JP3921072B2 - Anodizing method and apparatus - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関のピストンヘッド等の金属製品（金属製被処理体）の軸方向中間部における限られた所定範囲の環状外周面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、被処理体表面の限られた範囲のみに陽極酸化処理を行なうようにした装置としては、例えば、特開平９−２１７２００号公報に記載されているようなものが知られている。
この従来例の陽極酸化処理装置は、図９に示すように、電解液（反応流体）循環回路の一部を形成する有底円筒状のジャケット槽１０１の上端開口部に中央穴を有する環状蓋体１０２が装着され、この環状蓋体１０２の中央穴には下端開口縁部に内向き環状係止段部を備えた円筒状のマスクソケット１０３が装着され、環状係止段部には、マスクソケット１０３内に収容したピストンヘッド（被処理体）１０４の底面（ヘッド）外周部に当接して陽極酸化処理を施す部分を画成シールするＯリングパッキン１０５が設けられ、前記ジャケット槽１０１内に備えた電解槽１０６内には、前記ピストンヘッド１０４の陽極酸化処理部分に向けて電解液（反応流体）を吐出供給する噴射装置１０７が備えられ、また、前記電解槽１０６の上端部に電解液（反応流体）に接する陰極（電極）１０８が設けられる一方、ピストンヘッド１０４に接する陽極（電極）１０９が設けられた構造となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来例の陽極酸化処理装置は、上述のように、Ｏリングパッキン１０５が被処理体を構成するピストンヘッド１０４の底面（ヘッド）側に当接する構造であっため、筒状もしくは柱状被処理体の端面、すなわち外表面の一部にだけ陽極酸化処理を施す装置である。
しかしながら、被処理体の一部のみを陽極酸化処理するにも拘らず被処理面に接した電解液の新旧ぶつかり合うことのない一方向のみの流通、早い流速、陽極とのスパークなしに陰極をできるだけ陽極側に近づけるなどの対策がなく、通電量や反応流体を多くしないといつでも安定した酸化皮膜が得られないという問題がある。
【０００４】
本発明は、上述の従来の問題点に着目してなされたもので、作業効率を低下させることなしに柱状もしくは筒状の被処理体の外周面における軸方向中間部分の所定範囲のみを能率的に環状に陽極酸化処理することを可能として常に安定した酸化皮膜を経済的に得ることができる陽極酸化処理方法および装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明請求項１記載の陽極酸化処理方法は、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理方法であって、収容容器体の収容穴内に前記ピストンを収容し、前記収容穴の内周面に有する一対のシール部材を前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接し、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーを形成し、絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切る通路形成部を有する通路板を配置して、前記通路形成部の下方にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成し、前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切る本体部を配置して、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを形成し、前記本体部に前記電極を設け、前記反応流体を前記小流路を経由して前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記小流路を経由して排出しながら、陽極酸化処理を行うこととした。
請求項２記載の陽極酸化処理方法は、請求項１に記載の陽極酸化処理方法において、前記反応流体を前記通路形成部の下方に形成された小流路を経由して前記リング溝内に供給した後、前記通路形成部の上方に形成された小流路を経由して排出させるようにした。
請求項３記載の陽極酸化処理方法は、請求項１又は２に記載の陽極酸化処理方法において、前記電極を環状に形成し、前記環状隙間の回りに配置させたこととした。
【０００６】
請求項４記載の陽極酸化処理装置は、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理装置であって、前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーと、絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切ることにより、前記反応流体を前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成する通路形成部を有する通路板と、前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを上下にそれぞれ形成する本体部と、
を備え、前記本体部に前記電極が設けられている手段とした。
【０００７】
請求項５記載の陽極酸化処理装置は、請求項３に記載の陽極酸化処理装置において、前記電極が、前記環状隙間を囲繞する大きさの環状に形成され、前記通路板と同軸に配置されていることとした。
【０００８】
請求項６記載の陽極酸化処理装置は、請求項４又は５に記載の陽極酸化処理装置において、前記ピストンの径方向で、前記リング溝と前記電極との間に、絶縁体で形成された目隠し部材が配置されていることとした。
【０００９】
請求項７記載の陽極酸化処理装置は、請求項４〜６のいずれかに記載の陽極酸化処理装置において、前記電極の表面が前記本体部の上下いずれかの表面において露出するように、前記電極が前記本体部に埋め込み一体化されていることとした。
請求項８記載の陽極酸化処理装置は、請求項７に記載の陽極酸化装置において、前記ピストンの径方向で、前記リング溝と前記電極との間に、絶縁体で形成された目隠し部材が配置され、前記本体部の上下方向厚みが前記通路形成部よりも厚く形成され、前記本体部には、該本体部外周と前記通路形成部とを結合するとともに、前記通路形成部に向かうほど上下方向厚みが薄くなる傾斜面部が形成され、該傾斜面部が前記目隠し部材を構成していることとした。
請求項９に記載の陽極酸化処理装置は、請求項４〜８のいずれかに記載の陽極酸化処理装置において、前記電極に通電するための導電体が、前記供給通路および前記排出通路の外から前記電極に接触し、前記反応流体と接しないこととした。
請求項１０記載の陽極酸化処理装置は、請求項４〜９のいずれかに記載の陽極酸化処理装置において、前記収容容器体の少なくとも前記収容穴を形成する部材が、前記環状隙間を境に上下に分割可能な上側構成部材と下側構成部材とで構成され、前記上側構成部材は、第１内側円筒部と、該第１内側円筒部よりも大径の第１外側円筒部と、を有し、前記下側構成部材は、前記第１内側円筒部と同径の第２内側円筒部と、前記第１外側円筒部と同径の第２外側円筒部と、を有し、前記収容穴内周面を構成する前記第１および第２内側円筒部の内周面に、前記上下一対のシール部材の一方がそれぞれ配置され、前記第１内側円筒部の下端面と前記第２内側円筒部の上端面との間に、前記環状隙間が形成されるとともに、前記第１外側円筒部の下端面と前記第２外側円筒部の上端面との間に、前記本体部が挟持されることにより、前記本体部の下方に前記供給通路または前記排出通路の一方が形成され、前記本体部の上方に前記供給通路または前記排出通路の他方が形成されていることとした。
請求項１１記載の陽極酸化処理装置は、請求項１０に記載の陽極酸化処理装置において、前記本体部を挟持するフランジ部が、前記第１外側円筒部の下端面および前記第２外側円筒部の上端面にそれぞれ形成されていることとした。
請求項１２記載の陽極酸化処理装置は、請求項１１に記載の陽極酸化処理装置において、前記本体部の上下両面のうち前記埋め込まれた電極が露出する面に押接する前記フランジ部の面に複数の溝が設けられ、前記両フランジ部により前記本体部が挟持された状態で、前記複数の溝が前記供給通路または前記排出通路と連通することにより、前記埋め込まれた電極の表面と前記供給通路または前記排出通路とが導通することとした。
請求項１３記載の陽極酸化処理装置は、請求項１２に記載の陽極酸化処理装置において、前記複数の溝は放射状に設けられていることとした。
請求項１４記載の陽極酸化処理装置は、請求項１２または１３に記載の陽極酸化処理装置において、前記複数の溝は、該複数の溝が設けられた前記フランジ部の内周側で、前記供給通路または前記排出通路と連通することとした。
請求項１５記載の陽極酸化処理装置は、請求項１０に記載の陽極酸化処理装置において、前記第１および第２外側円筒部により前記本体部が挟持された状態で、前記露出した電極の表面の内周側が、前記第１外側円筒部の下端面または前記第２外側円筒部の上端面により覆われて前記供給通路または前記排出通路との導通が遮断されるとともに、前記露出した電極の表面の外周側が、前記第１外側円筒部の下端面または前記第２外側円筒部の上端面により覆われることなく前記供給通路または前記排出通路と導通することとした。
請求項１６記載の陽極酸化処理装置は、請求項１１に記載の陽極酸化処理装置において、前記両フランジ部により前記本体部が挟持された状態で、前記露出した電極の表面の内周側が前記第１または第２外側円筒部の前記フランジ部によって覆われるとともに、前記露出した電極の表面の外周側が前記第１または第２外側円筒部の前記フランジ部によって覆われることなく前記供給通路または前記排出通路と導通することとした。
請求項１７記載の陽極酸化処理装置は、請求項１０〜１６のいずれかに記載の陽極酸化 処理装置において、前記上側および下側構成部材を収装する外筒部材が設けられ、該外筒部材の内周面に、前記供給通路に前記反応流体を供給する供給穴と、前記排出通路から前記反応流体を排出する排出穴と、がそれぞれ１つずつ開設され、前記第１および第２外側円筒部に、該第１および第２外側円筒部の内周側と外周側とを連通する連通穴が開設され、前記第１および第２外側円筒部が前記外筒部材の内周面に嵌め合うように装着されていることとした。
【００１０】
【作用】
この発明請求項１に記載の陽極酸化処理方法では、上述のように、収容容器体の収容穴内にピストンを収容した状態で収容穴内周面に備えた上下一対の環状シール部材をピストンの外周面における陽極酸化処理を施すべき環状処理部分を決定する両境界線付近の外周面にそれぞれ当接させてシールするようにしたことにより、作業効率を低下させることなしにリング溝を含む所定範囲のみを効率的に環状に陽極酸化処理することが可能となる。また、両環状シール部材相互間におけるピストンの外周面と収容容器体における収容穴の内周面との間に反応流体を保持流通させる環状の反応チャンバーを形成し、反応チャンバー内に反応流体を導入して排出側に導く環状の通路形成部を有する通路板を絶縁体で形成し、該絶縁体からなる通路形成部を陽極となるピストンと反応流体と通電し陰極となる電極の間に配置させるようにしたことにより、反応流体と通電する電極を陽極となるピストンとの間でスパークさせることなくできるだけ反応チャンバーに近づけることができる。また、絶縁体による通路形成部を反応チャンバーで被処理体に接近して臨ませ反応流体を一方向のみに流して少ない流量でも常に新鮮な反応流体のみをピストン表面に接触させ、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
【００１１】
この発明請求項２に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように、通路形成部の下方に形成された小流路を経由して通路形成部の上方に形成された小流路から排出させるため、反応流体内に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができる。
請求項３に記載の発明では、環状隙間の周りに電極を配置させたことで、絶縁体である通路形成部の存在によりピストンとの間でスパークさせることなくピストンの全周に亘って電極を均等に近づけ、通電量を少なくして常に安定した酸化被膜を形成することができる。
【００１２】
この発明請求項４に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成されるため、収容容器体の上方からピストンを収容穴内に収容すると、収容容器体の底部に当接して支持されると共に、収容穴の軸方向中間部内周面に設けられた上下一対の環状シール部材がピストンにおける陽極酸化処理を施すべき環状処理部分を決定する両境界線部分の外周面に当接してシールした状態となる。これにより、前記一対の環状シール部材相互間におけるピストンの環状外周面と前記収容容器体における収容穴の内周面との間に反応流体を保持流通させる環状の反応チャンバーが形成された状態となり、通路形成部はその内周面側をこの反応チャンバーに臨ませて反応流体の導入と排出を行なわせる。従って、作業効率を低下させることなしに筒状もしくは柱状のピストンの外周面における軸方向中間部分の所定範囲のみを効率的に環状に陽極酸化処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになる。また、絶縁体による通路形成部を狭い反応チャンバーに臨ませ反応流体を一方向のみに流して少ない流量でも常に新鮮な反応流体のみをピストン表面に接触させ、かつ反応流体と通電する電極をピストンとスパークさせることなくできるだけ反応チャンバーに近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
【００１３】
請求項５に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように、反応流体と通電するための電極が反応チャンバーを囲繞する大きさの環状に形成されて通路板と同軸に配置されている手段としたため、絶縁体による通路形成部でピストンとのスパークを避け得る範囲で反応チャンバーを囲繞するように近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
請求項６に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように目隠し部材が配置されていることで、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。また、電極間距離を短くすることにより、装置のコンパクト化を図ることができる。
【００１４】
請求項７記載の陽極酸化処理装置では、上述のように、環状に形成された通路板表面に、この通路板に対し内径を大きく外径を同一にし厚みを薄くして形成された電極が同心上で一表面同士を同一にして埋め込み一体化されているため、反応チャンバー内の被処理体に対向する電極の内周面やこの内周面と上下面との端縁で形成される放電し易い角が被処理体に対し絶縁体の通路板によって目隠しされるため、極力電極を被処理体に近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
請求項８記載の陽極酸化処理装置では、上述のように目隠し部材が構成されていることで、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。また、電極間距離を短くすることにより、装置のコンパクト化を図ることができる。
請求項９記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、反応流体による接点部分の腐食を防止することができる。
請求項１０記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、各構成部材を上下方向に積み上げることで供給流路及び排出流路とそれぞれ連通する反応チャンバーを備えた収容容器体を容易に構成することができるため、装置製造時における組付性を向上させることができる。
請求項１１記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、装置製造時における組付性を向上させることができる。
請求項１２，１３，１４記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、反応チャンバー内の反応流体と電極とを完全な導通状態とすることができる。
請求項１５記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、電極がピストンに対し完全に目隠し状態となるため、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。
請求項１６記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、部品形状を簡略化しコストを低減化できるようになる。
請求項１７記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、部品形状を簡略化しコストを低減化できるようになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を説明する。
（発明の実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１の陽極酸化処理方法を図１〜４に示す陽極酸化置に基づいて説明する。なお、この発明の実施の形態１では、ピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に陽極酸化処理を行う場合について説明する。図１は本発明の実施の形態１の陽極酸化処理方法で用いられる陽極酸化処理装置を示す縦断面図であり、この図において、１は収容容器体、２は外筒、３は通路板、３４は陰極（反応流体に通電する電極）、４、４は環状シール部材、Ｐはピストンヘッド（金属製被処理体）を示す。
【００１６】
前記収容容器体１は、前記ピストンヘッドＰを上下逆さまの状態で上方から収容可能な収容穴を有する有底円筒状の容器を構成するもので、底部構成部材５と、下部周壁構成部材６ａ、上部周壁構成部材６ｂとで構成されている。
【００１７】
前記外筒２は、円筒状周壁部２１の下端開口縁部内周に環状底部２２が形成され、上端開口部には別部材の環状上蓋部材２３が装着されることにより、内周に前記下部周壁構成部材６ａおよび上部周壁構成部材６ｂ等を組み付けるための環状溝を有する断面コ字状に形成されている。
【００１８】
前記底部構成部材５は、収容容器体１における収容穴の底部を構成するもので、ピストンヘッドＰの外径と同一外径を有する略円柱状に形成されていて、その下端外周部を外筒２における環状底部２２の軸心穴内周部に装着係止させた状態で組み付けられている。
【００１９】
前記下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂはそれぞれ外装部材６１と内装部材６２の２部材で構成されている。
即ち、前記外装部材６１は、下部周壁構成部材６ａ側の組み付け状態で説明すると、円筒部６１ａの下端部に外向に突出するフランジ部６１ｂを備えると共に、円筒部６１ａの上端部内側には前記環状シール部材４を位置決め支持するための小幅な係止フランジ６１ｃが内向き環状に突出形成された構造となっている。そして、この下部周壁構成部材６ａ側の外装部材６１は、外筒２における環状底部２２の上部に形成された環状係止段部２４に外向フランジ部６１ｂの外周部を係止させた状態で外筒２の環状溝内下部に組み付けられている。
【００２０】
前記外装部材６１と底部構成部材５との間に、前記下側の環状シール部材４を押圧する押圧筒４１が上下摺動自在な状態で組み込まれている。また、外筒２における環状底部２２と外装部材６１におけるフランジ部６１ｂとの間に前記２つ割り状の押圧環４２が径方向摺動可能な状態で組み込まれている。この押圧環４２はその上端内周縁部に形成された環状テーパ面４２ａを押圧筒４１の下端外周縁部に当接させると共に、外筒２の円筒状周壁部２１を貫通して摺動自在に組み込まれた複数の押圧軸４３により押圧摺動可能に構成されている。
【００２１】
前記内装部材６２は、同じく下部周壁構成部材６ａ側の組み付け状態で説明すると、円筒部６２ａの下端部に内向きフランジ部６２ｂを備え、また、円筒部６２ａの上端部には外向フランジ部６２ｃをそれぞれ備えることにより前記円筒部６２ａと円筒状周壁部２１との間に外側空間６２ｄが形成されると共に円筒部６２ａと外装部材６１の内壁との間に内側空間６２ｅが形成され、かつ前記円筒部６２ａには前記外側空間６２ｄと内側空間６２ｅとの間を連通する複数の連通穴６２ｆが形成された構造となっている。
【００２２】
次に、前記上部周壁構成部材６ｂを構成する外装部材６１は、前記下部周壁構成部材６ａを構成する外装部材６１と同一形状のものが用いられている。
また、内装部材６２は下部周壁構成部材６ａの内装部材６２の形状を主体としているが、更に外向フランジ６２ｃのフランジ面に複数の溝６２ｇが放射状に刻設されており、下部周壁構成部材６ａの上部に上下逆向きの状態で組み付けられる。なお、その組み付けに際しては、下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂの両内装部材６２、６２の両外向フランジ部６２ｃ、６２ｃ相互間に後述する通路板３を挟持させた状態で組み付けられる。
そして、この組み付け状態において、下部周壁構成部材６ａと上部周壁構成部材６ｂの両係止フランジ６１ｃ、６１ｃ側端面相互間に反応チャンバー７を構成する環状隙間が形成されるように通路板３と各外装部材６１および各内装部材６２の軸方向寸法設定がなされている。なお、図において符号６３、６３は、外筒２と外装部材６１、６１との間をシールするシールリングを示す。
【００２３】
前記通路板３は図２、図３にも示すように環状に形成され、前記外向フランジ部６２ｃと同じ幅を有してこの外向フランジ部６２ｃ、６２ｃ相互間に挟持される平坦部分を設けて本体部３１とし、またその内周面側に、小径になる程厚みが薄くなるように形成された傾斜面部３１ａを介して通路形成部３２が絶縁体で一体に形成されている。この通路形成部３２は、内径が前記反応チャンバー７を構成する環状隙間に臨む大きさに形成されると共に、厚さがこの環状隙間の幅より肉薄となるように形成されている。
更に、前記本体部３１の上面側には上面と外周面のみが露出するようにリング状の陰極（反応流体に通電するための電極）３４が埋設された構造となっている。この陰極３４は本体部３１の約半分の厚みを有しており、その内周面３４ａ、およびこの内周面３４ａの上縁と上面３４ｂの内側端縁とで形成される角３４ｃは前記通路形成部３２側から見て、傾斜面部３１ａの最大径部で目隠しされた形状となっている。
そして、通路板３は、前記本体部３１を両外向フランジ部６２ｃ、６２ｃ相互間で挟持して装置内に配置されるとき、前記通路形成部３２の先端部が環状隙間に対し上下の隙間が同一となり、また、この状態で図４にも示すように、前記陰極３４の上面３４ｂが、前記上側配置の外向フランジ６２ｃのフランジ面に刻設した溝６２ｇと内側空間６２ｅを介して前記反応チャンバー７に連通した状態となる。
【００２４】
前記上部周壁構成部材６ｂを構成する外装部材６１の内周側には、前記同様に、押圧筒４１が上下摺動自在な状態で組み込まれ、この場合、上側の環状シール部材４を押圧するようになっている。
また、環状上蓋部材２３と外装部材６１におけるフランジ部６１ｂとの間に前記２つ割り状の押圧環４２が径方向摺動可能な状態で組み込まれている。この押圧環４２はその下端内周縁部に形成された環状テーパ面４２ａを押圧筒４１の上端外周縁部に当接させると共に、外筒２の円筒状周壁部２１を貫通して摺動自在に組み込まれた複数の押圧軸４３により押圧摺動可能に構成されている。
【００２５】
次に、反応流体の通路構成を説明する。
前記外筒２の円筒状周壁部２１には、下部周壁構成部材６ａ側の外側空間６２ｄと連通する反応流体の供給穴２１ａが形成され、また、上部周壁構成部材６ｂ側の外側空間６２ｄと連通する反応流体の排出穴２１ｂが形成されている。
【００２６】
即ち、前記下部周壁構成部材６ａにおける外側空間６２ｄと連通穴６２ｆと内側空間６２ｅとで、反応流体が供給される供給穴２１ａと反応チャンバー７との間を連通する供給通路Ｉが形成され、また、上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅと連通穴６２ｆと外側空間６２ｄとで、反応チャンバー７と反応流体が排出される排出穴２１ｂとの間を連通する排出通路IIが形成されている。
【００２７】
即ち、前記下部周壁構成部材６ａにおける外側空間６２ｄと連通穴６２ｆと内側空間６２ｅとで、反応流体が供給される供給穴２１ａと反応チャンバー７との間を連通する供給通路Ｉが形成され、また、上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅと連通穴６２ｆと外側空間６２ｄとで、反応チャンバー７と反応流体が排出される排出穴２１ｂとの間を連通する排出通路IIが形成されている。
反応流体の通路構成は上述のようになっており、供給通路Ｉからの反応流体は通路板３における薄肉の通路形成部３２を介して反応チャンバー７内に達した後、後述する反応チャンバー７内のトップリング溝１０に接触してから供給通路IIに至る。この供給通路IIでは、外向フランジ６２ｃによる通路板３の本体部３１挟持部分において、反応流体は溝６２ｇから浸入して陰極３４の表面を浸しており、従って、反応チャンバー７内の反応流体は、前記陰極３４と完全な導通状態となっている。
【００２８】
また、陽極酸化を行なうピストンヘッドＰは、収容容器体１の収容穴内に上下逆さまの状態で上方から収容され、その底面（ヘッド）が底部構成部材５の上面に形成された窪部５１に当接して位置決めされた状態となる。この時、ピストンヘッドＰのトップリング溝１０が前記反応チャンバー７を構成する環状隙間と一致すると共に、上下一対の環状シール部材４、４がピストンヘッドＰの外周面でトップリング溝１０の上下両開口縁部付近（陽極酸化処理を施すべき処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分）に位置するように、各構成部材の寸法設定がなされている。
【００２９】
また、収容容器体１において、前記通路板３における陰極３４の外周面３４ｄが位置する外筒２の円筒状周壁部２１には貫通穴２１ｃが形成され、この貫通穴２１ｃには、押圧筒２５により押圧状態でシールリング２６が装着され、このシールリング２６により貫通穴２１ｃ方向への反応流体の漏洩が防止された状態となっている。そして、前記円筒状周壁部２１の外部から押圧筒２５の軸心穴内に挿入した導電棒３３の先端を、前記陰極３４の外周面３４ｄに当接させている。即ち、導電棒３３は、前記反応流体に接する陰極側に通電するために、前記反応流体と接しない反応チャンバー７および流路外において陰極３４の外周面側に接触させるようになっている。尚、前記押圧筒２５は、外筒２に螺合固定されたねじ筒２５ａに対し螺合された袋ナット状の締結ねじ２５ｂにより、押圧固定されるようになっている。
【００３０】
また、前記底部構成部材５の上面に形成された窪部５１の中央部には、ピストンヘッドＰの脱却時に反応チャンバー７から窪部５１内に漏洩する反応流体を排出させる排出穴５２が形成されている。
なお、金属製被処理体に充電する陽極８は、収容容器体１の収容穴内に収容された状態で金属製被処理体を構成するピストンヘッドＰに当接可能な状態に設けられている。
【００３１】
次に、この発明の実施の形態１の作用・効果を説明する。
この発明の実施の形態１の陽極酸化処理装置では、上述のように構成されるため、収容容器体１の収容穴内に金属製被処理体を構成するピストンヘッドＰを収容した状態で、各押圧軸４３、４３により２つ割り状に形成された上下各押圧環４２、４２を内部方向にそれぞれ押圧摺動させると、上下各押圧環４２、４２に形成された環状テーパ面４２ａ、４２ａが上下各押圧筒４１、４１の外周縁部に当接して軸方向に押圧摺動させ、上下各環状シール部材４、４をそれぞれ係止フランジ部６１ｃ、６１ｃに向けて軸方向に押圧して圧縮することによりその内径が縮径される。
このようにして、上下一対の環状シール部材４、４がピストンヘッドＰにおける陽極酸化処理を施すべき処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分の外周面にそれぞれ当接してシールした状態となり、これにより、上下一対の環状シール部材４、４相互間におけるトップリング溝１０の表面を含むピストンヘッドＰの環状外周面と収容容器体１における収容穴の内周面側との間に反応流体を保持流通させる環状の反応チャンバー７が形成された状態となる。
【００３２】
そこで、図示を省略したポンプを駆動させると、ポンプから吐出された反応流体は、供給穴２１ａから供給通路Ｉ（下部周壁構成部材６ａにおける外側空間６２ｄ→連通穴６２ｆ→内側空間６２ｅ）を経由して、反応チャンバー７に供給され、この反応チャンバー７内では、通路板３における通路形成部３２の下面側を経由してピストンヘッドＰにおけるトップリング溝１０の表面に向けて噴射供給された後、通路形成部３２の上面側および排出通路II（上部周壁構成部材６ｂにおける内側空間６２ｅ→連通穴６２ｆ→外側空間６２ｄ）を経由し、排出穴２１ｂから収容容器体１の外部に排出される。
【００３３】
そして、この状態で反応流体に接する通路板３側の陰極３４と金属製被処理体を構成するピストンヘッドＰに当接された陽極８に、ＤＣ電源から直流電流を通電することにより、トップリング溝１０→反応チャンバー７内の反応流体→内側空間６２ｅ内の反応流体→溝６２ｇ内の反応流体→陰極３４のように電流が流れ、この内の反応流体に接している金属部分、つまりトップリング溝１０の表面を含む限られた所定範囲のみを環状に陽極酸化処理することができる。
【００３４】
以上のように、ピストンヘッドＰを収容容器体１の収容穴に収容した後、各押圧軸４３、４３を押圧操作するだけで、上下一対の環状シール部材４、４によりピストンヘッドＰにおける陽極酸化処理を施すべき環状処理部分を決定する両境界線ｋ、ｋ部分の外周面に当接してシールすることができるため、作業効率を低下させることなしにピストンヘッドＰの外周面における軸方向中間部分に存在するトップリング溝１０を含む限られた所定範囲のみを効率的に環状に陽極酸化処理することが可能となり、これにより、処理能力の向上が図れるようになるという効果が得られる。
【００３５】
通路板３の通路形成部３２を反応チャンバー７内に配置させ、ピストンヘッドＰにおける陽極酸化処理を施すべき環状処理部分に反応流体を供給する供給通路Ｉの終端と該供給された反応流体を排出する排出通路IIの始端とを反応チャンバー７内を上下方向に仕切って反応流体が淀まないように形成したことで、反応チャンバー７内における反応流体の流れが極めてスムーズであると共に、反応流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの反応チャンバー７内で効率的に循環させることになるため、装置のコンパクト化が可能となる。
また、その通路形成部３２を含め通路板３を絶縁体で形成し、陰極３４は通路板３の本体部３１表面に埋設したので、陽極となる前記トップリング溝１０に対向する陰極３４の内周面３４ａと角３４ｃはこのトップリング溝１０に対し目隠しされた状態となり、トップリング溝１０と陰極３４との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。
また、電極間距離を短くすることにより、装置のコンパクト化を図ることができる。
【００３６】
また、上下一対の環状シール部材４、４により反応流体が接する処理面積を最小限度に狭くできるため、小さな処理電力ですみ、これにより、反応流体の発熱も小さくなり、しかも、反応チャンバーの容量も最小限度に小さくなり、かつ反応流体の流れが水平方向のままであるため、反応チャンバー内における反応流体の流れもスムーズで流速が速くなって冷却効率がよくなり、これにより、反応流体を冷却する冷却機の能力を低く設定することができる。従って、コストを低減化させることができるようになる。
【００３７】
また、反応流体を環状処理部分の面積に応じた必要最小限度の狭いスペースの反応チャンバー内で効率的に循環させることができるため、装置のコンパクト化が可能となる。
また、上述のように、反応流体が接する処理面積を最小限度に狭くできることから、陽極酸化皮膜に吸着するＨＣ等の有害な排気ガスの量を低減させることができるようになる。
【００３８】
また、被処理体における陽極酸化処理を施すべき環状処理部分に対してその全周から同時にかつ均一に反応流体が供給されるため、円周方向において均一に陽極酸化処理することができるようになる。
また、上述のように、排出通路II側には該排出通路IIより高い位置を経由する排出穴（排出路）２１ｂが形成されているため、反応流体内に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができるようになる。
【００３９】
また、反応流体に接する陰極３４に通電するための導電棒（導電体）３３が反応流体と接しない反応チャンバー７外において陰極３４に接触させた構成としたことで、反応流体による接点部分の腐食を防止することができるようになる。
【００４０】
また、収容容器体１の少なくとも収容穴を形成する部分がピストンヘッドＰにおける陽極酸化処理を施すべき環状処理部分（トップリング溝１０部分）を境にして上下に分割可能な上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａと底部構成部材５で構成され、該上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａに上下一対の各環状シール部材４、４の一方がそれぞれ配置され、上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａとの付き合わせ面相互間に反応流体に接する方の電極を備えた通路板３が挟持状態で配置され、上部周壁構成部材６ｂと下部周壁構成部材６ａと通路板３とピストンヘッドＰにおける陽極酸化処理を施すべき環状処理部分（トップリング溝１０部分）との間に反応チャンバー７が形成され、下部周壁構成部材６ａに反応チャンバー７と連通する供給通路Ｉが形成され、上部周壁構成部材６ｂに反応チャンバー７と連通する排出通路IIが形成された構成としたことで、以上の各構成部材を上下方向に積み上げることで供給流路Ｉおよび排出流路IIとそれぞれ連通する反応チャンバー７を備えた収容容器体１を容易に構成することができるため、装置製造時における組付性を向上させることができるようになる。
【００４１】
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。なお、この他の発明の実施の形態の説明にあたっては、前記発明の実施の形態１と同様の構成部分には同一の符号を付してその説明を省略し、相違点についてのみ説明する。
【００４２】
（発明の実施の形態２）
図５は、発明の実施の形態２の陽極酸化処理方法で用いられる陽極酸化処理装置を示す縦断面図である。
この発明の実施の形態２における陽極酸化処理装置は、通路板３を挟持する内装部材６２−１の構成が、前記発明の実施の形態１における内装部材６２とは相違したものである。
【００４３】
即ち、この発明の実施の形態２の内装部材６２−１は、陰極３４を反応チャンバー７に連通させるための溝６２ｇを省略し、その代わりに外向フランジ６２ｃの外径を小さくして陰極３４の表面を外側空間６２ｄ側で露出させた構造となっている。
【００４４】
この発明の実施の形態２では、上述のように構成されるため、陰極３４はその表面が露出した外側空間６２ｄ→連通穴６２ｆ→内側空間６２ｅ→反応チャンバー７→トップリング溝１０の順に反応流体で連通しているから、陽極となるトップリング溝１０側から電流を陰極３４まで流し、トップリング溝１０の酸化反応を行なわせることができる。尚、円筒部６２ａを厚くした場合は前記外向フランジ６２ｃを省略することもできる。
【００４５】
この発明の実施の形態２の陽極酸化処理装置では、上述のように構成されるため、前記発明の実施の形態１とほぼ同様の効果が得られる他、陰極３４が内装部材６２−１の円筒部６２ａによって陽極となるトップリング溝１０に対し完全に目隠し状態となるため、トップリング溝１０と陰極３４との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。
【００４６】
（発明の実施の形態３）
図６は、発明の実施の形態３の陽極酸化処理方法で用いられる陽極酸化処理装置を示す縦断面図であり、この図に示すように、この発明の実施の形態３における陽極酸化処理装置は、前記発明の実施の形態２とほぼ同様であるが、内装部材６２−２がストレートの円筒状に形成され、円筒状周壁部２１の内壁側に嵌め合うように装着されることにより、内部には内側空間６２ｅのみが形成される。そして、通路板３は本体部３１を内装部材６２−２の円筒部端面のみで挟持され、陰極３４は前記内側空間６２ｅに露出した構成となっている。また、連通穴６２ｆは、外側空間がないため供給穴２１ａ、または排出穴２１ｂに連通するだけで良いので、１カ所のみが開設されている。
従って、この発明の実施の形態３では、前記発明の実施の形態２とほぼ同様の効果が得られると共に、部品形状を簡略化しコストを低減化できるようになる。
【００４７】
（発明の実施の形態４）
図７は、発明の実施の形態４の陽極酸化処理方法で用いられる陽極酸化処理装置の通路板３０を示す平面図、図８は同図のＣ−Ｃ線による断面図であり、この図に示すように、この発明の実施の形態４における通路板３０は、前記発明の実施の形態１〜３とほぼ同様であるが、陰極３４を通路板３０における本体部３１と同一厚さに形成して本体部３１の外周面側に嵌合させて設けた点で前記発明の実施の形態１〜３とは相違したものである。
即ち、陰極３４は上下面で各空間に露出させることが可能となって、通電できる面積を拡大し、より安定した陽極酸化反応を行なわせることができるようになる。
【００４８】
以上発明の実施の形態を図面により説明したが、具体的な構成はこれらの発明の実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００４９】
例えば、発明の実施の形態では、絶縁体で形成した通路板３または３０に陰極３４の部材を一体に設けるとしたが、これに限らず、陰極３４を通路板３または３０と別体に設け、陽極酸化処理装置には陰極３４が陽極側に対し通路板３または３０で目隠しできる位置に設置して使用することもできる。
【００５０】
また、被処理体としてピストンヘッドＰを例にとったが、あらゆる金属性製品の軸方向中間部における限られた所定範囲の環状外周面に陽極酸化処理を施す場合に適用することができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明してきたように本発明請求項１に記載の陽極酸化処理方法では、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理方法であって、収容容器体の収容穴内に前記ピストンを収容し、前記収容穴の内周面に有する一対のシール部材を前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接し、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーを形成し、絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切る通路形成部を有する通路板を配置して、前記通路形成部の下方にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成し、前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切る本体部を配置して、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを形成し、前記本体部に前記電極を設け、前記反応流体を前記小流路を経由して前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記小流路を経由して排出しながら、陽極酸化処理を行うことにより、作業効率を低下させることなしにリング溝を含む所定範囲のみを効率的に環状に陽極酸化処理することが可能となる。また、両環状シール部材相互間におけるピストンの外周面と収容容器体における収容穴の内周面との間に反応流体を保持流通させる環状の反応チャンバーを形成し、反応チャンバー内に反応流体を導入して排出側に導く環状の通路形成部を有する通路板を絶縁体で形成し、該絶縁体からなる通路形成部を陽極となるピストンと反応流体と通電し陰極となる電極の間に配置させるようにしたことにより、反応流体と通電する電極を陽極となるピストンとの間でスパークさせることなくできるだけ反応チャンバーに近づけることができる。また、絶縁体による通路形成部を反応チャンバーで被処理体に接近して臨ませ反応流体を一方向のみに流して少ない流量でも常に新鮮な反応流体のみをピストン表面に接触させ、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
【００５２】
請求項２に記載の陽極酸化処理装置は、通路形成部の下方に形成された小流路を経由して通路形成部の上方に形成された小流路から排出させるため、反応流体内に混入された空気が効率よく排出され、従って、混入空気による反応むらの発生を防止することができる。
請求項３に記載の発明では、環状隙間の周りに電極を配置させたことで、絶縁体である通路形成部の存在によりピストンとの間でスパークさせることなくピストンの全周に亘って電極を均等に近づけ、通電量を少なくして常に安定した酸化被膜を形成することができる。
【００５３】
請求項４に記載の陽極酸化処理装置では、ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理装置であって、前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーと、絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切ることにより、前記反応流体を前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成する通路形成部を有する通路板と、前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを上下にそれぞれ形成する本体部と、を備え、前記本体部に前記電極が設けられている手段としたため、絶縁体による通路形成部を狭い反応チャンバーに臨ませ反応流体を一方向のみに流して少ない流量でも常に新鮮な反応流体のみをピストン表面に接触させ、かつ反応流体と通電する電極をピストンとスパークさせることなくできるだけ反応チャンバーに近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
【００５４】
請求項５に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように、反応流体と通電するための電極が反応チャンバーを囲繞する大きさの環状に形成されて通路板と同軸に配置されている手段としたため、絶縁体による通路形成部でピストンとのスパークを避け得る範囲で反応チャンバーを囲繞するように近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
請求項６に記載の陽極酸化処理装置では、上述のように目隠し部材が配置されていることで、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。また、電極間距離を短くすることにより、装置のコンパクト化を図ることができる。
【００５５】
請求項７記載の陽極酸化処理装置では、請求項４〜６のいずれかに記載の陽極酸化処理装置において、前記電極の表面が前記本体部の上下いずれかの表面において露出するように、前記電極が前記本体部に埋め込み一体化されている手段としたため、反応チャンバー内の被処理体に対向する電極の内周面やこの内周面と上下面との端縁で形成される放電し易い角が被処理体に対し絶縁体の通路板によって目隠しされるため、極力電極を被処理体に近づけ得ることで、通電量を少なくして安定した酸化皮膜を形成することができる。
請求項８記載の陽極酸化処理装置では、上述のように目隠し部材が構成されていることで、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。また、電極間距離を短くすることにより、装置のコンパクト化を図ることができる。
請求項９記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、反応流体による接点部分の腐食を防止することができる。
請求項１０記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、各構成部材を上下方向に積み上げることで供給流路及び排出流路とそれぞれ連通する反応チャンバーを備えた収容容器体を容易に構成することができるため、装置製造時における組付性を向上させることができる。
請求項１１記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、装置製造時における組付性を向上させることができる。
請求項１２，１３，１４記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、反応チャンバー内の反応流体と電極とを完全な導通状態とすることができる。
請求項１５記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、電極がピストンに対し完全に目隠し状態となるため、ピストンと電極との間で放電して電極が傷むのを阻止し、電極の耐久性を向上させることができる。
請求項１６記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、部品形状を簡略化しコストを低減化できるようになる。
請求項１７記載の陽極酸化処理装置では、上述のように構成したことで、部品形状を簡略化しコストを低減化できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の実施の形態１の陽極酸化処理装置を示す縦断面図である。
【図２】発明の実施の形態１の陽極酸化処理装置における絶縁体で形成した通路板の表面に陰極を埋設した状態を示す平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線における拡大断面図である。
【図４】図１のＡ矢視における拡大説明図である。
【図５】発明の実施の形態２の陽極酸化処理装置を示す縦断面図である。
【図６】発明の実施の形態３の陽極酸化処理装置を示す縦断面図である。
【図７】発明の実施の形態４の陽極酸化処理装置における絶縁体で形成した通路板の表面に陰極を埋設した状態を示す平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線における拡大断面図である。
【図９】従来例の陽極酸化処理装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
Ｐ ピストンヘッド（金属製被処理体）
ｋ 境界線
Ｉ 供給通路
II 排出通路
１ 収容容器体
２ 外筒
３ 通路板
４ 環状シール部材
７ 反応チャンバー
８ 電極（陽極側）
１０ トップリング溝（陽極酸化処理部）
２１ 円筒状周壁部
２１ａ 供給穴（供給路）
２１ｂ 排出穴（排出路）
３０ 通路板（電極）
３１ 本体部
３２ 薄肉の通路形成部
３３ 通路形成部
３４ 陰極（電極）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an anodizing method and apparatus for anodizing an annular outer peripheral surface of a limited predetermined range in an axially intermediate portion of a metal product (metal workpiece) such as a piston head of an internal combustion engine. .
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, as an apparatus for performing anodizing treatment only on a limited range of the surface of an object to be processed, for example, a device described in Japanese Patent Laid-Open No. 9-217200 is known.
As shown in FIG. 9, this conventional anodizing apparatus has an annular lid having a central hole at the upper end opening of a bottomed cylindrical jacket tank 101 that forms part of an electrolyte (reaction fluid) circulation circuit. The body 102 is mounted, and a cylindrical mask socket 103 having an inward annular locking step at the lower end opening edge is mounted in the center hole of the annular lid 102, and the mask is mounted on the annular locking step. An O-ring packing 105 is provided in contact with the outer peripheral portion of the bottom surface (head) of the piston head (object to be processed) 104 accommodated in the socket 103 to define and seal the portion to be anodized. In the provided electrolytic cell 106, there is provided an injection device 107 that discharges and supplies an electrolytic solution (reaction fluid) toward the anodized portion of the piston head 104. While the cathode (electrode) 108 in contact with the liquid (reaction fluid) is provided, the anode (electrode) 109 in contact with the piston head 104 has a structure provided.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the conventional anodizing apparatus has a structure in which the O-ring packing 105 is in contact with the bottom surface (head) side of the piston head 104 constituting the object to be processed. This is an apparatus for anodizing only an end face, that is, a part of the outer surface.
However, despite the fact that only a part of the object to be treated is anodized, the electrolyte in contact with the surface to be treated does not collide with the old and new in one direction, fast flow rate, fast flow, and no cathode sparking with the anode. There is a problem that there is no measure such as bringing the anode side as close as possible, and a stable oxide film cannot be obtained anytime unless the energization amount and the reaction fluid are increased.
[0004]
The present invention has been made by paying attention to the above-mentioned conventional problems, and efficiently reduces only a predetermined range of the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the columnar or cylindrical object to be processed without reducing the work efficiency. It is an object of the present invention to provide an anodizing method and apparatus which can be annularly anodized and can always provide a stable oxide film economically.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above-mentioned object, an anodizing method according to claim 1 of the present invention comprises:pistonWhenBetween the electrodesReaction fluidThroughEnergizedAnd at least the surface of the piston in the ring grooveAn anodizing method for anodizing the material,The piston is accommodated in the accommodating hole of the accommodating container body, and a pair of sealing members provided on the inner peripheral surface of the accommodating hole are in contact with the vicinity of the upper and lower opening edges of the ring groove, respectively, and at least the upper and lower sealing members; The ring groove and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole, forming a reaction chamber for holding and flowing the reaction fluid, and formed in an annular shape with an insulator, In addition, a passage plate having a passage forming portion for partitioning the annular gap in the vertical direction is disposed, and a small flow path for supplying and discharging the reaction fluid is formed below the passage forming portion, and an outer periphery of the passage forming portion. A supply passage that is formed in an annular shape with an insulator integrally with the passage plate and that divides a space in the container body in the vertical direction, and supplies the reaction fluid to the small flow path, The応流body to form a discharge passage for discharging from said small channels, wherein said main body portionelectrodeThe reaction fluid is supplied to the ring groove via the small flow path, and anodization is performed while discharging the supplied reaction fluid via the small flow path.It was decided.
  The anodizing method according to claim 2 is the anodizing method according to claim 1, wherein the reaction fluid is supplied into the ring groove via a small flow path formed below the passage forming portion. Then, it was made to discharge | emit via the small flow path formed above the said channel | path formation part.
  According to a third aspect of the present invention, in the anodizing method according to the first or second aspect, the electrode is formed in an annular shape and disposed around the annular gap.
[0006]
  Claim4The anodizing apparatus described isThe reaction fluid is energized between the piston and the electrode, and at least the surface of the piston in the ring grooveAn anodizing apparatus for performing anodizing treatment onA receiving container body having a receiving hole for receiving the piston; a pair of sealing members provided on the inner peripheral surface of the receiving hole that seals in contact with the vicinity of the upper and lower opening edges of the ring groove; and at least the upper and lower The seal member, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole,Reaction fluidRetentionDistributionDoReaction chamberAnd the annular gap is vertically partitioned to supply the reaction fluid to the ring groove and to discharge the supplied reaction fluid from the ring groove. A passage plate having a passage forming portion for forming a small flow path for supplying and discharging the reaction fluid, and an annular insulator formed integrally with the passage plate on the outer periphery of the passage forming portion, and the container It is arranged to partition the space in the body in the vertical direction,The reaction fluidSmall channelInSupplySupply passageAnd saidThe reaction fluidDischarge from small channelDischarge passageAnd a main body part that respectively forms the upper and lower sides,
Comprising the body portionelectrodeIs providedAs a means.
[0007]
  Claim5The anodizing apparatus according to claim3In the anodizing apparatus described inThe electrode is formed in an annular shape having a size surrounding the annular gap, and is arranged coaxially with the passage plate.
[0008]
  Claim6The anodizing apparatus according to claim4 or 5In the anodizing apparatus described inA blindfold member formed of an insulator is disposed between the ring groove and the electrode in the radial direction of the piston.
[0009]
  Claim7The anodizing apparatus according to claimAny of 4-6In the anodizing apparatus described inThe surface of the electrode is either above or below the main bodysurfaceTo be exposed in theElectrodeIn the main bodyIt was assumed that it was embedded and integrated.
The anodizing apparatus according to claim 8 is the anodizing apparatus according to claim 7, wherein a blindfold member formed of an insulator is disposed between the ring groove and the electrode in a radial direction of the piston. The body portion is formed to have a thickness in the vertical direction thicker than that of the passage forming portion, and the body portion is coupled to the outer periphery of the body portion and the passage forming portion, and further toward the passage forming portion. An inclined surface portion having a reduced thickness is formed, and the inclined surface portion constitutes the blindfold member.
The anodizing apparatus according to claim 9 is the anodizing apparatus according to any one of claims 4 to 8, wherein a conductor for energizing the electrode is provided from outside the supply passage and the discharge passage. The electrode contacts the electrode and does not contact the reaction fluid.
The anodizing apparatus according to claim 10 is the anodizing apparatus according to any one of claims 4 to 9, wherein at least the member forming the accommodation hole of the accommodation container body is vertically moved with the annular gap as a boundary. The upper component member includes a first inner cylindrical portion and a first outer cylindrical portion having a larger diameter than the first inner cylindrical portion. The lower component member includes a second inner cylindrical portion having the same diameter as the first inner cylindrical portion, and a second outer cylindrical portion having the same diameter as the first outer cylindrical portion, One of the upper and lower pair of sealing members is respectively disposed on the inner peripheral surfaces of the first and second inner cylindrical portions constituting the peripheral surface, and the lower end surface of the first inner cylindrical portion and the second inner cylindrical portion The annular gap is formed between the upper end surface and the lower end of the first outer cylindrical portion. And the upper end surface of the second outer cylindrical portion, the main body is sandwiched to form one of the supply passage or the discharge passage below the main body, and above the main body. The other of the supply passage or the discharge passage is formed.
An anodizing apparatus according to an eleventh aspect is the anodizing apparatus according to the tenth aspect, wherein the flange portion sandwiching the main body portion includes a lower end surface of the first outer cylindrical portion and a second outer cylindrical portion. It was supposed that each was formed on the upper end surface.
An anodizing apparatus according to a twelfth aspect is the anodizing apparatus according to the eleventh aspect, wherein a plurality of the anodizing apparatuses are provided on a surface of the flange portion that is pressed against a surface of the main body portion where the embedded electrode is exposed. In the state where the main body is sandwiched between the flange portions, the plurality of grooves communicate with the supply passage or the discharge passage, whereby the surface of the embedded electrode and the supply passage are provided. Alternatively, the discharge passage is electrically connected.
An anodizing apparatus according to a thirteenth aspect is the anodizing apparatus according to the twelfth aspect, wherein the plurality of grooves are provided radially.
The anodizing apparatus according to claim 14 is the anodizing apparatus according to claim 12 or 13, wherein the plurality of grooves are provided on an inner peripheral side of the flange portion provided with the plurality of grooves. It was decided to communicate with the passage or the discharge passage.
The anodizing apparatus according to claim 15 is the anodizing apparatus according to claim 10, wherein the main body is sandwiched between the first and second outer cylindrical portions, and the surface of the exposed electrode is The inner peripheral side is covered with the lower end surface of the first outer cylindrical portion or the upper end surface of the second outer cylindrical portion to cut off the conduction with the supply passage or the discharge passage, and the surface of the exposed electrode The outer peripheral side is connected to the supply passage or the discharge passage without being covered by the lower end surface of the first outer cylindrical portion or the upper end surface of the second outer cylindrical portion.
An anodizing apparatus according to a sixteenth aspect is the anodizing apparatus according to the eleventh aspect, wherein an inner peripheral side of a surface of the exposed electrode is the first in the state where the main body is sandwiched between the flange portions. The supply passage or the discharge passage is covered by the flange portion of the first or second outer cylindrical portion, and the outer peripheral side of the exposed electrode surface is not covered by the flange portion of the first or second outer cylindrical portion. And decided to conduct.
The anodizing apparatus according to claim 17 is the anodizing apparatus according to any one of claims 10 to 16. In the processing apparatus, an outer cylinder member for housing the upper and lower components is provided, and a supply hole for supplying the reaction fluid to the supply passage is formed on an inner peripheral surface of the outer cylinder member, and from the discharge passage One discharge hole for discharging the reaction fluid is provided, and the first and second outer cylindrical portions communicate with the inner peripheral side and the outer peripheral side of the first and second outer cylindrical portions. A hole was opened, and the first and second outer cylindrical portions were mounted so as to fit into the inner peripheral surface of the outer cylinder member.
[0010]
[Action]
  In the anodizing method according to the first aspect of the present invention, as described above, in the accommodation hole of the accommodation container body.pistonA pair of upper and lower annular seal members provided on the inner peripheral surface of the receiving holepistonThe outer peripheral surface of each of the outer peripheral surfaces to be anodized is determined by contacting the outer peripheral surfaces in the vicinity of both boundary lines to determine the annular processing portion, without reducing the work efficiency.Including ring grooveOnly a predetermined range can be efficiently anodized annularly. Also, between the two annular seal memberspistonOuter peripheral surfaceAnd yieldBetween the inner peripheral surface of the receiving hole in the container bodyAgainstAn annular reaction chamber that holds and circulates the reaction fluid is formed., AntiAn annular ring that introduces the reaction fluid into the reaction chamber and leads it to the discharge sideHas a passage forming partThe passage plate is made of an insulator,TheMade of insulatorPassage forming partThe anode becomespistonAnd the electrode that is energized with the reaction fluid and becomes the cathode, and the electrode that is energized with the reaction fluid becomes the anodepistonAs close as possible to the reaction chamber without sparking. Also by insulatorPassage forming partWith the reaction chamber approaching the object to be treated, allowing the reaction fluid to flow in only one direction, so that only fresh reaction fluid can be obtained even at low flow rates.Piston tableA stable oxide film can be formed by contacting the surface and reducing the amount of energization.
[0011]
  In the anodizing apparatus according to claim 2 of the present invention, as described above,Since air is discharged from the small flow path formed above the passage formation portion via the small flow passage formed below the passage formation portion, the air mixed in the reaction fluid is efficiently discharged. Generation of uneven reaction due to air can be prevented.
In the invention according to claim 3, since the electrode is arranged around the annular gap, the piston is formed by the presence of the passage forming portion which is an insulator.Without sparking betweenpistonIt is possible to form an oxide film that is always stable by bringing the electrodes uniformly over the entire circumference and reducing the amount of energization.
[0012]
  Claims of the invention4Since the anodizing apparatus described in the above is configured as described above, from above the container body.pistonIs accommodated in the receiving hole and is supported by contacting the bottom of the receiving container body, and a pair of upper and lower annular seal members provided on the inner circumferential surface of the axially intermediate portion of the receiving hole are provided.pistonIn this state, the outer peripheral surfaces of both boundary portions that determine the annular processing portion to be subjected to the anodizing treatment are brought into contact and sealed. Thereby, between the pair of annular seal memberspistonAn annular reaction chamber that holds and circulates the reaction fluid is formed between the annular outer peripheral surface of the storage container body and the inner peripheral surface of the storage hole in the storage container body,Passage forming partIntroduces and discharges the reaction fluid with its inner peripheral surface facing this reaction chamber. Therefore, cylindrical or columnar without reducing work efficiencypistonIt is possible to efficiently anodize only a predetermined range of the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the outer peripheral surface, thereby improving the processing capability. Also by insulatorPassage forming partWith the reaction fluid flowing in only one direction with a narrow reaction chamber and always supplying only fresh reaction fluid even at low flow rates.Piston tableAn electrode that is in contact with the surface and energizes the reaction fluid.pistonBy making it as close as possible to the reaction chamber without sparking, it is possible to form a stable oxide film by reducing the amount of energization.
[0013]
  Claim5In the anodizing apparatus described in 1), as described above, the electrode for energizing the reaction fluid is formed in an annular shape having a size surrounding the reaction chamber and is arranged coaxially with the passage plate. Depends on bodyPassage forming partsopistonThus, a stable oxide film can be formed by reducing the amount of energization.
  In the anodizing apparatus according to claim 6, since the blindfold member is disposed as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode, and the durability of the electrode is improved. Can be made. Further, the apparatus can be made compact by shortening the distance between the electrodes.
[0014]
  Claim7In the described anodizing apparatus, as described above, on the surface of the passage plate formed in an annular shape, an electrode formed with a larger inner diameter and a smaller outer diameter is formed concentrically with respect to the passage plate. Since the surfaces are embedded and integrated, the inner peripheral surface of the electrode facing the object to be processed in the reaction chamber and the corner where discharge is easily formed at the edge between the inner peripheral surface and the upper and lower surfaces are formed. Since the object is covered with the insulating passage plate, the electrode can be brought closer to the object to be processed, so that a stable oxide film can be formed with a small amount of current flow.
  In the anodizing apparatus according to claim 8, since the blindfold member is configured as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode, and the durability of the electrode is improved. be able to. Further, the apparatus can be made compact by shortening the distance between the electrodes.
  In the anodizing apparatus according to the ninth aspect of the present invention, it is possible to prevent the contact portion from being corroded by the reaction fluid by being configured as described above.
  In the anodizing apparatus according to claim 10, the container body including a reaction chamber that communicates with each of the supply flow path and the discharge flow path by stacking each constituent member in the vertical direction by configuring as described above. Since it can be configured easily, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus.
  In the anodizing apparatus according to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus by configuring as described above.
  In the anodizing apparatus according to claims 12, 13, and 14, the reaction fluid in the reaction chamber and the electrode can be brought into a complete conduction state by being configured as described above.
  In the anodizing apparatus according to claim 15, since the electrode is completely blinded with respect to the piston by being configured as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode. The durability of the electrode can be improved.
  In the anodizing apparatus according to the sixteenth aspect, the configuration as described above can simplify the part shape and reduce the cost.
In the anodizing apparatus according to the seventeenth aspect, by being configured as described above, it is possible to simplify the part shape and reduce the cost.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
(Embodiment 1 of the invention)
First, the anodizing method of Embodiment 1 of the present invention will be described based on the anodizing apparatus shown in FIGS. In the first embodiment of the present invention, a case where an anodizing process is performed on the surface of the top ring groove 10 in the piston head P will be described. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus used in the anodizing method according to Embodiment 1 of the present invention. In this figure, 1 is a container body, 2 is an outer cylinder, 3 is a passage plate, Reference numeral 34 denotes a cathode (electrode for energizing the reaction fluid), 4 and 4 denote annular seal members, and P denotes a piston head (metal object).
[0016]
The housing container 1 constitutes a bottomed cylindrical container having a housing hole capable of housing the piston head P upside down from above, and includes a bottom component member 5, a lower peripheral wall component member 6 a, It is comprised with the upper surrounding wall structural member 6b.
[0017]
The outer cylinder 2 has an annular bottom 22 formed on the inner periphery of the lower end opening edge of the cylindrical peripheral wall portion 21, and an annular upper lid member 23, which is a separate member, is attached to the upper end opening, so that the lower peripheral wall is formed on the inner periphery. It is formed in a U-shaped cross section having an annular groove for assembling the constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b.
[0018]
The bottom component 5 constitutes the bottom of the receiving hole in the receiving container body 1 and is formed in a substantially cylindrical shape having the same outer diameter as the outer diameter of the piston head P. 2 is assembled in a state of being attached and locked to the inner peripheral portion of the axial center hole of the annular bottom portion 22.
[0019]
The lower peripheral wall constituting member 6a and the upper peripheral wall constituting member 6b are composed of two members, an exterior member 61 and an interior member 62, respectively.
That is, when the exterior member 61 is described in an assembled state on the lower peripheral wall constituting member 6a side, the exterior member 61 includes a flange portion 61b that protrudes outward at the lower end portion of the cylindrical portion 61a, and the annular portion is formed inside the upper end portion of the cylindrical portion 61a. A small locking flange 61c for positioning and supporting the seal member 4 is formed so as to project inwardly in an annular shape. The exterior member 61 on the side of the lower peripheral wall constituting member 6a is outside in a state where the outer peripheral portion of the outward flange portion 61b is locked to the annular locking step portion 24 formed on the upper portion of the annular bottom portion 22 of the outer cylinder 2. The cylinder 2 is assembled in the lower part of the annular groove.
[0020]
A pressing cylinder 41 that presses the lower annular seal member 4 is assembled between the exterior member 61 and the bottom component member 5 so as to be slidable up and down. Further, the split-shaped pressing ring 42 is incorporated between the annular bottom portion 22 of the outer cylinder 2 and the flange portion 61 b of the exterior member 61 in a state in which it can slide in the radial direction. The pressing ring 42 has an annular tapered surface 42 a formed on the inner peripheral edge of the upper end thereof in contact with the outer peripheral edge of the lower end of the pressing cylinder 41 and is slidable through the cylindrical peripheral wall 21 of the outer cylinder 2. A plurality of built-in pressing shafts 43 are configured to be slidable.
[0021]
Similarly, the interior member 62 will be described in an assembled state on the lower peripheral wall constituting member 6a side. By providing each, an outer space 62 d is formed between the cylindrical portion 62 a and the cylindrical peripheral wall portion 21, an inner space 62 e is formed between the cylindrical portion 62 a and the inner wall of the exterior member 61, and the cylindrical portion 62a has a structure in which a plurality of communication holes 62f are formed to communicate between the outer space 62d and the inner space 62e.
[0022]
Next, the exterior member 61 constituting the upper peripheral wall constituting member 6b has the same shape as the exterior member 61 constituting the lower peripheral wall constituting member 6a.
The interior member 62 mainly has the shape of the interior member 62 of the lower peripheral wall constituting member 6a, but a plurality of grooves 62g are radially engraved on the flange surface of the outward flange 62c. It is assembled to the top in an upside down state. The assembly is performed in a state in which a passage plate 3 described later is sandwiched between the outward flange portions 62c and 62c of the interior members 62 and 62 of the lower peripheral wall constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b.
In this assembled state, the passage plate 3 and each of the passage plates 3 are formed so that an annular gap that constitutes the reaction chamber 7 is formed between the end surfaces of the lower peripheral wall constituent member 6a and the upper peripheral wall constituent member 6b. The axial dimension of the exterior member 61 and each interior member 62 is set. In addition, the code | symbols 63 and 63 in a figure show the seal ring which seals between the outer cylinder 2 and the exterior members 61 and 61. FIG.
[0023]
The passage plate 3 is formed in an annular shape as shown in FIGS. 2 and 3 and has a flat portion having the same width as the outward flange portion 62c and sandwiched between the outward flange portions 62c and 62c. A passage forming portion 32 is integrally formed of an insulator on the inner peripheral surface side of the main body portion 31 via an inclined surface portion 31a formed so that the thickness decreases as the diameter decreases. The passage forming portion 32 is formed such that the inner diameter thereof is sized to face the annular gap constituting the reaction chamber 7 and the thickness is thinner than the width of the annular gap.
Further, a ring-shaped cathode (electrode for energizing the reaction fluid) 34 is embedded on the upper surface side of the main body 31 so that only the upper surface and the outer peripheral surface are exposed. The cathode 34 has about half the thickness of the main body 31. The inner peripheral surface 34a and the corner 34c formed by the upper edge of the inner peripheral surface 34a and the inner edge of the upper surface 34b are the passages. When viewed from the forming portion 32 side, the shape is hidden by the maximum diameter portion of the inclined surface portion 31a.
When the passage plate 3 is disposed in the apparatus with the main body portion 31 sandwiched between the outward flange portions 62c and 62c, the upper end of the passage forming portion 32 has a gap above and below the annular gap. In this state, as shown in FIG. 4, the upper surface 34b of the cathode 34 is formed in the reaction chamber through a groove 62g and an inner space 62e formed on the flange surface of the outwardly arranged flange 62c. 7 is communicated.
[0024]
As described above, the pressing cylinder 41 is incorporated in the state of being slidable in the vertical direction on the inner peripheral side of the exterior member 61 constituting the upper peripheral wall constituting member 6b. In this case, the upper annular seal member 4 is pressed. It has become.
In addition, the split pressing ring 42 is incorporated between the annular upper lid member 23 and the flange portion 61 b of the exterior member 61 so as to be slidable in the radial direction. The pressing ring 42 has an annular tapered surface 42 a formed on the inner peripheral edge of the lower end thereof abutted on the outer peripheral edge of the upper end of the pressing cylinder 41 and is slidable through the cylindrical peripheral wall 21 of the outer cylinder 2. A plurality of built-in pressing shafts 43 are configured to be slidable.
[0025]
Next, the structure of the reaction fluid passage will be described.
A reaction fluid supply hole 21a communicating with the outer space 62d on the lower peripheral wall constituting member 6a side is formed in the cylindrical peripheral wall portion 21 of the outer cylinder 2 and communicated with the outer space 62d on the upper peripheral wall constituting member 6b side. A reaction fluid discharge hole 21b is formed.
[0026]
That is, the outer space 62d, the communication hole 62f, and the inner space 62e in the lower peripheral wall constituting member 6a form a supply passage I that communicates between the supply hole 21a to which the reaction fluid is supplied and the reaction chamber 7, and In the upper peripheral wall constituting member 6b, the inner space 62e, the communication hole 62f, and the outer space 62d form a discharge passage II that communicates between the reaction chamber 7 and the discharge hole 21b through which the reaction fluid is discharged.
[0027]
That is, the outer space 62d, the communication hole 62f, and the inner space 62e in the lower peripheral wall constituting member 6a form a supply passage I that communicates between the supply hole 21a to which the reaction fluid is supplied and the reaction chamber 7, and In the upper peripheral wall constituting member 6b, the inner space 62e, the communication hole 62f, and the outer space 62d form a discharge passage II that communicates between the reaction chamber 7 and the discharge hole 21b through which the reaction fluid is discharged.
The reaction fluid passage configuration is as described above. After the reaction fluid from the supply passage I reaches the reaction chamber 7 through the thin passage forming portion 32 in the passage plate 3, the reaction fluid 7 enters the reaction chamber 7 described later. From the top ring groove 10 to the supply passage II. In the supply passage II, the reaction fluid enters from the groove 62g and soaks the surface of the cathode 34 at the portion where the body portion 31 of the passage plate 3 is sandwiched by the outward flange 62c. Therefore, the reaction fluid in the reaction chamber 7 is The cathode 34 is in a completely conductive state.
[0028]
The piston head P that performs anodization is accommodated from above in the accommodation hole of the accommodation container body 1 upside down, and the bottom surface (head) thereof contacts the recess 51 formed on the upper surface of the bottom component member 5. It will be in the state of being in contact and positioned. At this time, the top ring groove 10 of the piston head P coincides with the annular gap constituting the reaction chamber 7, and the pair of upper and lower annular seal members 4, 4 are arranged on the upper and lower sides of the top ring groove 10 on the outer peripheral surface of the piston head P. Each component member is dimensioned so as to be positioned in the vicinity of the opening edge (both boundary lines k and k that determine a processing portion to be subjected to anodizing treatment).
[0029]
Further, in the container 1, a through hole 21 c is formed in the cylindrical peripheral wall portion 21 of the outer cylinder 2 where the outer peripheral surface 34 d of the cathode 34 in the passage plate 3 is located, and a pressing cylinder 25 is formed in the through hole 21 c. As a result, the seal ring 26 is mounted in a pressed state, and the seal ring 26 prevents the reaction fluid from leaking in the direction of the through hole 21c. The tip of the conductive rod 33 inserted into the axial hole of the pressing cylinder 25 from the outside of the cylindrical peripheral wall portion 21 is brought into contact with the outer peripheral surface 34 d of the cathode 34. That is, the conductive rod 33 is brought into contact with the outer peripheral surface side of the cathode 34 outside the reaction chamber 7 and the flow path not in contact with the reaction fluid in order to energize the cathode side in contact with the reaction fluid. The pressing cylinder 25 is pressed and fixed by a cap nut-like fastening screw 25b screwed to a screw cylinder 25a screwed and fixed to the outer cylinder 2.
[0030]
A discharge hole 52 is formed in the center of the recess 51 formed on the upper surface of the bottom component 5 to discharge the reaction fluid leaking from the reaction chamber 7 into the recess 51 when the piston head P is withdrawn. ing.
The anode 8 for charging the metal object to be processed is provided in a state in which the anode 8 can be brought into contact with the piston head P constituting the metal object to be processed while being accommodated in the accommodation hole of the accommodation container body 1.
[0031]
Next, operations and effects of the first embodiment of the present invention will be described.
Since the anodizing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention is configured as described above, each pressing is performed in a state in which the piston head P constituting the metal object is accommodated in the accommodation hole of the accommodation container body 1. When the upper and lower pressing rings 42, 42 formed in a split shape by the shafts 43, 43 are respectively pressed and slid in the inner direction, the annular tapered surfaces 42 a, 42 a formed on the upper and lower pressing rings 42, 42 are moved up and down. The upper and lower annular seal members 4 and 4 are pressed and compressed in the axial direction toward the locking flange portions 61c and 61c, respectively, in contact with the outer peripheral edge portions of the pressing cylinders 41 and 41 and pressed and slid in the axial direction. As a result, the inner diameter is reduced.
In this way, the pair of upper and lower annular seal members 4 and 4 are in contact with and sealed against the outer peripheral surfaces of both boundary lines k and k, which determine the processing portion to be anodized in the piston head P, Thus, the reaction fluid is caused between the annular outer peripheral surface of the piston head P including the surface of the top ring groove 10 between the pair of upper and lower annular seal members 4 and 4 and the inner peripheral surface side of the accommodation hole in the accommodation container body 1. An annular reaction chamber 7 for holding and flowing is formed.
[0032]
Therefore, when the pump (not shown) is driven, the reaction fluid discharged from the pump passes through the supply passage I (the outer space 62d → the communication hole 62f → the inner space 62e in the lower peripheral wall constituting member 6a) from the supply hole 21a. In the reaction chamber 7, after being injected and supplied toward the surface of the top ring groove 10 in the piston head P via the lower surface side of the passage forming portion 32 in the passage plate 3, It is discharged to the outside of the container body 1 from the discharge hole 21b via the upper surface side of the passage forming portion 32 and the discharge passage II (the inner space 62e → the communication hole 62f → the outer space 62d in the upper peripheral wall constituting member 6b).
[0033]
In this state, a DC current is supplied from a DC power source to the cathode 34 on the side of the passage plate 3 in contact with the reaction fluid and the anode 8 in contact with the piston head P constituting the metal workpiece, thereby allowing the top ring Groove 10 → reaction fluid in reaction chamber 7 → reaction fluid in inner space 62e → reaction fluid in groove 62g → current flows as in cathode 34, a metal portion in contact with the reaction fluid, that is, top ring Only a limited range including the surface of the groove 10 can be annularly anodized.
[0034]
As described above, after the piston head P is accommodated in the accommodating hole of the accommodating container body 1, the anodic oxidation in the piston head P is performed by the pair of upper and lower annular seal members 4, 4 only by pressing the pressing shafts 43, 43. Since it can be sealed against the outer peripheral surface of both boundary lines k and k that determine the annular processing portion to be processed, the intermediate portion in the axial direction on the outer peripheral surface of the piston head P without reducing the working efficiency It is possible to efficiently anodize only a limited predetermined range including the top ring groove 10 existing in the annular shape, thereby improving the processing capability.
[0035]
The passage forming portion 32 of the passage plate 3 is disposed in the reaction chamber 7, and the end of the supply passage I for supplying the reaction fluid to the annular processing portion to be anodized in the piston head P and the supplied reaction fluid are discharged. Since the reaction chamber 7 is vertically partitioned from the starting end of the discharge passage II to prevent the reaction fluid from trapping, the flow of the reaction fluid in the reaction chamber 7 is extremely smooth and the reaction fluid Since it is efficiently circulated in the reaction chamber 7 having a minimum necessary space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact.
Further, since the passage plate 3 including the passage forming portion 32 is formed of an insulator, and the cathode 34 is embedded in the surface of the body portion 31 of the passage plate 3, the cathode 34 facing the top ring groove 10 serving as the anode is included. The peripheral surface 34a and the corner 34c are concealed with respect to the top ring groove 10, and the electrode is prevented from being damaged by discharge between the top ring groove 10 and the cathode 34, thereby improving the durability of the electrode. Can do.
Further, the apparatus can be made compact by shortening the distance between the electrodes.
[0036]
In addition, since the processing area in contact with the reaction fluid can be minimized by the pair of upper and lower annular seal members 4, 4, only a small amount of processing power is required, thereby reducing the heat generation of the reaction fluid and the capacity of the reaction chamber. Since the flow of the reaction fluid remains horizontal in the minimum direction, the flow of the reaction fluid in the reaction chamber is smooth and the flow velocity is increased, thereby improving the cooling efficiency, thereby cooling the reaction fluid. The capacity of the cooler can be set low. Therefore, the cost can be reduced.
[0037]
In addition, since the reaction fluid can be circulated efficiently in the reaction chamber having a minimum space corresponding to the area of the annular processing portion, the apparatus can be made compact.
In addition, as described above, since the processing area in contact with the reaction fluid can be minimized, the amount of harmful exhaust gas such as HC adsorbed on the anodic oxide film can be reduced.
[0038]
In addition, since the reaction fluid is supplied simultaneously and uniformly from the entire circumference to the annular treatment portion to be anodized in the object to be treated, the anodization treatment can be performed uniformly in the circumferential direction. .
Further, as described above, since the discharge hole (discharge path) 21b passing through a position higher than the discharge path II is formed on the discharge path II side, the air mixed in the reaction fluid is efficiently discharged. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of reaction unevenness due to mixed air.
[0039]
Further, since the conductive rod (conductor) 33 for energizing the cathode 34 in contact with the reaction fluid is in contact with the cathode 34 outside the reaction chamber 7 not in contact with the reaction fluid, the contact portion is corroded by the reaction fluid. Can be prevented.
[0040]
In addition, an upper peripheral wall constituting member 6b that can be divided into upper and lower portions with an annular processing portion (top ring groove 10 portion) to be anodized in the piston head P as at least a portion forming the receiving hole of the receiving container body 1 The lower peripheral wall constituting member 6a and the bottom constituent member 5 are configured. One of each of the pair of upper and lower annular seal members 4, 4 is disposed on the upper peripheral wall constituting member 6b and the lower peripheral wall constituting member 6a, and the upper peripheral wall constituting member 6b. A passage plate 3 provided with an electrode in contact with the reaction fluid is disposed between the abutting surfaces of the lower peripheral wall constituting member 6a, and is arranged in a sandwiched state. A reaction chamber 7 is formed between the head P and the annular processing portion (top ring groove 10 portion) to be anodized, and the lower peripheral wall constituting member 6a has a reaction center. A supply passage I that communicates with the chamber 7 is formed, and a discharge passage II that communicates with the reaction chamber 7 is formed in the upper peripheral wall constituent member 6b. Since the container body 1 including the reaction chamber 7 communicating with the flow path I and the discharge flow path II can be easily configured, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus.
[0041]
Next, another embodiment of the present invention will be described. In the description of the other embodiments of the present invention, the same components as those of the first embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, the description thereof will be omitted, and only the differences will be described.
[0042]
(Embodiment 2 of the invention)
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus used in the anodizing method according to Embodiment 2 of the present invention.
The anodizing apparatus according to Embodiment 2 of the present invention is different from the interior member 62 according to Embodiment 1 of the present invention in the configuration of the interior member 62-1 that sandwiches the passage plate 3.
[0043]
That is, in the interior member 62-1 of the second embodiment of the present invention, the groove 62g for allowing the cathode 34 to communicate with the reaction chamber 7 is omitted, and instead the outer diameter of the outward flange 62c is reduced to reduce the outer diameter of the cathode 34. The surface is exposed on the outer space 62d side.
[0044]
In the second embodiment of the present invention, since the cathode 34 is configured as described above, the cathode 34 has a reaction fluid in the order of the outer space 62d, the communication hole 62f, the inner space 62e, the reaction chamber 7, and the top ring groove 10. Therefore, it is possible to cause a current to flow from the top ring groove 10 side serving as the anode to the cathode 34 to cause the oxidation reaction of the top ring groove 10. When the cylindrical part 62a is thickened, the outward flange 62c can be omitted.
[0045]
Since the anodizing apparatus according to the second embodiment of the present invention is configured as described above, substantially the same effects as those of the first embodiment of the present invention can be obtained, and the cathode 34 is a cylinder of the interior member 62-1. Since the top ring groove 10 serving as the anode is completely blinded by the portion 62a, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the top ring groove 10 and the cathode 34, and the durability of the electrode is improved. Can do.
[0046]
(Embodiment 3 of the invention)
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus used in the anodizing method of Embodiment 3 of the invention. As shown in FIG. 6, the anodizing apparatus of Embodiment 3 of the present invention The interior member 62-2 is formed in a straight cylindrical shape and is fitted so as to be fitted on the inner wall side of the cylindrical peripheral wall portion 21, so that the interior member 62-2 is mounted inside. Only the inner space 62e is formed. The passage plate 3 is configured such that the main body 31 is sandwiched only by the end surface of the cylindrical portion of the interior member 62-2, and the cathode 34 is exposed to the inner space 62e. Further, since the communication hole 62f has no outer space, it only needs to communicate with the supply hole 21a or the discharge hole 21b, and therefore, only one place is opened.
Therefore, in the third embodiment of the present invention, substantially the same effects as those of the second embodiment of the present invention can be obtained, and the part shape can be simplified and the cost can be reduced.
[0047]
(Embodiment 4 of the Invention)
FIG. 7 is a plan view showing a passage plate 30 of an anodizing apparatus used in the anodizing method of Embodiment 4 of the invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. As shown, the passage plate 30 according to the fourth embodiment of the present invention is substantially the same as the first to third embodiments of the present invention, except that the cathode 34 is formed to the same thickness as the main body 31 of the passage plate 30. Thus, the third embodiment differs from the first to third embodiments in that it is provided by being fitted to the outer peripheral surface side of the main body 31.
That is, the cathode 34 can be exposed to each space on the upper and lower surfaces, and the area that can be energized can be expanded, and a more stable anodic oxidation reaction can be performed.
[0048]
Although the embodiments of the invention have been described with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to the embodiments of the invention, and the present invention can be applied even if there is a design change or the like without departing from the gist of the invention. include.
[0049]
For example, in the embodiment of the invention, the member of the cathode 34 is provided integrally with the passage plate 3 or 30 formed of an insulator. However, the present invention is not limited thereto, and the cathode 34 is provided separately from the passage plate 3 or 30. In the anodizing apparatus, the cathode 34 can be installed at a position where it can be hidden by the passage plate 3 or 30 with respect to the anode side.
[0050]
Further, the piston head P is taken as an example of the object to be treated, but the present invention can be applied to a case where an anodizing process is performed on a limited range of the annular outer peripheral surface in the axially intermediate portion of any metallic product.
[0051]
【The invention's effect】
  As described above, in the anodizing method according to claim 1 of the present invention,pistonWhenBetween the electrodesReaction fluidThroughEnergizedAnd at least the surface of the piston in the ring grooveAn anodizing method for anodizing the material,The piston is accommodated in the accommodating hole of the accommodating container body, and a pair of sealing members provided on the inner peripheral surface of the accommodating hole are in contact with the vicinity of the upper and lower opening edges of the ring groove, respectively, and at least the upper and lower sealing members; The ring groove and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole, forming a reaction chamber for holding and flowing the reaction fluid, and formed in an annular shape with an insulator, In addition, a passage plate having a passage forming portion for partitioning the annular gap in the vertical direction is disposed, and a small flow path for supplying and discharging the reaction fluid is formed below the passage forming portion, and an outer periphery of the passage forming portion. A supply passage that is formed in an annular shape with an insulator integrally with the passage plate and that divides a space in the container body in the vertical direction, and supplies the reaction fluid to the small flow path, The応流body to form a discharge passage for discharging from said small channels, wherein said main body portionelectrodeThe reaction fluid is supplied to the ring groove via the small flow path, and anodization is performed while discharging the supplied reaction fluid via the small flow path.Without reducing work efficiencyIncluding ring grooveOnly a predetermined range can be efficiently anodized annularly. Also, between the two annular seal memberspistonOuter peripheral surfaceAnd yieldBetween the inner peripheral surface of the receiving hole in the container bodyAgainstAn annular reaction chamber that holds and circulates the reaction fluid is formed., AntiAn annular ring that introduces the reaction fluid into the reaction chamber and leads it to the discharge sideHas a passage forming partThe passage plate is made of an insulator,TheMade of insulatorPassage forming partThe anode becomespistonAnd the electrode that is energized with the reaction fluid and becomes the cathode, and the electrode that is energized with the reaction fluid becomes the anodepistonAs close as possible to the reaction chamber without sparking. Also by insulatorPassage forming partWith the reaction chamber approaching the object to be treated, allowing the reaction fluid to flow in only one direction, so that only fresh reaction fluid can be obtained even at low flow rates.Piston tableA stable oxide film can be formed by contacting the surface and reducing the amount of energization.
[0052]
  The anodizing apparatus according to claim 2 comprises:Since air is discharged from the small flow path formed above the passage formation portion via the small flow passage formed below the passage formation portion, the air mixed in the reaction fluid is efficiently discharged. Generation of uneven reaction due to air can be prevented.
In the invention according to claim 3, since the electrode is arranged around the annular gap, the piston is formed by the presence of the passage forming portion which is an insulator.Without sparking betweenpistonIt is possible to form an oxide film that is always stable by bringing the electrodes uniformly over the entire circumference and reducing the amount of energization.
[0053]
  Claim4In the anodizing apparatus described inThe reaction fluid is energized between the piston and the electrode, and at least the surface of the piston in the ring grooveAn anodizing apparatus for performing anodizing treatment onA receiving container body having a receiving hole for receiving the piston; a pair of sealing members provided on the inner peripheral surface of the receiving hole that seals in contact with the vicinity of the upper and lower opening edges of the ring groove; and at least the upper and lower The seal member, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole,Reaction fluidRetentionDistributionDoReaction chamberAnd the annular gap is vertically partitioned to supply the reaction fluid to the ring groove and to discharge the supplied reaction fluid from the ring groove. A passage plate having a passage forming portion for forming a small flow path for supplying and discharging the reaction fluid, and an annular insulator formed integrally with the passage plate on the outer periphery of the passage forming portion, and the container It is arranged to partition the space in the body in the vertical direction,The reaction fluidSmall channelInSupplySupply passageAnd saidThe reaction fluidDischarge from small channelDischarge passageAnd a main body part formed respectively on the upper and lower sides,electrodeIs providedTherefore, an electrode that allows the reaction fluid to flow in only one direction, keeps only one fresh reaction fluid in contact with the piston surface even at a small flow rate, and allows the reaction fluid to be energized. By being as close to the reaction chamber as possible without sparking with the piston, a stable oxide film can be formed with a small amount of current flow.
[0054]
  Claim5In the anodizing apparatus described in 1), as described above, the electrode for energizing the reaction fluid is formed in an annular shape having a size surrounding the reaction chamber and is arranged coaxially with the passage plate. Depends on bodyPassage forming partsopistonThus, a stable oxide film can be formed by reducing the amount of energization.
  In the anodizing apparatus according to claim 6, since the blindfold member is disposed as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode, and the durability of the electrode is improved. Can be made. Further, the apparatus can be made compact by shortening the distance between the electrodes.
[0055]
  Claim7In the described anodizing apparatus, the claimAny of 4-6In the anodizing apparatus described inThe surface of the electrode is either above or below the main bodysurfaceTo be exposed in theElectrodeIn the main bodyBecause it is an embedded and integrated means, the inner peripheral surface of the electrode facing the object to be processed in the reaction chamber and the dischargeable corner formed on the edge between the inner peripheral surface and the upper and lower surfaces are in the object to be processed. On the other hand, since it is hidden by the passage plate of the insulator, it is possible to form a stable oxide film by reducing the amount of energization by making the electrode as close as possible to the object to be processed.
  In the anodizing apparatus according to claim 8, since the blindfold member is configured as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode, and the durability of the electrode is improved. be able to. Further, the apparatus can be made compact by shortening the distance between the electrodes.
  In the anodizing apparatus according to the ninth aspect of the present invention, it is possible to prevent the contact portion from being corroded by the reaction fluid by being configured as described above.
  In the anodizing apparatus according to claim 10, the container body including a reaction chamber that communicates with each of the supply flow path and the discharge flow path by stacking each constituent member in the vertical direction by configuring as described above. Since it can be configured easily, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus.
  In the anodizing apparatus according to the eleventh aspect of the present invention, it is possible to improve the assembling property at the time of manufacturing the apparatus by configuring as described above.
  In the anodizing apparatus according to claims 12, 13, and 14, the reaction fluid in the reaction chamber and the electrode can be brought into a complete conduction state by being configured as described above.
  In the anodizing apparatus according to claim 15, since the electrode is completely blinded with respect to the piston by being configured as described above, the electrode is prevented from being damaged by discharge between the piston and the electrode. The durability of the electrode can be improved.
  In the anodizing apparatus according to the sixteenth aspect, the configuration as described above can simplify the part shape and reduce the cost.
In the anodizing apparatus according to the seventeenth aspect, by being configured as described above, it is possible to simplify the part shape and reduce the cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus according to a first embodiment of the invention.
FIG. 2 is a plan view showing a state in which a cathode is embedded in the surface of a passage plate formed of an insulator in the anodizing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
3 is an enlarged cross-sectional view taken along line BB in FIG.
4 is an enlarged explanatory view taken along arrow A in FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus according to a second embodiment of the invention.
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing an anodizing apparatus according to a third embodiment of the invention.
FIG. 7 is a plan view showing a state where a cathode is embedded in the surface of a passage plate formed of an insulator in an anodizing apparatus according to a fourth embodiment of the invention.
8 is an enlarged cross-sectional view taken along line CC in FIG.
FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a conventional anodizing apparatus.
[Explanation of symbols]
P Piston head (metal workpiece)
k border
I Supply passage
II Discharge passage
1 Container body
2 outer cylinder
3 passage plates
4 Annular seal member
7 Reaction chamber
8 electrodes (anode side)
10 Top ring groove (anodizing section)
21 Cylindrical peripheral wall
21a Supply hole (supply path)
21b Discharge hole (discharge path)
30 passage plate (electrode)
31 Body
32 Thin wall passage forming part
33 Passage forming part
34 Cathode (electrode)

Claims (17)

ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理方法であって、
収容容器体の収容穴内に前記ピストンを収容し、
前記収容穴の内周面に有する一対のシール部材を前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接し、
少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーを形成し、
絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切る通路形成部を有する通路板を配置して、前記通路形成部の上下にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成し、
前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切る本体部を配置して、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを形成し、
前記本体部に前記電極を設け、
前記反応流体を前記小流路を経由して前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記小流路を経由して排出しながら、陽極酸化処理を行うことを特徴とする陽極酸化処理方法。 Energized through the reaction fluid between the piston and the electrode, at least on the surface of the ring groove of the piston a anodizing process for anodizing,
Receiving the piston in the receiving hole of the receiving container body;
A pair of seal members on the inner peripheral surface of the receiving hole abut each of the ring grooves near the upper and lower opening edges,
At least the upper and lower seal members, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower seal members on the inner peripheral surface of the accommodation hole, forming a reaction chamber for holding and circulating the reaction fluid,
A passage plate having a passage forming portion that is formed in an annular shape with an insulator and that partitions the annular gap in the vertical direction is disposed to form small flow paths that supply and discharge the reaction fluid above and below the passage forming portion, respectively. And
The reaction fluid is supplied to the small flow path by arranging a main body part that is formed in an annular shape with an insulator integrally with the passage plate on the outer periphery of the passage forming part and partitions the space in the container body in the vertical direction. Forming a supply passage and a discharge passage for discharging the reaction fluid from the small flow path,
The body is provided with the electrode ,
Anodization characterized in that the reaction fluid is supplied to the ring groove via the small channel, and anodization is performed while discharging the supplied reaction fluid via the small channel. Processing method. 前記反応流体を前記通路形成部の下方に形成された小流路を経由して前記リング溝内に供給した後、前記通路形成部の上方に形成された小流路を経由して排出させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の陽極酸化処理方法。The reaction fluid is supplied into the ring groove via a small flow path formed below the passage formation portion, and then discharged via a small flow passage formed above the passage formation portion. The anodizing method according to claim 1, wherein the anodizing method is performed. 前記電極を環状に形成し、前記環状隙間の回りに配置させたことを特徴とする請求項１または２に記載の陽極酸化方法。The anodic oxidation method according to claim 1 or 2 , wherein the electrode is formed in an annular shape and disposed around the annular gap . ピストンと電極との間に反応流体を通して通電し、前記ピストンの少なくともリング溝内の表面に陽極酸化処理を施すための陽極酸化処理装置であって、
前記ピストンを収容する収容穴を有する収容容器体と、
前記リング溝の上下の開口縁部付近にそれぞれ当接してシールする、前記収容穴内周面に設けられる一対のシール部材と、
少なくとも前記上下のシール部材と、前記リング溝と、前記収容穴の内周面において前記上下のシール部材の間に開口した環状隙間とからなり、前記反応流体を保持流通する反応チャンバーと、
絶縁体で環状に形成され、かつ前記環状隙間を上下方向に仕切ることにより、前記反応流体を前記リング溝に供給し、該供給された反応流体を前記リング溝から排出するために、上下にそれぞれ前記反応流体を供給・排出する小流路を形成する通路形成部を有する通路板と、
前記通路形成部の外周において該通路板と一体に絶縁体で環状に形成され、かつ前記収容容器体内の空間を上下方向に仕切るように配置され、前記反応流体を前記小流路に供給する供給通路と、前記反応流体を前記小流路から排出する排出通路とを上下にそれぞれ形成する本体部と、
を備え、
前記本体部に前記電極が設けられていることを特徴とする陽極酸化処理装置。An anodizing apparatus for energizing a reaction fluid between a piston and an electrode, and anodizing the surface of at least the ring groove of the piston ,
A storage container body having a storage hole for storing the piston;
A pair of sealing members provided on the inner peripheral surface of the accommodation hole, which respectively contact and seal near the upper and lower opening edge portions of the ring groove;
A reaction chamber comprising at least the upper and lower seal members, the ring groove, and an annular gap opened between the upper and lower seal members on an inner peripheral surface of the accommodation hole, and holding and circulating the reaction fluid ;
In order to supply the reaction fluid to the ring groove and to discharge the supplied reaction fluid from the ring groove by forming an annular shape with an insulator and partitioning the annular gap vertically, respectively. A passage plate having a passage forming portion for forming a small flow path for supplying and discharging the reaction fluid;
Wherein the outer periphery of the passage forming part is formed annularly passage plate and integral with the insulator, and is disposed so as to partition the container body volume in the vertical direction, the supply supplying the reaction fluid to the small flow path a passage, a main body portion respectively forming a discharge passage for discharging the reaction fluid from the small channels up and down,
With
An anodizing apparatus characterized in that the body is provided with the electrode. 前記電極が、前記環状隙間を囲繞する大きさの環状に形成され、前記通路板と同軸に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の陽極酸化装置。 The electrodes, the formed to the size of the annular surrounding the annular gap, anodizing apparatus according to claim 4, characterized in that arranged on the passage plate coaxially. 前記ピストンの径方向で、前記リング溝と前記電極との間に、絶縁体で形成された目隠し部材が配置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の陽極酸化処理装置。The anodizing apparatus according to claim 4 or 5, wherein a blindfold member formed of an insulator is disposed between the ring groove and the electrode in a radial direction of the piston. 前記電極の表面が前記本体部の上下いずれかの表面において露出するように、前記電極が前記本体部に埋め込み一体化されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載の陽極酸化装置。The anode according to any one of claims 4 to 6 , wherein the electrode is embedded in and integrated with the main body so that the surface of the electrode is exposed on one of the upper and lower surfaces of the main body. Oxidation equipment. 前記ピストンの径方向で、前記リング溝と前記電極との間に、絶縁体で形成された目隠し部材が配置され、In the radial direction of the piston, a blindfold member made of an insulator is disposed between the ring groove and the electrode,
前記本体部の上下方向厚みが前記通路形成部よりも厚く形成され、The vertical thickness of the main body is formed thicker than the passage forming portion,
前記本体部には、該本体部外周と前記通路形成部とを結合するとともに、前記通路形成部に向かうほど上下方向厚みが薄くなる傾斜面部が形成され、The main body portion is formed with an inclined surface portion that combines the outer periphery of the main body portion and the passage forming portion, and the thickness in the vertical direction becomes thinner toward the passage forming portion,
該傾斜面部が前記目隠し部材を構成していること特徴とする請求項７に記載の陽極酸化装置。The anodizing apparatus according to claim 7, wherein the inclined surface portion constitutes the blindfold member. 前記電極に通電するための導電体が、前記供給通路および前記排出通路の外から前記電極に接触し、前記反応流体と接しないことを特徴とする請求項４〜８のいずれかに記載の陽極酸化処理装置。The anode according to any one of claims 4 to 8, wherein a conductor for energizing the electrode contacts the electrode from outside the supply passage and the discharge passage and does not contact the reaction fluid. Oxidation processing equipment. 前記収容容器体の少なくとも前記収容穴を形成する部材が、前記環状隙間を境に上下に分割可能な上側構成部材と下側構成部材とで構成され、The member that forms at least the accommodation hole of the accommodation container body is composed of an upper component member and a lower component member that can be divided vertically with the annular gap as a boundary,
前記上側構成部材は、第１内側円筒部と、該第１内側円筒部よりも大径の第１外側円筒部と、を有し、The upper constituent member has a first inner cylindrical portion and a first outer cylindrical portion having a larger diameter than the first inner cylindrical portion,
前記下側構成部材は、前記第１内側円筒部と同径の第２内側円筒部と、前記第１外側円筒部と同径の第２外側円筒部と、を有し、The lower component member includes a second inner cylindrical portion having the same diameter as the first inner cylindrical portion, and a second outer cylindrical portion having the same diameter as the first outer cylindrical portion,
前記収容穴内周面を構成する前記第１および第２内側円筒部の内周面に、前記上下一対のシール部材の一方がそれぞれ配置され、One of the pair of upper and lower seal members is respectively disposed on the inner peripheral surfaces of the first and second inner cylindrical portions constituting the inner peripheral surface of the receiving hole,
前記第１内側円筒部の下端面と前記第２内側円筒部の上端面との間に、前記環状隙間が形成されるとともに、The annular gap is formed between the lower end surface of the first inner cylindrical portion and the upper end surface of the second inner cylindrical portion,
前記第１外側円筒部の下端面と前記第２外側円筒部の上端面との間に、前記本体部が挟持されることにより、前記本体部の下方に前記供給通路または前記排出通路の一方が形成され、前記本体部の上方に前記供給通路または前記排出通路の他方が形成されていることを特徴とする請求項４〜９のいずれかに記載の陽極酸化処理装置。By sandwiching the main body between the lower end surface of the first outer cylindrical portion and the upper end surface of the second outer cylindrical portion, one of the supply passage or the discharge passage is located below the main body portion. The anodizing apparatus according to claim 4, wherein the other of the supply passage and the discharge passage is formed above the main body portion. 前記本体部を挟持するフランジ部が、前記第１外側円筒部の下端面および前記第２外側円筒部の上端面にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の陽極酸化処理装置。11. The anodizing apparatus according to claim 10, wherein flange portions that sandwich the main body portion are formed on a lower end surface of the first outer cylindrical portion and an upper end surface of the second outer cylindrical portion, respectively. . 前記本体部の上下両面のうち前記埋め込まれた電極が露出する面に押接する前記フランジ部の面に複数の溝が設けられ、A plurality of grooves are provided on a surface of the flange portion that is pressed against a surface where the embedded electrode is exposed among both upper and lower surfaces of the body portion,
前記両フランジ部により前記本体部が挟持された状態で、前記複数の溝が前記供給通路または前記排出通路と連通することにより、前記埋め込まれた電極の表面と前記供給通路または前記排出通路とが導通することを特徴とする請求項１１に記載の陽極酸化処理装置。The plurality of grooves communicate with the supply passage or the discharge passage in a state where the main body is sandwiched between the two flange portions, whereby the surface of the embedded electrode and the supply passage or the discharge passage are connected to each other. The anodizing apparatus according to claim 11, wherein the anodizing apparatus is conductive. 前記複数の溝は放射状に設けられていることを特徴とする請求項１２に記載の陽極酸化処理装置。The anodizing apparatus according to claim 12, wherein the plurality of grooves are provided radially. 前記複数の溝は、該複数の溝が設けられた前記フランジ部の内周側で、前記供給通路または前記排出通路と連通することを特徴とする請求項１２または１３に記載の陽極酸化処14. The anodizing treatment according to claim 12, wherein the plurality of grooves communicate with the supply passage or the discharge passage on an inner peripheral side of the flange portion provided with the plurality of grooves. 理装置。Science device. 前記第１および第２外側円筒部により前記本体部が挟持された状態で、前記露出した電極の表面の内周側が、前記第１外側円筒部の下端面または前記第２外側円筒部の上端面により覆われて前記供給通路または前記排出通路との導通が遮断されるとともに、前記露出した電極の表面の外周側が、前記第１外側円筒部の下端面または前記第２外側円筒部の上端面により覆われることなく前記供給通路または前記排出通路と導通することを特徴とする請求項１０に記載の陽極酸化処理装置。In a state where the main body is sandwiched between the first and second outer cylindrical portions, the inner peripheral side of the exposed electrode surface is the lower end surface of the first outer cylindrical portion or the upper end surface of the second outer cylindrical portion. And the conduction with the supply passage or the discharge passage is interrupted, and the outer peripheral side of the exposed electrode surface is formed by the lower end surface of the first outer cylindrical portion or the upper end surface of the second outer cylindrical portion. The anodizing apparatus according to claim 10, wherein the anodizing apparatus is electrically connected to the supply passage or the discharge passage without being covered. 前記両フランジ部により前記本体部が挟持された状態で、前記露出した電極の表面の内周側が前記第１または第２外側円筒部の前記フランジ部によって覆われるとともに、前記露出した電極の表面の外周側が前記第１または第２外側円筒部の前記フランジ部によって覆われることなく前記供給通路または前記排出通路と導通することを特徴とする請求項１１に記載の陽極酸化処理装置。In a state where the main body is sandwiched between the two flange portions, the inner peripheral side of the surface of the exposed electrode is covered with the flange portion of the first or second outer cylindrical portion, and the surface of the exposed electrode is 12. The anodizing apparatus according to claim 11, wherein an outer peripheral side is connected to the supply passage or the discharge passage without being covered by the flange portion of the first or second outer cylindrical portion. 前記上側および下側構成部材を収装する外筒部材が設けられ、An outer cylinder member for housing the upper and lower components is provided;
該外筒部材の内周面に、前記供給通路に前記反応流体を供給する供給穴と、前記排出通路から前記反応流体を排出する排出穴と、がそれぞれ１つずつ開設され、A supply hole for supplying the reaction fluid to the supply passage and a discharge hole for discharging the reaction fluid from the discharge passage are each opened on the inner peripheral surface of the outer cylinder member,
前記第１および第２外側円筒部に、該第１および第２外側円筒部の内周側と外周側とを連通する連通穴が開設され、In the first and second outer cylindrical portions, a communication hole that opens the inner peripheral side and the outer peripheral side of the first and second outer cylindrical portions is opened,
前記第１および第２外側円筒部が前記外筒部材の内周面に嵌め合うように装着されていることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれかに記載の陽極酸化処理装置。The anodizing apparatus according to any one of claims 10 to 16, wherein the first and second outer cylindrical portions are mounted so as to fit into an inner peripheral surface of the outer cylinder member.
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