JP3810915B2 - Diaphragm leak inspection device - Google Patents

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JP3810915B2
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Description

【0001】
【技術分野】
本発明は、ダイアフラムの漏れを検査する装置に関する。
【0002】
【従来技術およびその問題点】
ダイアフラムは、車両のブレーキ関係等の安全機器に使用されることから、漏れ(孔)の有無を全数検査している。多量に生産されるものであるから、その漏れ検査、及びその良品と不良品の分離取出を如何に効率的に行なうかが関心事である。
【0003】
【発明の目的】
本発明は従って、ダイアフラムの漏れ検査、及びその良品と不良品の分離取出を効率的に行なうことができる漏れ検査装置を得ることを目的とする。本発明はさらに、分離した良品を効率的に運搬できる装置を得ることを目的とする。
【0004】
【発明の概要】
本発明のダイアフラムの検査装置は、等角度ずつ間欠回転される回転テーブル;この回転テーブル上に、間欠回転の角度間隔で周方向に配列された複数の検査ステージ、この回転テーブルは回転方向の順に少なくとも各検査ステージの装填位置、検査位置及び取出位置を有すること;検査ステージはそれぞれ、対をなす上型と下型を有し回転テーブルの径方向に対して直交する直線状に配列された3個以上の検査型を有し、さらに各検査型はそれぞれ、被検ダイアフラムの周縁部を挟着し、中心部の変形空間を形成する上型と下型を有すること;各検査ステージの複数の検査型の上型をそれぞれ昇降させる上型昇降機構;各検査ステージの複数の検査型の下型をそれぞれ、回転テーブルの同じ検査ステージの上型が上昇しているとき、上型の下方位置と、回転テーブルの径方向外方の着脱位置との間で進退させる下型進退機構;各検査ステージが上記装填位置にあってその複数の下型が上記着脱位置にあるとき、その複数の下型上に被検ダイアフラムを供給する被検ダイアフラム装填機構;この被検ダイアフラム装填機構によって被検ダイアフラムを装着した各検査ステージの複数の下型が下型進退機構によって複数の上型の下方位置に移動し、かつ上型昇降機構によって同検査ステージの複数の上型が下型上に下降している上記検査位置において、同検査ステージ上の下型と上型との間の被検ダイアフラムに空気圧力を及ぼして漏れを検査する漏れ検査機構;各検査ステージが取出位置にありその複数の下型が着脱位置にあるとき、該複数の下型上の被検ダイアフラムを吸着する複数の直線状に配列されたバキュームカップを有し、該バキュームカップの配列方向へ直線往復移動し、上記漏れ検査機構による検査結果が良品か不良品かに応じ、バキュームカップを異なる位置に移動させて良品と不良品とに分ける被検ダイアフラム分離取出機構;を備えたことを特徴としている。
【0005】
同時に検査する被検ダイアフラムの数を増やすため、間欠回転の角度間隔は90°とし、一つの検査ステージ上の検査型は4個以上とすることが好ましい。
【0006】
漏れ検査機構は、具体的には例えば、上型と下型にそれぞれ形成された被検ダイアフラム周縁の挟着部と;上型と下型の一方に形成された圧縮空気導入路とこの圧縮空気導入路から導入された圧縮空気により被検ダイアフラムが変形するのを許す、上型と下型の他方に形成された上記変形空間と;被検ダイアフラムが圧縮空気により変形したのち該被検ダイアフラムが作る室の圧力降下を検出する圧力検出器と;によって構成することができる。
【0007】
被検ダイアフラム分離取出機構から良品を受け取る部分には、被検ダイアフラムを重ねて収納する複数の収納筒体を直線状に配列して有する良品コンテナを設け、検査結果が良品であるときには、被検ダイアフラムをこの通い良品コンテナの複数の収納筒体内に収納すると、分離後、そのまま運搬することができる。
【0008】
【発明の実施形態】
図1ないし図3に示す回転テーブル10は、等角度(図示実施形態では90゜)ずつ間欠回転されるもので、間欠回転角度と同一の等角度間隔で検査ステージ11を備えている。この例では、各検査ステージ11は、回転テーブル10の半径方向と直交する方向に一直線状に並ぶ4個ずつの検査型20を有し、各検査型20は、上型21と下型22とからなっている。各検査ステージ11の4個の上型21はそれぞれ、上型昇降機構23によって同時に昇降駆動される。また各検査ステージ11の4個の下型22は下型台22c上にあって、この下型台22cは、回転テーブル10の径方向のガイドレール24に沿い、図示しない下型進退機構によって移動可能である。
【0009】
回転テーブル10には、図2に示すように、回転方向に順に、間欠回転角度に対応させて、ワーク(被検ダイアフラム)Wの装填位置A、検査位置B、C、及び取出位置Dが設定されており、各検査ステージ11の4個の下型22は、装填位置Aにおいてガイドレール24に沿って4個の上型21の下方位置に引き込まれ、取出位置Dで押し出されて着脱位置に至る迄、上型21の下方位置を保持する。一方、取出位置Dでガイドレール24に沿って押し出された各検査ステージ11の4個の下型22は、次に装填位置A以降の回転位相で4個の上型21の下方位置に引き込まれる迄、外方位置(着脱位置)に保持される。
【0010】
一方、各検査ステージ11の4個の下型22と対をなす4個の21は、各検査ステージ11の下型22が上型21の下方位置にあるとき、すなわち回転テーブル10の検査ステージ11が少なくとも検査位置B、Cの回転位相にあるとき、上型昇降機構23により上型21上に下降し、取出位置D、装填位置Aにおいて、各検査ステージ11の4個の下型22が外方の着脱位置に移動するときには上型昇降機構23により上昇して上型21から離れる。
【0011】
各検査型20の下型22は、図4、図5に示すように、ワークWの形状とほぼ合致する凹凸22aを有し、周縁部をワークWの挟着部22bとしている。この下型22にはその中心部に圧縮空気導入路26が形成されており、この圧縮空気導入路26は、開閉弁27を介して圧縮空気源28に接続されるとともに、圧力検出器(圧力降下検出器)29に接続されている。上型21は、ワークWの周縁部を挟着する挟着部21aと、ワークWの変形空間(凹部)21bとを有する。これらの上型21、下型22、圧縮空気導入路、開閉弁27、圧縮空気源28及び圧力検出器29が漏れ検査機構を構成している。
【0012】
装填位置Aには、ワークWの装填機構12が設けられている。このワーク装填機構12は、図1、図2に示すように、水平多関節ロボット13と、コンテナ昇降機構14とを有する。水平多関節ロボット13は、複数の回動アーム15と、これらの複数のアーム15の先端に設けたバキュームカップ16とを有し、バキュームカップ16を任意の位置に移動させることができる。一方、コンテナ昇降機構14は、複数段重ねたワークコンテナ17を載置する載置テーブル18と、この載置テーブル18を昇降させる送りねじ機構19とを有する。ワークコンテナ17は、相互に重ねるための足17aを四隅に有し、図示例では、4×6列のワークWを複数個重ねて保持している。ワーク装填機構12のバキュームカップ16は、各検査ステージ11の下型22の数に対応させて直線状に配列した4個が設けられている。
【0013】
このワーク装填機構12は、水平多関節ロボット13のバキュームカップ16により、コンテナ昇降機構14のワークコンテナ17上のワークWを4個ずつ吸着し、これを装填位置Aの着脱位置にある4個の下型22上に搬送する。コンテナ昇降機構14の送りねじ機構19は、ワークWの取出高さが一定となるように載置テーブル18を上下に駆動する。
【0014】
取出位置Dには、ワーク分離取出機構30が設けられている。このワーク分離取出機構30は、取出位置Dにおいて着脱位置に押し出されて直線状に並ぶ下型22の並び方向と平行なガイドレール31、このガイドレール31上に往復直線移動自在に支持された直進移動体32、この直進移動体32に昇降自在に支持された昇降体33、この昇降体33上おいてガイドレール31と直交する方向に移動自在に支持された水平移動体34を備え、この水平移動体34の先端部に、4個の下型22に対応してガイドレール31と平行な直線状に並ぶ4個のバキュームカップ35が設けられている。よって、バキュームカップ35は、各移動体の図示しないアクチュエータによって、取出位置Dにおける複数の下型22の並び方向、下型22の並び方向と直交する方向、及び上下方向にそれぞれ移動できる。
【0015】
ガイドレール31の側部には、直進移動体32の移動方向に位置を異ならせて、不良品コンテナ36と、良品コンテナ37とが設けられている。不良品コンテナ36は単なる箱体であり、一方、良品コンテナ37は、基板38上に、ガイドレール31及びバキュームカップ35に対応させて直線状に並べた複数の収納筒体39を配列してなっている。収納筒体39の内径はワークWの外径に対応し、この例では基板38上に8×2列が備えられている。
【0016】
上記構成の本装置は、次のように作動する。回転テーブル10の装填位置Aにおいて、ワーク装填機構12により、各検査ステージ11の着脱位置にある4個の下型22上にワークWをセットする。すると、回転テーブル10が検査位置Bに回転する迄に、各検査ステージ11の4個の下型22(下型台22c)がガイドレール24に沿って4個の上型21の下方に引き込まれる。次に、上型昇降機構23によって4個の下型22上に同時に4個の上型21が下降し、挟着部21aと挟着部22bとの間にワークWの周縁部が挟着される。検査位置Bにおいては(または上型21が下降すると直ちに)、開閉弁27が開いて圧縮空気源28からの圧縮空気が圧縮空気導入路26を介してワークWの下部に導かれ、ワークWが変形空間21b内で変形する。開閉弁27は、一定量の圧縮空気を送り込んだ時点で閉じられる。
【0017】
この状態では、ワークWは、その周縁部が上型21と下型22の挟着部21b、22bによって気密に挟まれ、閉じられた室を形成している。よって、ワークWが良品(OK品)であれば、圧力検出器29によって検出される圧力降下は生じない(あるいは許容値に収まる)。一方、不良品(NG品)であれば、許容値を越える圧力降下が生じるので、圧力検出器29がこれを検出できる。以上の検査は、ワークWに対して圧縮空気を供給した後、回転テーブル10が検査位置Cに達するまでに行なわれる。
【0018】
回転テーブル10が取出位置Dに至ると、上型昇降機構23によって4個の上型21が下型22に対して上昇し、さらにガイドレール24に沿って各検査ステージ11の4個の下型22が回転テーブル10の径方向外方の着脱位置に移動される。
【0019】
取出位置Dにおいては、ワーク分離取出機構30に伝達されている検査結果、及び良品コンテナ37の収納筒体39へのワークWの収納状況に基づき、直進移動体32、昇降体33、水平移動体34、及びバキュームカップ35が駆動される。上の例では、ワークWが良品のとき、4個のバキュームカップ35が昇降体33によって4個の下型22上へ同時に下降し、真空圧によりワークWを吸引して上昇する。バキュームカップ35は、次に直進移動体32によって良品コンテナ37方向に移動し、8×2列の収納筒体39のいずれかの4列の収納筒体39の上方に達したときバキュームカップ35の真空圧を開放してワークWを収納筒体39内に落下させる。このとき、昇降体33を下降させてもよい。この動作は、収納筒体39内に所定数(例えば回転テーブル10個)のワークWが収納されるまで続行される。
【0020】
良品コンテナ37の収納筒体39は、図示例では、8×2列であるから、4個のバキュームカップ35の良品コンテナ37に対する平面的な移動位置は、4通りに設定される。この4通りの移動位置のいずれか1つにおける4個の収納筒体39へのワークWの収納が終了したら、バキュームカップ35の移動位置を変更し、すべての収納筒体39に対するワークWの収納を行なう。一つの良品コンテナ37のすべての収納筒体39へのワークWの収納が終了したら、良品コンテナ37を交換する。バキュームカップ35の移動位置の変更は、図示例では直進移動体32と水平移動体34の移動位置の変更によって行なうことができるが、バキュームカップ35の移動位置は変更せず、良品コンテナ37の位置を変更するようにしても、同様である。
【0021】
これに対し、ワークWが不良品のとき(各検査ステージ11の4個の下型22上のワークWの少なくとも1つが不良品であるとき)には、バキュームカップ35が下型22上へ下降して真空圧によりワークWを吸引して上昇した後、直進移動体32は不良品コンテナ36の位置に移動し、そこにおいてワークWの保持を解放する。ワークWが良品が不良品かに応じて以上の動作が行なわれ、良品と不良品が分離される。特に良品は、良品コンテナ37の収納筒体39に収納されるから、収納筒体39を有する良品コンテナ37(あるいは良品コンテナ37から分離した収納筒体39だけ)をそのまま運搬用に用いることができ、良品を再度梱包するという作業を省くことができる。
【0022】
本実施形態は、同時により多数個のワークWの検査を行なうことを目的としており、このため回転テーブル10の間欠回転角度は大きいことが好ましいが、120°とすると隣り合う検査ステージ11の下型台22cが干渉する可能性があるので、90°とするのが実際的である。また、各検査ステージ11の検査型20の数は4個以上とすることが好ましい。
【0023】
【発明の効果】
本発明装置によれば、ダイアフラムの漏れ検査、及びその良品と不良品の分離取出を自動的に行ない、検査の効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるダイアフラムの漏れ検査装置の一実施形態を示す全体の平面図である。
【図2】同被検ダイアフラムの供給側の斜視図である。
【図3】同被検ダイアフラムの取出側の斜視図である。
【図4】各検査型が開いた状態を示す断面図である。
【図5】同検査型が閉じた検査状態を示す断面図である。
【符号の説明】
W ワーク(被検ダイアフラム)
A 装填位置
B C 検査位置
D 取出位置
10 回転テーブル
11 検査ステージ
12 ワーク装填機構(被検ダイアフラム装填機構)
13 水平多関節ロボット
14 コンテナ昇降機構
17 ワークコンテナ
18 載置テーブル
20 検査型
21 上型
21a 挟着部
21b 変形空間
22 下型
22a 凹凸
22b 挟着部
23 上型昇降機構
24 ガイドレール
26 圧縮空気導入路
27 開閉弁
28 圧縮空気源
29 圧力検出器(圧力降下検出器)
30 ワーク分離取出機構(被検ダイアフラム分離取出機構)
31 ガイドレール
32 直進移動体
33 昇降体
34 水平移動体
35 バキュームカップ
36 不良品コンテナ
37 良品コンテナ
38 基板
39 収納筒体
[0001]
【Technical field】
The present invention relates to an apparatus for inspecting diaphragm leakage.
[0002]
[Prior art and its problems]
Diaphragms are used for safety devices such as brakes for vehicles, and are therefore inspected for leaks (holes). Since it is produced in large quantities, it is a matter of concern how efficiently the leakage inspection and the separation and removal of the good and defective products are performed.
[0003]
OBJECT OF THE INVENTION
Accordingly, it is an object of the present invention to obtain a leakage inspection apparatus capable of efficiently performing a leakage inspection of a diaphragm and separating and taking out a non-defective product and a defective product. It is another object of the present invention to obtain an apparatus that can efficiently transport separated good products.
[0004]
Summary of the Invention
The diaphragm inspection apparatus of the present invention includes a rotary table that is intermittently rotated by equal angles; a plurality of inspection stages that are arranged on the rotary table in the circumferential direction at an angular interval of intermittent rotation; Having at least a loading position, an inspection position, and an extraction position of each inspection stage; each of the inspection stages has a pair of an upper mold and a lower mold and are arranged in a straight line orthogonal to the radial direction of the rotary table 3 Having at least one inspection mold, and each inspection mold has an upper mold and a lower mold that sandwich the periphery of the diaphragm to be formed and form a deformation space in the center; a plurality of inspection molds Upper mold lifting mechanism that raises and lowers the upper mold of each inspection mold; each of the lower molds of the plurality of inspection molds of each inspection stage is A lower mold advance / retreat mechanism that moves forward and backward between the horizontal position and the radially outer attaching / detaching position of the rotary table; when each inspection stage is in the loading position and the plurality of lower molds are in the attaching / detaching position, the plurality A test diaphragm loading mechanism for supplying a test diaphragm onto the lower mold; a plurality of lower molds of each inspection stage mounted with the test diaphragm by the test diaphragm loading mechanism are moved below the plurality of upper molds by a lower mold advance / retreat mechanism. The inspection diaphragm between the lower mold and the upper mold on the inspection stage at the inspection position where the upper mold is moved to the position and the plurality of upper molds of the inspection stage are lowered onto the lower mold by the upper mold lifting mechanism. Leak inspection mechanism for inspecting leakage by applying air pressure to the test piece; when each inspection stage is in the take-out position and the plurality of lower molds are in the attachment / detachment position, the test diaphragms on the plurality of lower molds are adsorbed It has a number of vacuum cups arranged in a straight line, moves back and forth in the direction of the vacuum cups, and moves the vacuum cups to different positions depending on whether the inspection results by the leak inspection mechanism are good or defective. And a diaphragm separation / extraction mechanism to be divided into good and defective products.
[0005]
In order to increase the number of diaphragms to be inspected at the same time, it is preferable that the angular interval of intermittent rotation is 90 ° and that there are four or more inspection molds on one inspection stage.
[0006]
Specifically, the leakage inspection mechanism includes, for example, a sandwiched portion at the periphery of the diaphragm to be tested formed in each of the upper mold and the lower mold; a compressed air introduction path formed in one of the upper mold and the lower mold, and the compressed air The deformation space formed in the other of the upper mold and the lower mold, which allows the test diaphragm to be deformed by the compressed air introduced from the introduction path; and after the test diaphragm is deformed by the compressed air, the test diaphragm is And a pressure detector for detecting a pressure drop in the chamber to be created.
[0007]
The part that receives non-defective products from the diaphragm separation / extraction mechanism is provided with a non-defective container having a plurality of storage cylinders arranged in a straight line to store the test diaphragms. When the diaphragm is stored in a plurality of storage cylinders of the passable container, it can be transported as it is after separation.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The rotary table 10 shown in FIGS. 1 to 3 is intermittently rotated by an equal angle (90 ° in the illustrated embodiment), and includes inspection stages 11 at equal angular intervals as the intermittent rotation angle. In this example, each inspection stage 11 has four inspection dies 20 arranged in a straight line in a direction orthogonal to the radial direction of the rotary table 10, and each inspection dies 20 includes an upper die 21, a lower die 22, and the like. It is made up of. The four upper molds 21 of each inspection stage 11 are simultaneously driven up and down by an upper mold lifting mechanism 23. The four lower molds 22 of each inspection stage 11 are on a lower mold base 22c, and the lower mold base 22c is moved along a radial guide rail 24 of the rotary table 10 by a lower mold advance / retreat mechanism (not shown). Is possible.
[0009]
As shown in FIG. 2, loading position A, inspection positions B and C, and take-out position D of work (diaphragm to be tested) W are set in turn table 10 in correspondence with the intermittent rotation angle in the rotation direction. The four lower molds 22 of each inspection stage 11 are drawn along the guide rails 24 to the lower positions of the four upper molds 21 at the loading position A, and pushed out at the take-out position D to the attachment / detachment position. Until then, the lower position of the upper die 21 is held. On the other hand, the four lower molds 22 of each inspection stage 11 pushed out along the guide rails 24 at the take-out position D are then pulled to the lower positions of the four upper molds 21 in the rotational phase after the loading position A. Until then, it is held in the outward position (detachment position).
[0010]
On the other hand, the four 21 that are paired with the four lower molds 22 of each inspection stage 11 are when the lower mold 22 of each inspection stage 11 is below the upper mold 21, that is, the inspection stage 11 of the rotary table 10. Is at least in the rotational phase of inspection positions B and C, it is lowered onto the upper mold 21 by the upper mold lifting mechanism 23, and at the take-out position D and loading position A, the four lower molds 22 of each inspection stage 11 are removed. When moving to the other attachment / detachment position, the upper die lifting mechanism 23 moves up and leaves the upper die 21.
[0011]
As shown in FIGS. 4 and 5, the lower mold 22 of each inspection mold 20 has irregularities 22 a that substantially match the shape of the workpiece W, and the peripheral portion serves as a clamping portion 22 b of the workpiece W. The lower mold 22 is formed with a compressed air introduction path 26 at the center thereof, and the compressed air introduction path 26 is connected to a compressed air source 28 via an on-off valve 27 and a pressure detector (pressure). (Fall detector) 29. The upper mold 21 has a clamping part 21 a that clamps the peripheral edge of the work W, and a deformation space (concave part) 21 b of the work W. The upper mold 21, the lower mold 22, the compressed air introduction path, the on-off valve 27, the compressed air source 28, and the pressure detector 29 constitute a leakage inspection mechanism.
[0012]
At the loading position A, a loading mechanism 12 for the workpiece W is provided. As illustrated in FIGS. 1 and 2, the work loading mechanism 12 includes a horizontal articulated robot 13 and a container lifting mechanism 14. The horizontal articulated robot 13 includes a plurality of rotating arms 15 and a vacuum cup 16 provided at the tips of the plurality of arms 15, and can move the vacuum cup 16 to an arbitrary position. On the other hand, the container elevating mechanism 14 includes a mounting table 18 on which a plurality of stacked work containers 17 are mounted, and a feed screw mechanism 19 that lifts and lowers the mounting table 18. The work container 17 has legs 17a for overlapping each other at four corners. In the illustrated example, a plurality of 4 × 6 rows of works W are stacked and held. Four vacuum cups 16 of the workpiece loading mechanism 12 are provided in a linear arrangement corresponding to the number of the lower molds 22 of each inspection stage 11.
[0013]
The workpiece loading mechanism 12 sucks four workpieces W on the workpiece container 17 of the container elevating mechanism 14 by the vacuum cup 16 of the horizontal articulated robot 13, and the four workpieces W at the loading / unloading position A of the loading position A. It is conveyed onto the lower mold 22. The feed screw mechanism 19 of the container elevating mechanism 14 drives the mounting table 18 up and down so that the removal height of the workpiece W is constant.
[0014]
At the take-out position D, a workpiece separating / taking-out mechanism 30 is provided. The workpiece separating / extracting mechanism 30 includes a guide rail 31 that is pushed out to the attachment / detachment position at the extraction position D and parallel to the direction in which the lower molds 22 are linearly arranged, and is linearly supported on the guide rail 31 so as to be freely reciprocally linearly movable. A moving body 32, an elevating body 33 supported by the linearly moving body 32 so as to be movable up and down, and a horizontal moving body 34 supported on the elevating body 33 so as to be movable in a direction perpendicular to the guide rail 31 are provided. Four vacuum cups 35 arranged in a straight line parallel to the guide rail 31 corresponding to the four lower molds 22 are provided at the tip of the moving body 34. Accordingly, the vacuum cup 35 can be moved in the direction in which the plurality of lower molds 22 are arranged at the take-out position D, the direction perpendicular to the direction in which the lower molds 22 are arranged, and the vertical direction by an actuator (not shown) of each moving body.
[0015]
A defective product container 36 and a non-defective product container 37 are provided on the side portion of the guide rail 31 in different positions in the moving direction of the rectilinear moving body 32. The defective container 36 is a simple box, while the non-defective container 37 is formed by arranging a plurality of storage cylinders 39 arranged in a straight line corresponding to the guide rail 31 and the vacuum cup 35 on the substrate 38. ing. The inner diameter of the storage cylinder 39 corresponds to the outer diameter of the workpiece W. In this example, 8 × 2 rows are provided on the substrate 38.
[0016]
The apparatus having the above-described configuration operates as follows. At the loading position A of the rotary table 10, the workpiece W is set on the four lower molds 22 at the mounting / demounting positions of the inspection stages 11 by the workpiece loading mechanism 12. Then, until the rotary table 10 rotates to the inspection position B, the four lower molds 22 (lower mold bases 22c) of each inspection stage 11 are drawn along the guide rails 24 below the four upper molds 21. . Next, the four upper molds 21 are simultaneously lowered onto the four lower molds 22 by the upper mold lifting mechanism 23, and the peripheral edge of the workpiece W is sandwiched between the sandwiching part 21a and the sandwiching part 22b. The At the inspection position B (or as soon as the upper die 21 is lowered), the on-off valve 27 is opened, and the compressed air from the compressed air source 28 is guided to the lower part of the workpiece W through the compressed air introduction path 26 so that the workpiece W is It deforms in the deformation space 21b. The on-off valve 27 is closed when a certain amount of compressed air is fed.
[0017]
In this state, the workpiece W is hermetically sandwiched between the upper die 21 and the lower die 22 by the sandwiching portions 21b and 22b to form a closed chamber. Therefore, if the workpiece W is a non-defective product (OK product), the pressure drop detected by the pressure detector 29 does not occur (or falls within an allowable value). On the other hand, if it is a defective product (NG product), a pressure drop exceeding the allowable value occurs, so the pressure detector 29 can detect this. The above inspection is performed until the rotary table 10 reaches the inspection position C after the compressed air is supplied to the workpiece W.
[0018]
When the rotary table 10 reaches the take-out position D, the four upper molds 21 are raised with respect to the lower mold 22 by the upper mold lifting mechanism 23, and the four lower molds of each inspection stage 11 along the guide rail 24. 22 is moved to an attaching / detaching position radially outward of the turntable 10.
[0019]
At the take-out position D, based on the inspection result transmitted to the work separating and taking-out mechanism 30 and the state of storage of the work W in the storage cylinder 39 of the non-defective container 37, the rectilinear moving body 32, the elevating body 33, the horizontal moving body 34 and the vacuum cup 35 are driven. In the above example, when the workpiece W is a non-defective product, the four vacuum cups 35 are simultaneously lowered onto the four lower molds 22 by the elevating body 33, and the workpiece W is sucked and raised by the vacuum pressure. The vacuum cup 35 is then moved in the direction of the non-defective container 37 by the rectilinear moving body 32, and when the vacuum cup 35 reaches above the four rows of storage cylinders 39 of the 8 × 2 rows of storage cylinders 39, the vacuum cup 35 The vacuum pressure is released and the work W is dropped into the storage cylinder 39. At this time, the elevating body 33 may be lowered. This operation is continued until a predetermined number of workpieces W (for example, 10 rotary tables) are stored in the storage cylinder 39.
[0020]
Since the storage cylinders 39 of the non-defective container 37 are 8 × 2 rows in the illustrated example, four planar movement positions of the four vacuum cups 35 with respect to the non-defective container 37 are set. When the work W is stored in the four storage cylinders 39 at any one of the four movement positions, the movement position of the vacuum cup 35 is changed, and the work W is stored in all the storage cylinders 39. To do. When the work W is stored in all the storage cylinders 39 of one good product container 37, the good product container 37 is replaced. The movement position of the vacuum cup 35 can be changed by changing the movement positions of the rectilinear moving body 32 and the horizontal moving body 34 in the illustrated example, but the movement position of the vacuum cup 35 is not changed, and the position of the non-defective container 37 is changed. Even if it is changed, it is the same.
[0021]
On the other hand, when the workpiece W is defective (when at least one of the workpieces W on the four lower molds 22 of each inspection stage 11 is defective), the vacuum cup 35 is lowered onto the lower mold 22. After the workpiece W is sucked and raised by the vacuum pressure, the rectilinear moving body 32 moves to the position of the defective container 36 and releases the holding of the workpiece W there. Depending on whether the workpiece W is a non-defective product or not, the above operation is performed to separate the non-defective product from the defective product. In particular, since the non-defective product is stored in the storage cylinder 39 of the non-defective container 37, the non-defective container 37 having the storage cylinder 39 (or only the storage cylinder 39 separated from the non-defective container 37) can be used as it is for transportation. The work of repacking good products can be omitted.
[0022]
The present embodiment is intended to inspect a larger number of workpieces W at the same time. For this reason, it is preferable that the intermittent rotation angle of the rotary table 10 is large, but if it is 120 °, the lower mold of the adjacent inspection stage 11 is used. Since there is a possibility that the table 22c interferes, it is practical to set it to 90 °. In addition, the number of inspection dies 20 of each inspection stage 11 is preferably 4 or more.
[0023]
【The invention's effect】
According to the apparatus of the present invention, it is possible to automatically inspect the leakage of the diaphragm and separate and take out the non-defective product and the defective product, thereby improving the inspection efficiency.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall plan view showing an embodiment of a diaphragm leakage inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a supply side of the subject diaphragm.
FIG. 3 is a perspective view of the extraction side of the subject diaphragm.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which each inspection mold is opened.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an inspection state in which the inspection mold is closed.
[Explanation of symbols]
W workpiece (diaphragm to be tested)
A Loading position B C Inspection position D Extraction position 10 Rotary table 11 Inspection stage 12 Work loading mechanism (examination diaphragm loading mechanism)
13 Horizontal articulated robot 14 Container elevating mechanism 17 Work container 18 Placement table 20 Inspection mold 21 Upper mold 21a Clamping part 21b Deformation space 22 Lower mold 22a Unevenness 22b Clamping part 23 Upper mold lifting mechanism 24 Guide rail 26 Compressed air introduction Path 27 On-off valve 28 Compressed air source 29 Pressure detector (pressure drop detector)
30 Workpiece separation / extraction mechanism (examination diaphragm separation / extraction mechanism)
31 Guide rail 32 Straight moving body 33 Lifting body 34 Horizontal moving body 35 Vacuum cup 36 Defective product container 37 Non-defective product container 38 Substrate 39 Storage cylinder

Claims (4)

等角度ずつ間欠回転される回転テーブル;
この回転テーブル上に、間欠回転の角度間隔で周方向に配列された複数の検査ステージ検査ステージ、この回転テーブルは回転方向の順に少なくとも各検査ステージの装填位置、検査位置及び取出位置を有すること;
上記検査ステージはそれぞれ、対をなす上型と下型を有し回転テーブルの径方向に対して直交する直線状に配列された3個以上の検査型を有し、さらに各検査型はそれぞれ、被検ダイアフラムの周縁部を挟着し、中心部の変形空間を形成する上型と下型を有すること;
各検査ステージの複数の検査型の上型をそれぞれ昇降させる上型昇降機構;
各検査ステージの複数の検査型の下型をそれぞれ、回転テーブルの同じ検査ステージの上型が上昇しているとき、上型の下方位置と、回転テーブルの径方向外方の着脱位置との間で進退させる下型進退機構;
各検査ステージが上記装填位置にあってその複数の下型が上記着脱位置にあるとき、その複数の下型上に被検ダイアフラムを供給する被検ダイアフラム装填機構;
この被検ダイアフラム装填機構によって被検ダイアフラムを装着した各検査ステージの複数の下型が下型進退機構によって複数の上型の下方位置に移動し、かつ上型昇降機構によって同検査ステージの複数の上型が下型上に下降している上記検査位置において、同検査ステージ上の下型と上型との間の被検ダイアフラムに空気圧力を及ぼして漏れを検査する漏れ検査機構;
各検査ステージが取出位置にありその複数の下型が着脱位置にあるとき、該複数の下型上の被検ダイアフラムを吸着する複数の直線状に配列されたバキュームカップを有し、該バキュームカップの配列方向へ直線往復移動し、上記漏れ検査機構による検査結果が良品か不良品かに応じ、バキュームカップを異なる位置に移動させて良品と不良品とに分ける被検ダイアフラム分離取出機構;
を備えたことをダイアフラムの漏れ検査装置。
Rotary table that is intermittently rotated at equal angles;
A plurality of inspection stage inspection stages arranged circumferentially at an angular interval of intermittent rotation on the rotary table, the rotary table having at least a loading position, an inspection position and an extraction position of each inspection stage in the order of the rotation direction;
Each of the inspection stages has a pair of upper and lower molds, and has three or more inspection molds arranged in a straight line perpendicular to the radial direction of the rotary table. Having an upper mold and a lower mold that sandwich the peripheral edge of the subject diaphragm and form a deformation space in the center;
Upper mold lifting mechanism that lifts and lowers the upper molds of each inspection stage;
When the upper mold of the same inspection stage of the rotary table is raised, the lower mold of each of the plurality of inspection molds of each inspection stage is between the lower position of the upper mold and the mounting / dismounting position radially outward of the rotary table. Lower type advance / retreat mechanism to advance and retract with
A test diaphragm loading mechanism for supplying a test diaphragm onto the plurality of lower molds when each inspection stage is in the loading position and the plurality of lower molds are in the attaching / detaching position;
A plurality of lower molds of each inspection stage equipped with the diaphragm to be tested are moved to a lower position of the plurality of upper molds by the lower mold advancing / retreating mechanism, and a plurality of the inspection stages of the inspection stage are moved by the upper mold lifting mechanism. A leak inspection mechanism for inspecting leaks by applying air pressure to the diaphragm to be tested between the lower mold and the upper mold on the inspection stage at the inspection position where the upper mold is lowered onto the lower mold;
When each inspection stage is in the take-out position and the plurality of lower molds are in the attachment / detachment position, the vacuum cup has a plurality of linearly arranged vacuum cups that adsorb the test diaphragms on the plurality of lower molds. The diaphragm separation / extraction mechanism to be tested is divided into a non-defective product and a non-defective product by moving the vacuum cup to different positions according to whether the inspection result by the leakage inspection mechanism is a non-defective product or a non-defective product.
A diaphragm leak inspection device with a
請求項1記載の漏れ検査装置において、間欠回転の角度間隔は90°であり、一つの検査ステージ上の検査型は4個以上であるダイアフラムの漏れ検査装置。The leak inspection apparatus according to claim 1, wherein the angular interval of intermittent rotation is 90 °, and there are four or more inspection molds on one inspection stage. 請求項1または2記載の漏れ検査装置において、漏れ検査機構は、上型と下型にそれぞれ形成された被検ダイアフラム周縁の挟着部と;上型と下型の一方に形成された圧縮空気導入路とこの圧縮空気導入路から導入された圧縮空気により被検ダイアフラムが変形するのを許す、上型と下型の他方に形成された上記変形空間と;被検ダイアフラムが圧縮空気により変形したのち該被検ダイアフラムが作る室の圧力降下を検出する圧力検出器と;を有するダイアフラムの漏れ検査装置。3. The leak inspection apparatus according to claim 1, wherein the leak inspection mechanism includes a sandwiched portion at the periphery of the diaphragm to be tested formed in each of the upper mold and the lower mold; and compressed air formed in one of the upper mold and the lower mold. The deformation space formed on the other of the upper mold and the lower mold, allowing the test diaphragm to be deformed by the introduction path and the compressed air introduced from the compressed air introduction path; and the test diaphragm is deformed by the compressed air And a pressure detector for detecting a pressure drop in a chamber formed by the diaphragm to be tested. 請求項1ないし3のいずれか1項記載の漏れ検査装置において、さらに被検ダイアフラムを重ねて収納する複数の収納筒体を直線状に配列して有する良品コンテナを有し、被検ダイアフラム分離取出機構は、検査結果が良品であるとき、被検ダイアフラムをこの通い良品コンテナの複数の収納筒体内に収納するダイアフラムの漏れ検査装置。4. The leak inspection apparatus according to claim 1, further comprising a non-defective container having a plurality of storage cylinders arranged in a straight line for storing the test diaphragms in a stacked manner, and separating and taking out the test diaphragms. The mechanism is a diaphragm leakage inspection device for storing a diaphragm to be tested in a plurality of storage cylinders of a non-defective container when the inspection result is a non-defective product.
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