JP3930844B2 - 半導体チップ吸着ボンディングヘッド - Google Patents
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Description
2 吸着穴
3 コレットホルダ
4 静圧空気軸受
5 キャンセル圧力受圧部
6 キャンセル圧力用レギュレータ
7 静圧調整レギュレータ
8 空気軸受シリンダ
9 リテーナリング
10 精密等級鋼球
11 上下ストッパブロック
12 圧縮ばね
13 ベアリングホルダ
13a ベアリングホルダ
14 パルスモータ及びサーボモータ
15 調整偏心シャフト
16 固定ベアリングシャフト
17a ベアリング
17b ベアリング
17c 平面静圧軸受
18 回止めシャフト
18a 回止シャフト
19 推力空気ポート
20 静圧空気ポート
21 本体ベース
22 レーザチップ
23 カメラ部
24 モニタ
25 レーザボンディング位置あるいは高精度移載位置
26 吸着穴
27 コレットホルダ
28 圧縮ばね
29 リニアブッシュ
30 上下ストッパブロック
31 カラー
32 吸着コレット
33a ベアリング
33bベアリング
34 固定ベアリングシャフト
35 調整偏心シャフト
36 回転ベース
37 回転シャフト
38 ストッパ
39 ラジアルベアリング
40 カップリング
41 本体ベース
42 パルスモータ及びサーボモータ
43 レーザチップ
44 カメラ部
45 レーザボンディング位置あるいは高精度移載位置
46 モニタ
Claims (8)
- 半導体チップを吸着可能な吸着コレットと、前記吸着コレットを保持したコレットホルダとを備え、軸方向のZ方向可動とθ方向回転駆動を可能とした半導体チップ吸着ボンディングヘッドであって、前記Z方向バッファ可動部分と前記θ方向回転部分に共通要素として静圧空気軸受を軸方向に分割して配置し、前記静圧空気軸受間に高圧空気を印加することにより推力を発生することが可能な受圧面部を、前記静圧空気軸受間の前記コレットホルダの軸部に設けたことを特徴とする半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- 高圧空気印加により推力発生方向が1方向である請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- 軸方向に分割された静圧空気軸受に静圧を発生させるための高圧空気を同一の静圧空気ポートにて印加可能とする請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- 軸方向に分割された静圧空気軸受に静圧を発生させるための高圧空気を別の静圧空気ポートにて印加可能とする請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- 高圧空気による推力方向と反対方向に弾性体でコレットホルダに荷重印加する請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- θ方向回転時のコレットホルダの高さ方向の支持として、3個以上の奇数個で直径の統一された精密等級綱球を有し、前記精密等級綱球が脱落しないように、かつ回転可能なように保持されたリテーナリングを備えている請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- 静圧空気軸受に保持されているコレットホルダの軸部が、前記静圧空気軸受を埋設したシリンダから両方向に突き出している請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
- θ方向回転の駆動力伝達を行うために、摺動抵抗を上昇させることなくZ方向の可動要素を挟み込む2枚の平面静圧軸受を備えている請求項1記載の半導体チップ吸着ボンディングヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003331130A JP3930844B2 (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 半導体チップ吸着ボンディングヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003331130A JP3930844B2 (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 半導体チップ吸着ボンディングヘッド |
Publications (2)
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JP2005101142A JP2005101142A (ja) | 2005-04-14 |
JP3930844B2 true JP3930844B2 (ja) | 2007-06-13 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3930844B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102201328B (zh) * | 2011-04-19 | 2012-12-12 | 先进光电器材(深圳)有限公司 | 固晶机焊头机构 |
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2003
- 2003-09-24 JP JP2003331130A patent/JP3930844B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JP2005101142A (ja) | 2005-04-14 |
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