JP3917397B2 - Surface treatment method and apparatus - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、内燃機関のピストンヘッド等の金属製品の軸方向中間部における限られた所定範囲の環状外周面に陽極酸化処理を行った後の処理面水洗作業や、無電解ニッケルメッキ等の表面処理方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、表面処理装置のうち、陽極酸化処理装置としては、例えば、特開平９−２１７２００号公報に記載されているようなものが知られている。
この従来例の陽極酸化処理装置は、図１９に示すように、電解液（処理流体）循環回路の一部を形成する有底円筒状のジャケット槽１０１の上端開口部に中央穴を有する環状蓋体１０２が装着され、この環状蓋体１０２の中央穴には下端開口縁部に内向き環状係止段部を備えた円筒状のマスクソケット１０３が装着され、環状係止段部には、マスクソケット１０３内に収容したピストンヘッド（被処理体）１０４の底面（ヘッド）外周部に当接して表面処理を施す部分を画成シールするＯリングパッキン１０５が設けられ、前記ジャケット槽１０１内に備えた電解槽１０６内には、前記ピストンヘッド１０４の表面処理部分に向けて電解液（処理流体）を吐出供給する噴射装置１０７が備えられ、また、前記電解槽１０６の上端部に電解液（処理流体）に接する陰極（電極）１０８が設けられる一方、ピストンヘッド１０４に接する陽極（電極）１０９が設けられた構造となっている。
即ち、この従来例の陽極酸化処理装置は、筒状もしくは柱状被処理体の端面に陽極酸化処理という表面処理を施す装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来例の陽極酸化処理装置は、上述のように、Ｏリングパッキン１０５が被処理体を構成するピストンヘッド１０４の底面（ヘッド）側に当接する構造であったため、筒状もしくは柱状の被処理体の外周面における軸方向中間部分の所定範囲のみを環状に表面処理することができないという問題がある。
即ち、例えば、端面の陽極酸化処理は不要で外周面の限られた範囲の環状外周面にのみ表面処理を施したい場合にあっては、陽極酸化処理を必要としない部分をテープ等でマスキングすることが考えられるが、そのためには、陽極酸化処理装置にセットする前に、まず、被処理体にテープ等でマスキング処理を施す工程が必要となるため、作業効率が極めて悪く、処理能力を悪化させることになる。
【０００４】
また、処理流体は、噴射装置１０７から上向きに噴射して被処理体の処理面に供給された後下向きに反転する構造で、処理流体が行き帰りでぶつかりあってスムーズな流通が得られない状態となるため、処理流体をスムーズに流通させるためには処理流体の流通流路として広いスペースを確保する必要があり、これにより、装置が大型化する。
【０００５】
以上は、電極による通電を条件とする陽極酸化処理方法および装置に関するものであるが、電極による通電を条件としない陽極酸化処理後における処理面水洗作業や、硝酸による無電解ニッケルメッキ等の表面処理作業においても、同様の問題がある。
【０００６】
本発明は、上述の従来の問題点に着目してなされたもので、作業効率を低下させることなしに柱状もしくは筒状の被処理体の外周面における軸方向中間部分の所定範囲のみを能率的に環状に表面処理することを可能として処理能力の向上を図ることができる表面処理方法および装置を提供することを目的とし、さらに、装置のコンパクト化を図ることを追加の目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明請求項１記載の表面処理方法は、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すと共に、処理流体により表面処理を施すための表面処理方法であって、前記ピストンを収容する収容容器体の収容穴内に前記ピストンを収容し、前記収容穴の内周面に有する一対のシール部材を前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接し、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体及び前記処理流体を保持流通する処理チャンバーを形成し、前記環状隙間を上下方向に仕切る通路板を配置して、該通路板の上下にそれぞれ前記反応流体及び前記処理流体を供給・排出する流路を形成し、前記反応流体及び前記処理流体を順次切り換えながら前記リング溝に供給し、該供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝から排出することで、陽極酸化処理及び表面処理を連続的に行うようにした手段とした。
請求項２記載の表面処理方法は、請求項１に記載の表面処理方法において、前記処理流体は水洗処理水であり、前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理であることを特徴とする。
請求項３に記載の表面処理方法は、請求項２に記載の表面処理方法において、前記陽極酸化処理の後に前記水洗処理を行うことを特徴とする。
請求項４に記載の表面処理方法は、請求項１に記載の表面処理方法において、前記ピストンは表面にスズメッキが成されたピストンであり、前記処理流体はスズメッキ除去液であり、前記表面処理は、前記スズメッキ除去液によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理であり、前記陽極酸化処理は、前記スズメッキ除去処理を施した後に行われる処理であることを特徴とする。
請求項５に記載の表面処理方法は、請求項４に記載の表面処理方法において、前記処理流体は水洗処理水とスズメッキ除去液であり、前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理と、前記スズメッキ除去処理とからなり、前記スズメッキ除去処理、前記水洗処理、前記陽極酸化処理、前記水洗処理の順に連続的に行うようにしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項６記載の表面処理方法は、請求項１〜５のいずれかに記載の表面処理方法において、前記反応流体及び処理流体を前記通路板の下方に形成された流路を経由して前記リング溝内に供給した後、前記通路板の上方に形成された流路を経由して排出させるようにした。
【００１３】
請求項７記載の表面処理装置は、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すと共に、処理流体により表面処理を施すための表面処理装置であって、前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体及び前記処理流体を保持流通する処理チャンバーと、前記環状隙間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝に供給し、前記供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体及び前記処理流体を供給・排出する流路を形成する通路板と、前記反応流体及び前記処理流体を順次切り換えることにより、前記陽極酸化処理及び前記処理流体による表面処理を連続的に実行可能な切換供給手段と、を備えた手段とした。
請求項８に記載の表面処理装置は、請求項７に記載の表面処理装置において、前記処理流体は水洗処理水であり、前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理であることを特徴とする。
請求項９に記載の表面処理装置は、請求項８に記載の表面処理装置において、前記切換供給手段は、前記反応流体を前記水洗処理水へ切り換える手段であることを特徴とする。
請求項１０に記載の表面処理装置は、請求項７に記載の表面処理装置において、前記ピストンは表面にスズメッキが成されたピストンであり、前記処理流体はスズメッキ除去液であり、前記表面処理は、前記スズメッキ除去液によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理であり、前記切換供給手段は、前記スズメッキ除去液を前記反応流体へ切り換える手段であることを特徴とする。
請求項１１に記載の表面処理装置は、請求項１０に記載の表面処理装置において、前記処理流体は水洗処理水とスズメッキ除去液であり、前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理と、前記スズメッキ除去処理とからなり、前記切換供給手段は、前記スズメッキ除去液を前記水洗処理水へ切り換え、該水洗処理水を前記反応流体へ切り換え、該反応流体を前記水洗処理水へ順次切り換える手段であることを特徴とする。
【００１４】
請求項１２記載の表面処理装置は、請求項７〜１１のいずれかに記載の表面処理装置において、前記通路板の上下に形成された流路が前記リング溝と略同一平面上に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項１３記載の表面処理装置は、請求項７〜１２のいずれかに記載の表面処理装置において、前記収容容器体に形成され、前記反応流体を前記処理チャンバー内に供給する供給通路と、前記処理チャンバー内に供給された前記反応流体を前記処理チャンバー外に排出する排出通路とを有し、前記排出通路側には該排出通路より高い位置を経由する排出路が形成されている手段とした。
【００１９】
請求項１４記載の表面処理装置は、請求項７〜１３のいずれかに記載の表面処理装置において、前記各シール部材がそれぞれ前記収容容器体に形成された断面Ｌ字状の肩部に配置され、前記各環状シール部材を前記各肩部に向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径を縮径させて前記ピストンの外周面にそれぞれ当接させる押圧手段を備えている手段とした。
【００２１】
請求項１５記載の表面処理装置は、請求項７〜１４のいずれかに記載の表面処理装置において、前記ピストンに導電可能な一方の電極と前記処理チャンバー内の反応流体及び処理流体に導電可能なもう一方の電極とを備えている手段とした。
【００２２】
【作用】
この発明請求項１記載の陽極酸化処理方法では、上述のように、収容容器体の収容穴内にピストンを収容した状態で収容穴内周面に備えた上下一対のシール部材をピストンの外周面における表面処理を施すべき環状処理部分であるリング溝の上下両開口縁部付近の外周面にそれぞれ当接させてシールするようにしたことにより、作業効率を低下させることなしにピストンの外周面における軸方向中間部分の少なくともリング溝内を含む上下両開口縁部のみを効率的に環状に表面処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになる。
【００２３】
また、上述のように、リング溝内に反応流体及び処理流体を供給・排出する通路板が環状隙間を上下方向に仕切るように配置されたことにより、反応流体及び処理流体の流れが極めてスムーズであると共に、反応流体及び処理流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることになるため、装置のコンパクト化が可能となる。さらに、ピストンにおける表面処理を施すべき環状処理部分であるリング溝に対してその全周から同時にかつ均一に反応流体が供給されるため、円周方向において均一に表面処理することができるようになる。
また、処理流体を順次切り換えることにより処理流体により連続的に異なった表面処理を行うようにしたことで、陽極酸化処理作業およびその後の処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができるようになる。
請求項２記載の表面処理方法は、水洗処理水によってピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で陽極酸化処理と水洗処理を行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項３に記載の表面処理方法では、陽極酸化処理の後に水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項４に記載の表面処理方法は、スズメッキ除去液によってピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理を施した後に、前記陽極酸化処理が行われることで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
請求項５に記載の表面処理方法は、スズメッキ除去処理、水洗処理、陽極酸化処理、水洗処理の順に連続的に行うようにしたことで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
【００２４】
請求項６記載の表面処理方法では、上述のように、反応流体及び処理流体を通路板における下方に形成された流路を経由してリング溝内に供給した後、通路板の上方に形成された流路を経由して排出させるようにしたことにより、反応流体及び処理流体に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができるようになる。
【００２８】
この発明請求項７記載の表面処理装置では、上述のように構成されるため、収容容器体の上方から被処理体を収容穴内に収容すると、収容容器体の底部に当接して支持される共に、収容穴の軸方向中間部内周面に設けられた上下一対のシール部材がピストンにおける表面処理を施すべき環状処理部分であるリング溝の上下両開口縁部付近の外周面に当接してシールした状態となり、これにより、該一対のシール部材相互間における前記ピストンの環状外周面と前記収容容器体における収容穴の内周面との間に反応流体及び処理流体を保持流通させる環状の処理チャンバーが形成された状態となる。従って、作業効率を低下させることなしに筒状もしくは柱状の被処理体の外周面における軸方向中間部分の所定範囲のみを効率的に環状に表面処理することが可能となり、これにより、処理効率を高めることができるようになる。
また、処理流体を順次切り換えることにより処理流体により連続的に異なった表面処理を行うようにしたことで、陽極酸化処理作業およびその後の処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができるようになる。
請求項８記載の表面処理装置は、水洗処理水によってピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で陽極酸化処理と水洗処理を行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項９に記載の表面処理装置では、陽極酸化処理の後に水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項１０に記載の表面処理装置は、スズメッキ除去液によってピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理を施した後に、前記陽極酸化処理が行われることで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
請求項１１に記載の表面処理装置は、スズメッキ除去処理、水洗処理、陽極酸化処理、水洗処理の順に連続的に行うようにしたことで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
【００２９】
また、処理流体が接する処理面積を最小限度に狭くでき、かつ、処理チャンバーの容量も最小限度に小さくなり、かつ処理流体の流れが水平方向のままであるため、処理チャンバー内における処理流体の流れもスムーズで流速が速くなり、これにより、処理効率を高めることができる。従って、コストを低減化させることができるようになる。
また、処理流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることができるため、装置のコンパクト化が可能となる。
【００３０】
請求項１２記載の表面処理装置では、上述のように、通路板の上下に形成された流路が前記リング溝と略同一平面上に形成されているため、リング溝内における反応流体の流れがスムーズで、その流速を速めることができ、これにより、処理効率を高めることができるようになる。
【００３３】
請求項１３記載の表面処理装置では、上述のように、排出通路側には該排出通路より高い位置を経由する排出路が形成されているため、処理流体に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による処理むらの発生を防止することができるようになる。
【００３５】
請求項１４記載の表面処理装置では、上述のように、上下一対の各シール部材がそれぞれ収容容器体に形成された断面Ｌ字状の肩部に配置され、各シール部材を各肩部に向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径を縮径させて被処理体の外周面にそれぞれ当接させる押圧手段を備えた構成とすることで、ピストンを収容穴内に収容した後、押圧手段を操作するだけで両環状シール部材によるシールを行うことができ、これにより、作業の効率化が図れるようになる。
【００３７】
請求項１５記載の表面処理装置では、上述のように、ピストンに導電可能な一方の電極と前記処理チャンバー内の反応流体に導電可能なもう一方の電極とを備えた構成としたことで、例えば、通電を条件とする硫酸による陽極酸化処理作業およびその後の水洗処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができるようになる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を説明する。
（発明の実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１の表面処理方法を図１〜３に示す表面処理装置に基づいて説明する。なお、この発明の実施の形態１では、被処理体を構成するピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に陽極酸化処理を施した後に、処理流体である水洗処理水によって処理面の水洗処理を行う場合について説明する。
図１は本発明の実施の形態１の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図であり、この図において、１は収容容器体、２は外筒、３は通路板、４、４は環状シール部材、４１、４１は押圧筒（押圧手段）、４２、４２は押圧環（押圧手段）、４３、４３は押圧軸（押圧手段）、Ｐはピストンヘッドを示す。
【００３９】
前記収容容器体１は、前記ピストンヘッドＰを上下逆さまの状態で上方から収容可能な収容穴を有する有底円筒状の容器を構成するもので、底部構成部材５と、下部周壁構成部材６ａと、上部周壁構成部材６ｂとで構成されている。
【００４０】
前記外筒２は、円筒状周壁部２１の下端開口縁部内周に環状底部２２が形成され、上端開口部には別部材の環状上蓋部材２３が装着されることにより、内周に前記下部周壁構成部材６ａおよび上部周壁構成部材６ｂ等を組み付けるための環状溝を有する断面コ字状に形成されている。
【００４１】
前記底部構成部材５は、収容容器体１における収容穴の底部を構成するもので、ピストンヘッドＰの外径と同一外径を有する略円柱状に形成されていて、その下端外周部を外筒２における環状底部２２の軸心穴内周部に装着係止させた状態で組み付けられている。
【００４２】
前記下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂはそれぞれ外装部材６１と内装部材６２の２部材で構成されている。
即ち、前記外装部材６１は、下部周壁構成部材６ａ側の組み付け状態で説明すると、円筒部６１ａの下端部に外向に突出するフランジ部６１ｂを備えると共に、円筒部６１ａの上端部内側には前記環状シール部材４を位置決め支持するための係止フランジ（肩部）６１ｃが内向き環状に突出形成された構造となっている。そして、この下部周壁構成部材６ａ側の外装部材６１は、外筒２における環状底部２２の上部に形成された環状係止段部２４に外向フランジ部６１ｂの外周部を係止させた状態で外筒２の環状溝内下部に組み付けられている。
【００４３】
前記外装部材６１と底部構成部材５との間に、前記下側の環状シール部材４を押圧する押圧筒４１が上下摺動自在な状態で組み込まれている。また、外筒２における環状底部２２と外装部材６１におけるフランジ部６１ｂとの間に前記２つ割り状の押圧環４２が径方向摺動可能な状態で組み込まれている。この押圧環４２はその上端内周縁部に形成された環状テーパ面４２ａを押圧筒４１の下端外周縁部に当接させると共に、外筒２の円筒状周壁部２１を貫通して摺動自在に組み込まれた複数の押圧軸４３により押圧摺動可能に構成されている。
【００４４】
前記内装部材６２は、同じく下部周壁構成部材６ａ側の組み付け状態で説明すると、円筒部６２ａの下端部に内向きフランジ部６２ｂを備え、また、円筒部６２ａの上端部には外向フランジ部６２ｃをそれぞれ備えると共に、前記円筒部６２ａには該円筒部６２ａの外側空間６２ｄと内側空間６２ｅとの間を連通する複数の連通穴６２ｆが形成された構造となっている。
【００４５】
前記上部周壁構成部材６ｂを構成する外装部材６１および内装部材６２は、下部周壁構成部材６ａを構成する外装部材６１および内装部材６２と共に同一形状のものが用いられ、下部周壁構成部材６ａの上部に上下逆向きの状態で組み付けられる。なお、その組み付けに際しては、下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂの両内装部材６２、６２の両外向フランジ部６２ｃ、６２ｃ相互間に前記通路板３を挟持させた状態で組み付けられている。そして、この組み付け状態において、下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂの両係止フランジ６１ｃ、６１ｃ側端面相互間に処理チャンバー７を構成する環状隙間が形成されるように通路板３と各外装部材６１および各内装部材６２の軸方向寸法設定がなされている。なお、図において６３、６３は、外筒２と外装部材６１、６１との間をシールするシールリングを示す。
【００４６】
前記通路板３は、両外向フランジ部６２ｃ、６２ｃ相互間に挟持される本体部３１の内周面側に、図２、３にもその詳細を示すように、前記処理チャンバー７を構成する環状隙間の幅より肉薄の通路形成部３２が一体に形成された構造で、この通路形成部３２の先端部を前記処理チャンバー７を構成する環状隙間の中途部位置まで挿入させた状態となっている。
【００４７】
前記上部周壁構成部材６ｂを構成する外装部材６１の内周側に前記上側の環状シール部材４を押圧する押圧筒４１が上下摺動自在な状態で組み込まれている。また、環状上蓋部材２３と外装部材６１におけるフランジ部６１ｂとの間に前記２つ割り状の押圧環４２が径方向摺動可能な状態で組み込まれている。この押圧環４２はその下端内周縁部に形成された環状テーパ面４２ａを押圧筒４１の上端外周縁部に当接させると共に、外筒２の円筒状周壁部２１を貫通して摺動自在に組み込まれた複数の押圧軸４３により押圧摺動可能に構成されている。
【００４８】
前記外筒２の円筒状周壁部２１には、下部周壁構成部材６ａ側の外側空間６２ｄと連通する水洗処理水の供給穴（供給路）２１ａが形成され、また、上部周壁構成部材６ｂ側の外側空間６２ｄと連通する水洗処理水の排出穴（排出路）２１ｂが形成されている。
【００４９】
即ち、前記下部周壁構成部材６ａにおける外側空間６２ｄと連通穴６２ｆと内側空間６２ｅとで、水洗処理水が供給される供給穴２１ａと処理チャンバー７との間を連通する供給通路Ｉが形成され、また、上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅと連通穴６２ｆと外側空間６２ｄとで、処理チャンバー７と水洗処理水が排出される排出穴２１ｂとの間を連通する排出通路IIが形成されている。
【００５０】
そして、前記収容容器体１の収容穴内に、ピストンヘッドＰを上下逆さまの状態で上方から収容し、該ピストンヘッドＰの底面（ヘッド）が底部構成部材５の上面に形成された窪部５１に当接して位置決めされた状態で、トップリング溝１０が前記処理チャンバー７を構成する環状隙間と一致すると共に、上下一対の環状シール部材４、４がピストンヘッドＰの外周面でトップリング溝１０の上下両開口縁部付近（表面処理を施すべき処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分）に位置するように、各構成部材の寸法設定がなされている。
【００５１】
また、前記底部構成部材５の上面に形成された窪部５１の中央部には、ピストンヘッドＰの脱却時に処理チャンバー７から窪部５１内に漏洩する水洗処理水を排出させる排出穴５２が形成されている。
【００５２】
次に、この発明の実施の形態１の作用・効果を説明する。
この発明の実施の形態１の表面処理装置では、上述のように構成されるため、収容容器体１の収容穴内にピストンヘッドＰを収容した状態で、各押圧軸４３、４３により２つ割り状に形成された上下各押圧環４２、４２を内部方向にそれぞれ押圧摺動させると、上下各押圧環４２、４２に形成された環状テーパ面４２ａ、４２ａが上下各押圧筒４１、４１の外周縁部に当接して軸方向に押圧摺動させ、上下各環状シール部材４、４をそれぞれ係止フランジ部６１ｃ、６１ｃに向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径が縮径され、上下一対の環状シール部材４、４がピストンヘッドＰにおける表面処理を施すべき処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分の外周面にそれぞれ当接してシールした状態となり、これにより、上下一対の環状シール部材４、４相互間におけるトップリング溝１０の表面を含むピストンヘッドＰの環状外周面と収容容器体１における収容穴の内周面側との間に水洗処理水を保持流通させる環状の処理チャンバー７が形成された状態となる。
【００５３】
そこで、図示を省略したポンプを駆動させると、ポンプから吐出された水洗処理水は、供給口２１ａから供給通路Ｉ（下部周壁構成部材６ａにおける外側空間６２ｄ→連通穴６２ｆ→内側空間６２ｅ）を経由して、処理チャンバー７に供給され、この処理チャンバー７内では、通路板３における通路形成部３２の下面側を経由してピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に向けて噴射供給された後、通路形成部３２の上面側および排出通路II（上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅ→連通穴６２ｆ→外側空間６２ｄ）を経由し、排出穴２１ｂから収容容器体１の外部に排出されるもので、これにより、トップリング溝１０の表面を含む限られた所定範囲のみを環状に水洗処理（表面処理）することができる。
【００５４】
以上のように、ピストンヘッドＰを収容容器体１の収容穴に収容した後、各押圧軸４３、４３を押圧操作するだけで、上下一対の環状シール部材４、４によりピストンヘッドＰにおける表面処理を施すべき環状処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分の外周面に当接してシールすることができるため、作業効率を低下させることなしにピストンヘッドＰの外周面における軸方向中間部分に存在するトップリング溝１０を含む限られた所定範囲のみを効率的に環状に表面処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになるという効果が得られる。
【００５５】
また、上下一対の環状シール部材４、４により水洗処理水が接する処理面積を最小限度に狭くできるため、処理チャンバーの容量も最小限度に小さくなり、かつ水洗処理水の流れが水平方向のままであるため、処理チャンバー内における水洗処理水の流れもスムーズで流速が速くなり、これにより、処理効率を高めることができるようになる。従って、コストを低減化させることができるようになる。
【００５６】
また、水洗処理水を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることができるため、装置のコンパクト化が可能となる。
【００５７】
また、被処理体における表面処理を施すべき環状処理部分に対してその全周から同時にかつ均一に水洗処理水が供給されるため、円周方向において均一に表面処理することができるようになる。
また、上述のように、排出通路II側には該排出通路IIより高い位置を経由する排出穴（排出路）２１ｂが形成されているため、水洗処理水内に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができるようになる。
【００５８】
また、通路板３の通路形成部３２を処理チャンバー７内に配置させることにより、ピストンヘッドＰにおける表面処理を施すべき環状処理部分に水洗処理水を供給する供給通路Ｉの一部と該供給された水洗処理水を排出する排出通路IIの一部とに処理チャンバー７内を上下方向に仕切るようにしたことで、処理チャンバー７内における水洗処理水の流れが極めてスムーズであると共に、水洗処理水を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー７内で効率的に循環させることになるため、装置のコンパクト化が可能となる。
【００５９】
また、収容容器体１の少なくとも収容穴を形成する部分がピストンヘッドＰにおける表面処理を施すべき環状処理部分（トップリング溝１０部分）を境にして上下に分割可能な上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａと底部構成部材５で構成され、該上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａに上下一対の各環状シール部材４、４の一方がそれぞれ配置され、上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａとの付き合わせ面相互間に通路板３が挟持状態で配置され、上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａと通路板３とピストンヘッドＰにおける表面処理を施すべき環状処理部分（トップリング溝１０部分）との間に処理チャンバー７が形成され、下部周壁構成部材６ａに処理チャンバー７と連通する供給通路Ｉが形成され、上部周壁構成部材６ｂに処理チャンバー７と連通する排出通路IIが形成された構成としたことで、以上の各構成部材を上下方向に積み上げることで供給流路Ｉおよび排出流路IIとそれぞれ連通する処理チャンバー７を備えた収容容器体１を容易に構成することができるため、装置製造時における組付性を向上させることができるようになる。
なお、ピストンヘッドＰを陽極とし、処理水に代えた硫酸を陰極として各々通電すれば陽極酸化処理を行うことができる。この処理は上記発明の実施の形態の前工程として行ってもよい。
【００６０】
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。なお、この他の発明の実施の形態の説明にあたっては、前記発明の実施の形態１と同様の構成部分には同一の符号を付してその説明を省略し、相違点についてのみ説明する。
【００６１】
（発明の実施の形態２）
図４は、発明の実施の形態２の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図である。
この発明の実施の形態２における表面処理装置は、通路板３０の構成が、前記発明の実施の形態１における通路板３とは相違すると共に、下部周壁構成部材６ａの構成が前記発明の実施の形態１のそれとは相違したものである。
【００６２】
即ち、まず、この発明の実施の形態２の下部周壁構成部材６ａが内装部材６２を省略した外装部材６１のみで構成されると共に、この外装部材６１の特に円筒部６１ａが上端部を残して肉厚に形成されることにより環状段部６１ｄが形成されている点が前記発明の実施の形態１とは相違している。なお、前記外装部材６１の外側には、外側空間６１ｅのみが形成される構造となっている。
【００６３】
また、この発明の実施の形態２の通路板３０は、図５の平面図、図６の底面図、図７の断面図（図５の VII−VII 線における縦断面図）にもその詳細を示すように、その下面内周側に供給通路Ｉの一部を構成する供給側溝３０ａが周方向所定間隔のもとに６か所に形成され、また、上面内周側には排出通路IIの一部を構成する排出側溝３０ｂが周方向所定間隔のもとに６か所に形成されている。なお、前記各供給側溝３０ａと各排出側溝３０ｂは互いに軸方向に重ならないように周方向において交互に形成されている。
【００６４】
また、前記供給側溝３０ａと排出側溝３０ｂはその軸線方向を、図５および図６に示すように、ピストンヘッドＰの外周面と接する接線に対し相反する方向に傾斜させた状態に形成されている。
そして、前記通路板３０は、上部周壁構成部材６ｂ側の内装部材６２における外向フランジ部６２ｃの下面と下部周壁構成部材６ａを構成する外装部材６１における円筒部６１ａの環状段部６１ｄとの間に挟持状態で組み付けられている。
【００６５】
この発明の実施の形態２では、上述のように構成されるため、図示を省略した圧力ポンプを駆動させると、ポンプから吐出された水洗処理水は、供給口２１ａから供給通路Ｉ（下部周壁構成部材６ａにおける外装部材６１の外側空間６１ｅ→通路板３０の各供給側溝３０ａ）を経由して、処理チャンバー７にその接線方向に向け傾斜状に供給され、この処理チャンバー７内では、ピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に向けて傾斜状に噴射供給された後、排出通路II（通路板３０の各排出側溝３０ｂ→上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅ→各連通穴６２ｆ→外側空間６２ｄ）を経由し、排出穴２１ｂから収容容器体１の外部に排出される。
【００６６】
この発明の実施の形態２の表面処理装置では、上述のように構成されるため、前記発明の実施の形態１とほぼ同様の効果が得られる他、以下に列挙する効果が得られる。
即ち、各供給側溝３０ａと各排出側溝３０ｂの軸線方向が水平方向に形成され、該各供給側溝３０ａと各排出側溝３０ｂとがピストンヘッドＰの環状処理部分であるとトップリング溝１０と略同一平面上に形成されているため、処理チャンバー７内における水洗処理水の流れがスムーズで、その流速を速めることができ、これにより、処理効率を高めることができるようになる。
【００６７】
また、供給側溝３０ａと排出側溝３０ｂとが周方向交互に複数個（６個）配置されている構成としたことで、処理チャンバー７内における水洗処理水の流れがスムーズで、流通量が多くなり、これにより、処理効率を高めることができるようになる。
【００６８】
また、各供給側溝３０ａがピストンヘッドＰにおける環状処理部分の一方の接線方向へ向けて傾斜状に形成され、各排出側溝３０ｂがピストンヘッドＰにおける処理部分のもう一方の接線方向へ向けて傾斜状に形成されている構成としたことで、処理チャンバー７内における水洗処理水の流れがスムーズで、その流速を速めることができ、これにより、処理効率を高めることができるようになる。
【００６９】
（発明の実施の形態３）
図８は、発明の実施の形態３の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図であり、この図に示すように、この発明の実施の形態３における表面処理装置は、前記発明の実施の形態２とほぼ同様であるが、押圧手段を構成する２つ割り状の押圧環４２、４２の一方が固定部材４４に置き換えられると共に、押圧軸４３が上下でそれぞれ周方向１個所にのみ設けられている点で前記発明の実施の形態２と相違したものである。
従って、この発明の実施の形態３では、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の効果が得られると共に、部品点数の削減によりコストを低減化できるようになる。
【００７０】
（発明の実施の形態４）
図９は、発明の実施の形態４の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図であり、この図に示すように、この発明の実施の形態４における表面処理装置は、前記発明の実施の形態２とほぼ同様であるが、上部周壁構成部材６ｂを構成する外装部材６１と下部周壁構成部材６ａとの対向面の一部が、通路板３０における供給側溝３０ａおよび排出側溝３０ｂ以外の部分において互いに当接するように構成されている点で前記発明の実施の形態２とは相違したものである。
従って、この発明の実施の形態４では、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の効果が得られると共に、下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂが当接することから、処理チャンバー７の軸方向幅を確実に維持させることができるようになる。さらに、当接部の位置を任意に設定することで、処理部分を周方向の任意の位置に設定することができる。
【００７１】
（発明の実施の形態５）
図１０は、発明の実施の形態５の表面処理方法で用いられる表面処理装置の通路板を示す底面図であり、この図に示すように、供給側溝３０および排出側溝３０ｂの軸線方向が、ピストンヘッドＰの接線方向と平行（噴流角度０°）に形成されている点が前記発明の実施の形態２〜４の通路板３０とは相違したものである。この場合、水洗処理水の流れがスムーズになり、処理能力が向上する。
【００７２】
（発明の実施の形態６）
図１１は、発明の実施の形態６の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す平面図、図１２は図１０の XII−XII 線における断面図、図１３は図１０の XIII −XIII線における断面図であり、これらの図に示すように、この発明の実施の形態６における表面処理装置は、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の構成の表面処理装置を横方向に複数個連結させた構造としたものである。
即ち、図１３に示すように、両装置の接続部において、両下部周壁構成部材６ａ、６ａ側の外側空間６１ｄ、６１ａ同士を互いに連結させると共に、両上部周壁構成部材６ｂ、６ｂ側の外側空間６２ｄ、６２ｄ同士を互いに連結させた構造となっている。
従って、この発明の実施の形態６では、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の効果が得られると共に、複数の装置をコンパクトに一体化させることができるようになる。
【００７３】
（発明の実施の形態７）
図１４は、発明の実施の形態７の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図であり、この図に示すように、この発明の実施の形態７における表面処理装置は、上下各環状シール部材４、４を押圧する押圧手段として、他の例を適用したものである。
即ち、この発明の実施の形態７は、前記発明の実施の形態２とほぼ同様であるが、押圧環４２、４２が省略され、上下方向から押圧軸４３、４３で直接押圧筒４１、４１を軸方向に押圧するようにした点が相違している。
また、この発明の実施の形態７では、上部周壁構成部材６ｂの一部を構成する外装部材６１部分が環状上蓋部材２３と一体に形成された構造となっている。
従って、この発明の実施の形態７では、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の効果が得られると共に、構造を簡略化できるようになる。さらに、通路板３０と内装部材６２と外装部材６１、および環状上蓋部材２３を一体に組み付けた状態のユニットとして構成させれば、ユニットの交換が容易となり、交換時間を短縮できる。この時、さらに押圧筒４１をユニットに組み込むこともできる。
【００７４】
（発明の実施の形態８）
図１５は、この発明の実施の形態８の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図、図１６は図１５の XVI−XVI 線における横断面図であり、両図に示すように、この発明の実施の形態８の表面処理装置は、前記処理チャンバー内７に通路板３０を備えない構造の変形例を示す。
即ち、この発明の実施の形態８の表面処理方法で用いられる表面処理装置は、収容容器体１の一端に形成された１つの供給通路Ｉから水洗処理水を環状の処理チャンバー７内に供給すると共に、該処理チャンバー７内に供給された水洗処理水を供給通路Ｉとは径方向対向位置に形成された１つの排出通路IIから排出させるようにしたものである。
【００７５】
さらに詳述すると、前記供給通路Ｉおよび排出通路IIと処理チャンバー７との間には、図１５に示すように、処理チャンバー７の上下方向幅より上下方向に狭く絞り込まれると共に、図１６に示すように、供給通路Ｉおよび排出通路IIより円周方向に徐々に幅広に広げられた絞り部１１、１２が形成されている。これは、供給通路Ｉおよび排出通路IIが開口する処理チャンバー７部分で水洗処理水がぶつかり合うことで水洗処理水が一個所に滞留することを防止するためである。そして、この水洗処理水の滞留は排出通路II側の方が顕著であるため、前記供給通路Ｉ側の絞り部１１の円周方向幅より、排出通路II側の絞り部１２の円周方向幅が広くなるように形成されている。なお、両絞り部１１、１２の円周方向幅の比率は任意であるが、１：１．５〜３．０の範囲で設定することが望ましい。要するに、供給通路Ｉから供給された水洗処理水が一箇所に滞留することなしに処理チャンバー７内をスムーズに流れて排出通路IIから排出されるような値に設定すればよい。
【００７６】
この発明の実施の形態８では、上述のように、供給通路Ｉから供給される水洗処理水は、絞り部１１で上下方向に絞られる一方で、円周方向には広げられることで、処理チャンバー７内における水洗処理水の流れが極めてスムーズになり、環状処理部分に対し均一かつ効率的に水洗処理水を接触させることができる。
従って、この発明の実施の形態８では、通路板３０の省略および通路構成の単純化により、構造を大幅に簡略化できるようになる。
【００７７】
（発明の実施の形態９）
図１７は、発明の実施の形態９の表面処理方法で用いられる表面処理装置を示す縦断面図である。
この発明の実施の形態９の表面処理装置は、被処理体を構成するピストンヘッドＰに導電可能な一方の電極８と前記処理チャンバー７内の処理流体に導電可能なもう一方の電極９とを備えると共に、前記供給穴（供給通路）２１ａには複数の異なる処理流体を切り換え供給可能な切換供給手段を備えた構成とした点が前記発明の実施の形態１〜８とは相違したものである。
【００７８】
なお、この発明の実施の形態９では、ピストンヘッドＰの表面全体にスズメッキ処理がなされた後、同じ表面処理装置内で、陽極酸化処理を行うトップリング溝１０の部分のスズメッキ除去処理と、スズメッキが除去されたトップリング溝１０部分への陽極酸化処理と、該陽極酸化処理後におけるトップリング溝１０部分の水洗処理とを連続的に行う場合を例にとって説明する。
【００７９】
また、この発明の実施の形態９は、前記発明の実施の形態１〜８の表面処理装置すべてに適用可能であるが、この発明の実施の形態９では、前記発明の実施の形態８の表面処理装置に適用した場合を例にとって説明する。
即ち、図１７に示すように、前記一方の電極８は、ピストンヘッドＰに当接可能な状態に設けられ、もう一方の電極９は、処理流体に接する状態で設けられている。
前記供給穴（供給通路）２１ａに接続された供給管１３は、３つに分岐され、各分岐管１３ａ、１３ｂ、１３ｃは開閉バルブ１４ａ、１４ｂ、１４ｃおよびポンプ１５ａ、１５ｂ、１５ｃを介してスズメッキ除去液（硫酸または硝酸）を収容したタンクＡ、陽極酸化処理液（硫酸）を収容したタンクＢ、および、水洗処理水を収容したタンクＣにそれぞれ接続されている。
【００８０】
また、前記排出穴（排出通路）２１ｂに接続された排出管１６も３つに分岐され、各分岐管１６ａ、１６ｂ、１６ｃは開閉バルブ１７ａ、１７ｂ、１７ｃを介して前記各タンクＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ接続されている。さらに、収容容器体１における窪部５１の底部にはドレン管１８が接続され、このドレン管１８も３つに分岐され、各分岐管１８ａ、１８ｂ、１８ｃは開閉バルブ１９ａ、１９ｂ、１９ｃを介して前記各タンクＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ接続されている。
【００８１】
図１８は、この発明の実施の形態９の表面処理装置を用いた表面処理工程を示すブロック図であり、このブロック図に示すように、まず、通常の手順により、ピストンヘッドＰの外表面全体にスズメッキ処理を行った後、処理液の除去を行うために水洗処理を行う。
【００８２】
次に、この発明の実施の形態９の表面処理装置内で、陽極酸化処理を行うトップリング溝１０の部分のスズメッキ除去処理と、スズメッキが除去されたトップリング溝１０部分への陽極酸化処理と、該陽極酸化処理後におけるトップリング溝１０部分の水洗処理とを連続的に行うもので、この連続処理の内容を図１７に基づいて説明する。
【００８３】
（イ）スズメッキ除去処理工程
この工程においては、開閉バルブの内、タンクＡと接続された各開閉バルブ１４ａ、１７ａ、１９ａを開き、その他の開閉バルブ１４ｂ、１７ｂ、１９ｂ、１４ｃ、１７ｃ、１９ｃは全て閉じた状態とし、この状態でポンプ１５ａを駆動させることにより、タンクＡに収容されたスズメッキ除去液（硫酸または硝酸）が分岐管１３ａおよび供給管１３を経由して処理チャンバー７内に供給された後、排出管１６および分岐管１６ａを経由してタンクＡ内に戻されるもので、このスズメッキ除去液（硫酸または硝酸）がピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に噴射供給されることにより、陽極酸化処理が予定されるトップリング溝１０の表面を含む限られた所定範囲のみを効率的にスズメッキ除去処理することができる。
【００８４】
（ロ）陽極酸化処理工程
この工程においては、開閉バルブの内、タンクＢと接続された各開閉バルブ１４ｂ、１７ｂ、１９ｂを開き、その他の開閉バルブ１４ａ、１７ａ、１９ａ、１４ｃ、１７ｃ、１９ｃは全て閉じた状態とし、この状態でポンプ１５ｂを駆動させると同時に、両電極８、９にＤＣ電源から直流電流を通電することにより、タンクＢに収容された陽極酸化処理液（硫酸）が分岐管１３ｂおよび供給管１３を経由して処理チャンバー７内に供給された後、排出管１６および分岐管１６ｂを経由してタンクＢ内に戻されるもので、この陽極酸化処理液（硫酸）がピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に噴射供給された状態で通電されるることにより、該トップリング溝１０の表面を含む限られた所定範囲のみを効率的に陽極酸化処理することができる。
【００８５】
（ハ）水洗処理工程
この工程においては、開閉バルブの内、タンクＣと接続された各開閉バルブ１４ｃ、１７ｃ、１９ｃを開き、その他の開閉バルブ１４ａ、１７ａ、１９ａ、１４ｂ、１７ｂ、１９ｂは全て閉じた状態とし、この状態でポンプ１５ｃを駆動させることにより、タンクＣに収容された水洗処理水が分岐管１３ｃおよび供給管１３を経由して処理チャンバー７内に供給された後、排出管１６および分岐管１６ｃを経由してタンクＣ内に戻されるもので、これにより、トップリング溝１０の表面を含む限られた所定範囲のみを効率的に水洗処理することができる。
なお、前記スズメッキ除去処理工程と陽極酸化処理工程との間に水洗処理工程を追加するようにしてもよい。
【００８６】
以上詳細に説明したように、この発明の実施の形態９によれば、複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができるようになるという効果が得られる。
また、電極８、９を備えたことで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができるようになるという効果が得られる。
【００８７】
以上発明の実施の形態を図面により説明したが、具体的な構成はこれらの発明の実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００８８】
例えば、発明の実施の形態では、被処理体としてピストンヘッドＰを例にとったが、あらゆる製品の軸方向中間部における限られた所定範囲の環状外周面に表面処理を施す場合に適用することができる。
【００８９】
また、発明の実施の形態１〜８では、表面処理として水洗処理を行う場合を例にとったが、処理流体として水を用いる表面処理の他に、例えば、処理流体として燐酸を用いる無電解ニッケルメッキ処理を行う場合等に適用することができる。
【００９０】
また、発明の実施の形態９では、電極９、１０を備えたが、無電解ニッケルメッキ処理作業およびその後の水洗処理作業を連続して行う場合には、電極を備えなくてもよい。
また、発明の実施の形態１〜７においては、通路板３、３０を導電体で形成し、該通路板３、３０に通電する構造としてもよい。
【００９１】
【発明の効果】
以上説明してきたように本発明請求項１記載の表面処理方法では、収容容器体の収容穴内にピストンを収容した状態で収容穴内周面に備えた上下一対の環状シール部材をリング溝の上下両開口縁部付近にそれぞれ当接させてシールするようにしたことにより、作業効率を低下させることなしにピストンの外周面における軸方向中間部分の少なくともリング溝内を含む上下両開口縁部のみを効率的に環状に表面処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになる。
【００９２】
また、環状隙間を上下方向に仕切る通路板を配置して、該通路板の上下にそれぞれ反応流体及び処理流体を供給・排出する流路を形成したことにより、処理流体の流れが極めてスムーズであると共に、処理流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることになるため、装置のコンパクト化が可能となる。さらに、ピストンにおける表面処理を施すべき環状処理部分であるリング溝に対してその全周から同時にかつ均一に反応流体が供給されるため、円周方向において均一に表面処理することができるようになる。
また、反応流体及び処理流体を順次切り換えながら連続的に処理を行うようにしたことで、陽極酸化処理作業およびその後の処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができるようになる。
請求項２記載の表面処理方法は、水洗処理水によってピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で陽極酸化処理と水洗処理を行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項３に記載の表面処理方法では、陽極酸化処理の後に水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項４に記載の表面処理方法は、スズメッキ除去液によってピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理を施した後に、前記陽極酸化処理が行われることで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
請求項５に記載の表面処理方法は、スズメッキ除去処理、水洗処理、陽極酸化処理、水洗処理の順に連続的に行うようにしたことで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
【００９３】
請求項６記載の表面処理方法は、請求項１記載の表面処理方法において、前記処理流体を通路板における下方に形成された流路を経由してリング溝内に供給した後、通路板の上方に形成された流路を経由して排出させるようにしたことで、反応流体に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができるようになる。
【００９７】
請求項７記載の表面処理装置は、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すと共に、処理流体により表面処理を施すための表面処理装置であって、前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体及び前記処理流体を保持流通する処理チャンバーと、前記環状隙間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝に供給し、前記供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体及び前記処理流体を供給・排出する流路を形成する通路板と、前記反応流体及び前記処理流体を順次切り換えることにより、前記陽極酸化処理及び前記処理流体による表面処理を連続的に実行可能な切換供給手段と、を備えた手段としたことで、作業効率を低下させることなしに筒状もしくは柱状のピストンの外周面における軸方向中間部分の少なくともリング溝内を含む上下両開口縁部のみを効率的に環状に表面処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになるという効果が得られる。また、通路板が配置されたことで、処理チャンバー内における処理流体の流れが極めてスムーズであると共に、処理流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることになるため、装置のコンパクト化が可能となる。また、切換供給手段を備えたことで、陽極酸化処理作業およびその後の処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができるようになる。
請求項８記載の表面処理装置は、水洗処理水によってピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で陽極酸化処理と水洗処理を行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項９に記載の表面処理装置では、陽極酸化処理の後に水洗処理を行うことで、１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
請求項１０に記載の表面処理装置は、スズメッキ除去液によってピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理を施した後に、前記陽極酸化処理が行われることで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
請求項１１に記載の表面処理装置は、スズメッキ除去処理、水洗処理、陽極酸化処理、水洗処理の順に連続的に行うようにしたことで、通電を必要とする表面処理を含む複数の表面処理工程を１つの表面処理装置内で連続して行うことができるため、作業効率を高めることができる。
【００９８】
また、処理流体が接する処理面積を最小限度に狭くできるため、小さな処理電力ですみ、これにより、処理流体の発熱も小さくなり、しかも、処理チャンバーの容量も最小限度に小さくなり、かつ処理流体の流れが水平方向のままであるため、処理チャンバー内における処理流体の流れもスムーズで流速が速くなって冷却効率がよくなり、これにより、処理効率を高めることができるようになる。従って、コストを低減化させることができるようになる。
【００９９】
また、処理流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの処理チャンバー内で効率的に循環させることができるため、装置のコンパクト化が可能となる。
【０１００】
請求項１２記載の表面処理装置は、請求項３記載の表面処理装置において、通路板の上下に形成された流路がリング溝と略同一平面上に形成されている手段としたことで、処理チャンバー内における反応流体の流れがスムーズで、その流速を速めることができ、これにより、反応流体を冷却する冷却機の能力をより低く設定することができるようになる。
【０１０３】
請求項１３記載の表面処理装置は、請求項３または４に記載の表面処理装置において、収容容器体に形成され、反応流体及び処理流体を処理チャンバー内に供給する供給通路と、処理チャンバー内に供給された反応流体及び処理流体を処理チャンバー外に排出する排出通路とを有し、排出通路側には該排出通路より高い位置を経由する排出路が形成されている手段としたことで、反応流体に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができるようになる。
【０１０５】
請求項１４記載の表面処理装置は、請求項３〜５のいずれかに記載の表面処理装置において、上下一対の各環状シール部材がそれぞれ収容容器体に形成された断面Ｌ字状の肩部に配置され、各環状シール部材を各肩部に向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径を縮径させてピストンの外周面にそれぞれ当接させる押圧手段を備えている手段としたことで、ピストンを収容穴内に収容した後、押圧手段を操作するだけで両環状シール部材によるシールを行うことができ、これにより、作業の効率化が図れるようになる。
【０１０７】
請求項１５記載の表面処理装置は、請求項３ないし６いずれかに記載の表面処理装置において、前記ピストンに導通可能な一方の電極と前記処理チャンバー内の反応流体に導通可能なもう一方の電極とを備えている手段としたことで、例えば、通電を条件とする硫酸による陽極酸化処理作業およびその後の水洗処理作業を１つの表面処理装置内で連続して行うことができ、これにより、作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の実施の形態１の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図２】発明の実施の形態１の表面処理装置における通路板の平面図である。
【図３】図２の III−III 線における拡大断面図である。
【図４】発明の実施の形態２の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図５】発明の実施の形態２の表面処理装置における通路板の平面図である。
【図６】発明の実施の形態２の表面処理装置における通路板の底面図である。
【図７】図５の VII−VII 線における断面図である。
【図８】発明の実施の形態３の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図９】発明の実施の形態４の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１０】発明の実施の形態５の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１１】発明の実施の形態６の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１２】図１１の XII−XII 線における断面図である。
【図１３】図１１のXIII−XIII線における断面図である。
【図１４】発明の実施の形態７の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１５】発明の実施の形態８の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１６】図９の XVI−XVI 線における横断面図である。
【図１７】発明の実施の形態９の表面処理装置を示す縦断面図である。
【図１８】発明の実施の形態９の表面処理装置における表面処理工程を示すブロック図である。
【図１９】従来例の表面処理装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
Ａ タンク
Ｂ タンク
Ｃ タンク
Ｐ ピストンヘッド
ｋ 境界線
Ｉ 供給通路
II 排出通路
１ 収容容器体
２ 外筒
３ 通路板
４ 環状シール部材
５ 底部構成部材（下部構成体）
６ａ 下部周壁構成部材（下部構成体）
６ｂ 上部周壁構成部材（上部構成体）
７ 処理チャンバー
１０ トップリング溝（表面処理部）
１１ 絞り部（供給通路側）
１２ 絞り部（排出通路側）
１３ 供給管
１３ａ 分岐管
１３ｂ 分岐管
１３ｃ 分岐管
１４ａ 開閉バルブ
１４ｂ 開閉バルブ
１４ｃ 開閉バルブ
１５ａ ポンプ
１５ｂ ポンプ
１５ｃ ポンプ
１６ 排出管
１６ａ 分岐管
１６ｂ 分岐管
１６ｃ 分岐管
１７ａ 開閉バルブ
１７ｂ 開閉バルブ
１７ｃ 開閉バルブ
１８ ドレン管
１８ａ 分岐管
１８ｂ 分岐管
１８ｃ 分岐管
１９ａ 開閉バルブ
１９ｂ 開閉バルブ
１９ｃ 開閉バルブ
２１ 円筒状周壁部
２１ａ 供給穴（供給路）
２１ｂ 排出穴（排出路）
２２ 環状底部
２３ 環状上蓋部材
２４ 環状係止段部
３０ 通路板
３０ａ 供給側溝
３０ｂ 排出側溝
３１ 本体部
３２ 通路形成部
４１ 押圧筒（押圧手段）
４２ 押圧環（押圧手段）
４２ａ 環状テーパ面
４３ 押圧軸（押圧手段）
４４ 固定部材
５１ 窪部
５２ 排出穴
６１ 外装部材
６１ａ 円筒部
６１ｂ フランジ部
６１ｃ 係止フランジ部（肩部）
６１ｄ 環状段部
６１ｅ 外側空間
６２ 内装部材
６２ａ 円筒部
６２ｂ フランジ部
６２ｃ 外向フランジ部
６２ｄ 外側空間
６２ｅ 内側空間
６２ｆ 連通穴
６３ シールリング[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is, for example, a water-washing operation after a anodic oxidation treatment is performed on an annular outer peripheral surface of a limited range in a middle portion in the axial direction of a metal product such as a piston head of an internal combustion engine, electroless nickel plating, etc. The present invention relates to a surface treatment method and apparatus.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, among surface treatment apparatuses, for example, an anodization apparatus as described in JP-A-9-217200 is known.
As shown in FIG. 19, this conventional anodizing apparatus is an annular lid having a central hole at the upper end opening of a bottomed cylindrical jacket tank 101 that forms part of an electrolyte (processing fluid) circulation circuit. The body 102 is mounted, and a cylindrical mask socket 103 having an inward annular locking step at the lower end opening edge is mounted in the center hole of the annular lid 102, and the mask is mounted on the annular locking step. An O-ring packing 105 is provided for defining and sealing a portion to be surface-treated by contacting the outer periphery of the bottom surface (head) of the piston head (object to be processed) 104 accommodated in the socket 103, and is provided in the jacket tank 101. In the electrolytic cell 106, there is provided an injection device 107 for supplying and supplying an electrolytic solution (processing fluid) toward the surface treatment portion of the piston head 104, and an electrolytic solution ( While the cathode (electrode) 108 in contact with the sense fluid) is provided, the anode (electrode) 109 in contact with the piston head 104 has a structure provided.
In other words, this conventional anodizing apparatus is an apparatus that performs a surface treatment called anodizing on the end face of a cylindrical or columnar object.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, as described above, the conventional anodizing apparatus has a structure in which the O-ring packing 105 is in contact with the bottom surface (head) side of the piston head 104 constituting the object to be processed. There is a problem that only a predetermined range of the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the processing body cannot be ring-treated.
That is, for example, in the case where the end surface is not subjected to anodization and it is desired to perform surface treatment only on the annular outer peripheral surface in a limited range of the outer peripheral surface, a portion that does not require anodization is masked with a tape or the like. However, for this purpose, before setting the anodizing device, first, a process of masking the object to be processed with tape or the like is required, so the working efficiency is extremely poor and the processing capacity is deteriorated. I will let you.
[0004]
In addition, the processing fluid is jetted upward from the spraying device 107 and supplied to the processing surface of the object to be processed, and then reversed downward. Therefore, in order to smoothly flow the processing fluid, it is necessary to secure a wide space as a flow path for the processing fluid, which increases the size of the apparatus.
[0005]
The above relates to an anodizing treatment method and apparatus that are required to be energized by an electrode, but the surface treatment such as rinsing of the treated surface after anodizing treatment that is not required to be energized by an electrode or electroless nickel plating using nitric acid. There are similar problems in work.
[0006]
The present invention has been made by paying attention to the above-mentioned conventional problems, and efficiently reduces only a predetermined range of the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the columnar or cylindrical object to be processed without reducing the work efficiency. It is another object of the present invention to provide a surface treatment method and apparatus that can improve surface treatment capability by enabling surface treatment in a ring shape, and to further reduce the size of the apparatus.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above-mentioned object, a surface treatment method according to claim 1 of the present invention comprises:The reaction fluid is energized between the piston and the electrode, and at least the surface in the ring groove of the piston is anodized and treated with the treatment fluid.A surface treatment method for applying a surface treatment,Accommodates the pistonIn the receiving hole of the receiving container bodypistonContain,in frontStorage holeofOn the inner surfaceHavepairTheThe tool memberRing grooveofNear the upper and lower opening edgesAbut eachAt least the upper and lower seal members, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole, and the reaction fluid and theHolds processing fluidPlace to doPhysical chamberTheFormationShi,A passage plate for vertically partitioning the annular gap is disposed, and a flow path for supplying and discharging the reaction fluid and the processing fluid is formed above and below the passage plate, respectively.Processing fluidIn the ring groove while sequentially switchingSupplyThe supplied reaction fluid and processing fluid from the ring grooveDischargeBy doing so, anodizing treatment and surface treatment were performed continuouslyAs a means.
  The surface treatment method according to claim 2 is the surface treatment method according to claim 1, wherein the treatment fluid is rinsed water, and the surface treatment is performed on the surface of at least a ring groove of the piston by the rinsed water. It is the water-washing process which rinses with water.
  The surface treatment method according to claim 3 is the surface treatment method according to claim 2, wherein the water washing treatment is performed after the anodizing treatment.
  The surface treatment method according to claim 4 is the surface treatment method according to claim 1, wherein the piston is a piston having a surface plated with tin, the treatment fluid is a tin plating removal liquid, and the surface treatment is performed. The tin plating removing liquid removes tin plating on at least the surface in the ring groove of the piston with the tin plating removing liquid, and the anodizing treatment is a treatment performed after the tin plating removing treatment is performed. .
  The surface treatment method according to a fifth aspect is the surface treatment method according to the fourth aspect, wherein the treatment fluid is rinse water and tin plating removal liquid, and the surface treatment is performed at least on the piston by the rinse water. It consists of a water washing treatment for washing the surface in the ring groove and the tin plating removal treatment, and the tin plating removal treatment, the water washing treatment, the anodizing treatment, and the water washing treatment are sequentially performed in this order. To do.
[0009]
  Claim6The surface treatment method according to claim1 to 5In the surface treatment method described above,Reaction fluid andProcessing fluidA channel formed below the passage plateVia the aboveIn the ring grooveAfter supplying toA channel formed above the passage plateIt was made to discharge via.
[0013]
  The surface treatment apparatus according to claim 7,The reaction fluid is energized between the piston and the electrode, and at least the surface in the ring groove of the piston is anodized and treated with the treatment fluid.A surface treatment apparatus for performing a surface treatment,Retract the pistonYongDoHas a receiving holeEarnContainer bodyAnd near the upper and lower opening edges of the ring grooveAbut each and sealA pair of inner holes provided on the inner peripheral surfaceSeal memberAnd at least the upper and lower sealing members, the ring groove, and theInner peripheral surface of receiving holeAn annular gap opened between the upper and lower seal members, and the reaction fluid and theHolds processing fluidProcessingChamberWhen,The annular gap is arranged so as to partition in the vertical direction, and the reaction fluid and the processing fluid are supplied to the ring groove, and the supplied reaction fluid and the processing fluid are discharged from the ring groove. The anodizing treatment and the surface treatment by the treatment fluid are continuously performed by sequentially switching the reaction fluid and the treatment fluid, and a passage plate that forms a flow path for supplying and discharging the reaction fluid and the treatment fluid respectively. Switching supply means executable onThe means provided with.
  The surface treatment apparatus according to claim 8 is the surface treatment apparatus according to claim 7, wherein the treatment fluid is rinse water, and the surface treatment is performed at least in a ring groove of the piston by the rinse water. It is characterized by being a water washing treatment for washing the surface with water.
  The surface treatment apparatus according to a ninth aspect is the surface treatment apparatus according to the eighth aspect, wherein the switching supply means is means for switching the reaction fluid to the flushed water.
  The surface treatment apparatus according to claim 10 is the surface treatment apparatus according to claim 7, wherein the piston is a piston having a surface plated with tin, the treatment fluid is a tin plating removal liquid, and the surface treatment is performed. The tin plating removing process removes tin plating on at least the surface of the piston in the ring groove by the tin plating removing liquid, and the switching supply means is means for switching the tin plating removing liquid to the reaction fluid. .
  The surface treatment apparatus according to claim 11 is the surface treatment apparatus according to claim 10, wherein the treatment fluid is rinse water and tin plating removal liquid, and the surface treatment is performed at least on the piston by the rinse water. A washing treatment for washing the surface in the ring groove and the tin plating removal treatment, the switching supply means switching the tin plating removal liquid to the washing treatment water, switching the washing treatment water to the reaction fluid, It is means for sequentially switching the reaction fluid to the washing water.
[0014]
  Claim12The surface treatment apparatus according to claim 7.To any of ~ 11In the surface treatment apparatus described above,Channels formed above and below the passage plateSaidRing grooveFormed on the same plane asIt is characterized by.
[0017]
  Claim13The surface treatment apparatus according to claimAny of 7-12In the surface treatment apparatus described inA supply passage formed in the housing container body for supplying the reaction fluid into the processing chamber; and a discharge passage for discharging the reaction fluid supplied into the processing chamber to the outside of the processing chamber;The discharge passage side is formed with a discharge passage that passes through a position higher than the discharge passage.
[0019]
  Claim14The surface treatment apparatus according to claim 7,13In the surface treatment apparatus according to any one ofEach of the aboveAnd a cylindrical member is disposed on a shoulder portion having an L-shaped cross section formed on the container body, and the inner diameter of each annular seal member is reduced by pressing in an axial direction toward the shoulder portion. Reduced diameter and saidpistonIt was set as the means provided with the press means to each contact | abut to the outer peripheral surface.
[0021]
  Claim15The surface treatment apparatus according to claimAny of 7-14In the surface treatment apparatus according to claim 1,pistonOne electrode that can conduct electricity andprocessingReaction fluid in chamberAnd processing fluidAnd the other electrode that can conduct electricity.
[0022]
[Action]
  In the anodizing method according to the first aspect of the present invention, as described above, in the accommodation hole of the accommodation container body.pistonA pair of upper and lower provided on the inner peripheral surface of the receiving holeTheThe tool memberpistonAnnular processing part to be subjected to surface treatment on the outer circumferential surfaceBoth upper and lower opening edges of the ring grooveBy reducing the work efficiency by contacting each of the adjacent outer peripheral surfaces and sealing.pistonOf the axial middle part of the outer peripheral surface ofUpper and lower opening edges including at least the inside of the ring grooveIt is possible to efficiently perform surface treatment only on the annular surface, thereby improving the processing capability.
[0023]
  AlsoAs mentioned above,A passage plate for supplying and discharging reaction fluid and processing fluid is arranged in the ring groove so as to partition the annular gap vertically.ByReaction fluid andThe flow of processing fluid is extremely smooth,Reaction fluid andSince the processing fluid is efficiently circulated in a processing chamber having a minimum space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact. further,pistonAnnular treatment part to be surface treatedIs the ring grooveOn the other hand, since the reaction fluid is supplied simultaneously and uniformly from the entire circumference, surface treatment can be performed uniformly in the circumferential direction.
  Further, by sequentially switching the treatment fluid, different surface treatments are continuously performed depending on the treatment fluid, so that the anodizing treatment work and the subsequent treatment work can be continuously performed in one surface treatment apparatus. This can improve the working efficiency.
The surface treatment method according to claim 2 can perform the anodic oxidation treatment and the water washing treatment in one surface treatment apparatus by carrying out a water washing treatment in which at least the surface in the ring groove of the piston is washed with water with the water washing treatment water. Thereby, work efficiency can be improved.
  In the surface treatment method according to the third aspect, by performing the water washing treatment after the anodizing treatment, the surface treatment method can be carried out continuously in one surface treatment apparatus, thereby improving the working efficiency.
  The surface treatment method according to claim 4 requires energization by performing the anodizing treatment after the tin plating removing treatment for removing at least the surface of the piston in the ring groove with the tin plating removing liquid. Since a plurality of surface treatment steps including the surface treatment to be performed can be continuously performed in one surface treatment apparatus, work efficiency can be improved.
  The surface treatment method according to claim 5 includes a plurality of surface treatment steps including a surface treatment that requires energization by continuously performing tin plating removal treatment, water washing treatment, anodizing treatment, and water washing treatment in this order. Can be performed continuously in one surface treatment apparatus, so that work efficiency can be improved.
[0024]
  Claim6In the surface treatment method described, as described above,Reaction fluid andProcess fluid below the passage plateFlow path formed inViaIn the ring grooveAfter supplying toA channel formed above the passage plateBy making it discharge viaReaction fluid andThe air mixed in the processing fluid is efficiently discharged, and hence it is possible to prevent the occurrence of reaction unevenness due to the mixed air.
[0028]
  Since the surface treatment apparatus according to the seventh aspect of the present invention is configured as described above, when the object to be treated is accommodated in the accommodation hole from above the accommodation container body, the surface treatment apparatus is in contact with and supported by the bottom of the accommodation container body. , A pair of upper and lower provided on the inner peripheral surface of the axially intermediate portion of the receiving holeTheThe tool memberpistonAnnular treatment part to be surface treatedBoth upper and lower opening edges of the ring grooveAbutting and sealing with the outer peripheral surface in the vicinity.TheBetween the control memberspistonBetween the annular outer peripheral surface of the container and the inner peripheral surface of the storage hole in the storage container bodyReaction fluid andAn annular processing chamber for holding and circulating the processing fluid is formed. Therefore, it is possible to efficiently surface-treat only a predetermined range of the axial intermediate portion on the outer peripheral surface of the cylindrical or columnar workpiece without reducing the work efficiency, thereby reducing the processing efficiency. Can be raised.
  Further, by sequentially switching the treatment fluid, different surface treatments are continuously performed depending on the treatment fluid, so that the anodizing treatment work and the subsequent treatment work can be continuously performed in one surface treatment apparatus. This can improve the working efficiency.
The surface treatment apparatus according to claim 8 can perform the anodic oxidation treatment and the water washing treatment in one surface treatment device by performing a water washing treatment in which at least the surface in the ring groove of the piston is washed with water. Thereby, work efficiency can be improved.
  In the surface treatment apparatus according to the ninth aspect, by performing the water washing treatment after the anodizing treatment, the surface treatment device can be continuously performed in one surface treatment device, thereby improving the working efficiency.
  The surface treatment apparatus according to claim 10 requires energization by performing the anodizing treatment after the tin plating removing treatment for removing at least the surface of the piston in the ring groove with the tin plating removing liquid. Since a plurality of surface treatment steps including the surface treatment to be performed can be continuously performed in one surface treatment apparatus, work efficiency can be improved.
  The surface treatment apparatus according to claim 11 is a plurality of surface treatment steps including a surface treatment that requires energization by performing the tin plating removal treatment, the water washing treatment, the anodizing treatment, and the water washing treatment in order. Can be performed continuously in one surface treatment apparatus, so that work efficiency can be improved.
[0029]
Further, the processing area in contact with the processing fluid can be minimized, the capacity of the processing chamber can be minimized, and the flow of the processing fluid remains in the horizontal direction. The flow rate is smooth and the processing speed can be increased. Therefore, the cost can be reduced.
In addition, since the processing fluid can be efficiently circulated in the processing chamber having the minimum necessary space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact.
[0030]
  Claim12In the described surface treatment apparatus, as described above,Channels formed above and below the passage plateButRing grooveIs formed on the same plane asRing grooveThe flow of the reaction fluid in the inside is smooth, and the flow velocity can be increased, whereby the processing efficiency can be increased.
[0033]
  Claim13In the described surface treatment apparatus, as described above, since the discharge passage is formed on the discharge passage side through a position higher than the discharge passage, the air mixed in the treatment fluid is efficiently discharged. Occurrence of processing unevenness due to mixed air can be prevented.
[0035]
  Claim14In the described surface treatment apparatus, as described above, a pair of upper and lower sidesEachEach of the handle members is disposed on a shoulder portion having an L-shaped cross section formed on the container body,EachBy providing a pressing means that presses and compresses the tool member in the axial direction toward each shoulder to reduce the inner diameter of the tool member and abuts against the outer peripheral surface of the object to be processed,pistonCan be sealed with both annular seal members simply by operating the pressing means, and the work efficiency can be improved.
[0037]
  Claim15In the described surface treatment apparatus, as described above,pistonFor example, an anodizing treatment with sulfuric acid under the condition of energization and subsequent rinsing with water. Processing operations can be performed continuously in a single surface treatment apparatus, thereby improving work efficiency.
[0038]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
(Embodiment 1 of the invention)
First, the surface treatment method of Embodiment 1 of the present invention will be described based on the surface treatment apparatus shown in FIGS. In the first embodiment of the present invention, the surface of the top ring groove 10 in the piston head P constituting the object to be processed is anodized, and then the surface of the processing surface is rinsed with the rinsing water that is the processing fluid. The case where it performs is demonstrated.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method of Embodiment 1 of the present invention. In this figure, 1 is a storage container body, 2 is an outer cylinder, 3 is a passage plate, 4 is an annular seal member, 41 and 41 are pressing cylinders (pressing means), 42 and 42 are pressing rings (pressing means), 43 and 43 are pressing shafts (pressing means), and P is a piston head.
[0039]
The housing container 1 constitutes a bottomed cylindrical container having a housing hole capable of housing the piston head P upside down from above, and includes a bottom component member 5, a lower peripheral wall component member 6a, And the upper peripheral wall constituting member 6b.
[0040]
The outer cylinder 2 has an annular bottom 22 formed on the inner periphery of the lower end opening edge of the cylindrical peripheral wall portion 21, and an annular upper lid member 23, which is a separate member, is attached to the upper end opening, so that the lower peripheral wall is formed on the inner periphery. It is formed in a U-shaped cross section having an annular groove for assembling the constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b.
[0041]
The bottom component 5 constitutes the bottom of the receiving hole in the receiving container body 1 and is formed in a substantially cylindrical shape having the same outer diameter as the outer diameter of the piston head P. 2 is assembled in a state of being attached and locked to the inner peripheral portion of the axial center hole of the annular bottom portion 22.
[0042]
The lower peripheral wall constituting member 6a and the upper peripheral wall constituting member 6b are composed of two members, an exterior member 61 and an interior member 62, respectively.
That is, when the exterior member 61 is described in an assembled state on the lower peripheral wall constituting member 6a side, the exterior member 61 includes a flange portion 61b that protrudes outward at the lower end portion of the cylindrical portion 61a, and the annular portion is formed inside the upper end portion of the cylindrical portion 61a. A locking flange (shoulder portion) 61c for positioning and supporting the seal member 4 is formed to project inwardly in an annular shape. The exterior member 61 on the side of the lower peripheral wall constituting member 6a is outside in a state where the outer peripheral portion of the outward flange portion 61b is locked to the annular locking step portion 24 formed on the upper portion of the annular bottom portion 22 of the outer cylinder 2. The cylinder 2 is assembled in the lower part of the annular groove.
[0043]
A pressing cylinder 41 that presses the lower annular seal member 4 is assembled between the exterior member 61 and the bottom component member 5 so as to be slidable up and down. Further, the split-shaped pressing ring 42 is incorporated between the annular bottom portion 22 of the outer cylinder 2 and the flange portion 61 b of the exterior member 61 in a state in which it can slide in the radial direction. The pressing ring 42 has an annular tapered surface 42 a formed on the inner peripheral edge of the upper end thereof in contact with the outer peripheral edge of the lower end of the pressing cylinder 41 and is slidable through the cylindrical peripheral wall 21 of the outer cylinder 2. A plurality of built-in pressing shafts 43 are configured to be slidable.
[0044]
The interior member 62 is similarly described in the assembled state on the lower peripheral wall constituting member 6a side. The interior member 62 includes an inward flange portion 62b at the lower end portion of the cylindrical portion 62a, and an outward flange portion 62c at the upper end portion of the cylindrical portion 62a. Each of the cylindrical portions 62a has a structure in which a plurality of communication holes 62f communicating between the outer space 62d and the inner space 62e are formed in the cylindrical portion 62a.
[0045]
The exterior member 61 and the interior member 62 constituting the upper peripheral wall constituting member 6b have the same shape as the exterior member 61 and the interior member 62 constituting the lower peripheral wall constituting member 6a, and are formed above the lower peripheral wall constituting member 6a. It is assembled in an upside down state. In the assembly, the passage plate 3 is sandwiched between the outward flange portions 62c, 62c of the interior members 62, 62 of the lower peripheral wall constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b. . In this assembled state, the passage plate 3 and each of the passage plates 3 are formed so that an annular gap constituting the processing chamber 7 is formed between both the locking flanges 61c and 61c side end surfaces of the lower peripheral wall constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b. The axial dimension of the exterior member 61 and each interior member 62 is set. In the figure, reference numerals 63 and 63 denote seal rings that seal between the outer cylinder 2 and the exterior members 61 and 61.
[0046]
The passage plate 3 is formed on the inner peripheral surface side of the main body portion 31 sandwiched between the outward flange portions 62c and 62c, as shown in detail in FIGS. The passage forming portion 32 that is thinner than the width of the gap is integrally formed, and the distal end portion of the passage forming portion 32 is inserted to the midway position of the annular gap constituting the processing chamber 7. .
[0047]
A pressing cylinder 41 that presses the upper annular seal member 4 is incorporated in a freely slidable state on the inner peripheral side of the exterior member 61 that constitutes the upper peripheral wall constituting member 6b. In addition, the split pressing ring 42 is incorporated between the annular upper lid member 23 and the flange portion 61 b of the exterior member 61 so as to be slidable in the radial direction. The pressing ring 42 has an annular tapered surface 42 a formed on the inner peripheral edge of the lower end thereof abutted on the outer peripheral edge of the upper end of the pressing cylinder 41 and is slidable through the cylindrical peripheral wall 21 of the outer cylinder 2. A plurality of built-in pressing shafts 43 are configured to be slidable.
[0048]
The cylindrical peripheral wall portion 21 of the outer cylinder 2 is formed with a wash water supply hole (supply path) 21a communicating with the outer space 62d on the lower peripheral wall constituting member 6a side, and on the upper peripheral wall constituting member 6b side. A drain hole (discharge channel) 21b for the flushed water that communicates with the outer space 62d is formed.
[0049]
That is, the outer space 62d, the communication hole 62f, and the inner space 62e in the lower peripheral wall constituting member 6a form a supply passage I that communicates between the supply hole 21a to which the rinsing process water is supplied and the processing chamber 7, In addition, a discharge passage II that communicates between the processing chamber 7 and the discharge hole 21b through which the flush water is discharged is formed by the inner space 62e, the communication hole 62f, and the outer space 62d in the upper peripheral wall constituting member 6b. .
[0050]
And in the accommodation hole of the said container body 1, piston head P is accommodated from the upper side in the upside down state, and the bottom face (head) of this piston head P is in the recessed part 51 formed in the upper surface of the bottom part structural member 5. In a state where the top ring groove 10 is in contact with and positioned, the top ring groove 10 coincides with the annular gap constituting the processing chamber 7, and a pair of upper and lower annular seal members 4, 4 are formed on the outer peripheral surface of the piston head P on the top ring groove 10. Each component member is dimensioned so as to be positioned in the vicinity of both upper and lower opening edges (both boundary lines k and k that determine a processing portion to be surface-treated).
[0051]
In addition, a discharge hole 52 is formed in the central portion of the recess 51 formed on the upper surface of the bottom component member 5 to discharge the flushed water leaking from the processing chamber 7 into the recess 51 when the piston head P is withdrawn. Has been.
[0052]
Next, operations and effects of the first embodiment of the present invention will be described.
Since the surface treatment apparatus according to the first embodiment of the present invention is configured as described above, the piston head P is accommodated in the accommodation hole of the accommodation container body 1 and is divided into two by the pressing shafts 43 and 43. When the upper and lower pressing rings 42 and 42 formed on the upper and lower pressing rings 42 and 42 are respectively slid in the inner direction, the annular tapered surfaces 42a and 42a formed on the upper and lower pressing rings 42 and 42 become the outer peripheral edges of the upper and lower pressing cylinders 41 and 41, respectively. The inner diameter is reduced by pressing and compressing the upper and lower annular seal members 4 and 4 toward the locking flange portions 61c and 61c, respectively. The pair of upper and lower annular seal members 4 and 4 are in contact with and sealed against the outer peripheral surfaces of both boundary lines k and k that determine the processing portion to be subjected to the surface treatment in the piston head P. An annular ring that holds and circulates water for washing between the annular outer peripheral surface of the piston head P including the surface of the top ring groove 10 between the seal members 4 and 4 and the inner peripheral surface side of the accommodation hole in the accommodation container body 1. The processing chamber 7 is formed.
[0053]
Therefore, when the pump (not shown) is driven, the flushed water discharged from the pump passes through the supply passage I (the outer space 62d → the communication hole 62f → the inner space 62e in the lower peripheral wall constituting member 6a) from the supply port 21a. Then, after being supplied to the processing chamber 7 and sprayed toward the surface of the top ring groove 10 in the piston head P via the lower surface side of the passage forming portion 32 in the passage plate 3 in the processing chamber 7. , Discharged from the discharge hole 21b to the outside of the container body 1 through the upper surface side of the passage forming portion 32 and the discharge passage II (the inner space 62e → the communication hole 62f → the outer space 62d in the upper peripheral wall constituting member 6b). Thus, only a limited predetermined range including the surface of the top ring groove 10 can be annularly washed with water (surface treatment).
[0054]
As described above, after the piston head P is accommodated in the accommodating hole of the accommodating container body 1, the surface treatment in the piston head P is performed by the pair of upper and lower annular seal members 4, 4 simply by pressing the pressing shafts 43, 43. Can be sealed by contacting the outer peripheral surface of both boundary lines k and k, which determines the annular processing portion to be subjected to, so that it does not decrease the work efficiency, and the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the piston head P Only a limited range including the existing top ring groove 10 can be efficiently subjected to surface treatment in an annular shape, thereby obtaining an effect of improving the processing capability.
[0055]
In addition, since the treatment area in contact with the washing treatment water can be reduced to the minimum by the pair of upper and lower annular seal members 4 and 4, the capacity of the treatment chamber is also reduced to the minimum, and the flow of the washing treatment water remains in the horizontal direction. For this reason, the flow of the rinsing water in the processing chamber is smooth and the flow speed is increased, thereby increasing the processing efficiency. Therefore, the cost can be reduced.
[0056]
Further, since the washing water can be efficiently circulated in a processing chamber having a minimum space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact.
[0057]
In addition, since the flushed water is supplied simultaneously and uniformly from the entire circumference to the annular treatment portion to be subjected to the surface treatment in the object to be treated, the surface treatment can be performed uniformly in the circumferential direction.
Further, as described above, since the discharge hole (discharge path) 21b passing through a position higher than the discharge path II is formed on the discharge path II side, the air mixed in the washing water is efficiently discharged. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of reaction unevenness due to mixed air.
[0058]
Further, by disposing the passage forming portion 32 of the passage plate 3 in the processing chamber 7, a part of the supply passage I for supplying the washing treatment water to the annular treatment portion to be subjected to the surface treatment in the piston head P is supplied. Since the inside of the processing chamber 7 is vertically divided into a part of the discharge passage II for discharging the flushed water, the flow of the flushed water in the processing chamber 7 is extremely smooth and the flushed water Can be efficiently circulated in the processing chamber 7 having a minimum required space corresponding to the area of the annular processing portion, so that the apparatus can be made compact.
[0059]
In addition, the upper peripheral wall constituting member 6b and the lower part, which can be divided into upper and lower parts, with an annular processing portion (top ring groove 10 portion) to be subjected to surface treatment in the piston head P as at least a portion forming the receiving hole of the receiving container body 1 It comprises a peripheral wall constituting member 6a and a bottom constituting member 5, and one of each of a pair of upper and lower annular seal members 4, 4 is arranged on the upper peripheral wall constituting member 6b and the lower peripheral wall constituting member 6a, respectively. The passage plate 3 is disposed between the mating surfaces of the peripheral wall constituent member 6a and the annular processing portion to be subjected to the surface treatment in the upper peripheral wall constituent member 6b, the lower peripheral wall constituent member 6a, the passage plate 3 and the piston head P. The processing chamber 7 is formed between the top ring groove 10 and the supply passage I communicating with the processing chamber 7 is formed in the lower peripheral wall constituting member 6a. Since the discharge passage II communicating with the processing chamber 7 is formed in the upper peripheral wall constituent member 6b, the above constituent members are stacked in the vertical direction so as to communicate with the supply flow path I and the discharge flow path II, respectively. Since the container body 1 including the processing chamber 7 can be easily configured, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus.
If the piston head P is used as an anode and sulfuric acid instead of treated water is used as a cathode, anodization can be performed. This processing may be performed as a pre-process of the above-described embodiment.
[0060]
Next, another embodiment of the present invention will be described. In the description of the other embodiments of the present invention, the same components as those of the first embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, the description thereof will be omitted, and only the differences will be described.
[0061]
(Embodiment 2 of the invention)
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the second embodiment of the invention.
In the surface treatment apparatus according to Embodiment 2 of the present invention, the configuration of the passage plate 30 is different from that of the passage plate 3 according to Embodiment 1 of the present invention, and the configuration of the lower peripheral wall constituting member 6a is the embodiment of the present invention. This is different from that of Form 1.
[0062]
That is, first, the lower peripheral wall constituting member 6a according to the second embodiment of the present invention is composed of only the exterior member 61 from which the interior member 62 is omitted, and in particular, the cylindrical portion 61a of the exterior member 61 leaves the upper end portion. The difference from Embodiment 1 of the invention is that the annular step portion 61d is formed by being formed thick. Note that only the outer space 61e is formed outside the exterior member 61.
[0063]
The passage plate 30 according to the second embodiment of the present invention is also shown in detail in the plan view of FIG. 5, the bottom view of FIG. 6, and the sectional view of FIG. 7 (vertical sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 5). As shown, supply-side grooves 30a constituting a part of the supply passage I are formed at six locations on the inner peripheral side of the lower surface at predetermined intervals in the circumferential direction, and the discharge passage II is formed on the inner peripheral side of the upper surface. The discharge side groove | channel 30b which comprises a part is formed in six places based on the circumferential direction predetermined space | interval. The supply side grooves 30a and the discharge side grooves 30b are alternately formed in the circumferential direction so as not to overlap each other in the axial direction.
[0064]
Further, the supply side groove 30a and the discharge side groove 30b are formed in a state in which the axial direction is inclined in a direction opposite to a tangent line in contact with the outer peripheral surface of the piston head P as shown in FIGS. .
The passage plate 30 is between the lower surface of the outward flange portion 62c in the interior member 62 on the upper peripheral wall constituting member 6b side and the annular step portion 61d of the cylindrical portion 61a in the exterior member 61 constituting the lower peripheral wall constituting member 6a. It is assembled in a clamped state.
[0065]
Since the second embodiment of the present invention is configured as described above, when a pressure pump (not shown) is driven, the flushed water discharged from the pump is supplied from the supply port 21a to the supply passage I (lower peripheral wall structure). The member 6a is supplied to the processing chamber 7 in an inclined manner toward the tangential direction via the outer space 61e of the exterior member 61 → the supply side grooves 30a) of the passage plate 30. In the processing chamber 7, the piston head P After being jetted and supplied toward the surface of the top ring groove 10 in the discharge passage II (the discharge side grooves 30b of the passage plate 30 → the inner space 62e in the upper peripheral wall constituting member 6b → the communication holes 62f → the outer space 62d). ) To the outside of the container body 1 from the discharge hole 21b.
[0066]
Since the surface treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention is configured as described above, substantially the same effects as those of the first embodiment of the present invention can be obtained, and the effects listed below can be obtained.
That is, the axial direction of each supply-side groove 30a and each discharge-side groove 30b is formed in a horizontal direction, and each supply-side groove 30a and each discharge-side groove 30b are substantially the same as the top ring groove 10 when they are annular processing portions of the piston head P. Since it is formed on a flat surface, the flow of the rinsing water in the processing chamber 7 is smooth and the flow rate can be increased, thereby increasing the processing efficiency.
[0067]
In addition, since a plurality of (six) supply side grooves 30a and discharge side grooves 30b are alternately arranged in the circumferential direction, the flow of the rinsing water in the processing chamber 7 is smooth, and the circulation amount is increased. As a result, the processing efficiency can be increased.
[0068]
Further, each supply side groove 30a is inclined toward one tangential direction of the annular processing portion in the piston head P, and each discharge side groove 30b is inclined toward the other tangential direction of the processing portion in the piston head P. With this configuration, the flow of the rinsing water in the processing chamber 7 is smooth, and the flow rate can be increased, thereby increasing the processing efficiency.
[0069]
(Embodiment 3 of the invention)
FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the third embodiment of the invention. As shown in FIG. 8, the surface treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention is the above-mentioned invention. The second embodiment is substantially the same as the second embodiment except that one of the two split pressing rings 42, 42 constituting the pressing means is replaced with a fixing member 44, and the pressing shaft 43 is vertically positioned at one place in the circumferential direction. This is different from the second embodiment of the invention in that it is provided only.
Therefore, in the third embodiment of the present invention, substantially the same effect as in the second embodiment of the present invention can be obtained, and the cost can be reduced by reducing the number of parts.
[0070]
(Embodiment 4 of the Invention)
FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the fourth embodiment of the invention. As shown in this figure, the surface treatment apparatus according to the fourth embodiment of the present invention is the above-mentioned invention. However, a part of the opposing surface of the exterior member 61 and the lower peripheral wall constituting member 6a constituting the upper peripheral wall constituting member 6b is other than the supply side groove 30a and the discharge side groove 30b in the passage plate 30. The second embodiment is different from the second embodiment in that the two portions are configured to contact each other.
Therefore, in the fourth embodiment of the present invention, substantially the same effect as in the second embodiment of the present invention can be obtained, and the lower peripheral wall constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b are in contact with each other. The direction width can be maintained reliably. Furthermore, the processing portion can be set at an arbitrary position in the circumferential direction by arbitrarily setting the position of the contact portion.
[0071]
(Embodiment 5 of the invention)
FIG. 10 is a bottom view showing the passage plate of the surface treatment apparatus used in the surface treatment method of the fifth embodiment of the invention. As shown in this figure, the axial directions of the supply side groove 30 and the discharge side groove 30b are pistons. The passage plate 30 of the second to fourth embodiments is different from the passage plate 30 of the second to fourth embodiments in that it is formed in parallel to the tangential direction of the head P (jet angle 0 °). In this case, the flow of the rinsing water becomes smooth and the processing capacity is improved.
[0072]
Embodiment 6 of the Invention
11 is a plan view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method of Embodiment 6 of the invention, FIG. 12 is a sectional view taken along line XII-XII in FIG. 10, and FIG. 13 is taken along line XIII-XIII in FIG. As shown in these drawings, the surface treatment apparatus according to the sixth embodiment of the present invention connects a plurality of surface treatment apparatuses having substantially the same configuration as that of the second embodiment of the present invention in the lateral direction. It has a structure.
That is, as shown in FIG. 13, the outer spaces 61d and 61a on the lower peripheral wall constituent members 6a and 6a side are connected to each other and the outer spaces on the upper peripheral wall constituent members 6b and 6b side in the connecting portion of both devices. 62d and 62d are connected to each other.
Therefore, in the sixth embodiment of the present invention, substantially the same effect as in the second embodiment of the present invention can be obtained, and a plurality of devices can be integrated in a compact manner.
[0073]
Embodiment 7 of the Invention
FIG. 14 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the seventh embodiment of the invention. As shown in FIG. Another example is applied as pressing means for pressing the annular seal members 4 and 4.
That is, the seventh embodiment of the present invention is substantially the same as the second embodiment of the present invention, except that the pressing rings 42 and 42 are omitted, and the pressing cylinders 41 and 41 are directly connected to the pressing shafts 43 and 43 from the vertical direction. The difference is that it is pressed in the axial direction.
Moreover, in Embodiment 7 of this invention, it has the structure where the exterior member 61 part which comprises a part of upper peripheral wall structural member 6b was integrally formed with the cyclic | annular upper cover member 23. FIG.
Therefore, in the seventh embodiment of the present invention, substantially the same effect as that of the second embodiment of the present invention can be obtained, and the structure can be simplified. Furthermore, if the passage plate 30, the interior member 62, the exterior member 61, and the annular upper cover member 23 are configured as a unit assembled together, the unit can be easily replaced and the replacement time can be shortened. At this time, the pressing cylinder 41 can be further incorporated into the unit.
[0074]
(Embodiment 8 of the invention)
15 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the eighth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a transverse sectional view taken along line XVI-XVI in FIG. 15, as shown in both figures. The surface treatment apparatus according to the eighth embodiment of the present invention shows a modification of the structure in which the passage plate 30 is not provided in the treatment chamber 7.
That is, the surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the eighth embodiment of the present invention supplies the washing treatment water into the annular treatment chamber 7 from one supply passage I formed at one end of the container 1. At the same time, the flushed water supplied into the treatment chamber 7 is discharged from one discharge passage II formed at a position opposed to the supply passage I in the radial direction.
[0075]
More specifically, the space between the supply passage I and the discharge passage II and the processing chamber 7 is narrowed narrower in the vertical direction than the vertical width of the processing chamber 7 as shown in FIG. As described above, the narrowed portions 11 and 12 that are gradually widened in the circumferential direction from the supply passage I and the discharge passage II are formed. This is to prevent the flushing water from staying in one place by the flushing water colliding with the treatment chamber 7 where the supply passage I and the discharge passage II are opened. And since the retention of this washing water is more remarkable on the discharge passage II side, the circumferential width of the throttle portion 12 on the discharge passage II side than the circumferential width of the throttle portion 11 on the supply passage I side. Is formed to be wide. The ratio of the widths in the circumferential direction of the diaphragm portions 11 and 12 is arbitrary, but is preferably set in the range of 1: 1.5 to 3.0. In short, it is only necessary to set the value so that the washing water supplied from the supply passage I flows smoothly through the processing chamber 7 without being retained in one place and is discharged from the discharge passage II.
[0076]
In the eighth embodiment of the present invention, as described above, the rinsing water supplied from the supply passage I is squeezed in the vertical direction by the throttle unit 11 and is expanded in the circumferential direction, thereby allowing the processing chamber to be expanded. The flow of the rinsing water in 7 is extremely smooth, and the rinsing water can be brought into contact with the annular treatment portion uniformly and efficiently.
Therefore, in the eighth embodiment of the present invention, the structure can be greatly simplified by omitting the passage plate 30 and simplifying the passage configuration.
[0077]
(Embodiment 9 of the invention)
FIG. 17 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus used in the surface treatment method according to the ninth embodiment of the invention.
In the surface treatment apparatus according to the ninth embodiment of the present invention, one electrode 8 that can conduct electricity to the piston head P constituting the object to be treated and the other electrode 9 that can conduct electricity to the processing fluid in the processing chamber 7 are provided. In addition, the supply hole (supply passage) 21a is different from the first to eighth embodiments of the present invention in that the supply hole (supply passage) 21a includes a switching supply means capable of switching and supplying a plurality of different processing fluids. .
[0078]
In the ninth embodiment of the present invention, after the tin plating process is performed on the entire surface of the piston head P, the tin plating removal process for the portion of the top ring groove 10 to be anodized in the same surface treatment apparatus, and the tin plating process are performed. An example in which the anodic oxidation treatment for the top ring groove 10 portion from which the metal oxide has been removed and the water washing treatment of the top ring groove 10 portion after the anodic oxidation treatment are continuously performed will be described.
[0079]
The ninth embodiment of the present invention can be applied to all the surface treatment apparatuses according to the first to eighth embodiments of the present invention. In the ninth embodiment of the present invention, the surface of the eighth embodiment of the present invention is used. A case where the present invention is applied to a processing apparatus will be described as an example.
That is, as shown in FIG. 17, the one electrode 8 is provided so as to be in contact with the piston head P, and the other electrode 9 is provided in contact with the processing fluid.
The supply pipe 13 connected to the supply hole (supply passage) 21a is branched into three, and the branch pipes 13a, 13b, 13c are tin-plated via opening / closing valves 14a, 14b, 14c and pumps 15a, 15b, 15c. The tank A containing the removal liquid (sulfuric acid or nitric acid), the tank B containing the anodizing treatment liquid (sulfuric acid), and the tank C containing the washing water are respectively connected.
[0080]
Further, the discharge pipe 16 connected to the discharge hole (discharge passage) 21b is also branched into three, and the branch pipes 16a, 16b, 16c are connected to the tanks A, B, Each is connected to C. Further, a drain pipe 18 is connected to the bottom of the recess 51 in the storage container body 1, and the drain pipe 18 is also branched into three. Are connected to the tanks A, B and C, respectively.
[0081]
FIG. 18 is a block diagram showing a surface treatment process using the surface treatment apparatus according to the ninth embodiment of the present invention. As shown in this block diagram, first, the entire outer surface of the piston head P is first subjected to a normal procedure. After performing a tin plating process, a water washing process is performed to remove the processing solution.
[0082]
Next, in the surface treatment apparatus according to the ninth embodiment of the present invention, the tin plating removal treatment for the portion of the top ring groove 10 where the anodization treatment is performed, and the anodization treatment for the top ring groove 10 portion where the tin plating is removed, Then, the water washing process of the top ring groove 10 after the anodizing process is performed continuously, and the contents of this continuous process will be described with reference to FIG.
[0083]
(B) Tin plating removal process
In this process, among the on-off valves, the on-off valves 14a, 17a, 19a connected to the tank A are opened, and the other on-off valves 14b, 17b, 19b, 14c, 17c, 19c are all closed. By driving the pump 15a in the state, the tin plating removal liquid (sulfuric acid or nitric acid) accommodated in the tank A is supplied into the processing chamber 7 via the branch pipe 13a and the supply pipe 13, and then the discharge pipe 16 and This is returned to the tank A via the branch pipe 16a, and this tin plating removal liquid (sulfuric acid or nitric acid) is sprayed and supplied to the surface of the top ring groove 10 in the piston head P, so that an anodic oxidation treatment is scheduled. Only a limited predetermined range including the surface of the top ring groove 10 can be efficiently removed by tin plating.
[0084]
(B) Anodizing process
In this process, among the on-off valves, the on-off valves 14b, 17b, 19b connected to the tank B are opened, and the other on-off valves 14a, 17a, 19a, 14c, 17c, 19c are all closed. At the same time as the pump 15b is driven in this state, a direct current is applied to both the electrodes 8 and 9 from a DC power source so that the anodizing solution (sulfuric acid) contained in the tank B passes through the branch pipe 13b and the supply pipe 13. After being supplied into the processing chamber 7, it is returned to the tank B through the discharge pipe 16 and the branch pipe 16 b, and this anodizing solution (sulfuric acid) is added to the top ring groove 10 in the piston head P. By energizing in a state where the surface is jetted and supplied, only a limited predetermined range including the surface of the top ring groove 10 is efficiently anodized. Door can be.
[0085]
(C) Water washing process
In this process, among the on-off valves, the on-off valves 14c, 17c, 19c connected to the tank C are opened, and the other on-off valves 14a, 17a, 19a, 14b, 17b, 19b are all closed. By driving the pump 15c in the state, the water to be washed and stored in the tank C is supplied into the processing chamber 7 through the branch pipe 13c and the supply pipe 13, and then passes through the discharge pipe 16 and the branch pipe 16c. Thus, only the limited predetermined range including the surface of the top ring groove 10 can be efficiently washed with water.
In addition, you may make it add a water washing process between the said tin plating removal process and an anodizing process.
[0086]
As described above in detail, according to the ninth embodiment of the present invention, since a plurality of surface treatment steps can be performed continuously in one surface treatment apparatus, work efficiency can be improved. The effect of becoming is obtained.
In addition, since the electrodes 8 and 9 are provided, a plurality of surface treatment steps including a surface treatment requiring energization can be continuously performed in one surface treatment apparatus, so that work efficiency can be improved. The effect of becoming like this is acquired.
[0087]
Although the embodiments of the invention have been described with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to the embodiments of the invention, and the present invention can be applied even if there is a design change or the like without departing from the gist of the invention. include.
[0088]
For example, in the embodiment of the present invention, the piston head P is taken as an example of the object to be processed. Can do.
[0089]
In the first to eighth embodiments of the present invention, the case of performing the water washing treatment as the surface treatment is taken as an example. In addition to the surface treatment using water as the treatment fluid, for example, electroless nickel using phosphoric acid as the treatment fluid This can be applied to the case where plating is performed.
[0090]
In the ninth embodiment of the present invention, the electrodes 9 and 10 are provided. However, when the electroless nickel plating treatment and the subsequent water washing treatment are performed continuously, the electrodes need not be provided.
In the first to seventh embodiments of the present invention, the passage plates 3 and 30 may be formed of a conductor and the passage plates 3 and 30 may be energized.
[0091]
【The invention's effect】
  As described above, in the surface treatment method according to the first aspect of the present invention, in the accommodation hole of the accommodation container body.pistonA pair of upper and lower annular seal members provided on the inner peripheral surface of the receiving holeNear the upper and lower edges of the ring grooveWithout reducing work efficiencypistonOf the axial middle part of the outer peripheral surface ofUpper and lower opening edges including at least the inside of the ring grooveIt is possible to efficiently perform surface treatment only on the annular surface, thereby improving the processing capability.
[0092]
  Also,The passage plates that partition the annular gap in the vertical direction are arranged, and the flow paths for supplying and discharging the reaction fluid and the processing fluid are formed above and below the passage plates, respectively.As a result, the flow of the processing fluid is extremely smooth, and the processing fluid is efficiently circulated in a processing chamber having a narrow space as small as necessary according to the area of the annular processing portion. Is possible. further,pistonAnnular treatment part to be surface treatedIs the ring grooveOn the other hand, since the reaction fluid is supplied simultaneously and uniformly from the entire circumference, surface treatment can be performed uniformly in the circumferential direction.
  In addition, since the treatment is continuously performed while sequentially switching the reaction fluid and the treatment fluid, the anodizing treatment work and the subsequent treatment work can be carried out continuously in one surface treatment apparatus. , You will be able to increase the work efficiency.
The surface treatment method according to claim 2 can perform the anodic oxidation treatment and the water washing treatment in one surface treatment apparatus by carrying out a water washing treatment in which at least the surface in the ring groove of the piston is washed with water with the water washing treatment water. Thereby, work efficiency can be improved.
  In the surface treatment method according to the third aspect, by performing the water washing treatment after the anodizing treatment, the surface treatment method can be carried out continuously in one surface treatment apparatus, thereby improving the working efficiency.
  The surface treatment method according to claim 4 requires energization by performing the anodizing treatment after the tin plating removing treatment for removing at least the surface of the piston in the ring groove with the tin plating removing liquid. Since a plurality of surface treatment steps including the surface treatment to be performed can be continuously performed in one surface treatment apparatus, work efficiency can be improved.
  The surface treatment method according to claim 5 includes a plurality of surface treatment steps including a surface treatment that requires energization by continuously performing tin plating removal treatment, water washing treatment, anodizing treatment, and water washing treatment in this order. Can be performed continuously in one surface treatment apparatus, so that work efficiency can be improved.
[0093]
  Claim6The surface treatment method according to claim1The surface treatment method according to claim 1, wherein the treatment fluid is disposed below the passage plate.Flow path formed inViaIn the ring grooveAfter supplying toOf the passage plateUpwardFlow path formed inAs a result, the air mixed in the reaction fluid is efficiently discharged, and therefore, it is possible to prevent the occurrence of uneven reaction due to the mixed air.
[0097]
  The surface treatment apparatus according to claim 7,The reaction fluid is energized between the piston and the electrode, and at least the surface in the ring groove of the piston is anodized and treated with the treatment fluid.A surface treatment apparatus for performing a surface treatment,Retract the pistonYongDoHas a receiving holeEarnContainer bodyAnd near the upper and lower opening edges of the ring grooveAbut each and sealA pair of inner holes provided on the inner peripheral surfaceSeal memberAnd at least the upper and lower sealing members, the ring groove, and theInner peripheral surface of receiving holeAn annular gap opened between the upper and lower seal members, and the reaction fluid and theHolds processing fluidProcessingChamberWhen,The annular gap is arranged so as to partition in the vertical direction, and the reaction fluid and the processing fluid are supplied to the ring groove, and the supplied reaction fluid and the processing fluid are discharged from the ring groove. The anodizing treatment and the surface treatment by the treatment fluid are continuously performed by sequentially switching the reaction fluid and the treatment fluid, and a passage plate that forms a flow path for supplying and discharging the reaction fluid and the treatment fluid respectively. Switching supply means executable onWith a means equipped with a cylindrical or columnar shape without reducing work efficiencypistonOf the axial middle part of the outer peripheral surface ofUpper and lower opening edges including at least the inside of the ring grooveIt is possible to efficiently perform surface treatment only on the ring, thereby obtaining an effect that the processing capability can be improved.In addition, since the passage plate is arranged, the flow of the processing fluid in the processing chamber is extremely smooth, and the processing fluid is efficiently contained in the processing chamber in the narrow space necessary for the area of the annular processing portion. Therefore, the apparatus can be made compact. Further, by providing the switching supply means, the anodizing treatment work and the subsequent treatment work can be continuously performed in one surface treatment apparatus, thereby improving the working efficiency.
The surface treatment apparatus according to claim 8 can perform the anodic oxidation treatment and the water washing treatment in one surface treatment device by performing a water washing treatment in which at least the surface in the ring groove of the piston is washed with water. Thereby, work efficiency can be improved.
  In the surface treatment apparatus according to the ninth aspect, by performing the water washing treatment after the anodizing treatment, the surface treatment device can be continuously performed in one surface treatment device, thereby improving the working efficiency.
  The surface treatment apparatus according to claim 10 requires energization by performing the anodizing treatment after the tin plating removing treatment for removing at least the surface of the piston in the ring groove with the tin plating removing liquid. Since a plurality of surface treatment steps including the surface treatment to be performed can be continuously performed in one surface treatment apparatus, work efficiency can be improved.
  The surface treatment apparatus according to claim 11 is a plurality of surface treatment steps including a surface treatment that requires energization by performing the tin plating removal treatment, the water washing treatment, the anodizing treatment, and the water washing treatment in order. Can be performed continuously in one surface treatment apparatus, so that work efficiency can be improved.
[0098]
In addition, since the processing area in contact with the processing fluid can be reduced to a minimum, only a small amount of processing power is required, which reduces the heat generation of the processing fluid, further reduces the capacity of the processing chamber, and minimizes the processing fluid. Since the flow remains in the horizontal direction, the flow of the processing fluid in the processing chamber is also smooth, the flow velocity is increased, and the cooling efficiency is improved, whereby the processing efficiency can be increased. Therefore, the cost can be reduced.
[0099]
In addition, since the processing fluid can be efficiently circulated in the processing chamber having the minimum necessary space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact.
[0100]
  Claim12The surface treatment apparatus according to claim3In the surface treatment apparatus described,The flow paths formed above and below the passage plate are ring grooves.Therefore, the flow of the reaction fluid in the processing chamber is smooth and the flow velocity can be increased, thereby further improving the ability of the cooler to cool the reaction fluid. It becomes possible to set it low.
[0103]
  Claim13The surface treatment apparatus according to claim3 or 4In the surface treatment apparatus described inA supply passage formed in the housing container body for supplying the reaction fluid and the processing fluid into the processing chamber; and a discharge passage for discharging the reaction fluid and the processing fluid supplied into the processing chamber to the outside of the processing chamber;By adopting a means in which a discharge path that passes through a position higher than the discharge path is formed on the discharge path side, the air mixed in the reaction fluid is efficiently discharged, and therefore, uneven reaction due to the mixed air is prevented. Can be prevented.
[0105]
  Claim14The surface treatment apparatus according to claim3~5In the surface treatment apparatus according to any one of the above, the pair of upper and lower annular seal members are respectively disposed on shoulders having an L-shaped cross section formed in the container body, and each annular seal member is directed toward each shoulder. The inner diameter is reduced by pressing in the direction and compressingpistonBy providing a means for pressing each to the outer peripheral surface of thepistonCan be sealed with both annular seal members simply by operating the pressing means, and the work efficiency can be improved.
[0107]
  Claim15The surface treatment apparatus according to claim3 to 6In the surface treatment apparatus according to claim 1,pistonOne of the electrodes capable of conducting andprocessingBy providing the other electrode capable of conducting to the reaction fluid in the chamber, for example, anodization treatment with sulfuric acid under the condition of energization and subsequent water washing treatment can be performed in one surface treatment apparatus. In this way, the working efficiency can be increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a first embodiment of the invention.
FIG. 2 is a plan view of a passage plate in the surface treatment apparatus according to the first embodiment of the invention.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a second embodiment of the invention.
FIG. 5 is a plan view of a passage plate in the surface treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a bottom view of a passage plate in the surface treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG.
FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a third embodiment of the invention.
FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a fourth embodiment of the invention.
FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a fifth embodiment of the invention.
FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a sixth embodiment of the invention.
12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG.
13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII in FIG.
FIG. 14 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a seventh embodiment of the invention.
FIG. 15 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to an eighth embodiment of the present invention.
16 is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI in FIG.
FIG. 17 is a longitudinal sectional view showing a surface treatment apparatus according to a ninth embodiment of the invention.
FIG. 18 is a block diagram showing a surface treatment process in a surface treatment apparatus according to a ninth embodiment of the invention.
FIG. 19 is a longitudinal sectional view showing a conventional surface treatment apparatus.
[Explanation of symbols]
A tank
B tank
C tank
P Piston head
k border
I Supply passage
II Discharge passage
1 Container body
2 outer cylinder
3 passage plates
4 Annular seal member
5 Bottom component (lower component)
6a Lower peripheral wall component (lower component)
6b Upper peripheral wall component (upper structure)
7 Processing chamber
10 Top ring groove (surface treatment part)
11 Restriction part (supply passage side)
12 Restriction (discharge passage side)
13 Supply pipe
13a Branch pipe
13b Branch pipe
13c branch pipe
14a Open / close valve
14b Open / close valve
14c Open / close valve
15a pump
15b pump
15c pump
16 Discharge pipe
16a branch pipe
16b Branch pipe
16c branch pipe
17a Open / close valve
17b Open / close valve
17c Open / close valve
18 Drain pipe
18a branch pipe
18b Branch pipe
18c branch pipe
19a Open / close valve
19b Open / close valve
19c Open / close valve
21 Cylindrical peripheral wall
21a Supply hole (supply path)
21b Discharge hole (discharge path)
22 annular bottom
23 Annular top cover member
24 annular locking step
30 passage plate
30a Supply side groove
30b Discharge side groove
31 Body
32 Passage forming part
41 Press cylinder (pressing means)
42 Press ring (pressing means)
42a Annular taper surface
43 Pressing shaft (Pressing means)
44 Fixing member
51 depression
52 Discharge hole
61 Exterior member
61a Cylindrical part
61b Flange
61c Locking flange (shoulder)
61d annular step
61e outer space
62 Interior materials
62a Cylindrical part
62b Flange
62c outward flange
62d outer space
62e inner space
62f communication hole
63 Seal ring

Claims (15)

ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すと共に、処理流体により表面処理を施すための表面処理方法であって、
前記ピストンを収容する収容容器体の収容穴内に前記ピストンを収容し、
前記収容穴の内周面に有する一対のシール部材を前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接し、
少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体及び前記処理流体を保持流通する処理チャンバーを形成し、
前記環状隙間を上下方向に仕切る通路板を配置して、該通路板の上下にそれぞれ前記反応流体及び前記処理流体を供給・排出する流路を形成し、
前記反応流体及び前記処理流体を順次切り換えながら前記リング溝に供給し、該供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝から排出することで、陽極酸化処理及び表面処理を連続的に行うようにしたことを特徴とする表面処理方法。A surface treatment method for energizing a reaction fluid between a piston and an electrode, subjecting at least the surface in the ring groove of the piston to anodization , and performing a surface treatment with a treatment fluid ,
Receiving the piston in the receiving hole of the receiving container for storing the piston ;
A pair of sheet seal member having the inner peripheral surface of the front Symbol accommodating hole respectively in contact with the vicinity of upper and lower opening edge portion of the ring groove,
At least the upper and lower seal members, and the ring groove, consists of a open ended annular gap between said upper and lower sealing member in the inner peripheral surface of the receiving hole, processing for holding flowing through the reaction fluid and the process fluid to form a chamber,
A passage plate that partitions the annular gap in the vertical direction is disposed, and a flow path for supplying and discharging the reaction fluid and the processing fluid is formed above and below the passage plate, respectively.
The reaction fluid and the treatment fluid are sequentially switched to be supplied to the ring groove , and the supplied reaction fluid and the treatment fluid are discharged from the ring groove , thereby continuously performing anodizing treatment and surface treatment. A surface treatment method characterized by the above . 前記処理流体は水洗処理水であり、The treatment fluid is flush treated water,
前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理であることを特徴とする請求項１に記載の表面処理方法。2. The surface treatment method according to claim 1, wherein the surface treatment is a water washing treatment in which at least a surface in a ring groove of the piston is washed with the water to be washed. 前記陽極酸化処理の後に前記水洗処理を行うことを特徴とする請求項２に記載の表面処理方法。The surface treatment method according to claim 2, wherein the water washing treatment is performed after the anodizing treatment. 前記ピストンは表面にスズメッキが成されたピストンであり、The piston is a piston whose surface is tin-plated,
前記処理流体はスズメッキ除去液であり、The processing fluid is a tin plating removal solution,
前記表面処理は、前記スズメッキ除去液によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理であり、The surface treatment is a tin plating removal treatment for removing tin plating on the surface of at least the ring groove of the piston by the tin plating removal liquid,
前記陽極酸化処理は、前記スズメッキ除去処理を施した後に行われる処理であることを特徴とする請求項１に記載の表面処理方法。The surface treatment method according to claim 1, wherein the anodizing treatment is a treatment performed after the tin plating removal treatment. 前記処理流体は水洗処理水とスズメッキ除去液であり、The treatment fluid is washing water and a tin plating removal solution,
前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理と、前記スズメッキ除去処理とからなり、The surface treatment consists of a water washing treatment for washing at least the surface in the ring groove of the piston with the water for washing treatment, and the tin plating removal treatment,
前記スズメッキ除去処理、前記水洗処理、前記陽極酸化処理、前記水洗処理の順に連続的に行うようにしたことを特徴とする請求項４に記載の表面処理方法。The surface treatment method according to claim 4, wherein the tin plating removal treatment, the water washing treatment, the anodizing treatment, and the water washing treatment are sequentially performed in this order. 前記反応流体及び前記処理流体を前記通路板の下方に形成された流路を経由して前記リング溝内に供給した後、前記通路板の上方に形成された流路を経由して排出させるようにしたことを特徴とする請求項１ないし５いずれかに記載の表面処理方法。After supplying to the ring-groove via the flow path of the reactant fluid and the process fluid formed below the channel plate, so as to be discharged via the flow passage formed above the passage plate 6. The surface treatment method according to claim 1, wherein the surface treatment method is performed. ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すと共に、処理流体により表面処理を施すための表面処理装置であって、
前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、
前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、
少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体及び前記処理流体を保持流通する処理チャンバーと、
前記環状隙間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝に供給し、前記供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体及び前記処理流体を供給・排出する流路を形成する通路板と、
前記反応流体及び前記処理流体を順次切り換えることにより、前記陽極酸化処理及び前記処理流体による表面処理を連続的に実行可能な切換供給手段と、
を備えたことを特徴とする表面処理装置。A surface treatment apparatus for energizing a reaction fluid between a piston and an electrode, anodizing the surface of at least the ring groove of the piston, and performing a surface treatment with the treatment fluid ,
And Osamu volume container body that have a housing hole that yield volumes of the piston,
A pair of seal members provided on the inner peripheral surface of the accommodation hole, which respectively contact and seal near the upper and lower opening edge portions of the ring groove ;
A processing chamber comprising at least the upper and lower sealing members, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower sealing members on the inner peripheral surface of the accommodation hole, and holding and circulating the reaction fluid and the processing fluid And
The annular gap is arranged so as to partition in the vertical direction, and the reaction fluid and the processing fluid are supplied to the ring groove, and the reaction fluid and the processing fluid are discharged from the ring groove in an up and down direction. A passage plate for forming a flow path for supplying and discharging the reaction fluid and the processing fluid,
A switching supply means capable of continuously executing the surface treatment with the anodizing treatment and the treatment fluid by sequentially switching the reaction fluid and the treatment fluid;
A surface treatment apparatus comprising: 前記処理流体は水洗処理水であり、The treatment fluid is flush treated water,
前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理であることを特徴とする請求項７に記載の表面処理装置。The surface treatment apparatus according to claim 7, wherein the surface treatment is a washing treatment in which at least a surface of the piston in the ring groove is washed with the washing water. 前記切換供給手段は、前記反応流体を前記水洗処理水へ切り換える手段であることを特徴とする請求項８に記載の表面処理装置。The surface treatment apparatus according to claim 8, wherein the switching supply unit is a unit that switches the reaction fluid to the flushed water. 前記ピストンは表面にスズメッキが成されたピストンであり、The piston is a piston whose surface is tin-plated,
前記処理流体はスズメッキ除去液であり、The processing fluid is a tin plating removal solution,
前記表面処理は、前記スズメッキ除去液によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面のスズメッキを除去するスズメッキ除去処理であり、The surface treatment is a tin plating removal treatment for removing tin plating on the surface of at least the ring groove of the piston by the tin plating removal liquid,
前記切換供給手段は、前記スズメッキ除去液を前記反応流体へ切り換える手段であることを特徴とする請求項７に記載の表面処理装置。The surface treatment apparatus according to claim 7, wherein the switching supply unit is a unit that switches the tin plating removal liquid to the reaction fluid. 前記処理流体は水洗処理水とスズメッキ除去液であり、The treatment fluid is washing water and a tin plating removal solution,
前記表面処理は、前記水洗処理水によって前記ピストンの少なくともリング溝内の表面を水洗する水洗処理と、前記スズメッキ除去処理とからなり、The surface treatment consists of a water washing treatment for washing at least the surface in the ring groove of the piston with the water for washing treatment, and the tin plating removal treatment,
前記切換供給手段は、前記スズメッキ除去液を前記水洗処理水へ切り換え、該水洗処理水を前記反応流体へ切り換え、該反応流体を前記水洗処理水へ順次切り換える手段であることを特徴とする請求項１０に記載の表面処理装置。The switching supply means is means for switching the tin plating removal liquid to the rinse water, switching the rinse water to the reaction fluid, and sequentially switching the reaction fluid to the rinse water. 10. The surface treatment apparatus according to 10. 前記通路板の上下に形成された流路が前記リング溝と略同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載の表面処理装置。The surface treatment apparatus according to any one of claims 7 to 11, wherein flow paths formed above and below the passage plate are formed on substantially the same plane as the ring groove . 前記収容容器体に形成され、前記反応流体及び前記処理流体を前記処理チャンバー内に供給する供給通路と、前記処理チャンバー内に供給された前記反応流体及び前記処理流体を前記処理チャンバー外に排出する排出通路とを有し、
前記排出通路側には該排出通路より高い位置を経由する排出路が形成されていることを特徴とする請求項７〜１２のいずれかに記載の表面処理装置。 A supply passage formed in the storage container body for supplying the reaction fluid and the processing fluid into the processing chamber, and discharging the reaction fluid and the processing fluid supplied into the processing chamber to the outside of the processing chamber. A discharge passage,
The surface treatment apparatus according to claim 7 , wherein a discharge path that passes through a position higher than the discharge path is formed on the discharge path side. 前記各シール部材がそれぞれ前記収容容器体に形成された断面Ｌ字状の肩部に配置され、前記各環状シール部材を前記各肩部に向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径を縮径させて前記ピストンの外周面にそれぞれ当接させる押圧手段を備えていることを特徴とする請求項７〜１３のいずれかに記載の表面処理装置。 By the each sheet seal member disposed in said container body having an L-shaped cross section of the shoulder formed on each compressed to press axially towards the respective annular sealing member to the respective shoulder portions The surface treatment apparatus according to any one of claims 7 to 13 , further comprising pressing means for reducing an inner diameter of the piston and bringing it into contact with an outer peripheral surface of the piston . 前記ピストンに導電可能な一方の電極と前記処理チャンバー内の反応流体及び処理流体に導電可能なもう一方の電極とを備えていることを特徴とする請求項７〜１４いずれかに記載の表面処理装置。The surface treatment according to claim 7 , further comprising: one electrode that can conduct electricity to the piston , and another electrode that can conduct electricity to the reaction fluid and the treatment fluid in the treatment chamber. apparatus.
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