JP3922458B2 - 積層電子部品用セラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
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Description
ずり応力=k・(ずり速度)n
に当てはめた場合、その流動指数nが0.4以上であるセラミック塗料を用いる。
(a)ピンホールの発生を抑制し、安定した静電容量、及び、安定した耐電圧特性確保できるようにした積層電子部品用グリーンシートの製造方法を提供することができる。
(b)フィルム支持体の削れを抑制し、その削れ粉による塗膜欠陥及びショート不良などの品質欠陥を低減し得る積層電子部品用グリーンシートの製造方法を提供することができる。
[Ba(l-x)・Cax・O]mTiO2+αMgO+βMnO
で表される誘電体セラミック材料を用いることができる。ただし、α、β、m、およびxは、それぞれ、
0.001≦α≦0.05
0.001≦β≦0.025
1.000<m≦1.035、及び
0.02≦x≦0.15
となるように選ぶ。超薄型、例えば、3.5μm以下のグリーンシートを製造しようとした場合は、上記誘電体セラミック化合物は、平均粒径が0.3μm〜0.8μm以下となるように分級する。
ずり応力=k・(ずり速度)n
に当てはめた場合、その流動指数nが0.4以上であるものを用いる。セラミック塗料のn値は、有機溶剤の混合量を変えることによって調製することができる。
121〜127 案内ローラ
151、152 サクションローラ
161、162 蛇行修正ローラ
17a セラミック塗料
19 フィルム支持体
Claims (1)
- 一方向に走行するフィルム支持体の一面側に、押出し型塗布ヘッドを用いて誘電体セラミック粉、有機バインダ、可塑剤及び有機溶剤を含有するセラミック塗料を塗布し、1.5μm〜3.0μmの範囲のシート厚みを得る積層電子部品用セラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記誘電体セラミック粉は、平均粒径が0.3〜0.8μmの範囲にあり、
前記セラミック塗料の流動をオストワルドの流動方程式
ずり応力=k・(ずり速度)n
に当てはめたとして、前記有機溶剤の混合量を変えることで前記セラミック塗料の流動指数nを0.4以上に調整し、
流動指数nが0.4以上に調整された前記セラミック塗料を、押出し型塗布ヘッドから吐出される前記セラミック塗料の吐出圧力△Pが0.5〜5.0Kg/cm 2 の範囲となるように塗布する、
積層電子部品用セラミックグリーンシートの製造方法。
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