JP3897606B2 - Computed tomography equipment - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非破壊検査装置のうちのコンピュータ断層撮影装置に係り、特に被検体を容易に回転の中心に載置できるようにしたコンピュータ断層撮影装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、例えば小型電子部品等を高分解能で検査することを目的として、高分解能型の産業用のコンピュータ断層撮影装置(以下、CTスキャナと称する)が製作されるようになってきている。
【0003】
この従来の高分解能型CTスキャナは、X線管から発生して被検体を透過したX線ビームを、2次元の空間分解能をもってX線検出器で検出して、被検体の透過像を得るようになっている。
【0004】
断面像を撮影する場合には、被検体を1回転させながら、多数の透過像を得る(以下、スキャンと称する)。
【0005】
この多数の透過像をデータ処理して、被検体の断面像(1枚ないし多数枚)を得る。
【0006】
被検体を載せて回転させる回転テーブルは、X線管に近づけたり遠ざけたりすることができ、被検体の大きさに応じて撮影倍率が変えられる。
【0007】
断面像視野(撮影領域)は、回転中心を中心とする円であり、撮影倍率が大きいほど小さな円となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したこの種の従来の高分解能型CTスキャナにおいては、断面像視野(撮影領域)内に被検体が収まるように、回転テーブル上に目測で被検体を固定するようにしている。
【0009】
しかしながら、断面像視野(撮影領域)が小さいために、被検体を当該断面像視野内に収めることが難しく、何度も固定位置を修正することが必要である。
【0010】
特に、被検体が不規則な形状の場合等の時には、被検体の固定が著しく困難となっている。
【0011】
本発明の目的は、被検体を容易に回転の中心に載置することが可能なコンピュータ断層撮影装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明では、放射線ビームを放射する放射線源と、被検体を透過した放射線源からの放射線ビームを検出して被検体の透過像を得る放射線検出器と、放射線ビーム内で被検体を相対回転させる回転手段とを備え、回転手段による回転中に放射線検出器で得られた被検体の多方向からの透過像から、被検体の断面像を再構成するコンピュータ断層撮影装置であって、回転の領域上で被検体を回転の軸と直交する撮影面に沿ってX方向、Y方向に移動させる移動手段と、移動手段によるX方向とY方向への移動を組み合せて、回転の位置によらず被検体を放射線ビームの透過の方向と略直交する方向に移動させるための量を演算するXY移動量計算部と、この演算された量に従い移動手段を制御して移動させる機構制御部とを備えている。
【0013】
従って、請求項1に対応する発明のコンピュータ断層撮影装置においては、
回転の領域上で被検体を回転の軸と直交する撮影面に沿ってX方向、Y方向に移動させる移動手段と、移動手段によるX方向とY方向への移動を組み合せて、回転の位置によらず被検体を放射線ビームの透過の方向と略直交する方向に移動させるための量を演算するXY移動量計算部と、この演算された量に従い移動手段を制御して移動させる機構制御部とを備えることにより、操作者は、透過像を観察しながら被検体を回転させ、透過像視野上で振れる時の大きな振幅となる回転の位置で透過の方向と略直交する方向に移動させ、これを繰り返して、被検体を回転の中心に設定し載置することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0015】
図1は、本実施の形態によるCTスキャナのシステム構成例を示す概要図である。
【0016】
図1において、放射線源であるX線管1としては、発生するX線ビーム2の焦点Fが、数ないし数十μmのマイクロフォーカスX線管を用い、放射線検出器であるX線検出器3には、X線フラットパネルセンサを用いている。
【0017】
X線管1およびX線検出器3は対向して配置され、シフト機構7により支持されている。
【0018】
被検体4は、回転テーブル5上に、移動手段であるXY機構8を介して載置され、回転・昇降機構6により、X線ビーム2内で撮影面19に沿って回転されると共に、撮影面19に略直角に昇降される。
【0019】
また、被検体4は、回転テーブル5上でXY機構8で撮影面19に沿って動かされ、回転軸18に対して位置を変えることができる。
【0020】
回転テーブル5は、被検体4と共に、シフト機構7によりX線管1とX線検出器3との間を移動して、撮影倍率が変更される。
【0021】
検出器3からの透過像データは、データ処理部9に送られ、処理結果等は表示部10に表示される。
【0022】
機構制御部11は、データ処理部9に接続され、データ処理部9からの指令により機構部を制御すると共に、回転角φ等の機構部のステータス信号をデータ処理部9に送る。
【0023】
機構制御部11は、スリップリング13を通して、回転テーブル5上のXY機構8に信号を送ってこれを駆動する。
【0024】
データ処理部9および表示部10は、通常のコンピュータであり、CPU、メモリ、ディスク、キーボード、マウス、インターフェース等からなり、断層撮影のシークエンスやデータから断面像を再構成するソフトウエア等をあらかじめ記憶している。
【0025】
操作者は、データ処理部9および表示部10を用いて、メニュー選択や条件設定、機構部手動操作、断層撮影の開始、装置のステータス読取、断面像の表示、断面像の解析等を行なう。
【0026】
表示部10には、リアルタイムの透過像の表示も行なわれる。
【0027】
データ処理部9は、機能ブロックとして、断層撮影のスキャン制御部と、断面像を作成する再構成部等に加えて、XY移動量計算部33を備えている。
【0028】
なお、構成要素として、他に、X線管1の管電圧、管電流を制御するX線制御部12と、図示が省略されている高電圧発生器と、X線を遮蔽する遮蔽箱等を備えている。
【0029】
ここで、本実施の形態に関わる主要構成要素は、XY機構8と、XY移動量計算部33である。
【0030】
XY機構8は、上記回転の領域上で、被検体4を回転の面に沿ってX方向、Y方向に移動させる。
【0031】
XY移動量計算部33は、XY機構8によるX方向とY方向への移動を組み合せて、回転の位置によらず被検体4をX線ビーム2の透過の方向と略直交する方向に移動させるための量を演算する。
【0032】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるCTスキャナの作用について説明する。
【0033】
図1において、透過像を得る場合には、操作者は被検体4をXY機構8に載せ、X線制御部12により管電圧と管電流を設定してX線をONし、透過像を表示部10に表示させる。
【0034】
操作者は、この表示部10に表示された透過像を観察しながら、回転・昇降機構6により被検体4を昇降させ、検査面を撮影面19に合わせる。
【0035】
ここで、撮影面19の位置は、あらかじめ測定して画面に表示しておく。
【0036】
次に、この表示部10に表示された透過像を観察しながら、被検体9を回転させ、当該回転によって透過像視野(撮影領域)上で左右に振れる時の大きな振幅となる回転位置で止め、画面に沿った振幅の中心方向への移動指令△tを出力する(ジョグ動作)。
【0037】
この移動指令は、キーボード、またはマウスで入力する。
【0038】
図2の幾何図に示すように、XY移動量計算部33は、回転角φを用いて、
△X=△t・cos(φ)
△Y=△t・sin(φ)
なる式にしたがって、X方向、Y方向の移動量を計算する。
【0039】
そして、機構制御部11に指令を出して、透過像画面に沿った方向、すなわちX線ビーム2の透過の方向に略直交する方向に移動させる。
【0040】
図2中、FはX線ビーム2の焦点を示している。
【0041】
以上のような回転と移動とを繰り返して、被検体4を回転の中心Cに設定することができる。
【0042】
なお、被検体4が不定形の場合には、撮影面19の位置に着目して以上のような合わせを行なう。
【0043】
次に、撮影倍率を合わせて、スキャンを行なう。
【0044】
管電圧、管電流、積分時間、ビュー数を設定してスキャンを開始させると、回転テーブル5が回転して、この間にデータ処理部9(のスキャン制御部30)により透過像が収集され、360°方向で得られたビュー数分の透過データから、再構成部により撮影面19の位置での第1の断面像が再構成され、表示部10により表示される。
【0045】
上述したように、本実施の形態によるCTスキャナでは、被検体4を容易に回転の中心に合わせて、回転テーブル5上に載置することが可能となる。
【0046】
(その他の実施の形態)
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施することが可能である。
前記実施の形態では、X線検出器3として、X線フラットパネルセンサを用いる場合について説明したが、これに限らず、例えばX線I.I.(像増強管:イメージインテンシファイア)とテレビカメラとを組み合わせたもの等、2次元の分解能を有するものであれば適用することが可能である。
【0047】
さらに、上記実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合わせにより、種々の発明を抽出することができる。
例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題(の少なくとも一つ)が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくとも一つ)が得られる場合には、この構成要件が削除された構成を発明として抽出することができる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のコンピュータ断層撮影装置によれば、被検体を容易に回転の中心に載置することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるCTスキャナの一の実施の形態を示す概要図。
【図2】同一実施の形態のCTスキャナにおける作用を説明するための幾何図。
【符号の説明】
1…X線管
2…X線ビーム
3…X線検出器
4…被検体
5…回転テーブル
6…回転・昇降機構
7…シフト機構
8…XY機構
9…データ処理部
10…表示部
11…機構制御部
12…X線制御部
13…スリップリング
18…回転軸
19…撮影面
33…XY移動量計算部
C…回転の中心
F…X線ビーム2の焦点。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a computed tomography apparatus among non-destructive inspection apparatuses, and more particularly to a computed tomography apparatus in which a subject can be easily placed at the center of rotation.
[0002]
[Prior art]
In recent years, high-resolution industrial computer tomography apparatuses (hereinafter referred to as CT scanners) have been manufactured for the purpose of inspecting small electronic components or the like with high resolution.
[0003]
This conventional high-resolution CT scanner detects an X-ray beam generated from an X-ray tube and transmitted through a subject with an X-ray detector with two-dimensional spatial resolution to obtain a transmission image of the subject. It has become.
[0004]
When taking a cross-sectional image, a large number of transmission images are obtained while the subject is rotated once (hereinafter referred to as scanning).
[0005]
Data processing is performed on the multiple transmission images to obtain cross-sectional images (one or many) of the subject.
[0006]
The rotary table on which the subject is placed and rotated can be moved closer to or away from the X-ray tube, and the imaging magnification can be changed according to the size of the subject.
[0007]
The cross-sectional image field (imaging region) is a circle centered on the rotation center, and the smaller the imaging magnification, the smaller the circle.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in this type of conventional high-resolution CT scanner described above, the subject is fixed on the rotary table by eye so that the subject is within the cross-sectional image field (imaging region).
[0009]
However, since the cross-sectional image field (imaging region) is small, it is difficult to fit the subject within the cross-sectional image field, and it is necessary to correct the fixed position many times.
[0010]
In particular, when the subject has an irregular shape, it is extremely difficult to fix the subject.
[0011]
An object of the present invention is to provide a computed tomography apparatus capable of easily placing a subject at the center of rotation.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in the present invention, a radiation source that emits a radiation beam, a radiation detector that detects a radiation beam from the radiation source that has passed through the subject and obtains a transmission image of the subject, and a radiation beam Computed tomography for reconstructing a cross-sectional image of the subject from transmission images from multiple directions of the subject obtained by the radiation detector during rotation by the rotating means A device that moves a subject in the X direction and the Y direction along an imaging plane orthogonal to the axis of rotation on a rotation region, and a combination of movement in the X and Y directions by the moving unit. An XY movement amount calculation unit that calculates an amount for moving the subject in a direction substantially orthogonal to the direction of transmission of the radiation beam regardless of the rotation position, and moves by controlling the moving means according to the calculated amount Mechanism system And a part.
[0013]
Therefore, in the computer tomography apparatus of the invention corresponding to claim 1,
A moving means for moving the subject in the X direction and the Y direction along the imaging plane orthogonal to the rotation axis on the rotation area and a movement in the X direction and the Y direction by the moving means are combined to obtain a rotation position. Regardless of this, an XY movement amount calculation unit that calculates an amount for moving the subject in a direction substantially orthogonal to the direction of transmission of the radiation beam, and a mechanism control unit that controls and moves the moving means according to the calculated amount , With this, the operator rotates the subject while observing the transmission image, and moves the subject in a direction substantially perpendicular to the transmission direction at a rotation position that has a large amplitude when shaking on the transmission image field of view. Can be set and placed at the center of rotation.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0015]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a system configuration example of a CT scanner according to the present embodiment.
[0016]
In FIG. 1, as an X-ray tube 1 as a radiation source, a microfocus X-ray tube having a focal point F of several to several tens of μm is generated, and an X-ray detector 3 as a radiation detector is used. For this, an X-ray flat panel sensor is used.
[0017]
The X-ray tube 1 and the X-ray detector 3 are arranged facing each other and supported by a shift mechanism 7.
[0018]
The subject 4 is placed on the rotary table 5 via an XY mechanism 8 that is a moving means, and is rotated along the imaging surface 19 in the X-ray beam 2 by the rotation / elevating mechanism 6 and the imaging is performed. It is raised and lowered substantially perpendicular to the surface 19.
[0019]
Further, the subject 4 is moved along the imaging surface 19 by the XY mechanism 8 on the rotary table 5, and the position of the subject 4 can be changed with respect to the rotary shaft 18.
[0020]
The rotary table 5 is moved together with the subject 4 between the X-ray tube 1 and the X-ray detector 3 by the shift mechanism 7 to change the imaging magnification.
[0021]
Transmission image data from the detector 3 is sent to the data processing unit 9, and the processing result and the like are displayed on the display unit 10.
[0022]
The mechanism control unit 11 is connected to the data processing unit 9, controls the mechanism unit according to a command from the data processing unit 9, and sends a status signal of the mechanism unit such as the rotation angle φ to the data processing unit 9.
[0023]
The mechanism control unit 11 sends a signal to the XY mechanism 8 on the rotary table 5 through the slip ring 13 to drive it.
[0024]
The data processing unit 9 and the display unit 10 are ordinary computers, and include a CPU, a memory, a disk, a keyboard, a mouse, an interface, and the like, and store software for reconstructing a cross-sectional image from a tomographic sequence and data in advance. is doing.
[0025]
The operator uses the data processing unit 9 and the display unit 10 to perform menu selection, condition setting, manual operation of the mechanism unit, start of tomography, apparatus status reading, cross-sectional image display, cross-sectional image analysis, and the like.
[0026]
The display unit 10 also displays a real-time transmission image.
[0027]
The data processing unit 9 includes an XY movement amount calculation unit 33 as a functional block in addition to a tomographic scan control unit, a reconstruction unit that creates a cross-sectional image, and the like.
[0028]
Other constituent elements include an X-ray controller 12 that controls the tube voltage and tube current of the X-ray tube 1, a high-voltage generator that is not shown, a shielding box that shields X-rays, and the like. I have.
[0029]
Here, main components related to the present embodiment are the XY mechanism 8 and the XY movement amount calculation unit 33.
[0030]
The XY mechanism 8 moves the subject 4 in the X direction and the Y direction along the plane of rotation on the rotation area.
[0031]
The XY movement amount calculation unit 33 combines the movement in the X direction and the Y direction by the XY mechanism 8 to move the subject 4 in a direction substantially orthogonal to the transmission direction of the X-ray beam 2 regardless of the rotation position. Calculate the amount for.
[0032]
Next, the operation of the CT scanner configured as described above according to the present embodiment will be described.
[0033]
In FIG. 1, when obtaining a transmission image, the operator places the subject 4 on the XY mechanism 8, sets the tube voltage and the tube current by the X-ray control unit 12, turns on the X-ray, and displays the transmission image. Display on the unit 10.
[0034]
The operator moves the subject 4 up and down by the rotation / lifting mechanism 6 while observing the transmission image displayed on the display unit 10, and aligns the examination surface with the imaging surface 19.
[0035]
Here, the position of the imaging surface 19 is measured in advance and displayed on the screen.
[0036]
Next, while observing the transmission image displayed on the display unit 10, the subject 9 is rotated and stopped at a rotation position where a large amplitude is obtained when the rotation swings left and right on the transmission image field (imaging region). Then, a movement command Δt toward the center of the amplitude along the screen is output (jog operation).
[0037]
This movement command is input with a keyboard or a mouse.
[0038]
As shown in the geometric diagram of FIG. 2, the XY movement amount calculation unit 33 uses the rotation angle φ,
ΔX = Δt · cos (φ)
ΔY = Δt · sin (φ)
The amount of movement in the X and Y directions is calculated according to the following formula.
[0039]
Then, a command is issued to the mechanism control unit 11 to move in a direction along the transmission image screen, that is, a direction substantially orthogonal to the transmission direction of the X-ray beam 2.
[0040]
In FIG. 2, F indicates the focal point of the X-ray beam 2.
[0041]
The subject 4 can be set at the center of rotation C by repeating the rotation and movement as described above.
[0042]
When the subject 4 is indefinite, the above alignment is performed by paying attention to the position of the imaging surface 19.
[0043]
Next, scanning is performed in accordance with the photographing magnification.
[0044]
When the tube voltage, the tube current, the integration time, and the number of views are set and scanning is started, the rotary table 5 is rotated, and a transmission image is collected by the data processing unit 9 (scan control unit 30 thereof) during this time. From the transmission data for the number of views obtained in the ° direction, the reconstruction unit reconstructs the first cross-sectional image at the position of the imaging surface 19 and displays it on the display unit 10.
[0045]
As described above, in the CT scanner according to the present embodiment, the subject 4 can be easily placed on the rotary table 5 so as to be aligned with the center of rotation.
[0046]
(Other embodiments)
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, In the implementation stage, it can change and implement variously in the range which does not deviate from the summary.
In the above-described embodiment, the case where an X-ray flat panel sensor is used as the X-ray detector 3 has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, an X-ray II (image intensifier) and a television are used. Any one having a two-dimensional resolution, such as a combination with a camera, can be applied.
[0047]
Further, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent elements.
For example, even if some constituent requirements are deleted from all the constituent requirements shown in the embodiment, the problem (at least one) described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the effect of the invention can be solved. When (at least one of) the effects described in the column can be obtained, a configuration in which this configuration requirement is deleted can be extracted as an invention.
[0048]
【The invention's effect】
As described above, according to the computed tomography apparatus of the present invention, the subject can be easily placed at the center of rotation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a CT scanner according to the present invention.
FIG. 2 is a geometric diagram for explaining the operation in the CT scanner of the same embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray tube 2 ... X-ray beam 3 ... X-ray detector 4 ... Subject 5 ... Rotary table 6 ... Rotation / lifting mechanism 7 ... Shift mechanism 8 ... XY mechanism 9 ... Data processing part 10 ... Display part 11 ... Mechanism Control unit 12 X-ray control unit 13 Slip ring 18 Rotating shaft 19 Imaging plane 33 XY movement amount calculation unit C Center of rotation F Focus of X-ray beam 2

Claims (1)

放射線ビームを放射する放射線源と、
被検体を透過した前記放射線源からの放射線ビームを検出して前記被検体の透過像を得る放射線検出器と、
前記放射線ビーム内で被検体を相対回転させる回転手段とを備え、
前記回転手段による回転中に前記放射線検出器で得られた被検体の多方向からの透過像から、前記被検体の断面像を再構成するコンピュータ断層撮影装置であって、
前記回転の領域上で前記被検体を前記回転の軸と直交する撮影面に沿ってX方向、Y方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段によるX方向とY方向への移動を組み合せて、前記回転の位置によらず前記被検体を前記放射線ビームの透過の方向と略直交する方向に移動させるための量を演算するXY移動量計算部と、
この演算された量に従い前記移動手段を制御して移動させる機構制御部と、
を備えて成ることを特徴とするコンピュータ断層撮影装置。
A radiation source emitting a radiation beam;
A radiation detector that detects a radiation beam from the radiation source that has passed through the subject to obtain a transmission image of the subject; and
Rotation means for relatively rotating the subject in the radiation beam,
A computed tomography apparatus for reconstructing a cross-sectional image of the subject from transmission images from multiple directions of the subject obtained by the radiation detector during rotation by the rotating means,
Moving means for moving the subject in the X direction and the Y direction along an imaging plane orthogonal to the rotation axis on the rotation region;
XY movement for calculating an amount for moving the subject in a direction substantially perpendicular to the direction of transmission of the radiation beam regardless of the position of the rotation by combining movement in the X direction and Y direction by the moving means. A quantity calculator ,
A mechanism control unit for controlling and moving the moving means according to the calculated amount;
A computer tomography apparatus comprising:
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