JP3856852B2 - 配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 - Google Patents
配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3856852B2 JP3856852B2 JP19944295A JP19944295A JP3856852B2 JP 3856852 B2 JP3856852 B2 JP 3856852B2 JP 19944295 A JP19944295 A JP 19944295A JP 19944295 A JP19944295 A JP 19944295A JP 3856852 B2 JP3856852 B2 JP 3856852B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- superconducting film
- oxide superconducting
- film
- oxide
- metal substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は酸化物超伝導膜の製造方法に係り、特に配向性に優れた超伝導層を有し、これにより臨界電流密度(以下Jcと称する)等の超伝導特性に優れた酸化物系の超伝導膜を容易に製造することの可能な配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
酸化物系の高温超伝導体は、Nb−Ti等の合金系あるいはNb3 Sn等の金属間化合物系の超伝導体に比較して、その臨界温度(Tc)が高く、液体窒素を越えるTcを有することにより実用材料として期待されている。
実用化への解決すべき問題としては、超伝導特性の向上が必要であるが、特に酸化物超伝導膜の場合においては、以下に述べる理由により十分に高いJcを有する膜体を得ることが必須の条件となる。
【0003】
即ち、酸化物系の高温超伝導体は層状結晶構造を有することが知られているが、このため結晶粒界が存在すると、そこでの超伝導電流の受渡しが阻害されて(弱結合の問題)Jcの値が著しく低下するという問題がある。
実用化への用途を考えた場合、例えばバルク体、膜体や線材に対しては殆どの場合多結晶体のまま使用せざるを得ないので、上記の多結晶体における弱結合は大きな問題となり、特にその影響の大きいイットリウム系、即ちYBa2 Cu3 OX 系(以下Y系と称する)の膜体の場合に深刻な問題を生ずる。
【0004】
以上のような酸化物超伝導体の多結晶体における弱結合の問題を解決するためには、結晶方位の配向性を高め、隣接する結晶粒間の方位のずれを小さくする必要がある。
このような結晶方位の配向性を高める方法として、蒸着技術を用いる方法が知られている。蒸着技術を用いて酸化物超伝導体の多結晶体の薄膜を形成する場合、幸いなことに多くの場合、結晶のc−軸方向が膜面に垂直に配列した、いわゆるc−軸配向が得られることが知られている。
【0005】
ビスマス系、即ちBi−Sr−Ca−Cu−O系(以下、Bi系と称する)超伝導体では、多結晶体をc−軸配向させることによってのみ上記の弱結合が大幅に改善され、高いJc値の超伝導体が得られている。この場合、Bi系超伝導体では蒸着による他、溶融凝固法により形成したBi2 Sr2 CaCu2 OX (以下、Bi−2212と称する)厚膜や、銀シース法により形成したテープ、即ち圧延加工後熱処理を施したBi2 Sr2 Ca2 Cu3 OX (以下、Bi−2223と称する)銀被覆テープによっても、高いJc値の超伝導体が得られている。
【0006】
しかしながら、Y系等の酸化物超伝導体では、超伝導体を構成する多結晶体がたとえc−軸を共有してもc−面内での方位のずれ、即ちa、b軸方向のずれが存在すると、依然として弱結合の問題を解決することができず、Jcが低い値に止まる。
このような材料に対しては、c−軸方向のみならずa、b軸方向も配列した、即ち3次元的に方位を配列させた多結晶体を得ることが必要となる。
【0007】
勿論、3次元的に方位が配列した多結晶体を得ることは、Y系超伝導体のみならずBi系等の超伝導体においても高いJc値を得るために好ましいことはいうまでもない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、酸化物超伝導体においては3次元的に方位配列した多結晶体を得ることがその超伝導特性の向上の観点から望まれているが、このような方法としてY系超伝導体に対して、以下のような方法が検討されている。
(イ)単結晶基板上に蒸着により超伝導薄膜を形成する方法。
【0009】
(ロ)ニッケル合金等の金属基板上に特殊な蒸着技術によって3次元配列したYSZ(イットリウム安定化ジルコニア)バッファー層を形成し、その上にY系の超伝導薄膜を形成することにより、バッファー層の方位を超伝導薄膜が引き継ぎ面内配向させる方法。
しかしながら、上記の方法はそのスケールアップには未だ困難な課題を多く残している。即ち、上記いずれの方法も厚膜を形成することが困難である上、(イ)の方法では単結晶基板を用いるため、長尺化に難点があり、また(ロ)の方法では3次元配列したバッファー層の形成に特別な装置を必要とするため、同様に長尺化に難点がある上、その工程が複雑となる欠点を有する。
【0010】
本発明は以上の難点を解決するためになされたもので、3次元的な配向性の良好な、従って優れた超伝導特性を有する酸化物伝導膜及びその製造方法を提供することをその目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の配向性基板を用いた酸化物伝導膜の製造方法は、酸化物超伝導膜の構成元素の一部を含む金属部材に強圧延加工を施し、再結晶化させて強く3次元的に方位配列した集合組織を有する金属基板を製造した後、この金属基板上に金属基板と反応して酸化物超伝導膜を形成する他の構成元素を含む有機酸塩又は有機金属化合物からなる膜体を形成し、次いで熱処理を施すことにより前記金属基板上に前記酸化物超伝導膜の構成元素の一部と前記酸化物超伝導膜を形成する他の構成元素とを反応させて酸化物超伝導膜を形成ようにしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の配向性基板を用いた酸化物伝導膜の製造方法は、金属基板上に酸化物超伝導膜を形成する際に、基板として面内配向性を有する金属基板を用いるものであるが、このような基板として純金属基板の他、合金基板を用いることもできる。金属基板としては、強く3次元的に方位配列した集合組織を有する金属基板が使用される。このような金属基板は、金属部材に75%以上の圧下率で圧延加工を施した後、再結晶化させることにより得られ、特に銅又は銅合金を基体とするテープが適している。圧下率が75%未満の場合には、十分に発達した立法体集合組織が得られない場合があるためである。金属基板として銅を用いた場合、強加工後再結晶化させると、極めて強い((100)[001])が形成される。
【0014】
上記の強く3次元的に方位配列した集合組織を有する金属基板を使用することにより、金属基板の方位をその上に形成された超伝導膜が引き継ぎ、面内配向させることができる。これによりJc等の超伝導特性が向上する。
また、上記の配向性基板を用いた酸化物超伝導膜は、金属部材に強圧延加工を施して再結晶化させた金属基板上に酸化物超伝導体の前駆体からなる膜体を形成し、次いで熱処理を施して前駆体を熱分解させることにより金属基板上に酸化物超伝導膜を容易に製造することができる。このような金属基板は、強く3次元的に方位配列した集合組織を有するもので、この集合組織の方位を超伝導膜が引き継ぎ、面内配向させることができる。
【0015】
酸化物超伝導体の前駆体としては、例えばBi系やY系の酸化物超伝導体を構成する元素のうち、金属基板に含まれる元素以外の金属元素を含む有機酸塩又は有機金属化合物からなるものが用いられる。このような前駆体は、酸化物超伝導体を構成する上記の金属元素を所定の比率で含有する物質により形成されるが、このような物質としては、オクチル酸、ネオデカン酸、ナフテン酸等の金属有機酸塩または金属アルコキシド、金属アセチルアセトナート等の有機金属化合物を炭化水素系、エーテル系、アルコール系等の有機溶剤や水等の単独または混合した溶媒に溶解した混合液が用いられる。
【0016】
また、固相粉、共沈粉またはゾル−ゲル粉末等の仮焼粉末をオレフィン系等の有機物バインダーに混合した混合物を用いることも可能である。
前駆体を熱分解させるための熱処理は、酸素分圧10-1atm以下の低酸素分圧下で施すことが好ましい。この理由は、酸素分圧が10-1atmを越えると反応が早すぎて良好な配向状態が得られないことによる。
【0017】
さらに、上記の配向性基板を用いた酸化物超伝導膜は、金属部材に強圧延加工を施して再結晶化させた金属基板上に金属基板と反応して酸化物超伝導膜を形成する構成元素を含む膜体を形成し、次いで熱処理を施すことによって容易に製造することができる。この金属基板と反応して酸化物超伝導膜を形成する構成元素を含む膜体として、上記の有機酸塩又は有機金属化合物が用いられる。
【0018】
この場合には、金属基板を形成する元素が酸化物超伝導膜の構成元素となるので、例えばY系の場合に金属基板として銅を用いれば、膜体を形成する元素はYとBaである。
以上の配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法においても、金属基板として、金属部材に75%以上の圧下率で圧延加工を施し、再結晶化させた金属基板を用いることが好ましいことはいうまでもない。
【0019】
【実施例】
以下本発明の実施例および比較例について説明する。
実施例1
厚さ2mm×幅10mmの断面積を有するテープ状の無酸素銅を減面率10%づつでアニールなしで圧延し、(220)に強配向した銅テープを製造した。このときの銅テープの全圧下率は89%であった。
【0020】
この銅テープを窒素中650℃でアニールし、(200)に強く配向した再結晶銅テープを得た。
このようにして得た再結晶銅テープ上に、Y及びBaの各オクチル酸塩を、その金属分がY:Ba=1:2のモル比を有するようにキシレン中に所定の濃度で溶解した混合溶液を塗布し、500℃で仮焼後、酸素分圧3×10-4atm、750℃の雰囲気下で2時間焼成して酸化物超伝導膜を形成した。
【0021】
以上のようにして製造した酸化物超伝導膜のJcを液体窒素中で測定した結果、6×104 A/cm2 の値が得られた。また、酸化物超伝導膜のX線回折の結果、面内配向が確認された。
実施例2
銅テープの全圧下率を75%とした以外は実施例1と同様の方法により、酸化物超伝導膜を形成した。
【0022】
以上のようにして製造した酸化物超伝導膜のJcを液体窒素中で測定した結果、4×104 A/cm2 の値が得られた。また、酸化物超伝導膜のX線回折の結果、面内配向が確認された。
実施例3
銅テープの全圧下率を85%、混合溶液中のY、Ba及びCuモル比をY:Ba:Cu=1:2:3、とした以外は実施例1と同様の方法により、酸化物超伝導膜を形成した。
【0023】
以上のようにして製造した酸化物超伝導膜のJcを液体窒素中で測定した結果、5×104 A/cm2 の値が得られた。また、酸化物超伝導膜のX線回折の結果、面内配向が確認された。
実施例4
混合溶液中のY、Ba及びCuモル比をY:Ba:Cu=1:2:3とし、焼成条件を酸素分圧1atm、910℃×2時間焼成とした以外は実施例1と同様の方法により、酸化物超伝導膜を形成した。
【0024】
以上のようにして製造した酸化物超伝導膜のJcを液体窒素中で測定した結果、3×104 A/cm2 の値が得られた。また、酸化物超伝導膜のX線回折の結果、面内配向が確認された。
比較例
厚さ2mm×幅10mmの断面積を有するテープ状の無酸素銅を減面率10%づつでアニールなしで圧延して銅テープを製造した。このときの銅テープの全圧下率は50%であった。
【0025】
この銅テープを窒素中650℃でアニールして再結晶銅テープを得た。
このようにして得た再結晶銅テープ上に、Y及びBaの各オクチル酸塩を、その金属分がY:Ba=1:2のモル比を有するようにキシレン中に所定の濃度で溶解した混合溶液を塗布し、500℃で仮焼後、酸素分圧3×10-4atm、750℃の雰囲気下で2時間焼成して酸化物超伝導膜を形成した。
【0026】
以上のようにして製造した酸化物超伝導膜のJcを液体窒素中で測定した結果、5×102 A/cm2 の値が得られた。また、酸化物超伝導膜のX線回折の結果、面内配向は確認できなかった。
【0027】
【発明の効果】
以上のべたように、本発明によれば、面内配向性を有する金属基板上に酸化物超伝導膜を形成したことにより、配向性に優れ臨界電流密度等の超伝導特性に優れた酸化物系の超伝導膜を容易に製造することができる。
また、このような金属基板は、金属部材に所定の圧下率で圧延加工を施した後、再結晶化させて強く3次元的に方位配列した集合組織を得ることにより、容易に得られる。
【0028】
本発明による配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法は、特にY系の超伝導膜に適しており、この場合には高い臨界電流密度とともに液体窒素のような高温で他の酸化物超伝導体より遥かに優れた臨界磁界を持つ。安価な液体窒素での超伝導応用を促進する大きな利点を有する。さらに、本発明は長尺テープや大面積の膜体に適する。
Claims (3)
- 酸化物超伝導膜の構成元素の一部を含む金属部材に強圧延加工を施し、再結晶化させて強く3次元的に方位配列した集合組織を有する金属基板を製造した後、この金属基板上に金属基板と反応して酸化物超伝導膜を形成する他の構成元素を含む有機酸塩又は有機金属化合物からなる膜体を形成し、次いで熱処理を施すことにより前記金属基板上に前記酸化物超伝導膜の構成元素の一部と前記酸化物超伝導膜を形成する他の構成元素とを反応させて酸化物超伝導膜を形成することを特徴とする配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法。
- 酸化物超伝導膜の構成元素の一部を含む金属部材は、銅を含む部材からなる請求項1記載の配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法。
- 金属基板と反応して酸化物超伝導膜を形成する他の構成元素を含む有機酸塩又は有機金属化合物からなる膜体は、イットリウム及びバリウムを含む請求項1又は2記載の配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19944295A JP3856852B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19944295A JP3856852B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0948616A JPH0948616A (ja) | 1997-02-18 |
JP3856852B2 true JP3856852B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=16407890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19944295A Expired - Lifetime JP3856852B2 (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | 配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3856852B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4411265B2 (ja) * | 2005-10-21 | 2010-02-10 | 財団法人国際超電導産業技術研究センター | 希土類系テープ状酸化物超電導体及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-08-04 JP JP19944295A patent/JP3856852B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0948616A (ja) | 1997-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2859602B2 (ja) | 超伝導材料からなる製品の製造方法 | |
JP4713012B2 (ja) | テープ状酸化物超電導体 | |
JPH07106883B2 (ja) | 超伝導体構造体 | |
JPH113620A (ja) | 酸化物超電導線材およびその製造方法 | |
US5096878A (en) | Method for production of bi-containing superconducting ceramics laminates | |
JP4422959B2 (ja) | Y系テープ状酸化物超電導体の製造方法 | |
EP0800494B1 (en) | LOW TEMPERATURE (T LOWER THAN 950 oC) PREPARATION OF MELT TEXTURE YBCO SUPERCONDUCTORS | |
JP2003034527A (ja) | 厚膜テープ状酸化物超電導体及びその製造方法 | |
JP3856852B2 (ja) | 配向性基板を用いた酸化物超伝導膜の製造方法 | |
EP2012373B1 (en) | Process for the production of a coated conductor with simplified layer architecture | |
KR970002894B1 (ko) | 초전도 산화 금속 조성물 | |
US5389603A (en) | Oxide superconductors, and devices and systems comprising such a superconductor | |
Tarascon et al. | Preparation, structure and properties of the high Tc Bi-based and Y-based cuprates | |
Van Driessche et al. | Review of the application of high temperature superconductors in coated conductor development and the measurement of their properties | |
Hellstrom | Processing Bi-based high-Tc superconducting tapes, wires, and thick films for conductor applications | |
Bellingeri et al. | Electrodeposition of biaxially aligned Tl-based superconductors on Ag tapes | |
Matsumoto et al. | Formation and growth mechanisms of Bi-2212/Ag composite tapes | |
JP3219563B2 (ja) | 金属酸化物とその製造方法 | |
JP3053238B2 (ja) | Bi系酸化物超電導体の製造方法 | |
JP3045705B2 (ja) | 酸化物系超電導材料とその製法およびそれを用いた装置 | |
Iida | Introduction to Processing Methods | |
JP2822329B2 (ja) | 超伝導体の製造方法 | |
Zoller et al. | Melt texturing and thermomechanical processing of (Bi, Pb)-1212 superconductors | |
Beauquis et al. | Scaling-up of High-T C tapes by MOCVD, spray pyrolysis and MOD processes | |
JPH0824200B2 (ja) | トンネル接合素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060424 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060620 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060626 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060622 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130922 Year of fee payment: 7 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |