JP3808128B2

JP3808128B2 - Laser processing machine

Info

Publication number: JP3808128B2
Application number: JP08522496A
Authority: JP
Inventors: 功明塩地
Original assignee: Amada Co Ltd
Current assignee: Amada Co Ltd
Priority date: 1996-04-08
Filing date: 1996-04-08
Publication date: 2006-08-09
Anticipated expiration: 2016-04-08
Also published as: JPH09271968A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ加工機においてレーザ発振器内部のミラー，外部ベンドミラーの汚れ，光軸ずれを測定するレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，レーザ加工機に使用されている光学系のうち、レーザ発振器で使用しているレンズとミラーの劣化および傾き等のずれは、アクリル板等にレーザビームを照射してそのバーンパターンから調べる方法や出力の低下から推定している。
【０００３】
また、レーザ発振器より発振されたレーザビームを加工点へ導くための外部ベンドミラーの劣化やずれは、加工点にアクリル板等を置き、バーンパターンをとって調べるか、各外部ベンドミラーを外して目視にて調べている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のアクリル板等を用いてバーンパターンをとる方法は、レーザビームを光軸カバーの外部に取り出して行うため、危険な作業であるから、サービスマン又はメーカ側の技術者が行う必要がある。また、レーザビーム自体を測定する他の方法では高価な装置が必要であった。
【０００５】
この発明の目的は、簡単な装置でしかも安価でレーザ発振器内のミラーや外部ベンドミラーの汚れやずれを容易に測定できるようにしたレーザ加工機を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、リアミラー及び出力ミラーを備えたレーザ発振器から発振されたレーザビームを外部ベンドミラーを経て集光レンズに導き、この集光レンズで集光されたレーザビームをワークへ照射してレーザ加工を行うレーザ加工機において、前記出力ミラーとこの出力ミラーに最も近い外部ベンドミラーとの間に出入可能に設けられた反射ミラーと、ガウスモードのＨｅＮｅ光よりなるガイド光を前記反射ミラーに照射する光源と、前記外部ベンドミラーと前記集光レンズとの間において光軸に位置決め自在、光軸から退避自在のターゲット及びガイド光用出力計とを備え、前記ターゲットの中央部に設けた円形状の穴を通過した前記レーザビームの出力分布を前記ガイド光用出力計によって測定する構成であることを特徴とするものである。
【０００８】
また、前記レーザ加工機において、複数備えた各外部ベンドミラーの間において光軸に位置決め自在，光軸から退避自在のターゲット及びガイド光用出力計とを備えていることを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態の例を図面に基いて詳細に説明する。
【００１７】
図１を参照するに、レーザ加工機１はレーザ発振器３，複数の外部ベンドミラー５，７，９および集光レンズ１１を備えている。前記レーザ発振器３は特にリアミラー１３，出力ミラー１５を備えた光共振器１７で構成されており、リアミラー１３の脇には光出力計１９が設けられている。
【００１８】
上記構成により、レーザ発振器３における光共振器１７のリアミラー１３と出力ミラー１５とにより発振されたレーザビームは、外部ベンドミラー５，７，９を経て集光レンズ１１で集光される。この集光レンズ１１で集光されたレーザビームはワークテーブル２１上に載置されたワークＷへ向けて照射されることにより、ワークＷにレーザ加工が行われることになる。なお、レーザ発振器３で発振されたレーザビームの出力は光出力計１９でもって出力されるものである。
【００１９】
前記出力ミラー１５と外部ベンドミラー５との間には両面に反射ミラー２３，２５を備えたシャッター２７が図１において上下方向へ移動可能、すなわち出力ミラー１５と外部ベンドミラー５との間に出入可能に設けられている。このシャッター２７の図１において上下には第１ガイド光を照射せしめる光源２９，光ダンパー３１がそれぞれ設けられている。
【００２０】
前記リアミラー１３の前には反射ミラーとしてのダイクロイックミラーなどからなる特殊ミラー３３が設けられている。この特殊ミラー３３の図１において下方には第２ガイド光を照射せしめる光源３５が設けられている。前記外部ベンドミラー９と集光レンズ１１との間にはガイド光用出力計３７とターゲット３９を備えたセンサアッシー４１が設けられている。
【００２１】
このセンサアッシー４１は図２によく示されているように、ガイド光用出力計３７はエアシリンダ４３に装着されたピストンロッド４５の先端に取付けられている。また、ターゲット３９はエアシリンダ４７に装着されたピストンロッド４９の先端に取付けられている。ターゲット３９の真中には、図２より理解されるように円形状の穴３９Ｈが形成されている。
【００２２】
上記構成により、エアシリンダ４３，４７をそれぞれ作動せしめて、ピストンロッド４５，４９を図２において左右方向へ移動せしめることにより、ガイド光用出力計３７，ターゲット３９がそれぞれ個々に第１，第２ガイド光の光軸に位置決めされたり、あるいは退避位置に退避されることになる。
【００２３】
前記光源２９，３５から照射される第１ガイド光，第２ガイド光は、例えば図３に示されているようなＨｅＮｅ光のガウスモード（ＴＥＭ₀₀）が使用されるものである。
【００２４】
上記構成により、まずエアシリンダ４３を作動せしめてピストンロッド４５を介してガイド光用出力計３７をガイド光の光軸上に位置せしめる。この状態でシャッター２３をガイド光の光軸上に位置せしめることにより、光源２９から照射された第１ガイド光はシャッター２７の一面に設けられた反射ミラー２３で反射された後、外部ベンドミラー５，７，９を経てガイド光用出力計３７でもって第１ガイド光の出力が図４の曲線Ａに示されているように出力される。なお、レーザ発振器３から発振されるレーザビームはシャッター２７の他面に設けられている反射ミラー２５で反射されて光ダンパー３１に吸収されるようになっている。
【００２５】
したがって、ガイド光用出力計３７で図４の曲線Ａのごとき出力されるので、外部ベンドミラー５，７，９が汚れていないときの出力は例えば図４の直線Ｌで出力される出力値との差Ｌ１が外部ベンドミラー５，７，９のトータルの汚れとして測定することができる。
【００２６】
また、エアシリンダ４７を作動せしめてピストンロッド４９を介してターゲット３９を第１ガイド光の光軸に位置決めすると、図２より明らかなように、前記ターゲット３９の中央に設けた円形状の穴３９Ｈを通過してガイド光用出力計３７で図５（Ａ）に示すような出力分布が得られる。この場合、第１ガイド光の光軸を予めターゲット３９の穴３９Ｈの中心に合わせておけば、図５（Ｂ）に示すような出力分布が得られるはずであるから、この図５の（Ａ）と（Ｂ）の出力分布を比較して出力の低下分を計算することにより、光軸ずれを測定することができる。
【００２７】
同様にして、シヤッター２７を図１において点線に示されているように移動せしめた状態にして、光源３５から第２ガイド光を特殊ミラー３３へ向けて照射せしめると、特殊ミラー３３で反射された第２ガイド光はリアミラー１３，出力ミラー１５を通り、外部ベンドミラー５，７，９を経てガイド光用出力計３７でもって、図４の曲線Ｂで示すような出力が測定される。この曲線Ｂの出力はリアミラー１３，出力ミラー１５および外部ベンドミラー５，７，９による出力であるから、この曲線Ｂの出力値と前回測定された曲線Ａの出力値との差Ｌ２がレーザ発振器３のリアミラー１３，出力ミラー１５による汚れとして測定することができる。
【００２８】
また、第２ガイド光がターゲット３９の穴３９Ｈを通過してガイド光用出力計３７で図５（Ａ）に示すような出力分布と、図５（Ｂ）に示すような出力分布とを比較して出力の低下分計算することにより、光軸ずれを測定することができる。
【００２９】
こように第１ガイド光，第２ガイド光の出力をガイド光用出力計３７，ターゲット３９を用いて測定し計算することにより、レーザ発振器３内のリアミラー１３，出力ミラー１５によるミラー並びに外部ベンドミラー５，７，９によるミラーの汚れ並びに光軸ずれを、簡単な装置でしかも安価で、かつ容易に測定することができる。
【００３０】
特殊ミラー３３，シャッター２７，ガイド光用出力計３７およびターゲット３９では加工光であるレーザビームを直接測定しないから、装置そのものが単純で、安価であり、しかも安全で長寿命となるものである。
【００３１】
図６には他の実施例が示されている。図６において図１における部品と同じ品には同一の符号を符して重複する説明を省略する。図６において外部ベンドミラー５と外部ベンドミラー７との間および外部ベンドミラー７と外部ベンドミラー９との間に、図２に示されているようなガイド光用出力計３７およびターゲット３９を備えたセンサアッシー４１を設けたものである。
【００３２】
この場合には、外部ベンドミラー５と外部ベンドミラー７との間にガイド光用出力計３７，ターゲット３９を用いて、それぞれ作動せしめることにより、上述した要領でもって外部ベンドミラー５のみの汚れ並び光軸ずれを測定することができる。さらに、外部ベンドミラー７と外部ベンドミラー９との間に設けたガイド光用出力計３７，ターゲット３９も併せて用いて、それぞれ作動せしめることにより、上述した要領てもって外部ベンドミラー７のみの汚れ並びに光軸ずれを測定することができる。
【００３３】
外部ベンドミラー５と外部ベンドミラー７との間、外部ベンドミラー７と外部ベンドミラー９との間および外部ベンドミラー９と集光レンズ１１との間に設けたそれぞれのガイド光用出力計３７並びターゲット３９を用いてそれぞれを作動せしめることにより、上述した要領でもって外部ベンド９のみの汚れ並びに光軸ずれを測定することができる。
【００３４】
したがって、外部ベンドミラー５，７，９の個々の汚れや光軸ずれ、また複数の外部ベンドミラー５，７あるいは外部ベンドミラー５，７，９の汚れや光軸ずれを測定することができると共に、上述した例と同様の効果を奏するものである。
【００３５】
図７には別の実施の形態の例が示されている。図７において図１における部品と同じ部品には同一の符号を符して重複する説明を省略する。図７において、前記出力ミラー１５と外部ベンドミラー５との間に図２に示したようなガイド光用出力計３７，ターゲット３９を備えたセンサアッシー４１を設けたものである。
【００３６】
上記構成により、シャッター２７を点線の位置に移動せしめた状態において、光源３５から第２ガイド光を特殊ミラー３３へ照射せしめると、第２ガイド光は特殊ミラー３３で反射された後、リアミラー３３，出力ミラー１５を経てガイド光用出力計３７，ターゲット３９により、上述した要領でもって、リアミラー１３，出力ミラー１５によるミラーの汚れ並びに光軸ずれを測定することができると共に、上述した例と同様の効果を奏するものである。
【００３７】
なお、この発明は、前述した実施の形態の例に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。前記ガイド光用出力計３７で測定された測定値を通信システムによりサービス営業所に送って管理し、ミラー等の定期点検を不用にすることもできる。また、測定値から加工部での出力を推計し出力を補正することにより、今までのレーザ発振器３の内部の出力補正から外部ベンドミラー５，７，９の汚れによる出力低下を含めた出力補正となり、加工安定性の向上を図ることができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上のごとき実施の形態の例から理解されるように、本発明によれば、出力ミラーとこの出力ミラーに最も近い外部ベンドミラーとの間に設けた反射ミラーへガイド光を照射せしめると、ガイド光は反射ミラーで反射された後、外部ベンドミラーへ送られる。このとき、ベンドミラーの後に設けたターゲットの穴を通過したガイド光の出力分布がガイド光用出力計でもって測定され、外部ベンドミラーの汚れを測定することができる。而して、外部ベンドミラーの汚れや光軸ずれが簡単な装置でしかも安価で、かつ容易に測定することができる。
【００４１】
また、本発明によれば、複数の外部ベンドミラーの汚れ及び光軸ずれを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を実施するレーザ加工機の光学系チェック装置の説明図である。
【図２】センサアッシー部を拡大した詳細な説明図である。
【図３】ガイド光に用いるＨｅＮＥ光のガウスモードの出力分布図である。
【図４】各ミラーの汚れを測定する説明図である。
【図５】各ミラーの光軸ずれを測定する説明図である。
【図６】レーザ加工機の光学系チェック装置の他の例を説明する説明図である。
【図７】レーザ加工機の光学系チェック装置の別の例を説明する説明図である。
【符号の説明】
１レーザ加工機
３レーザ発振器
５，７，９外部ベンドミラー
１１集光レンズ
１３リアミラー
１５出力ミラー
１７光共振器
２３，２５反射ミラー
２７シャッター
２９光源
３３特殊ミラー（反射ミラー）
３５光源
３７ガイド光用出力計
３９ターゲット
４１センサアッシー[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
This invention is related to a laser machining apparatus for measuring laser oscillator inside of the mirror, soiling of the outer bend mirror, the optical axis shift in the laser processing machine.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, among optical systems used in laser processing machines, lenses and mirrors used in laser oscillators are examined for deterioration and tilt, etc., by irradiating a laser beam to an acrylic plate or the like from the burn pattern. And is estimated from the decrease in output.
[0003]
Also, the deterioration or deviation of the external bend mirror for guiding the laser beam oscillated from the laser oscillator to the processing point can be examined by placing an acrylic plate or the like at the processing point and taking a burn pattern, or removing each external bend mirror. It is checked visually.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the method of taking a burn pattern using the above-mentioned conventional acrylic plate or the like is a dangerous work because it is performed by taking out the laser beam outside the optical axis cover, and therefore it is performed by a serviceman or a technician on the manufacturer side. There is a need. Also, other methods for measuring the laser beam itself require expensive equipment.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a laser processing machine which is a simple apparatus and is inexpensive and can easily measure dirt and displacement of a mirror in an laser oscillator and an external bend mirror.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made in view of the above-described problems. A laser beam oscillated from a laser oscillator provided with a rear mirror and an output mirror is guided to a condenser lens through an external bend mirror, and is condensed by the condenser lens. In a laser processing machine for performing laser processing by irradiating a workpiece with a laser beam, a reflecting mirror provided so as to be able to enter and exit between the output mirror and an external bend mirror closest to the output mirror, and a Gaussian mode HeNe A light source that irradiates the reflecting mirror with guide light comprising light, a target that can be positioned on the optical axis between the external bend mirror and the condenser lens, and a target that can be retracted from the optical axis and a guide light output meter The output distribution of the laser beam that has passed through a circular hole provided in the center of the target is measured by the guide light output meter. It is characterized in that it is configured that.
[0008]
The laser processing machine is characterized by comprising a target and a guide light output meter that can be positioned on and retracted from the optical axis between a plurality of external bend mirrors. .
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0017]
Referring to FIG. 1, the laser processing machine 1 includes a laser oscillator 3, a plurality of external bend mirrors 5, 7, 9 and a condenser lens 11. The laser oscillator 3 is composed of an optical resonator 17 having a rear mirror 13 and an output mirror 15, and an optical output meter 19 is provided on the side of the rear mirror 13.
[0018]
With the above configuration, the laser beam oscillated by the rear mirror 13 and the output mirror 15 of the optical resonator 17 in the laser oscillator 3 is condensed by the condenser lens 11 via the external bend mirrors 5, 7, and 9. The laser beam condensed by the condensing lens 11 is irradiated toward the workpiece W placed on the work table 21, whereby the workpiece W is subjected to laser processing. The output of the laser beam oscillated by the laser oscillator 3 is output by the optical output meter 19.
[0019]
A shutter 27 having reflection mirrors 23 and 25 on both sides is movable between the output mirror 15 and the external bend mirror 5 in FIG. 1 , that is, between the output mirror 15 and the external bend mirror 5. It is provided as possible . A light source 29 and a light damper 31 for irradiating the first guide light are provided above and below the shutter 27 in FIG.
[0020]
In front of the rear mirror 13, a special mirror 33 made of a dichroic mirror or the like as a reflection mirror is provided. A light source 35 for irradiating the second guide light is provided below the special mirror 33 in FIG. A sensor assembly 41 having a guide light output meter 37 and a target 39 is provided between the external bend mirror 9 and the condenser lens 11.
[0021]
As this sensor assembly 41 is well shown in FIG. 2, the guide light output meter 37 is attached to the tip of a piston rod 45 attached to the air cylinder 43. The target 39 is attached to the tip of a piston rod 49 mounted on the air cylinder 47. In the middle of the target 39 , a circular hole 39H is formed as understood from FIG .
[0022]
With the above configuration, the air cylinders 43 and 47 are operated, and the piston rods 45 and 49 are moved in the left-right direction in FIG. It is positioned on the optical axis of the guide light or retracted to the retracted position.
[0023]
As the first guide light and the second guide light emitted from the light sources 29 and 35, for example, a Gaussian mode (TEM ₀₀ ) of HeNe light as shown in FIG. 3 is used.
[0024]
With the above configuration, first, the air cylinder 43 is operated, and the guide light output meter 37 is positioned on the optical axis of the guide light via the piston rod 45. By positioning the shutter 23 on the optical axis of the guide light in this state, the first guide light emitted from the light source 29 is reflected by the reflection mirror 23 provided on one surface of the shutter 27 and then the external bend mirror 5. , 7 and 9, the output of the first guide light is output by the guide light output meter 37 as shown by the curve A in FIG. The laser beam oscillated from the laser oscillator 3 is reflected by the reflection mirror 25 provided on the other surface of the shutter 27 and is absorbed by the optical damper 31.
[0025]
Accordingly, since the output light 37 for the guide light is output as shown by the curve A in FIG. 4, the output when the external bend mirrors 5, 7, and 9 are not soiled is, for example, the output value output by the straight line L in FIG. Can be measured as the total contamination of the external bend mirrors 5, 7, 9.
[0026]
Further, when the air cylinder 47 is actuated and the target 39 is positioned on the optical axis of the first guide light via the piston rod 49, a circular hole 39H provided in the center of the target 39 , as is apparent from FIG. And an output distribution as shown in FIG. 5A is obtained by the guide light output meter 37. In this case, if the optical axis of the first guide light is aligned with the center of the hole 39H of the target 39 in advance, an output distribution as shown in FIG. 5B should be obtained. ) And (B) are compared to calculate the amount of decrease in output, whereby the optical axis deviation can be measured.
[0027]
Similarly, when the shutter 27 is moved as shown by the dotted line in FIG. 1 and the second guide light is emitted from the light source 35 toward the special mirror 33, the light is reflected by the special mirror 33. The second guide light passes through the rear mirror 13 and the output mirror 15, passes through the external bend mirrors 5, 7, 9, and is output by the guide light output meter 37 as shown by a curve B in FIG. 4. Since the output of the curve B is output by the rear mirror 13, the output mirror 15, and the external bend mirrors 5, 7, and 9, the difference L2 between the output value of the curve B and the output value of the curve A measured last time is the laser oscillator. It can be measured as dirt by the rear mirror 13 and the output mirror 15.
[0028]
Further, the second guide light passes through the hole 39H of the target 39, and the output distribution as shown in FIG. 5A is compared with the output distribution as shown in FIG. Then, the optical axis deviation can be measured by calculating the decrease in output.
[0029]
Thus, by measuring and calculating the outputs of the first guide light and the second guide light using the guide light output meter 37 and the target 39, the rear mirror 13 in the laser oscillator 3, the mirror by the output mirror 15, and the external bend The contamination of the mirror and the optical axis deviation due to the mirrors 5, 7, and 9 can be easily measured with a simple apparatus at a low cost.
[0030]
Since the special mirror 33, the shutter 27, the guide light output meter 37 and the target 39 do not directly measure the laser beam as the processing light, the apparatus itself is simple, inexpensive, safe and has a long life.
[0031]
FIG. 6 shows another embodiment. In FIG. 6, the same components as those in FIG. 6, a guide light output meter 37 and a target 39 as shown in FIG. 2 are provided between the external bend mirror 5 and the external bend mirror 7 and between the external bend mirror 7 and the external bend mirror 9. The sensor assembly 41 is provided.
[0032]
In this case, by operating the guide light output meter 37 and the target 39 between the external bend mirror 5 and the external bend mirror 7, respectively, only the external bend mirror 5 is arranged in the manner described above. Optical axis deviation can be measured. Further, the guide light output meter 37 and the target 39 provided between the external bend mirror 7 and the external bend mirror 9 are also used in combination to operate them so that only the external bend mirror 7 is soiled as described above. In addition, the optical axis deviation can be measured.
[0033]
A guide light output meter 37 provided between the external bend mirror 5 and the external bend mirror 7, between the external bend mirror 7 and the external bend mirror 9, and between the external bend mirror 9 and the condenser lens 11. By operating each using the target 39, it is possible to measure the contamination of the external bend 9 and the optical axis deviation in the manner described above.
[0034]
Accordingly, it is possible to measure individual dirt and optical axis deviation of the external bend mirrors 5, 7, and 9, and dirt and optical axis deviations of the plurality of external bend mirrors 5, 7 or the external bend mirrors 5, 7, and 9. The same effect as the above-mentioned example is produced.
[0035]
FIG. 7 shows an example of another embodiment. In FIG. 7, parts that are the same as the parts in FIG. In FIG. 7, a sensor assembly 41 including a guide light output meter 37 and a target 39 as shown in FIG. 2 is provided between the output mirror 15 and the external bend mirror 5.
[0036]
With the above configuration, when the second guide light is applied to the special mirror 33 from the light source 35 in the state where the shutter 27 is moved to the dotted line position, the second guide light is reflected by the special mirror 33, and then the rear mirror 33, The guide light output meter 37 and the target 39 through the output mirror 15 can measure the dirt and optical axis deviation of the rear mirror 13 and the output mirror 15 in the manner described above, and are similar to the above example. There is an effect.
[0037]
In addition, this invention is not limited to the example of embodiment mentioned above, It can implement in another aspect by making an appropriate change. The measured value measured by the guide light output meter 37 can be sent to the service office by the communication system for management, and the periodic inspection of the mirror or the like can be made unnecessary. Also, by correcting the output by estimating the output at the processing part from the measured value, the output correction including the output decrease due to the contamination of the external bend mirrors 5, 7, 9 from the internal output correction of the laser oscillator 3 so far Thus, the processing stability can be improved.
[0039]
【The invention's effect】
As can be seen from this example of such embodiment above, according to the present invention, when allowed to irradiate the guide light to the reflecting mirror which is provided between the closest external bend mirror to the output mirror and an output mirror, The guide light is reflected by the reflection mirror and then sent to the external bend mirror. At this time, the output distribution of the guide light that has passed through the target hole provided after the bend mirror is measured by the guide light output meter, and the contamination of the external bend mirror can be measured. Thus, the external bend mirror can be easily and easily measured with a device that is simple in terms of contamination and optical axis misalignment.
[0041]
Further, according to the present invention, it is possible to measure dirt and optical axis deviation of a plurality of external bend mirrors .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an optical system check device for a laser beam machine embodying the present invention.
FIG. 2 is an enlarged detailed explanatory view of a sensor assembly.
FIG. 3 is an output distribution diagram of a Gaussian mode of HeNE light used for guide light.
FIG. 4 is an explanatory diagram for measuring dirt on each mirror.
FIG. 5 is an explanatory diagram for measuring an optical axis shift of each mirror.
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining another example of an optical system check device of a laser beam machine.
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining another example of an optical system check device of a laser beam machine.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing machine 3 Laser oscillator 5, 7, 9 External bend mirror 11 Condensing lens 13 Rear mirror 15 Output mirror 17 Optical resonator 23, 25 Reflection mirror 27 Shutter 29 Light source 33 Special mirror (reflection mirror)
35 Light source 37 Guide light output meter 39 Target 41 Sensor assembly

Claims

A laser beam oscillated from a laser oscillator (3) having a rear mirror (13) and an output mirror (15) is guided to a condenser lens (11) through an external bend mirror, and is condensed by the condenser lens (11). In the laser processing machine that performs laser processing by irradiating the workpiece (W) with the laser beam, the laser beam is provided between the output mirror (15) and the external bend mirror closest to the output mirror (15). An optical axis between the reflection mirror (23), a light source (29) that irradiates the reflection mirror (23) with guide light composed of GaNe mode HeNe light, and the external bend mirror and the condenser lens (11). Are provided with a target (39) which can be positioned and retracted from the optical axis, and a guide light output meter (37), and a circular hole (3) provided in the center of the target (39). Laser processing machine, characterized in that the structure determined by the power distribution of the laser beam passed through the H) guides light output meter (37).

The laser beam machine according to claim 1, further comprising a target (39) and a guide light output meter (37) that can be positioned on and retracted from the optical axis between a plurality of external bend mirrors. A laser beam machine characterized by