実施の形態4に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図11】本発明の実施の形態5に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図12】本発明の実施の形態6に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図13】本発明の実施の形態6に係る相対位置検出装置(光反射型)の主要構成を示す説明図である。
【図14】従来における相対位置検出装置(光透過型)の主要構成を示す説明図である。
【符号の説明】
101 光源
102 コリメートレンズ
103 スリット
104 スケール
105 受光部
106 ビームスプリッタ
107 受光レンズ
108 部分反射ミラー
109 部分透過ミラー
110 1/4波長板
111 偏光ビームスプリッタ
112 光源一体化レンズ
Claims (7)
- コヒーレントな光を出射する光源と,
前記光源から出射された光を集光し,略平行光束に光学補正するコリメートレンズと,
前記コリメートレンズからの光を分割する所定の光透過率の周期パターン構造を有するスリットと,
所定の反射率を有し,前記スリットの周期パターンと同一の周期的パターンを有するスケールと,
前記スリットを通過した光を前記スケールに入射して得られる反射光を前記スリットを介さずに受光する位置に配置され,前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出する受光手段と,
を備えたことを特徴とする相対位置検出装置。 - コヒーレントな光を出射する光源と,
前記光源から出射された光を集光し,略平行光束に光学補正するコリメートレンズと,
前記コリメートレンズからの光を分割する所定の光透過率の周期パターン構造を有するスリットと,
所定の反射率を有し,前記スリットの周期パターンと同一の周期的パターンを有するスケールと,
前記スリットと前記スケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光の光強度を検出する受光手段と,
前記スリットと前記スケールとの間に配置され,前記スリットを通過した光を前記スケールに入射し,該スケールからの反射光を前記受光手段に入射させる光分割手段と,
を備えたことを特徴とする相対位置検出装置。 - さらに,前記スケールからの反射光を前記受光手段に集光する集光レンズを備え,
前記受光手段は,前記集光レンズを介して前記スリットからの反射光を受光することを特徴とする請求項1または2に記載の相対位置検出装置。 - 前記光分割手段は,前記スリットを介して入射した光を透過する部分反射ミラーであって,
前記コリメートレンズは,前記光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置されることを特徴とする請求項2に記載の相対位置検出装置。 - 前記光分割手段は,前記スリットを介して入射した光を透過する部分透過ミラーであって,
前記コリメートレンズは,前記光源からの出射された光を微小に集光あるいは発散する位置に配置されることを特徴とする請求項2に記載の相対位置検出装置。 - 前記光源は,直線偏光光を出射するレーザ光源であり,
前記光分割手段は,偏光・分割する偏光ビームスプリッタと,1/4波長板とから構成されることを特徴とする請求項2に記載の相対位置検出装置。 - 前記コリメートレンズは,前記光源からの光を微小に集光あるいは発散する位置に配置され,かつ前記光源と前記コリメートレンズと前記集光レンズとを一体構成としたことを特徴とする請求項3に記載の相対位置検出装置。
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JP35023597A JP3980732B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 相対位置検出装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP35023597A JP3980732B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 相対位置検出装置 |
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JP35023597A Expired - Lifetime JP3980732B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 相対位置検出装置 |
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-
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