JP3827407B2 - Semiconductor mounting substrate - Google Patents
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Landscapes
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産性に優れ、はんだ付け時に生じるポップコーン現象が発生しにくいボールグリッドアレイ(以下、BGAと称する)半導体装置及びそれを搭載する基板に関し、特に、回路配線を有する基板上に半導体チップが搭載され、該半導体チップの電極と前記回路配線とを電気的に接続し、少なくとも前記半導体チップが樹脂で封止され、前記半導体チップが搭載された面と反対側の面に複数のはんだバンプが設けられているボールグリッドアレイ半導体装置に適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体装置の高機能化に伴い、面付実装型パッケージの外部リードの数は増大する傾向にある。これらの半導体装置の代表例がQFP(Quad Flat Pakage)である。QFPは半導体装置の側面に外部リードを設けているため、外部リードの間隔を狭くしたとしても、外部リードの数の増大によりパッケージサイズは大型化の傾向にある。これに対して、近年、開発された面付実装型パッケージがBGA半導体装置である。このBGA半導体装置は、図1に示すように、回路配線を有する基板1の片側の面の面2に半導体チップ3を、搭載し、基板1と半導体チップを金ワイヤ等4で電気的に接続し、基板1の半導体チップを搭載した面2を封止樹脂5で封止している。また、基板1の半導体チップを搭載した面の反対側の面6に、半導体チップと電気的に接続した複数の電極7を形成し、電極7上にはんだバンプ8を設けて外部電極としている。このはんだバンプ8は、面6上にアレイ状に配置されているため、QFPと比較するとより多くの外部電極が設けられ、また、同じ外部電極数なら、QFPよりもパッケージサイズが小さくできるという特徴を有する。このBGA半導体装置を、実装基板上に位置決めして搭載し、実装基板とパッケージを加熱することによりはんだバンプ8をリフローし、実装基板上の電極と接続する。
前記BGA半導体装置に関する技術については、米国特許第5,241,133号に記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このBGA半導体装置の問題点としては、IEEE TRANSACTIONS ON COPONENTS,PACKAGING,AND MANUFACTURING TECHNOLOGY-PART B,vol 18,No3,pp491〜495,1995 に記載されているような、はんだリフロー時のポップコーン現象がある。ポップコーン現象とは、半導体装置が吸湿し、リフロー時の温度により、吸湿した水分が気化し、半導体装置内にクラックが発生する現象である。このポップコーン現象を防ぐためには、防湿梱包を行ったり、はんだリフローする前に乾燥する必要があり、ポップコーン現象が起きない半導体装置が要求されている。本発明は、ポップコーン現象の発生しにくいBGA半導体装置、半導体搭載用基板、さらには、生産性に優れた半導体搭載用基板を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記、問題点を解決するために、本発明者らは、上記課題を解決するため、鋭意研究を重ねた結果、半導体チップが搭載される回路基板において、半導体チップが搭載される部分に予め接着剤層が設けられており、この接着剤層が、基板のスルーホールを塞がない構造を有させることにより、BGA半導体装置におけるポップコーン現象を起しにくくすることを見出し、本発明を完成することにいたった。
【0005】
すなわち、本発明は、(1)半導体チップが搭載される回路配線を有する基板において、半導体チップが搭載される部分に銅メッキが施されたスルーホールを有し、このスルーホールのチップ搭載側の逆側が開口しており、さらに半導体チップが搭載される部分に、熱可塑性樹脂からなる接着剤層がスルーホールを塞がないように設けられている半導体搭載用基板、
(2) (1)に記載の接着剤層が、熱可塑性樹脂の他に金属または無機フィラーを含む半導体搭載用基板、
(3) (1)または(2)に記載の半導体搭載用基板を用いることを特徴とする半導体装置、
を提供するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
ポップコーン現象が発生する原因としては、半導体チップ下の接着剤層部分に入った水分が、はんだリフロー時の温度により、気化し、その発生圧力により、クラックが発生するものと考えられている。本発明においては、回路基板のチップ搭載にスルーホールがあり、かつ、このスルーホール部が塞がれていないため、はんだリフロー時に発生する水蒸気がこのスルーホールを通じて、外部に容易に逃げる事ができ、チップ下に圧力が発生しないために、クラックが生じにくくなっているものと考えられる。
【0007】
本発明で、使用される接着剤用の熱可塑性樹脂としては、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド、ポリパラバン酸、ポリフェニレンエーテル等が挙げられる。これらは、単独でも又は2種以上混合して用いても差し支えない。
【0008】
又、接着剤の熱伝導率を上げたり、電気伝導性を出すために、熱可塑性樹脂に金属または無機フィラーを混合することができる。本発明で使用される金属または無機フィラーとしては、一般的に知られているもの、即ち、金、銀、白金、パラジウム、アルミニウム、スズ、鉛、亜鉛、ニッケル、カーボン、鉄、銅、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化スズ、酸化鉄、酸化銅、タルク、雲母、カオリナイト、炭酸カルシウム、シリカ、酸化チタン等が挙げられる。これらは、単独でもまたは2種以上混合して用いても差し支えない。
【0009】
熱可塑性樹脂からなる接着剤は、有機溶剤に溶かしたペースト状、または、押し出し成形またはキャスト法により成形したフィルム状である。ペースト状の場合は、回路基板状にスクリーン印刷または、ディスペンサー、またはスタンピングにより塗布した後、溶剤を乾燥させて、接着剤付き回路基板を得ることができる。又、フィルム状の場合は、フィルムを所定の大きさにした後、回路基板へ熱圧着することにより、接着剤付き回路基板を得ることができる。
【0010】
一方、半導体チップの接着剤として、一般的に使用される、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂タイプの接着剤を用いた場合、チップを接着する際に、気泡を除去するために、スクラブの操作が必要で、接着の際に、スルーホール部を埋めてしまい、ポップコーン現象に対する効果が得られない。
【0011】
以下、本発明を図面(図1)を参照しながら詳細に説明する。
半導体チップが搭載される回路配線板を製造する方法は一般的なプリント配線板の製造方法で行われる。即ち、特に限定されるものではないが、ガラスエポキシ銅張積層板、ガラス変性ポリイミド銅張積層板、ガラスポリイミド銅張積層板、ガラスBTレジン銅張積層板、ガラスポリフェニレンオキサイド樹脂銅張積層板、アラミド樹脂銅張積層板、ポリイミド樹脂銅張積層板等の絶縁樹脂基板1を、ドリルにより孔明け後、銅メッキを施し、スルーホール10を形成する。その後、パターニングにより所定の配線回路を形成し、絶縁性樹脂組成物からなるソルダーレジスト皮膜11を形成する。この際、ソルダーレジスト皮膜がチップが搭載される部分のスルーホールを覆わないようにする。このようにして、回路配線板を製造した後、前述の方法により、熱可塑性樹脂からなる接着剤層9を形成した後、所定の大きさに外形加工を行い、半導体チップが搭載される回路配線基板を得ることができる。
【0012】
本発明の回路配線基板を用いて、半導体装置を製造する場合、半導体チップ3を、接着剤層に熱圧着する。熱圧着する条件は、使用する接着剤に依存して一概に決められないが、一般的には、温度が200〜400℃であり、圧力は0.01〜20kg/cm2、時間は1〜120秒である。
チップを接着後、ワイヤボンディング4によりチップと基板の電気的接続を行ない、封止樹脂5をトランスファーモールドまたはポッティングにより、封止することにより、BGA半導体装置を得ることができる。
【0013】
【実施例】
以下、実施例として本発明のより具体的な実施の様態を、図面を参照しながら説明する。
実施例1
絶縁基板として、三菱ガス化学製のBT−HL830、厚み0.5mmtのガラスBTレジン銅張積層板を使用して、図2、3、4に示すような基板を作製した。孔は、0.2mm径のドリルにより加工し、銅メッキを施し、スルーホール10を形成した。ランド径は0.4mmφである。外形寸法は、20mm角であり、チップが搭載される部分は銅箔12がそのまま残されており、その大きさは、9mm角である。チップが搭載される部分以外は、ソルダーレジスト皮膜として、太陽インキ社のPSR4000、11をコーティングした。次に、熱可塑性樹脂接着剤であるテクノアルファ社製のペーストタイプであるステイスティック181をスクリーン印刷により約40μm塗布9した(図5)後、150℃、30分間乾燥して、接着剤付き半導体搭載用基板を得た。8mm角、厚さ0.4mmの半導体チップ3を5kg/cm2、温度200℃の条件で熱圧着した(図6)。チップ下のスルーホール10は接着剤により塞がれることはなかった。その後、液状封止材である日立化成社製のCEC1400をポッティング、硬化し、半導体装置を得た。この半導体装置の10個を85℃、85%RHの恒温恒湿槽内で48時間吸湿させた後、240℃のはんだ槽に30秒間浸漬するはんだ耐熱性試験を行なった後、超音波顕微鏡により、半導体装置内の剥離またはクラックを観察したところ、剥離またはクラックは認められなかった。
【0014】
実施例2
熱可塑性接着剤層として、ポリイミドタイプのフィルムである三井東圧化学社製のレグルス−UATを、実施例1で示した基板に温度280℃、圧力5kg/cm2、時間20秒の条件で張付けた後、半導体チップを温度300℃、圧力10kg/cm2、時間10秒の条件で接着した後は、実施例1と同様な組み立て、試験を行なったところ、半導体装置内に剥離またはクラックは認められなかった。
【0015】
比較例1
実施例1と同様の基板を用い、接着剤として、銀入りエポキシ樹脂であるエイブルスティック社のエイブルスボンド 84L-1LMにより、チップを接着した。接着後の断面を図7に示すが、チップ下のスルーホール10'は接着剤が入り、塞がれていた。実施例1と同様な評価を行ったところ、半導体装置10個中、全てにクラックが発生した。
【0016】
【発明の効果】
実施例および比較例にて説明したごとく、本発明による半導体チップ搭載用の基板は、熱可塑性樹脂からなる接着剤層をあらかじめ、設けることにより、はんだリフロー時に発生する水蒸気を外部に抜けやすい構造を得ることができ、ポップコーン現象を起こしにくい、BGA半導体装置として、有効なものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のBGA半導体装置の構成を示す断面図
【図2】本発明の半導体搭載用基板の回路配線を行なった後の断面図
【図3】本発明の半導体搭載用基板において、ソルダーレジスト皮膜を施した後の断面図
【図4】本発明の半導体搭載用基板(図2)をチップ搭載側から見た平面図
【図5】本発明の半導体搭載用基板において、熱可塑性樹脂からなる接着剤層を設けた後の断面図
【図6】本発明の半導体搭載用基板に半導体チップを搭載した後の断面図
【図7】半導体搭載用基板に熱硬化性樹脂からなる接着剤を用いて、半導体チップを搭載した後の断面図
【符号の説明】
1 基板
2 基板の半導体チップを搭載する面
3 半導体チップ
4 金線
5 封止樹脂
6 基板のはんだバンプを設ける面
7 基板上の電極
8 はんだバンプ
9 接着剤層
10 スルーホール
11 ソルダーレジスト皮膜
12 半導体チップを搭載する銅箔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a ball grid array (hereinafter referred to as BGA) semiconductor device which is excellent in productivity and hardly causes popcorn phenomenon that occurs during soldering, and a substrate on which the ball grid array (hereinafter referred to as BGA) is mounted. Is mounted, electrically connects the electrodes of the semiconductor chip and the circuit wiring, and at least the semiconductor chip is sealed with a resin, and a plurality of solder bumps are provided on a surface opposite to the surface on which the semiconductor chip is mounted. The present invention relates to a technique that is effective when applied to a ball grid array semiconductor device provided with the.
[0002]
[Prior art]
The number of external leads of the surface mount package tends to increase as the functionality of the semiconductor device increases in recent years. A typical example of these semiconductor devices is QFP (Quad Flat Pakage). Since QFP has external leads on the side surface of the semiconductor device, the package size tends to increase due to the increase in the number of external leads even if the interval between the external leads is narrowed. On the other hand, a surface-mounted package developed in recent years is a BGA semiconductor device. In this BGA semiconductor device, as shown in FIG. 1, a
The technology relating to the BGA semiconductor device is described in US Pat. No. 5,241,133.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
As a problem of this BGA semiconductor device, there is a popcorn phenomenon at the time of solder reflow as described in IEEE TRANSACTIONS ON COPONENTS, PACKAGING, AND MANUFACTURING TECHNOLOGY-PART B, vol 18, No3, pp491-495,1995 . The popcorn phenomenon is a phenomenon in which the semiconductor device absorbs moisture, and the moisture absorbed by the semiconductor device is vaporized due to the temperature during reflow, causing cracks in the semiconductor device. In order to prevent this popcorn phenomenon, it is necessary to dry before moisture-proof packaging or solder reflow, and a semiconductor device that does not cause popcorn phenomenon is required. The present invention provides a BGA semiconductor device, a semiconductor mounting substrate, and a semiconductor mounting substrate with excellent productivity that are less likely to cause popcorn.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have made extensive studies in order to solve the above problems, and as a result, in the circuit board on which the semiconductor chip is mounted, the semiconductor chip is bonded in advance. An adhesive layer is provided, and it is found that the adhesive layer has a structure that does not block the through hole of the substrate, thereby making it difficult for the popcorn phenomenon in the BGA semiconductor device to occur, and the present invention is completed. I went to.
[0005]
That is, according to the present invention, (1) a substrate having a circuit wiring on which a semiconductor chip is mounted has a through hole plated with copper in a portion on which the semiconductor chip is mounted, A semiconductor mounting substrate in which the opposite side is open and an adhesive layer made of a thermoplastic resin is provided in a portion where the semiconductor chip is mounted so as not to block the through hole ,
(2) The board | substrate for semiconductor mounting in which the adhesive bond layer as described in (1) contains a metal or an inorganic filler other than a thermoplastic resin,
(3) A semiconductor device using the semiconductor mounting substrate according to (1) or (2),
Is to provide.
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
As a cause of the popcorn phenomenon, it is considered that moisture entering the adhesive layer portion under the semiconductor chip is vaporized due to the temperature during solder reflow, and cracks are generated due to the generated pressure. In the present invention, since there is a through hole in the chip mounting of the circuit board and the through hole portion is not blocked, water vapor generated during solder reflow can easily escape to the outside through the through hole. It is considered that cracks are hardly generated because no pressure is generated under the chip.
[0007]
Examples of the thermoplastic resin for the adhesive used in the present invention include polyethersulfone, polysulfone, polyphenylene sulfide, polyetheretherketone, polyimide, polyetherimide, polyamideimide, aromatic polyamide, polyparabanic acid, polyphenylene ether, and the like. Is mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
[0008]
Moreover, in order to raise the heat conductivity of an adhesive agent or to take out electrical conductivity, a metal or an inorganic filler can be mixed with a thermoplastic resin. The metal or inorganic filler used in the present invention is generally known, that is, gold, silver, platinum, palladium, aluminum, tin, lead, zinc, nickel, carbon, iron, copper, alumina, Examples thereof include aluminum nitride, boron nitride, tin oxide, iron oxide, copper oxide, talc, mica, kaolinite, calcium carbonate, silica, and titanium oxide. These may be used alone or in combination of two or more.
[0009]
The adhesive made of a thermoplastic resin is in the form of a paste dissolved in an organic solvent, or in the form of a film formed by extrusion or casting. In the case of a paste, a circuit board with an adhesive can be obtained by applying it to the circuit board by screen printing, dispenser, or stamping and then drying the solvent. In the case of a film, a circuit board with an adhesive can be obtained by making the film a predetermined size and then thermocompression bonding to the circuit board.
[0010]
On the other hand, when using a thermosetting resin type adhesive such as epoxy resin, which is commonly used as an adhesive for semiconductor chips, scrub operation to remove bubbles when bonding chips Is necessary, and the through-hole portion is filled at the time of bonding, and the effect on the popcorn phenomenon cannot be obtained.
[0011]
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings (FIG. 1).
A method of manufacturing a circuit wiring board on which a semiconductor chip is mounted is performed by a general printed wiring board manufacturing method. That is, although not particularly limited, glass epoxy copper clad laminate, glass modified polyimide copper clad laminate, glass polyimide copper clad laminate, glass BT resin copper clad laminate, glass polyphenylene oxide resin copper clad laminate, An
[0012]
When manufacturing a semiconductor device using the circuit wiring board of the present invention, the
After the chip is bonded, the chip and the substrate are electrically connected by wire bonding 4, and the sealing resin 5 is sealed by transfer molding or potting to obtain a BGA semiconductor device.
[0013]
【Example】
Hereinafter, more specific embodiments of the present invention will be described as examples with reference to the drawings.
Example 1
As an insulating substrate, BT-HL830 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. and a glass BT resin copper-clad laminate having a thickness of 0.5 mmt were used to produce substrates as shown in FIGS. The hole was machined with a 0.2 mm diameter drill and plated with copper to form a through
[0014]
Example 2
Regulus-UAT made by Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd., which is a polyimide type film, is applied as a thermoplastic adhesive layer to the substrate shown in Example 1 at a temperature of 280 ° C., a pressure of 5 kg / cm 2 , and a time of 20 seconds. After bonding the semiconductor chip under the conditions of a temperature of 300 ° C., a pressure of 10 kg / cm 2 , and a time of 10 seconds, the same assembly and test as in Example 1 were conducted. As a result, peeling or cracks were observed in the semiconductor device. I couldn't.
[0015]
Comparative Example 1
The same substrate as in Example 1 was used, and the chip was bonded by Ablesbond 84L-1LM manufactured by Able Stick Co., Ltd., which is an epoxy resin containing silver, as an adhesive. FIG. 7 shows a cross-section after bonding. The through-
[0016]
【The invention's effect】
As described in the examples and comparative examples, the substrate for mounting a semiconductor chip according to the present invention has a structure that allows water vapor generated during solder reflow to easily escape to the outside by providing an adhesive layer made of a thermoplastic resin in advance. It is effective as a BGA semiconductor device that can be obtained and hardly causes the popcorn phenomenon.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a BGA semiconductor device of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view after circuit wiring of a semiconductor mounting substrate of the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional view after applying a solder resist film. FIG. 4 is a plan view of the semiconductor mounting substrate of the present invention (FIG. 2) as viewed from the chip mounting side. FIG. 6 is a cross-sectional view after mounting a semiconductor chip on the semiconductor mounting substrate of the present invention. FIG. 7 is an adhesive made of a thermosetting resin on the semiconductor mounting substrate. Sectional view after mounting a semiconductor chip using
DESCRIPTION OF
10 Through hole
11 Solder resist film
12 Copper foil for mounting semiconductor chips
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17857097A JP3827407B2 (en) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | Semiconductor mounting substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17857097A JP3827407B2 (en) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | Semiconductor mounting substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1126627A JPH1126627A (en) | 1999-01-29 |
JP3827407B2 true JP3827407B2 (en) | 2006-09-27 |
Family
ID=16050799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17857097A Expired - Lifetime JP3827407B2 (en) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | Semiconductor mounting substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3827407B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3485509B2 (en) * | 1999-10-28 | 2004-01-13 | シャープ株式会社 | Flip chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP4659802B2 (en) * | 2007-09-25 | 2011-03-30 | シャープ株式会社 | Insulating wiring board, semiconductor package using the same, and manufacturing method of insulating wiring board |
JP5230580B2 (en) * | 2009-11-09 | 2013-07-10 | パナソニック株式会社 | Semiconductor device and mounting method thereof |
-
1997
- 1997-07-03 JP JP17857097A patent/JP3827407B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1126627A (en) | 1999-01-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060704 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110714 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110714 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150714 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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