JP3912666B2 - 光学的形状測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、物体の形状と距離計測を行う光学的形状計測装置に関し、より具体的には、例えば、Web等の3Dコンテンツ作成や、工場のラインの異常検知,物体認識,3Dモデリングのためのデータ入力,ジェスチャ認識などに好適に用い得る光学的形状計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、物体の3次元の形状測定を行う形状測定装置としては、スリット状のレーザー光を測定対象物体に照射し、スリットの長手方向と垂直に走査しながら、スリット光の照射方向と異なる視野から観察することで生じる、測定対象物体形状に応じたスリット光の変形を、三角測量の原理を用いて形状として測定するものが知られている。
【0003】
例えば、図20に示すように、半導体レーザーユニット101と、ガルバノミラー102,シリンドリカルレンズ103からなる照射光学系と、結像レンズ107とCCD108からなる検知光学系からなる、光切断法を用いた形状測定装置が産業用によく用いられている。この装置では、半導体レーザーユニット101からビーム状に放射された光がガルバノミラー102で図中左右方向に走査され、シリンドリカルレンズ103で上下方向に拡大されて、縦に長いスリット光105となって測定対象物体(以下、測定物体という)104に照射される。
【0004】
このとき、スリット光105が走査される方向、すなわち基線方向にずれた位置から、結像レンズ107を通して測定物体104から反射される反射光106を受光素子であるCCD108で観察すると、測定物体104の奥行き方向の凹凸に応じてCCD108上で直線状のスリット光105の変形と結像位置の移動が生じる。CCD108で反射光106の像を観察することは、反射光106が結像レンズ107に入射する測定物体104の各点の位置を三角測量していることになり、スリット光105を照射する位置とCCD108の基線方向の位置の差(基線長)があらかじめ分かれば、この変形からスリット光105が照射されている部分の測定物体104の形状を測定することができる。ガルバノミラー102を振動させることで、スリット光105を測定物体104全体に走査しながら形状測定を繰り返せば、測定物体104全体の形状を得ることができる。
【0005】
図21を用いて三角測量の原理をさらに詳細に説明する(なお、これに関しては、例えば、吉澤徹著, "光三次元計測",pp.29-30, 新技術コミュニケーションズ, 1993年を参照)。スリット光源202(図20のガルバノミラー102のビーム光の反射位置に相当する)と、受光器205(図20のCCD108に相当する)が、基線長(L)201だけ離れているとする。スリット光源202から角度θで放射された光が203aの位置にある測定物体203の表面で反射され、受光器205のある位置に角度φで入射し、結像するなら、式(1)の関係
Za =((tanθ * tanφ)/(tanθ + tanφ))L (1)
が成り立つ。
【0006】
結像レンズ210と受光器205の距離(d)209と、基線長から垂直方向への測定物体の距離(Za )204aがあらかじめ分かっていると、入射角度φが求まる。もし、測定物体203が203bの位置にある場合に、受光器205での結像位置に対してx211だけずれて結像したとして、Ψ = arctan(x / d)の関係からΨがわかるので、式(2)の関係
Zb = (tanθ * tan(φ+Ψ))/(tanθ + tan(φ+Ψ))L (2)
からZb 204bが求まる。
スリット光202を測定物体203全体を照射するように放射角度θを走査し、各θ毎に上記の手続きを繰り返せば、測定物体の各反射点と基線との距離Z、すなわち形状が求められる。
【0007】
スリット光を測定物体に順次走査する光切断法の欠点は、各スリット光を走査する光走査光学系が必要であり、通常、図20のガルバノミラー102のような可動部品が用いられるため装置の振動に弱くなることと、角度θ毎に形状測定を繰り返す必要があるため、計測時間が長いことである。また、測定物体の表面の反射率に依存して受光器205で観測される光量に変動が生じ、受光器のどこに測定物体の像が結像しているかは、結像光量の最大値等から推定することが必要になることである。
【0008】
スリット光を順次に走査する必要があるという、光切断法の欠点を改良した形状計測方法として、パターン投影法がある。これは、スリット光を走査する代わりに、スリット光の全体を面上に並べて、測定物体に1つのパターン光として一括して照射する方法である。ただし、そのままではパターン光のどの位置がどのスリット光に相当するか分からないため、あらかじめ何らかの方法でスリット光との対応、つまりどの照射角度で照射されたかを照射されたパターン光に情報を付加しておく。
【0009】
パターン投影法の一種として、測定鵜物体に分光スペクトルパターンを一括して投影する方法(以下、レインボー法と称する)がある(例えば、特開昭61−75210号公報参照)。これについて、図22に従って説明する。
光源312からスリット313を透過した光は、プリズム314で分光されて物体面305を覆うように、虹のような光パターンが照射される。プリズム314とスリット313の配置によって放射角度αに依存した色の分布が決まるので、物体305の表面で反射された光を、レンズ308で物体面を結像面309に結像させた像をカメラ307で観察された色から、入射光αが判断できる。光源312とカメラ307が距離Dだけ離れているので、放射角αが分かれば、その情報から三角測量法により物体面305の形状が求まる。色の同定はフィルタ315の透過波長を変えることで、物体面305の各点での反射光のうち、2種類の波長の比率を求めることで行う。
【0010】
この方式では、光切断法のようにスリット光を順次走査する必要がなく、虹状の光を一括した形で測定物体に投影し、カラーカメラで一括して反射パターンを取り込めるため、スリット光の走査を行う機械的に脆弱な可動部がなく、形状測定時間を短くできる特徴がある。
その一方で、フィルタ315により2つの波長の反射光の比率をとることで照射光の放射方向αを決めるので、この精度が低いと形状データの奥行き方向の精度を下げることになる。反射光の測定精度を向上させるために、信号光である反射光量を雑音である背景光量に対してS/Nを十分高くすることが必要であることである。フィルタの透過波長幅を狭くすればそれは背景光の影響を除くことは可能であるが、同時に信号光も減少するので、S/Nの改善、すなわち分解能に限界が生じる。
【0011】
また、別なパターン投影法として、強度比法(Intensity Ratio method)がある(例えば、B. Carrihill and R. Hummel, "Experiments with the Intensity Ratio Depth Sensor", Computer Vision, Graphics, and Image Processing, vol.
32, pp. 337-358, 1985年を参照)。
【0012】
図23に沿って強度比法の説明を行う。図23の左右方向が基線方向であり、図21と同様にパターン光源401(図21のスリット光源202に相当)と受光器404(図21の受光器205に相当)が基線方向406に対して異なる位置にある。パターン光源401からは基線方向406に対して光量分布を持つ測定面403全体を同時に照射する面状の光パターンを照射する。放射角θに対する2つの光パターンの強度分布をG1(θ)とG2(θ)とすると、各々の強度分布に対して測定面のある反射率σを持つ点で反射され、受光器404で受光された光量をP1,P2、パターン光源401の光量をSとすると、式(3a),(3b)の関係
P1=K・σ・G1(θ)・S (3a)
P2=K・σ・G2(θ)・S (3b)
が成り立つ。ここで、Kはパターン光源401と受光器404,測定面403の位置関係から決まる係数である。
【0013】
測定面403の反射率σは測定面の表面の特性に依存するため、あらかじめ決めることができないが、式(3a),(3b)の比を取ると、式(4)の関係
P2/P1=G2(θ)/G1(θ) (4)
となり、P2とP1の比は放射角度θだけに依存することがわかる。2つの強度分布光G1(θ)とG2(θ)を持つ光パターンで測定面を照射し、P2/P1を測定することで、放射角θに対して一意にθを求めることができるので、図20のようにスリット光を基線方向に対して走査しながら順次CCDで光量を検知する必要がなく、2つのパターン光に対してCCDの像を観測すればよいため、非常に計測時間が短縮される利点がある。ただし、G2(θ)/G1(θ)がθに対して一価関数であることが必要である。
【0014】
例えば、G1(θ)がθに対して単調減少関数、G2(θ)がθに対して単調増加関数であれば、G2(θ)/G1(θ)はθに対して単調増加関数となり、P2/P1からθが一意に求まる。先のB. Carrihillの論文では、G1(θ)をθによらず一定な一様分布とし、G2(θ)を直線的に光量が増加する分布としているが、強度比法を用いる方法を開示している特開平10−48336号公報の記載等では、G1(θ)が直線的に減少する分布、G2(θ)が直線的に増加する分布を採用している。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
このように強度比法は、光切断法と比較して、測定面の反射率に依存せず、2つのパターンを各々一括して照射して測定を行えるという利点を有するが、一方で欠点もある。強度比法の問題点は、2つの光パターンを受光素子で受光した光量の比率をとるときに、測定のS/Nを上げるために、信号光である反射光量を雑音である背景光量に対して十分高くすることが必要であることである。つまり、G1(θ)やG2(θ)の最小値が小さすぎるとS/Nが低下し、その影響が形状誤差となって現れることである。
【0016】
すなわち、P2/P1のダイナミックレンジが大きくならない。一方、CCDの光量分解能には下限があるため、測定できる放射角θの分解能に下限が生じて、結局測定された形状の分解能が下がるという問題がある。
反射光の測定光量のS/Nに依存して形状の奥行き精度が決まるのは、先の例に示したレインボー法と同じである。
【0017】
さらに別なパターン投影法として、位相シフト法がある。この方式は、測定物体に相互に位相を変えた複数の縞状の高度を持つ正弦波の光パターンを照射し、測定物体での反射光の強度情報を利用して、測定物体の凹凸による位相の変化を求める方式である。位相変化は奥行き情報を持っているため、位相情報から形状情報を求めることができる。例えば、吉澤徹著, "光三次元計測",pp.115-116, 新技術コミュニケーションズ, 1993年に従えば、位相変調された反射光Yは、背景光をa、照射した正弦波パターンの振幅強度をb、観測される縞パターンの位相をω、あらかじめ与えることができる位相をωoとすると、
Y(ωo)=a+b*cos(ω+ωo) (5)
となる。
【0018】
ωoとして、0,π/2,πとした縞パターンを照射し、各々の測定物体で反射された反射光Y(0),Y(π/2),Y(π)から、位相差ωが、
から求められる。位相ωが分かれば形状が求められる。位相シフト法の利点は、正弦波という形状が分かった縞パターンを投影するので、同じく照射された光パターンの強度分布から形を求めているにも係わらず、レインボー法や強度比法に比べて、高精度に形状を求められることである。また、強度比法と同じ振幅の光量変化が与えられたとすると、位相シフト法の方が短い周期の間で大きな光量の変化を与えることができるので、強度比法に比べて実質的にS/Nを改善できている。受光量Yの比を用いて位相、すなわち形状を求めているので測定物体の反射率に依存しないという点は、強度比法と同じである。
【0019】
一方、位相から奥行き情報を求める場合に、位相情報が0から2πの間でしか求まらないため、本当の位相値との間に2πの整数倍の不定性が生じ、本質的に位相、すなわち奥行き情報の決定に曖昧さが伴う問題がある。通常は、位相値の連続性などを仮定して、測定された位相ωから真の位相を計算する(位相のアンラッピングと呼ばれる)を行う必要がある。
【0020】
位相シフト法の位相不定性を改善した例として、位相シフト法と焦点法を併用した特開2000−9444号公報に開示された技術がある。
焦点法は、物体の像のコントラストがカメラの焦点位置に測定物体がある場合に最大になることを利用した形状測定方法である。焦点法は位相シフト法のような形状の曖昧さがないが、形状の測定精度は位相シフト法に劣る。
図24に従って説明する。測定物体507は撮像センサー508で焦点位置を変えながら形状測定される。一方、位相シフト法の照明系であるパターン投影機構517から縞パターンが照射され、撮像センサー508で位相情報を持った縞パターンの変形像が観測される。位相が異なる縞パターンは、光源501からコレクタレンズ502を通り、位相シフタ504で照射する縞パターンの位相を変えながら、投影レンズ505で物体507を照射される。
【0021】
焦点法で形状の概形を求めた結果と、位相シフト法で求めた局所的には精密だが大域的には曖昧な形状を整合させれば、測定物体全体を高精度で計測することができる。
このように、焦点法と位相シフト法という2つの方式を組み合わせることで、両者の欠点を補える利点があるが、この場合、位相シフト法に組み合わせる方式としては、受光系である撮像センサーが焦点法を行えるように焦点機構を変えられるものであることが必要となるため、コスト高になる問題がある。
【0022】
本発明の目的は、従来の技術における上述のような問題を解消し、従来の照射角度を照射されたパターン光の光量の情報から求める光学的形状測定方法において、光量のS/Nが劣化すると形状測定精度が劣化する問題を解決可能にした光学的形状測定装置を提供することである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明においては、下記のような構成を採用したことを特徴としている。以下、請求項に沿って発明の構成を説明する。
【0053】
請求項1に係る光学的形状測定装置は、測定領域の概略形状を測定する概略形状測定手段と、第1の照明手段と第1の検知手段とを結ぶ視差方向に対して垂直に分割され、互いに重なりのない複数の部分測定領域に分割された測定領域内の各部分測定領域の各々に1種類以上の光パターンを照明する第1の照明手段と、前記各部分測定領域に照明された光パターンの反射光を検知する第1の検知手段と、この第1の検知手段で検知した反射光の光量と前記概略形状測定手段とから得られた形状データから、前記各部分測定領域のうちで前記反射光の光量データがどの部分測定領域に属するものかという曖昧さを除去し、曖昧さのない形状データを求める第1の形状推定手段とを有する形状測定手段とからなり、前記概略形状測定手段が、前記測定領域を2種類の光パターンで照射する第2の照明手段と、前記測定領域に照明された光パターンの反射光を検知する第2の検知手段と、この第2の検知手段で検知した2種類の反射光の光量の比から前記測定領域の形状データを決定する第2の形状推定手段からなる構成としている。
本請求項は、測定領域の全域を求める概略形状測定手段と各部分領域の形状測定の両方に対して、強度比法による測定手段を適用したものである。
本請求項は、あらかじめ概略測定手段で形状を求めておき、詳細形状は部分領域に光パターンを照射することで求め、後者の形状データの曖昧性は前者の形状データで除去するという、2種類の形状測定手段を相補的に組み合わせ、さらに測定領域の全域を求める概略形状測定手段と各部分領域の形状測定の両方に対して、強度比法による測定手段を適用する構成とした点が特徴である。
【0054】
第1の照明手段で部分領域毎に光パターンを照射し、第1の検知手段で光量を得る部分に関しては、概略形状測定手段により、まず測定領域の全体の形状データを測定すると、測定領域の各測定点がどの部分領域に属しているか判断できる。この情報を用いれば、形状測定手段から得られた光量のデータの属する領域に関する曖昧性がなくなるため、第1の形状推定手段で両者の形状データに不整合がないように突き合わせることで、曖昧さがなく測定領域の全体の形状が求められる。この装置においては、概略形状測定手段と、部分領域に光パターンを投影し検知することで二重に形状を求めるので、一見無駄なようであるが、概略形状測定手段は検知された反射光量から部分領域の曖昧さを除くために、測定領域の各測定点がどの部分領域に属しているか判断できれば十分なので、形状計測精度は低くても構わない。
概略形状測定手段としては、概形が求まればどんな形状測定手段でもよいので、能動照明が不要な多眼のカメラから得られた2次元画像をステレオマッチングさせる方法等でもよい。
【0056】
概略形状測定手段では、まず、2種類の光パターンを照射して光量を第2の検知手段で検知して、2つの光量の比から第2の形状推定手段により測定領域全体の形状データを求めることにより、測定領域の各測定点が属する部分領域を確定できる。第1の形状測定手段でも、同様に、部分領域毎に2種類の光パターンを照明して得られた反射光の光量の比を得るが、既に属する部分領域の曖昧さは形状データから知れているので、第1の形状推定手段では形状データと光量の比から、測定領域全体の形状データを得ることができる。
【0057】
概略形状測定手段は形状測定手段より精度が低いが、領域の曖昧さを除去するには十分な精度を持つので、曖昧さなしに全体の形状を形状測定手段の精度で求めることができる。
ここで、第1の照明手段と第2の照明手段とは同じ照明手段であってもよいし、また、第1の検知手段と第2の検知手段とが同じ手段であってもよい。例えば、同じ手段で照射パターンを切り替えることで、概略形状測定手段と形状測定手段との視差を等しくできるので、第1の形状推定手段での処理を簡単化できるものである。
【0058】
ここで、概略形状測定手段と形状測定手段が照射するパターンが、色1で測定領域全体に渡って視差方向に単調に光量が変化するパターン、色2で測定領域の全体にわたって均一な光量のパターン、色3で部分領域毎に視差方向に単調に光量が変化するパターンからなり、色2の光量が色1と色3の光量より常に小さく、色1が赤、色2が緑、色3が青、あるいは色1が青、色2が緑、色3が赤であり、検知手段がRGBの波長分離を行うカラーCCDセンサあるいはカラーCMOSセンサである構成としてもよい。
すなわち、ここでは、概略形状測定手段と形状測定手段の両方に強度比法を用いるものである。各々の手段で2種類の光量パターンが必要であるが、そのうちの1種類を共通化すること、3つのパターンを赤緑青に割り当て同時照射し、カラーセンサで一括検知することで、形状計測に必要なパターン照射回数を1回にしている。
【0059】
概略形状測定手段に用いる照射パターンとしては、色1で照射される測定領域全体に渡って視差方向に単調に光量が変化するパターンと、色2で照射される測定領域の全体に渡って均一な光量のパターンを用い、この強度比から概形を求める。測定領域内でこの2つのパターンの照射角度に対する強度比は一意なので、従来の強度比法そのままである。
【0060】
形状測定手段に用いる照射パターンとしては、色2で照射される測定領域の全体に渡って均一な光量のパターンと、色3で照射される部分領域毎に視差方向に単調に光量が変化するパターンとを用いる。この2つのパターンの強度比では、部分領域毎に同じ強度比が存在するので、あらかじめ概略形状測定手段で概略形状を求めておいて、その後に部分領域を特定し、部分領域毎の詳細形状を求める。このとき、色2で照射される測定領域の全体にわたって均一な光量のパターンが概略形状測定手段と形状測定手段で共通なパターンであるが、この色を緑に割り当てる。残りの2つのパターンは赤と青という色分離の良い色に割り当てる。これらの3色のパターンを同時に照射し、色フィルタつきのカラーセンサを用いて色分離することで、3つの光量情報を独立に検知する。
【0061】
照射光源の色純度を高めることは、レーザや発光ダイオードを用いることで容易に行えるが、カラーセンサの緑のフィルタは透過波長範囲が広く、赤と青の色分離は難しいことが多い。つまり、カラーセンサで得られた緑の情報には赤と青の情報が混入しやすい。逆に光源の色純度を高めることで、緑の情報がセンサで得られた赤と青の情報に混入することは防げる。緑のパターンを均一強度として残りの2パターンに対して大きな光量を設定しておけば、緑に対する赤と青のデータの混入の影響を十分小さくできるので、その結果得られる形状の歪みも少なくなる。
【0062】
またさらに、色2が白色であり、色2で検知された光量データを測定領域のテキスチャとして用いる構成としてもよい。
例えば、上述の色2の均一パターンとして緑ではなく白を選択し、強度には制限を設けないようにする。均一パターンを白色で照明するので、残りの2つのカラーパターンとは別に照明と撮影を行う必要がある。
白色の均一パターンを照射すれば、普通にカメラ撮影するときのように、測定領域のテキスチャ画像を撮影したのと同じ条件になる。形状測定を行う場合、テキスチャ画像を得られた形状データからなるポリゴンの上にマッピングする手法が一般的に行われているが、ここでは、形状測定とテキスチャ取り込みを同じパターンで行う。そのため見かけ上、形状計測の撮影が1回、テキスチャの撮影が1回の計2回でテキスチャつきの形状計測を行えることになり、取り込み回数が少なくなり、ユーザに負担がかからない。
【0063】
最後に、請求項2に係る光学的形状測定装置では、請求項1に係る発明において、前記第1の照明手段が前記各部分測定領域を照明する光パターンは、前記各部分測定領域の視差方向に対して連続したあるいは不連続の色の並びである構成としている。
本請求項は、請求項1に係る発明の測定領域の全域を求める概略形状測定手段に強度比法による測定手段を、各部分領域の形状測定に対して、レインボー法による測定手段を適用したものである。
【0064】
概略形状測定手段では、まず2種類の光パターンを照射して光量を第2の検知手段で検知して、2つの光量の比から第2の形状推定手段により測定領域全体の形状データを求めることにより、測定領域の各測定点が属する部分領域を確定できる。第1の形状測定手段では、部分領域毎に色が並んだ1種類の光パターンを照明して得られた反射光の光量から部分領域毎に色情報を得るが、既に属する部分領域の曖昧さは形状データから分かっているので、第1の形状推定手段では形状データと色情報から測定領域全体の形状データを得ることができる。
本構成によれば、形状測定手段にレインボー法を適用しているので、照射パターンが1種類で済むため、照明手段の構成を簡単化できるものである。
【0065】
請求項1と同様に、概略形状測定手段は形状測定手段より精度が低いが、領域の曖昧さを除去するには十分な精度を持つので、曖昧さなしに全体の形状を形状測定手段の精度で求めることができる。
ここで、第1の照明手段と第2の照明手段とは同じ照明手段であってもよいし、また、第1の検知手段と第2の検知手段とが同じ手段であってもよい。例えば、同じ手段で照射パターンを切り替えることで、光学的形状測定手段と光学的形状測定手段の視差を等しくできるので、形状推定手段での処理が簡単化することができる。
【0066】
また、請求項3に係る光学的形状測定装置では、請求項1に係る発明において、前記第1の照明手段が前記各部分測定領域を照明する光パターンの強度分布が、位相が異なる正弦波である構成としている。
本請求項は、請求項1の測定領域の全域を求める概略形状測定手段に強度比法による測定手段を、各部分領域の形状測定に対して位相シフト法による測定手段を適用したものである。
【0067】
概略形状測定手段では、まず2種類の光パターンを照射して光量を第2の検知手段で検知して、2つの光量の比から第2の形状推定手段により測定領域全体の形状データを求めることにより、測定領域の各測定点が属する部分領域を確定できる。形状測定手段では部分領域と同じ周期を持つ正弦波の光パターンを投影する。例えば、光パターンの数を3、光パターン相互の位相差をπ/2,πとする。既に属する部分領域の曖昧さは形状データから分かっているので、第1の形状推定手段では形状データと位相シフト法の手続きにより求まる3つの光パターンの位相差情報から、位相差の曖昧性を除去しつつ、測定領域全体の形状データを得ることができる。
【0068】
ここでは、形状測定手段に位相シフト法を適用しているので、強度比法やレインボー法より照射すべき光パターンの数が増えるが、測定精度は向上させることができる。なお、請求項1と同様に、概略形状測定手段は形状測定手段より精度が低いが、領域の曖昧さを除去するには十分な精度を持つので、曖昧さなしに全体の形状を形状測定手段の精度で求めることができる。
ここで、第1の照明手段と第2の照明手段とは同じ照明手段であってもよいし、また、第1の検知手段と第2の検知手段とが同じ手段であってもよい。例えば、同じ手段で照射パターンを切り替えることで、光学的形状測定手段と光学的形状測定手段の視差を等しくできるので、形状推定手段での処理が簡単化することができる。
【0069】
〔参考例1〕
照明手段は照明装置4、検知手段はカメラ10、測定領域は15、測定領域の部分領域は15−1,...5−6、光パターンはフィルタ2a,2bの透過率パターン、反射光量は光量データ13、領域が曖昧な形状データは16、形状推定手段は形状推定装置11、形状データは形状データ14、形状補正手段は形状補正装置12に相当する。
本参考例の構成は、図1に示すように、照明装置4の照明光5を測定物体6に照射し、カメラ10で反射光7の像を検知し、三角測量の原理で測定物体6の形状を計測するものである。ここでは、図面を分かりやすくするため、部分領域15−4についてだけ反射光7を画いている。視差方向は、カメラ10と照明装置4とを結ぶ方向であり、図面では左右方向である。
【0070】
照明装置4の内部では、白色の光源1aと光源1bで各々フィルタ2aとフィルタ2bを照射し、2つのフィルタで強度変調した光をプリズム3で光軸を合わせて合成し、照射光5としている。照明装置4から照射された照明光5は、測定領域15を6つの領域に分割した部分領域15−1,…15−6を、フィルタ2a,2bの透過率に応じて、2つの異なる光パターンで照明する。光パターンの切り替えは光源1a,1bの切り替えで行う。
カメラ10は、測定物体6の像を検知するCCD9と、このCCD9に像を形成する結像レンズ8からなる。CCD9で得られた光量データ13は、形状推定装置11で、領域の不定性をもった形状データ16の推定を行い、形状補正装置12で最終的に曖昧さがない形状データ14を生成する。
【0071】
フィルタ2a,2bの透過率分布の和を取ると、視差方向に対して透過率が一定の分布となるため、2つの光パターンで得られたテキスチャデータの和をとれば、測定領域全面を均一光で照射した場合のテキスチャデータとして利用することができる。
図2に示すように、フィルタ2a,2bは視差方向に対して、部分領域に対応させて透過率を変調しており、鋸歯状の透過率分布である。フィルタ2aとフィルタ2bは、同じ6周期に分割されるが、視差方向に対して透過率の増減が異なる。そのため、光源1a,1bから放射された照明光5の放射角度は、フィルタ2a,2bの透過率の濃度と関係づけられていることになり、部分領域内に限定すると、通常の強度比と同じく、2つのフィルタで測定物体6に照射した光パターンの反射光の比を求めると、どの部分領域に属するかは曖昧だが、放射角度が求められる。
【0072】
この処理を行うのは形状推定装置11であり、結果として、領域の曖昧さがある形状データ16が出力される。
図3の要部拡大斜視図に示すように、プリズム3の側面に配置されたフィルタ2a,2bは、光源1a,1bで照明されて、測定物体6を含む測定領域15を照射する。測定領域15は、フィルタ2a,2bの6つの分割に合わせて、視差方向に対して6つの部分領域15−1,…15−6に分割されて照明される。フィルタ2aとフィルタ2bの照射パターンは、部分領域同志が一致するように位置合わせされている。
【0073】
各部分領域に対して、フィルタ2aとフィルタ2bの2つのパターンを、光源1a,1bを切り替えて2回照射し、カメラ10で2回撮影する。各々の部分領域毎に、視差方向に対して光量が増加と減少する2つの光パターンの反射パターンが形成されるので、2つのパターンの光量比を取り、領域毎に強度比法を適用することで、部分領域毎の形状を求めることができる。この計算は、形状推定装置11で行われる。
ただし、CCD9では光量比は得られるが、6つの部分領域のどれに相当するかは不明であるので、例えば、部分領域の形状データ16が相互に連続で滑らかに接続されるよう、形状補正装置12で領域の曖昧さをなくす操作を行う。その結果が、形状データ14として出力される。
【0074】
本参考例においては、6つの部分領域毎に視差方向に増加あるいは減少する光パターンを照明しているので、フィルタ2a,2bの最大透過率と最小透過率が同じ場合、測定領域15全体に対して増加あるいは減少する光パターンで照明する場合(図4)に比べて、視差方向に対して単位長さ当たりの光量変化が6倍となる。CCD9には検知できる光量分解能に限界があるため、分解能の変化率が大きいことがすなわち光量分解能の向上につながる。結局、測定領域15を部分領域15−1,...15−6に分割することで光量変化率を大きくできたので、形状の測定精度が向上する。形状測定には望ましくない背景光の影響があっても光量の検知ができるように、フィルタ2a,2bの最小透過率を下げたくない場合(図5)には、本実施例に示した、領域を分割して光量変化率を増加させる手法は特に有効である。
【0075】
本参考例では領域の分割数を6としたが、必要精度に応じて分割数を変えてもよい。
また、図6に示すように、隣接する領域毎にフィルタの透過率の変化方向を変えてもよい。こうすることで、同じ光パターンであっても領域毎に増加方向が交互に変化するため、隣接する部分領域毎にどの領域に属するか判別するのが多少複雑になるが、図2の場合と異なり、隣接する部分領域で急激な光量変化を生じないマスクでも構わないため、フィルタ2a,2bの製造が容易になる。
【0076】
〔参考例2〕
本参考例の構成は参考例1と同じであるが、フィルタ2a,2bを別の色フィルタとし、CCD9をカラーCCDとする構成もあり得る。例えば、フィルタ2aを赤、フィルタ2bをシアン(赤の補色)を透過する色フィルタとすれば、光源1a,1bを同時に発光させても、カラーCCD9でフィルタ2aとフィルタ2bのデータを赤とシアン(緑と青のデータの和)として検知できるので、カメラ10の撮像回数が1回で済むため、カメラ10の手ぶれによる撮像の劣化を生じることが少なくなる利点がある。
また、カラーCCDでは、全ピクセルに対して赤:緑:青のピクセル数の比率が2:1:1の場合が多いので、赤とシアンの組み合わせで光パターンを照射すると、同じピクセル数で光量を検知できて、カラーCCD9で検知する際に、一方の光パターンだけが感度が減少する問題を回避できる。
【0077】
〔参考例3〕
本参考例の構成は参考例1と同じであるが、フィルタ2a,2bの透過率の分布が異なっている。図7に、フィルタ2a,2bの透過率分布を示す。図2に比べて、測定領域15の中央付近の領域幅が狭くなり、透過率変化が大きい。測定領域中央付近は、カメラ10で観察する中心に相当し、通常は測定物体6が観察される可能性が一番高い位置であるから、分割領域の幅を狭くし、中央付近で形状の測定精度を上げている点が特徴である。
【0078】
一方、分割する領域数が増えるほど、形状補正装置12で補正する領域決定の曖昧さが増し、処理が複雑になり易いため、測定物体6が配置されることの少ない測定領域の周辺部(左右の端)でフィルタの領域分割の幅を増やし、中央に比べて若干精度を落としている。本参考例では、必要部分について重点的に精度を向上させることで、必要精度と領域決定の曖昧さを回復させる手間を最適化させることができる。
【0079】
〔参考例4〕
本参考例の構成を図8に示す。参考例1と類似の構成であるが、照明装置4の構成が異なっている。照明装置4は、単一の光源1,フィルタ2からなり、フィルタ2は部分領域15−1,...,15−6毎に10色の光パターンを照射する。図9に示すように、フィルタ2は6つに分割され、各領域が色の異なるバンドパスの色フィルタが並んでいる。図10にように、6つの部分毎に可視波長を10分割したバンドパス色フィルタを並べて、フィルタ2を構成する。
【0080】
光源1から放射された白色光は、フィルタ2を透過後、照明光5として測定物体6を照射する。測定物体で反射された反射光7をカメラ10のカラーCCD9で検知し、反射光7の色を判別すれば、カラーCCD9の各点に対して10分割された照射角度を分離できるので、形状推定装置11で、領域の曖昧性を持った形状データ16が計算される。参考例1と同様に、形状補正装置12により、領域決定の曖昧さをなくして、最終的な形状データ14が得られる。
【0081】
本参考例では、6つに分割された部分領域15−1,...15−6に対して、バンドパス色フィルタ16−1−1,...16−6−10を並べることで、光源1からの照明光5の照射角度と色の関係を対応付けている。本方式の色分解能は、並べるフィルタの種類で決まるので、通常の色分解プリズムや回折格子を用いて連続的な色分布を生成する場合に比べて、色分解能(すなわち角度分解能であり、形状分解能でもある)が下がるが、フィルタの色の順番を自由にできること、液晶パネルと同様な半導体プロセスで薄いフィルタ材を集積化すればよいので、フィルタが薄くて簡単な構造になる利点がある。
【0082】
ここでは、6つの部分領域に分割することで、バンドパス色フィルタの種類が10種類だったとしても、さらに6倍分解能を上げられたのと同じなので、実質的に6×10=60種類のバンドパス色フィルタでフィルタ2を構成したことになる。
本参考例においては、参考例1と異なり、プリズムが不要でフィルタ2も光源1も1つで済むため、構造が非常に簡略化できる。また、撮影回数も1回だけで済み、測定の手間が大幅に低減される。
【0083】
〔実施例1〕
本実施例は、請求項1に基づいている。
請求項における第1の照明手段と第2の照明手段は照明装置4、第1の検知手段と第2の検知手段はカメラ10、測定領域は15、測定領域の部分領域は15−1,…,15−6、第2の照明手段に対応する光パターンはフィルタ2aの透過率パターン、第1の照明手段に対応する光パターンはフィルタ2b,2cの透過率パターン、第2の照明手段に対応する反射光量と第1の照明手段に対応する反射光量は光量データ13、概略形状測定装置による形状データは概略形状データ17、第2の形状推定手段は概略形状推定装置18、第1の形状推定手段は形状推定装置11、曖昧さのない形状データは形状データ14に相当する。
【0084】
本実施例の構成を、図11に示す。参考例1の図1と類似の構成であり、照明装置4の照明光5を測定物体6に照射し、カメラ10で反射光7の像を検知し、三角測量の原理で測定物体6の形状を計測するものである。図1と同様に、部分領域15−4についてだけ反射光7を画いている。視差方向は、カメラ10と照明装置4を結ぶ方向であり、図面では左右方向である。
【0085】
照明装置4の内部では、3つの白色の光源1a,1b,1cで3つのフィルタ2a,2b,2cを照射し、3つのフィルタで強度変調した光を2つのプリズム3で光軸を合わせて合成し、照射光5としている。照明装置4から照射された照明光5は、測定領域15を6つの領域に分割した部分領域15−1,…,15−6を、フィルタ2a,2b,2cの透過率に応じて、3つの異なる光パターンで照明する。光パターンの切り替えは、光源1a,1b,1cの切り替えで行う。カメラ10は、測定物体6の像を検知するCCD9と、このCCD9に像を形成する結像レンズ8からなる。
CCD9で得られたデータは、形状推定装置11で形状の推定を行うが、実施例1と異なり、概略形状推定装置18を付加することで、領域決定の曖昧さを本質的に除去する。
【0086】
フィルタ2a,2b,2cの透過率を、図12(a),(b),(c)に示す。図12(a)に示すように、フィルタ2aの透過率変化は、測定領域全域にわたって線形に単調増加するものであり、一方、図12(b),(c)に示すように、フィルタ2b,2cの変化は、各部分領域内で各々線形に単調増加と単調減少の分布を持っている。この3つのフィルタ2a,2b,2cで照射したCCD9での受光データをRa,Rb,Rcとすると、RbとRcの和Rsは、測定領域全体を均一光で照射した場合の受光データになるので、テキスチャデータとして利用できると同時に、RaとRsから、通常の強度比法を用いて全体の形状分布を得ることができる。つまり、Ra,Rb,Rcの光量データ13は、まず、概略形状測定装置18に入力され、概略形状データ17として、形状推定装置11に入力される。
【0087】
RaとRsから得られた概略形状データ17は、RbとRcから分割された領域毎に強度比法を適用して求めた場合の形状データに比べて精度が低いが、どの点がどの領域に属するかを決定するだけなら十分である。つまり、Ra,Rb,Rcを測定し、RaとRsから測定物体6の形状を求めることで、CCD9で得られた像の各点がどの部分領域に属するか決定して、部分領域に関する曖昧さをなくし、属する部分領域毎にRb,Rcに対して強度比法を適用すれば、RaとRsから求めた形状データより精度が高い形状データが得られる。つまり、概略形状測定装置18から得られた概略形状データ17でRb,Rcの光量データがどの部分領域に属するか判断できるので、形状推定装置11は光量データ13であるRc,Rbと概略形状データ17から、精密な領域の曖昧さを除去した形状データ14が得られる。
【0088】
本実施例は、参考例1に比べてフィルタ数が多く、照明装置4の構成が複雑になっているが、参考例1の形状補正装置12で行った形状データ14の連続性や滑らかさを仮定せずに、部分領域への帰属の曖昧さを本質的になくすことができて、同時に形状の測定精度を向上させることができる効果が大きい。
本実施例では、3つのフィルタ2a,2b,2cは色フィルタと組み合わせることも可能である。例えば、フィルタ2a,2b,2cを、各々RGBの色フィルタと組み合わせれば、受光素子であるCCD9をカラーCCDにすることで、RGBの3つの光パターンを同時に独立に検知することができるので、フィルタ毎に光源1a,1b,1cを切り替える必要がなく、一括した形で3つの光パターンを照射できる。
【0089】
〔実施例2〕
本実施例は、請求項1,2に基づいている。
本実施例の構成は、実施例1の図11と同じ構成であるが、フィルタ2a,2b,2cの透過率分布が異なっている。図13(a),(b),(c)にフィルタ2a,2b,2cの透過率を示す。フィルタ2aは図12(a)と同じで、視差方向に対して透過率が線形に増加する分布であり、逆に図13(b)のフィルタ2bの透過率分布は、視差方向に対して線形に減少する。CCD9で受光したこの2者のフィルタで測定領域を照射したときの光量分布Ra,Rbに強度比法を適用すれば、測定領域15全体の形状が求められる。フィルタ2cは実施例4の色フィルタと同じ構成であり、6つに分割された部分領域当たりに10色のバンドパス色フィルタを並べたものである。フィルタ2a,2bの光量検知結果から部分領域を曖昧さなく決定できるので、フィルタ2cから得られた光量分布Rcの色を判断することで、各部分領域毎に照明光5の照射方向、すなわち物体形状を三角測量法から決定することができる。
【0090】
本実施例でも、参考例2のように、フィルタ2aを赤、フィルタ2bを赤の補色であるシアンを透過する色フィルタと組み合わせ、受光素子であるCCD9をカラーCCDに置き換えれば、測定領域15に対するフィルタ2a,2bの照射を1回で済ませることができ、2回目の照射をフィルタ2cで行うことで、全体として2回の照射と光量検知により形状を測定することができる。
【0091】
〔実施例3〕
本実施例は、請求項1,3に基づいている。
請求項における第1の照明手段と第2の照明手段は照明装置4、第1の検知手段と第2の検知手段はカメラ10、測定領域は15、測定領域の部分領域は15−1,…,15−6、第1の照明手段に対応する光パターンと第2の照明手段に対応する光パターンはいずれも液晶パネル2の透過率パターン、第1の照明手段に対応する反射光量と第2の照明手段に対応する反射光量は光量データ13、概略形状測定装置による形状データは概略形状データ17、第2の形状推定手段は概略形状推定装置18、第1の形状推定手段は形状推定装置11、曖昧さのない形状データは形状データ14に相当する。
【0092】
本実施例の構成を、図14に示す。照明装置4は、単一の光源1,透過型の液晶パネル2からなり、液晶パネル2は部分領域15−1,…,15−6毎に複数の光パターンを照射する。液晶パネルの透過率分布は、液晶パネルドライバ19によって制御され、液晶パネルの透過率分布に従って、測定領域に対して所望の光量分布を照射する。光源1から液晶パネル2を通して照射される照射光5は、測定領域15を照射し、そこに位置する測定物体6の表面で反射され、その反射光7は、カメラ10の結像レンズ8でCCD9の上に結像される。像の検知結果はCCD9から光量データ13として取出され、概略形状推定装置18で領域の曖昧さを除去するための概略形状データ17が計算され、形状推定装置11で最終的に処理されて、精密な領域の曖昧さのない形状データ14として取り出される。
【0093】
液晶パネル2の透過率分布を、図15に示す。まず、図15(a),(b)のように、視差方向に対して線形に増加、あるいは減少する透過率分布を生成し、各々の光透過率パターンに対して、光源1を発光させ、光量データRa,Rbが得られる。Ra,Rbの比を用いれば、概略形状測定装置18で通常の強度比法を適用することで、測定物体6の概略形状データ17を求められるので、このデータを用いると、形状推定装置11ではCCD9で得られた光量データ13の各点がどの部分領域に属するか決定することができる。
【0094】
次に、液晶パネル2の透過率分布を、図15(c),(d),(e)のように、位相がπ/2だけ異なる3つの正弦波として、各々の透過条件に応じて光量データRc,Rd,Reを求める。この3つのデータに対して、通常の位相シフト法を適用すれば、奥行き情報に相当する位相値が2πの整数倍の曖昧さを持って求まるが、この曖昧さは先に強度比法により、概略形状推定装置18で概形形状データ17として求まっているから、これに最もよく適合するように位相のずれを一意に決定できる。そのため、本実施例によれば、位相シフト法による精度の高さを十分に利用しながら、位相シフト法の位相不定性の問題を解決できる。
【0095】
なお、参考例1,2,3、実施例1についても、本実施例のように液晶パネル2を用いて多少コストをかけることで、光源1とフィルタである液晶パネル2とを1つで済ませることができ、コンパクトな照射装置4を構成することができる。
【0096】
以下に、本発明のさらに他の実施例を示す。
【0097】
〔実施例4〕
本実施例の構成は、実施例1と同じであり、図11のCCD9が120万画素、1280×960の画素数を持ち、CCD9の光量データをデジタル化するAD変換回路が10ビットの場合である。1280の画素が並ぶ方向は、光源1aと結像レンズ8を結ぶ視差方向(図中では、右上がりの方向)に沿っている。この方向の画素数N=1280、領域数は6であり、D=6、p=10に相当している。p=8でも条件を満たすが、p=10と余裕を持たせているのは、測定物体6の反射率がばらつきによる反射光量のダイナミックレンジの増加を4倍に見積もったためである。本実施例を用いることで、CCDのAD変換のビット数の最低レベル(p=8)がわかるので、実仕様のAD変換のビット数を容易に推定することができた。
【0098】
〔実施例5〕
本実施例の構成は、実施例1と同じであり、図11のフィルタ2a,2b,2Cに、拡散反射を防止する無反射コートを施している。プリズム3で光源1a,1b,1Cの光を重ねているので、光源1b,1C、フィルタ2b,2Cは、光学的には各々光源1a,フィルタ2aの位置にあるのと等価なので、光源1aとフィルタ2aに限って説明を行う。
もし、無反射コートがなければ、フィルタからの拡散反射が測定物体6に重なって照射され、本来の光源1aと異なるフィルタ2aの位置に新たな擬似光源が置かれたことになる。その結果、視差方向が2つになるのに、CCDカメラ側ではこの2つの基線に依存したデータを分離できないため、三角測量の前提が崩れることで、誤った形状を再現することになる。
そこで、本実施例では、フィルタ2a,2b,2cに無反射コートを施しているので、この擬似光源が存在せず、誤った形状とならない。
【0099】
〔実施例6〕
本実施例の構成は、実施例1と同じであるが、6つの部分領域に分かれている部分を形状推定装置11で部分領域ごとに求めるときに、部分領域の端(図11の断面図では左右方向の、隣接する領域との境界近く)で7画素分のデータを棄却している。境界端から3画素程度で形状異常が得られることが多いので、余裕をもって端から7画素分を棄却した。強度比と照射角度の対応付けの、元データに異常がある場合が多い。領域境界では図12(b),(c)のように急峻に光量分布が変わるため、照射系の光量変動や、フィルタ2a,2b、2cの取り付け誤差、光源1a,1b,1cの取り付け誤差などの影響で、必ずしもパターンの境界同士が厳密に重なるとは限らない。そのため、領域境界で誤った形状が得られてしまうが、本実施例のように、部分領域端での誤りやすいデータを棄却すすようにすれば、得られるデータ点数は若干減るが、誤りの少ない形状データが得られる。
【0100】
〔実施例7〕
本実施例の構成は実施例を図16に示す。実施例の基本構造は、実施例3と共通するが、照射部に市販の液晶プロジェクタのような結像レンズ20を採用している点が異なる。結像系の焦点深度は約100mmである。測定領域の奥行き範囲をカメラ10から400〜600mmとすると、結像レンズ20の焦点距離を、奥行き領域の中間位置であるカメラから500mmの位置に設定している。本実施例を用いることで、焦点深度を最大に生かした形状測定装置を構成できる。
【0101】
〔実施例8〕
本実施例の構成は、実施例1と同じである。概略形状推定装置18と形状推定装置11では、強度比をあらかじめ平滑化し線形補間を用いることで、強度比と照射角度の対応付けを行っている。
多項式でフィッティングすると、測定距離に対して9次の多項式で約0.4%、次数をあげても0.1%の相対精度誤差で飽和したが、強度比の平滑化と線形補間を用いることで0.06%の補間精度を得ることができた。
【0102】
〔実施例9〕
本実施例の構成は、実施例1と同じである。本実施例では、図17に示すように、光源とカメラと測定点で張られた面の仰角xごとに、強度比と照射角度の対応付けの校正を行う。ここでいう強度比は、概略形状推定装置18と形状推定装置11で用いられる強度比と照射角度との対応関係の両方を含む。測定距離600mm、基線長200mm、30万画素のCCDカメラの条件で、仰角ごとに強度比と照射角度の対応関係を校正することで、カメラ側の歪曲収差を補正しなくても形状精度誤差を0.3%以下に改善できた。
【0103】
〔実施例10〕
本実施例の構成は、実施例1と同じである。本実施例では、CCD9から光量データを8回測定して平均を取っている。もし、検知光量にノイズが重なっていても、この平均化操作で緩和される。CCD9からのデータは、30フレーム/秒のビデオレートで入力されるので、8回の平均操作を行っても0.26秒で画像データの読み込みは終了し、測定時間が長くかかることはない。
【0104】
〔実施例11〕
本実施例の構成は、実施例1と同じである。本実施例では、パターン光を照射するフィルタ2a,2b,......を図18のように構成する。つまり、パターン照射のための透過率が変調されている部分をパターン照射領域2a−1,2b−1,......に設け、一定の光量を照射する部分(光量モニタ領域)2a−2,2b−2,......を新たに追加する。パターン照射領域2a−1,2b−1,......を透過した光は測定領域を照射し、形状測定のためのパターン光を照射する。光量モニタ領域2a−2,2b−2,......の光は、光量分布が無く一定強度の光量を照射するように、透過率を一定にしておく。フィルタの光量モニタ領域2a,2b,......を透過して照射されたパターン光は、測定物体以外のところに照射され、必ずカメラ10で検知できるようにしておく。カメラで撮像した像のうち、まず、光量モニタ領域の反射光量を積算する。フィルタ同士の光量モニタ領域の積算光量は、3つの光源1a,1b,1cの光量が一定であれば変わらないはずである。この光量の増減をあらかじめ測定しておき、形状測定時に基準の積算光量と比較することで、光源の光量変動を読み取れる。この光量変動を用いれば、パターン照射領域で測定された光量の絶対値を補正できるので、パターン照射領域の反射光に相当する画素の値から、強度比法を用いて正しい形状を求められる。
【0105】
〔実施例12〕
本実施例の構成は参考例2と同じであるが、フィルタ2aが赤、フィルタ2bが青の色フィルタで構成されている。CCD9はRGBを検知可能な原色CCDセンサである。本実施例では、色分離が良い赤と青のパターンを同時照射していながら、2つのパターンを比較的低価格のCCDでも分離して検知できる。
【0106】
〔実施例13〕
本実施例の構成は,実施例1の図11と同じであるが、フィルタ2a,2b、2cの濃度分布が、図19(a)〜(c)のようになっており、2aが赤(a)、2bが青(b)、2cが緑(c)の色フィルタで構成されている。CCD9はRGBを検知可能な原色CCDセンサである。(a)対(c)パターンの反射光量の強度比を用い、従来の強度比法から概略形状推定装置18で概略形状を推定し、(b)と(c)のパターンの反射光量の強度比を用い、形状指定装置11で部分領域ごとの詳細形状を求める。
このとき、(c)の緑パターンの光量が、(a)の赤,(b)の青のパターンに対して常に大きいので、カラーカメラ10で得られた(a),(b)の光量分布が、(c)で得られるはずの光量分布への混入が少なく、誤りの少ない光量分布を得られ、その結果誤りの少ない形状が再現される。
【0107】
〔実施例14〕
本実施例の構成は、実施例13と同じである。ただし、図19の(c)を白色光源1cとし、フィルタ2cは取り除いてある。光源1a,1bを点灯して形状計測のため、図19(a),(b)のパターンを照射し、カラーカメラ10で反射光量を撮像する。次に、光源1cだけを点灯して、カラーカメラ10で反射光量を検知する。(a),(b),(c)パターンの反射光量の比から形状を再現するのは実施例17と同じだが、パターン(c)の照射時に得られた光量分布には、フラッシュつきのカメラで撮影したような測定物体のテキスチャが得られている。このテキスチャを得られた形状データの上にマッピングすることで、測定物体の形状だけでなく本物らしいテキスチャつきの立体形状データが得られる。このときの撮影回数は、形状測定の1回と、テキスチャ取り込みの1回、計2回で済み、ユーザーへの負担が少ない。
【0108】
なお、上記各実施例はいずれも本発明の一例を示すものであり、本発明はこれらに限定されるべきものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で適宜の変更,改良を行ってもよいことはいうまでもないことである。
【0109】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、下記のような効果を得られるものである。
【0113】
請求項1では、領域の不定性のない形状測定手段の測定結果から、領域の不定性のある高精度の形状測定手段の測定結果の領域不定性を除去しているので、測定領域全体として測定精度を保ちながら、本質的な曖昧さのない形状測定ができるようになる。また、領域の不定性のない形状測定手段と領域の不定性のある高精度の形状測定手段の測定手法に、各々2つの光パターンしか用いないので、簡便な照明手段で形状測定を行うことができる。
【0114】
請求項2では、領域の不定性のない形状測定手段に2つの光パターン、領域の不定性のある高精度の形状測定手段に1つの光パターンしか用いないので、簡便な照明手段で形状測定を行うことができる。
請求項3では、領域の不定性のない形状測定手段に2つの光パターン、領域の不定性のある高精度の形状測定手段にいわゆる位相シフト法を用いているので、位相シフト法の欠点である位相の不定性をなくしながら、位相シフト法の特徴である高い精度を利用して、高精度の形状測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一参考例に係る形状測定装置の構成を示す説明図である。
【図2】 図1に示した参考例に係る形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図である。
【図3】図1に示した形状測定装置の要部拡大斜視図である。
【図4】図1に示した形状測定装置における作用を説明する図(その1)である。
【図5】図1に示した形状測定装置における作用を説明する図(その2)である。
【図6】図1に示した形状測定装置における作用を説明する図(その3)である。
【図7】 本発明の他の参考例に係る形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図である。
【図8】 本発明のさらに他の参考例に係る形状測定装置の構成を示す説明図である。
【図9】図8に示した形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図(その1)である。
【図10】図8に示した形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図(その2)である。
【図11】 本発明の実施例に係る形状測定装置の構成を示す説明図である。
【図12】図11に示した形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図(その1)である。
【図13】図11に示した形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図(その2)である。
【図14】 本発明の他の実施例に係る形状測定装置の構成を示す説明図である。
【図15】図14に示した形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図である。
【図16】本発明のさらに他の実施例に係る形状測定装置の構成を示す説明図である。
【図17】本発明のさらに他の実施例に係る形状測定装置における、強度比と照射角度の対応付けの校正状況を示す図である。
【図18】本発明のさらに他の実施例に係る形状測定装置における、フィルタの較正を示す図である。
【図19】本発明のさらに他の実施例に係る実施例に係る形状測定装置に用いられるフィルタの透過率分布を示す図である。
【図20】従来の光学的形状測定装置の概略構成を示す図(その1)である。
【図21】三角測量の原理を説明する図である。
【図22】従来の光学的形状測定装置の概略構成を示す図(その2)である。
【図23】従来の光学的形状測定装置の概略構成を示す図(その3)である。
【図24】従来の光学的形状測定装置の概略構成を示す図(その4)である。
【符号の説明】
1,1a,…… 光源
2,2a,…… フィルタ
2a−1,2b−1,…… パターン照射領域
2a−2,2b−2,…… 光量モニタ領域
3 プリズム
4 照明装置
5 照明光
6 測定物体
7 反射光
8,20 結像レンズ
9 CCD
10 カメラ
11 形状推定装置
12 形状補正装置
13 光量データ
14 形状データ
15,15−1,…… 測定領域
16 領域が不定な形状データ
17 概略形状データ
18 概略形状推定装置
19 液晶パネルドライバ
Claims (3)
- 測定領域の概略形状を測定する概略形状測定手段と、第1の照明手段と第1の検知手段とを結ぶ視差方向に対して垂直に分割され、互いに重なりのない複数の部分測定領域に分割された測定領域内の各部分測定領域の各々に1種類以上の光パターンを照明する第1の照明手段と、前記各部分測定領域に照明された光パターンの反射光を検知する第1の検知手段と、この第1の検知手段で検知した反射光の光量と前記概略形状測定手段とから得られた形状データから、前記各部分測定領域のうちで前記反射光の光量データがどの部分測定領域に属するものかという曖昧さを除去し、曖昧さのない形状データを求める第1の形状推定手段とを有する形状測定手段とからなり、
前記概略形状測定手段が、前記測定領域を2種類の光パターンで照射する第2の照明手段と、前記測定領域に照明された光パターンの反射光を検知する第2の検知手段と、この第2の検知手段で検知した2種類の反射光の光量の比から前記測定領域の形状データを決定する第2の形状推定手段からなることを特徴とする光学的形状測定装置。 - 前記第1の照明手段が前記各部分測定領域を照明する光パターンは、前記各部分測定領域の視差方向に対して連続したあるいは不連続の色の並びであることを特徴とする請求項1に記載の光学的形状測定装置。
- 前記第1の照明手段が前記各部分測定領域を照明する光パターンの強度分布は、位相が異なる正弦波であることを特徴とする請求項1に記載の光学的形状測定装置。
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