JP3925995B2

JP3925995B2 - Viscous liquid supply method

Info

Publication number: JP3925995B2
Application number: JP24517397A
Authority: JP
Inventors: 俊二大井
Original assignee: Asahi Kasei EMD Corp
Current assignee: Asahi Kasei EMD Corp
Priority date: 1997-09-10
Filing date: 1997-09-10
Publication date: 2007-06-06
Anticipated expiration: 2017-09-10
Also published as: JPH1179102A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体デバイスの製造時に使用されるフォトレジストの粘性液体を供給する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の粘性液体を容器に供給充填するための充填ノズルとしては、特開平4-18204号公報に開示されたようにピストン及びノズル内に配置されたシャット軸を軸方向に移動させることによりピストン方式で一定量の粘性液体を押し出し、且つ、瞬時にこれを止めることが出来るシャットノズルが提案されている。
【０００３】
また、特開昭61-13076号公報に開示されたように、ノズル胴体内で上下に作動する弁子を電磁コイルで作動させることにより、内部液体の漏洩をなくすると共に摩耗部分を低減する技術が提案されている。
【０００４】
また、特開平6-244092号公報に開示されたように、細管状のノズルの内面に液体に濡れる内面コーティングを施し、該ノズルの外面に液体に濡れない外面コーティングを施して液垂れを防止した技術が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の各従来例において、特開平4-18204号公報及び特開昭61-13076号公報に開示された技術では、摺動部分がノズル内にあるため、摺動による摩耗によりサブミクロン（１０^-7）オーダのパーティクル（ゴミや不純物等）が発生して製品となる粘性液体中に混入し、粘性液体の品質を低下させるという問題がある。
【０００６】
また、フォトレジストの粘性液体に適用する場合には、該粘性液体が光や温度によってゲル化して硬化するため、比較的頻繁にノズルを分解して清掃する必要があるが、両者とも構造が複雑であるため、分解清掃作業に手間がかかるという問題がある。
【０００７】
また、特開平6-244092号公報に開示された技術では、ノズルの内面及び外面に各種のコーティング材をコーティングする必要があるので製造コストがかかると共に、細管状のノズルにより構成されるため粘性液体の流量が低下し、供給に時間がかかるという問題がある。
【０００８】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、粘性液体を吐出して供給するノズルを扁平ノズルにより構成することで、粘性液体の液切れを良くして液垂れを防止すると共に供給流量を大きくすることが出来、更に粘性液体中にパーティクル（ゴミや不純物等）が混入することがなく、粘性液体の品質を維持出来、更に分解清掃作業が容易に出来る粘性液体供給方法を提供せんとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係る粘性液体供給方法の第１の構成は、フォトレジストからなる粘性液体が収容された圧送タンクと、前記圧送タンクから圧縮空気により圧送される前記粘性液体を濾過する精密フィルタと、前記精密フィルタにより濾過された前記粘性液体の供給或いは停止を行うダイヤフラム弁と、前記ダイヤフラム弁の下流側に着脱手段により着脱可能に構成された扁平口型からなる扁平ノズルと、を有する粘性液体供給装置の前記扁平ノズルから前記フォトレジストからなる粘性液体を吐出して供給する粘性液体供給方法であって、前記扁平ノズルの内外面は、バフ掛けにより機械研磨加工した後、更に内面が電解研磨加工され、前記扁平ノズルの扁平口型は、長径と短径を有する長円形または楕円形または長多角形で構成され、前記扁平ノズルの扁平口型の長径が２．０〜１００．０ mm の範囲で、且つ、短径が１．０〜５．０ mm の範囲で設定された扁平ノズルにより前記フォトレジストからなる粘性液体を下向きに吐出して直接製品容器に供給充填することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る粘性液体供給方法の第２の構成は、フォトレジストからなる粘性液体が収容された圧送タンクと、前記圧送タンクから圧縮空気により圧送される前記粘性液体を濾過する精密フィルタと、前記精密フィルタにより濾過された前記粘性液体の供給或いは停止を行うダイヤフラム弁と、前記ダイヤフラム弁の下流側に着脱手段により着脱可能に構成された扁平口型からなる扁平ノズルと、を有する粘性液体供給装置の前記扁平ノズルから前記フォトレジストからなる粘性液体を吐出して供給する粘性液体供給方法であって、前記扁平ノズルの内外面は、バフ掛けにより機械研磨加工した後、更に内面が電解研磨加工され、前記扁平ノズルの扁平口型は、湾曲した長円形または折曲した長円形または折曲した長多角形で構成され、前記長円形または長多角形の長径の全長が２．０〜１００．０ mm の範囲で、且つ、前記長円形または長多角形の短径が１．０〜５．０ mm の範囲で設定された扁平ノズルにより前記フォトレジストからなる粘性液体を下向きに吐出して直接製品容器に供給充填することを特徴とする。
【００１１】
上記方法によれば、扁平口型からなる扁平ノズルにより粘性液体を下向きに吐出して直接製品容器に供給充填することで、該扁平ノズルの扁平口から吐出される粘性液体が該扁平口型形状に沿って扁平した流動体として扁平口から吐出され、該扁平口での粘性液体の表面張力と摩擦による粘性抵抗により扁平口での粘性液体の液切れが良く液垂れを防止すると共に供給流量を大きくすることが出来る。
【００１２】
また、前記扁平ノズルを着脱手段により着脱可能に構成した場合には、ノズル自体の構成が簡単であると共に着脱手段により容易に着脱できるので粘性液体として、例えば、光や温度によってゲル化して硬化するフォトレジスト等に適用する場合でも、必要に応じてノズルを容易に脱離して簡単に短時間で清掃作業を実施することが出来る。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る粘性液体供給方法の一実施形態を具体的に説明する。図１（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第１実施形態の構成を示す平面説明図、図１（ｂ）は第１実施形態のノズルを扁平口側から見た図、図１（ｃ）は第１実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図、図２（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第２実施形態の構成を示す平面説明図、図２（ｂ）は第２実施形態のノズルを扁平口側から見た図、図２（ｃ）は第２実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図、図３（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第３実施形態の構成を示す平面説明図、図３（ｂ）は第３実施形態のノズルを扁平口側から見た図、図３（ｃ）は第３実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図、図４（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第４実施形態の構成を示す平面説明図、図４（ｂ）は第４実施形態のノズルを扁平口側から見た図、図４（ｃ）は第４実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図、図５（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第５実施形態の構成を示す平面説明図、図５（ｂ）は第５実施形態のノズルを扁平口側から見た図、図５（ｃ）は第５実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図、図６（ａ）は着脱手段の構成を示す斜視図、図６（ｂ）は着脱手段によりノズルを装着した様子を示す断面図、図６（ｃ）は着脱手段によりノズルを装着した様子を示す平面図、図７（ａ）は着脱手段の他の構成を示す斜視図、図７（ｂ）は着脱手段の他の構成を示す断面説明図、図８は粘性液体供給装置の一例を示す模式図である。尚、以下に示す粘性液体供給ノズルの寸法構成は、該粘性液体供給ノズルの具体的構成の一例を示すものであり、本発明がこれ等の数値に限定されるものではない。
【００１４】
図１〜図５において、粘性液体供給装置の扁平ノズルＡ〜Ｅは、詳しくは後述する所定形状の扁平口型を有して、その内面がなだらかな曲面により夫々構成され、粘性液体が停滞することなく円滑に供給し得るものであり、各扁平ノズルＡ〜Ｅでは、粘度が０．１〜２００Ｐｓ（ポアズ）の粘性液体を最大供給速度が２０kg/min程度で供給することが出来るように構成されている。扁平ノズルＡ〜Ｅから吐出して供給される粘性液体としては、半導体デバイスの製造時に使用されるフォトレジストの供給に好適に用いることが出来る。
【００１５】
各扁平ノズルＡ〜Ｅは、そのノズル本体１がステンレス（ＳＵＳ）等の材質で例えば、外径が１７．３mm、肉圧が１．６mm程度の寸法を有するパイプで構成され、該パイプの内外面はバフ掛け等により研磨加工した後、更に内面を電解研磨加工して該パイプの内面の表面は極めて滑らかに構成されている。
【００１６】
前記ノズル本体１の一端部には該ノズル本体１の外径よりも所定の寸法だけ大きい外径（例えば、３４mm程度)を有する鍔部１ａが形成されており、ノズル本体１の鍔部１ａから該ノズル本体１の他端部のノズル口１ｂに至る長さ寸法は、例えば、８１mm程度で構成される。そして、ノズル本体１のノズル口１ｂ側から、例えば、３６mm程度の位置から該ノズル口１ｂにかけて扁平加工して所定形状の扁平口型を有して構成される。
【００１７】
尚、前記鍔部１ａはノズル本体１の端部に鍔部１ａを有するヘルール配管を溶接等により接続して構成しても良いし、ノズル本体１の端部をプレス加工等により押し広げて構成しても良い。
【００１８】
図１に示す第１実施形態の扁平ノズルＡは、そのノズル口１ｂの扁平口型が図１（ｂ），（ｃ）に示すように、長径ａと短径ｂを有する長円形で構成され、その長径ａは２．０〜１００．０mmの範囲で、且つ、短径ｂは１．０〜５．０mmの範囲で設定される。本実施形態では、例えば、長径ａが２０．５mm、短径ｂが３．０mmで設定される。
【００１９】
また、図２に示す第２実施形態の扁平ノズルＢは、そのノズル口１ｂの扁平口型が図２（ｂ），（ｃ）に示すように、長径ａと短径ｂを有する楕円形で構成され、その長径ａは前記第１実施形態と同様に２．０〜１００．０mmの範囲で、且つ、短径ｂは１．０〜５．０mmの範囲で設定される。本実施形態では、例えば、長径ａが２０．５mm、短径ｂが３．０mmで設定される。
【００２０】
また、図３に示す第３実施形態の扁平ノズルＣは、そのノズル口１ｂの扁平口型が図３（ｂ），（ｃ）に示すように、長径ａと短径ｂを有する長多角形で構成され、本実施形態ではその一例として長６角形で構成したものである。尚、長６角形に限定されるものではなく他の多角形で構成することでも良い。そして、その長径ａは前記各実施形態と同様に２．０〜１００．０mmの範囲で、且つ、短径ｂは１．０〜５．０mmの範囲で設定される。本実施形態では、例えば、長径ａが２０．５mm、短径ｂが３．０mmで設定される。
【００２１】
また、図４に示す第４実施形態の扁平ノズルＤは、そのノズル口１ｂの扁平口型が図４（ｂ），（ｃ）に示すように、所定の曲率半径を有する円弧状の湾曲した長円形で構成され、該長円形の長径ａの全長は前記各実施形態と同様に２．０〜１００．０mmの範囲で、且つ、該長円形の短径ｂは１．０〜５．０mmの範囲で設定される。本実施形態では、例えば、長径ａの全長が２０．５mm、短径ｂが３．０mmで設定される。
【００２２】
尚、図４に示す第４実施形態の扁平ノズルＤは、そのノズル口１ｂの扁平口型が所定の曲率半径を有する円弧状の湾曲した長円形で構成した場合の一例を示したが、扁平ノズルＤのノズル口１ｂの扁平口型が湾曲した長円形の他の構成として、Ｓ字形状や波形形状等の種々の形状に湾曲した場合であっても良い。
【００２３】
また、図５に示す第５実施形態の扁平ノズルＥは、そのノズル口１ｂの扁平口型が図５（ｂ），（ｃ）に示すように、ハット型に折曲した長円形で構成され、該長円形の長径ａの全長（図５（ｃ）において、長径ａ＝ｃ＋２ｄ）は前記各実施形態と同様に２．０〜１００．０mmの範囲で、且つ、該長円形の短径ｂは１．０〜５．０mmの範囲で設定される。本実施形態では、例えば、長径ａの全長が２０．５mm、短径ｂが３．０mmで設定される。
【００２４】
尚、図５に示す第５実施形態の扁平ノズルＥは、そのノズル口１ｂの扁平口型がハット型に折曲した長円形で構成した場合の一例を示したが、扁平ノズルＥのノズル口１ｂの扁平口型が折曲した長円形の他の構成として、Ｕ字形状、Ｖ字形状、Ｗ字形状、Ｚ字形状等の種々の形状に折曲した場合であっても良い。
【００２５】
上記構成によれば、各扁平ノズルＡ〜Ｅの扁平口型で構成されたノズル口１ｂから吐出する粘性液体は該扁平口型形状に沿って扁平した流動体としてノズル口１ｂから吐出するため、短径ｂの絞りにより該ノズル口１ｂでの粘性液体の表面張力と摩擦による粘性抵抗により粘性液体の液切れが良く液垂れを防止することが出来ると共に、長径ａの長さを大きく設定することにより供給流量を大きくすることが出来る。
【００２６】
短径ｂの絞り及び長径ａの長さは、各扁平ノズルＡ〜Ｅのノズル口１ｂを扁平加工する際に適宜設定して成形される。
【００２７】
前記各実施形態において、供給する粘性液体の粘度が５０〜２００Ｐｓ（ポアズ）の高粘度である場合には、圧損を考慮して各扁平ノズルＡ〜Ｅの短径ｂを３．０〜５．０mmに設定して絞りを緩めに構成すれば各扁平ノズルＡ〜Ｅから吐出して供給される粘性液体の供給流量を大きくすることが出来るので好ましい。
【００２８】
また、該扁平ノズルＡ〜Ｅの長径ａを２０〜２５mmに設定して長さを大きく構成すれば各扁平ノズルＡ〜Ｅから吐出して供給される粘性液体が高粘度でも該粘性液体の流量が１kg/min以上の高流量の供給が可能となり、効率的な供給が可能である。
【００２９】
前記各扁平ノズルＡ〜Ｅは、図６に示す着脱手段となるクランプ部材２により着脱可能に構成される。クランプ部材２は、図６（ａ）に示すように、各扁平ノズルＡ〜Ｅの鍔部１ａの外径に対応する内径を有する溝部２ａが形成され、ヒンジ２ｂにより開閉自在に連結された一対の連結リング２ｃ，２ｄを有して構成される。
【００３０】
そして、各扁平ノズルＡ〜Ｅに対して粘性液体を供給するパイプ３の端部には、図６（ｂ）に示すように、ノズル本体１の鍔部１ａと略同形状の鍔部３ａが形成されており、鍔部１ａの当接面1a1と鍔部３ａの当接面3a1を当接させて該鍔部１ａ，３ａをクランプ部材２の溝部２ａに嵌入し、一方の連結リング２ｃの端部に設けられたボルト２ｅを他方の連結リング２ｄの端部に設けられたネジ孔２ｆに挿入して螺合締着することで溝部２ａに形成されたテーパ面2a1に沿って鍔部１ａ，３ａに形成されたテーパ面1a2，3a2が摺動して鍔部１ａの当接面1a1と鍔部３ａの当接面3a1とが液密に接合されて扁平ノズルＡ〜Ｅとパイプ３とが連結される。
【００３１】
上記構成のように、各扁平ノズルＡ〜Ｅを着脱手段となるクランプ部材２により着脱可能に構成した場合には、該扁平ノズルＡ〜Ｅのノズル自体の構成が簡単であると共にクランプ部材２のボルト２ｅを締着或いは取り外すことで各扁平ノズルＡ〜Ｅを容易に着脱できるので粘性液体として、例えば、光や温度によってゲル化して硬化するフォトレジスト等に適用する場合でも、必要に応じて各扁平ノズルＡ〜Ｅを容易に脱離して溶媒等の洗浄液に浸しておけば簡単に且つ短時間で扁平ノズルＡ〜Ｅの清掃作業を実施することが出来る。
【００３２】
尚、前記各実施形態では、各扁平ノズルＡ〜Ｅに鍔部１ａを形成し、着脱手段としてクランプ部材２を用いて各扁平ノズルＡ〜Ｅを着脱可能に構成したが、各扁平ノズルＡ〜Ｅの着脱手段は、これに限定される必要はなく、他の種々の着脱手段により構成することが出来、例えば、各扁平ノズルＡ〜Ｅのノズル本体１の径が大きい場合には、図７（ａ），（ｂ）に示すように、各扁平ノズルＡ〜Ｅの鍔部１ａ及びパイプ３の鍔部３ａを４方に径方向に切り込み1a3，3a3を形成したフランジで構成し、鍔部１ａ，３ａの当接面1a1，3a1の間にパッキン10を介在させてボルト11を前記切り込み1a3，3a3に嵌入してワッシャ12を鍔部３ａ側からボルト11に挿入し、該ボルト11にナット13を螺合締着して扁平ノズルＡ〜Ｅとパイプ３とを液密に連結することでも良い。
【００３３】
また、上記構成では、各扁平ノズルＡ〜Ｅ内に前述した従来例のような摺動部分がないため、該従来例のように摺動による摩耗によりサブミクロン（１０^-7）オーダのパーティクル（ゴミや不純物等）が発生して製品となる粘性液体中に混入し、粘性液体の品質を低下させることがなく、粘性液体の品質を維持出来る。
【００３４】
また、前述した従来例のようにノズルの内面及び外面に各種のコーティング材をコーティングする必要もないので製造コストが低減出来ると共に、粘性液体の供給流量を大きく出来るので各扁平ノズルＡ〜Ｅから供給する粘性液体の供給時間を短縮出来る。
【００３５】
図８は上記各扁平ノズルＡ〜Ｅを装備した粘性液体供給装置の一例を示す。図８において、４は、例えば、３５Ｐｓ（ポアズ）の粘度を有する粘性液体が収容された圧送タンクであり、パイプ５から送られた圧縮空気により該圧送タンク４内に収容された粘性液体が加圧されてパイプ６を通って圧送され、カートリッジ型の精密フィルタ７を介して濾過されてパーティクル（ゴミや不純物等）が除去される。
【００３６】
８は合成ゴムやテフロン等の弾性材料を弁体とするダイヤフラム弁であり、該ダイヤフラム弁８を作動させて粘性液体の供給或いは停止を行うものである。該ダイヤフラム弁８と精密フィルタ７との間は前述した着脱手段となるクランプ部材２により着脱可能に接続されており、必要に応じてクランプ部材２を外してダイヤフラム弁８を脱離し、該ダイヤフラム弁８を溶媒等の洗浄液に浸して清掃するとが出来るようになっている。
【００３７】
また、ダイヤフラム弁８の下流側には前述したように、着脱手段となるクランプ部材２により着脱可能に構成された前記各扁平ノズルＡ〜Ｅが設けられており、該各扁平ノズルＡ〜Ｅのノズル口１ｂから吐出して供給された粘性液体は、数百ccから数リットルの容量のクリーンボトル９に定量収容される。
【００３８】
ダイヤフラム弁８を作動して粘性液体の供給を停止した時、上述したように、前記各扁平ノズルＡ〜Ｅの作用によって粘性液体の液切れが良く液垂れを防止することが出来、クリーンボトル９に正確に定量の粘性液体を供給充填することが出来る。これにより、粘性液体が高価なフォトレジストの場合には、余剰充填や液垂れによる損失が防止できるので経済的である。
【００３９】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、粘性液体を吐出して供給するノズルを扁平ノズルにより構成することで、粘性液体の液切れを良くして液垂れを防止すると共に、供給流量を大きくすることが出来、更に粘性液体中にパーティクル（ゴミや不純物等）が混入することがなく、粘性液体の品質を維持出来、更に分解清掃作業が容易に出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第１実施形態の構成を示す平面説明図、（ｂ）は第１実施形態のノズルを扁平口側から見た図、（ｃ）は第１実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図である。
【図２】（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第２実施形態の構成を示す平面説明図、（ｂ）は第２実施形態のノズルを扁平口側から見た図、（ｃ）は第２実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図である。
【図３】（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第３実施形態の構成を示す平面説明図、（ｂ）は第３実施形態のノズルを扁平口側から見た図、（ｃ）は第３実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図である。
【図４】（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第４実施形態の構成を示す平面説明図、（ｂ）は第４実施形態のノズルを扁平口側から見た図、（ｃ）は第４実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図である。
【図５】（ａ）は粘性液体供給装置のノズルの第５実施形態の構成を示す平面説明図、（ｂ）は第５実施形態のノズルを扁平口側から見た図、（ｃ）は第５実施形態のノズルの扁平口型の形状を示す図である。
【図６】（ａ）は着脱手段の構成を示す斜視図、（ｂ）は着脱手段によりノズルを装着した様子を示す断面図、（ｃ）は着脱手段によりノズルを装着した様子を示す平面図である。
【図７】（ａ）は着脱手段の他の構成を示す斜視図、（ｂ）は着脱手段の他の構成を示す断面説明図である。
【図８】粘性液体供給装置の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
Ａ〜Ｅ…扁平ノズル
１…ノズル本体
１ａ…鍔部
1a1…当接面
1a2…テーパ面
1a3…切り込み
１ｂ…ノズル口
２…クランプ部材
２ａ…溝部
2a1…テーパ面
２ｂ…ヒンジ
２ｃ，２ｄ…連結リング
２ｅ…ボルト
２ｆ…ネジ孔
３…パイプ
３ａ…鍔部
3a1…当接面
3a2…テーパ面
3a3…切り込み
４…圧送タンク
５，６…パイプ
７…精密フィルタ
８…ダイヤフラム弁
９…クリーンボトル
10…パッキン
11…ボルト
12…ワッシャ
13…ナット
ａ…長径
ｂ…短径[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is, for example, relates to how to provide a photo registry viscous liquid used in the manufacture of semiconductor devices.
[0002]
[Prior art]
As a conventional filling nozzle for supplying and filling a viscous liquid into a container, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-18204, a piston system is used by moving a piston and a shut shaft disposed in the nozzle in the axial direction. A shut nozzle has been proposed which can push out a certain amount of viscous liquid and stop it instantly.
[0003]
In addition, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-13076, a valve element that moves up and down in the nozzle body is actuated by an electromagnetic coil, thereby eliminating leakage of internal liquid and reducing a worn portion. Has been proposed.
[0004]
Further, as disclosed in JP-A-62-244092, an inner surface coating that wets the liquid is applied to the inner surface of the thin tubular nozzle, and an outer surface coating that does not wet the liquid is applied to the outer surface of the nozzle to prevent dripping. Technology has been proposed.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in each of the conventional examples described above, in the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-18204 and Japanese Patent Laid-Open No. 61-13076, since the sliding portion is in the nozzle, submicron ( 10 ⁻⁷ ) There is a problem in that order particles (dust, impurities, etc.) are generated and mixed in a viscous liquid as a product to deteriorate the quality of the viscous liquid.
[0006]
Also, when applied to viscous liquid photo registry, because the viscous liquid is cured into a gel by light and temperature, it is necessary to clean by decomposing the nozzle relatively frequent, both structures Since it is complicated, there is a problem that it takes time and effort to disassemble and clean.
[0007]
Further, in the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-244092, it is necessary to coat various coating materials on the inner surface and outer surface of the nozzle. There is a problem that the flow rate of the liquid drops and it takes time to supply.
[0008]
The present invention solves the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to configure the nozzle that discharges and supplies the viscous liquid by a flat nozzle, thereby improving the liquid leakage of the viscous liquid and preventing dripping. In addition, the supply flow rate can be increased, particles (dust and impurities) are not mixed in the viscous liquid, the quality of the viscous liquid can be maintained, and the disassembly and cleaning work can be easily performed. It is intended to provide a law .
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a first configuration of a viscous liquid supply method according to the present invention includes: a pressure-feed tank that contains a viscous liquid made of a photoresist; and the viscous liquid that is pumped by compressed air from the pressure-feed tank. A precision filter for filtering, a diaphragm valve for supplying or stopping the viscous liquid filtered by the precision filter, and a flat nozzle made of a flat mouth type configured to be detachable by attaching / detaching means on the downstream side of the diaphragm valve; A viscous liquid supply method for discharging and supplying the viscous liquid made of the photoresist from the flat nozzle of the viscous liquid supply apparatus, wherein the inner and outer surfaces of the flat nozzle are mechanically polished by buffing, Further, the inner surface is electropolished, and the flat nozzle type of the flat nozzle is an ellipse, ellipse, or long polygon having a major axis and a minor axis. In the configuration, the range of the major axis is from 2.0 to 100.0 mm flat port type flat nozzle, and the photo by flat nozzles minor axis is set in a range of 1.0 to 5.0 mm A viscous liquid made of a resist is discharged downward to supply and fill the product container directly .
[0010]
In addition, a second configuration of the viscous liquid supply method according to the present invention includes a pressure feeding tank that contains a viscous liquid made of a photoresist, and a precision filter that filters the viscous liquid fed by compressed air from the pressure feeding tank. A viscous valve having a diaphragm valve configured to supply or stop the viscous liquid filtered by the precision filter, and a flat nozzle configured to be detachable by a detachable means on the downstream side of the diaphragm valve. A viscous liquid supply method for supplying a viscous liquid made of photoresist by discharging from the flat nozzle of a supply device, wherein the inner and outer surfaces of the flat nozzle are mechanically polished by buffing, and the inner surface is further electropolished. The flat nozzle type of the flat nozzle is formed of a curved oval or a bent oval or a bent oval polygon. In the range of the long round or major axis of the length of the long polygons 2.0-100.0 mm, and the short diameter of the oval or long polygon it is set in the range of 1.0 to 5.0 mm The viscous liquid made of the photoresist is discharged downward by a flat nozzle and supplied and filled directly into the product container .
[0011]
According to the above method, the viscous liquid discharged from the flat mouth of the flat nozzle is formed into the flat mouth shape by discharging the viscous liquid downward by the flat nozzle having a flat mouth shape and supplying and filling the product container directly. As a fluid that is flattened along the surface, the fluid is discharged from the flat mouth, and the viscous liquid due to the surface tension of the viscous liquid at the flat mouth and the frictional resistance due to friction prevents the liquid from dripping and prevents the liquid from flowing. It can be enlarged.
[0012]
Further, when the flat nozzle is configured to be detachable by the attaching / detaching means, the configuration of the nozzle itself is simple and can be easily attached / detached by the attaching / detaching means, so that it is gelled and cured by, for example, light or temperature as a viscous liquid. Even when applied to a photoresist or the like, the nozzle can be easily detached as required, and the cleaning operation can be easily performed in a short time.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Specifically described an embodiment of a viscous liquid feed how according to the present invention with reference to FIG. 1 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a first embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply apparatus, FIG. 1 (b) view of the Bruno nozzle of the first embodiment of flattened port side, FIG. 1 (c) shows the Roh nozzle flat mouth-like shape of the first embodiment FIG, 2 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a second embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply apparatus, FIG. 2 ( b) the view of the Bruno nozzle of the second embodiment from the flat port side, shows the shape of a flat port type Roh nozzle of the second embodiment FIG. 2 (c), FIG. 3 (a) viscous plan view illustrating the configuration of a third embodiment of a nozzle of a liquid supply apparatus, FIG. 3 (b) view of the Bruno nozzle of a third embodiment of flattened outlet side, FIG. 3 (c) third embodiment shows the Roh nozzle flat mouth-like shape, FIG. 4 (a) is a plan explanatory view showing the configuration of a fourth embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply apparatus, FIG. 4 (b) of the fourth embodiment the Roh nozzle View from Hiraguchi side, the configuration of the fifth embodiment of the nozzle of FIG. 4 (c) shows the shape of a flat port type Roh nozzle of the fourth embodiment, FIG. 5 (a) viscous liquid supply device plan view illustrating a diagram illustrating FIG. 5 (b) view of the Bruno nozzle of the fifth embodiment from the flat port side, FIG. 5 (c) the shape of the flat port type Roh nozzle of the fifth embodiment 6 (a) is a perspective view showing the configuration of the attaching / detaching means, FIG. 6 (b) is a cross-sectional view showing a state where the nozzle is attached by the attaching / detaching means, and FIG. 6 (c) is a state where the nozzle is attached by the attaching / detaching means. plan view illustrating, FIGS. 7 (a) is a perspective view showing another configuration of the connecting unit, FIG. 7 (b) is a cross-sectional illustration of another configuration of the connecting unit, an example of FIG. 8 is viscous liquid supply device It is a schematic diagram shown. In addition, the dimension structure of the viscous liquid supply nozzle shown below shows an example of the specific structure of this viscous liquid supply nozzle, and this invention is not limited to these numerical values.
[0014]
In FIGS. 1-5, a flat nozzle A~E tacky liquid supply apparatus, and more particularly with a flat port type having a predetermined shape described later, the inner surface are respectively constituted by gentle curved surfaces, stagnation viscous liquid The flat nozzles A to E can supply a viscous liquid having a viscosity of 0.1 to 200 Ps (poise) at a maximum supply speed of about 20 kg / min. It is configured. Flat The viscous liquid supplied by discharging from nozzles A-E, can be suitably used for the supply of the photo registry used in the manufacture of semi-conductor devices.
[0015]
Each flat nozzle A to E is composed of a pipe body having a nozzle body 1 made of stainless steel (SUS) or the like, for example, having an outer diameter of about 17.3 mm and a wall pressure of about 1.6 mm. After the outer surface is polished by buffing or the like, the inner surface is further subjected to electrolytic polishing to make the inner surface of the pipe extremely smooth.
[0016]
One end of the nozzle body 1 is formed with a flange 1a having an outer diameter (for example, about 34 mm) larger than the outer diameter of the nozzle body 1 by a predetermined dimension. The length of the nozzle body 1 reaching the nozzle port 1b at the other end is, for example, about 81 mm. The nozzle body 1 is configured to have a flat mouth mold having a predetermined shape by flattening from the nozzle mouth 1b side of the nozzle body 1 to the nozzle mouth 1b, for example, from a position of about 36 mm.
[0017]
The flange portion 1a may be configured by connecting a ferrule pipe having the flange portion 1a to the end portion of the nozzle body 1 by welding or the like, or the end portion of the nozzle body 1 is expanded by pressing or the like. You may do it.
[0018]
Bian flat nozzles A of the first embodiment shown in FIG. 1, flat port type of the nozzle opening 1b is FIG. 1 (b), the as shown in (c), composed of oval with major axis a and minor axis b The major axis a is set in the range of 2.0 to 100.0 mm, and the minor axis b is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. In this embodiment, for example, the major axis a is set to 20.5 mm and the minor axis b is set to 3.0 mm.
[0019]
Furthermore, Bian flat nozzle B of the second embodiment shown in FIG. 2, flat port type of the nozzle opening 1b is FIG. 2 (b), the as shown in (c), ellipse having major axis a and minor axis b The major axis a is set in the range of 2.0 to 100.0 mm as in the first embodiment, and the minor axis b is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. In this embodiment, for example, the major axis a is set to 20.5 mm and the minor axis b is set to 3.0 mm.
[0020]
Furthermore, Bian flat nozzle C of the third embodiment shown in FIG. 3, flat port type of the nozzle opening 1b is FIG. 3 (b), the (c), the length polymorphism having a major axis a and minor axis b In the present embodiment, a long hexagon is used as an example. In addition, it is not limited to a long hexagon, and may be configured by other polygons. The major axis a is set in the range of 2.0 to 100.0 mm as in the above embodiments, and the minor axis b is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. In this embodiment, for example, the major axis a is set to 20.5 mm and the minor axis b is set to 3.0 mm.
[0021]
Furthermore, Bian flat nozzle D of the fourth embodiment shown in FIG. 4, flat port type of the nozzle opening 1b is FIG. 4 (b), the as shown in (c), the arc-shaped curvature having a predetermined radius of curvature The overall length of the major axis “a” of the ellipse is in the range of 2.0 to 100.0 mm, and the minor axis “b” of the ellipse is 1.0 to 5. It is set in the range of 0mm. In this embodiment, for example, the full length of the major axis a is set to 20.5 mm, and the minor axis b is set to 3.0 mm.
[0022]
Incidentally, Bian flat nozzle D of the fourth embodiment shown in FIG. 4, an example of a case where the flat port type of the nozzle opening 1b is constituted by arcuate curved oblong having a predetermined radius of curvature, As another configuration of an oval in which the flat mouth shape of the nozzle port 1b of the flat nozzle D is curved, it may be a case where the nozzle port 1b is curved into various shapes such as an S-shape and a wave shape.
[0023]
Furthermore, Bian flat nozzle E of the fifth embodiment shown in FIG. 5, flat port type of the nozzle opening 1b is FIG. 5 (b), the as shown in (c), composed of oval was bent hat The overall length of the major axis a of the ellipse (the major axis a = c + 2d in FIG. 5C) is in the range of 2.0 to 100.0 mm as in the above embodiments, and the minor axis of the ellipse is b is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. In this embodiment, for example, the full length of the major axis a is set to 20.5 mm, and the minor axis b is set to 3.0 mm.
[0024]
Incidentally, Bian flat nozzle E of the fifth embodiment shown in FIG. 5, an example of a case where the flat port type of the nozzle opening 1b is constituted by oblong and bent to a hat-type, flat nozzle E nozzle As another configuration of the oval in which the flat mouth mold of the mouth 1b is bent, it may be bent into various shapes such as a U shape, a V shape, a W shape, and a Z shape.
[0025]
According to the above configuration, the viscous liquid discharged from the nozzle port 1b configured by the flat mouth type of each of the flat nozzles A to E is discharged from the nozzle port 1b as a fluid flattened along the flat port shape, By narrowing down the short diameter b, the surface tension of the viscous liquid at the nozzle opening 1b and the viscous resistance due to friction can prevent the liquid from dripping and prevent dripping, and the length of the long diameter a is set to be large. The supply flow rate can be increased.
[0026]
The aperture of the short diameter b and the length of the long diameter a are appropriately set when the nozzle ports 1b of the flat nozzles A to E are flattened.
[0027]
In each of the above embodiments, when the viscosity of the viscous liquid to be supplied is a high viscosity of 50 to 200 Ps (poise), the short diameter b of each of the flat nozzles A to E is set to 3.0 to 5. It is preferable to set it to 0 mm so that the throttle is loosened, because the supply flow rate of the viscous liquid supplied from each flat nozzle A to E can be increased.
[0028]
Further, if the major axis a of the flat nozzles A to E is set to 20 to 25 mm and the length is made large, the flow rate of the viscous liquid is high even if the viscous liquid discharged and supplied from the flat nozzles A to E is high in viscosity. Can be supplied at a high flow rate of 1 kg / min or more, enabling efficient supply.
[0029]
Each of the flat nozzles A to E is configured to be attachable / detachable by a clamp member 2 serving as attaching / detaching means shown in FIG. As shown in FIG. 6A, the clamp member 2 is formed with a groove portion 2a having an inner diameter corresponding to the outer diameter of the flange portion 1a of each of the flat nozzles A to E, and is connected to the hinge member 2b so as to be opened and closed. Connecting rings 2c and 2d.
[0030]
And the edge part of the pipe 3 which supplies viscous liquid with respect to each flat nozzle AE has the collar part 3a substantially the same shape as the collar part 1a of the nozzle main body 1, as shown in FIG.6 (b). The abutting surface 1a1 of the collar part 1a and the abutting surface 3a1 of the collar part 3a are brought into contact with each other, and the collar parts 1a, 3a are fitted into the groove part 2a of the clamp member 2, so that one of the connecting rings 2c The bolt 2e provided at the end is inserted into the screw hole 2f provided at the end of the other connecting ring 2d and screwed and fastened, thereby tightening the flange 1a along the tapered surface 2a1 formed in the groove 2a. The taper surfaces 1a2 and 3a2 formed in 3a and 3a slide so that the contact surface 1a1 of the flange portion 1a and the contact surface 3a1 of the flange portion 3a are joined in a liquid-tight manner, and the flat nozzles A to E and the pipe 3 Are concatenated.
[0031]
When each of the flat nozzles A to E is configured to be attachable / detachable by the clamp member 2 as an attaching / detaching means as in the above configuration, the configuration of the nozzles of the flat nozzles A to E is simple and the clamp member 2 The flat nozzles A to E can be easily attached and detached by tightening or removing the bolt 2e. Therefore, even when applied to, for example, a photoresist that is gelled and cured by light or temperature, it is necessary to If the flat nozzles A to E are easily detached and immersed in a cleaning solution such as a solvent, the flat nozzles A to E can be cleaned easily and in a short time.
[0032]
In each of the above embodiments, the flange 1a is formed on each of the flat nozzles A to E, and each of the flat nozzles A to E is configured to be detachable using the clamp member 2 as an attaching / detaching means. The attaching / detaching means for E need not be limited to this, and can be constituted by other various attaching / detaching means. For example, when the diameter of the nozzle body 1 of each flat nozzle A to E is large, FIG. As shown in (a) and (b), the flange portion 1a of each flat nozzle A to E and the flange portion 3a of the pipe 3 are formed by flanges that are cut in four directions in the radial direction to form 1a3 and 3a3. The packing 11 is interposed between the contact surfaces 1a1 and 3a1 of 1a and 3a, the bolt 11 is inserted into the notches 1a3 and 3a3, and the washer 12 is inserted into the bolt 11 from the flange 3a side. 13 is screwed and fastened, and the flat nozzles A to E and the pipe 3 are connected in a liquid-tight manner. There.
[0033]
Further, in the above configuration, since there is no sliding portion as in the conventional example in each of the flat nozzles A to E, particles (on the order of 10 ⁻⁷ ) due to wear due to sliding as in the conventional example ( The quality of the viscous liquid can be maintained without deteriorating the quality of the viscous liquid.
[0034]
Further, unlike the above-described conventional example, it is not necessary to coat various coating materials on the inner and outer surfaces of the nozzle, so that the manufacturing cost can be reduced and the supply flow rate of the viscous liquid can be increased, so that the supply from each flat nozzle A to E is possible. The time for supplying viscous liquid can be shortened.
[0035]
FIG. 8 shows an example of a viscous liquid supply apparatus equipped with the flat nozzles A to E described above. In FIG. 8, reference numeral 4 denotes a pressure feeding tank in which a viscous liquid having a viscosity of, for example, 35 Ps (poise) is accommodated, and the viscous liquid accommodated in the pressure feeding tank 4 is added by the compressed air sent from the pipe 5. It is pressed and fed through the pipe 6 and filtered through a cartridge type precision filter 7 to remove particles (dust, impurities, etc.).
[0036]
Reference numeral 8 denotes a diaphragm valve having a valve body made of an elastic material such as synthetic rubber or Teflon. The diaphragm valve 8 is operated to supply or stop the viscous liquid. The diaphragm valve 8 and the precision filter 7 are detachably connected by the clamp member 2 serving as the above-described attachment / detachment means. The clamp member 2 is removed as necessary to detach the diaphragm valve 8, and the diaphragm valve 8 can be cleaned by immersing it in a cleaning solution such as a solvent.
[0037]
Further, as described above, the flat nozzles A to E configured to be attachable / detachable by the clamp member 2 serving as attaching / detaching means are provided on the downstream side of the diaphragm valve 8, and each of the flat nozzles A to E is provided. The viscous liquid discharged and supplied from the nozzle port 1b is quantitatively accommodated in a clean bottle 9 having a capacity of several hundred cc to several liters.
[0038]
When the supply of the viscous liquid is stopped by operating the diaphragm valve 8, as described above, the liquid of the viscous liquid can be well prevented by the action of each of the flat nozzles A to E, and the clean bottle 9 can be prevented. It is possible to accurately supply and fill a certain amount of viscous liquid. Thus, if the viscous liquid of expensive photo registry is economical because losses due to excess filling and dripping can be prevented.
[0039]
【The invention's effect】
Since the present invention has the above-described configuration and operation, the nozzle that discharges and supplies the viscous liquid is constituted by a flat nozzle, thereby improving the liquid drainage of the viscous liquid and preventing the dripping. The flow rate can be increased, particles (dust, impurities, etc.) are not mixed in the viscous liquid, the quality of the viscous liquid can be maintained, and the disassembly and cleaning work can be facilitated.
[Brief description of the drawings]
1 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a first embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply device, (b) is view of the Bruno nozzle of the first embodiment of flattened port side, (c ) is a view showing the shape of a flat port type Roh nozzle of the first embodiment.
2 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a second embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply device, (b) is view of the Bruno nozzle of the second embodiment from the flat port side, (c ) is a view showing the shape of a flat port type Roh nozzle of the second embodiment.
3 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a third embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply device, (b) is view of the Bruno nozzle of the third embodiment from the flat port side, (c ) is a view showing the shape of a flat port type Roh nozzle of the third embodiment.
4 (a) is a plan explanatory view showing the configuration of a fourth embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply device, (b) is view of the Bruno nozzle of the fourth embodiment from the flat port side, (c ) is a view showing the shape of a flat port type Roh nozzle of the fourth embodiment.
5 (a) is a plan explanatory view showing a configuration of a fifth embodiment of a nozzle of a viscous liquid supply device, (b) is view of the Bruno nozzle of the fifth embodiment from the flat port side, (c ) is a view showing the shape of a flat port type Roh nozzle of the fifth embodiment.
6A is a perspective view showing a configuration of an attaching / detaching means, FIG. 6B is a cross-sectional view showing a state where a nozzle is attached by the attaching / detaching means, and FIG. 6C is a plan view showing a state where the nozzle is attached by the attaching / detaching means. It is.
7A is a perspective view showing another configuration of the attaching / detaching means, and FIG. 7B is a cross-sectional explanatory view showing another configuration of the attaching / detaching means.
8 is a schematic diagram showing an example of a viscous liquid supply device.
[Explanation of symbols]
A to E ... flat nozzle 1 ... nozzle body 1a ... buttocks
1a1… Abutting surface
1a2 ... Taper surface
1a3 ... Incision 1b ... Nozzle port 2 ... Clamp member 2a ... Groove
2a1 ... taper surface 2b ... hinge 2c, 2d ... coupling ring 2e ... bolt 2f ... screw hole 3 ... pipe 3a ... collar
3a1… Abutting surface
3a2… Taper surface
3a3 ... Incision 4 ... Pressure tank 5,6 ... Pipe 7 ... Precision filter 8 ... Diaphragm valve 9 ... Clean bottle
10 ... Packing
11 ... Bolt
12 ... Washer
13 ... Nut a ... Long diameter b ... Short diameter

Claims

Performing a pumping tank viscous liquid of photoresist is accommodated, and precision filter for filtering the viscous liquid to be pumped by the compressed air from the pumping tank, the supply or stop of the viscous liquid being filtered by the fine filter viscosity and diaphragm valve, removably and flat nozzle consisting configured Bian Hiraguchi type, from the flat nozzle tacky liquid supply equipment that have a by detachable means on the downstream side of the diaphragm valve consists of a photoresist A viscous liquid supply method for discharging and supplying liquid ,
The inner and outer surfaces of the flat nozzle are mechanically polished by buffing, and then the inner surface is further electropolished ,
The flat mouth type of the flat nozzle is composed of an ellipse, an ellipse or a long polygon having a major axis and a minor axis ,
Viscosity made of the photoresist by a flat nozzle in which the long diameter of the flat nozzle of the flat nozzle is set in the range of 2.0 to 100.0 mm and the short diameter is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. A viscous liquid supply method comprising discharging a liquid downward and directly supplying and filling a product container .

Performing a pumping tank viscous liquid of photoresist is accommodated, and precision filter for filtering the viscous liquid to be pumped by the compressed air from the pumping tank, the supply or stop of the viscous liquid being filtered by the fine filter viscosity and diaphragm valve, removably and flat nozzle consisting configured Bian Hiraguchi type, from the flat nozzle tacky liquid supply equipment that have a by detachable means on the downstream side of the diaphragm valve consists of a photoresist A viscous liquid supply method for discharging and supplying liquid ,
The inner and outer surfaces of the flat nozzle are mechanically polished by buffing, and then the inner surface is further electropolished ,
The flat mouth type of the flat nozzle is composed of a curved oval or a bent oval or a bent oval polygon ,
The total length of the major axis of the oval or long polygon is set in the range of 2.0 to 100.0 mm , and the minor axis of the ellipse or long polygon is set in the range of 1.0 to 5.0 mm. A viscous liquid supply method comprising discharging a viscous liquid made of the photoresist downward by a flat nozzle and supplying and filling the product container directly .