JP3912920B2 - Development device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板などの基板に現像液を液盛りするために基板に現像液を供給する現像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の現像装置として、例えば、図5に示すような装置がある。
図5に示す現像装置は、基板Wを水平姿勢で保持して鉛直方向の軸芯J周りで回転させるスピンチャック1や、所定の現像液供給位置に位置されて側方に設けられた多数の吐出孔101から基板Wに現像液Qを供給する現像液供給ノズル100を備えている。
【0003】
この従来装置による基板Wへの現像液Qの液盛りは以下のようにして行われる。すなわち、基板Wの中心を軸芯Jに一致させて基板Wがスピンチャック1に保持されると、その基板Wの上方であって、基板Wの中心(軸芯J)から若干ずれた所定の現像液供給位置に現像液供給ノズル100が位置される。そして、スピンチャック1によって基板Wをその中心(軸芯J)周りで回転させながら、現像液供給位置に位置した現像液供給ノズル100の側方の吐出孔101から現像液Qが基板Wに供給される。これにより、基板Wに供給された現像液Qは、基板Wの回転に伴う遠心力によって基板Wの全面にひろげられて基板Wに現像液Qが液盛りされる。
【0004】
基板Wへの現像液Qの液盛りが完了すると、スピンチャック1による基板Wの回転が停止されて、所定の現像時間の間、基板Wは静止される。この間に現像処理が進行して、基板Wに塗布されたフォトレジスト膜に対して露光されて焼き付けられたパターンが得られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
近年、パターンの微細化に伴ってフォトレジストの種類が多様化しており、その中には、現像液Qとの密着性が悪い疎水性のフォトレジストも存在する。このような疎水性のフォトレジストが塗布された基板Wに対して、従来装置を用いて従来方法で現像液Qを供給して液盛りした場合、従来方法では、単に基板Wの回転に伴う遠心力で基板Wの全面(に塗布されたフォトレジスト膜上)に現像液Qをひろげているだけであるので、現像液Qとフォトレジスト膜との密着度が弱く、フォトレジスト膜上で現像液Qが弾かれて液盛りされない箇所が発生し、基板Wの全面で現像処理を均一に行えないという問題が発生している。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板全面に現像液を液盛りして現像処理を均一に行うことができる現像装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に現像液を供給して基板に現像液を液盛りし、現像処理を行う現像装置であって、基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持された基板に対向する対向面を備えた対向部材と、前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給する現像液供給手段と、前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板とを近接させて、その間に前記現像液供給手段によって供給される現像液を介在させた状態で前記対向部材と基板とを相対変位させる相対変位手段とを備え、前記対向部材は、多数の中空糸状ファイバーを束ねてなり、基板に対向する対向面を備えるとともに、前記束ねられた中空糸状ファイバーの側方から減圧吸引される多孔質材を含み、前記現像液供給手段は、前記多孔質材を通して前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給することを特徴とするものである。
【0008】
(削除)
【0009】
(削除)
【0010】
請求項2に記載の発明は、上記請求項1に記載の現像装置において、前記相対変位手段は、前記基板保持手段に保持された基板をその中心周りで回転させながら、前記対向部材を前記基板保持手段に保持された基板の周縁と中心との間で移動させることを特徴とするものである。
【0011】
請求項3に記載の発明は、上記請求項1または2に記載の現像装置において、前記相対変位手段は、基板に対して前記対向部材を回転させることを特徴とするものである。
【0012】
【作用】
請求項1に記載の発明に係る現像液供給装置によれば、基板に対向する対向面を備えた対向部材と、基板とを近接させて、その間に現像液を介在させた状態で対向部材と基板とを相対変位させて基板に現像液を供給して基板に現像液を液盛りする。これにより、対向部材の対向面全体で広い面積にわたって基板(に塗布されたフォトレジスト膜)に現像液を擦り付けるようにして現像液を供給することができ、その供給過程で、基板(に塗布されたフォトレジスト膜)に現像液が強制的に密着させられる。従って、疎水性のフォトレジストが塗布された基板に対して現像液を供給して液盛りする場合でも、フォトレジスト膜上で現像液が弾かれることを抑制することができ、基板全面に現像液を液盛りすることができる。
【0013】
(削除)
【0014】
すなわち、相対変位手段によって、基板保持手段に保持された基板に対向する対向面を備えた対向部材と、基板保持手段に保持された基板とを近接させて、その間に現像液供給手段によって供給される現像液を介在させた状態で対向部材と基板とを相対変位させて基板に現像液を供給して基板に現像液を液盛りする。
【0015】
さらに、現像液供給手段は、対向部材に設けられた多数の中空糸状ファイバーを束ねてなる多孔質材を通して対向部材と、基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給する。これにより、対向部材と基板保持手段に保持された基板との間に現像液を均一な流速分布で均等に供給することができる。
【0016】
請求項2に記載の発明に係る現像装置によれば、相対変位手段は、少なくとも基板保持手段に保持された基板をその中心周りで回転させながら、対向部材を基板保持手段に保持された基板の周縁と中心との間で移動させる。基板の周縁と中心との間の対向部材の移動は複数回行ってもよい。これにより、基板よりも小さい対向部材(対向面)であっても、基板全面に隈なく対向部材(対向面)を近接対向させて現像液を供給することができる。
【0017】
請求項3に記載の発明に係る現像装置によれば、相対変位手段は、対向面と基板との相対変位として、少なくとも基板に対して対向部材を回転させる。これにより、対向部材と基板との間の現像液をより強く基板(詳しくは、基板に塗布されたフォトレジスト膜)に擦り付けことができ、基板と現像液とをより強固に密着させることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は本発明の一実施例に係る現像装置の全体構成を示す平面図であり、図2はその要部の縦断面図、図3は実施例装置に備えた現像液供給ノズルの拡大縦断面図である。
【0019】
図2に示すように、この実施例装置は、基板Wを水平姿勢で保持する基板保持手段に相当するスピンチャック1を備えている。このスピンチャック1は、図示しない真空ラインにつながっていて基板Wを真空吸着保持する基板保持台2を有する。また、基板保持台2は、回転軸3を介して電動モーター4に連動連結されていて、電動モーター4の回転駆動によって、基板Wを保持した状態で鉛直方向の軸芯J周りで回転可能に構成されている。基板Wはその中心が軸芯Jに一致されて基板保持台2に保持されることで、スピンチャック1とともに基板Wをその中心周りで回転させることができるようになっている。
【0020】
スピンチャック1およびそれによって保持された基板Wの周囲にはカップ5が配備されている。このカップ5は、図示しない昇降機構によって昇降可能に構成されている。基板Wの搬入搬出の際には、カップ5は下降されて、スピンチャック1の基板保持台2がカップ5の上方に突出され、スピンチャック1(基板保持台2)と図示しない基板搬送機構の基板搬送アームとの間での基板Wの受渡しが許容される。また、後述するように、基板Wが回転される際には、カップ5が上昇されて、スピンチャック1およびそれに保持された基板Wの周囲にカップ5を配置させ、回転に伴って基板Wから周囲に飛散される現像液などを受け止めて回収するようになっている。
【0021】
カップ5の一方の側部には、アーム駆動機構10によって鉛直方向の軸芯Sを支点として揺動可能に、かつ、昇降可能に支持アーム11が配設されている。この支持アーム11の先端部には支軸12が回転可能に垂設され、この支軸12の下端部に後述する現像液供給ノズル20が支軸12と一体回転可能に連結されている。支持アーム11を軸芯Sの周りに揺動させることで、現像液供給ノズル20を平面視で図1のR1方向に沿って移動させることができ、現像液供給ノズル20を、スピンチャック1に保持された基板Wの周縁と中心との間で移動させることができるようになっている。
【0022】
また、支持アーム11には、電動モーター13が設けられ、この電動モーター13と支軸12とが図示しないベルト伝動機構などを介して連動連結されていて、電動モーター13の回転駆動によって、支軸12とともに現像液供給ノズル20が鉛直方向の軸芯T周りで回転可能に構成され、スピンチャック1に保持された基板Wに対して現像液供給ノズル20を回転(自転)させることができるようになっている。カップ5の支持アーム11側の側部には、待機中の現像液供給ノズル20を待機させるための待機ポット14も設けられている。
【0023】
カップ5の他方の側部には、純水などのリンス液を供給するリンス液供給ノズル15が、昇降可能で、かつ、支持アーム16の揺動によって図1のR2方向に移動可能に配設されている。
【0024】
本発明における対向部材に相当する現像液供給ノズル20は、その底面がスピンチャック1に保持された基板Wの上面(フォトレジスト膜が塗布された表面)に対向する対向面21を備えている。現像液供給ノズル20内には、その上部に液溜まり部22が設けられているとともに、その液溜まり部22の下側に多孔質材23が配設されている。この多孔質材23の底面が対向面21の大部分を構成している。液溜まり部22には、現像液供給源から支持アーム11などに内設された供給管(いずれも図示せず)及び支軸12内に形成された供給路24を介して現像液Qが供給されるようになっている。そして、液溜まり部22内の現像液Qが多孔質材23を通って対向面21から吐出されるようになっている。すなわち、本実施例では、対向面21は現像液Qの供給口にもなっていて、この対向面21から現像液Qが滲み出るようにして吐出されるようになっている。
【0025】
多孔質材23としては、多孔質材23の対向面21から均一な流速分布で現像液Qを均等に吐出供給できるものであればよく、例えば、多数の中空糸状のファイバーを束ねたものやポリビニルアルコール(PVA)などを用いることができる。なお、多数の中空糸状のファイバーを束ねた多孔質材23を用いた場合には、現像液Qのろ過が可能で、脱気(現像液Q内の気体を分離)することも可能である。例えば、図2、図3に示すように、多孔質材23の側方に開放部25を形成すれば(好ましくは、開放部25を減圧吸引して)、現像液Qから分離された気体を開放部25から放出することができる。
【0026】
対向面21は、例えば、直径5mm〜80mm程度の円形に形成されるが、対向面21の形状は円形に限らず、楕円形や正方形、長方形、その他の多角形などで形成してもよい。ただし、対向面21は、後述する現像液Qを基板W(に塗布されたフォトレジスト膜)に擦り付ける力としてより強い力が得られるように、水平面内で互いに直交する2軸方向の各寸法がそれぞれある程度の大きさを有する周囲に広がりを有する面形状であり、その面積もある程度大きくするように形成している。すなわち、例えば、略線状のような形状の対向面の場合、現像液Qを基板W(に塗布されたフォトレジスト膜)に擦り付けるのに十分な力が得られないので、そのような形状は好ましくない。
【0027】
なお、本実施例では、現像液供給源や支持アーム11などに内設された供給管、支軸12内に形成された供給路24、液溜まり部22、多孔質材23が、本発明における現像液供給手段を構成する。また、電動モーター4、13、アーム駆動機構10が、本発明における相対変位手段を構成する。
【0028】
次に、上記構成を有する実施例装置の動作を説明する。
まず、現像液供給ノズル20が待機ポット14内に待機されているとともに、リンス液供給ノズル15がカップ5の側方に待機され、カップ5が下降されている状態で、図示しない基板搬送機構の基板搬送アームによって搬入されてきた基板Wを、その中心を軸芯Jと一致させて基板保持台2で受け取って保持する。スピンチャック1(基板保持台2)が基板Wを保持し、基板搬送機構の基板搬送アームが退避されると、カップ5が上昇されて、スピンチャック1及びそれによって保持された基板Wの周囲にカップ5が配置される。
【0029】
次に、アーム駆動機構10によって、支持アーム11が上昇されて現像液供給ノズル20が待機ポット14から引き上げられ、さらに、図1のR1方向に沿って反時計方向に所定量移動されて、カップ5の内側であって、スピンチャック1に保持された基板Wの周縁の外側の所定の準備位置P0(図1、図2参照)にまで移動されると、支持アーム11を下降させて現像液供給ノズル20を走査高さSHに位置させる。この走査高さSHは、対向面21とスピンチャック1に保持された基板Wの表面とを近接させ、対向面21とスピンチャック1に保持された基板Wの表面との間に現像液Qを介在させた状態で相対変位し得る高さ位置であり、対向面21とスピンチャック1に保持された基板Wの表面との間の間隔Bが、0mm<B≦10mm程度の範囲内に納まる高さである。
【0030】
そして、対向面21からの現像液Qの吐出を開始し、電動モーター4を回転駆動させて基板Wをその中心周りに回転させながら、支持アーム11を軸芯S周りに揺動させて、走査高さSHを維持しながら、現像液供給ノズル20をスピンチャック1に保持された基板Wの周縁と中心との間を所定回数(往復)移動させる。このとき、電動モーター13を回転駆動させて現像液供給ノズル20を軸芯T周りで回転させながら、基板Wの周縁と中心との間を移動させてもよい。
【0031】
以上の動作により、図4に示すように、スピンチャック1に保持された基板Wに対向する現像液供給ノズル20の対向面21とスピンチャック1に保持された基板Wとを近接させて、その間に多孔質材23を通して順次供給される現像液Qを介在させた状態で現像液供給ノズル20(対向面21)と基板Wとを相対変位させて基板Wに現像液Qを供給して基板Wに現像液Qを液盛りすることができる。
【0032】
このような方法で基板Wに現像液Qを供給することにより、現像液供給ノズル20の対向面21全体で広い面積にわたって基板W(に塗布されたフォトレジスト膜)に現像液Qを擦り付けるようにして現像液Qを供給することができ、その供給過程で、基板W(に塗布されたフォトレジスト膜)に現像液Qを強制的に密着させることができる。従って、疎水性のフォトレジストが塗布された基板Wに対して現像液Qを供給して液盛りする場合でも、フォトレジスト膜上で現像液Qが弾かれることを抑制することができ、基板Wの全面に現像液Qを液盛りすることができる。
【0033】
また、現像液供給ノズル20(対向面21)とスピンチャック1に保持された基板Wとの間に、多孔質材23を通して現像液Qを供給するようにしているので、現像液供給ノズル20(対向面21)とスピンチャック1に保持された基板Wとの間に現像液Qを均一な流速分布で均等に供給することができ、現像液Qを基板Wに擦り付ける力が対向面21全体で均一になり、現像液Qを基板Wにムラなく供給することができる。
【0034】
また、スピンチャック1に保持された基板Wをその中心周りで回転させながら、現像液供給ノズル20(対向面21)をスピンチャック1に保持された基板Wの周縁と中心との間で移動させて、基板Wに現像液Qを供給するので、基板Wよりも小さい現像液供給ノズル20(対向面21)であっても基板Wの全面に隈なく現像液供給ノズル20(対向面21)を近接対向させて現像液Qを供給することができる。
【0035】
さらに、基板Wに対して現像液供給ノズル20を軸芯T周りで回転させながら基板Wに現像液Qを供給すれば、現像液供給ノズル20(対向面21)と基板Wとの間の現像液Qをより強く基板W(詳しくは、基板Wに塗布されたフォトレジスト膜)に擦り付けことができ、基板Wと現像液Qとをより強固に密着させることができ、フォトレジスト膜上で現像液Qが弾かれることをより一層抑制することができる。
【0036】
基板Wの全面への現像液Qの供給を終えると、アーム駆動機構10によって現像液供給ノズル20が、準備位置P0に戻され、対向面21からの現像液Qの吐出が停止される。その後、アーム駆動機構10によって、支持アーム11が上昇され、さらに、待機ポット14の上方まで現像液供給ノズル20を移動させると、支持アーム11を下降させて現像液供給ノズル20を待機ポット14内に待機させる。
【0037】
一方、基板Wへ現像液Qを液盛りした後は、電動モーター4の回転駆動を停止して、スピンチャック1による基板Wの回転が停止され、所定の現像時間の間、基板Wは静止される。この間に現像処理が行われる。現像時間が経過すると、電動モーター4を回転駆動して基板Wを高速に回転させ、基板W上の現像液Qが振り切られる。その後、リンス液供給ノズル15を基板Wの上方に移動させてそのノズル15からリンス液を回転中の基板W上に供給して、基板W上に残留する現像液Qを洗い流すリンス処理が行われる。所定時間リンス処理を行うと、リンス液の供給を停止してリンス液供給ノズル15をカップ5の外側に戻す。そして、基板Wに付着しているリンス液を振り切り乾燥した後、スピンチャック1の回転を停止する。その後、カップ5を下降させ、基板搬送機構の基板搬送アームによって基板Wが搬出されて、一連の現像処理を終了する。
【0038】
以上のようにこの実施例装置によれば、基板Wの全体に現像液Qを液盛りして、基板Wの全面で現像処理を均一に行うことができる。
【0039】
(削除)
【0040】
(削除)
【0041】
(削除)
【0042】
(削除)
【0043】
(削除)
【0044】
また、本発明は、半導体ウエハのような円形基板に限らず、液晶表示器用のガラス基板にも適用することができる。
【0045】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1に記載の発明に係る現像液供給装置によれば、基板に対向する対向面を備えた対向部材と、基板とを近接させて、その間に現像液を介在させた状態で対向部材と基板とを相対変位させて、基板に現像液を供給して基板に現像液を液盛りするので、対向部材の対向面全体で広い面積にわたって基板に現像液を擦り付けるようにして現像液を供給することができ、その供給過程で、基板に現像液を強制的に密着させることができる。従って、疎水性のフォトレジストが塗布された基板に対して現像液を供給して液盛りする場合でも、フォトレジスト膜上で現像液が弾かれることを抑制することができ、基板全面に現像液を液盛りすることができ、基板全面で現像処理を均一に行うことができる。
【0046】
(削除)
【0047】
また、請求項1に記載の発明に係る現像装置によれば、現像液供給手段は、対向部材に設けられた多数の中空糸状ファイバーを束ねてなる多孔質材を通して対向部材と基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給するので、対向部材と基板保持手段に保持された基板との間に現像液を均一な流速分布で均等に供給することができ、現像液を基板に擦り付ける力が対向面全体で均一になり、現像液を基板にムラなく供給することができる。
【0048】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の現像装置において、相対変位手段は、基板保持手段に保持された基板をその中心周りで回転させながら、対向部材を基板保持手段に保持された基板の周縁と中心との間で移動させるので、基板よりも小さい対向部材(対向面)であっても基板全面に隈なく対向部材(対向面)を近接対向させて現像液を供給することができる。
【0049】
請求項3に記載の発明に係る現像装置によれば、請求項1または2に記載の現像装置において、相対変位手段は、基板に対して対向部材を回転させるので、対向部材と基板との間の現像液をより強く基板に擦り付けことができ、基板と現像液とをより強固に密着させることができ、フォトレジスト膜上で現像液が弾かれることをより一層抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る現像装置の全体構成を示す平面図である。
【図2】 実施例装置の要部の縦断面図である。
【図3】 実施例装置に備えた現像液供給ノズルの拡大縦断面図である。
【図4】 実施例装置による現像液の供給状態を示す縦断面図である。
【図5】 従来装置及び従来方法を示す正面図である。
【符号の説明】
1:スピンチャック
4、13:電動モーター
10:アーム駆動機構
20:現像液供給ノズル
21、対向面
22:液溜まり部
23:多孔質材
24:供給路
30、40、50:対向部材
32:吐出口
43:吐出孔
51:ノズル
W:基板
Q:現像液[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor wafer or a glass substrate of a liquid crystal display dexterity, a glass substrate for a photomask, for the current image device you supplying a developing solution to the substrate to puddle developing solution to a substrate such as a substrate for an optical disk.
[0002]
[Prior art]
As this type of conventional developing unit, for example, a device as shown in FIG.
The developing device shown in FIG. 5 has a spin chuck 1 that holds the substrate W in a horizontal posture and rotates it around a vertical axis J, and a number of side portions that are located at a predetermined developer supply position and are provided on the side. A
[0003]
The liquid deposition of the developer Q onto the substrate W by this conventional apparatus is performed as follows. That is, when the substrate W is held by the spin chuck 1 with the center of the substrate W aligned with the axis J, a predetermined position that is slightly above the center of the substrate W (axis J) is above the substrate W. The
[0004]
When the liquid deposition of the developer Q on the substrate W is completed, the rotation of the substrate W by the spin chuck 1 is stopped, and the substrate W is stopped for a predetermined development time. During this time, development processing proceeds, and a pattern is obtained in which the photoresist film applied to the substrate W is exposed and baked.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional example having such a configuration has the following problems.
In recent years, with the miniaturization of patterns, the types of photoresists have been diversified, and among them, there are hydrophobic photoresists with poor adhesion to the developer Q. When the developer Q is supplied to the substrate W coated with such a hydrophobic photoresist by a conventional method using a conventional apparatus, the conventional method simply centrifuges as the substrate W rotates. Since the developer Q is merely spread over the entire surface of the substrate W (on the applied photoresist film) by force, the degree of adhesion between the developer Q and the photoresist film is weak, and the developer on the photoresist film is weak. There is a problem that a portion where the liquid is not deposited due to the repelling of Q is generated, and the development processing cannot be uniformly performed on the entire surface of the substrate W.
[0006]
The present invention was made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a current image device by puddle development solution on the entire surface of the substrate Ru can perform development processing uniformly.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.
In other words, the invention described in claim 1 is a developing device for supplying a developing solution to a substrate, depositing the developing solution on the substrate, and performing a developing process, the substrate holding means for holding the substrate, and the substrate holding An opposing member having an opposing surface facing the substrate held by the means; a developer supply means for supplying a developing solution between the opposing member and the substrate held by the substrate holding means; and the opposing member; Relative displacement means for relatively displacing the opposing member and the substrate in a state where the substrate held by the substrate holding means is brought close to each other and the developer supplied by the developer supply means is interposed therebetween. the opposing member is made by bundling a plurality of hollow fiber fiber comprises Rutotomoni includes a facing surface facing the substrate, the porous material from the side is the vacuum suction of the bundled hollow fiber fiber, it said developing Liquid supplier Is characterized in that to supply the developing solution between the substrate held on the opposing member and the substrate holding means through said porous material.
[0008]
(Delete)
[0009]
(Delete)
[0010]
The invention according to
[0011]
According to a third aspect of the present invention, in the developing device according to the first or second aspect , the relative displacement means rotates the facing member with respect to the substrate.
[0012]
[Action]
According to the developer supply apparatus of the first aspect of the present invention, the facing member provided with the facing surface facing the substrate and the substrate are brought close to each other, and the facing member is disposed with the developer interposed therebetween. The developer is supplied to the substrate by being displaced relative to the substrate, and the developer is deposited on the substrate. As a result, the developing solution can be supplied by rubbing the developing solution onto the substrate (the photoresist film applied thereto) over a wide area over the entire opposing surface of the opposing member. The developer is forcibly adhered to the photoresist film. Therefore, even when the developer is supplied to the substrate coated with the hydrophobic photoresist and pours up, the developer can be prevented from being repelled on the photoresist film, and the developer can be applied to the entire surface of the substrate. Can be poured.
[0013]
(Delete)
[0014]
In other words, the opposing member having an opposing surface facing the substrate held by the substrate holding unit and the substrate held by the substrate holding unit are brought close to each other by the relative displacement unit, and supplied by the developer supply unit therebetween. With the developing solution interposed, the opposing member and the substrate are relatively displaced, the developing solution is supplied to the substrate, and the developing solution is deposited on the substrate.
[0015]
Further, the developing solution supply means supplies the developing solution between the facing member and the substrate held by the substrate holding means through a porous material formed by bundling a large number of hollow fiber fibers provided on the facing member. As a result, the developer can be supplied uniformly between the opposing member and the substrate held by the substrate holding means with a uniform flow velocity distribution.
[0016]
According to the developing device of the second aspect of the present invention, the relative displacing means rotates at least the substrate held by the substrate holding means around the center of the substrate, while the counter member is held by the substrate holding means. Move between perimeter and center. You may perform the movement of the opposing member between the periphery and center of a board | substrate several times. Thereby, even if it is a counter member (opposite surface) smaller than a board | substrate, a counter member (opposite surface) can be made to oppose and approach the whole surface of a board | substrate, and a developing solution can be supplied.
[0017]
According to the developing device of the third aspect, the relative displacement means rotates the facing member relative to at least the substrate as the relative displacement between the facing surface and the substrate. As a result, the developer between the facing member and the substrate can be rubbed more strongly against the substrate (specifically, the photoresist film applied to the substrate), and the substrate and the developer can be more firmly adhered to each other. .
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of a developing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the main part thereof, and FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of a developer supply nozzle provided in the embodiment device. FIG.
[0019]
As shown in FIG. 2, the apparatus of this embodiment includes a spin chuck 1 corresponding to a substrate holding means for holding the substrate W in a horizontal posture. The spin chuck 1 includes a substrate holding table 2 that is connected to a vacuum line (not shown) and holds the substrate W by vacuum suction. The
[0020]
A
[0021]
A
[0022]
The
[0023]
A rinsing
[0024]
The developing
[0025]
As the
[0026]
The facing
[0027]
In this embodiment, the supply pipe provided in the developer supply source and the
[0028]
Next, the operation of the embodiment apparatus having the above configuration will be described.
First, while the
[0029]
Next, the
[0030]
Then, the discharge of the developing solution Q from the facing
[0031]
With the above operation, as shown in FIG. 4, the facing
[0032]
By supplying the developing solution Q to the substrate W by such a method, the developing solution Q is rubbed against the substrate W (the photoresist film applied thereto) over a wide area on the entire facing
[0033]
Further, since the developer Q is supplied through the
[0034]
Further, while rotating the substrate W held by the spin chuck 1 around its center, the developer supply nozzle 20 (opposing surface 21) is moved between the periphery and the center of the substrate W held by the spin chuck 1. Since the developing solution Q is supplied to the substrate W, the developing solution supply nozzle 20 (opposing surface 21) is spread over the entire surface of the substrate W even if the developing solution supply nozzle 20 (facing surface 21) is smaller than the substrate W. The developer Q can be supplied in close proximity to each other.
[0035]
Further, if the developer Q is supplied to the substrate W while rotating the
[0036]
When the supply of the developer Q to the entire surface of the substrate W is finished, the
[0037]
On the other hand, after the developer Q is deposited on the substrate W, the rotation of the
[0038]
As described above, according to this embodiment apparatus, the developer Q can be deposited on the entire substrate W, and the development process can be uniformly performed on the entire surface of the substrate W.
[0039]
(Delete)
[0040]
(Delete)
[0041]
(Delete)
[0042]
(Delete)
[0043]
(Delete)
[0044]
Further, the present invention can be applied not only to a circular substrate such as a semiconductor wafer but also to a glass substrate for a liquid crystal display.
[0045]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the developer supply device of the first aspect of the present invention, the opposing member having the opposing surface facing the substrate is brought close to the substrate, and the developer is provided therebetween. The counter member and the substrate are displaced relative to each other with the substrate interposed therebetween, and the developer is supplied to the substrate to accumulate the developer on the substrate, so that the developer is applied to the substrate over a wide area over the entire opposing surface of the counter member. The developing solution can be supplied by rubbing, and the developing solution can be forcibly brought into close contact with the substrate in the supply process. Therefore, even when the developer is supplied to the substrate coated with the hydrophobic photoresist and pours up, the developer can be prevented from being repelled on the photoresist film, and the developer can be applied to the entire surface of the substrate. And the development process can be performed uniformly on the entire surface of the substrate.
[0046]
(Delete)
[0047]
Further, according to the developing apparatus of the invention according to claim 1, the current image liquid supply means, the opposing member and the substrate holding means through a porous material made by bundling a plurality of hollow fiber fiber, which is provided on the counter-member Since the developer is supplied between the held substrate and the developer, the developer can be evenly supplied with a uniform flow velocity distribution between the opposing member and the substrate held by the substrate holding means. Therefore, the developing force can be evenly supplied to the substrate.
[0048]
According to a second aspect of the present invention, in the developing device according to the first aspect , the relative displacement means rotates the substrate held by the substrate holding means around the center thereof, while the counter member is used as the substrate holding means. Since the substrate is moved between the peripheral edge and the center of the held substrate, even if the opposing member (opposing surface) is smaller than the substrate, the developing solution is supplied with the opposing member (opposing surface) being closely opposed to the entire surface of the substrate. can do.
[0049]
According to the developing device of a third aspect of the present invention, in the developing device according to the first or second aspect , the relative displacement means rotates the counter member with respect to the substrate. The developer can be rubbed more strongly against the substrate, the substrate and the developer can be more firmly adhered, and the developer can be further prevented from being repelled on the photoresist film.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of a developing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a main part of the embodiment device.
FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of a developer supply nozzle provided in the embodiment apparatus.
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view illustrating a supply state of a developer by an example apparatus.
FIG. 5 is a front view showing a conventional apparatus and a conventional method.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1:
Claims (3)
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された基板に対向する対向面を備えた対向部材と、
前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給する現像液供給手段と、
前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板とを近接させて、その間に前記現像液供給手段によって供給される現像液を介在させた状態で前記対向部材と基板とを相対変位させる相対変位手段とを備え、
前記対向部材は、多数の中空糸状ファイバーを束ねてなり、基板に対向する対向面を備えるとともに、前記束ねられた中空糸状ファイバーの側方から減圧吸引される多孔質材を含み、
前記現像液供給手段は、前記多孔質材を通して前記対向部材と前記基板保持手段に保持された基板との間に現像液を供給することを特徴とする現像装置。A developing device that supplies a developing solution to a substrate, accumulates the developing solution on the substrate, and performs a developing process,
Substrate holding means for holding the substrate;
A facing member having a facing surface facing the substrate held by the substrate holding means;
A developer supply means for supplying a developer between the counter member and the substrate held by the substrate holding means;
Relative displacement in which the opposing member and the substrate are relatively displaced with the opposing member and the substrate held by the substrate holding means in proximity to each other, with the developer supplied by the developer supply means interposed therebetween. Means and
The opposing member includes made by bundling a plurality of hollow fiber fiber, Rutotomoni includes a facing surface facing the substrate, the porous material from the side is the vacuum suction of the bundled hollow fiber fiber,
The developing device, wherein the developing solution supply means supplies a developing solution between the opposing member and the substrate held by the substrate holding means through the porous material.
前記相対変位手段は、前記基板保持手段に保持された基板をその中心周りで回転させながら、前記対向部材を前記基板保持手段に保持された基板の周縁と中心との間で移動させることを特徴とする現像装置。The developing device according to claim 1 ,
The relative displacement means moves the counter member between a peripheral edge and a center of the substrate held by the substrate holding means while rotating the substrate held by the substrate holding means around the center thereof. A developing device.
前記相対変位手段は、基板に対して前記対向部材を回転させることを特徴とする現像装置。The developing device according to claim 1 or 2 ,
The developing device according to claim 1, wherein the relative displacement unit rotates the facing member with respect to the substrate.
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