JP3853841B6 - 光導波路への光ファイバの整列取付装置及び方法とそれにより得られる製品 - Google Patents
光導波路への光ファイバの整列取付装置及び方法とそれにより得られる製品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3853841B6 JP3853841B6 JP1996508879A JP50887996A JP3853841B6 JP 3853841 B6 JP3853841 B6 JP 3853841B6 JP 1996508879 A JP1996508879 A JP 1996508879A JP 50887996 A JP50887996 A JP 50887996A JP 3853841 B6 JP3853841 B6 JP 3853841B6
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- waveguide
- optical fiber
- optical
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 196
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 36
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 234
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 56
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 56
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 38
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 29
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 claims description 20
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 21
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 6
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 4
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000012549 training Methods 0.000 description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910000760 Hardened steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002940 Newton-Raphson method Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Description
マイクロフィッシュ付属書類の引用
これに付属しかつ引用によりその全体に組み込まれるのは、マイクロフィッシュ形式の付属書類Aである。付属書類Aはコンピュータプログラムのためのフォース コンピュータプロゴラム言語におけるソースコード実行であり、ここで説明される方法と手順を実行すべくここで開示されたプロセッサとコンピュータに対して作成されたプログラムである。付属書類Aは付属書類Aは、1枚のタイトルページと、コードの150ページの映像を含む2枚のフィッシュとからなる。このソースコードは著作権法における複製権の対象である。著作権者は、特許商標庁において特許ファイルまたは記録として現れる限りにおいては、発明開示のためのファクシミリによる再生についてはいかなる異議も申し立てるものではない。しかしながら、その他の場合においてはすべての著作権を保有するものである。
発明の背景
1.発明の分野
本発明は、光エネルギーの伝導体への光ファイバの整列取付装置及び方法とそれにより得られる製品に関する。本発明の好適な使用は、集積光チップ(IOC)内にあるような導波路への光ファイバピグテールの整列取付である。したがって、用語“導波路”は、光エネルギーからなる信号を運ぶか伝送することができる全ての有形媒体を呼ぶつもりである。
2.関連分野及び他の用件の説明
本発明は、一般に、一対の光導波路間の光エネルギーの伝導体への光ファイバの整列取付装置及び方法と、それにより得られる製品を提供することに適用可能であるが、特に、集積光チップ(IOC)内の導波路への光ファイバピグテールの固定のために考え出された。したがって、以後の説明はこの特殊な使用に向けられているが、本発明は光導波路への光ファイバの整列取付の一般的な応用を有し、したがって、本発明をその特殊な使用に限定すべきではない。
他の導波路特に集積光チップ導波路への光ファイバピグテールの正しい整列取付は、信号伝送時の減衰や他の損失を最小にする際に重要である。このような正しい整列取付を達成する既存の方法及び装置は高価でありかつ多くの時間を要し、しかも信号伝送時にある程度の前記減衰や他の損失にいまださらされることがある。技術は熟練工を必要とするばかりでなく、これらの技術には、あったとしても他の労働者に容易に移転することができない技術に似たものが多くある。
共通の問題は通常供給される集積光チップで発生している。これらのチップの製造業者は、一般に、チップの導波路の両端に光ファイバすなわち“ピグテール”が取り付けられたチップを製造している。これらのチップのユーザーは、彼らの装置内にチップを固定する際、これらのピグテールにさらに光ファイバを取り付けている。したがって、最初にチップ導波路へ、次に光ファイバヘという2つのピグテール取付がある。このような取付がある時は、光信号の伝送時にしばしば少ないこともあるがある程度の損失や減衰が必ずある。装置中いたる所で繰り返された場合、減衰が蓄積されて相当な損失になることがある。したがって、信号損失または減衰時のこのような劣化を避けるために、非常に注意深い整列や適当な接着剤の使用によるような大きな注意がはらわれている。
光ファイバクランプに関する最新技術
ファイバクランプは、種々の動作のために、例えば、固着中にコアの望ましい角度または偏光された方向を維持したり導波路や他の光学装置にそれを整列取り付けするために、方向付けられた位置に光ファイバを保持するのに使用される。市販されているクランプは、光ファイバを整列させるために種々のV溝や長穴付きの構造を使用している。さらに、これらのクランプのほとんどは動かすことができない、すなわち、所定位置に固定されており、したがって特定の動作に制限されている。しかしながら、動かすことができる1つのクランプは、それ自身のはがし、裂開、重ね継ぎ及び再被覆用機械に内蔵されており、したがって、限られた範囲の動作に制限されている。
これらのクランプにはいくつかの制限がある。V溝は、挿入が比較的容易であるが、鋭い角や縁があり、はがされたファイバのクラッディングされたコアを易すく傷つけることがある。また、V溝は要求される精度に機械加工したり研磨したりするのが難しい。一方、長穴は、V溝と区別されるものとして、機械加工が比較的容易であるが、その中にファイバを手で自由に載せるのが非常に難しい。また、長穴は1つだけの接合面を提供し、これは、クランプ後にファイバの円筒形状のゆがみや不十分な横方向整列を生じることがある。V溝と同様に、長穴も鋭い角を有し、同様にクラッディングを傷付ける。
光ファイバホルダーに関する最新技術
このような固い保持をもたらすのに用いられる装置の1つは、光ファイバの周囲の近くに形成される貫通またはU状溝を有する。ファイバを固定具に固定するためにU状溝に真空が連結される。このような構造ではいくつかの問題点がある。溝の表面が完全に均一かつ滑らかになっていなかった場合、空気がファイバの回りを不規則に通ってファイバを振動させる。このような振動は有効な整列を妨げる。この溝の均一性及び滑らかさの欠如は、ファイバの直径にわずかな変化がある場合に倍加し、これは真空漏洩及びその結果生じるファイバの振動の一因にもなる。さらに、U状溝における他の不規則性はファイバに刻み目をつけたり傷つけたりすることがある。したがって、この付加的な理由のため、U状溝ができるだけ滑らかになっていることが絶対必要である。このような滑らかな溝を得るにはコストがかかる。
ゴニオメーターに関する最新技術
光ファイバ等のような光導波路間の正確な整列を得るためには、ファイバをそのコア軸の0.5ミクロン内で回転させることが必要である。このような回転は、典型的な回転範囲が±25°であるゴニオメーターの使用でもたらされる。現在のゴニオメーター技術では、光ファイバのコア軸の0.5ミクロンの回転は達成できない。しかしながら、ファイバコア軸の正確な位置を回転に従って“マッピング”することによって、ファイバを望ましい0.5ミクロン内で回転するようにマッピングデータを用いて位置決めすることができる。
この問題を解決する2つの方法は、ファイバがそのコア軸に対して回転するようにゴニオメーターを調整して、光ファイバを望ましい角度位置まで回転させ、次いでコア軸を整列中心に再整列させるための何らかの機械的手段の使用を含む。これらの方法にはいくつかの欠点がある。ゴニオメーターのための機械的道具使用法は非常に時間がかかる仕事で、整列中心へのコア回転の荒い整列を与えるだけであり、最も良い結果でも望ましいものより約1の次数だけ悪くなり、0.5ミクロンよりむしろ5ミクロンになる。第2の方法も非常に時間がかかる。0.5ミクロンの精度を達成することができるが、ファイバが回転する度に再整列が必要である。したがって、典型的なファイバにとって、集積光チツプピグテーリングや合わせる導波路への他の整列のために、ファイバを約250回転させる必要があり、ファイバの平均再整列時間は20乃至60秒になる。
光の放射に関する最新技術
コアと6ミクロンの導波路直径を有する導波路への光ファイバの連結の必要条件は、少なくとも最初の光伝送を可能にするのに十分な二者間の整列を提供するのは非常に困難で費用がかかるという点で、非常に難しい。通常、IRまたは可視スペクトラムで動作するCCDカメラとレンズは、導波路枝に配置される。望ましい精度を提供するには十分だが、このようなカメラとレンズの組み合わせはかさばって費用がかかり、そのサイズのため、特にスペースが限られている装置内のものを設計するのは難しい。
光ファイバの平坦な整列に関する最新技術
他の導波路、特に集積光チップ導波路への光ファイバピグテールの精密な整列は、信号伝送時の減衰や他の損失を最小にする際に重要である。このような精密整列を達成する既存の方法及び装置は高価で時間がかかり、信号伝送時にある程度このような減衰や他の損失にいまださらされることがある。技術は熟練工を必要とするばかりでなく、しばしば、これらの技術は、もしあったとしても他の労働者にたやすく移転することができない技術に似たものが多くなる。
光ファイバの角度整列に関する最新技術
導波路に光ファイバを偏光させる既知の方法はあるが、高価であり、また、例えば−40dBの光回転整列吸光比を得るには必ずしも正確とは限らない。知られているように、吸光比は、ファイバの現在回転偏光位置対その現在位置プラス90°のパワー測定量の比率である。このような既存の方法は手動かつ漸増的にもたらされるが、マークを通り過ぎた後方向を反転させるように操作者に要求することがある。
光ファイバと導波路間のギャップの確立に関する最新技術
光ファイバと導波路間のギャップを決定する時、ファイバ、特にその切断端部を損傷から保護することが重要である。この方法はそのようにすることができない、なぜなら、ファイバの現在位置の情報を得る際に遅延に頼っているからである。したがって、最初の接触が行われた後、ファイバは導波路にさらにかつ有害的に押し付けられることがある。ギャップを簡単に決定するこれらの従来方法は、ファイバの軸線に沿って導波路の方へファイバを移動させることを含む。これは、切断ファイバ端部を損傷にさらし、正確なギャップ測定量を得るのが困難になる。
光ファイバを互いにつなぐことに関する最新技術
集積光チップに関して生じる広く行きわたった問題は、集積光チップが一般に、チップ内の導波路の両端に光ファイバすなわち“ピグテール”が取り付けられた状態で製造され供給されることである。そして、これらのチップのユーザーは、これらのピグテールにさらに光ファイバを取り付けることによって彼等の装置内にチップを固定する。したがって、一方はチップ導波路に、他方は光ファイバに対する2つのピグテール取り付けがある。このような取り付けでは、伝送される光信号の何らかの損失または減衰が、例えわずかであっても存在することが知られており、これは、装置のいたる所にわたる他の取り付けに追加された場合、相当なまたは少なくとも望ましくない損失になることがある。
このような取り付けは、通常、エポキシ樹脂や紫外線(UV)硬化樹脂等の光伝導可能な接着剤を使用して行なわれる。エポキシ樹脂等の接着剤は、非常に短い硬化時間を持つことができ、それは1分以下になることもある。したがって、光ファイバのコアと導波路間の整列は、迅速にかつ過度の遅延なしに行われるべきであることが絶対必要である。さもなければ、取り付けは有効なものにならないだろう。しかしながら、整列取付があまり早く行われると、その結果、不十分な光学的整列及び/または取付になることがある。
他の関心事は、硬化の少ない接着剤の使用に関し、他の光ファイバ及び導波路間の隣接取付部との前記接着剤の接触や橋絡を防ぐことである。このような橋絡接触がある場合は、硬化の減少は、隣接する光ファイバと導波路の2組を互いに引き寄せ、接合剤とファイバに応力を及ぼし、その結果、破損等の有害な損傷を与える。そこで、このような隣接取付は望ましくない橋絡を回避するためにギャップで分離されるべきであることが絶対必要である。
したがって、このような信号の劣化を避けるために大いに注意を払わなければならない。この注意には、非常に注意深い整列、適切な接着剤の選択及び限られた時間内での取付を得るための費用のかかるシステム、装置及び技術の使用が必ず含まれる。その訓練と置換に伴うコストと共に、熟練工が要求される。さらに、熟練工とは限らない者でもこの取付を達成することができる。なぜなら、彼らは、技巧能力が本質的に模写したり移転したりすることができないので失敗が製造業者にとって大問題を引き起こすことがある職人のサービスを何回も要求するからである。
発明の概要
これら及び他の考慮すべき事柄とそれに伴う問題は、本発明により首尾よく取り組まれて克服される。
光ファイバクランプの位置維持と移動
微細に限定された二重円弧状溝は、もっと大きな円弧を有する溝によりその両端で結合されている。溝は、光ファイバのクラッディングされたコアまたはファイバ自身がより大きな円弧状溝によって微細に円弧状にされた溝内に案内されるように整列されている。クラッディングに損傷を与えない弾性パッドまたは同等手段が、微細に限定された円弧溝内のファイバ上に配置され、ファイバを円弧に対して接線に沿った接触状態に保持する。
好適には、微細に限定された円弧状溝は一対の精密ピンで形成されるが、より大きな円弧は精密ピンより比較的直径が大きい二対の円筒状ピンで形成される。さらに、例えばその端部の接着中その偏光軸を方向づけるように適所にファイバ及び/またはそのクラッディングされたコアを保持するために、弾性パッドは、クラッディングとの摩擦係合を及ぼすことができるエラストマー材料から構成することができる。大型及び小型ピンが精密整列板に支持され、全体がコンパクトな内蔵アセンブリに組み込まれる。
光ファイバの真空ホルダー
ホルダーはその真空溝に光ファイバの最小接触領域を提供する。詳細には、一対の精密に作られたゲージピンが真空チャック内に固定され、真空開口部を提供するように互いに間隔を置いて配置されている。ゲージピンは、円筒状にされるかさもなければその軸線に関して湾曲しており、ファイバのために一対の本質的に直線的な接触を提供し、さらにファイバを傷つけないように、比較的高度に磨かれた表面を備えている。
さらに、ホルダーは、ゲージピンで最小にされる摩擦を提供する表面を有するパッドにファイバを押し付けることによって、ファイバを回転させるのに使用することができる。パッドに対する真空チャックの移動に基づくファイバに対する十分な摩擦により、ファイバはパッドに対して静止状態に保持されるが、静止しているゲージピンに対しては回転することができる。
ゴニオメーターマッピング及び導波路に対する光ファイバの位置決め
ゴニオメーターにおけるファイバコア軸の正確な位置は、それが回転するにつれてマッピングされ、ファイバは、そのコア軸の0.5ミクロン内で回転するようにマッピングデータを用いて位置決めされる。詳細には、光ファイバは、既知の最大整列位置に移動し、質問を受けたアプリケーションに必要な予め決められた角度分解能までゴニオメーターを回転させることによって回転する。次いで、ゴニオメーターは、既知の整列位置の最大分解能にy及びz軸を再整列させるように直線移動する。次いで、オフセットが確認され、校正テーブルに記憶される。使用時、望ましいどんな角度また配置にも進めるように、y及びzオフセットがその角度に関する校正テーブルから呼び出され、同時に、ゴニオメーターにしたがってy及びzステージがそのオフセットに移動する。
光ファイバ及び導波路間の光の初期放射
光ファイバは、相手方の導波路からの光の初期放射の際の採光筒として機能するようにそのクラッディングモードで使用される。
光ファイバはチップ導波路にほぼ整列され、次いでチップと平行な軸に移動され、ファイバ位置に対する光パワーのデータが得られる。ヒステリシスが問題になる場合は、ファイバは反対方向に移動され、この移動から位置データに対するパワーが、最初に得られたデータと平均され、位置出力に対して平均された最大値が得られる。このデータは、後で行われる光導波路への光ファイバの整列取付のために記憶される。
光導波路への光ファイバの平坦な整列
光ファイバはチップ導波路にほぼ整列され、次いでチップと平行な軸に移動され、ファイバ位置に対する光パワーのデータが得られる。ヒステリシスが問題になる場合は、ファイバは反対方向に移動され、この移動から位置データに対するパワーが、最初に得られたデータと平均され、位置出力に対して平均された最大値が得られる。このデータは、後で行われる光導波路への光ファイバの整列取付のために記憶される。
導波路に対する光ファイバの角度位置整列
ファイバの偏光軸は、最大化変数としてファイバの吸光比を使用して導波路の偏光軸に回転的に整列される。
光ファイバ及び導波路間のギャップの確立
ファイバは導波路にそこから分からない距離に整列され、ギャップに近づくように光進路に沿って移動される。ファイバが導波路にほんのわずか触ると、ファイバの移動が停止され、接触点が記録され、ファイバは導波路から戻って後続の作業に備える。
光導波路の互いの取付
簡潔に言えば、光学装置における光ファイバと導波路が例である一対の光導波路を互いに取り付けるために、光伝導可能な接着剤の測定された一定形状のかたまりが導波路の一方の先端に置かれ、この接着剤は本質的に先端の後ろの側壁に制限される。この配置は、その結果生じるチップとその導波路への接着剤ボンドがなだらかなテーパーを持つことを確実にする。このテーパーは、注意深く作られたかたまりの結果として精密に制御され、このボンドを、近くに配置された第2の導波路の取付間の他のボンドからギャップで分離せしめる。第1及び第2のボンド間のこのギャップは、隣接ファイバの橋絡や、2つの導波路間のボンドによる導波路取付部及び光ファイバへの望ましくない応力を回避する。
詳細には、ほぼ円筒状の表面を有する道具がエポキシ樹脂等の接着剤に浸され、その表面が接着剤のわずかなかたまりで被覆される。このかたまりは、実質的に一定の厚さの壁を提供するように形成される。ファイバの角度を付けた先端は、道具のほぼ円筒状の表面の接線と平行に位置決めされ、次いで、水平に移動されて道具上の接着剤の一定厚の壁と接触する。角度を付けたファイバ先端と接着剤の一定厚の壁間の平行関係の組み合わせは、接着剤の小さな一定形状のキャップがファイバ端部上に形成されるのを確実にする。また、このキャップは本質的にコア先端に制限され、わずかの量が先端の後ろの側壁にあるように形成される。これは、隣接するファイバへの橋絡なしに先端の方へ徐々にテーパーになるのを保証する。他のファイバと導波路の取り付けが全て終了した後、異なる組成と最初に述べた接着剤より良い固着品質とを有する別の接着剤が、隣接する取り付け部の全てに固着され、ファイバとチップ間のより長持ちのする、ストレインリリーフの取り付けを提供する。
道具に関連したこれらの作業は好適にはサービスロボットの使用によって行われるが、ファイバの移動に関連する作業は好適には整列ロボットの使用によって行われる。両ロボットは適切なコンピュータソフトウェアで駆動される。
本発明の利点
上記に説明した方法及び装置からいくつかの利点が引き出される。一般に、光導波路間の取り付け数が最小になり、それにより、信号の減衰が少なくなる。取りつけられるべき導波路のコア間の互いの整列は、接着剤が固まる前の過度の遅延なしに迅速に行なうことができるが、あまりに急速に行われる取り付けに関して上記に説明問題を避けることができる。熟練工の必要性は、訓練及び置換に伴うコストと共に減少し、さらに、含まれる技能が1つの技能よりむしろ特殊技術を構成する場合は、このような才能のある人の必要性が避けられる。
光ファイバクランプの位置維持と移動
クラッディングされたコアは、精密ピンと弾性パッドで提供される表面を含む3つの表面に沿って接線的に支持される。より大きな円弧状ピンは、より小さな円弧状ピンのより微細に限定された溝との一対の接線的接触へのクラッディングされたコアの容易な手動装填を可能にし、V溝や機械加工された長穴に見出される鋭い角で生じる問題を回避する。クラッディングされたコアは方向が合わせられた位置に保持される。精密整列板は他の市販デザインに比べて製作、組立が比較的容易である。組み立てられたクランプは内蔵され、したがって、適所に置いたままにしたり、コアの軸及び角度位置を常に維持しながら場所から場所に動かしたりすることができる。クラッディングされたコアのこの軸及び回転支持は、コアが合わせられるアセンブリへ直線的に移動するのを許すが、その固着された偏光維持位置のじゃまにならないか、または、クラッディングされたコアの自由端部分の粗い整列工程またはさらなる偏光維持回転の必要がない。
光ファイバ用真空ホルダー
真空漏洩とその結果生じるファイバ振動は効果的に除去される。ファイバと真空溝間の完全な整列の発生と維持のコストは現在の真空チャックと比べて最小限になる。
導波路に対する光ファイバのゴニオメーターマッピングと位置決め
ゴニオメーターが回転して、実時間でファイバコアを整列中心に再整列させ、ファイバのセンタリングすなわち再整列に関連する追加の時間がないという点で、相当な時間が節約される。
ファイバ及び導波路間の光の初期放射
光ファイバは、6ミクロンのコア及び導波路直径を有する導波路に連結することができる。この連結は実行するのが難しくなく、従来技術のカメラ及びレンズに比べて比較的容易かつ費用をかけずに達成される。また、システム内に容易にデザインすることができ、ほとんどスペースを費やさない。
光導波路への光ファイバの平坦な整列
主として、位置データに対する最大パワーが早くかつ正確に得られる。
導波路に対する関する光ファイバの角度位置配列
少なくとも−40dBの光回転整列吸光比が正確かつ最小限の時間で達成できる。低及び高吸光比に対するファイバの回転整列がほぼ同じ時間量に同じ精度で同等に達成できる。
光ファイバと導波路間のギャップの確立
光進路に沿った直線移動は、ファイバ先端に対する導波路の端部の位置の正確な決定を許す。データ蓄積が実時間で得られ、その結果、ファイバ移動は接触に基づいて直ちに停止され、それにより、ファイバの変位と変形の可能性とが減少する。ほぼ0.1ミクロンまでのファイバギャップの制御が得られ、その結果ファイバ端部品質が高められる。切断ファイバ端部の損傷の可能性が最小限になる。
光導波路の互いの取り付け
光導波路間の取り付け数が最小限になることにより、信号の減衰が少なくなる。互いに取り付けられるべき導波路のコア間の整列が、接着剤が固まる前に迅速に過度の遅延なしに行われるが、あまりに早く行われる取り付けに関連する上述の問題が避けられる。ギャップの強制的な用意によるいくつかの導波路の隣接取り付け間の接着剤の接触が避けられることにより、ファイバとボンドの応力及び劣化が避けられる。熟練工の必要性が、訓練及び置換に伴うコストと共に減少し、さらに、含まれる技巧が1つの技巧よりむしろ1つの特殊技術を構成する場合、この才能のある人の必要性が避けられる。
本発明のより完全な理解ばかりでなく他の目的及び利点が、模範的な実施例の以下の説明とその添付図面から明らかになるだろう。
好適な実施例と詳細な説明
前置き的に考慮すべき問題として、x,y,z軸と本発明の使用によって得られるθ回転整列及び位置情報は安定で変化しないものにすべきであり、これはある期間にわたってふらつかない情報を提供する計器の能力に依存することが重要である。このふらつきは、不正確に配置された物理的取り付け、及び/または、本発明の従業者により使用される支持テーブルや他の物理的構造によって生じたり、ハードウェアと構成要素間の熱的相反性によって生じたりすることがある。したがって、例えば、ボルト締めまたは他の取り付け手段を調節、再位置決めし、熱伝導率及び膨張の異なる係数を有する材料を使用して必要な制御と要求される安定性を得ることが必要である。
図1〜3は、光導波路、特に集積光チップ(IOC)の導波路への光ファイバの整列取付のための装置10を示しているが、この整列取付はより広範囲の用途を有する。この用途は例として以下の取付を含む。すなわち、コアサイズ及びテーパーにかかわらずファイバ対ファイバ、検出器応答を監視することによるファイバ対検出器、ファイバ対発光装置、双円錐体を持つように溶けたものの突出したもしくは巻かれたほとんど目につかないほどのフィールドと光ファイバもしくは受信機への最適処理量とを含むカップラ対ファイバ。
したがって、集積光チップ12は、入力枝16と一対の出力枝18及び20を有する導波路14を含む。導波路14は1つだけの出力枝または2つ以上の出力枝を含むことができるが、本発明の好適な実施例を説明する目的で、以下の説明は2つの出力枝に制限される。
導波路枝への光結合は、導波路入力枝16の近くに配置された入力光ファイバ22と、導波路出力枝18及び20の近くにそれぞれ配置された一対の出力光ファイバ24及び26を含む。ファイバ22,24及び26のクラディングされたコアはクランプ/ホルダー28,30及び32にそれぞれしっかり保持されている。光源34は矢印36で示されるように光をファイバ22内に注ぐ。出力光ファイバ24及び26から出力される光はそれぞれ検出器38及び40に注がれているが、1つの検出器を用いても良い。
コンピュータメモリ44が接続されたサービスロボット42は、チップ12、特にその導波路枝16,18及び20の先端の位置を決定し記憶するためにチップ12に結合されている。特に、サービスロボット42は、接着剤ディスペンサー、例えば棒や注射器のような道具を保持するための道具保持アセンブリ46(図3参照)を含む。光ファイバクランプ/ホルダー28,30及び32はそれぞれ整列ロボット48,50及び52に連結され、整列ロボットは各々のコンピュータメモリ54,56及び58に接続されている。もし望むなら、別々の整列ロボット48,50及び52とメモリ54,56及び58を1つのメモリを有する1つのロボットに結合しても良い。サービスロボット42は、x,y,z軸に関する直交運動とx軸に関する回転または角度運動θとを提供するように機械化されている。
次に図2を参照すると、光ファイバクランプ/ホルダー28,30及び32はそれぞれ、位置維持及び移動光ファイバクランプ60,62及び64と、光ファイバ真空ホルダー66,68及び70を含む。3つのクランプ及びホルダーは、各々の支柱72,74及び76に固定されており、支柱はそれぞれゴニオメーター78,80及び82に枢軸的に載せられている。集積光チップ12は適切な保持器の中央ワークステーション84に保持されている。中央作業場所84の両側には、一対の側部ワークステーション86及び88が配置されており、ここで、チップ12上の作業と整列取付作業が行われ、導波路14に光ファイバが整列取り付けされる。詳細には、入力光ファイバ22と入力導波路枝16間の作業は側部ワークステーション86で行われるが、出力光ファイバ24及び26と各出力導波路枝18及び20間の作業は交互的に側部ワークステーション88で行われる。また、側部ワークステーションはファイバの回転を促進するのに用いられる道具を含む。偏光及び校正手順はアセンブリ90で行われるが、偏光手順だけはアセンブリ92で行われる。しかしながら、操作者の考え次第でいつでもかついずれの場所でもこれらの手順を適用することができることを理解すべきである。
操作者は、サービスロボット42のアーム98に固定された顕微鏡94(図2及び図3参照)またはビデオカメラ96(図3参照)で見ることにより、実行されるいくつかの作業のどれでも監視することができる。また、ビデオカメラ96は記録するためにも有効なものである。
位置維持及び移動光ファイバクランプ
図4〜9の位置維持及び光ファイバのクラッディングされたコア142のための移動光ファイバクランプを参照すると、クランプ110は、台板112、精密整列板114及び蓋板116を含む。整列板114は、その1つが図4に示されるネジ117等の何か適切な手段で台板に固定さている。台板12には、一対の合わせ直立枢軸手段118が備えられ、蓋板116には、枢軸部材118間に位置し一対の枢軸ネジ122でそれに連結されて蓋板116を台板112に蝶番連結するための耳状部120が備えられている。図4及び5は、整列板114上のその接触位置に蝶番連結された蓋板116を示している。また、図5は、整列板の上面から離れて上面を露出した時の蓋板も仮想線すなわち点線で示している。
整列板114は、図8に示されるように、溝126で互いに連結された一対の側部入口124を含む。整列板の前方部分には、同一形状の永久磁石130を収容するための円形凹部128が形成されている(図5参照)。整列板の後側の耳状部132は、直立枢軸手段118の間の台板112の上でかつ蓋板116の耳状部120の下に配置されている。
一対の精密整列ピン134a及び134bが溝126内に配置され、支持されており、また、二対の事前整列ピン136a,136b及び136cが整列ピンの各々の両端にある対向する側部入口124に収容されている。整列及び事前整列ピンの相対的配置は図7に最もよく示されており、整列ピン134aと134bの間に溝138を形成すると共に、それぞれ事前整列ピン136a及び136bとピン136c及び136dの間に2つの溝140を形成する。事前整列ピン対136a,136b及び136c,136dはそれらの整列ピン134a及び134bの直径より大きな直径を有しており、そのため溝140は溝138より大きくかつ深くなっている。2つの溝のサイズの相違は、光ファイバクラッディングされたコア142がクランプ110内に配置される時の本発明の重要な特徴である。
弾性押圧パッド144が蓋板116の凹部146内に保持され、永久磁石148が蓋板の他の凹部150内に保持されている。それぞれ整列板114及び蓋板116の永久磁石130及び148は互いに施錠可能な整列状態になっている。
精密整列板の目的は、外部基準ポイントに対するファイバコア142のy,z軸位置ばかりでなく事前整列及び最終整列ピンの両方の位置も限定することにある。したがって、整列板は、6個のピンの全てと下部磁石とを整列させると共に、台板及び蓋を通り越して延出して、他の保持装置と合わせられる精密整列面を提供する。
次に、台板は、整列板を支持し、4個の事前整列ピンを垂直に配置するための平面を作り出し、蓋枢軸ネジのための突起すなわち枢軸部材を提供する。
作業時、剥されたファイバのクラッディングされたコア142は、4個の事前整列ピンで作られた溝140の接線的ノッチ内に、すなわちピン136aと136bの間及びピン136cと136dの間に降ろされる。このより大きなノッチは、クラッディングされたコア142を、2つの精密整列ピンで作られた溝138のより小さなノッチ内に案内するが、ファイバの最終位置を制御しない。事前整列ピン対136c及び136dを越えて伸びたクラッディングされたコア142の一部152は“突出部”と呼ばれ、ファイバ処理の適切な部分で切断される。
クラッディングされたコアが2個の整列ピン上の適所に置かれた後、蝶番式クランプ蓋板116が、エラストマーが整列ピン134a及び134bにコアを押し付けることによって回転と突出の両状態にあるクラッディングされたコアを捕捉して保持する場所まで旋回される。クランプの両側にある事前整列ピンは剥されたファイバの手動挿入を助け、最終整列ピンはクランプ後のファイバの軸方向及び突出を限定する。
光ファイバ真空ホルダー
図10に示されるように、真空ホルダー210は、本体214からなるハウジング212と、本体214にボルトで締められるかさもなければ機械ネジ218で固定されるクランプ付属装置216を含む。
また図11に示されるように、本体214は、プラグ222で一方の端部が密閉され、他方の端部で真空ホースとフィッティング224へ取り付けられた貫通穴220を含む。また、本体214は、溝227を介して完全にホース220とやり取りする溝開口部226を含む。溝227は、そのうちの1つが図10に示されているシール228で両側面が密閉されている。したがって、真空ホルダー210は、その前面230を除いた全表面が密閉され、そのため、空気が適切な真空源で真空ホース及び管継手を介して抜かれた時、空気は前面230の溝開口部226を通ってのみ流れることができる。
図11乃至13にもっと良く示されているように、溝開口部226は、溝227で二股に分けられるU状ベッド232を含む。一対のゲージピン234が二股に分けられたベッド232に接合さもなければ固定される。ゲージピン234は、表面が高度に磨かれると共に完全にまっすぐかつ丸くされた固い材料で形成されている。ゲージピンの仕上げは光ファイバ238を傷つけないようにできるだけ滑らかにするのが好適である。ピン234の基本材料は焼き入れ鋼等の何か適切な材料からなる。ゲージピン234は、光ファイバ238を収容する長穴236を提供するように互いに分離されている。しかしながら、長穴236で提供される分離は、ゲージピン234上に置くことができるどんなファイバ238の直径よりも小さくなっている。ゲージピン234と光ファイバ238の直径、例えば200ミクロン、間のこの間隔は、約120°の光ファイバ及びゲージピン間の接近した角度接触を提供する。
光ファイバ238がゲージピン234上に置かれると、溝227を介して働く真空が光ファイバを真空ホルダー210にしっかり保持する。実験により、海面にある水銀柱の28.5インチの真空が適することがわかったが、水銀柱の27インチ以下の圧力は望ましい保持力を与えなかった。しかしながら、適切な保持力は、光ファイバの表面仕上げとゲージピン234間の間隔とに依存し、したがって、この圧力は例示のみにより与えられ、制限となるものではないことを理解すべきである。
本発明のホルダーの使用時、光ファイバ238を他の光導波路と整列させる目的で、光ファイバを回転させることが必要になることがある。この目的のため、図13に示されるように、固定されたエラストマーパッド240は、本質的にゲージピン234に対してはない摩擦を提供することに関して十分な特性を有するよう、選択される。真空によってそれに付着した光ファイバを伴う真空ホルダー210は、パッド240に対抗して、光ファイバとエラストマーパッドの接触をもたらすように持ち上げられる。矢印242の方向のホルダー210の運動は、ファイバ238がエラストマーパッド240によって、ゲージピン234の高度に磨かれた表面上で回転するのを可能にする。パッド234へのファイバ238の接触は、ゲージピン234との接触に対して約120°になっている。
再び図11を参照すると、V溝244が本体214の突出部を横切ってピン234と平行に伸びている。別の光ファイバ246がクランプ付属装置216でV溝内にしっかり保持される。光ファイバ246は、図17及び18に関して説明される本発明のその部分についてここに説明されるように、導波路への光ファイバの初期光放射の目的でそのクラッディングモードで使用される。
ゴニオメーターマッピング及び位置決め
ゴニオメーターが、集積光チップ内の導波路に対する光ファイバのような、導波路間の角度を正確に測定するためには、光ファイバの位置を正確に知ることが必要である。したがって、ゴニオメーターに対する光ファイバの位置決めと、ゴニオメーター及びチップが配置される構造とをまず決定しなければならない。
それに応じて図14を参照すると、集積光チップ(IOC)は、その入力端部部分310とその構成要素の光導波路の入力枝312で表わされるように、導波路枝312の出力端部で検出器314の近くに位置決めされる。光ファイバは、そのコア316で表わされるように、クランプ320及びホルダー322等のクランプ/ホルダーアセンブリ318内に適切に保持される。クランプ320は、図6〜9においてここで説明された位置維持及び移動光ファイバクランプ210からなっても良く、また真空ホルダー322は、図10〜13においてここで説明された真空ホルダー210からなっても良い。
クランプ/ホルダーアセンブリ318は、ニューポート(Newport)社で製造され、“1994ニューポートカタログ”と題する刊行物の6,16乃至6,18頁に開示されているもののような、従来構造のゴニオメーター324に固定されている。適切な光放射源からの矢印326で示される入力光は、コア316から導波路312に伝導されて導波路312を通り、そこから出力として矢印328で示されるように検出器314に伝導される。
図15は、ゴニオメーター324で得られる角度配置を表わす。ゴニオメーターは、接地装置に固着された部材330と、軸334に関して角度的に移動可能な可動部材332を含む。部材330及び332は、軸334の共通中心を有する円の円弧からなる近接配置された表面336及び338を含む。
また、図15は位置340にある光ファイバコア316も示している。ゴニオメーター軸334とコア316の位置340の間隔は、ΔRの距離だけ互いに間隔が置かれている。この距離ΔRは非常に小さく、一般にほぼ数ミクロンになっているが、光ファイバが、導波路枝312のような合わせられる導波路と整列される時に相当な誤整列を作り出すことに関しては十分に大きくなっている。したがって、周知の式、
で決定されるように、その座標Δy及びΔzに関してこのΔRを測定する必要がある。位置340にあるファイバのコア316の軸がゴニオメーター324の軸334と正確に一致すると共に、ゴニオメーター円弧表面336及び338が完全に円形に湾曲していた場合は、ΔRはないだろう。しかしながら、実際には、ゴニオメーター円弧表面336及び338は完全ではなく、光ファイバコア316はたぶん枢軸ポイントすなわちゴニオメーターの軸334に正確に位置しない。したがって、この軸からはずれた距離ΔRがどれくらいかを決定して、この距離を整列ロボット等の整列装置用のコンピュータメモリに入力することが必要である。
それに応じて、ゴニオメーター324は中心点342からその行程の範囲、約25°、まで点344及び346のその行程の終わりへ移動する。この行程距離は測定され、図16に示されるように描かれる。詳細には、光ファイバコア316は、放射によりy及びz軸に沿って既知の最大整列位置まで移動する。次いで、ゴニオメーター部材332が、要求されるどんな角度についても、考慮中の用途に必要な予め決められた角度分解能、例えば1°/4までファイバコア316を回転させるために回転する。次いで、ゴニオメーター324全体が移動して、光ファイバのy及びz軸の最大分解能、例えば0.1ミクロンまでy及びz軸を再整列させる。これは、この0.1ミクロンが既知の整列位置の最大分解能の場合である。。次いで、オフセットΔy及びΔzが決定され、角度、yオフセット及びZオフセット情報を結合する、整列ロボット用校正テーブルに記憶される。この処理は、ゴニオメーターの最大位置344から346まで、ゴニオメーター324の最大行程の角度分解能、すなわち±25°、の漸増のたびに行なわれる。
ゴニオメーター324の使用時、望ましいどんな角度位置へも移動させるために、y及びzオフセット画その角度に関する校正テーブルから得られる。同時に、ゴニオメーターとその支持された光ファイバは、ゼロ位置またはその位置プラスコアが変位したいずれかの角度から、ゴニオメーターによるその角度まで移動し、ゴニオメーターの下のy及びzステージが校正テーブルで決定された通りのそのオフセットまで移動する。
これらの工程は、付属マイクロフィッシュに含まれるソースコード、詳細には校正モードのルーチン390〜392と使用モードのルーチン588〜590、の使用により遂行される。
この表記載のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されるように、項目番号390〜392及び588〜590に含まれている。
初期光放射
したがって、図17に示されるように、集積光チップ410は、入力枝414と一対の出力枝416及び418を備えた導波路412を含む。チップ410は、入力光ファイバ420と出力光ファイバ422及び424の間に位置決めされる。入力光ファイバ420は導波路412の入力枝414の近くに位置決めされ、出力光ファイバ422は出力導波路枝416の近くに位置決めされる。出力光ファイバ424は、この文書の図17及び18に関する説明の目的のためのどんな現在位置決め必要性も持っていない。
ファイバは、ファイバ420用保持チャック426とファイバ422及び424用保持チャック428内にしっかり保持される。両チャックは望ましいどんな形状にもできるが、好適には、図10〜13に関してここで説明された真空ホルダー210にしたがって構成される。詳細には、入力光ファイバ420は真空チャック426の真空凹部430内に保持され、出力光ファイバ424は同様のホルダー428の真空凹部432内に保持される。しかしながら、出力光ファイバ422は真空チャック428のV溝434内に固定される。このV溝434は図11のしるし244で示されている。
本発明の目的のため、光ファイバ422は、クラッディングモードで動作するように配置されなければならない、すなわち、そのクラッディングは光を伝導することができなければならない。詳細には、図18に示されるように、光ファイバ422は従来構造のものであり、クラッディング422b内に支持されるコア422aを含む。被覆422cがクラッディングを囲んでいる。クラッディング422b内の応力部材422dはコア422aに応力を与える。典型的には、コア422aは6ミクロンの直径を有し、クラッディング422bは80ミクロンの直径を有する。特定のファイバ422が説明されているが、従来構造の他のファイバも、ここに説明されている特定のファイバと同様に使用のために適用することができ、同じメリットを持って代わりに置換することができる。それにより、ファイバ422のクラッディング422bは、現在説明されているように、出力導波路枝416から放射する光の採光筒として使用される。
使用されるべき本発明のこの部分のために、光が矢印436で示されるように光源からファイバ420に入力されなければならず、ファイバ422から出る光は従来の仕方で検出器438へ注がれる。
作業時、出力ファイバ422は導波路枝416の約50ミクロン以内に配置される。クラッディング422bは直径が80ミクロンなので、この50ミクロン配置は達成するのが難しくない。次いで、光が、その入力枝414から導波路412を通って放射されるまで、入力ファイバ420からラスターされる。このラスタリングは、入力ファイバ420が5ミクロン以内に整列されるのを可能にする。次いで、ファイバ420は、図19〜21に関してここに説明される手順及び装置を使用して0.1ミクロン以内まで入力導波路枝414に対してより正確に整列される。
入力ファイバ420が入力導波路枝414に対して正確に整列されると、光ファイバ424が、真空チャック428の関連移動によって導波路出力枝416に対してそのy,z及びx軸に沿って整列される。次いで、他の光ファイバが導波路出力枝418に対してそのy,z及びx軸に沿って整列される。これらの整列は、y,z軸整列のための図19〜21及びx軸整列のための図24及び25に関してここに説明される装置及び手順によるような、何か適切な手段で得ることができる。
平坦な位置配列
次に図19を参照すると、断面で示されている集積光チップ(IOC)510は光導波路512を支持している。導波路512は、入力枝514と1つまたはそれ以上の出力枝516を含む。クラッディングされたコア518を有する光ファイバは何か適切な構造のホルダー520内に固定される。しかしながら、ここに説明された図10の真空ホルダーが好適である。コア518は、何か都合の良い整列手段の使用により入力導波路514に±5ミクロン以内にそのy及びz軸に沿ってほぼ整列される。好適には、このy−z整列は、クラッディングモードで動作する光ファイバ434を用いて、ここに図17及び18に関して前に説明された装置を使用する。
次に、コア518はその軸の1つ、例えばy軸に沿って機械的に移動されるがz軸は受け入れ可能なものとなる。このy軸に沿った移動は、図20に示されるように、ガウス型曲線524に示されるパワー及び位置測定量を得るのに十分な速度で、チップのしるし522で確認される面と平行な平面にある。コアを介して光を放射することによって、点524a及び524a′等の一対の点間にある曲線524の一部分で表わされるように、光を検出することができる。各点524a及び524a′にある接線526a及び526a′で確認されるように、各点の傾斜が検査され、予め決められた方向の運動として測定される。このデータから、ファイバ及びそのクラッディングされたコア518が、増大した光伝導、すなわちより多いパワーを提供する方向に導波路枝514に対して移動しているかどうかを知ることができる。これらの測定量は曲線524の傾斜で表わされる。スキャニングは、スキャニングが始まる所から経験的にまたは理論的に予め決められた符号及び傾斜まで進む。この経験的または理論的予決は導波路デザインに依存する。測定量は、移動が曲線に沿って先んずるにつれて得られる。測定量の数は、点524から524a′へ及び点524a′から524aへの移動の速度に依存する。
上記に説明した、チップ510と平行なy軸におけるファイバコア518の移動は、光パワー出力データが最大可能取得率で取得される間行なわれる。データは、その機械的位置に対する光パワーを含んでいなければならず、何か適切な曲線にあった曲線となる。この適切な曲線は、わずかなファイバ移動に対して最良の結果を提供するように決定されたものであり、この曲線から最大パワーが計算される。次いで、ファイバコアはこの最大パワー出力点まで移動する。次いで、光パワーメーター帯域幅限界のため、この掃引は反対方向に繰り返され、その結果は、図21に示される相互に置換されたヒステリシス曲線528及び530で示されるように、線532で示される平均最大位置を決定するために平均される。この平均化は、遅い光メーターで生じるヒステリシスを正確に除去しながら、0.1ミクロン以内のy整列を提供する。
上記の工程は、0.1ミクロン以内までのz整列を得るために、直交するz軸においてチップと平行に繰り返される。
本発明の実行に有効なアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.現在位置情報の取得及び保存。
2.光パワーメーター読み取り値の取得及び後の基準としてのこの読み取り値の記憶。
3.正または負のいずれかの方向への関連軸における移動の命令。(チップの端面と平行な移動のため、移動は、ファイバの端部とチップの端面の間の距離を維持するように2軸で行なわれる。)
4.モーター位置エンコーダへの質問及び移動を始めるためのステージの待機。
5.現在の光パワーメーター読み取り値がステップ#2のルーチンの開始で得られる読み取り値と比較される場合の状態制御ループの開始。
6.この初期ルーチンは、最適整列位置すなわち最大パワー出力位置に対してファイバを明確に配置するように行なわれる。
7.ステップ3で行なわれたと反対の方向にファイバを移動するステップ#2〜5の繰り返し。その結果生じるデータを二次曲線に曲線合わせ。最大パワー位置の決定。これは最適に整列されたファイバ位置となる。その結果の記入。
8.反対方向へのステップ#7の繰り返し及びその結果生じる位置情報の平均化。反対方向のデータのこの平均化は、光パワーメーター帯域幅を補正してヒステリシスを除去するために行なわれる。
9.この平均化された整列位置にファイバを移動。そこで、ファイバはこの軸において最適に整列される。
10.前ステップで行なわれた軸と垂直かつチップの端面と平行な軸似置けるステップ2〜9の繰り返し。
11.そこで、ファイバはチップ端面の平面に最適に整列される。
この表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されるような項目番号384〜389に含まれる。
角度位置配列
図22を参照すると、断面で示されている集積光チップ(IOC)610は光導波路612を支持している。導波路612は、入力枝614と一対の出力枝616及び618を含む。光ファイバ620は、導波路出力枝616の端部と整列状態にしっかりと保持された入力端部622と、出力すなわちファイバ最適化端部624を有する。ファイバ620は、その端部622と624の中間にコイル部分626を有する。ファイバ最適化端部624は、課せられた特定の手順ステップによって決まる偏光検出器628または導波路枝618のいずれかに位置決め可能である。偏光検出器628は、レンズ630と、検出器632と、レンズ630と検出器632間に位置する偏光器634を含む。偏光器には、調整可能な偏光軸636が備えられている。検出器632は軸636の静止部分に固定されている。
光ファイバ620の偏光軸を集積光チップ610の導波路枝618の偏光軸に回転的に整列させる前に、偏光検出器628は、従来手段によりまたは本発明の使用により、チップ610の偏光軸で校正される。
この回転整列処理、すなわち、光ファイバ620の偏光軸を集積光チップ610の導波路枝618の偏光軸に整列させる際、ファイバの吸光比が最大化変数として使用される。
作業時、回転的に最適化されるべき光ファイバ620は、その入力端部622で、図10においてここに開示されている真空ホルダーのような何か適切なホルダーに固定され、導波路出力枝616の出力に整列される。ファイバの出力端部624は偏光検出器628に配置される。次いで、検出器632の偏光軸がファイバ620の偏光軸620と整列される。ほぼ整列されたファイバは導波路枝618に移動され、y軸及びz軸整列に関連する図19〜21とx軸整列に関連する図24及び25に関してここに説明された手順及びメカニズムにしたがって、それぞれy,z及びx軸に沿って導波路枝618に整列される。整列の順序は重要である。
チップ導波路出力枝618対ファイバ620の吸光比が、最大化ルーチンのステップサイズを決定するのに用いられる値を得るために測定される。測定は以下の手順にしたがって進められる。まず、ファイバ端部624がステップ式に回転され、図23に示されるような曲線638及び640を作る測定点を得る。詳細には、測定点は偏光器の90°及び0°またはその逆ごとにとられ、曲線638及び640に合う点638a及び640aとして角度位置軸に沿って等距離的に記入される。第二に、最小回転調整が改良されたニュートン−ラフソン法の使用で確認され、詳細には曲線638と640の中間に線642を引くことによってファイバ対チップの吸光比が最小にされる。第三に、ファイバ端部624が各回転整列と共に導波路枝618に整列される。これは、光ノイズを最小にし、整列の精度を増すのに役立つ。
上述の手順により、例えば−40dBという低い吸光比を有するファイバを、ほぼ同じ時間で、より高い吸光比を有するファイバと同じ精度で回転整列させることができる。
本発明を実行するのに有効なアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.ファイバ(620)が、視覚整列ガイドとしてファイバ自由端(622)の切断角度を使用して視覚的に回転整列される。
2.ファイバの一方の端部624(ここではファイバの“最適化端部”と呼ばれる)が、変更検出器(628)の入力(629)に配置される。検出器は、以前にステーション校正手順の一部としてIOCの偏光軸と視覚的にほぼ整列された調整可能な偏光軸(636)を有する。
3.ファイバ長の他方の端部(622)が、例えば図19〜21に関してここに説明されたy及びz軸整列ルーチンを用いて光チップの出力(616)に整列される。これはファイバ“自由端部”である。
4.検出器(632)の偏光軸(636)がファイバ最適化端部(624)の偏光軸と整列される。次いで、このファイバは、ファイバ最適化端部(624)がほぼチップと整列されるように回転される。この事前整列はこの回転整列ルーチンの速度を改善するために行なわれる。
5.ある程度のエラーチェックがここで行われ、ファイバに必要な回転が、ファイバを回転させるのに使用された装置の能力を超えないことを保証する。このエラー状態が検出された場合は、ファイバは別の再整列ルーチンに移行される。この再整列ルーチンは、ゴニオメーター324内のファイバの再整列により、図14〜16に関してここに説明された手順の使用により遂行することができる。
6.ファイバの自由端部(622)はある検出器まで移動され、もし望む検出器632ならば、その偏光軸に回転的に整列される。
7.次に、ほぼ整列された最適化ファイバ端部(624)は、例えば図19〜21に関してここに説明されたy及びz軸整列ルーチンを用いて、チップに枝618の所に移動され、整列される。
8.ファイバ対チップギヤツプが、例えば図24及び25に関してここに説明されたx軸整列ルーチンを用いて設定され、ファイバは、ファイバ回転の間チップと接触しないようにチップから予め決められた距離移動される。
9.チップ体ファイバの吸光比が測定される。この値は最大化ルーチンのステップサイズを決定するのに使用される。この方法を用いて、低い吸光比を有するファイバを、ほぼ同じ時間で、より高い吸光比を有するファイバと同じ精度で回転的に整列させることができる。このステップサイズは重要なパラメータである。ステップが少な過ぎると、模範にできない吸光比曲線が生じるだろう。また、ステップが多過ぎると、二次モデルと共に模範にできない曲線が生じるだろう。吸光比とステップサイズの関係は経験的に決定されている。
10.吸光比が測定され、ファイバが予め決められたステップサイズの漸増で回転される。各ファイバ回転後、ファイバは、図19〜21に関してここに説明されたYZMAXルーチンを用いて、チップの導波路枝618の所に再整列され、光パワー変動を最小にすると共に精度を改善する。したがって、曲線638を構築するために用いられる各測定点638aのため、YZMAXルーチンを使用し、後でステップ11において、曲線640を構築するために用いられる各測定点640aと同じ動作を実行する必要がある。
11.この回転及び測定は、傾斜の変化が検出されるまで同一方向で続けられる。
12.傾斜変化の両側の3つの測定量が得られるまで、測定量がステップサイズの漸増で取られる。各回転後ファイバを再整列することに伴う時間のため、測定量は保存され、ステップ10及び11の手順を行なった結果として、他の回転位置で再度取られる測定量はない。換言すれば、4つの漸増的測定量が取られ、傾斜変化が検出される前に記憶された場合は、これらの測定量は、傾斜変化の両側の3つの測定量を得るために繰り返される必要がなくなるだろう。
13.データは二次モデルに曲線合わせされ、最大吸光比点が予測される。
14.ファイバがこの最小化された位置に回転される。
15.データが記入され、ファイバが最適化端部624の所でチップの導波路枝618の所に再整列され、このルーチンが退出される。
上述のステップ6〜8に代わるものとして、メレス グライオト(Melles Griot)社により、例えば、“ファイバ光学、光学、レーザー、集積光学のためのナノ位置決め用ガイド構成要素及び装置”,著作権1993年、と題するパンフレットに開示された方法のような、何か同等の方法を使用することができる。
上記の表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されているように項目番号395〜405に含まれている。
ギャップの確立
それに応じて、図24に示されるように、クラッディングされたコア712が、図10〜13に関してここに説明された真空ホルダーのようなホルダー714内に保持される。集積光チップ716は、入力枝720と一対の出力枝722及び724を有する導波路を含む。ファイバコア712は導波路入力枝720の近くに位置決めされる。光ファイバコア712はそのホルダー714で導波路720に精密に位置決めされる。クラッディングされたコア712の軸は導波路枝720の軸に平行に位置決めされるが、その軸からオフセットされている。なぜなら、クラッディングされたコア712には、技術上周知のように、光がコア内に戻らないように、クラッディングされたコアの軸に関して非垂直的に角度をなしている切断面726が備えられているからである。切断面726の角度付けの結果として、光は、非軸方向進路728に沿ってクラッディングされたコア712から導波路枝720に進む。
ホルダー714の位置とその保持された光ファイバ710は、y及びz軸に沿って、すなわち導波路718の軸に垂直な平面で、精密に位置決めされる。この位置は、図19〜21に関してここに説明されたものや、メレス グライオト(Melles Griot)社により、“ナノ位置決め用ガイド”、副題“ファイバ光学、レーザー、集積光学用構成要素及び装置”と題する1993年発表の刊行物に示されたもののような、いずれかのy,z軸整列技術の使用によって得られている。この刊行物は、7−2及び7−3頁にその会社の自動ファイバ整列技術を開示している。また、他のy,z軸整列技術は米国特許第,278,934号に開示されている。
この精密な位置決め後、ファイバ710は、ホルダー714で、光進路728に挿入された両頭矢印線730で示される進路に移動される。この移動と同時に起こる、光源からの光が、矢印732で示されるように、光ファイバコア712に介して注がれ、導波路716を通って進む光が検出器734に注がれる。
面726から進路728に沿って導波路入力枝720へ移動する光と、矢印736で示されるように、そのx及びy軸に沿ったホルダー714及び光ファイバ710の移動の存在は、記録されると共に、図25に示される曲線738に示されるように表示される。導波路の方への光ファイバの初期行程の間、パワー対位置曲線関係は曲線738の曲線部分740に示される。面726が導波路入力枝720の端部と接触する地点で、ホルダー714の前進移動が停止される。x軸に沿った移動に対する点ベクトルの位置決めデータが将来の基準用にコンピュータメモリに記憶され、次いで、光ファイバとその端面726は、導波路入力枝720及び集積光チップ716から予め決められた適切な距離、例えば15ミクロン、まで離れるように戻る。
このアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.現在位置情報の取得及び保存。
2.ファイバを、ビーム進路、すなわちビームがチップを出る時に取る進路に沿って、チップ716から10ミクロンだけ離れるように戻す。これは経験的または分析的のいずれかにより決定される。また、これは、ビーム進路内外へのファイバの移動がファイバで測定されたパワーのモデルにできない変動を生じるので重要である。
3.使用される字句の異同速度を遅い速度(5ミクロン/秒)に設定。
4.チップの方への移動の命令及び状態ループの開始。この移動は再度ビーム進路に沿って行なわれるべきである。
4.1 光パワー読み取り値及び位置エンコーダ読み取り値の取得。これらを後続の記入及びモデル化のために保存。
4.2 光パワー出力における鋭い不連続を監視。これは、ファイバがチップの端面に接触し、ビーム進路外に押し出されたことを示す。これが起こった時、ループを出る。(また、いくつかの他のエラー状態がこのループの間にチェックされ、ファイバがうっかりしてチップの方へ行き過ぎるように命令されないことを保証する。)
5.ループを出た後、移動制御装置に全移動を停止するよう命令。操作者のために移動情報を印刷。
6.ファイバをビーム進路に沿ってチップから予め決められた距離離れるように移動。これが“ファイバ対チップギャップ”になる。
この表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されているように項目番号393に含まれている。
導波路取り付け
図26及び27は、入力枝814と一対の出力枝814及び818を含む導波路812を有する集積光チップ(IOC)810を示している。枝814は、混合接着剤ボンド822で入力光ファイバ820に接合される。枝816及び818は、それぞれ、混合接着剤ボンド828で光ファイバ824及び826に接合される。表示の光ファイバと導波路枝間のボンドは、以下の説明及び関連する図28〜35にしたがって作られる。
図28に示されるように、ポット830にある量の接着剤、例えば硬化可能なエポキシ樹脂が入っている。ポット830の上には、軸線836(図32と図33参照)と、表面がでこぼこの表面840を提供するためにでこぼこにされた周囲838とを有する棒834がぶら下がっている。この表面のでこぼこは、後で説明されるように、接着剤832の適度な量を棒に付着させるのに十分なものになっている。好適には、棒834は、棒の全行程及び位置決めを制御するのに使用されるサービスロボット841に固定されている。
本発明の実施時、棒834は、矢印842で示される方向に接着剤832の中に、少量の接着剤が棒834のでこぼこの表面840にくっつくことができる程度まで、十分に挿入される。次いで、図29に示されるように、棒は、接着剤が接着剤のかたまり846の形で棒にくっつくことができる速度で、矢印844の方向に接着剤832及びポット830から引き上げられる。かたまり846に含まれる接着剤の量は、導波路枝816等の導波路へのファイバ824等の光ファイバの後での固定に必要な量より多くなっている。また、この時点のかたまり846は好適な形状を持っていない。
望ましい形状を得るために、図29の棒834及び接着剤のかたまり846がそれぞれ矢印850の方向に下げられ次いで上がれて、追従表面852と接触する。この作用は、かたまり846のわずかな過剰量を追従表面852上に堆積させる。棒834上の接着剤の残りが図30に示されており、かたまり848を構成する。この形状にされたかたまり848は、その中央位置848aがその上部及び底部848b及び848cから識別されるように実質的に一定の管状厚さを有しているという点で、かたまり846と異なっている。中央位置848aにおける接着剤のこの一様に一定の厚さは、後で行われる光ファイバコアの端部上への接着剤の堆積が正確かつ一定の分量になることを保証する、本発明の重要な態様である。
光ファイバのコアへの接着剤の付着は図30以下参照に示されている。ここで、光ファイバ824は、例えば80ミクロンの直径を有するクラッディングされたコア854を含む。コア854は、従来のもののように、その末端面858がコアの軸の非垂直的な角度で切断された先端856を有する。先端表面858は、光が反射してコアに戻らないようにするために従来通りに切断されている。導波路枝816と、特に集積光チップ810の端部860は、光ファイバ824とコア854の先端856から正確な距離に位置決めされる。この正確な距離は前に確かめられている、例えば整列ロボット857のメモリに記憶されており、その3軸の正確な座標と偏光角度とは、整列ロボットコンピュータメモリに設定されている。この位置は、先端856が導波路816の端部860に対して位置決めされる整列の正確な点を確立する。
接着剤848から測定された量を先端856に付着させるために、光ファイバ及びコアは、棒834及びその接着剤かたまり848がクラッディングされたコア端部と導波路端部860の間に配置されるのを可能にするために、チップ810から適当な距離戻される。この位置決めは図31に示されている。
図32に示されるように、より大いに重要なコア854の軸は、棒834の軸836からわずかに中心を外れて位置決めされている。コア854とその先端856の切断された斜面858との正確な位置決めは、棒834の周囲838上の接線に平行に位置決めされている。面858と接線862間の平行は、図33に示されるように、先端856が接着剤との接触に起こす時に、接着剤848の正確な量が端部856上に一定の被覆を形成することを保証する。クラッディングされたコア854は矢印864の方向に引かれ、その結果、コアは棒834及び接着剤848から後方に間隔を置かれる。図34に示されるように、少量の接着剤が、先端856のまわりに実質的にむらのないようにキャップ868として一様に堆積される。接着剤キャップ868のこの均等性は、接着剤848の中央位置848aの実質的に一定の厚さと面858及び接線862間の平行によって決まる。
次いで、図34に示されるように、棒834が、コア854と集積光チップ810の間のその位置から引き上げられる。次いで、エポキシ樹脂が固まる機会を持つかまたは固められる前に、ファイバ826が、矢印870で示される方向のチップ810の方へ移動されて、接着剤キャップ868を導波路端部860と接触させ、次いで、整列ロボット857のコンピュータメモリに前に記録された位置情報によって事前設定されたように、そのy及びz軸に沿って再整列され、エポキシ樹脂と空気間の屈折率の差が補償される。この再整列は、コア854が導波路816の端部860に対してその正確な位置に移動し、図35で示されるボンド872を形成するのを可能にする。先端856に付着したキャップ868の接着剤の正確な量は、導波路810の表面にボンド872のなだらかな傾斜874を提供する。また、図35は、傾斜878を有するボンド876でチップ810の導波路818に固定されたクラッディングされたコア875を有する第2の光ファイバ826も示している。ボンド876はボンド872と同じように正確に形成されている。ボンド872及び876の正確で注意深い位置決めは、その間に間隔すなわちギャップ880があるようになっている。ボンド872及び876を形成する接着剤が硬化により収縮し、その結果、ボンドと、コア854と導波路816間及びコア875と導波路818間とに応力を作り出すことがあるので、このギャップ880は重要である。したがって、ボンド872と876が接触しないことが重要である。
本発明はその特定の実施例に関して説明されたが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく本発明に種々の変更や修正を行なうことができることを悟るべきである。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明の好適な一実施例のブロック図(数字10〜99が適用)である。
図2は、(a)集積光チップ(IOC)とその内蔵導波路を正確に支持するホルダーアセンブリと、(b)IOCホルダーアセンブリ内の集積光チップ導波路への光ファイバの整列取付に関する各仕事を実行するサービス及び整列ロボットを示す好適な一実施例の図面を示す図(数字10〜99が適用される)である。整列ロボットとその3つの光ファイバ保持アセンブリは、図4〜9の位置維持及び移動光ファイバクランプと図11〜13の真空ホルダーを含み、それぞれ、各IOC導波路との整列のために入力光ファイバと2本の出力ファイバを支持する。
図3は、図2に示された図面の一部の図面であり、接着剤塗布具のような道具のためのサービス道具保持アセンブリ、真空ピックアップメカニズム及び観測装置を含むそのサービスロボットのアームを示す図(数字10〜99が適用)である。
図4は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図5は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図6は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図7は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図8は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図9は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図10は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図11は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図12は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図13は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図14は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図15は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図16は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図17は、入力光ファイバと、初期光放射のためにそのクラッディングモードで機能する他の光ファイバ(同様に断面で示される)間に保持されたIOC導波路を示す図(数字400〜499が適用される)であり、入力ファイバは真空ホルダーのうちの一方の真空チャックに保持され、クラッディングモード光ファイバは真空ホルダーのうちの他方のV溝内に保持されている。
図18は、入力光ファイバと、初期光放射のためにそのクラッディングモードで機能する他の光ファイバ(同様に断面で示される)間に保持されたIOC導波路を示す図(数字400〜499が適用される)であり、入力ファイバは真空ホルダーのうちの一方の真空チャックに保持され、クラッディングモード光ファイバは真空ホルダーのうちの他方のV溝内に保持されている。
図19は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図20は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図21は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図22は、集積光チップ及びその導波路と図2及び3に示された光ファイバ保持アセンブリの一部の表示である関連偏光装置の図と、光ファイバの角度位置(e)の関数としての吸光比を示す曲線を表す図(数字600〜699が適用されている)である。
図23は、集積光チップ及びその導波路と図2及び3に示された光ファイバ保持アセンブリの一部の表示である関連偏光装置の図と、光ファイバの角度位置(e)の関数としての吸光比を示す曲線を表す図(数字600〜699が適用されている)である。
図24は、集積光チップ及びその入力導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示部分と、ファイバの端部とその関連導波路間のギャップを決定するための、光ファイバのx軸位置の関数としてのパワーを示す曲線を示す図(数字700〜799が適用されている)である。
図25は、集積光チップ及びその入力導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示部分と、ファイバの端部とその関連導波路間のギャップを決定するための、光ファイバのx軸位置の関数としてのパワーを示す曲線を示す図(数字700〜799が適用されている)である。
図26は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図27は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図28は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図29は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図30は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図31は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図32は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図33は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図34は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図35は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
これに付属しかつ引用によりその全体に組み込まれるのは、マイクロフィッシュ形式の付属書類Aである。付属書類Aはコンピュータプログラムのためのフォース コンピュータプロゴラム言語におけるソースコード実行であり、ここで説明される方法と手順を実行すべくここで開示されたプロセッサとコンピュータに対して作成されたプログラムである。付属書類Aは付属書類Aは、1枚のタイトルページと、コードの150ページの映像を含む2枚のフィッシュとからなる。このソースコードは著作権法における複製権の対象である。著作権者は、特許商標庁において特許ファイルまたは記録として現れる限りにおいては、発明開示のためのファクシミリによる再生についてはいかなる異議も申し立てるものではない。しかしながら、その他の場合においてはすべての著作権を保有するものである。
発明の背景
1.発明の分野
本発明は、光エネルギーの伝導体への光ファイバの整列取付装置及び方法とそれにより得られる製品に関する。本発明の好適な使用は、集積光チップ(IOC)内にあるような導波路への光ファイバピグテールの整列取付である。したがって、用語“導波路”は、光エネルギーからなる信号を運ぶか伝送することができる全ての有形媒体を呼ぶつもりである。
2.関連分野及び他の用件の説明
本発明は、一般に、一対の光導波路間の光エネルギーの伝導体への光ファイバの整列取付装置及び方法と、それにより得られる製品を提供することに適用可能であるが、特に、集積光チップ(IOC)内の導波路への光ファイバピグテールの固定のために考え出された。したがって、以後の説明はこの特殊な使用に向けられているが、本発明は光導波路への光ファイバの整列取付の一般的な応用を有し、したがって、本発明をその特殊な使用に限定すべきではない。
他の導波路特に集積光チップ導波路への光ファイバピグテールの正しい整列取付は、信号伝送時の減衰や他の損失を最小にする際に重要である。このような正しい整列取付を達成する既存の方法及び装置は高価でありかつ多くの時間を要し、しかも信号伝送時にある程度の前記減衰や他の損失にいまださらされることがある。技術は熟練工を必要とするばかりでなく、これらの技術には、あったとしても他の労働者に容易に移転することができない技術に似たものが多くある。
共通の問題は通常供給される集積光チップで発生している。これらのチップの製造業者は、一般に、チップの導波路の両端に光ファイバすなわち“ピグテール”が取り付けられたチップを製造している。これらのチップのユーザーは、彼らの装置内にチップを固定する際、これらのピグテールにさらに光ファイバを取り付けている。したがって、最初にチップ導波路へ、次に光ファイバヘという2つのピグテール取付がある。このような取付がある時は、光信号の伝送時にしばしば少ないこともあるがある程度の損失や減衰が必ずある。装置中いたる所で繰り返された場合、減衰が蓄積されて相当な損失になることがある。したがって、信号損失または減衰時のこのような劣化を避けるために、非常に注意深い整列や適当な接着剤の使用によるような大きな注意がはらわれている。
光ファイバクランプに関する最新技術
ファイバクランプは、種々の動作のために、例えば、固着中にコアの望ましい角度または偏光された方向を維持したり導波路や他の光学装置にそれを整列取り付けするために、方向付けられた位置に光ファイバを保持するのに使用される。市販されているクランプは、光ファイバを整列させるために種々のV溝や長穴付きの構造を使用している。さらに、これらのクランプのほとんどは動かすことができない、すなわち、所定位置に固定されており、したがって特定の動作に制限されている。しかしながら、動かすことができる1つのクランプは、それ自身のはがし、裂開、重ね継ぎ及び再被覆用機械に内蔵されており、したがって、限られた範囲の動作に制限されている。
これらのクランプにはいくつかの制限がある。V溝は、挿入が比較的容易であるが、鋭い角や縁があり、はがされたファイバのクラッディングされたコアを易すく傷つけることがある。また、V溝は要求される精度に機械加工したり研磨したりするのが難しい。一方、長穴は、V溝と区別されるものとして、機械加工が比較的容易であるが、その中にファイバを手で自由に載せるのが非常に難しい。また、長穴は1つだけの接合面を提供し、これは、クランプ後にファイバの円筒形状のゆがみや不十分な横方向整列を生じることがある。V溝と同様に、長穴も鋭い角を有し、同様にクラッディングを傷付ける。
光ファイバホルダーに関する最新技術
このような固い保持をもたらすのに用いられる装置の1つは、光ファイバの周囲の近くに形成される貫通またはU状溝を有する。ファイバを固定具に固定するためにU状溝に真空が連結される。このような構造ではいくつかの問題点がある。溝の表面が完全に均一かつ滑らかになっていなかった場合、空気がファイバの回りを不規則に通ってファイバを振動させる。このような振動は有効な整列を妨げる。この溝の均一性及び滑らかさの欠如は、ファイバの直径にわずかな変化がある場合に倍加し、これは真空漏洩及びその結果生じるファイバの振動の一因にもなる。さらに、U状溝における他の不規則性はファイバに刻み目をつけたり傷つけたりすることがある。したがって、この付加的な理由のため、U状溝ができるだけ滑らかになっていることが絶対必要である。このような滑らかな溝を得るにはコストがかかる。
ゴニオメーターに関する最新技術
光ファイバ等のような光導波路間の正確な整列を得るためには、ファイバをそのコア軸の0.5ミクロン内で回転させることが必要である。このような回転は、典型的な回転範囲が±25°であるゴニオメーターの使用でもたらされる。現在のゴニオメーター技術では、光ファイバのコア軸の0.5ミクロンの回転は達成できない。しかしながら、ファイバコア軸の正確な位置を回転に従って“マッピング”することによって、ファイバを望ましい0.5ミクロン内で回転するようにマッピングデータを用いて位置決めすることができる。
この問題を解決する2つの方法は、ファイバがそのコア軸に対して回転するようにゴニオメーターを調整して、光ファイバを望ましい角度位置まで回転させ、次いでコア軸を整列中心に再整列させるための何らかの機械的手段の使用を含む。これらの方法にはいくつかの欠点がある。ゴニオメーターのための機械的道具使用法は非常に時間がかかる仕事で、整列中心へのコア回転の荒い整列を与えるだけであり、最も良い結果でも望ましいものより約1の次数だけ悪くなり、0.5ミクロンよりむしろ5ミクロンになる。第2の方法も非常に時間がかかる。0.5ミクロンの精度を達成することができるが、ファイバが回転する度に再整列が必要である。したがって、典型的なファイバにとって、集積光チツプピグテーリングや合わせる導波路への他の整列のために、ファイバを約250回転させる必要があり、ファイバの平均再整列時間は20乃至60秒になる。
光の放射に関する最新技術
コアと6ミクロンの導波路直径を有する導波路への光ファイバの連結の必要条件は、少なくとも最初の光伝送を可能にするのに十分な二者間の整列を提供するのは非常に困難で費用がかかるという点で、非常に難しい。通常、IRまたは可視スペクトラムで動作するCCDカメラとレンズは、導波路枝に配置される。望ましい精度を提供するには十分だが、このようなカメラとレンズの組み合わせはかさばって費用がかかり、そのサイズのため、特にスペースが限られている装置内のものを設計するのは難しい。
光ファイバの平坦な整列に関する最新技術
他の導波路、特に集積光チップ導波路への光ファイバピグテールの精密な整列は、信号伝送時の減衰や他の損失を最小にする際に重要である。このような精密整列を達成する既存の方法及び装置は高価で時間がかかり、信号伝送時にある程度このような減衰や他の損失にいまださらされることがある。技術は熟練工を必要とするばかりでなく、しばしば、これらの技術は、もしあったとしても他の労働者にたやすく移転することができない技術に似たものが多くなる。
光ファイバの角度整列に関する最新技術
導波路に光ファイバを偏光させる既知の方法はあるが、高価であり、また、例えば−40dBの光回転整列吸光比を得るには必ずしも正確とは限らない。知られているように、吸光比は、ファイバの現在回転偏光位置対その現在位置プラス90°のパワー測定量の比率である。このような既存の方法は手動かつ漸増的にもたらされるが、マークを通り過ぎた後方向を反転させるように操作者に要求することがある。
光ファイバと導波路間のギャップの確立に関する最新技術
光ファイバと導波路間のギャップを決定する時、ファイバ、特にその切断端部を損傷から保護することが重要である。この方法はそのようにすることができない、なぜなら、ファイバの現在位置の情報を得る際に遅延に頼っているからである。したがって、最初の接触が行われた後、ファイバは導波路にさらにかつ有害的に押し付けられることがある。ギャップを簡単に決定するこれらの従来方法は、ファイバの軸線に沿って導波路の方へファイバを移動させることを含む。これは、切断ファイバ端部を損傷にさらし、正確なギャップ測定量を得るのが困難になる。
光ファイバを互いにつなぐことに関する最新技術
集積光チップに関して生じる広く行きわたった問題は、集積光チップが一般に、チップ内の導波路の両端に光ファイバすなわち“ピグテール”が取り付けられた状態で製造され供給されることである。そして、これらのチップのユーザーは、これらのピグテールにさらに光ファイバを取り付けることによって彼等の装置内にチップを固定する。したがって、一方はチップ導波路に、他方は光ファイバに対する2つのピグテール取り付けがある。このような取り付けでは、伝送される光信号の何らかの損失または減衰が、例えわずかであっても存在することが知られており、これは、装置のいたる所にわたる他の取り付けに追加された場合、相当なまたは少なくとも望ましくない損失になることがある。
このような取り付けは、通常、エポキシ樹脂や紫外線(UV)硬化樹脂等の光伝導可能な接着剤を使用して行なわれる。エポキシ樹脂等の接着剤は、非常に短い硬化時間を持つことができ、それは1分以下になることもある。したがって、光ファイバのコアと導波路間の整列は、迅速にかつ過度の遅延なしに行われるべきであることが絶対必要である。さもなければ、取り付けは有効なものにならないだろう。しかしながら、整列取付があまり早く行われると、その結果、不十分な光学的整列及び/または取付になることがある。
他の関心事は、硬化の少ない接着剤の使用に関し、他の光ファイバ及び導波路間の隣接取付部との前記接着剤の接触や橋絡を防ぐことである。このような橋絡接触がある場合は、硬化の減少は、隣接する光ファイバと導波路の2組を互いに引き寄せ、接合剤とファイバに応力を及ぼし、その結果、破損等の有害な損傷を与える。そこで、このような隣接取付は望ましくない橋絡を回避するためにギャップで分離されるべきであることが絶対必要である。
したがって、このような信号の劣化を避けるために大いに注意を払わなければならない。この注意には、非常に注意深い整列、適切な接着剤の選択及び限られた時間内での取付を得るための費用のかかるシステム、装置及び技術の使用が必ず含まれる。その訓練と置換に伴うコストと共に、熟練工が要求される。さらに、熟練工とは限らない者でもこの取付を達成することができる。なぜなら、彼らは、技巧能力が本質的に模写したり移転したりすることができないので失敗が製造業者にとって大問題を引き起こすことがある職人のサービスを何回も要求するからである。
発明の概要
これら及び他の考慮すべき事柄とそれに伴う問題は、本発明により首尾よく取り組まれて克服される。
光ファイバクランプの位置維持と移動
微細に限定された二重円弧状溝は、もっと大きな円弧を有する溝によりその両端で結合されている。溝は、光ファイバのクラッディングされたコアまたはファイバ自身がより大きな円弧状溝によって微細に円弧状にされた溝内に案内されるように整列されている。クラッディングに損傷を与えない弾性パッドまたは同等手段が、微細に限定された円弧溝内のファイバ上に配置され、ファイバを円弧に対して接線に沿った接触状態に保持する。
好適には、微細に限定された円弧状溝は一対の精密ピンで形成されるが、より大きな円弧は精密ピンより比較的直径が大きい二対の円筒状ピンで形成される。さらに、例えばその端部の接着中その偏光軸を方向づけるように適所にファイバ及び/またはそのクラッディングされたコアを保持するために、弾性パッドは、クラッディングとの摩擦係合を及ぼすことができるエラストマー材料から構成することができる。大型及び小型ピンが精密整列板に支持され、全体がコンパクトな内蔵アセンブリに組み込まれる。
光ファイバの真空ホルダー
ホルダーはその真空溝に光ファイバの最小接触領域を提供する。詳細には、一対の精密に作られたゲージピンが真空チャック内に固定され、真空開口部を提供するように互いに間隔を置いて配置されている。ゲージピンは、円筒状にされるかさもなければその軸線に関して湾曲しており、ファイバのために一対の本質的に直線的な接触を提供し、さらにファイバを傷つけないように、比較的高度に磨かれた表面を備えている。
さらに、ホルダーは、ゲージピンで最小にされる摩擦を提供する表面を有するパッドにファイバを押し付けることによって、ファイバを回転させるのに使用することができる。パッドに対する真空チャックの移動に基づくファイバに対する十分な摩擦により、ファイバはパッドに対して静止状態に保持されるが、静止しているゲージピンに対しては回転することができる。
ゴニオメーターマッピング及び導波路に対する光ファイバの位置決め
ゴニオメーターにおけるファイバコア軸の正確な位置は、それが回転するにつれてマッピングされ、ファイバは、そのコア軸の0.5ミクロン内で回転するようにマッピングデータを用いて位置決めされる。詳細には、光ファイバは、既知の最大整列位置に移動し、質問を受けたアプリケーションに必要な予め決められた角度分解能までゴニオメーターを回転させることによって回転する。次いで、ゴニオメーターは、既知の整列位置の最大分解能にy及びz軸を再整列させるように直線移動する。次いで、オフセットが確認され、校正テーブルに記憶される。使用時、望ましいどんな角度また配置にも進めるように、y及びzオフセットがその角度に関する校正テーブルから呼び出され、同時に、ゴニオメーターにしたがってy及びzステージがそのオフセットに移動する。
光ファイバ及び導波路間の光の初期放射
光ファイバは、相手方の導波路からの光の初期放射の際の採光筒として機能するようにそのクラッディングモードで使用される。
光ファイバはチップ導波路にほぼ整列され、次いでチップと平行な軸に移動され、ファイバ位置に対する光パワーのデータが得られる。ヒステリシスが問題になる場合は、ファイバは反対方向に移動され、この移動から位置データに対するパワーが、最初に得られたデータと平均され、位置出力に対して平均された最大値が得られる。このデータは、後で行われる光導波路への光ファイバの整列取付のために記憶される。
光導波路への光ファイバの平坦な整列
光ファイバはチップ導波路にほぼ整列され、次いでチップと平行な軸に移動され、ファイバ位置に対する光パワーのデータが得られる。ヒステリシスが問題になる場合は、ファイバは反対方向に移動され、この移動から位置データに対するパワーが、最初に得られたデータと平均され、位置出力に対して平均された最大値が得られる。このデータは、後で行われる光導波路への光ファイバの整列取付のために記憶される。
導波路に対する光ファイバの角度位置整列
ファイバの偏光軸は、最大化変数としてファイバの吸光比を使用して導波路の偏光軸に回転的に整列される。
光ファイバ及び導波路間のギャップの確立
ファイバは導波路にそこから分からない距離に整列され、ギャップに近づくように光進路に沿って移動される。ファイバが導波路にほんのわずか触ると、ファイバの移動が停止され、接触点が記録され、ファイバは導波路から戻って後続の作業に備える。
光導波路の互いの取付
簡潔に言えば、光学装置における光ファイバと導波路が例である一対の光導波路を互いに取り付けるために、光伝導可能な接着剤の測定された一定形状のかたまりが導波路の一方の先端に置かれ、この接着剤は本質的に先端の後ろの側壁に制限される。この配置は、その結果生じるチップとその導波路への接着剤ボンドがなだらかなテーパーを持つことを確実にする。このテーパーは、注意深く作られたかたまりの結果として精密に制御され、このボンドを、近くに配置された第2の導波路の取付間の他のボンドからギャップで分離せしめる。第1及び第2のボンド間のこのギャップは、隣接ファイバの橋絡や、2つの導波路間のボンドによる導波路取付部及び光ファイバへの望ましくない応力を回避する。
詳細には、ほぼ円筒状の表面を有する道具がエポキシ樹脂等の接着剤に浸され、その表面が接着剤のわずかなかたまりで被覆される。このかたまりは、実質的に一定の厚さの壁を提供するように形成される。ファイバの角度を付けた先端は、道具のほぼ円筒状の表面の接線と平行に位置決めされ、次いで、水平に移動されて道具上の接着剤の一定厚の壁と接触する。角度を付けたファイバ先端と接着剤の一定厚の壁間の平行関係の組み合わせは、接着剤の小さな一定形状のキャップがファイバ端部上に形成されるのを確実にする。また、このキャップは本質的にコア先端に制限され、わずかの量が先端の後ろの側壁にあるように形成される。これは、隣接するファイバへの橋絡なしに先端の方へ徐々にテーパーになるのを保証する。他のファイバと導波路の取り付けが全て終了した後、異なる組成と最初に述べた接着剤より良い固着品質とを有する別の接着剤が、隣接する取り付け部の全てに固着され、ファイバとチップ間のより長持ちのする、ストレインリリーフの取り付けを提供する。
道具に関連したこれらの作業は好適にはサービスロボットの使用によって行われるが、ファイバの移動に関連する作業は好適には整列ロボットの使用によって行われる。両ロボットは適切なコンピュータソフトウェアで駆動される。
本発明の利点
上記に説明した方法及び装置からいくつかの利点が引き出される。一般に、光導波路間の取り付け数が最小になり、それにより、信号の減衰が少なくなる。取りつけられるべき導波路のコア間の互いの整列は、接着剤が固まる前の過度の遅延なしに迅速に行なうことができるが、あまりに急速に行われる取り付けに関して上記に説明問題を避けることができる。熟練工の必要性は、訓練及び置換に伴うコストと共に減少し、さらに、含まれる技能が1つの技能よりむしろ特殊技術を構成する場合は、このような才能のある人の必要性が避けられる。
光ファイバクランプの位置維持と移動
クラッディングされたコアは、精密ピンと弾性パッドで提供される表面を含む3つの表面に沿って接線的に支持される。より大きな円弧状ピンは、より小さな円弧状ピンのより微細に限定された溝との一対の接線的接触へのクラッディングされたコアの容易な手動装填を可能にし、V溝や機械加工された長穴に見出される鋭い角で生じる問題を回避する。クラッディングされたコアは方向が合わせられた位置に保持される。精密整列板は他の市販デザインに比べて製作、組立が比較的容易である。組み立てられたクランプは内蔵され、したがって、適所に置いたままにしたり、コアの軸及び角度位置を常に維持しながら場所から場所に動かしたりすることができる。クラッディングされたコアのこの軸及び回転支持は、コアが合わせられるアセンブリへ直線的に移動するのを許すが、その固着された偏光維持位置のじゃまにならないか、または、クラッディングされたコアの自由端部分の粗い整列工程またはさらなる偏光維持回転の必要がない。
光ファイバ用真空ホルダー
真空漏洩とその結果生じるファイバ振動は効果的に除去される。ファイバと真空溝間の完全な整列の発生と維持のコストは現在の真空チャックと比べて最小限になる。
導波路に対する光ファイバのゴニオメーターマッピングと位置決め
ゴニオメーターが回転して、実時間でファイバコアを整列中心に再整列させ、ファイバのセンタリングすなわち再整列に関連する追加の時間がないという点で、相当な時間が節約される。
ファイバ及び導波路間の光の初期放射
光ファイバは、6ミクロンのコア及び導波路直径を有する導波路に連結することができる。この連結は実行するのが難しくなく、従来技術のカメラ及びレンズに比べて比較的容易かつ費用をかけずに達成される。また、システム内に容易にデザインすることができ、ほとんどスペースを費やさない。
光導波路への光ファイバの平坦な整列
主として、位置データに対する最大パワーが早くかつ正確に得られる。
導波路に対する関する光ファイバの角度位置配列
少なくとも−40dBの光回転整列吸光比が正確かつ最小限の時間で達成できる。低及び高吸光比に対するファイバの回転整列がほぼ同じ時間量に同じ精度で同等に達成できる。
光ファイバと導波路間のギャップの確立
光進路に沿った直線移動は、ファイバ先端に対する導波路の端部の位置の正確な決定を許す。データ蓄積が実時間で得られ、その結果、ファイバ移動は接触に基づいて直ちに停止され、それにより、ファイバの変位と変形の可能性とが減少する。ほぼ0.1ミクロンまでのファイバギャップの制御が得られ、その結果ファイバ端部品質が高められる。切断ファイバ端部の損傷の可能性が最小限になる。
光導波路の互いの取り付け
光導波路間の取り付け数が最小限になることにより、信号の減衰が少なくなる。互いに取り付けられるべき導波路のコア間の整列が、接着剤が固まる前に迅速に過度の遅延なしに行われるが、あまりに早く行われる取り付けに関連する上述の問題が避けられる。ギャップの強制的な用意によるいくつかの導波路の隣接取り付け間の接着剤の接触が避けられることにより、ファイバとボンドの応力及び劣化が避けられる。熟練工の必要性が、訓練及び置換に伴うコストと共に減少し、さらに、含まれる技巧が1つの技巧よりむしろ1つの特殊技術を構成する場合、この才能のある人の必要性が避けられる。
本発明のより完全な理解ばかりでなく他の目的及び利点が、模範的な実施例の以下の説明とその添付図面から明らかになるだろう。
好適な実施例と詳細な説明
前置き的に考慮すべき問題として、x,y,z軸と本発明の使用によって得られるθ回転整列及び位置情報は安定で変化しないものにすべきであり、これはある期間にわたってふらつかない情報を提供する計器の能力に依存することが重要である。このふらつきは、不正確に配置された物理的取り付け、及び/または、本発明の従業者により使用される支持テーブルや他の物理的構造によって生じたり、ハードウェアと構成要素間の熱的相反性によって生じたりすることがある。したがって、例えば、ボルト締めまたは他の取り付け手段を調節、再位置決めし、熱伝導率及び膨張の異なる係数を有する材料を使用して必要な制御と要求される安定性を得ることが必要である。
図1〜3は、光導波路、特に集積光チップ(IOC)の導波路への光ファイバの整列取付のための装置10を示しているが、この整列取付はより広範囲の用途を有する。この用途は例として以下の取付を含む。すなわち、コアサイズ及びテーパーにかかわらずファイバ対ファイバ、検出器応答を監視することによるファイバ対検出器、ファイバ対発光装置、双円錐体を持つように溶けたものの突出したもしくは巻かれたほとんど目につかないほどのフィールドと光ファイバもしくは受信機への最適処理量とを含むカップラ対ファイバ。
したがって、集積光チップ12は、入力枝16と一対の出力枝18及び20を有する導波路14を含む。導波路14は1つだけの出力枝または2つ以上の出力枝を含むことができるが、本発明の好適な実施例を説明する目的で、以下の説明は2つの出力枝に制限される。
導波路枝への光結合は、導波路入力枝16の近くに配置された入力光ファイバ22と、導波路出力枝18及び20の近くにそれぞれ配置された一対の出力光ファイバ24及び26を含む。ファイバ22,24及び26のクラディングされたコアはクランプ/ホルダー28,30及び32にそれぞれしっかり保持されている。光源34は矢印36で示されるように光をファイバ22内に注ぐ。出力光ファイバ24及び26から出力される光はそれぞれ検出器38及び40に注がれているが、1つの検出器を用いても良い。
コンピュータメモリ44が接続されたサービスロボット42は、チップ12、特にその導波路枝16,18及び20の先端の位置を決定し記憶するためにチップ12に結合されている。特に、サービスロボット42は、接着剤ディスペンサー、例えば棒や注射器のような道具を保持するための道具保持アセンブリ46(図3参照)を含む。光ファイバクランプ/ホルダー28,30及び32はそれぞれ整列ロボット48,50及び52に連結され、整列ロボットは各々のコンピュータメモリ54,56及び58に接続されている。もし望むなら、別々の整列ロボット48,50及び52とメモリ54,56及び58を1つのメモリを有する1つのロボットに結合しても良い。サービスロボット42は、x,y,z軸に関する直交運動とx軸に関する回転または角度運動θとを提供するように機械化されている。
次に図2を参照すると、光ファイバクランプ/ホルダー28,30及び32はそれぞれ、位置維持及び移動光ファイバクランプ60,62及び64と、光ファイバ真空ホルダー66,68及び70を含む。3つのクランプ及びホルダーは、各々の支柱72,74及び76に固定されており、支柱はそれぞれゴニオメーター78,80及び82に枢軸的に載せられている。集積光チップ12は適切な保持器の中央ワークステーション84に保持されている。中央作業場所84の両側には、一対の側部ワークステーション86及び88が配置されており、ここで、チップ12上の作業と整列取付作業が行われ、導波路14に光ファイバが整列取り付けされる。詳細には、入力光ファイバ22と入力導波路枝16間の作業は側部ワークステーション86で行われるが、出力光ファイバ24及び26と各出力導波路枝18及び20間の作業は交互的に側部ワークステーション88で行われる。また、側部ワークステーションはファイバの回転を促進するのに用いられる道具を含む。偏光及び校正手順はアセンブリ90で行われるが、偏光手順だけはアセンブリ92で行われる。しかしながら、操作者の考え次第でいつでもかついずれの場所でもこれらの手順を適用することができることを理解すべきである。
操作者は、サービスロボット42のアーム98に固定された顕微鏡94(図2及び図3参照)またはビデオカメラ96(図3参照)で見ることにより、実行されるいくつかの作業のどれでも監視することができる。また、ビデオカメラ96は記録するためにも有効なものである。
位置維持及び移動光ファイバクランプ
図4〜9の位置維持及び光ファイバのクラッディングされたコア142のための移動光ファイバクランプを参照すると、クランプ110は、台板112、精密整列板114及び蓋板116を含む。整列板114は、その1つが図4に示されるネジ117等の何か適切な手段で台板に固定さている。台板12には、一対の合わせ直立枢軸手段118が備えられ、蓋板116には、枢軸部材118間に位置し一対の枢軸ネジ122でそれに連結されて蓋板116を台板112に蝶番連結するための耳状部120が備えられている。図4及び5は、整列板114上のその接触位置に蝶番連結された蓋板116を示している。また、図5は、整列板の上面から離れて上面を露出した時の蓋板も仮想線すなわち点線で示している。
整列板114は、図8に示されるように、溝126で互いに連結された一対の側部入口124を含む。整列板の前方部分には、同一形状の永久磁石130を収容するための円形凹部128が形成されている(図5参照)。整列板の後側の耳状部132は、直立枢軸手段118の間の台板112の上でかつ蓋板116の耳状部120の下に配置されている。
一対の精密整列ピン134a及び134bが溝126内に配置され、支持されており、また、二対の事前整列ピン136a,136b及び136cが整列ピンの各々の両端にある対向する側部入口124に収容されている。整列及び事前整列ピンの相対的配置は図7に最もよく示されており、整列ピン134aと134bの間に溝138を形成すると共に、それぞれ事前整列ピン136a及び136bとピン136c及び136dの間に2つの溝140を形成する。事前整列ピン対136a,136b及び136c,136dはそれらの整列ピン134a及び134bの直径より大きな直径を有しており、そのため溝140は溝138より大きくかつ深くなっている。2つの溝のサイズの相違は、光ファイバクラッディングされたコア142がクランプ110内に配置される時の本発明の重要な特徴である。
弾性押圧パッド144が蓋板116の凹部146内に保持され、永久磁石148が蓋板の他の凹部150内に保持されている。それぞれ整列板114及び蓋板116の永久磁石130及び148は互いに施錠可能な整列状態になっている。
精密整列板の目的は、外部基準ポイントに対するファイバコア142のy,z軸位置ばかりでなく事前整列及び最終整列ピンの両方の位置も限定することにある。したがって、整列板は、6個のピンの全てと下部磁石とを整列させると共に、台板及び蓋を通り越して延出して、他の保持装置と合わせられる精密整列面を提供する。
次に、台板は、整列板を支持し、4個の事前整列ピンを垂直に配置するための平面を作り出し、蓋枢軸ネジのための突起すなわち枢軸部材を提供する。
作業時、剥されたファイバのクラッディングされたコア142は、4個の事前整列ピンで作られた溝140の接線的ノッチ内に、すなわちピン136aと136bの間及びピン136cと136dの間に降ろされる。このより大きなノッチは、クラッディングされたコア142を、2つの精密整列ピンで作られた溝138のより小さなノッチ内に案内するが、ファイバの最終位置を制御しない。事前整列ピン対136c及び136dを越えて伸びたクラッディングされたコア142の一部152は“突出部”と呼ばれ、ファイバ処理の適切な部分で切断される。
クラッディングされたコアが2個の整列ピン上の適所に置かれた後、蝶番式クランプ蓋板116が、エラストマーが整列ピン134a及び134bにコアを押し付けることによって回転と突出の両状態にあるクラッディングされたコアを捕捉して保持する場所まで旋回される。クランプの両側にある事前整列ピンは剥されたファイバの手動挿入を助け、最終整列ピンはクランプ後のファイバの軸方向及び突出を限定する。
光ファイバ真空ホルダー
図10に示されるように、真空ホルダー210は、本体214からなるハウジング212と、本体214にボルトで締められるかさもなければ機械ネジ218で固定されるクランプ付属装置216を含む。
また図11に示されるように、本体214は、プラグ222で一方の端部が密閉され、他方の端部で真空ホースとフィッティング224へ取り付けられた貫通穴220を含む。また、本体214は、溝227を介して完全にホース220とやり取りする溝開口部226を含む。溝227は、そのうちの1つが図10に示されているシール228で両側面が密閉されている。したがって、真空ホルダー210は、その前面230を除いた全表面が密閉され、そのため、空気が適切な真空源で真空ホース及び管継手を介して抜かれた時、空気は前面230の溝開口部226を通ってのみ流れることができる。
図11乃至13にもっと良く示されているように、溝開口部226は、溝227で二股に分けられるU状ベッド232を含む。一対のゲージピン234が二股に分けられたベッド232に接合さもなければ固定される。ゲージピン234は、表面が高度に磨かれると共に完全にまっすぐかつ丸くされた固い材料で形成されている。ゲージピンの仕上げは光ファイバ238を傷つけないようにできるだけ滑らかにするのが好適である。ピン234の基本材料は焼き入れ鋼等の何か適切な材料からなる。ゲージピン234は、光ファイバ238を収容する長穴236を提供するように互いに分離されている。しかしながら、長穴236で提供される分離は、ゲージピン234上に置くことができるどんなファイバ238の直径よりも小さくなっている。ゲージピン234と光ファイバ238の直径、例えば200ミクロン、間のこの間隔は、約120°の光ファイバ及びゲージピン間の接近した角度接触を提供する。
光ファイバ238がゲージピン234上に置かれると、溝227を介して働く真空が光ファイバを真空ホルダー210にしっかり保持する。実験により、海面にある水銀柱の28.5インチの真空が適することがわかったが、水銀柱の27インチ以下の圧力は望ましい保持力を与えなかった。しかしながら、適切な保持力は、光ファイバの表面仕上げとゲージピン234間の間隔とに依存し、したがって、この圧力は例示のみにより与えられ、制限となるものではないことを理解すべきである。
本発明のホルダーの使用時、光ファイバ238を他の光導波路と整列させる目的で、光ファイバを回転させることが必要になることがある。この目的のため、図13に示されるように、固定されたエラストマーパッド240は、本質的にゲージピン234に対してはない摩擦を提供することに関して十分な特性を有するよう、選択される。真空によってそれに付着した光ファイバを伴う真空ホルダー210は、パッド240に対抗して、光ファイバとエラストマーパッドの接触をもたらすように持ち上げられる。矢印242の方向のホルダー210の運動は、ファイバ238がエラストマーパッド240によって、ゲージピン234の高度に磨かれた表面上で回転するのを可能にする。パッド234へのファイバ238の接触は、ゲージピン234との接触に対して約120°になっている。
再び図11を参照すると、V溝244が本体214の突出部を横切ってピン234と平行に伸びている。別の光ファイバ246がクランプ付属装置216でV溝内にしっかり保持される。光ファイバ246は、図17及び18に関して説明される本発明のその部分についてここに説明されるように、導波路への光ファイバの初期光放射の目的でそのクラッディングモードで使用される。
ゴニオメーターマッピング及び位置決め
ゴニオメーターが、集積光チップ内の導波路に対する光ファイバのような、導波路間の角度を正確に測定するためには、光ファイバの位置を正確に知ることが必要である。したがって、ゴニオメーターに対する光ファイバの位置決めと、ゴニオメーター及びチップが配置される構造とをまず決定しなければならない。
それに応じて図14を参照すると、集積光チップ(IOC)は、その入力端部部分310とその構成要素の光導波路の入力枝312で表わされるように、導波路枝312の出力端部で検出器314の近くに位置決めされる。光ファイバは、そのコア316で表わされるように、クランプ320及びホルダー322等のクランプ/ホルダーアセンブリ318内に適切に保持される。クランプ320は、図6〜9においてここで説明された位置維持及び移動光ファイバクランプ210からなっても良く、また真空ホルダー322は、図10〜13においてここで説明された真空ホルダー210からなっても良い。
クランプ/ホルダーアセンブリ318は、ニューポート(Newport)社で製造され、“1994ニューポートカタログ”と題する刊行物の6,16乃至6,18頁に開示されているもののような、従来構造のゴニオメーター324に固定されている。適切な光放射源からの矢印326で示される入力光は、コア316から導波路312に伝導されて導波路312を通り、そこから出力として矢印328で示されるように検出器314に伝導される。
図15は、ゴニオメーター324で得られる角度配置を表わす。ゴニオメーターは、接地装置に固着された部材330と、軸334に関して角度的に移動可能な可動部材332を含む。部材330及び332は、軸334の共通中心を有する円の円弧からなる近接配置された表面336及び338を含む。
また、図15は位置340にある光ファイバコア316も示している。ゴニオメーター軸334とコア316の位置340の間隔は、ΔRの距離だけ互いに間隔が置かれている。この距離ΔRは非常に小さく、一般にほぼ数ミクロンになっているが、光ファイバが、導波路枝312のような合わせられる導波路と整列される時に相当な誤整列を作り出すことに関しては十分に大きくなっている。したがって、周知の式、
で決定されるように、その座標Δy及びΔzに関してこのΔRを測定する必要がある。位置340にあるファイバのコア316の軸がゴニオメーター324の軸334と正確に一致すると共に、ゴニオメーター円弧表面336及び338が完全に円形に湾曲していた場合は、ΔRはないだろう。しかしながら、実際には、ゴニオメーター円弧表面336及び338は完全ではなく、光ファイバコア316はたぶん枢軸ポイントすなわちゴニオメーターの軸334に正確に位置しない。したがって、この軸からはずれた距離ΔRがどれくらいかを決定して、この距離を整列ロボット等の整列装置用のコンピュータメモリに入力することが必要である。
それに応じて、ゴニオメーター324は中心点342からその行程の範囲、約25°、まで点344及び346のその行程の終わりへ移動する。この行程距離は測定され、図16に示されるように描かれる。詳細には、光ファイバコア316は、放射によりy及びz軸に沿って既知の最大整列位置まで移動する。次いで、ゴニオメーター部材332が、要求されるどんな角度についても、考慮中の用途に必要な予め決められた角度分解能、例えば1°/4までファイバコア316を回転させるために回転する。次いで、ゴニオメーター324全体が移動して、光ファイバのy及びz軸の最大分解能、例えば0.1ミクロンまでy及びz軸を再整列させる。これは、この0.1ミクロンが既知の整列位置の最大分解能の場合である。。次いで、オフセットΔy及びΔzが決定され、角度、yオフセット及びZオフセット情報を結合する、整列ロボット用校正テーブルに記憶される。この処理は、ゴニオメーターの最大位置344から346まで、ゴニオメーター324の最大行程の角度分解能、すなわち±25°、の漸増のたびに行なわれる。
ゴニオメーター324の使用時、望ましいどんな角度位置へも移動させるために、y及びzオフセット画その角度に関する校正テーブルから得られる。同時に、ゴニオメーターとその支持された光ファイバは、ゼロ位置またはその位置プラスコアが変位したいずれかの角度から、ゴニオメーターによるその角度まで移動し、ゴニオメーターの下のy及びzステージが校正テーブルで決定された通りのそのオフセットまで移動する。
これらの工程は、付属マイクロフィッシュに含まれるソースコード、詳細には校正モードのルーチン390〜392と使用モードのルーチン588〜590、の使用により遂行される。
この表記載のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されるように、項目番号390〜392及び588〜590に含まれている。
初期光放射
したがって、図17に示されるように、集積光チップ410は、入力枝414と一対の出力枝416及び418を備えた導波路412を含む。チップ410は、入力光ファイバ420と出力光ファイバ422及び424の間に位置決めされる。入力光ファイバ420は導波路412の入力枝414の近くに位置決めされ、出力光ファイバ422は出力導波路枝416の近くに位置決めされる。出力光ファイバ424は、この文書の図17及び18に関する説明の目的のためのどんな現在位置決め必要性も持っていない。
ファイバは、ファイバ420用保持チャック426とファイバ422及び424用保持チャック428内にしっかり保持される。両チャックは望ましいどんな形状にもできるが、好適には、図10〜13に関してここで説明された真空ホルダー210にしたがって構成される。詳細には、入力光ファイバ420は真空チャック426の真空凹部430内に保持され、出力光ファイバ424は同様のホルダー428の真空凹部432内に保持される。しかしながら、出力光ファイバ422は真空チャック428のV溝434内に固定される。このV溝434は図11のしるし244で示されている。
本発明の目的のため、光ファイバ422は、クラッディングモードで動作するように配置されなければならない、すなわち、そのクラッディングは光を伝導することができなければならない。詳細には、図18に示されるように、光ファイバ422は従来構造のものであり、クラッディング422b内に支持されるコア422aを含む。被覆422cがクラッディングを囲んでいる。クラッディング422b内の応力部材422dはコア422aに応力を与える。典型的には、コア422aは6ミクロンの直径を有し、クラッディング422bは80ミクロンの直径を有する。特定のファイバ422が説明されているが、従来構造の他のファイバも、ここに説明されている特定のファイバと同様に使用のために適用することができ、同じメリットを持って代わりに置換することができる。それにより、ファイバ422のクラッディング422bは、現在説明されているように、出力導波路枝416から放射する光の採光筒として使用される。
使用されるべき本発明のこの部分のために、光が矢印436で示されるように光源からファイバ420に入力されなければならず、ファイバ422から出る光は従来の仕方で検出器438へ注がれる。
作業時、出力ファイバ422は導波路枝416の約50ミクロン以内に配置される。クラッディング422bは直径が80ミクロンなので、この50ミクロン配置は達成するのが難しくない。次いで、光が、その入力枝414から導波路412を通って放射されるまで、入力ファイバ420からラスターされる。このラスタリングは、入力ファイバ420が5ミクロン以内に整列されるのを可能にする。次いで、ファイバ420は、図19〜21に関してここに説明される手順及び装置を使用して0.1ミクロン以内まで入力導波路枝414に対してより正確に整列される。
入力ファイバ420が入力導波路枝414に対して正確に整列されると、光ファイバ424が、真空チャック428の関連移動によって導波路出力枝416に対してそのy,z及びx軸に沿って整列される。次いで、他の光ファイバが導波路出力枝418に対してそのy,z及びx軸に沿って整列される。これらの整列は、y,z軸整列のための図19〜21及びx軸整列のための図24及び25に関してここに説明される装置及び手順によるような、何か適切な手段で得ることができる。
平坦な位置配列
次に図19を参照すると、断面で示されている集積光チップ(IOC)510は光導波路512を支持している。導波路512は、入力枝514と1つまたはそれ以上の出力枝516を含む。クラッディングされたコア518を有する光ファイバは何か適切な構造のホルダー520内に固定される。しかしながら、ここに説明された図10の真空ホルダーが好適である。コア518は、何か都合の良い整列手段の使用により入力導波路514に±5ミクロン以内にそのy及びz軸に沿ってほぼ整列される。好適には、このy−z整列は、クラッディングモードで動作する光ファイバ434を用いて、ここに図17及び18に関して前に説明された装置を使用する。
次に、コア518はその軸の1つ、例えばy軸に沿って機械的に移動されるがz軸は受け入れ可能なものとなる。このy軸に沿った移動は、図20に示されるように、ガウス型曲線524に示されるパワー及び位置測定量を得るのに十分な速度で、チップのしるし522で確認される面と平行な平面にある。コアを介して光を放射することによって、点524a及び524a′等の一対の点間にある曲線524の一部分で表わされるように、光を検出することができる。各点524a及び524a′にある接線526a及び526a′で確認されるように、各点の傾斜が検査され、予め決められた方向の運動として測定される。このデータから、ファイバ及びそのクラッディングされたコア518が、増大した光伝導、すなわちより多いパワーを提供する方向に導波路枝514に対して移動しているかどうかを知ることができる。これらの測定量は曲線524の傾斜で表わされる。スキャニングは、スキャニングが始まる所から経験的にまたは理論的に予め決められた符号及び傾斜まで進む。この経験的または理論的予決は導波路デザインに依存する。測定量は、移動が曲線に沿って先んずるにつれて得られる。測定量の数は、点524から524a′へ及び点524a′から524aへの移動の速度に依存する。
上記に説明した、チップ510と平行なy軸におけるファイバコア518の移動は、光パワー出力データが最大可能取得率で取得される間行なわれる。データは、その機械的位置に対する光パワーを含んでいなければならず、何か適切な曲線にあった曲線となる。この適切な曲線は、わずかなファイバ移動に対して最良の結果を提供するように決定されたものであり、この曲線から最大パワーが計算される。次いで、ファイバコアはこの最大パワー出力点まで移動する。次いで、光パワーメーター帯域幅限界のため、この掃引は反対方向に繰り返され、その結果は、図21に示される相互に置換されたヒステリシス曲線528及び530で示されるように、線532で示される平均最大位置を決定するために平均される。この平均化は、遅い光メーターで生じるヒステリシスを正確に除去しながら、0.1ミクロン以内のy整列を提供する。
上記の工程は、0.1ミクロン以内までのz整列を得るために、直交するz軸においてチップと平行に繰り返される。
本発明の実行に有効なアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.現在位置情報の取得及び保存。
2.光パワーメーター読み取り値の取得及び後の基準としてのこの読み取り値の記憶。
3.正または負のいずれかの方向への関連軸における移動の命令。(チップの端面と平行な移動のため、移動は、ファイバの端部とチップの端面の間の距離を維持するように2軸で行なわれる。)
4.モーター位置エンコーダへの質問及び移動を始めるためのステージの待機。
5.現在の光パワーメーター読み取り値がステップ#2のルーチンの開始で得られる読み取り値と比較される場合の状態制御ループの開始。
6.この初期ルーチンは、最適整列位置すなわち最大パワー出力位置に対してファイバを明確に配置するように行なわれる。
7.ステップ3で行なわれたと反対の方向にファイバを移動するステップ#2〜5の繰り返し。その結果生じるデータを二次曲線に曲線合わせ。最大パワー位置の決定。これは最適に整列されたファイバ位置となる。その結果の記入。
8.反対方向へのステップ#7の繰り返し及びその結果生じる位置情報の平均化。反対方向のデータのこの平均化は、光パワーメーター帯域幅を補正してヒステリシスを除去するために行なわれる。
9.この平均化された整列位置にファイバを移動。そこで、ファイバはこの軸において最適に整列される。
10.前ステップで行なわれた軸と垂直かつチップの端面と平行な軸似置けるステップ2〜9の繰り返し。
11.そこで、ファイバはチップ端面の平面に最適に整列される。
この表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されるような項目番号384〜389に含まれる。
角度位置配列
図22を参照すると、断面で示されている集積光チップ(IOC)610は光導波路612を支持している。導波路612は、入力枝614と一対の出力枝616及び618を含む。光ファイバ620は、導波路出力枝616の端部と整列状態にしっかりと保持された入力端部622と、出力すなわちファイバ最適化端部624を有する。ファイバ620は、その端部622と624の中間にコイル部分626を有する。ファイバ最適化端部624は、課せられた特定の手順ステップによって決まる偏光検出器628または導波路枝618のいずれかに位置決め可能である。偏光検出器628は、レンズ630と、検出器632と、レンズ630と検出器632間に位置する偏光器634を含む。偏光器には、調整可能な偏光軸636が備えられている。検出器632は軸636の静止部分に固定されている。
光ファイバ620の偏光軸を集積光チップ610の導波路枝618の偏光軸に回転的に整列させる前に、偏光検出器628は、従来手段によりまたは本発明の使用により、チップ610の偏光軸で校正される。
この回転整列処理、すなわち、光ファイバ620の偏光軸を集積光チップ610の導波路枝618の偏光軸に整列させる際、ファイバの吸光比が最大化変数として使用される。
作業時、回転的に最適化されるべき光ファイバ620は、その入力端部622で、図10においてここに開示されている真空ホルダーのような何か適切なホルダーに固定され、導波路出力枝616の出力に整列される。ファイバの出力端部624は偏光検出器628に配置される。次いで、検出器632の偏光軸がファイバ620の偏光軸620と整列される。ほぼ整列されたファイバは導波路枝618に移動され、y軸及びz軸整列に関連する図19〜21とx軸整列に関連する図24及び25に関してここに説明された手順及びメカニズムにしたがって、それぞれy,z及びx軸に沿って導波路枝618に整列される。整列の順序は重要である。
チップ導波路出力枝618対ファイバ620の吸光比が、最大化ルーチンのステップサイズを決定するのに用いられる値を得るために測定される。測定は以下の手順にしたがって進められる。まず、ファイバ端部624がステップ式に回転され、図23に示されるような曲線638及び640を作る測定点を得る。詳細には、測定点は偏光器の90°及び0°またはその逆ごとにとられ、曲線638及び640に合う点638a及び640aとして角度位置軸に沿って等距離的に記入される。第二に、最小回転調整が改良されたニュートン−ラフソン法の使用で確認され、詳細には曲線638と640の中間に線642を引くことによってファイバ対チップの吸光比が最小にされる。第三に、ファイバ端部624が各回転整列と共に導波路枝618に整列される。これは、光ノイズを最小にし、整列の精度を増すのに役立つ。
上述の手順により、例えば−40dBという低い吸光比を有するファイバを、ほぼ同じ時間で、より高い吸光比を有するファイバと同じ精度で回転整列させることができる。
本発明を実行するのに有効なアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.ファイバ(620)が、視覚整列ガイドとしてファイバ自由端(622)の切断角度を使用して視覚的に回転整列される。
2.ファイバの一方の端部624(ここではファイバの“最適化端部”と呼ばれる)が、変更検出器(628)の入力(629)に配置される。検出器は、以前にステーション校正手順の一部としてIOCの偏光軸と視覚的にほぼ整列された調整可能な偏光軸(636)を有する。
3.ファイバ長の他方の端部(622)が、例えば図19〜21に関してここに説明されたy及びz軸整列ルーチンを用いて光チップの出力(616)に整列される。これはファイバ“自由端部”である。
4.検出器(632)の偏光軸(636)がファイバ最適化端部(624)の偏光軸と整列される。次いで、このファイバは、ファイバ最適化端部(624)がほぼチップと整列されるように回転される。この事前整列はこの回転整列ルーチンの速度を改善するために行なわれる。
5.ある程度のエラーチェックがここで行われ、ファイバに必要な回転が、ファイバを回転させるのに使用された装置の能力を超えないことを保証する。このエラー状態が検出された場合は、ファイバは別の再整列ルーチンに移行される。この再整列ルーチンは、ゴニオメーター324内のファイバの再整列により、図14〜16に関してここに説明された手順の使用により遂行することができる。
6.ファイバの自由端部(622)はある検出器まで移動され、もし望む検出器632ならば、その偏光軸に回転的に整列される。
7.次に、ほぼ整列された最適化ファイバ端部(624)は、例えば図19〜21に関してここに説明されたy及びz軸整列ルーチンを用いて、チップに枝618の所に移動され、整列される。
8.ファイバ対チップギヤツプが、例えば図24及び25に関してここに説明されたx軸整列ルーチンを用いて設定され、ファイバは、ファイバ回転の間チップと接触しないようにチップから予め決められた距離移動される。
9.チップ体ファイバの吸光比が測定される。この値は最大化ルーチンのステップサイズを決定するのに使用される。この方法を用いて、低い吸光比を有するファイバを、ほぼ同じ時間で、より高い吸光比を有するファイバと同じ精度で回転的に整列させることができる。このステップサイズは重要なパラメータである。ステップが少な過ぎると、模範にできない吸光比曲線が生じるだろう。また、ステップが多過ぎると、二次モデルと共に模範にできない曲線が生じるだろう。吸光比とステップサイズの関係は経験的に決定されている。
10.吸光比が測定され、ファイバが予め決められたステップサイズの漸増で回転される。各ファイバ回転後、ファイバは、図19〜21に関してここに説明されたYZMAXルーチンを用いて、チップの導波路枝618の所に再整列され、光パワー変動を最小にすると共に精度を改善する。したがって、曲線638を構築するために用いられる各測定点638aのため、YZMAXルーチンを使用し、後でステップ11において、曲線640を構築するために用いられる各測定点640aと同じ動作を実行する必要がある。
11.この回転及び測定は、傾斜の変化が検出されるまで同一方向で続けられる。
12.傾斜変化の両側の3つの測定量が得られるまで、測定量がステップサイズの漸増で取られる。各回転後ファイバを再整列することに伴う時間のため、測定量は保存され、ステップ10及び11の手順を行なった結果として、他の回転位置で再度取られる測定量はない。換言すれば、4つの漸増的測定量が取られ、傾斜変化が検出される前に記憶された場合は、これらの測定量は、傾斜変化の両側の3つの測定量を得るために繰り返される必要がなくなるだろう。
13.データは二次モデルに曲線合わせされ、最大吸光比点が予測される。
14.ファイバがこの最小化された位置に回転される。
15.データが記入され、ファイバが最適化端部624の所でチップの導波路枝618の所に再整列され、このルーチンが退出される。
上述のステップ6〜8に代わるものとして、メレス グライオト(Melles Griot)社により、例えば、“ファイバ光学、光学、レーザー、集積光学のためのナノ位置決め用ガイド構成要素及び装置”,著作権1993年、と題するパンフレットに開示された方法のような、何か同等の方法を使用することができる。
上記の表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されているように項目番号395〜405に含まれている。
ギャップの確立
それに応じて、図24に示されるように、クラッディングされたコア712が、図10〜13に関してここに説明された真空ホルダーのようなホルダー714内に保持される。集積光チップ716は、入力枝720と一対の出力枝722及び724を有する導波路を含む。ファイバコア712は導波路入力枝720の近くに位置決めされる。光ファイバコア712はそのホルダー714で導波路720に精密に位置決めされる。クラッディングされたコア712の軸は導波路枝720の軸に平行に位置決めされるが、その軸からオフセットされている。なぜなら、クラッディングされたコア712には、技術上周知のように、光がコア内に戻らないように、クラッディングされたコアの軸に関して非垂直的に角度をなしている切断面726が備えられているからである。切断面726の角度付けの結果として、光は、非軸方向進路728に沿ってクラッディングされたコア712から導波路枝720に進む。
ホルダー714の位置とその保持された光ファイバ710は、y及びz軸に沿って、すなわち導波路718の軸に垂直な平面で、精密に位置決めされる。この位置は、図19〜21に関してここに説明されたものや、メレス グライオト(Melles Griot)社により、“ナノ位置決め用ガイド”、副題“ファイバ光学、レーザー、集積光学用構成要素及び装置”と題する1993年発表の刊行物に示されたもののような、いずれかのy,z軸整列技術の使用によって得られている。この刊行物は、7−2及び7−3頁にその会社の自動ファイバ整列技術を開示している。また、他のy,z軸整列技術は米国特許第,278,934号に開示されている。
この精密な位置決め後、ファイバ710は、ホルダー714で、光進路728に挿入された両頭矢印線730で示される進路に移動される。この移動と同時に起こる、光源からの光が、矢印732で示されるように、光ファイバコア712に介して注がれ、導波路716を通って進む光が検出器734に注がれる。
面726から進路728に沿って導波路入力枝720へ移動する光と、矢印736で示されるように、そのx及びy軸に沿ったホルダー714及び光ファイバ710の移動の存在は、記録されると共に、図25に示される曲線738に示されるように表示される。導波路の方への光ファイバの初期行程の間、パワー対位置曲線関係は曲線738の曲線部分740に示される。面726が導波路入力枝720の端部と接触する地点で、ホルダー714の前進移動が停止される。x軸に沿った移動に対する点ベクトルの位置決めデータが将来の基準用にコンピュータメモリに記憶され、次いで、光ファイバとその端面726は、導波路入力枝720及び集積光チップ716から予め決められた適切な距離、例えば15ミクロン、まで離れるように戻る。
このアルゴリズムのソフトウェアシーケンス表は以下の通りである。
1.現在位置情報の取得及び保存。
2.ファイバを、ビーム進路、すなわちビームがチップを出る時に取る進路に沿って、チップ716から10ミクロンだけ離れるように戻す。これは経験的または分析的のいずれかにより決定される。また、これは、ビーム進路内外へのファイバの移動がファイバで測定されたパワーのモデルにできない変動を生じるので重要である。
3.使用される字句の異同速度を遅い速度(5ミクロン/秒)に設定。
4.チップの方への移動の命令及び状態ループの開始。この移動は再度ビーム進路に沿って行なわれるべきである。
4.1 光パワー読み取り値及び位置エンコーダ読み取り値の取得。これらを後続の記入及びモデル化のために保存。
4.2 光パワー出力における鋭い不連続を監視。これは、ファイバがチップの端面に接触し、ビーム進路外に押し出されたことを示す。これが起こった時、ループを出る。(また、いくつかの他のエラー状態がこのループの間にチェックされ、ファイバがうっかりしてチップの方へ行き過ぎるように命令されないことを保証する。)
5.ループを出た後、移動制御装置に全移動を停止するよう命令。操作者のために移動情報を印刷。
6.ファイバをビーム進路に沿ってチップから予め決められた距離離れるように移動。これが“ファイバ対チップギャップ”になる。
この表のためのソースコードは、付属マイクロフィッシュに含まれる全ソースコードに示されているように項目番号393に含まれている。
導波路取り付け
図26及び27は、入力枝814と一対の出力枝814及び818を含む導波路812を有する集積光チップ(IOC)810を示している。枝814は、混合接着剤ボンド822で入力光ファイバ820に接合される。枝816及び818は、それぞれ、混合接着剤ボンド828で光ファイバ824及び826に接合される。表示の光ファイバと導波路枝間のボンドは、以下の説明及び関連する図28〜35にしたがって作られる。
図28に示されるように、ポット830にある量の接着剤、例えば硬化可能なエポキシ樹脂が入っている。ポット830の上には、軸線836(図32と図33参照)と、表面がでこぼこの表面840を提供するためにでこぼこにされた周囲838とを有する棒834がぶら下がっている。この表面のでこぼこは、後で説明されるように、接着剤832の適度な量を棒に付着させるのに十分なものになっている。好適には、棒834は、棒の全行程及び位置決めを制御するのに使用されるサービスロボット841に固定されている。
本発明の実施時、棒834は、矢印842で示される方向に接着剤832の中に、少量の接着剤が棒834のでこぼこの表面840にくっつくことができる程度まで、十分に挿入される。次いで、図29に示されるように、棒は、接着剤が接着剤のかたまり846の形で棒にくっつくことができる速度で、矢印844の方向に接着剤832及びポット830から引き上げられる。かたまり846に含まれる接着剤の量は、導波路枝816等の導波路へのファイバ824等の光ファイバの後での固定に必要な量より多くなっている。また、この時点のかたまり846は好適な形状を持っていない。
望ましい形状を得るために、図29の棒834及び接着剤のかたまり846がそれぞれ矢印850の方向に下げられ次いで上がれて、追従表面852と接触する。この作用は、かたまり846のわずかな過剰量を追従表面852上に堆積させる。棒834上の接着剤の残りが図30に示されており、かたまり848を構成する。この形状にされたかたまり848は、その中央位置848aがその上部及び底部848b及び848cから識別されるように実質的に一定の管状厚さを有しているという点で、かたまり846と異なっている。中央位置848aにおける接着剤のこの一様に一定の厚さは、後で行われる光ファイバコアの端部上への接着剤の堆積が正確かつ一定の分量になることを保証する、本発明の重要な態様である。
光ファイバのコアへの接着剤の付着は図30以下参照に示されている。ここで、光ファイバ824は、例えば80ミクロンの直径を有するクラッディングされたコア854を含む。コア854は、従来のもののように、その末端面858がコアの軸の非垂直的な角度で切断された先端856を有する。先端表面858は、光が反射してコアに戻らないようにするために従来通りに切断されている。導波路枝816と、特に集積光チップ810の端部860は、光ファイバ824とコア854の先端856から正確な距離に位置決めされる。この正確な距離は前に確かめられている、例えば整列ロボット857のメモリに記憶されており、その3軸の正確な座標と偏光角度とは、整列ロボットコンピュータメモリに設定されている。この位置は、先端856が導波路816の端部860に対して位置決めされる整列の正確な点を確立する。
接着剤848から測定された量を先端856に付着させるために、光ファイバ及びコアは、棒834及びその接着剤かたまり848がクラッディングされたコア端部と導波路端部860の間に配置されるのを可能にするために、チップ810から適当な距離戻される。この位置決めは図31に示されている。
図32に示されるように、より大いに重要なコア854の軸は、棒834の軸836からわずかに中心を外れて位置決めされている。コア854とその先端856の切断された斜面858との正確な位置決めは、棒834の周囲838上の接線に平行に位置決めされている。面858と接線862間の平行は、図33に示されるように、先端856が接着剤との接触に起こす時に、接着剤848の正確な量が端部856上に一定の被覆を形成することを保証する。クラッディングされたコア854は矢印864の方向に引かれ、その結果、コアは棒834及び接着剤848から後方に間隔を置かれる。図34に示されるように、少量の接着剤が、先端856のまわりに実質的にむらのないようにキャップ868として一様に堆積される。接着剤キャップ868のこの均等性は、接着剤848の中央位置848aの実質的に一定の厚さと面858及び接線862間の平行によって決まる。
次いで、図34に示されるように、棒834が、コア854と集積光チップ810の間のその位置から引き上げられる。次いで、エポキシ樹脂が固まる機会を持つかまたは固められる前に、ファイバ826が、矢印870で示される方向のチップ810の方へ移動されて、接着剤キャップ868を導波路端部860と接触させ、次いで、整列ロボット857のコンピュータメモリに前に記録された位置情報によって事前設定されたように、そのy及びz軸に沿って再整列され、エポキシ樹脂と空気間の屈折率の差が補償される。この再整列は、コア854が導波路816の端部860に対してその正確な位置に移動し、図35で示されるボンド872を形成するのを可能にする。先端856に付着したキャップ868の接着剤の正確な量は、導波路810の表面にボンド872のなだらかな傾斜874を提供する。また、図35は、傾斜878を有するボンド876でチップ810の導波路818に固定されたクラッディングされたコア875を有する第2の光ファイバ826も示している。ボンド876はボンド872と同じように正確に形成されている。ボンド872及び876の正確で注意深い位置決めは、その間に間隔すなわちギャップ880があるようになっている。ボンド872及び876を形成する接着剤が硬化により収縮し、その結果、ボンドと、コア854と導波路816間及びコア875と導波路818間とに応力を作り出すことがあるので、このギャップ880は重要である。したがって、ボンド872と876が接触しないことが重要である。
本発明はその特定の実施例に関して説明されたが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく本発明に種々の変更や修正を行なうことができることを悟るべきである。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明の好適な一実施例のブロック図(数字10〜99が適用)である。
図2は、(a)集積光チップ(IOC)とその内蔵導波路を正確に支持するホルダーアセンブリと、(b)IOCホルダーアセンブリ内の集積光チップ導波路への光ファイバの整列取付に関する各仕事を実行するサービス及び整列ロボットを示す好適な一実施例の図面を示す図(数字10〜99が適用される)である。整列ロボットとその3つの光ファイバ保持アセンブリは、図4〜9の位置維持及び移動光ファイバクランプと図11〜13の真空ホルダーを含み、それぞれ、各IOC導波路との整列のために入力光ファイバと2本の出力ファイバを支持する。
図3は、図2に示された図面の一部の図面であり、接着剤塗布具のような道具のためのサービス道具保持アセンブリ、真空ピックアップメカニズム及び観測装置を含むそのサービスロボットのアームを示す図(数字10〜99が適用)である。
図4は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図5は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図6は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図7は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図8は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図9は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちのの一構成要素であり、図2の整列アセンブリに内蔵される前にその先端が切断される時の光ファイバの保持固定具として使用され、切断後に図2の整列ロボットで光ファイバ及びその先端をしっかり保持するのに用いられる、位置維持及び移動光ファイバクランプを示す図(数字100〜199が適用される)である。
図10は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図11は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図12は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図13は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であり、その集積光チップ導波路への各光ファイバの整列取付の間光ファイバをしっかり保持するための真空ホルダーを示す図(数字200〜299が適用される)である。
図14は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図15は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図16は、図2に示された光ファイバ保持アセンブリの全部のうちの一構成要素であるチップ内の導波路とだいたい整列される集積光チップとゴニオメーターで支持された光ファイバの概略図、ゴニオメーター及びファイバ移動を示す図、及び、ゴニオメーターとそれにより支持された光ファイバの移動を示すグラフの図(数字300〜399が適用される)である。
図17は、入力光ファイバと、初期光放射のためにそのクラッディングモードで機能する他の光ファイバ(同様に断面で示される)間に保持されたIOC導波路を示す図(数字400〜499が適用される)であり、入力ファイバは真空ホルダーのうちの一方の真空チャックに保持され、クラッディングモード光ファイバは真空ホルダーのうちの他方のV溝内に保持されている。
図18は、入力光ファイバと、初期光放射のためにそのクラッディングモードで機能する他の光ファイバ(同様に断面で示される)間に保持されたIOC導波路を示す図(数字400〜499が適用される)であり、入力ファイバは真空ホルダーのうちの一方の真空チャックに保持され、クラッディングモード光ファイバは真空ホルダーのうちの他方のV溝内に保持されている。
図19は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図20は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図21は、集積光チップ及びその導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示的部分と、集積光チップ内のIOC導波路枝に対する入力及び出力ファイバの平坦な位置整列のための、光ファイバの位置の関数としてのパワーを示す一対の曲線を示す図(数字500〜599が適用されている)である。
図22は、集積光チップ及びその導波路と図2及び3に示された光ファイバ保持アセンブリの一部の表示である関連偏光装置の図と、光ファイバの角度位置(e)の関数としての吸光比を示す曲線を表す図(数字600〜699が適用されている)である。
図23は、集積光チップ及びその導波路と図2及び3に示された光ファイバ保持アセンブリの一部の表示である関連偏光装置の図と、光ファイバの角度位置(e)の関数としての吸光比を示す曲線を表す図(数字600〜699が適用されている)である。
図24は、集積光チップ及びその入力導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示部分と、ファイバの端部とその関連導波路間のギャップを決定するための、光ファイバのx軸位置の関数としてのパワーを示す曲線を示す図(数字700〜799が適用されている)である。
図25は、集積光チップ及びその入力導波路の拡大図と、図10〜13に示された真空ホルダーの表示部分と、ファイバの端部とその関連導波路間のギャップを決定するための、光ファイバのx軸位置の関数としてのパワーを示す曲線を示す図(数字700〜799が適用されている)である。
図26は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図27は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図28は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図29は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図30は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図31は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図32は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図33は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図34は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
図35は、好適な実施例では、各IOC導波路に対する入力及び出力ファイバと、隣接ファイバとそれらのボンドによる応力を防止するためのファイバ対ファイバボンド間のギャップの用意を含む、光導波路を互いに取り付けるための装置の図(数字800〜899が適用されている)である。
Claims (4)
- 入力及び出力ファイバ(22、24、26)を導波路に整列取付けする装置であって、入力光ファイバ(22)、出力光ファイバ(24、26)及び該入力光ファイバと該出力光ファイバ間に介在しそれらの間に連結される導波路(14)からなり、該導波路は入力及び出力枝を有している装置において、
サービス手段(42)がx、y及びz軸方向の直角動作によって該導波路の3次元位置を粗く設定し、
整列手段(48、50、52)が、x、y及びz軸方向の直角動作及びx軸に対する回転/角度調整動作(θ)によって、該入力ファイバ(22)を導波路入力枝に対して、及び該出力ファイバ(24、26)を該導波路出力枝(18、20)に対して3次元位置的及び角度的により精密に配列し、
前記サービス手段に連結された手段(46)が、該入力ファイバを該導波路入力枝に、及び該出力ファイバを該導波路出力枝に接着して接合し、
該整列手段が、前記ファイバと該導波路入力枝との精密な配列を可能とするために、前記導波路出力枝(416)から放射する光の初期放射のための採光筒として機能することができる第3の光ファイバ(422)を保持する手段(428)、及び前記第3の光ファイバ(422)と前記入力光ファイバ(420)間の初期光伝導を得るように前記導波路入力枝(414)の所で前記入力ファイバ(420)をスキャンする手段を含み、
前記手段(46)において、さらに、
前記光ファイバのうちの1つの先端をその関連する導波路枝の先端に取り付けるための道具を備え、該道具が、
前記サービス手段に連結され、接着剤の供給源に浸されて該供給源から接着剤の選択された量を抽出するように配置された凸凹の表面、及び
該道具から少量の接着剤を除去して、一定厚部分を有する接着剤の残りの少量を提供する手段
を有し、
前記整列手段が、前記1つの光ファイバとその先端を取り付け準備状態に位置決めし、
前記サービス手段が、前記道具とその上にある接着剤の残りの少量とを前記光ファイバと導波路枝先端の間に位置決めし、
前記サービス手段が、前記ファイバ先端を前記接着剤の一定厚部分と接触させ、次いで、前記ファイバ先端を前記接着剤の一定厚保部分から引いて、前記ファイバ先端に一様な接着剤堆積を残し、
前記整列手段が、前記ファイバ先端とその上にある前記接着剤堆積を前記導波路先端と接触するように移動し、前記先端を互いに接合させることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置であって、さらに、
導波路枝各々に対する同一平面上での位置整列のために、前記光ファイバ各々の位置に対する光パワーを判定する手段
からなる装置。 - 請求項1記載の装置であって、さらに、
前記ファイバ及び関連する導波路枝の各々について、該関連する導波路枝に対する角度位置(θ)の関数として該光ファイバの吸光比を判定する偏光手段
を含む装置。 - 請求項1記載の装置であって、さらに、
ファイバ位置記録手段からなり、
前記ファイバ及び関連する導波路枝の各々について、前記整列手段が前記光ファイバの1つをその関連する導波路に対して位置決めし、前記ファイバ位置記録手段で接触位置を記録するために前記1つのファイバが前記関連する導波路に接触するまで前記1つのファイバを前記関連する導波路の方へ光進路に沿って移動させ、前記ファイバを前記接触位置から離して所定の距離までわずかに戻す装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US30090194A | 1994-08-31 | 1994-08-31 | |
US08/300,901 | 1994-08-31 | ||
US08/473,127 US5926594A (en) | 1994-08-31 | 1995-06-07 | System and method for aligning and attaching optical fibers to optical waveguides, and products obtained thereby |
US08/473,127 | 1995-06-07 | ||
PCT/US1995/010839 WO1996007118A2 (en) | 1994-08-31 | 1995-08-25 | System and method for aligning and attaching optical fibers to optical waveguides, and products obtained thereby |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10505919A JPH10505919A (ja) | 1998-06-09 |
JP3853841B2 JP3853841B2 (ja) | 2006-12-06 |
JP3853841B6 true JP3853841B6 (ja) | 2007-04-04 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5926594A (en) | System and method for aligning and attaching optical fibers to optical waveguides, and products obtained thereby | |
US7715129B2 (en) | Method for aligning and assembling two lens pieces, and a machine to accomplish this task | |
EP1924954A2 (en) | Method for aligning and assembling two lens pieces, and a machine to accomplish this task | |
US4721357A (en) | Methods of and apparatus for reconfiguring optical fiber connector components and products produced thereby | |
EP0763758A1 (en) | Optical fiber ferrule assembly having angular index showing polarization plane | |
US5131745A (en) | Method and apparatus for aligning the optical axis of a fiber optic element with the axis of rotation | |
JP2010507110A (ja) | 光ファイバに光を導入するための装置 | |
US6870628B2 (en) | Alignment of optical fiber to optical port of integrated optical circuit | |
CN108196337B (zh) | 一种保偏光纤阵列的制备设备及制备方法 | |
CN101556354B (zh) | 现场端接方法和装置 | |
JP3853841B6 (ja) | 光導波路への光ファイバの整列取付装置及び方法とそれにより得られる製品 | |
JPH10123356A (ja) | 光伝送部材の位置測定方法および光デバイスの製造方法 | |
JP3942458B2 (ja) | 光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置および光ファイバ位置測定装置 | |
JPH09505674A (ja) | 微小整列方法 | |
JP2002501214A (ja) | 偏波保存コネクタ | |
CN111123438B (zh) | 尾纤加工装置及尾纤加工方法 | |
JP4614264B2 (ja) | 研磨方法および研磨システム | |
JP3645520B2 (ja) | 光ファイバ付き単心フェルールの偏心量測定の参照光入射方法とその装置 | |
Leenman et al. | Rotation-free industrial alignment of high performance optics | |
JP3140643B2 (ja) | 光ファイバ簡易コネクタ | |
CN117092774A (zh) | 一种激光镜片固定方法以及装置 | |
JP2007033283A (ja) | スリーブの接続損失測定装置およびそれを用いた接続損失測定方法 | |
JPH0439048B2 (ja) | ||
Lindenmeyer | Proposed method of assembly for the BCD silicon strip vertex detector modules | |
CN117406340A (zh) | 一种保偏光纤定轴方法及装置 |