JP3848528B2 - ロール型ブラシの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、金属、非鉄金属等の表面を研磨したり、半導体ウェーハ、液晶基板等を洗浄するロール型ブラシの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属の加工表面や溶接部を研磨して仕上げ加工したり、半導体ウェーハ、液晶基板等を洗浄するロール型ブラシが知られている。ロール型ブラシは、図7及び図8に示すように、コア1と、このコア1に嵌合されるリング部2およびこのリング部2から放射状に突出するブラシ部3とからなり、前記コア1の軸方向に積層される複数のリングブラシ4とから構成されている。
【0003】
そして、使用目的によってコア1に対してリングブラシ4の枚数を増減でき、広い被研磨面あるいは洗浄面を洗浄する場合には、リングブラシ4の枚数を増加し、狭い被研磨面あるいは洗浄面を洗浄する場合には、リングブラシ4の枚数を減少することができるようになっている。ロール型ブラシは、そのコア1を電動機械の回転軸に装着して回転させ、ブラシ部の毛先を被研磨面あるいは洗浄面に押し当てることにより、被研磨面を研磨あるいは洗浄することができる。
【0004】
前述のように構成されたリングブラシ4を複数個用意し、軸1の軸方向に嵌合して積層した場合、図8に示すように、隣り合うリングブラシ4のリング部2相互が当接するため隣り合うリングブラシ4のブラシ部3相互間に隙間gができてしまうという問題がある。つまり、ロール型ブラシの軸方向の全長に亘って均一なブラシ毛密度に構成することは不可能であって、リングブラシ4の相互間のブラシ部3に粗の部分ができ、ブラシとしての品質の低下となり、被研磨面に縞模様の痕を残すことになり均一に研磨することができない。なお、図8のリングブラシ4のリング部2は、ブラシ毛を二つ折りし、その折曲部を掛止するリングを含み、ブラシ毛の折曲部をカシメリングによって加締めたものであり、一部を断面して示し、他は省略している。
【0005】
そこで、前述のような問題を解消するために、本出願人は、個々のリングブラシを波形に形成したロール型ブラシを既に特願平10−220533号として特許出願している。この波形のロール型ブラシは、隣り合うリングブラシのリング部が回転不能に結合された状態となり、かつ一対の固定リングによって圧縮された状態であるため、軸に対してリングブラシが回転することはない。しかも、ブラシ部はリング部の形状に沿って波状のうねりを呈しており、このブラシ部もリング部と同様に側面視でS字状に成形されている。このように形成されたリングブラシをその軸心を中心として回転させると、ブラシ部の毛先は側面視で8の字状を描きながら回転することになる。つまり、リングブラシの毛先は被研磨面あるいは洗浄面に対して連続したS字状を描くことになり、ブラシ部の実際の幅よりも2倍以上の研磨幅を持つことになるとともに、ロール型ブラシの軸方向に亘って均一なブラシ毛密度に構成でき、被研磨面に対して縞模様の痕を残すことなく、均一に研磨できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ロール型ブラシは、リングブラシのコアに嵌合されるリング部が金属製であり、リング部は、一定の長さに切断されたブラシ毛を二つ折りし、その折曲部を金属リングに掛止し、この金属リングをブラシ毛の折曲部とともに、金属製の鳩目ナットによってカシメ固定したものである。
【0007】
従って、コアに対して複数枚のリングブラシを嵌合してロール型に構成すると、ロール型ブラシ自体の重量が大となり、重量に耐えられるコアが必要である。また、ロール型ブラシは消耗品であり、ブラシが磨耗した場合には廃棄して新しいものと交換している。
【0008】
しかし、従来のロール型ブラシは、ブラシ部と鳩目ナットとを分解できないため、ブラシ部が磨耗した場合にはリングブラシの全体を廃棄しており、ブラシ部が磨耗しても何ら損傷のない鳩目ナットも廃棄する結果となり、資源の無駄になり、廃棄物の増加につながっている。
【0009】
また、ブラシ部にナイロンフィラメントあるいはポリアミド系、ポリエステル系の化学繊維に砥粒を混入したものを使用したものにおいても、リング部は金属によって形成されているため、ブラシ部が磨耗して廃棄する場合においても、金属部分と合成樹脂部分が存在するため、ゴミの分別が難しいという問題もある。
【0010】
この発明は、前記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、軽量で安価に製作できるとともに、ブラシ部が磨耗して廃棄する場合においても、ゴミの分別が容易で、廃棄物の減少を図ることができるロール型ブラシの製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明は、前述した目的を達成するために、請求項1は、内周部と、この内周部から放射状に突出する合成樹脂繊維からなるブラシ部とからなるリングブラシの前記内周部及びブラシ部を、軸方向と直交する面内で波形を成して波状のリングブラシを構成し、このリングブラシの複数個をコアの軸方向に積層してロール状に構成するロール型ブラシの製造方法であって、
円板状で、その上面に上下方向の波状部、この波状部の外周部に周壁部、前記波状部の中央部から上方へ突出する円柱部を有し、該円柱部の外周に前記周壁部によって囲まれる円環状の凹陥部を有するとともに、前記円柱部の外周壁に係合溝を有した下部治具と、この下部治具の前記凹陥部を塞ぐように円板状で、その下面に前記波状部に対応して波状部を有した上部治具とからなるリングブラシ製造用治具を用い、
前記ロール型ブラシを製造する前記リングブラシの製造工程は、
前記下部治具の凹陥部に所定長に切断された多数本のブラシ毛を放射状に配置し、ブラシ毛の基端部を前記円柱部を囲むように均一に配置する第1の工程と、
前記上部治具によって前記下部治具の凹陥部の開口を塞ぎ、前記ブラシ毛を押さえ付けるとともに、該ブラシ毛の基端部を密接状態にする第2の工程と、
前記ブラシ毛の基端部を加熱溶融して該ブラシ毛の基端部相互を一体に結合するとともに、その溶融部の一部を前記円柱部の係合溝の内部に流し込んで、前記内周部の内周面に係合突部を形成する第3の工程とからなることを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0019】
図1〜図6は第1の実施形態を示し、図1はリングブラシ11の斜視図である。リングブラシ11は、内周部12と、この内周部12の外周部に放射状に突出されたブラシ部13とから構成されている。
【0020】
また、ブラシ部13は、ナイロンフィラメントあるいはポリアミド系、ポリエステル系の化学繊維に砥粒を混入したブラシ毛13aを多数本引き揃えた化学繊維束である。さらに、ブラシ部13の基端部13bは熱溶着されてリング状に形成されており、前記内周部12によってブラシ毛13aの脱毛を防止すると同時にブラシ製作時におけるブラシ毛のばらつき、飛散を防止している。さらに、ブラシ毛13の基端部13bを接着剤等によって固着してもよく、接着剤としては、エポキシ系接着剤が製作面で好適であるが、合成樹脂層を形成してもよい。
【0021】
前記内周部12は、軸方向と直交する面内で波形を成し、波の周期が360゜に付き、2周期に形成されている。すなわち、図2に内周部12を直線上に展開して示すように、180゜で連続する円弧凸部aと円弧凹部bを1周期とすると、360゜で2ヵ所に円弧凸部aと円弧凹部bが構成されている。
【0022】
従って、リングブラシ11も内周部12と同様に波状に形成されている。すなわち、図3(a)に示す、リングブラシ11を矢印A方向から見ると、同図(b)に示すように、下向き円弧凸部に湾曲し、図3(a)に示す、リングブラシ11を矢印B方向から見ると、同図(c)に示すように、上向き円弧凸部に湾曲している。そして、湾曲部の境界は連続した曲面に形成されている。したがって、図3(a)に示す、リングブラシ11を矢印C方向から側面視すると、同図(d)に示すようにS字状をなしている。
【0023】
さらに、内周部12の内周面における互いに対向する部分には一対の係合部としての突起部14が内周部12と一体に設けられている。一方、図4に示すコア15には周方向に4本の凹溝16が等間隔にしかも、軸方向に連続的に設けられている。そして、突起部14をコア15に軸方向に亘って設けられた凹溝16に係合することによりコア15に対してリングブラシ11が回転不能に嵌合されるようになっている。
【0024】
前述のように構成されたリングブラシ11を複数個用意し、図4に示すように、コア15に嵌合して積層することにより、ロール型ブラシ17を構成することができる。コア15は合成樹脂材料またはアルミニウム等の軽金属材料からなる円筒状であり、このコア15の両端部には固定リング19が着脱可能に固定され、リングブラシ11を保持している。
【0025】
両端部の固定リング19は同一構造であるため、その一方について説明すると、図5に示すように、合成樹脂材料またはアルミニウム等の軽金属材料からなるリング体20の片面にはリングブラシ11の内周部12の波形形状に倣って波形の接合面21が形成されている。さらに、内周部12の外周面にはその中心方向に向かってねじ孔22が穿設され、ねじ孔22には固定ねじ23が螺合されている。
【0026】
従って、リングブラシ11によってロール型ブラシを組み立てる場合、まず、コア15の基端部に一方の固定リング19をその接合面21を内側(先端側)に向けて嵌合し、固定ねじ23を締め付けて固定リング19をコア15に固定する。
【0027】
次に、複数個のリングブラシ11を波形の位相を一致させた状態でコア15の先端側から突起部14をコア15の凹溝16に係合するとともに、リングブラシ11の内周部12をコア15に嵌合し、その内周部12を固定リング19の接合面21に密着状態に接合する。
【0028】
このようにして複数枚のリングブラシ11をコア15の先端部から嵌合して各リングブラシ11の位相を一致させて積層したのち、コア15の先端部にもう一方の固定リング19を嵌合する。この固定リング19の接合面21を最後に嵌合したリングブラシ11の内周部12の波形の位相に一致させて接合し、一対の固定リング19によって積層状態のリングブラシ11を軸方向に圧縮した状態で、固定リング19の固定ねじ23を締め付けて固定リング19をコア15に固定する。
【0029】
このように構成されたロール型ブラシは、個々のリングブラシ11の突起部14がコア15の凹溝16に係合して回転不能に結合された状態となり、かつ一対の固定リング19によって圧縮された状態であるため、コア15に対してリングブラシ11が回転することはない。
【0030】
しかも、内周部12の外周縁部から突出するブラシ部13は、内周部12の両側面と平行に突出しており、このブラシ部13は内周部12の形状に沿って波状のうねりを呈しており、このブラシ部13も内周部12と同様に側面視でS字状に成形されている。このように形成されたリングブラシ11をその軸心を中心として回転させると、ブラシ部13の毛先は側面視で8の字状を描きながら回転することになる。つまり、リングブラシ11の毛先は被研磨面あるいは洗浄面に対して連続したS字状を描くことになり、ブラシ部13の実際の幅よりも2倍以上の研磨幅を持つことになるとともに、ロール型ブラシの軸方向に亘って均一なブラシ毛密度に構成でき、被研磨面に対して縞模様の痕を残すことなく、均一に研磨できる。
【0031】
なお、前記実施形態においては、コア15に対してリングブラシ11を波形の位相を一致させて嵌合したが、互いに隣接するリングブラシ11の波形の位相をを45°ずつ、90°ずつあるいは180°ずつ、ずらして互いに隣接するリングブラシ11のブラシ部13の毛先に隙間を形成してブラシ毛密度を粗にすることもでき、また互いに隣接するリングブラシ11を逆向きにすることも可能である。
【0032】
このように構成されたロール型ブラシは、内周部12及びブラシ部13が合成樹脂材料であり、金属をまったく使用していないため軽量である。このロール型ブラシのコア15を回転機械に装着して回転させ、ブラシ毛13aの先端部もしくは側部を被研磨面に対して接触することにより、砥粒入りの化学繊維ブラシ毛によって被研磨面を研磨することができる。
【0033】
ロール型ブラシの回転中にブラシ部13には遠心力が働くが、ブラシ毛13aの基端部13bは熱溶着されて一体に固められているため、ブラシ毛13aの脱毛を防止でき、安全性に優れている。
【0034】
また、ロール型ブラシは、研磨作業によって徐々に磨耗し、ブラシ毛13が短くなって使用不能になるが、リングブラシ11は内周部12と摩耗したブラシ部13であるため、廃棄するにしても、その量は僅かであり、資源の無駄及び廃棄物を削減することができる。さらに、リングブラシ11はすべて合成樹脂系であるため、ブラシ部13が磨耗して廃棄する場合においても、ゴミの分別が容易である。
【0035】
次に、リングブラシ11の製造方法を図6に基づいて説明する。
【0036】
図6(a)は治具31を示し、治具31は下部治具32と上部治具33とから構成されている。下部治具32は円板状で、上面が波状の波状部34と、この波状部34の外周部に設けられた周壁部35と、波状部34の中央部に上方へ突出して設けられた円柱部36とから構成されている。そして、円柱部36の外周に周壁部35によって囲まれる円環状の凹陥部37が形成されている。さらに、円柱部36の外周壁には円柱の中心を挟んで対称的にV字状溝38が軸方向に亘って設けられている。また、上部治具33は下部治具32の凹陥部37を塞ぐように円環状に形成され、その下面は波状部34に対応して波状に形成されている。
【0037】
前述のように構成された治具31を用い、同図(b)に示すように、下部治具32の凹陥部37に一定の長さに切断されたブラシ毛13aを多数本引き揃えた状態で放射状に配置し、多数本のブラシ毛13aの基端部13bを円柱部36を囲むように均一に配置する。
【0038】
この状態で、同図(c)に示すように、上部治具33を凹陥部37の開口を塞ぐように嵌合すると、上部治具33によって多数本のブラシ毛13aが上方から押さえ付けられ、多数本のブラシ毛13aの基端部は密接状態となる。
【0039】
この状態で、ブラシ毛13aの基端部13bを矢印で示すように加熱手段、例えば鏝、バーナ等によって加熱すると、ブラシ毛13aはポリアミド系、ポリエステル系の化学繊維によって形成されているため、溶融して各ブラシ毛13aの基端部13bが一体に結合するとともに、溶融した樹脂の一部が円柱部36のV字状溝38の内部に流れ込んで固化する。
【0040】
そして、溶融部が冷却固化した後、下部治具32から取り出すと、同図(d)に示すように、ブラシ毛13aがその基端部13bで一体に結合された内周部12及び内周部12から放射状に突出するブラシ部13となり、基端部13bは溶融した樹脂によってリング部12が形成されるとともに、内周部12の内周面には溶融した樹脂の一部が円柱部36のV字状溝38に流れ込んで係合突部としての突起部14が形成される。
【0041】
なお、ブラシ毛13aの基端部13bを加熱手段によって加熱してポリアミド系、ポリエステル系の化学繊維を溶融した後、基端部13bと円柱部36との間に接着剤として、エポキシ系接着剤を流し込んでもよく、熱硬化性樹脂を流し込んで加熱硬化してもよい。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、リングブラシを構成するブラシ部を、ブラシ毛を所定の長さに切断した化学繊維束によって平面視で円板状に形成し、ブラシ部の基端部のみを溶着して一体にして内周部を形成したことを特徴とする。従って、軽量で安価に製作できるとともに、ブラシ部が磨耗して廃棄する場合においても、ゴミの分別が容易で、廃棄物の減少を図ることができる。
【0044】
しかも、ブラシ部は内周部の形状に沿って波状のうねりを呈しているため、リングブラシをその軸心を中心として回転させると、ブラシ部の毛先は側面視で8の字状を描きながら回転することになる。従って、コアに対して複数個のリングブラシを積層した場合、隣り合うリングブラシ相互間に隙間が生じることがなく、リングブラシの毛先は被研磨面に対して連続したS字状を描き、毛先は被研磨面,洗浄面の常に異なる位置に接することになり、被研磨面、洗浄面に対して縞模様の痕を残すことなく、均一に研磨、洗浄ができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態を示すリングブラシの斜視図。
【図2】同実施形態のリング部を直線上に展開した説明図。
【図3】同実施形態のリングブラシを示し、(a)は平面図、(b)〜(d)は側面図。
【図4】同実施形態のロール型ブラシの側面図。
【図5】同実施形態の固定リングを示し、(a)は縦断側面図、(b)はX−X線に沿う断面図。
【図6】同実施形態のリングブラシの製造工程図。
【図7】従来のロール型ロールブラシを示す斜視図。
【図8】図7のY−Y線に沿う断面図。
【符号の説明】
11…リングブラシ
12…内周部
13…ブラシ部
13a…ブラシ毛
13b…基端部
Claims (1)
- 内周部と、この内周部から放射状に突出する合成樹脂繊維からなるブラシ部とからなるリングブラシの前記内周部及びブラシ部を、軸方向と直交する面内で波形を成して波状のリングブラシを構成し、このリングブラシの複数個をコアの軸方向に積層してロール状に構成するロール型ブラシの製造方法であって、
円板状で、その上面に上下方向の波状部、この波状部の外周部に周壁部、前記波状部の中央部から上方へ突出する円柱部を有し、該円柱部の外周に前記周壁部によって囲まれる円環状の凹陥部を有するとともに、前記円柱部の外周壁に係合溝を有した下部治具と、この下部治具の前記凹陥部を塞ぐように円板状で、その下面に前記波状部に対応して波状部を有した上部治具とからなるリングブラシ製造用治具を用い、
前記ロール型ブラシを製造する前記リングブラシの製造工程は、
前記下部治具の凹陥部に所定長に切断された多数本のブラシ毛を放射状に配置し、ブラシ毛の基端部を前記円柱部を囲むように均一に配置する第1の工程と、
前記上部治具によって前記下部治具の凹陥部の開口を塞ぎ、前記ブラシ毛を押さえ付けるとともに、該ブラシ毛の基端部を密接状態にする第2の工程と、
前記ブラシ毛の基端部を加熱溶融して該ブラシ毛の基端部相互を一体に結合するとともに、その溶融部の一部を前記円柱部の係合溝の内部に流し込んで、前記内周部の内周面に係合突部を形成する第3の工程とからなることを特徴とするロール型ブラシの製造方法。
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