JP3954719B2 - Shuttle table equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを位置決め搭載したシャトルテーブルを、ボールねじを用いて、ワークに所定の加工を施すための加工位置と、ワークの搬入・搬出を行なうための搬入・搬出位置との間で往復移動させるようにしたシャトルテーブル装置に関するもので、より詳しくは、ボールねじの熱変位が加工精度に及ぼす影響を可及的に少なくしたものである。本発明は、レーザ溶接機や精密加工機等において利用することができる。
【0002】
【従来の技術】
図5および図6に、水平方向にスライド自在に支持されたテーブル3をボールねじ4を使用して一定のストロークSにて往復移動させるようにしたシャトルテーブル装置を示す。レーザ溶接により金属薄板の突合せ溶接をする場合を例にとって説明すると、金属薄板1a,1bの突合せ位置に沿ってレーザ溶接機2のトーチを移動させることによって突合せ溶接が行なわれる。図中、加工位置を符号Wで示し、加工位置Wの両側に配置された搬入・搬出位置をそれぞれL1 ,L2 で示す。図5からわかるように、テーブル3は長方形で、二組のワーク1を位置決め搭載し得るセット部3a,3b(一点鎖線で示す)を備えている。搬入・搬出位置L1 ,L2 では例えばロボットによってテーブル3のセット部3a,3bに対するワーク1の搬入・搬出が行なわれる。
【0003】
テーブル3を往復移動させるための駆動手段としてボールねじ4を用いている。ボールねじ4は、周知のとおり、ねじ軸4aの回転運動をナット4bの直線運動に変換する機能を有する。ねじ軸4aの一端をモータ5の出力軸と連結し、他端を軸受6で回転自在に支持させる。軸受6はねじ軸4aの端部を軸方向移動可能に支持し、ねじ軸4aの熱変位、たとえば周囲温度の変化に伴う軸方向の伸縮を許容する構造となっている。テーブル3はねじ軸4aに螺装したナット4bと固定されている。なお、図面では省略したが、テーブル3は適当なリニアガイド等によってスライド自在に支持されている。ねじ軸4aをモータ5で回転させると、ナット4bを介して、テーブル3が軸方向に移動する。ねじ軸4aの回転数を制御することによって、テーブル3を加工位置W、搬入・搬出位置L1 ,L2 の任意の位置に停止させることができる。
【0004】
図6(A)はテーブル3が一方のストローク端に移動したときを示し、図6(B)はテーブル3が他方のストローク端に移動したときを示している。そして、図6(A)の状態では、テーブル3の一方のセット部3aのワーク1が加工位置Wにあって、他方のセット部3bのワーク1が搬入・搬出位置L1 にある。つまり、加工位置Wにて一方のワークについて加工が行われている間に、搬出・搬入位置L1 において、加工を終えたワーク1を搬出すると同時に未加工のワーク1をテーブル上に搬入するのである。そして、セット部3aのワーク1の加工が終了したら、図6(B)の状態に移行して、搬入・搬出位置L2 にある加工を終えたセット部3aのワーク1を搬出すると同時に、加工位置Wにあるセット部3bのワーク1の加工を行う。このように、一のワークの加工中に別のワークの搬出・搬入を行うことにより、作業効率の向上を図っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
テーブル3を往復移動させるボールねじ4は、周囲温度の変化や回転・送りによる発熱でねじ軸4aが伸縮する。ねじ軸4aが伸縮すると加工位置Wに対するワーク1の位置がずれることとなる。すなわち、ねじ軸4aの一端はモータ5の出力軸に結合され、他端は自由側軸受6にて軸方向移動可能に支持されているため、ねじ軸4aの伸縮はモータ5側の端部の軸受保持部(5a)を起点として長手方向に累積してゆく。したがって、ねじ軸4aが伸縮するとナット4bの軸方向位置が変化して、テーブル3の各停止位置(W,L1 ,L2 )での位置ズレを引き起こす。たとえば熱膨張によってねじ軸4aが伸長する場合、ねじ軸4aの伸びが長手方向に累積するため、ねじ軸4aが長くなるほどズレ量が大きくなる。図6の場合について述べるならば、図6(B)のようにねじ軸4aの固定側すなわち軸受保持部5a側にテーブル3が移動した場合は加工位置Wに対するワーク1の位置ズレ量は比較的小さいが、図6(A)のようにモータ5から遠ざかる方向にテーブル3が移動すると、加工位置Wに対するワーク1の位置ズレ量が大きくなって、レーザ溶接機2による溶接品質が低下することになる。
【0006】
図5および図6に示したシャトルテーブル装置では、加工位置Wとその両側の搬入・搬出位置L1 ,L2 との間でテーブル3を往復させるものであるため、加工位置Wは常にテーブル3の移動ストロークS(図6)の中間に位置する。それゆえ、テーブル3が加工位置Wにあるときのねじ軸4aの固定側からナット4bまでの距離をストロークSよりも小さくすることは望めない構造であり、その限りにおいてねじ軸4aの熱変位の影響は避けられないという問題がある。
【0007】
本発明の目的は、上述の問題点を解消してボールねじの熱変位が加工精度に及ぼす影響を可及的に少なくすることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、テーブルを二分割して各テーブルを別々のボールねじで駆動するようにし、ボールねじを固定側で使用する、言い換えれば、テーブルの加工位置側のストローク端をボールねじの固定側に設定することによって課題を解決したものである。
【0009】
すなわち、請求項1のシャトルテーブル装置は、ワークを位置決めするためのセット部を備えたテーブルを、ボールねじにより、ワークに所定の加工を施すための加工位置と、加工位置の両側に一定のストロークで配置したワークの搬入・搬出をおこなうための第一の搬入・搬出位置と第二の搬入・搬出位置の間で往復移動させるものにおいて、前記テーブルを移動方向に並置した第一テーブルおよび第二テーブルに分割し、各テーブルを駆動する別々の第一ボールねじおよび第二ボールねじを設け、一方の第一テーブルを加工位置と第一の搬入・搬出位置との間で往復移動させ、他方の第二テーブルを第二の搬入・搬出位置と加工位置との間で往復移動させるようにし、前記第一ボールねじのねじ軸は加工位置から第一の搬入・搬出位置にかけて延在し、一端をねじ軸の軸方向移動を許容しない固定側軸受によって回転自在に支持され、他端をねじ軸の軸方向移動を許容する自由側軸受によって回転自在に支持されて、ねじ軸に螺装されたナットが第一テーブルに固定され、前記第二ボールねじのねじ軸は加工位置から第二の搬入・搬出位置にかけて延在し、一端をねじ軸の軸方向移動を許容しない固定側軸受によって回転自在に支持され、他端をねじ軸の軸方向移動を許容する自由側軸受によって回転自在に支持されて、ねじ軸に螺装されたナットが第二テーブルに固定され、かつ、前記各固定側軸受の位置を前記加工位置に合致させたことを特徴としている。ボールねじのねじ軸は一端にて固定側軸受で支持され、他端にて自由側軸受で支持され、ねじ軸の熱変位が固定側から自由側に向かって累積してゆくものである。したがって、ねじ軸の固定点と加工位置の加工点を一致させるか若しくは可及的に近接させることにより、ボールねじの伸縮を原因とする加工位置におけるテーブルの位置ズレを抑えることができる。
【0010】
請求項2の発明のように、各テーブルに対するナットの固定点を、加工位置での各テーブルの伸びがナットの固定点を起点として対応する各ねじ軸の伸び方向と180゜反対方向になるように設定したことによって、ボールねじの伸縮を原因とする加工位置におけるテーブルの位置ズレをさらに少なくすることができる。
【0011】
請求項3の発明のように、ボールねじを共通の駆動源で同期して回転させることにより、前記テーブルを同方向に往復移動させることで、装置の小型・コンパクト化が可能となるばかりでなく、テーブルの同期移動制御が容易になる。この場合、駆動源として例えばモータを採用し、動力伝達装置を介して各ボールねじのねじ軸を回転駆動する。動力伝達装置としては、ベルトやチェーンを用いた巻き掛け伝導装置のほか、歯車伝導装置を採用することもできる。
【0012】
本発明は、ここに例示したようなレーザ加工機の加工位置と搬入・搬出位置との間でワークを搬送するシャトルテーブル装置に限らず、精密穴加工等する精密加工機、半導体製造機器等の、要は加工位置と搬入・搬出位置の間で往復移動してワークを搬送するとともに、特に加工位置におけるワークの高精度な位置決めが必要とされるあらゆる用途に適用できるものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図1ないし図4に従って本発明の実施の形態を説明する。
【0014】
図1に示すように、シャトルテーブル装置は、移動方向に並置した第一テーブル10aおよび第二テーブル10bと、各テーブル10a,10bを駆動するための第一ボールねじ20aおよび第二ボールねじ20bと、両ボールねじ20a,20bを同期回転させるための駆動装置30とを備える。
【0015】
第一テーブル10aと第二テーブル10bは、図1(B)に示すように既述の図5のテーブル3を2分割したものに相当し、図5の場合と同様に図示しないリニアガイドによって架台11上にスライド自在に支持されている。各テーブル10a,10bは、対応するボールねじ20a,20bにより駆動されて往復移動する。第一テーブル10aが第一の搬入・搬出位置L1 と加工位置Wとの間で往復移動し、第二テーブル10bが加工位置Wと第二の搬入・搬出位置L2 との間で往復移動する。図1(A)(B)の太い一点鎖線で示された位置が加工点(たとえば突合せ溶接の場合の溶接位置)を表している。
【0016】
第一ボールねじ20aのねじ軸21aは、加工位置Wから第一の搬入・搬出位置L1 にかけて延在し、一端を固定側軸受23aによって回転自在に支持され、他端を自由側軸受24aによって回転自在に支持されている。ねじ軸21aに螺装されたナット22aが第一テーブル10aに固定される。第二ボールねじ20bのねじ軸21bは、加工位置Wから第二の搬入・搬出位置L2 にかけて延在し、一端を固定側軸受23bによって回転自在に支持され、他端を自由側軸受24bによって回転自在に支持されている。ねじ軸21bに螺装されたナット22bが第二テーブル10bに固定される。軸受の配列方法に関して周知のとおり、固定側軸受23a,23bはねじ軸21a,21bの軸方向移動を許容しないのに対して、自由側軸受24a,24bはねじ軸21a,21bの軸方向移動を許容する構造である。固定側軸受23a,23bの位置は、対応するボールねじ21a,21bのねじ軸の固定点が加工位置Wの加工点と合致するように設定してある。
【0017】
駆動装置30は、2本のねじ軸21a,21bを同時に同方向に回転させて一対のテーブル10a,10bを同期して移動させるようにしたものである。たとえば、1基のモータ31と、モータ31の動力を各ねじ軸21a,21bに伝達する機構とを備える。動力伝達機構としては種々知られているが、ここでは巻掛け伝導機構を構成する一対のベルト33a,33bを例示した。すなわち、モータ31の出力軸を回転軸32に連結し、回転軸32に取り付けたプーリとねじ軸21a,21bに取り付けたプーリとにベルト33a,33bをそれぞれ巻き掛けてある(図3参照)。
【0018】
上述の構成からなるシャトルテーブル装置において、ナット22a,22bの取付位置は、テーブル10a,10bが加工位置Wにあるとき(図1,図2)、固定側軸受23a,23b(におけるねじ軸の固定点)からナット22a,22bまでの距離が最小となるように設定される。固定側軸受23a,23bから離れるほどねじ軸21a,21bの伸縮が累積してゆくことから、加工位置Wにおけるテーブル10a,10bの、したがってまたワーク1の、位置ずれを最小限に抑制するためである。なお、テーブル10a,10bが搬入・搬出位置L1 ,L2 にあるときの位置ずれを抑制するための手段については別段言及しない。これは、搬入・搬出位置L1 ,L2 がテーブル上に未加工のワークを搬入し、また、テーブルから加工済みワークを搬出する作業を行なうための位置であることから、加工位置Wにおいて要求されるほどの高い位置決め精度を確保する必要性に乏しいことによる。
【0019】
ところで、テーブル10a,10b自体もねじ軸21a,21bと同様に周囲温度の変化で伸縮する材料であるのが通常であり、ねじ軸21a,21bが軸方向に伸びるときはテーブル10a,10bも横方向に伸びる。ここで、図4に示すように、テーブル10に対するナット22の固定点をp、ねじ軸21の固定側軸受23で支持された固定点をqとすると、加工位置Wがある部分のテーブル10の伸びは、ナット22の固定点pを起点として、ねじ軸21の伸び方向と180゜反対方向である。つまり、テーブル10の伸びによるワーク1の位置ズレ方向はねじ軸21の伸びによるワーク1の位置ズレ方向と逆方向に現われる。したがって、ワーク1の位置ずれ量は、ねじ軸21の伸びによるワーク1の位置ズレ量からテーブル10の伸びによるワーク1の位置ズレ量を差し引いた値となる。その結果、ナット22の固定部をねじ軸21の伸びの起点(固定点)に接近させることによってボールねじの熱変位による影響は極力抑えられ、さらに、テーブル10の逆方向への伸びによって可及的に減少することとなる。理論上は、ねじ軸とテーブルの材料を、熱膨張係数を考慮して選択することにより、両者の熱変位が相殺されるようにすることも可能である。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、ねじ軸の固定点と加工位置における加工点とがほぼ一致しているため、周囲温度が変化してねじ軸が伸縮する場合でも、ねじ軸の伸縮はねじ軸の固定点を起点として累積してゆくため、テーブルの位置ズレは最小限に抑制される。また、テーブルと結合したボールねじのナットの加工位置における停止位置をねじ軸の固定点に可及的に近接させることによって、加工位置におけるテーブルの位置ズレは一層少なくなる。
【0021】
また、二本のねじ軸を共通のモータで回転駆動することにより、1本のボールねじを使った従来のシャトルテーブル装置と同程度に構造が簡略化できる。しかも、一台のモータで二本のねじ軸を同期回転させることによって、二つのテーブルの一体的な往復移動の制御が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は正面図、(B)は平面図である。
【図2】図1(A)と類似の正面図である。
【図3】側面図である。
【図4】1つのテーブルについての模式図である。
【図5】従来の技術を示す正面図である。
【図6】平面図である。
【符号の説明】
1 ワーク
W 加工位置
L1 搬入・搬出位置
L2 搬入・搬出位置
10a,10b テーブル
20a,20b ボールねじ
21a,21b ねじ軸
22a,22b ナット
23a,23b 固定側軸受
24a,24b 自由側軸受
30 駆動装置
31 モータ
32 回転軸
33a,33b ベルト
p ナットの固定点
q ねじ軸の固定点[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention reciprocates a shuttle table on which a workpiece is positioned between a machining position for performing predetermined machining on the workpiece and a loading / unloading position for loading / unloading the workpiece using a ball screw. The present invention relates to a shuttle table device that is moved, and more specifically, the effect of thermal displacement of a ball screw on machining accuracy is minimized. The present invention can be used in laser welding machines, precision processing machines, and the like.
[0002]
[Prior art]
FIG. 5 and FIG. 6 show a shuttle table device in which a table 3 supported so as to be slidable in the horizontal direction is reciprocated at a constant stroke S using a
[0003]
A
[0004]
6A shows the time when the table 3 has moved to one stroke end, and FIG. 6B shows the time when the table 3 has moved to the other stroke end. In the state of FIG. 6 (A), the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the
[0006]
In the shuttle table device shown in FIGS. 5 and 6, the table 3 is reciprocated between the processing position W and the loading / unloading positions L 1 and L 2 on both sides thereof. Is located in the middle of the moving stroke S (FIG. 6). Therefore, it is impossible to make the distance from the fixed side of the
[0007]
An object of the present invention is to eliminate the above-described problems and reduce the influence of thermal displacement of a ball screw on machining accuracy as much as possible.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, the table is divided into two parts and each table is driven by a separate ball screw, and the ball screw is used on the fixed side, in other words, the stroke end on the processing position side of the table is set on the fixed side of the ball screw. The problem is solved by setting.
[0009]
That is, the shuttle table system of
[0010]
As in the invention of claim 2, the fixing point of the nut with respect to each table is set so that the extension of each table at the processing position is opposite to the extension direction of the corresponding screw shaft starting from the fixing point of the nut. by set, it is possible to further reduce the positional deviation of the table in the machining position caused by the expansion and contraction of the ball screw.
[0011]
As in the invention of
[0012]
The present invention is not limited to the shuttle table device that conveys a workpiece between the machining position and the loading / unloading position of the laser machining machine exemplified here, such as a precision machining machine that performs precision hole machining, semiconductor manufacturing equipment, etc. The point is that the workpiece is conveyed by reciprocating between the machining position and the loading / unloading position, and can be applied to any application that requires high-precision positioning of the workpiece at the machining position.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0014]
As shown in FIG. 1, the shuttle table device includes a first table 10a and a second table 10b juxtaposed in the moving direction, and a
[0015]
The first table 10a and the second table 10b correspond to the table 3 shown in FIG. 5 divided into two as shown in FIG. 1 (B). 11 is slidably supported. Each table 10a, 10b is driven by a
[0016]
The
[0017]
The
[0018]
In the shuttle table device having the above-described configuration, the nuts 22a and 22b are attached to the fixed
[0019]
By the way, the tables 10a and 10b themselves are usually made of a material that expands and contracts due to changes in the ambient temperature in the same manner as the
[0020]
【The invention's effect】
According to the present invention, since the fixing point of the screw shaft substantially coincides with the processing point at the processing position, even when the ambient temperature changes and the screw shaft expands and contracts, the screw shaft expands and contracts. Therefore, the positional deviation of the table is suppressed to the minimum. Further, by making the stop position at the processing position of the nut of the ball screw coupled to the table as close as possible to the fixing point of the screw shaft, the positional deviation of the table at the processing position is further reduced.
[0021]
In addition, by rotating and driving two screw shafts with a common motor, the structure can be simplified to the same extent as a conventional shuttle table device using one ball screw. In addition, by synchronously rotating the two screw shafts with a single motor, it is easy to control the integral reciprocation of the two tables.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a front view and FIG. 1B is a plan view.
FIG. 2 is a front view similar to FIG.
FIG. 3 is a side view.
FIG. 4 is a schematic diagram for one table.
FIG. 5 is a front view showing a conventional technique.
FIG. 6 is a plan view.
[Explanation of symbols]
1 Work W Processing position L 1 Loading / unloading position L 2 Loading /
Claims (3)
前記第一ボールねじ(20a)のねじ軸(21a)は加工位置(W)から第一の搬入・搬出位置(L 1 )にかけて延在し、一端をねじ軸(21a)の軸方向移動を許容しない固定側軸受(23a)によって回転自在に支持され、他端をねじ軸(21a)の軸方向移動を許容する自由側軸受(24a)によって回転自在に支持されて、ねじ軸(21a)に螺装されたナット(22a)が第一テーブル(10a)に固定され、前記第二ボールねじ(20b)のねじ軸(21b)は加工位置(W)から第二の搬入・搬出位置(L 2 )にかけて延在し、一端をねじ軸(21b)の軸方向移動を許容しない固定側軸受(23b)によって回転自在に支持され、他端をねじ軸(21b)の軸方向移動を許容する自由側軸受(22b)によって回転自在に支持されて、ねじ軸(21b)に螺装されたナット(22b)が第二テーブル(10b)に固定され、
かつ、前記各固定側軸受(23a)(23b)の位置を前記加工位置(W)に合致させたことを特徴とするシャトルテーブル装置。To carry in / out a workpiece with a set position for positioning the workpiece using a ball screw and a workpiece position where the workpiece is subjected to a predetermined machining and a fixed stroke on both sides of the machining position. In which the table is reciprocated between the first loading / unloading position and the second loading / unloading position, the table is divided into a first table (10a) and a second table (10b) juxtaposed in the movement direction , Separate first ball screws (20a) and second ball screws (20b ) for driving each table (10a) (10b) are provided, and one of the first tables (10a) is moved into the processing position (W) and first loaded. -Reciprocating between the unloading position (L 1 ) and reciprocating the other second table (10b) between the second loading / unloading position (L 2 ) and the processing position (W) In fact,
The screw shaft (21a) of the first ball screw (20a) extends from the machining position (W) to the first carry-in / carry-out position (L 1 ), and allows one end of the screw shaft (21a) to move in the axial direction. The other end is rotatably supported by a fixed bearing (23a) and the other end is rotatably supported by a free bearing (24a) allowing axial movement of the screw shaft (21a), and is screwed onto the screw shaft (21a). The mounted nut (22a) is fixed to the first table (10a), and the screw shaft (21b) of the second ball screw (20b) is moved from the processing position (W) to the second loading / unloading position (L 2 ). A free-side bearing that is rotatably supported by a fixed-side bearing (23b) whose one end is not allowed to move in the axial direction of the screw shaft (21b) and whose other end is allowed to move in the axial direction of the screw shaft (21b). (22b) can be rotated freely The nut (22b) supported and screwed to the screw shaft (21b) is fixed to the second table (10b),
And the shuttle table apparatus characterized by making the position of each said fixed side bearing (23a) (23b) correspond to the said processing position (W) .
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