JP3903448B2

JP3903448B2 - Heat treatment furnace

Info

Publication number: JP3903448B2
Application number: JP08293498A
Authority: JP
Inventors: 克巳松本; 哲夫平塚; 貴弘藤田; 秀樹山口
Original assignee: Dowa Holdings Co Ltd; Dowa Mining Co Ltd
Current assignee: Dowa Holdings Co Ltd
Priority date: 1998-03-13
Filing date: 1998-03-13
Publication date: 2007-04-11
Anticipated expiration: 2018-03-13
Also published as: JPH11257869A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属、セラミックス等の粉末成形体（以下単に「グリ−ンボデイ」と言う。）から熱可塑性樹脂、成形助剤等のバインダ−を除去し（以下単に「脱脂」と言う。）、焼結部品を製造する際に使用する熱処理炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複雑形状の機械部品等を製造する一つの方法として、金属、セラミックス等の粉末に熱可塑性樹脂、成形助剤等からなるバインダ−を添加混合し、所定形状に成形した、いわゆる、グリ−ンボデイを真空中、さらに雰囲気中で加熱し、前記グリ−ンボデイに含有されている前記バインダ−を除去して焼結部品を製造する方法が提供されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記焼結部品の製造において、真空炉内、特にグリ−ンボデイ周囲の温度にバラツキが生じると、グリ−ンボデイ各部における脱脂さらに焼結が均等に行われず、不良品を発生させるものであった。
【０００４】
本発明は、前記事情に鑑み為されたもので、グリ−ンボデイの脱脂及び焼結時におけるグリ−ンボデイ周囲の温度の均一化を図り、不良品の発生を防止すると共に、スイ−プガスの供給効率を改善し、焼結後の冷却を迅速にし、かつ炉寿命の長期化を図り、品質の優れた安価な焼結品を提供することができる熱処理炉を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１の本発明は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に配置されるレトルトボックスと、前記真空チャンバー内で前記レトルトボックスを囲むヒーターと、前記真空チャンバー内で前記ヒーターを囲む断熱材と、前記レトルトボックスに連結されたスイープガス供給部と、前記レトルトボックスに形成された排気口と、前記レトルトボックス内に配設されて粉末成形体を支持する多段の棚と、を備え、前記スイープガス供給部から供給されたスイープガスが、前記多段の棚に沿って蛇行しながら前記レトルトボックス内を流通して前記排気口から排出せしめられるように、前記多段の棚の端部と前記レトルトボックスとの間が交互に開放され、前記断熱材を貫通して支持されたヒーター電極と前記真空チャンバーを貫通して支持された水冷電源電極との間に、前記ヒーター電極とは異なる材料の高融点導電体を介在させたものである。
【０００６】
この構成によれば、レトルトボックス周囲がヒーターにより加熱され、その内部の温度が均一化され、レトルトボックス内で多段の棚に支持された粉末成形体の加熱及び脱脂が均一且つ確実に行われ、さらにスイープガスの流通も効率よく行われる。また、前記ヒーター電極及びその周辺部の温度が従来のごとく前記水冷電源電極によって低下させられることがなく、炉内各部の温度の均一化が向上させられ、品質の優れた焼結品を提供することができ、不良品の発生が防止される。
【０００７】
請求項２の発明は、前記レトルトボックスを囲む両端部断熱材にそれぞれシャッタ−が設けられ、一方シャッタ−の後方に前記レトルトボックスに向けられた冷却ファンを設けたものである。
【０００８】
この構成によれば、両シャッタ−を開放し、冷却ファンを駆動させることにより前記冷却水路を有する真空チャンバ−と前記断熱材間及び該断熱材内部のレトルトボックス部に冷却用ガスを循環させて焼結完了後の冷却を迅速に行うことができる。
【００１０】
請求項３の発明は、前記断熱材の内周面にグラファイトを主成分とするシートを貼着したものである。この構成によれば、断熱効果の向上とともに脱脂時に除去されたバインダーの付着による断熱材の劣化を防止でき、炉寿命の長期化を図ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図面は、本発明の実施の一形態を示すもので、図１は全体平面図、図２は図１の正面図、図３は図２の左側面図、図４は真空チャンバ−の拡大縦断面図、図５は図４のＶ−Ｖ線方向断面図、図６はヒ−タ電極及び水冷電極部の拡大断面図、図７はレトルトボックス部の概略断面図である。
【００１２】
真空チャンバ−１は、中央の本体部２と、その両端部に設けられた前扉３及び後扉４で構成され、さらに前記本体部２、前記前扉３及び後扉４がそれぞれ二重壁構造とされ、その間にそれぞれ冷却水路５を有する。図中、６はそれぞれ注水及び循環口である。
【００１３】
前記前扉３及び後扉４は、それぞれ前記本体部２にヒンジ７により開閉自在に支持され、さらに前記本体部２の両端には前記前扉３及び後扉４のロック装置８が設けられ、底部にはバインダ−収集ポット９が設けられている。
【００１４】
さらに前記前扉３には、本体部２側に設けられた断熱材２３の前扉３側を閉塞する端部断熱材１０が支持部１１により取り付けられ、さらに該端部断熱材１０に形成された開口部１２を開閉するシャッター１３及び該シャッター１３の駆動シリンダ１４が設けられている。
【００１５】
また、後扉４には、本体部２側に設けられた断熱材２３の後扉４側を閉塞する端部断熱材１５が支持部１６により取り付けられ、さらに該端部断熱材１５に形成された開口部１７を開閉するシャッター１８及び該シャッター１８の駆動シリンダ１９、さらに該シャッター１８の後方に、レトルトボックス２６に向けた冷却ファン２０及び該冷却ファン２０の駆動モータ２１が設けられている。
【００１６】
本発明では、前記真空チャンバ−１内、具体的には、前記本体部２内にヒ−タ２２、断熱材２３さらに前記前扉３に設けられた端部断熱材１０及び後扉４に設けられた端部断熱材１５で囲まれ、さらにスイ−プガス供給部２４が連結されたグリ−ンボデイ２５を収容するレトルトボックス２６が設けられる。
【００１７】
前記レトルトボックス２６は、前記真空チャンバ−１内に起立させた中空材２７によって支持されたハ−スレ−ル２８上に載置支持され、その内部には図７に示すように、グリ−ンボデイ２５を収容する多段の棚２９が設けられ、さらに該棚２９は同図に示すように両端を交互に開放し、スイ−プガス供給部２４から供給されたスイ−プガスがそれぞれの棚２９の上面、すなわち、該棚２９の上面に収容されたグリ−ンボデイ２５部を蛇行して下部排気口４２から前記断熱材２３の外部、すなわち、真空チャンバ−１内に排出されるように設けられている。
【００１８】
また、前記ヒ−タ−２２は、ラジアントチュ−ブ型であり、前記前扉３から後扉４方向に前記レトルトボックス２６を囲んで設けられ、さらに、該ヒ−タ−２２と所要間隔をあけてその外側に前記断熱材２３が設けられている。
【００１９】
前記断熱材１０及び端部断熱材１５、２３は、耐熱レンガ等からなり、さらにその内周面にグラファイトを主成分とするシ−ト３０が貼着されている。
【００２０】
つぎに、ヒ−タ−電極３１部について説明する。該ヒ−タ−電極３１はカ−ボン等からなり、図６に示されているように、前記ヒ−タ−２２及び断熱材２３部を貫通して支持されている。
【００２１】
一方、電源（図示せず）に連なる水冷電源電極３２は銅からなり、内部に冷却水路３３を有する二重管に構成され、冷却水供給口３４及び循環口３５を有し、前記ヒ−タ−電極３１と適当間隔をあけて前記真空チャンバ−１部を貫通して支持されている。
【００２２】
従来は、前記ヒーター電極３１と水冷電源電極３２が直接連結されていたものであるが、本発明では、前記ヒーター電極３１と前記水冷電極３２との間に、高融点導電体、好ましくはモリブデン（融点：２６２５℃）、あるいはタングステン（融点：３４１０℃）等、前記ヒーター電極３１とは異なる材料の高融点導電体３６が介在させられる。
【００２３】
下記表１には、前記高融点導電体の有無における炉内温度分布の比較実験例が示されている。
【００２４】
【表１】

すなわち、前記ヒ−タ−電極３１と水冷電源電極３２間に、前記高融点導電体３６を介在させた場合と介在させない場合の比較実験例である。
【００２５】
前記表１に記載された温度測定個所は、ＪＩＳで定められている９地点、すなわち、炉内の上部四隅部の４個所、下部四隅部の４個所及び炉中央部の９地点である。いずれの実験も前記高融点導電体３６の有無のみ相違するだけでその他の実験諸条件は全く同じである。
【００２６】
測定結果は、同表から明らかなように、前記高融点導電体を介在させない場合の前記９地点の最大温度差が２７℃であるのに対し、前記高融点導電体を介在させた場合の最大温度差が４．５℃であり、極めて顕著な相違が確認されたものである。
【００２７】
つぎに、真空装置について説明する。図１に示すように、前記真空チャンバー１の本体部２の適位置から設けられた配管３７が水冷式バッフル３８を介してディフージョンポンプ３９に連結され、さらに該ディフージョンポンプ３９には、メカニカルブースター４０及びロータリーポンプ４１が順次連結される。
【００２８】
さらに前記配管３７の前記水冷式バッフル３８より前記真空チャンバー１寄りの地点から分岐配管４３が設けられて前記メカニカルブースター４０に連結され、ロータリーポンプ４１による吸気を切り換えできるように構成されている。
【００２９】
すなわち、ロ−タリ−ポンプ４１によって前記水冷式バッフル３８、ディフ−ジョンポンプ３９及びメカニカルブ−スタ−４０を介して真空チャンバ−１内の吸気を行うことができる他、前記ディフ−ジョンポンプ３９を介さず、メカニカルブ−スタ−４０のみを介してロ−タリ−ポンプ４１によって真空チャンバ−１内の吸気を行うことができる様に構成されている。
【００３０】
前記構成の熱処理炉炉において、バインダ−除去及び焼結部品製造の一例を以下に説明する。
【００３１】
まず、公知の方法によって、前記粉末成形体、すなわち、グリ−ンボデイ２５が準備される。つぎに前記レトルトボックス２６内の棚２９上にグリ−ンボデイ２５が並べられ、前記前扉３を開放して前記レトルトボックス２６がハ−スレ−ル２８上に供給される。
【００３２】
その後、前記扉が閉められ、前記ロ−タリ−ポンプ４１及びメカニカルブ−スタ−４０が駆動させられて真空排気が行われ、その後ヒ−タ−２２によりレトルトボックス２６部が加熱され、同時に真空チャンバ−１の水路５内に冷却水が循環させられる。
【００３３】
その結果、融点の低い、成形助剤、例えば、パラフィン等の低分子がグリ−ンボデイ２６から蒸発させられて一部脱脂が行われ、該パラフィン等がレトルトボックス２６の下部排気口４２から前記真空チャンバ−１内に排出される。
【００３４】
そして前記真空チャンバ−１内に排出されたパラフィン等は、該真空チャンバ−１の内周面が冷却されているため、該真空チャンバ−１の内周面に凝縮付着する。
【００３５】
同時に、真空装置への排気に含まれた前記パラフィン等は、前記配管３７部に設けられた水冷式バッフル３８、さらにディフ−ジョンポンプ３９部で回収され、該パラフィン等を除去された排気はメカニカルブ−スタ−４０及びロ−タリ−ポンプ４１を介して外部に排出される。
【００３６】
なお、前記真空チャンバ−１の内周面に凝縮付着したパラフィン等の除去は、前記水路５に冷却水に変えて温水を供給することにより、溶解させることができ、溶解させた前記パラフィン等は、真空チャンバ−１を構成する本体部２の底部に設けられたバインダ−収集ポット９に採集される。
【００３７】
その後、ヒ−タ−２２によるレトルトボックス２６部の昇温が行われて残されている高分子バインダの脱脂が行われる。この脱脂に際しては、前記スイ−プガス供給部２４からスイ−プガスが供給され、供給されたスイ−プガスはレトルトボックス２６内を蛇行させられて棚２９上のグリ−ンボディ２５の脱脂を助長する。
【００３８】
このスイ−プガス使用の脱脂時には、真空装置への排気はディフ−ジョンポンプ３１を通さず、配管３７からメカニカルブ−スタ−４０及びロ−タリ−ポンプ４１を介して行われる。
【００３９】
その後、脱脂の完了が確認されたら、スイ−プガスの供給を止め、高温、高真空を維持して焼結を行い、焼結完了時には前記シャッタ−１３及び１８が開放され、冷却ファン２０を駆動させて、焼結製品を急冷する。
【００４０】
すなわち、前記シャッタ−１３がその駆動シリンダ１４によって後方へ引かれ、端部断熱材１０に設けられた開口部１２が開放され、同時に前記シャッタ−１８がその駆動シリンダ１９によって後方及び横方向に逃がされ、端部断熱材１５に設けられた開口部１７が開放される。
【００４１】
その後、冷却ファン２０を吸気回転させると、前記断熱材２３及び端部断熱材１０、１５内部の冷却用ガスが開口部１７から吸引されて前記冷却水路５を有する真空チャンバ−１と前記断熱材２３及び端部断熱材１０、１５間で冷却されて循環させられてレトルトボックス２６及びその内部の焼結部品を急冷することができるものである。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、熱処理炉内、特にグリ−ンボデイ周囲の温度にバラツキが生じることがなく、したがって、グリ−ンボデイ各部における脱脂及び焼結の均一化が図られ、不良品の発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の熱処理炉の全体平面図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図２の左側面図である。
【図４】真空チャンバ−の拡大縦断面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線方向断面図である。
【図６】ヒ−タ電極及び水冷電極部の拡大断面図である。
【図７】レトルトボックス部の概略断面図である。
【符号の説明】
１真空チャンバ−
１０，１５，２３断熱材
１３，１８シャッタ−
２０冷却ファン
２２ヒ−タ−
２４スイ−プガス供給部
２５粉末成形体
２６レトルトボックス
３０シ−ト
３１ヒ−タ電極
３２水冷電極
３６高融点導電体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
In the present invention, a binder such as a thermoplastic resin and a molding aid is removed from a powder molded body (hereinafter simply referred to as “green body”) such as metal or ceramic (hereinafter simply referred to as “degreasing”). The present invention relates to a heat treatment furnace used when manufacturing sintered parts.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as one method of manufacturing a machine part having a complicated shape, a so-called green is obtained by adding a binder made of a thermoplastic resin, a molding aid or the like to a powder of metal, ceramics, etc., and molding the mixture into a predetermined shape. There is provided a method of manufacturing a sintered part by heating the body in vacuum and further in an atmosphere to remove the binder contained in the green body.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In the production of the sintered parts, if the temperature in the vacuum furnace, particularly around the green body, varies, degreasing and sintering in each part of the green body are not performed uniformly, and defective products are generated.
[0004]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is intended to make the temperature around the green body uniform during the degreasing and sintering of the green body, thereby preventing the generation of defective products and supplying the sweep gas. It is an object of the present invention to provide a heat treatment furnace capable of improving efficiency, accelerating cooling after sintering, prolonging the furnace life, and providing an inexpensive sintered product with excellent quality.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention of claim 1 includes a vacuum chamber, a retort box disposed in the vacuum chamber, a heater surrounding the retort box in the vacuum chamber, and the retort box in the vacuum chamber. A heat insulating material surrounding the heater, a sweep gas supply unit connected to the retort box, an exhaust port formed in the retort box, and a multistage shelf disposed in the retort box and supporting the powder compact. And the sweep gas supplied from the sweep gas supply unit circulates in the retort box while meandering along the multi-stage shelf, and is discharged from the exhaust port. wherein the end portion is open are alternately between the retort box, the vacuum tea and the heat insulating material through to supported heating electrode The bar between the through to supported water-cooled power electrode, is obtained by interposing a high melting point conductor of a different material than the heater electrode.
[0006]
According to this configuration, the periphery of the retort box is heated by the heater, the temperature inside thereof is made uniform, and heating and degreasing of the powder compact supported by the multistage shelf in the retort box are performed uniformly and reliably, Furthermore, the sweep gas can be distributed efficiently. In addition, the temperature of the heater electrode and its peripheral part is not lowered by the water-cooled power supply electrode as in the prior art, the temperature uniformity in each part in the furnace is improved, and a sintered product with excellent quality is provided. Generation of defective products can be prevented.
[0007]
According to a second aspect of the present invention, a shutter is provided at each end heat insulating material surrounding the retort box, and a cooling fan directed to the retort box is provided behind the shutter.
[0008]
According to this configuration, both the shutters are opened, and the cooling fan is driven to circulate the cooling gas between the vacuum chamber having the cooling water channel and the heat insulating material and the retort box portion inside the heat insulating material. Cooling after the completion of sintering can be performed quickly.
[0010]
According to a third aspect of the present invention, a sheet mainly composed of graphite is attached to the inner peripheral surface of the heat insulating material. According to this configuration, the heat insulating effect can be improved and the heat insulating material can be prevented from being deteriorated due to the adhesion of the binder removed at the time of degreasing, so that the furnace life can be prolonged.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The drawings show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is an overall plan view, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, FIG. 3 is a left side view of FIG. FIG. 5 is a sectional view taken along the line VV of FIG. 4, FIG. 6 is an enlarged sectional view of a heater electrode and a water-cooled electrode portion, and FIG. 7 is a schematic sectional view of a retort box portion.
[0012]
The vacuum chamber-1 is composed of a central main body 2 and front doors 3 and rear doors 4 provided at both ends thereof, and the main body 2, the front door 3 and the rear door 4 are respectively double-walled. It is set as a structure and has the cooling water channel 5 between each. In the figure, 6 is water injection and a circulation port, respectively.
[0013]
The front door 3 and the rear door 4 are supported by the main body 2 so as to be freely opened and closed by hinges 7, respectively, and lock devices 8 for the front door 3 and the rear door 4 are provided at both ends of the main body 2. A binder collection pot 9 is provided at the bottom.
[0014]
More the front door 3, end insulation material 10 for closing the front door 3 side of the heat insulating material 23 provided on the

body portion

2 side is attached by the support portion 11, further formed to the end portion heat insulating material 10 A shutter 13 for opening and closing the opened opening 12 and a drive cylinder 14 for the shutter 13 are provided.
[0015]
Further, the rear door 4, the end heat insulating material 15 for closing the door 4 side after the heat insulating material 23 provided on the

body portion

2 side is attached by the support portion 16, further formed to the end portion heat insulating material 15 driving cylinder 19 of the shutter 18 and the shutter 18 for opening and closing an opening 17 that is further to the rear of the shutter 18, the cooling fan 20 and the drive motor 21 of the cooling fan 20 toward the

retort

box 26 is provided Yes.
[0016]
In the present invention, the heater 22, the heat insulating material 23, and the end heat insulating material 10 provided on the front door 3 and the rear door 4 are provided in the vacuum chamber 1, specifically, the main body 2. A retort box 26 is provided to accommodate a green body 25 surrounded by the end heat insulating material 15 and further connected to a sweep gas supply unit 24.
[0017]
The retort box 26 is placed and supported on a hearth rail 28 supported by a hollow material 27 erected in the vacuum chamber-1, and a green body as shown in FIG. 25 are provided, and the shelves 29 are alternately opened at both ends as shown in the figure, and the sweep gas supplied from the sweep gas supply unit 24 is supplied to the upper surface of each shelf 29. That is, the green body 25 housed on the upper surface of the shelf 29 is meandered and discharged from the lower exhaust port 42 to the outside of the heat insulating material 23, that is, into the vacuum chamber-1. .
[0018]
The heater 22 is a radiant tube type and is provided to surround the retort box 26 in the direction from the front door 3 to the rear door 4. Further, the heater 22 has a required distance from the heater 22. The heat insulating material 23 is provided outside the opening.
[0019]
The heat insulating material 10 and the end heat insulating materials 15 and 23 are made of heat-resistant brick or the like, and a sheet 30 mainly composed of graphite is attached to the inner peripheral surface thereof.
[0020]
Next, the heater electrode 31 will be described. The heater electrode 31 is made of carbon or the like, and is supported through the heater 22 and the heat insulating material 23 as shown in FIG.
[0021]
On the other hand, the water-cooled power supply electrode 32 connected to a power source (not shown) is made of copper and is configured as a double pipe having a cooling water passage 33 therein, and has a cooling water supply port 34 and a circulation port 35, and the heater -It is supported through the vacuum chamber-1 part with an appropriate distance from the electrode 31.
[0022]
Conventionally, the heater electrode 31 and the water-cooled power supply electrode 32 are directly connected. However, in the present invention, a high-melting point conductor, preferably molybdenum (preferably between the heater electrode 31 and the water-cooled electrode 32). A refractory conductor 36 made of a material different from the heater electrode 31 such as tungsten (melting point: 2625 ° C.) or tungsten (melting point: 3410 ° C.) is interposed.
[0023]
Table 1 below shows a comparative experimental example of the furnace temperature distribution with and without the refractory conductor.
[0024]
[Table 1]

That is, this is a comparative experimental example in which the refractory conductor 36 is interposed between the heater electrode 31 and the water-cooled power supply electrode 32 and when the refractory conductor 36 is not interposed.
[0025]
The temperature measurement locations described in Table 1 are nine points defined by JIS, that is, four locations in the upper four corners, four locations in the lower four corners, and nine locations in the center of the furnace. In all experiments, only the presence or absence of the high melting point conductor 36 is different, and other experimental conditions are completely the same.
[0026]
As is apparent from the table, the measurement result shows that the maximum temperature difference at the nine points when the high melting point conductor is not interposed is 27 ° C., whereas the maximum temperature difference when the high melting point conductor is interposed is 27 ° C. The temperature difference was 4.5 ° C., and a very remarkable difference was confirmed.
[0027]
Next, the vacuum apparatus will be described. As shown in FIG. 1, a pipe 37 provided from an appropriate position of the main body 2 of the vacuum chamber 1 is connected to a diffusion pump 39 via a water-cooled baffle 38, and further, the diffusion pump 39 includes a mechanical pump. A booster 40 and a rotary pump 41 are sequentially connected.
[0028]
Further, a branch pipe 43 is provided from a point closer to the vacuum chamber 1 than the water-cooled baffle 38 of the pipe 37 and is connected to the mechanical booster 40 so that intake by the rotary pump 41 can be switched.
[0029]
That is, the rotary pump 41 can take in the vacuum chamber 1 through the water-cooled baffle 38, the diffusion pump 39 and the mechanical booster 40, and the diffusion pump 39. The vacuum chamber 1 can be sucked by the rotary pump 41 only through the mechanical booster 40.
[0030]
In the heat treatment furnace having the above-described configuration, an example of binder removal and sintered part manufacture will be described below.
[0031]
First, the powder molded body, that is, the green body 25 is prepared by a known method. Next, green bodies 25 are arranged on a shelf 29 in the retort box 26, the front door 3 is opened, and the retort box 26 is supplied onto the heart rail 28.
[0032]
Thereafter, the door is closed, the rotary pump 41 and the mechanical booster 40 are driven to perform evacuation, and then the retort box 26 is heated by the heater 22 and simultaneously vacuumed. Cooling water is circulated in the water channel 5 of the chamber-1.
[0033]
As a result, a molding aid having a low melting point, for example, a low molecule such as paraffin is evaporated from the green body 26 to be partially degreased, and the paraffin is removed from the lower exhaust port 42 of the retort box 26 through the vacuum. It is discharged into chamber-1.
[0034]
The paraffin discharged into the vacuum chamber-1 is condensed and attached to the inner peripheral surface of the vacuum chamber-1 because the inner peripheral surface of the vacuum chamber-1 is cooled.
[0035]
At the same time, the paraffin or the like contained in the exhaust to the vacuum apparatus is recovered by the water-cooled baffle 38 provided in the pipe 37 part and further by the diffusion pump 39 part, and the exhaust from which the paraffin etc. has been removed is mechanical. It is discharged to the outside through the booster 40 and the rotary pump 41.
[0036]
In addition, the removal of the paraffin condensed and adhered to the inner peripheral surface of the vacuum chamber-1 can be dissolved by supplying warm water to the water channel 5 instead of cooling water. The sample is collected in a binder-collecting pot 9 provided at the bottom of the main body 2 constituting the vacuum chamber-1.
[0037]
Thereafter, the temperature of the 26 parts of the retort box is raised by the heater 22, and the remaining polymer binder is degreased. In this degreasing, the sweep gas is supplied from the sweep gas supply unit 24, and the supplied sweep gas is meandered in the retort box 26 to promote degreasing of the green body 25 on the shelf 29.
[0038]
At the time of degreasing using this sweep gas, the exhaust to the vacuum device is performed through the mechanical booster 40 and the rotary pump 41 from the pipe 37 without passing through the diffusion pump 31.
[0039]
Thereafter, when it is confirmed that the degreasing is completed, the supply of the sweep gas is stopped, sintering is performed while maintaining a high temperature and a high vacuum, and when the sintering is completed, the shutters 13 and 18 are opened and the cooling fan 20 is driven. And quenching the sintered product.
[0040]
That is, the shutter 13 is pulled rearward by the drive cylinder 14, the opening 12 provided in the end heat insulating material 10 is opened, and at the same time, the shutter 18 escapes rearward and laterally by the drive cylinder 19. The opening 17 provided in the end heat insulating material 15 is opened.
[0041]
Thereafter, when the cooling fan 20 is rotated by suction, the cooling gas inside the heat insulating material 23 and the end heat insulating materials 10 and 15 is sucked from the opening 17 to have the cooling water passage 5 and the heat insulating material. 23 and the end heat insulating materials 10 and 15 are cooled and circulated to rapidly cool the retort box 26 and the sintered parts therein.
[0042]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is no variation in the temperature in the heat treatment furnace, particularly around the green body, and therefore, degreasing and sintering are uniformized in each part of the green body, and the occurrence of defective products is prevented. The
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall plan view of a heat treatment furnace of the present invention.
FIG. 2 is a front view of FIG. 1;
FIG. 3 is a left side view of FIG. 2;
FIG. 4 is an enlarged longitudinal sectional view of a vacuum chamber.
5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG.
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a heater electrode and a water-cooled electrode part.
FIG. 7 is a schematic sectional view of a retort box portion.
[Explanation of symbols]
1 Vacuum chamber
10, 15, 23 Heat insulating material 13, 18 Shutter
20 Cooling fan 22 Heater
24 Sweep gas supply section 25 Powder compact 26 Retort box 30 Sheet 31 Heater electrode 32 Water-cooled electrode 36 High melting point conductor

Claims

A vacuum chamber (1), and retort box (26) disposed in the vacuum chamber (1) in a heater (22) surrounding the retort box (26) in said vacuum chamber (1) within said vacuum chamber In (1), the heat insulating material (10, 15, 23) surrounding the heater (22), the sweep gas supply unit (24) connected to the retort box (26), and the retort box (26) are formed. And a multi-stage shelf (29) disposed in the retort box (26) and supporting the powder compact (25), from the sweep gas supply unit (24). The supplied sweep gas circulates in the retort box (26) while meandering along the multi-stage shelf (29), and is discharged from the exhaust port (42). Between the the end of the serial multistage shelf (29) Retort box (26) is opened alternately through the heater electrode (31) of a heat insulating material is supported through said vacuum chamber (1) A heat treatment furnace characterized in that a high melting point conductor (36) made of a material different from that of the heater electrode (31) is interposed between the water-cooled power supply electrode (32) supported in this manner .

The retort box shutter to both ends heat insulating material surrounding the (26) (13, 18) is provided, wherein the rear cooling fan directed to retort box (26) (20) is provided on one of the shutter (18) It is formed by thermal processing device of claim 1.

Characterized by being stuck to the sheet (30) mainly composed of graphite on the inner peripheral surface of the heat insulating material, a heat treatment furnace according to claim 1 or 2.