JP3879142B2 - Exposure equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置に関し、特に半導体素子や液晶表示素子などの製造に用いられるプロキシミティ方式の露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のプロキシミティ露光装置では、光源からの光束に基づいてフライアイインテグレータにより多数の光源像を形成する。多数の光源像からの光は、たとえば円形の開口部を有する開口絞りおよびコンデンサーレンズを介して、被投影原版であるマスクを重畳的に均一照明する。すなわち、従来のプロキシミティ露光装置では、マスクに対する照明の開口数が方向に依存することなく一定である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、マスク上の照度Eは、次の式(1)によって表される。
E=π・B・NA2 (1)
ここで、
B :輝度
NA:照明の開口数
【0004】
上記の式(1)において、輝度Bは、輝度不変の法則により不変である。一方、開口数NAは、パターンの所要解像力により決定される。すなわち、大きな解像力が要求される場合には、開口数NAを小さく設定する必要がある。その結果、従来のプロキシミティ露光装置では、所要のパターン精度を確保したまま感光基板上において所望の照度を得ることができなかった。
【0005】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、所要のパターン精度を確保したまま感光基板上において所望の照度を得ることのできる露光装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明においては、所定のパターンが形成されたマスクを照明するための照明光学系を備え、前記マスクのパターン像を感光性の基板上に形成する露光装置において、前記照明光学系は、前記マスクのパターン面において互いに直交する2つに方向に沿って実質的に異なる照明開口数を有し、前記マスクのパターンの長手方向に沿った第1照明開口数は、前記マスクのパターンの短手方向に沿った第2照明開口数よりも実質的に大きく、前記照明光学系は、照明光を供給するための光源と、複数のレンズエレメントからなり、前記光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するためのフライアイインテグレータと、前記複数の光源像からの光束を制限するための開口絞りと、前記開口絞りを介した前記複数の光源像からの光束を集光して前記マスクを重畳的に照明するためのコンデンサーレンズとを備え、前記開口絞りの開口部の前記マスクのパターンの長手方向に対応する方向に沿った長さは、前記マスクのパターンの短手方向に対応する方向に沿った長さよりも実質的に大きく、前記開口絞りの開口部の形状に応じて前記光源からの光束を整形するためのビーム整形光学系を備え、前記複数のレンズエレメントの各々の断面形状は矩形であり、前記マスクのパターンの長手方向に対応する方向に沿って短辺を有し、前記マスクのパターンの短手方向に対応する方向に沿って長辺を有することを特徴とする露光装置を提供する。
【0007】
本発明の好ましい態様によれば、前記フライアイインテグレータの全体形状は矩形であり、前記マスクのパターンの長手方向に対応する方向に沿って長辺を有し、前記マスクのパターンの短手方向に対応する方向に沿って短辺を有する。
【0008】
【発明の実施の形態】
一般的に、マスクパターンが方向性を有する場合、感光基板上に形成されるパターンの短手方向に沿ったエッジの断面形状が十分鋭く形成されれば、パターンの長手方向に沿ったエッジの断面形状はそれほど鋭く形成される必要はない。換言すれば、所要のパターン精度を確保するには、パターンの短手方向に沿った照明開口数を十分小さくする必要があるが、パターンの長手方向に沿った照明開口数をある程度大きく設定してもよいことになる。
【0009】
上述の知見に基づき、本発明の露光装置では、照明光学系の照明開口数がマスクパターン面において互いに直交する2つに方向に沿って実質的に異なるように構成している。すなわち、マスクパターンの長手方向に沿った第1照明開口数NA1が、マスクパターンの短手方向に沿った第2照明開口数NA2よりも実質的に大きくなるように構成している。この場合、開口を楕円形状とすると、マスク上の照度Eは、次の式(2)によって表される。
E=π・B・NA1・NA2 (2)
【0010】
上述したように、マスクパターンの短手方向に沿った第2照明開口数NA2は、所要のパターン精度を確保するために十分小さく設定する必要がある。しかしながら、マスクパターンの長手方向に沿った第1照明開口数NA1を大きく設定しても、パターン精度を実質的に損なうことがない。こうして、本発明では、第2照明開口数NA2を十分小さく設定し且つ第1照明開口数NA1を十分大きく設定することにより、所要のパターン精度を確保したまま感光基板上において所望の照度を得ることが可能になる。
【0011】
本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
図示の露光装置は、たとえば高圧水銀ランプからなる光源1を備えている。光源1は、回転楕円面からなる反射面を有する楕円鏡2の第1焦点位置に位置決めされている。したがって、光源1から射出された照明光束は、楕円鏡2の第2焦点位置に光源像を形成する。
【0012】
この光源像からの光束は、コリメートレンズ3によりほぼ平行な光束に変換された後、入射光束から露光波長の光を選択するフィルター(不図示)に入射する。フィルターを介して選択された露光波長の光は、フライアイインテグレータ4に入射する。フライアイインテグレータ4に入射した光束は、フライアイインテグレータ4を構成する複数のレンズエレメントにより波面分割され、フライアイインテグレータ4の後側焦点位置(すなわち射出面近傍)に複数の光源像からなる二次光源を形成する。
【0013】
二次光源からの光束は、開口絞り5により制限された後、コンデンサーレンズ6に入射する。コンデンサーレンズ6を介した光束は、方向性を有する所定のパターンが形成された被投影原版であるマスク7を重畳的に照明する。
マスク7を透過した光束は、レジストが塗布されたプレート8に達する。こうして、感光性基板であるプレート8上には、マスク7のパターンが転写される。
【0014】
なお、プレート8上における照度を十分高くするには、マスク7に対する照明開口数NAを大きくしなければならない。しかしながら、図2に示すように、マスク7とプレート8とがある程度間隔を隔てているので、開口数NAを大きくするとプレート8上に形成されるパターン像のぼけが大きくなり、プレート8上に形成されるパターンエッジの断面形状を十分鋭く形成することができなくなってしまう。
【0015】
マスクパターンが方向性を有する場合、プレート8上に形成されるパターンの短手方向に沿ったエッジの断面形状が十分鋭く形成されれば、パターンの長手方向に沿ったエッジの断面形状はそれほど鋭く形成される必要はない。そこで、第1実施例では、図3に示すように、開口絞り5の開口部5aを楕円形状に形成している。ここで、マスクパターンの長手方向に対応する方向(図中水平方向)に沿った開口部5aの長さは、マスクパターンの短手方向に対応する方向(図中鉛直方向)に沿った開口部5aの長さよりもはるかに大きい。こうして、マスクパターンの長手方向に沿った第1照明開口数NA1がマスクパターンの短手方向に沿った第2照明開口数NA2よりもはるかに大きくなるように構成している。なお、フライアイインテグレータ4の全体形状は、開口絞り5の楕円形状の開口部5aがほぼ外接する矩形状に形成されている。また、開口絞り5を矩形状としてもよい。
【0016】
この場合、式(2)に示すように、マスク上の照度Eは、E=π・B・NA1・NA2で表される。上述したように、マスクパターンの短手方向に沿った第2照明開口数NA2は、所要のパターン精度を確保するために十分小さく設定する必要がある。しかしながら、マスクパターンの長手方向に沿った第1照明開口数NA1を大きく設定しても、パターン精度を実質的に損なうことがない。こうして、第1実施例では、第2照明開口数NA2を十分小さく設定し且つ第1照明開口数NA1を十分大きく設定することにより、所要のパターン精度を確保したままプレート8上において所望の照度を得ることができる。
【0017】
なお、マスク7上の照度を表す式(2)において、光学系の透過率やフライアイインテグレータ4の射出面での光源像の充填率などを考慮すると、厳密な照度を得ることが可能である。
また、第1実施例では、開口絞り5の開口部5aが楕円状に形成されているが、フライアイインテグレータ4の全体形状とほぼ一致する矩形状に構成することもできる。
【0018】
図4は、本発明の第2実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
第2実施例は第1実施例の構成と類似の構成を有するが、第2実施例ではコリメートレンズ3とフライアイインテグレータ4との間にビーム整形光学系30が付設されている点だけが第1実施例と相違する。したがって、図4において、第1実施例の構成要素と同じ機能を有する要素には図1と同じ参照符号を付している。以下、第1実施例との相違点に着目して、第2実施例を説明する。
【0019】
図4に示した露光装置では、コリメートレンズ3とフライアイインテグレータ4との間にビーム整形光学系30が設けられている。ビーム整形光学系30は、一対のシリンドリカルレンズ32および33から構成されている。シリンドリカルレンズ32は、図4の紙面内において負の屈折力を有し、光軸AXを含んで紙面に垂直な面内において屈折力は零である。また、シリンドリカルレンズ33は、紙面内において正の屈折力を有し、光軸AXを含んで紙面に垂直な面内において屈折力は零である。こうして、ビーム整形光学系30を介した光束の断面は、図4の紙面鉛直方向に所定の倍率で拡大されて楕円形状となり、開口絞り5の開口部5aの楕円形状とほぼ一致する。こうして、第2実施例では、フライアイインテグレータ4の射出面における光量損失を低減することができる。
【0020】
このとき、ビーム整形光学系30の作用により、フライアイインテグレータ4の各レンズエレメントの射出面に形成される光源像は、光束の拡大方向に沿ってすなわち図4の紙面鉛直方向に沿って小さくなる。したがって、図3に示すようにほぼ正方形断面を有するレンズエレメントからなるフライアイインテグレータでは、フライアイインテグレータの射出面における光源像の充填率が低下する。その結果、第1照明開口数NA1を大きく設定しても、プレート8上において所望の照度を確保することができなくなってしまう。
【0021】
そこで、第2実施例では、図5に示すように、フライアイインテグレータ4の射出面に形成される各光源像の形状に応じて、フライアイインテグレータ4の各レンズエレメントの断面を矩形状に形成している。すなわち、各レンズエレメントの矩形断面は、マスクパターンの長手方向に対応する方向(すなわち図中水平方向)に沿って短辺を有し、マスクパターンの短手方向に対応する方向(すなわち図中鉛直方向)に沿って長辺を有する。このように、第2実施例では、ビーム整形光学系30の作用によりフライアイインテグレータ4の射出面における光量損失を低減するとともに、光源像の充填率を低下させることなくプレート8上において所望の照度を確保することができる。
【0022】
図6は、第2実施例における図5のフライアイインテグレータの変形例を示す図である。
図5のフライアイインテグレータ4では、図中鉛直方向のレンズエレメントの数が図中水平方向のレンズエレメントの数よりもはるかに少ない。このため、マスク7およびプレート8上において、図中鉛直方向に対応する方向に沿って照度むらが発生し易い。そこで、図6のフライアイインテグレータ4では、マスク7およびプレート8上における照度むらを抑えるために、図中水平方向に沿って隣接する各レンズエレメントを図中鉛直方向にずらしている。このように、図6の変形例では、全体として市松模様状に各レンズエレメントを配置することにより、マスク7およびプレート8上における照度むらの低減を図ることができる。
【0023】
図7は、本発明の第3実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
第3実施例は第1実施例の構成と類似の構成を有するが、第3実施例では光源1としてハロゲンランプを用いるとともに楕円鏡2に代えて球面鏡22を配置している点だけが第1実施例と相違する。したがって、図7において、第1実施例の構成要素と同じ機能を有する要素には図1と同じ参照符号を付している。以下、第1実施例との相違点に着目して、第3実施例を説明する。
【0024】
第1実施例および第2実施例のように、光源として高圧水銀ランプを用いる場合には楕円鏡によって光源からの光を集光することが効果的である。しかしながら、ハロゲンランプのような光源を用いる場合には、光源からの光を直接コリメートレンズに入射させることが適当である。図7の露光装置では、光軸AX上にある球面鏡22の中心から図中上方に所定距離だけずれた位置に光源1を配置している。
【0025】
したがって、光源1から図中右側に射出された光は、コリメートレンズ3に直接入射する。また、光源1から図中左側に射出された光は、球面鏡22で反射された後、球面鏡22の中心から図中下方に所定距離だけずれた位置に光源像12を形成する。こうして、光源像12は、光学系の光軸AXに関して光源1と対称な位置に形成される。その結果、球面鏡22の中心位置には光源1と光源像12とにより1つの等価光源が形成され、光軸AX上の等価光源からの光をコリメートレンズ3に入射させることができる。
【0026】
図8は、本発明の第4実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
第4実施例は第2実施例の構成と類似の構成を有するが、第4実施例ではマスク7とプレート8との間の光路中に結像レンズ9が付設されている点だけが第2実施例と相違する。したがって、図8において、第2実施例の構成要素と同じ機能を有する要素には図4と同じ参照符号を付している。以下、第2実施例との相違点に着目して、第4実施例を説明する。
【0027】
第1実施例から第3実施例では、マスク7とプレート8とが互いに近接して配置され、いわゆるプロキシミティ方式の露光が行われるように構成されている。一方、第4実施例ではマスク7とプレート8との間の光路中に結像レンズ9を設け、この結像レンズ9によりマスク7のパターン面とプレート8の露光面とを光学的に共役にしている。このように、第4実施例では、プレート8のワーキングディスタンスを確保することができるので、プレート8の設定作業が容易になるという利点がある。
【0028】
【効果】
以上説明したように、本発明の露光装置によれば、マスクパターンの長手方向に沿った第1照明開口数NA1がマスクパターンの短手方向に沿った第2照明開口数NA2よりも実質的に大きくなるように構成しているので、所要のパターン精度を確保したまま感光基板上において所望の照度を得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図2】図1において開口数NAを大きくするとプレート8上に形成されるパターン像がぼける様子を示す図である。
【図3】第1実施例における開口絞り5の開口部5aの形状およびフライアイインテグレータ4の全体形状を示す図である。
【図4】本発明の第2実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図5】第2実施例におけるフライアイインテグレータ4の構成を示す図である。
【図6】第2実施例における図5のフライアイインテグレータの変形例を示す図である。
【図7】本発明の第3実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図8】本発明の第4実施例にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
1 光源
2 楕円鏡
3 コリメートレンズ
4 フライアイインテグレータ
5 開口絞り
6 コンデンサーレンズ
7 マスク
8 プレート
9 結像レンズ
30 ビーム整形光学系[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an exposure apparatus, and more particularly to a proximity type exposure apparatus used for manufacturing semiconductor elements, liquid crystal display elements, and the like.
[0002]
[Prior art]
In a conventional proximity exposure apparatus, a large number of light source images are formed by a fly eye integrator based on a light beam from a light source. Light from a large number of light source images uniformly and uniformly illuminates a mask that is a projection original plate via, for example, an aperture stop having a circular opening and a condenser lens. That is, in the conventional proximity exposure apparatus, the numerical aperture of illumination with respect to the mask is constant without depending on the direction.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Incidentally, the illuminance E on the mask is expressed by the following equation (1).
E = π · B · NA 2 (1)
here,
B: Luminance NA: Numerical aperture of illumination
In the above equation (1), the luminance B is invariant according to the luminance invariance law. On the other hand, the numerical aperture NA is determined by the required resolution of the pattern. That is, when a large resolving power is required, the numerical aperture NA needs to be set small. As a result, the conventional proximity exposure apparatus cannot obtain desired illuminance on the photosensitive substrate while ensuring the required pattern accuracy.
[0005]
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an exposure apparatus capable of obtaining desired illuminance on a photosensitive substrate while ensuring required pattern accuracy.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, in the present invention, in an exposure apparatus comprising an illumination optical system for illuminating a mask on which a predetermined pattern is formed, and forming a pattern image of the mask on a photosensitive substrate, the illumination optical system is to have a lighting aperture substantially different along the direction into two mutually orthogonal in the pattern surface of the mask, first illumination numerical aperture along the longitudinal direction of the pattern of the mask, The illumination optical system is substantially larger than a second illumination numerical aperture along the short direction of the mask pattern, and the illumination optical system includes a light source for supplying illumination light and a plurality of lens elements. A fly-eye integrator for forming a plurality of light source images based on a light beam; an aperture stop for limiting a light beam from the plurality of light source images; and the plurality of the plurality of light sources through the aperture stop. A condenser lens for condensing the light from the source image to illuminate the mask in a superimposed manner, and the length of the aperture of the aperture stop along the direction corresponding to the longitudinal direction of the mask pattern is A beam shaping optical system for shaping the luminous flux from the light source according to the shape of the opening of the aperture stop, which is substantially larger than the length along the direction corresponding to the short direction of the mask pattern. Each of the plurality of lens elements is rectangular, has a short side along a direction corresponding to a longitudinal direction of the mask pattern, and has a short side in a direction corresponding to a short direction of the mask pattern. There is provided an exposure apparatus characterized by having long sides along .
[0007]
According to a preferred aspect of the present invention, the entire shape of the fly eye integrator is rectangular, has a long side along a direction corresponding to a longitudinal direction of the mask pattern, and extends in a short direction of the mask pattern. Has a short side along the corresponding direction.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In general, when the mask pattern has directionality, if the cross-sectional shape of the edge along the short direction of the pattern formed on the photosensitive substrate is sufficiently sharp, the cross-section of the edge along the longitudinal direction of the pattern The shape need not be so sharp. In other words, in order to ensure the required pattern accuracy, the illumination numerical aperture along the short direction of the pattern needs to be sufficiently small, but the illumination numerical aperture along the longitudinal direction of the pattern is set to be somewhat large. It will be good.
[0009]
Based on the above knowledge, the exposure apparatus of the present invention is configured such that the illumination numerical aperture of the illumination optical system is substantially different along two directions orthogonal to each other on the mask pattern surface. That is, the first illumination numerical aperture NA1 along the longitudinal direction of the mask pattern is configured to be substantially larger than the second illumination numerical aperture NA2 along the shorter direction of the mask pattern. In this case, assuming that the opening has an elliptical shape, the illuminance E on the mask is expressed by the following equation (2).
E = π · B · NA1 · NA2 (2)
[0010]
As described above, the second illumination numerical aperture NA2 along the short direction of the mask pattern needs to be set sufficiently small to ensure the required pattern accuracy. However, even if the first illumination numerical aperture NA1 along the longitudinal direction of the mask pattern is set large, the pattern accuracy is not substantially impaired. Thus, in the present invention, by setting the second illumination numerical aperture NA2 sufficiently small and setting the first illumination numerical aperture NA1 sufficiently large, a desired illuminance can be obtained on the photosensitive substrate while ensuring the required pattern accuracy. Is possible.
[0011]
Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
The illustrated exposure apparatus includes a
[0012]
The light beam from the light source image is converted into a substantially parallel light beam by the
[0013]
The light beam from the secondary light source is limited by the
The light beam transmitted through the
[0014]
In order to sufficiently increase the illuminance on the
[0015]
When the mask pattern has directionality, if the cross-sectional shape of the edge along the short direction of the pattern formed on the
[0016]
In this case, as shown in the equation (2), the illuminance E on the mask is expressed by E = π · B · NA1 · NA2. As described above, the second illumination numerical aperture NA2 along the short direction of the mask pattern needs to be set sufficiently small to ensure the required pattern accuracy. However, even if the first illumination numerical aperture NA1 along the longitudinal direction of the mask pattern is set large, the pattern accuracy is not substantially impaired. Thus, in the first embodiment, by setting the second illumination numerical aperture NA2 sufficiently small and setting the first illumination numerical aperture NA1 sufficiently large, the desired illuminance can be obtained on the
[0017]
In Expression (2) representing the illuminance on the
In the first embodiment, the opening 5a of the
[0018]
FIG. 4 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to the second embodiment of the present invention.
The second embodiment has a configuration similar to that of the first embodiment, but the second embodiment is different from the second embodiment only in that a beam shaping
[0019]
In the exposure apparatus shown in FIG. 4, a beam shaping
[0020]
At this time, due to the action of the beam shaping
[0021]
Therefore, in the second embodiment, as shown in FIG. 5, the cross section of each lens element of the
[0022]
FIG. 6 is a diagram showing a modification of the fly eye integrator of FIG. 5 in the second embodiment.
In the
[0023]
FIG. 7 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to the third embodiment of the present invention.
The third embodiment has a configuration similar to that of the first embodiment, but the third embodiment uses only a halogen lamp as the
[0024]
As in the first and second embodiments, when a high-pressure mercury lamp is used as the light source, it is effective to collect the light from the light source using an elliptical mirror. However, when a light source such as a halogen lamp is used, it is appropriate that light from the light source is directly incident on the collimating lens. In the exposure apparatus of FIG. 7, the
[0025]
Therefore, the light emitted from the
[0026]
FIG. 8 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
The fourth embodiment has a configuration similar to that of the second embodiment, but in the fourth embodiment, only the
[0027]
In the first to third embodiments, the
[0028]
【effect】
As described above, according to the exposure apparatus of the present invention, the first illumination numerical aperture NA1 along the longitudinal direction of the mask pattern is substantially larger than the second illumination numerical aperture NA2 along the lateral direction of the mask pattern. Since it is configured to be large, it is possible to obtain a desired illuminance on the photosensitive substrate while ensuring the required pattern accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing how a pattern image formed on a
FIG. 3 is a diagram showing the shape of the opening 5a of the
FIG. 4 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a fly's
6 is a diagram showing a modification of the fly eye integrator of FIG. 5 in the second embodiment.
FIG. 7 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a drawing schematically showing a configuration of an exposure apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記照明光学系は、前記マスクのパターン面において互いに直交する2つに方向に沿って実質的に異なる照明開口数を有し、
前記マスクのパターンの長手方向に沿った第1照明開口数は、前記マスクのパターンの短手方向に沿った第2照明開口数よりも実質的に大きく、
前記照明光学系は、
照明光を供給するための光源と、
複数のレンズエレメントからなり、前記光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するためのフライアイインテグレータと、
前記複数の光源像からの光束を制限するための開口絞りと、
前記開口絞りを介した前記複数の光源像からの光束を集光して前記マスクを重畳的に照明するためのコンデンサーレンズとを備え、
前記開口絞りの開口部の前記マスクのパターンの長手方向に対応する方向に沿った長さは、前記マスクのパターンの短手方向に対応する方向に沿った長さよりも実質的に大きく、
前記開口絞りの開口部の形状に応じて前記光源からの光束を整形するためのビーム整形光学系を備え、
前記複数のレンズエレメントの各々の断面形状は矩形であり、前記マスクのパターンの長手方向に対応する方向に沿って短辺を有し、前記マスクのパターンの短手方向に対応する方向に沿って長辺を有することを特徴とする露光装置。In an exposure apparatus comprising an illumination optical system for illuminating a mask on which a predetermined pattern is formed, and forming a pattern image of the mask on a photosensitive substrate,
The illumination optical system is to have a number of substantially different illumination apertures along the direction into two mutually orthogonal in the pattern surface of the mask,
A first illumination numerical aperture along a longitudinal direction of the mask pattern is substantially larger than a second illumination numerical aperture along a short direction of the mask pattern;
The illumination optical system includes:
A light source for supplying illumination light;
A fly eye integrator comprising a plurality of lens elements and forming a plurality of light source images based on a light flux from the light source;
An aperture stop for limiting the light flux from the plurality of light source images;
A condenser lens for condensing the luminous flux from the plurality of light source images via the aperture stop and illuminating the mask in a superimposed manner,
The length of the opening of the aperture stop along the direction corresponding to the longitudinal direction of the mask pattern is substantially larger than the length along the direction corresponding to the short direction of the mask pattern;
A beam shaping optical system for shaping a light beam from the light source according to the shape of the opening of the aperture stop,
Each of the plurality of lens elements has a rectangular cross-sectional shape, has a short side along a direction corresponding to the longitudinal direction of the mask pattern, and extends along a direction corresponding to the short direction of the mask pattern. An exposure apparatus having a long side .
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