JP3926725B2 - 顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 - Google Patents
顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3926725B2 JP3926725B2 JP2002319457A JP2002319457A JP3926725B2 JP 3926725 B2 JP3926725 B2 JP 3926725B2 JP 2002319457 A JP2002319457 A JP 2002319457A JP 2002319457 A JP2002319457 A JP 2002319457A JP 3926725 B2 JP3926725 B2 JP 3926725B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- lens
- tip
- objective lens
- immersion objective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/33—Immersion oils, or microscope systems or objectives for use with immersion fluids
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Lenses (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡に用いられる高解像の液侵対物レンズ用先端光学素子の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、高解像、高倍率をうるために、標本と顕微鏡用対物レンズの先玉レンズ（先端光学素子）との間に、空気よりも屈折率の大きい水やオイル等の液体を充填して使用する液侵対物レンズがある。この先玉レンズには、半球もしくは半球に近いレンズが使用され、収差性能を良くするために、レンズ先端中央に分散や屈折率の異なる微小レンズを埋め込んであるものが多い（例えば、特許文献１の図２参照）。
【０００３】
このような先玉レンズを用いた対物レンズは、図４（特許文献１の第５図）に示すように先玉レンズ９０の有効径外から有害光線６０が入射してフレアが生じる問題があるが、この問題を解決するため、従来、先玉レンズ９０の有効径外から有害光線６０を遮断する方法が幾つか提案されている。例えば、図５に示すように、先玉レンズ９０を保持する枠７０に絞り３０を貼り付けて有害光線６０を遮断する方法、図６に示すようにレンズ保持枠７０にフランジ部４０を設けて先玉レンズ９０をカシメ保持するか若しくは接着保持してこのフランジ部４０で有害光線を遮断する方法、及び図７に示すように先玉レンズ９０のレンズ表面の光線有効径の外側に金属膜５０を蒸着させて有害光線６０を遮断する方法等である。
【０００４】
【特許文献１】
実開平４−４６４１６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示された方法では、高解像のＮＡ（開口数）の大きい液侵対物レンズの場合、ＷＤ（標本から対物レンズ先端までの距離）が一般的には０．１〜０．２ｍｍ程度と非常に短いので、絞り３０の厚みによりＷＤが短くなってしまう。
【０００６】
また、図６に示された方法では、フランジ部４０の厚みを考慮した場合、これもＷＤが短くなってしまう。また、フランジ部４０の厚みはＷＤの損失を少なくするために非常に薄く加工する必要があり、その加工精度を良くするためには余り長くできない。従って、先玉レンズ９０の中央に埋め込みレンズがある場合は、埋め込みレンズの縁部８０までフランジ４０を形成できないことがある。この場合、埋め込みレンズと先玉レンズ９０との間には薄い接着剤の層があるため、埋め込みレンズの縁部８０で錯乱光が発生してフレアーになる場合がある。
【０００７】
また、図７に示された方法では、金属膜５０を蒸着させる場合、２００〜３００℃の高温の中にレンズを入れなくてはならない。先玉レンズ９０に微小のレンズを埋め込み接着してある場合は、この高温により埋め込みレンズが剥がれてしまうことがある。普通、微小レンズは、埋め込み後（図８(a)参照）にそのレンズ端面Ａを埋め込まれるレンズの端面Ｂと同一面になるように研磨加工が施される（図８（b）参照）。これは、対物レンズの先端に段差があると、対物レンズ先端と標本との間に充填されているオイルや水の中に気泡が入り易くなってしまうからである。このため、微小レンズ埋め込み前に金属膜５０を蒸着することは適当でない。更に、単レンズにおいても、液浸対物レンズに用いられるものは、使用後オイルや水を拭き取る必要があり、この作業を何度も繰り返せば金属膜５０が剥げてくる可能性もある。
【０００８】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ＷＤを損なうことなくフレアーを起こす有害光線を遮断でき、且つ耐性的にも問題のない顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子において、先端側から順に第１光学素子と第２光学素子とを有していて、前記第１光学素子と前記第２光学素子との間には有害光束を遮断する遮光膜が形成されており、先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて形成された凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子が埋め込まれていることを特徴とする。
また、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、前記遮光膜が、金属蒸着膜、塗装材料及び金属箔の何れかにより形成されていることが望ましい。
また、上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法は、先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法において、第１光学素子または第２光学素子の一面に遮光膜を形成し、先端側から順に前記第１光学素子と前記第２光学素子とを該遮光膜を挟んで貼り合わせた後、先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて凹部を形成し、前記凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子を埋め込むことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図示した実施例に基づき説明するが、説明に先立ち本発明の作用効果について述べることにする。
請求項１乃至３に記載の発明によれば、鏡枠に絞りを貼りつけたり、鏡枠にフランジを設けたりしなくても、有害光束を遮光できるため、対物レンズと標本との間に十分なスペースを確保できる。しかも、遮光領域に用いられる部材は、直接に水やオイルなどの溶液に接しないため、金属蒸着物質，塗料及び金属箔など制限なく使用することができる。例えば、遮光領域の位置精度を向上させたい場合は金属蒸着物質を、安価で種々の色を用いたい場合には塗料を、また、光学素子との接着工程や遮光領域の形成を容易にするには金属箔を、と用途や要求に合わせて材料を選択することができる。
【００１１】
また、遮光領域に用いる部材は溶液に接しないため、水やオイル或いは標本に悪影響を及ぼすこともない。また、先端光学素子である先玉レンズの内側に遮光領域があるため、検鏡後、対物レンズ先端の水やオイルなどの溶液を拭き取る作業を何度も繰り返しても、遮光領域に変化は起こらない。
【００１３】
また、本願では、液浸用対物レンズで収差を向上させるために、先玉レンズの先端中央部に分散や屈折率の異なる微小レンズを埋め込んであるタイプのレンズを製造する方法であって、該先玉レンズを構成する第１光学素子と第２光学素子の何れか一方の一面全面に遮光領域を形成し、該遮光領域が形成された面を挟んで前記第１光学素子と第２光学素子を貼り合わせ、その貼り合わせ状態で中心部に凹部を形成し、該凹部に第３光学素子を埋め込んで先玉レンズを製造する方法を提案している。この方法を用いれば、前述の作用効果を持つ先玉レンズが製造できる。この場合、第１光学素子もしくは第２光学素子において、有効光束を確保するような遮光領域を形成しなくても、第３光学素子を埋め込む凹部の加工時に有効光束領域が形成されるため、効率の良い製造が可能となる。また、遮光領域の形成後に第３光学素子の埋め込み接着を行うので、遮光領域を蒸着で形成する場合でも熱による埋め込み部の接着剤剥がれが生じない。
【００１４】
参考例
図１は、本発明にかかる顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子（先玉レンズ）の参考例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
図中、１は標本、２はオイル又は水等の媒質、３は接着形成された平行平面光学素子４と光学素子５との間に設けられた絞りである金属膜で、この金属膜３と平行平面光学素子４と光学素子５は、先玉レンズを構成する。そして、標本１からの光束は、金属膜３からなる絞りにより有害光束６が遮断され、有効光束７のみを通過させることができる。
【００１５】
金属膜３は、酸化クロムや酸化チタンなどからなり、図１（ｂ）に示されるように、光学素子接着面の有効光束を遮断しないように平行平面光学素子４の光学素子５側の表面に輪帯状に真空蒸着され、その後、この平行平面光学素子４は金属膜３を挟んで光学素子５と接着させられて、先玉レンズが形成される。金属膜３は、平行平面光学素子４ではなくて、光学素子５の接着面に蒸着されても良い。
【００１６】
以上のようにして形成された先玉レンズを鏡枠に組み込めば、従来行っていた鏡枠に絞りを貼り付けたり、鏡枠にフランジを設けたりしなくても、有害光線の遮光が行えるため、先玉レンズの先端と標本１との間のスペースの確保が十分に行え、ＷＤの損失がない。また、金属膜絞りが先玉レンズの中に形成されることにより、金属膜の劣化が起こることもなく、耐性的にも問題が起こらない。
【００１７】
実施例
図２は、本発明にかかる顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子（先玉レンズ）の実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。図中、参考例と実質上同一の部材には同一符号が付され、それらについての説明は省略されている。
本実施例は、収差性能を向上させるために、先玉レンズの先端中央に光の分散や屈折率の異なる微小レンズ８を埋め込んであるタイプであり、図２（ａ）に示されるように、標本１からの光束は、接着形成されている平行平面光学素子４と光学素子５の間に設けられた金属膜３からなる絞りにより有害光束６が遮断され、有効光束７のみを透過し得るように構成されている。
【００１８】
このタイプの先玉レンズは、先ず、図２（ｂ）に示すように、平行平面光学素子４の光学素子５との接着側表面全面に、酸化クロムや酸化チタンなどの金属膜３を真空蒸着させて、この金属膜３を挟んで平行平面光学素子４に光学素子５を接着し、次に、平行平面光学素子４から光学素子５へ向けてその中心部に、微小レンズ８を埋め込むための凹部９を加工し、これに加工前のレンズ８'を埋め込んで接着し、その後、このレンズ８'の不要部分をカットし、表面を研磨してレンズ表面の段差をなくすことにより、形成される。なお、金属膜３は、平行平面光学素子４でなくて光学素子５の接着面に形成されても良い。
【００１９】
この製造方法は、埋め込みレンズ８’の有効径ぎりぎりまで金属膜３で絞ることができるので、従来行っていた鏡枠に絞りを貼り付けたり、鏡枠にフランジを設けたりする方法よりも有効に有害光束６を遮断することができる。また、埋め込みレンズ８の縁部８ａより後方で光束を絞ることができるので、錯乱光によるフレアの心配もない。更に、参考例の場合と同様に、先玉レンズ先端と標本１との間に十分なスペースを確保できるためＷＤの損失がないし、金属膜の絞りがレンズの中に形成されているため金属膜の劣化が起こることもなく、耐性的にも問題が起こらない。
【００２０】
なお、参考例及び実施例では、輪帯状に形成される遮光領域が金属膜で構成されるものとして説明したが、これは塗料や金属箔で構成されても良い。また、実施例は微小レンズを埋め込んでレンズを形成しているが、微小レンズ８を埋め込まず、図３に示すように凹部９をそのまま使用することも可能である。それは、凹部９にオイルや水等の溶液が充填されて、微小レンズ８の代わりにレンズを形成できるからであり、先玉レンズをより安価に製造することを可能にする。
【００２１】
以上説明したように、本発明の顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、特許請求の範囲に記載した特徴の他に、下記のような特徴も備えている。
（１）請求項１又は２に記載の顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を備えた対物レンズ。
（２）上記（１）に記載の対物レンズを備えた顕微鏡。
【００２２】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、対物レンズのＷＤを損なうことなくフレアを起こす有害光線を遮光することができ、耐性的にも問題のない顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる顕微鏡用液浸対物レンズの先玉レンズの第１実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
【図２】本発明にかかる顕微鏡用液浸対物レンズの先玉レンズの第２実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
【図３】 顕微鏡用液浸対物レンズを先玉レンズの中心部の凹部に微小レンズを埋め込まないで形成した構成例を示す断面図である。
【図４】従来技術の先玉レンズの有効口径外から有害光が入射してフレアーが生じる様子を示した概略図である。
【図５】従来技術の先玉レンズのレンズ保持枠に絞りを貼り付けて有害光束を遮光する方法を示した概略断面図である。
【図６】従来技術の先玉レンズのレンズ保持枠にフランジ部を設け有害光束の遮光を行う方法を示した概略断面図である。
【図７】従来技術の先玉レンズのレンズ表面に金属膜を蒸着させて有害光束の遮光を行う方法を示した概略図である。
【図８】微小レンズの端面と微小レンズが埋め込まれるレンズの端面の状態を説明する図である。
【符号の説明】
１ 標本
２ オイル又は水等の媒質
３ 金属膜
４ 平行平面光学素子
５ 光学素子
６ 有害光束
７ 有効光束
８ 微小レンズ
８’ 加工前微小レンズ
８ａ 微小レンズの縁部
９ 凹部
１０ 媒質部分の厚みスペース
３０ 絞り
４０ フランジ部
５０ 金属膜
６０ 有害光線
７０ 鏡枠
８０ 埋め込みレンズ縁部
９０ 先玉レンズ
Ａ 微小レンズの端面
Ｂ 微小レンズの埋め込みが行われるレンズの端面
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡に用いられる高解像の液侵対物レンズ用先端光学素子の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、高解像、高倍率をうるために、標本と顕微鏡用対物レンズの先玉レンズ（先端光学素子）との間に、空気よりも屈折率の大きい水やオイル等の液体を充填して使用する液侵対物レンズがある。この先玉レンズには、半球もしくは半球に近いレンズが使用され、収差性能を良くするために、レンズ先端中央に分散や屈折率の異なる微小レンズを埋め込んであるものが多い（例えば、特許文献１の図２参照）。
【０００３】
このような先玉レンズを用いた対物レンズは、図４（特許文献１の第５図）に示すように先玉レンズ９０の有効径外から有害光線６０が入射してフレアが生じる問題があるが、この問題を解決するため、従来、先玉レンズ９０の有効径外から有害光線６０を遮断する方法が幾つか提案されている。例えば、図５に示すように、先玉レンズ９０を保持する枠７０に絞り３０を貼り付けて有害光線６０を遮断する方法、図６に示すようにレンズ保持枠７０にフランジ部４０を設けて先玉レンズ９０をカシメ保持するか若しくは接着保持してこのフランジ部４０で有害光線を遮断する方法、及び図７に示すように先玉レンズ９０のレンズ表面の光線有効径の外側に金属膜５０を蒸着させて有害光線６０を遮断する方法等である。
【０００４】
【特許文献１】
実開平４−４６４１６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示された方法では、高解像のＮＡ（開口数）の大きい液侵対物レンズの場合、ＷＤ（標本から対物レンズ先端までの距離）が一般的には０．１〜０．２ｍｍ程度と非常に短いので、絞り３０の厚みによりＷＤが短くなってしまう。
【０００６】
また、図６に示された方法では、フランジ部４０の厚みを考慮した場合、これもＷＤが短くなってしまう。また、フランジ部４０の厚みはＷＤの損失を少なくするために非常に薄く加工する必要があり、その加工精度を良くするためには余り長くできない。従って、先玉レンズ９０の中央に埋め込みレンズがある場合は、埋め込みレンズの縁部８０までフランジ４０を形成できないことがある。この場合、埋め込みレンズと先玉レンズ９０との間には薄い接着剤の層があるため、埋め込みレンズの縁部８０で錯乱光が発生してフレアーになる場合がある。
【０００７】
また、図７に示された方法では、金属膜５０を蒸着させる場合、２００〜３００℃の高温の中にレンズを入れなくてはならない。先玉レンズ９０に微小のレンズを埋め込み接着してある場合は、この高温により埋め込みレンズが剥がれてしまうことがある。普通、微小レンズは、埋め込み後（図８(a)参照）にそのレンズ端面Ａを埋め込まれるレンズの端面Ｂと同一面になるように研磨加工が施される（図８（b）参照）。これは、対物レンズの先端に段差があると、対物レンズ先端と標本との間に充填されているオイルや水の中に気泡が入り易くなってしまうからである。このため、微小レンズ埋め込み前に金属膜５０を蒸着することは適当でない。更に、単レンズにおいても、液浸対物レンズに用いられるものは、使用後オイルや水を拭き取る必要があり、この作業を何度も繰り返せば金属膜５０が剥げてくる可能性もある。
【０００８】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ＷＤを損なうことなくフレアーを起こす有害光線を遮断でき、且つ耐性的にも問題のない顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子において、先端側から順に第１光学素子と第２光学素子とを有していて、前記第１光学素子と前記第２光学素子との間には有害光束を遮断する遮光膜が形成されており、先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて形成された凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子が埋め込まれていることを特徴とする。
また、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、前記遮光膜が、金属蒸着膜、塗装材料及び金属箔の何れかにより形成されていることが望ましい。
また、上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法は、先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法において、第１光学素子または第２光学素子の一面に遮光膜を形成し、先端側から順に前記第１光学素子と前記第２光学素子とを該遮光膜を挟んで貼り合わせた後、先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて凹部を形成し、前記凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子を埋め込むことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図示した実施例に基づき説明するが、説明に先立ち本発明の作用効果について述べることにする。
請求項１乃至３に記載の発明によれば、鏡枠に絞りを貼りつけたり、鏡枠にフランジを設けたりしなくても、有害光束を遮光できるため、対物レンズと標本との間に十分なスペースを確保できる。しかも、遮光領域に用いられる部材は、直接に水やオイルなどの溶液に接しないため、金属蒸着物質，塗料及び金属箔など制限なく使用することができる。例えば、遮光領域の位置精度を向上させたい場合は金属蒸着物質を、安価で種々の色を用いたい場合には塗料を、また、光学素子との接着工程や遮光領域の形成を容易にするには金属箔を、と用途や要求に合わせて材料を選択することができる。
【００１１】
また、遮光領域に用いる部材は溶液に接しないため、水やオイル或いは標本に悪影響を及ぼすこともない。また、先端光学素子である先玉レンズの内側に遮光領域があるため、検鏡後、対物レンズ先端の水やオイルなどの溶液を拭き取る作業を何度も繰り返しても、遮光領域に変化は起こらない。
【００１３】
また、本願では、液浸用対物レンズで収差を向上させるために、先玉レンズの先端中央部に分散や屈折率の異なる微小レンズを埋め込んであるタイプのレンズを製造する方法であって、該先玉レンズを構成する第１光学素子と第２光学素子の何れか一方の一面全面に遮光領域を形成し、該遮光領域が形成された面を挟んで前記第１光学素子と第２光学素子を貼り合わせ、その貼り合わせ状態で中心部に凹部を形成し、該凹部に第３光学素子を埋め込んで先玉レンズを製造する方法を提案している。この方法を用いれば、前述の作用効果を持つ先玉レンズが製造できる。この場合、第１光学素子もしくは第２光学素子において、有効光束を確保するような遮光領域を形成しなくても、第３光学素子を埋め込む凹部の加工時に有効光束領域が形成されるため、効率の良い製造が可能となる。また、遮光領域の形成後に第３光学素子の埋め込み接着を行うので、遮光領域を蒸着で形成する場合でも熱による埋め込み部の接着剤剥がれが生じない。
【００１４】
参考例
図１は、本発明にかかる顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子（先玉レンズ）の参考例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
図中、１は標本、２はオイル又は水等の媒質、３は接着形成された平行平面光学素子４と光学素子５との間に設けられた絞りである金属膜で、この金属膜３と平行平面光学素子４と光学素子５は、先玉レンズを構成する。そして、標本１からの光束は、金属膜３からなる絞りにより有害光束６が遮断され、有効光束７のみを通過させることができる。
【００１５】
金属膜３は、酸化クロムや酸化チタンなどからなり、図１（ｂ）に示されるように、光学素子接着面の有効光束を遮断しないように平行平面光学素子４の光学素子５側の表面に輪帯状に真空蒸着され、その後、この平行平面光学素子４は金属膜３を挟んで光学素子５と接着させられて、先玉レンズが形成される。金属膜３は、平行平面光学素子４ではなくて、光学素子５の接着面に蒸着されても良い。
【００１６】
以上のようにして形成された先玉レンズを鏡枠に組み込めば、従来行っていた鏡枠に絞りを貼り付けたり、鏡枠にフランジを設けたりしなくても、有害光線の遮光が行えるため、先玉レンズの先端と標本１との間のスペースの確保が十分に行え、ＷＤの損失がない。また、金属膜絞りが先玉レンズの中に形成されることにより、金属膜の劣化が起こることもなく、耐性的にも問題が起こらない。
【００１７】
実施例
図２は、本発明にかかる顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子（先玉レンズ）の実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。図中、参考例と実質上同一の部材には同一符号が付され、それらについての説明は省略されている。
本実施例は、収差性能を向上させるために、先玉レンズの先端中央に光の分散や屈折率の異なる微小レンズ８を埋め込んであるタイプであり、図２（ａ）に示されるように、標本１からの光束は、接着形成されている平行平面光学素子４と光学素子５の間に設けられた金属膜３からなる絞りにより有害光束６が遮断され、有効光束７のみを透過し得るように構成されている。
【００１８】
このタイプの先玉レンズは、先ず、図２（ｂ）に示すように、平行平面光学素子４の光学素子５との接着側表面全面に、酸化クロムや酸化チタンなどの金属膜３を真空蒸着させて、この金属膜３を挟んで平行平面光学素子４に光学素子５を接着し、次に、平行平面光学素子４から光学素子５へ向けてその中心部に、微小レンズ８を埋め込むための凹部９を加工し、これに加工前のレンズ８'を埋め込んで接着し、その後、このレンズ８'の不要部分をカットし、表面を研磨してレンズ表面の段差をなくすことにより、形成される。なお、金属膜３は、平行平面光学素子４でなくて光学素子５の接着面に形成されても良い。
【００１９】
この製造方法は、埋め込みレンズ８’の有効径ぎりぎりまで金属膜３で絞ることができるので、従来行っていた鏡枠に絞りを貼り付けたり、鏡枠にフランジを設けたりする方法よりも有効に有害光束６を遮断することができる。また、埋め込みレンズ８の縁部８ａより後方で光束を絞ることができるので、錯乱光によるフレアの心配もない。更に、参考例の場合と同様に、先玉レンズ先端と標本１との間に十分なスペースを確保できるためＷＤの損失がないし、金属膜の絞りがレンズの中に形成されているため金属膜の劣化が起こることもなく、耐性的にも問題が起こらない。
【００２０】
なお、参考例及び実施例では、輪帯状に形成される遮光領域が金属膜で構成されるものとして説明したが、これは塗料や金属箔で構成されても良い。また、実施例は微小レンズを埋め込んでレンズを形成しているが、微小レンズ８を埋め込まず、図３に示すように凹部９をそのまま使用することも可能である。それは、凹部９にオイルや水等の溶液が充填されて、微小レンズ８の代わりにレンズを形成できるからであり、先玉レンズをより安価に製造することを可能にする。
【００２１】
以上説明したように、本発明の顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子は、特許請求の範囲に記載した特徴の他に、下記のような特徴も備えている。
（１）請求項１又は２に記載の顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を備えた対物レンズ。
（２）上記（１）に記載の対物レンズを備えた顕微鏡。
【００２２】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、対物レンズのＷＤを損なうことなくフレアを起こす有害光線を遮光することができ、耐性的にも問題のない顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる顕微鏡用液浸対物レンズの先玉レンズの第１実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
【図２】本発明にかかる顕微鏡用液浸対物レンズの先玉レンズの第２実施例を示す断面図で、（ａ）は先玉レンズへの光線の入射状態を示す概略図、（ｂ）は先玉レンズの形成方法を示す説明図である。
【図３】 顕微鏡用液浸対物レンズを先玉レンズの中心部の凹部に微小レンズを埋め込まないで形成した構成例を示す断面図である。
【図４】従来技術の先玉レンズの有効口径外から有害光が入射してフレアーが生じる様子を示した概略図である。
【図５】従来技術の先玉レンズのレンズ保持枠に絞りを貼り付けて有害光束を遮光する方法を示した概略断面図である。
【図６】従来技術の先玉レンズのレンズ保持枠にフランジ部を設け有害光束の遮光を行う方法を示した概略断面図である。
【図７】従来技術の先玉レンズのレンズ表面に金属膜を蒸着させて有害光束の遮光を行う方法を示した概略図である。
【図８】微小レンズの端面と微小レンズが埋め込まれるレンズの端面の状態を説明する図である。
【符号の説明】
１ 標本
２ オイル又は水等の媒質
３ 金属膜
４ 平行平面光学素子
５ 光学素子
６ 有害光束
７ 有効光束
８ 微小レンズ
８’ 加工前微小レンズ
８ａ 微小レンズの縁部
９ 凹部
１０ 媒質部分の厚みスペース
３０ 絞り
４０ フランジ部
５０ 金属膜
６０ 有害光線
７０ 鏡枠
８０ 埋め込みレンズ縁部
９０ 先玉レンズ
Ａ 微小レンズの端面
Ｂ 微小レンズの埋め込みが行われるレンズの端面
Claims (3)
- 先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子において、
先端側から順に第１光学素子と第２光学素子とを有していて、
前記第１光学素子と前記第２光学素子との間には有害光束を遮断する遮光膜が形成されており、
先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて形成された凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子が埋め込まれていることを特徴とする顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子。 - 前記遮光膜が、金属蒸着膜、塗装材料及び金属箔の何れかにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子。
- 先端中央部に微小光学素子が埋め込まれている顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法において、
第１光学素子または第２光学素子の一面に遮光膜を形成し、
先端側から順に前記第１光学素子と前記第２光学素子とを該遮光膜を挟んで貼り合わせた後、
先端中央部に前記第１光学素子から前記第２光学素子へ向けて凹部を形成し、
前記凹部に前記第１光学素子と前記第２光学素子とに接触するように前記微小光学素子を埋め込むことを特徴とする顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002319457A JP3926725B2 (ja) | 2002-11-01 | 2002-11-01 | 顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 |
| US10/688,382 US7035016B2 (en) | 2002-11-01 | 2003-10-17 | Tip optical element for immersion microscope objectives |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002319457A JP3926725B2 (ja) | 2002-11-01 | 2002-11-01 | 顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004151624A JP2004151624A (ja) | 2004-05-27 |
| JP3926725B2 true JP3926725B2 (ja) | 2007-06-06 |
Family
ID=32171288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002319457A Expired - Lifetime JP3926725B2 (ja) | 2002-11-01 | 2002-11-01 | 顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7035016B2 (ja) |
| JP (1) | JP3926725B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100916502B1 (ko) * | 2007-08-10 | 2009-09-08 | 삼성전기주식회사 | 초소형 촬상 광학계 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7385764B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-06-10 | Carl Zeiss Smt Ag | Objectives as a microlithography projection objective with at least one liquid lens |
| CN100468081C (zh) * | 2005-06-03 | 2009-03-11 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 光学元件 |
| JP4866750B2 (ja) * | 2007-01-30 | 2012-02-01 | パナソニック株式会社 | 光学部品、レンズ鏡筒およびカメラ |
| CN101907762B (zh) * | 2009-06-02 | 2012-06-20 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镜头系统 |
| JP2012215911A (ja) * | 2012-08-13 | 2012-11-08 | Nikon Corp | 光学ユニット、光学機器 |
| JP6579650B2 (ja) * | 2015-04-01 | 2019-09-25 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡対物レンズ、及び、顕微鏡対物レンズの組立方法 |
| JP2018146878A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | カンタツ株式会社 | レンズ素子および撮像レンズユニット |
| JPWO2023002540A1 (ja) * | 2021-07-19 | 2023-01-26 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5625709A (en) * | 1979-08-07 | 1981-03-12 | Olympus Optical Co Ltd | Objective optical system for endoscope |
| JP2584533Y2 (ja) | 1990-08-24 | 1998-11-05 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡対物レンズ |
| JP3585297B2 (ja) * | 1995-09-12 | 2004-11-04 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
| US5995295A (en) * | 1995-12-13 | 1999-11-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Lens system |
| JP4245800B2 (ja) * | 1997-08-01 | 2009-04-02 | オリンパス株式会社 | 内視鏡対物レンズ |
-
2002
- 2002-11-01 JP JP2002319457A patent/JP3926725B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-10-17 US US10/688,382 patent/US7035016B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100916502B1 (ko) * | 2007-08-10 | 2009-09-08 | 삼성전기주식회사 | 초소형 촬상 광학계 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20040085626A1 (en) | 2004-05-06 |
| JP2004151624A (ja) | 2004-05-27 |
| US7035016B2 (en) | 2006-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7042649B2 (en) | Microfabricated rubber microscope using soft solid immersion lenses | |
| JP3926725B2 (ja) | 顕微鏡液浸対物レンズ用先端光学素子及びその製造方法 | |
| US8184373B2 (en) | Optical element and method for producing the same | |
| US5574598A (en) | Varifocal lens | |
| JP2007531060A5 (ja) | ||
| JPH02137802A (ja) | 一体化した光学素子およびその製造方法 | |
| KR20070076525A (ko) | 개구부를 가진 확산 반사층의 형성 방법 및 확산 반사층을구비한 부분 투과형 액정 표시 장치 | |
| US20240125979A1 (en) | Optical element | |
| US8325420B2 (en) | Annular solid immersion lenses and methods of making them | |
| JP3771678B2 (ja) | Ｎｄフィルター | |
| JP3250190B2 (ja) | 輪帯状ｎｄフィルター | |
| JP2584533Y2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
| TW200301829A (en) | Structured optical element and production thereof | |
| McIntyre et al. | Chromatic aberration of a dipteran corneal lens | |
| JP2000299806A (ja) | 撮像装置 | |
| JP5305799B2 (ja) | レンズ鏡筒及びそれを有する光学機器 | |
| CN216900997U (zh) | 相位补偿透镜 | |
| EP1195635A1 (en) | Image optical system | |
| JPH1176146A (ja) | 光学装置 | |
| CN210775896U (zh) | 光学镜片 | |
| JP7491172B2 (ja) | 金属遮光板 | |
| JP3086137B2 (ja) | マイクロレンズ基板の製造方法および製造装置 | |
| JP3131828B2 (ja) | 凹面を有する輪帯状ｎｄフィルター | |
| JPH06250017A (ja) | 光ファイバ用多層膜フィルタ装置 | |
| KR20060016815A (ko) | 회절성 광학계만을 사용하는 화상 형성 방법 및 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041217 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061108 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061121 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070109 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070206 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070228 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3926725 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140309 Year of fee payment: 7 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |