JP3800085B2 - Manufacturing method of ceramic body - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種電子機器等に用いる電子部品のセラミック素体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
以下、従来のセラミック素体の製造方法について説明する。
【0003】
従来のセラミック素体の製造方法は、まず、バインダーを添加したセラミック原料を造粒して100μm程度のセラミック造粒粉を形成し、次に、このセラミック造粒粉をセラミック素体用の金型内に充填して1軸加圧でセラミック素体の粉末成型体を形成し、最後に、このセラミック素体の粉末成型体を焼成して5ミリ角程度のセラミック素体を製造している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、上記製造方法(粉体成型工法)によれば、セラミック造粒粉の充填が不均一になると加圧不良や金型破損等が生じ易くなるので、セラミック造粒粉の均一な金型充填性が求められる。充填を均一にするためには、セラミック造粒粉の形状を球形状にしたり粒径を小さくしたりしてセラミック造粒粉の粉体流動性を改善すればよい。
【0005】
しかし、セラミック素体を非常に小さく1ミリ角以下の寸法まで小型化を図ろうとすると、セラミック造粒粉の粉体流動性が悪化して金型充填を均一にすることが難しくなり、加圧不良等によってセラミック素体の歩留りや信頼性が低下するという問題点を有していた。
【0006】
本発明は上記問題点を解決するもので、歩留りや信頼性を向上したセラミック素体の製造方法を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために本発明は以下の構成を有する。
【0008】
請求項1に記載の本発明は、特に、セラミックシートを個片に分離して複数のセラミック素体を形成する素体形成工程を備え、素体形成工程では、セラミックシートを粘着シートに貼付する貼付工程と、前記粘着シートを分離しないように個片の外形に沿わせた切断溝を前記セラミックシートに形成する切断溝形成工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離する剥離工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離すると同時に前記切断溝に沿って複数のセラミック素体に分離する分離工程とを備え、シート形成工程において、セラミックシートを複数積層するとともに貫通孔を形成し、この貫通孔の内周面をセラミック素体の外形面の一部とするセラミック素体の製造方法である。
【0009】
上記製造方法により、セラミック造粒粉を金型に充填する工程を設けず、セラミックシートを個片に分離してセラミック素体を形成するので、予め使用状態に適合する材質条件のセラミックシートを用いることができ、セラミック素体の歩留りおよび信頼性を向上できる。
【0010】
また、セラミックシートを個片に分離する際は、粘着シートに貼付したセラミックシートにセラミック素体の外形に沿わせた切断溝を形成し、このセラミックシートを粘着シートから剥離すると同時に、切断溝に沿ってセラミック素体を分離するので、セラミック素体をセラミックシートから個片に分離することが非常に容易で歩留りをより向上できる。特に、セラミック素体の外形寸法が1ミリ角以下と非常に小さくても、分離時にセラミック素体が飛散したりすることもなく、所定場所に収集しやすい。
【0011】
さらに、貫通孔の内周面がセラミック素体の外形面の一部となるので生産性がよい。
【0012】
請求項2に記載の本発明は、シート形成工程において、セラミックシートを複数積層するとともに凹凸部を形成し、前記凹凸部の外周面をセラミック素体の外形面の一部とする製造方法である。
【0013】
上記製造方法により、凹凸部の外周面がセラミック素体の外形面の一部となるので生産性がよい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を用いて、本発明の全請求項に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【0015】
図1は本発明の一実施の形態におけるセラミック素体の製造工程図、図2は同セラミック素体の製造工程におけるシート形成工程後のセラミックシートの斜視図、図3は同セラミック素体の製造工程における切断溝形成工程時のセラミックシートの斜視図、図4は同セラミック素体の製造工程における分離工程後のセラミック素体の斜視図、図5(a)、(b)は粘着シートの温度変化による粘着力状態を示した粘着特性図である。
【0016】
図1において、本発明の一実施の形態におけるセラミック素体の製造方法は、シート形成工程(A)、シート加工工程(B)、素体形成工程(C)の工程を設けている。
【0017】
まず、酸化アルミナ粉末96g、酸化銅粉末2g、酸化チタン粉末2gに対して、ブチラール樹脂8g、ブチルベンジンフタレート4g、メチルエチルケトン24gおよび酢酸ブチル24gを配合して混合し、ポットミルを用いてアルミナスラリーを作製する。
【0018】
このアルミナスラリーは薄く延ばして乾燥させ、厚み0.2mmのアルミナグリーンシートからなる未焼成のセラミックシート1を作製するとともに、このセラミックシート1を縦11cm、横4.5cmに裁断して3枚積層し、同一の材質からなる積層したセラミックシート1を形成する(シート形成工程)。
【0019】
次に、図2に示すように、積層したセラミックシート1に貫通孔4や凹凸部6等の所定形状を、ピンの断面形状が十字状で、81本のピンを8列に配置した648本のピン数の金型により打ち抜き成型して形成する(シート加工工程)。このとき、成型圧力は1000kgf/cm2としている。
【0020】
そして、図3に示すように、このセラミックシート1を切断機10を用いて、各列2ショットで合計16ショットの切断数として、640の個片9に分離して、図4に示すように貫通孔4の内周面や凹凸部6の外周面を外形の一部とするセラミック素体を複数形成する(素体形成工程)。
【0021】
この素体形成工程では、さらに、温度変化により可逆的に粘性の変化する材質からなる粘着層5を基板シート7に塗布して形成した粘着シート8に所定形状を形成したセラミックシート1を貼付する貼付工程と、粘着シート8を分離しないように、個片9の外形に沿わせた切断溝3をセラミックシート1に回転切り(ダイシング切削法)して形成する切断溝形成工程と、セラミックシート1を超音波洗浄し、回転切りによる切削屑を除去する洗浄工程と、図5に示すように、温度を高温または低音に変化させて粘着層5の粘性を低下させ(図5(a)は低温時に粘着力が小さく高温時に粘着力が大きい、図5(b)は高温時に粘着力が小さく低温時に粘着力が大きい)、粘性が低下した粘着層5からセラミックシート1を剥離する剥離工程と、切断溝3を形成したセラミックシート1を粘着シート8から剥離すると同時に、切断溝3に沿って複数のセラミック素体に分離する分離工程とを設けている。
【0022】
洗浄工程をする際に、予め粘着層5の粘性を低下させておき、超音波洗浄における超音波振動によって、洗浄工程、剥離工程、分離工程を同時にしてもよい。
【0023】
最後に、セラミック素体は脱脂し、1300度で2時間焼成している。
【0024】
上記製造方法によれば、セラミック造粒粉を金型に充填する工程を設けず、セラミックシート1を個片9に分離しセラミック素体を形成するので、予め使用状態に適合する材質条件のセラミックシート1を用いることができ、セラミック素体の歩留りおよび信頼性を向上できる。
【0025】
また、セラミックシート1を個片9に分離する際は、粘着シート8に貼付したセラミックシート1にセラミック素体の外形に沿わせた切断溝3を形成し、このセラミックシート1を粘着シート8から剥離すると同時に、切断溝3に沿ってセラミック素体を分離する(粘着シート8からセラミックシート1を剥離すると、切断溝3に沿って必然的にセラミック素体が分離される)ので、セラミック素体をセラミックシート1から個片9に分離することが非常に容易で歩留りをより向上できる。特に、セラミック素体の外形寸法が1mm角以下と非常に小さくても、分離時にセラミック素体が飛散したりすることもなく、所定場所に収集しやすい。
【0026】
ここで、粘着層5からセラミックシート1を剥離する際には、温度変化により粘性の変化する粘着層5にセラミックシート1を貼付して、粘着層5の粘性を温度変化により低下させて剥離するので、粘着シート8からセラミックシート1を剥離し易い。
【0027】
特に、粘着シート8にセラミックシート1を貼付する際は、粘着シート8に粘性があり、セラミックシート1を剥離する際は、温度制御によって容易に粘着シート8の粘性が低下し、個片9への分離時におけるセラミック素体の飛散の防止等、使い勝手がよく、歩留りおよび信頼性を向上できる。
【0028】
この粘着シート8の粘着層5は、温度変化により可逆的に粘性が変化する材質からなるものとしているので、何度も粘着シート8を使用できる。
【0029】
ただし、切断溝3を形成する際に、粘着層5に切断傷が形成されることが多いので、このような場合は、その都度、粘着シート8を新しいものと取り替える方がよい。
【0030】
さらに、回転切りにより切断溝3を形成すると切削屑が発生するが、セラミックシート1を超音波洗浄するので、切削屑に起因したセラミック素体の信頼性低下を防止できる。この際、セラミックシート1は未焼成なので軟らかく、セラミックシート1から分離する個片9が複雑な形状や非常に小さい外形寸法の場合は、切断溝3の形成時における個片9への応力を低減して個片9への歪みを抑制でき、セラミックシート1上における個片9の間隔を狭めて取数を多くできる。
【0031】
そして、セラミックシート1に形成した貫通孔4や凹凸部6は、貫通孔4の内周面や凹凸部6の外周面をセラミック素体の外形の一部としているので、生産性がよい。
【0032】
このように本発明の一実施の形態によれば、セラミック素体をセラミックシート1から個片9に分離することが非常に容易で歩留りおよび信頼性を向上できるとともに、セラミック素体が飛散したりすることもなく、所定場所に収集しやすい。
【0033】
また、粘着シート8の粘着層5は、温度変化により可逆的に粘性が変化する材質からなるものとしているので、何度も粘着シート8を使用できるとともに、セラミックシート1に形成した貫通孔4や凹凸部6は、貫通孔4の内周面や凹凸部6の外周面をセラミック素体の外形の一部としているので、生産性もよい。
【0034】
なお、本発明の一実施の形態では、粘着シート8の粘着層5を温度変化により可逆的に粘性が変化する材質からなるものとして、セラミックシート1を粘着シート8から剥離しているが、温度変化により発泡性を有する発泡粒子が混合された接着剤を粘着層5とし、剥離工程において、温度を高温または低温に変化させてこの発泡粒子を発泡させ、発泡粒子が粘着層5からセラミックシート1を押し上げるように剥離してもよい。
【0035】
これによれば、発泡粒子は可逆的に発泡したり収縮したりしないので、発泡後は温度に関係なく、粘性が低下した粘着層5から容易にセラミックシート1を剥離できるので、剥離時における温度制御が必要なく使い勝手がよい。
【0036】
また、切断溝3を形成する際、回転切りではなく、図6に示すように、押し切り(平板状カッターで押し切る)により形成すれば、単位面積あたりの個片9の取数を多くできるとともに、図7に示すように、個片9の形状を直方体にしてもよい。
【0037】
さらに、本発明の一実施の形態によって製造したセラミック素体を用い、このセラミック素体の外周に導体メッキを施すとともに、この導体メッキを螺旋状に溝切加工し、セラミック素体の外周にコイル部を形成すれば、コイル部品として使用することができる。しかし、コイル部品の外形寸法が1mm角以下の非常に小さいものである場合は、セラミック素体の形状によってコイル部の形成範囲が小さくなったり、セラミック素体の断面積が小さくなったりして、インダクタンス値等の特性値が大きく影響を受け易い。特に、粘着シート8に貼付するセラミックシート1は未焼成なので、セラミックシート1を粘着シート8から剥離する際、分離される個片9の形状が変形し易い。したがって、このような場合は、温度変化により可逆的に粘性が変化する材質からなるものを粘着層5として用いた方が個片9の形状変化を抑制できる。接着剤に発泡粒子を混合したものは、発泡粒子の発泡によって、所定粘度の接着剤から無理に剥離されるため、外形寸法が非常に小さい未焼成の個片9に対しては、応力の緩和が難しく変形し易くなるからである。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、セラミック造粒粉を金型に充填する工程を設けず、セラミックシートを個片に分離してセラミック素体を形成するので、予め使用状態に適合する材質条件のセラミックシートを用いることができ、セラミック素体の歩留りおよび信頼性を向上したセラミック素体の製造方法を提供できる。
【0039】
また、セラミックシートを個片に分散する際は、粘着シートに貼付したセラミックシートにセラミック素体の外形に沿わせた切断溝を形成し、このセラミックシートを粘着シートから剥離すると同時に、切断溝に沿ってセラミック素体を分離するので、セラミック素体をセラミックシートから個片に分離することが非常に容易で歩留りをより向上できる。特に、セラミック素体の外形寸法が1ミリ角以下と非常に小さくても、分離時にセラミック素体が飛散したりすることもなく、所定場所に収集しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (A)〜(C)本発明の一実施の形態におけるセラミック素体の製造工程図
【図2】 同セラミック素体の製造工程におけるシート形成工程後のセラミックシートの斜視図
【図3】 同セラミック素体の製造工程における切断溝形成工程時のセラミックシートの斜視図
【図4】 同セラミック素体の製造工程における分離工程後のセラミック素体の斜視図
【図5】 (a)(b)粘着シートの温度変化による粘着力状態を示した粘着特性図
【図6】 同セラミック素体の製造工程における切断溝形成工程時の他のセラミックシートの斜視図
【図7】 同セラミック素体の製造工程における分離工程後の他のセラミック素体の斜視図
【符号の説明】
1 セラミックシート
3 切断溝
4 貫通孔
5 粘着層
6 凹凸部
7 基板シート
8 粘着シート
9 個片
10 切断機
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic body of an electronic component used in various electronic devices.
[0002]
[Prior art]
Hereinafter, a conventional method for manufacturing a ceramic body will be described.
[0003]
In the conventional method for producing a ceramic body, first, a ceramic raw material to which a binder is added is granulated to form a ceramic granulated powder of about 100 μm, and then this ceramic granulated powder is used as a mold for the ceramic body. A ceramic body powder molded body is formed by uniaxial pressurization by filling the inside, and finally, the ceramic body powder molded body is fired to produce a ceramic body body of about 5 mm square.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In general, according to the above manufacturing method (powder molding method), if the ceramic granulated powder is not evenly filled, pressurization failure or die breakage is likely to occur. Sex is required. In order to make the filling uniform, the shape of the ceramic granulated powder may be made spherical or the particle size may be reduced to improve the powder flowability of the ceramic granulated powder.
[0005]
However, when trying to downsize the ceramic body to a very small size of 1mm square or less, the powder fluidity of the ceramic granulated powder deteriorates, making it difficult to make the mold filling uniform and pressurizing. There has been a problem that the yield and reliability of the ceramic body deteriorate due to defects and the like.
[0006]
The present invention solves the above-described problems, and an object thereof is to provide a method for manufacturing a ceramic body with improved yield and reliability.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
[0008]
The present invention described in claim 1 includes an element body forming step in which the ceramic sheet is separated into individual pieces to form a plurality of ceramic element bodies, and the ceramic sheet is attached to the adhesive sheet in the element body forming step. A sticking step, a cutting groove forming step for forming a cutting groove along the outer shape of the piece so as not to separate the pressure sensitive adhesive sheet in the ceramic sheet, and a peeling for peeling the ceramic sheet formed with the cutting groove from the pressure sensitive adhesive sheet A step of separating the ceramic sheet formed with the cut groove from the adhesive sheet and simultaneously separating the ceramic sheet into a plurality of ceramic bodies along the cut groove, and laminating a plurality of ceramic sheets in the sheet forming step. In this method , a through hole is formed, and the inner peripheral surface of the through hole is part of the outer surface of the ceramic body .
[0009]
According to the above manufacturing method, the ceramic body is formed by separating the ceramic sheet into individual pieces without providing the step of filling the ceramic granulated powder into the mold. Therefore, the yield and reliability of the ceramic body can be improved.
[0010]
Also, when separating the ceramic sheet into individual pieces, a cutting groove is formed along the outer shape of the ceramic body on the ceramic sheet affixed to the adhesive sheet, and at the same time the ceramic sheet is peeled from the adhesive sheet, Therefore, it is very easy to separate the ceramic body from the ceramic sheet into individual pieces, and the yield can be further improved. In particular, even if the external dimensions of the ceramic body are as small as 1 mm square or less, the ceramic body does not scatter during separation and is easily collected at a predetermined location.
[0011]
Furthermore, the inner peripheral surface of the through hole becomes a part of the outer surface of the ceramic body, so that productivity is good.
[0012]
The present invention according to claim 2 is a manufacturing method in which, in the sheet forming step , a plurality of ceramic sheets are stacked and an uneven portion is formed, and the outer peripheral surface of the uneven portion is a part of the outer surface of the ceramic body. .
[0013]
By the above manufacturing method, the outer peripheral surface of the concavo-convex portion becomes a part of the outer surface of the ceramic body, so that productivity is good.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0015]
1 is a manufacturing process diagram of a ceramic body according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a ceramic sheet after a sheet forming process in the manufacturing process of the ceramic body, and FIG. 3 is a manufacturing process of the ceramic body. FIG. 4 is a perspective view of the ceramic body after the separation step in the manufacturing process of the ceramic body, and FIGS. 5A and 5B are temperatures of the adhesive sheet. It is the adhesive characteristic figure which showed the adhesive force state by a change.
[0016]
In FIG. 1, the manufacturing method of the ceramic body in one embodiment of the present invention includes a sheet forming step (A), a sheet processing step (B), and an element body forming step (C).
[0017]
First, 96 g of alumina oxide powder, 2 g of copper oxide powder, and 2 g of titanium oxide powder are mixed with 8 g of butyral resin, 4 g of butyl benzine phthalate, 24 g of methyl ethyl ketone and 24 g of butyl acetate, and an alumina slurry is prepared using a pot mill. To do.
[0018]
The alumina slurry is thinly stretched and dried to produce an unfired ceramic sheet 1 made of an alumina green sheet having a thickness of 0.2 mm, and the ceramic sheet 1 is cut into a length of 11 cm and a width of 4.5 cm to laminate three sheets. Then, the laminated ceramic sheets 1 made of the same material are formed (sheet forming step).
[0019]
Next, as shown in FIG. 2, the laminated ceramic sheet 1 has a predetermined shape such as the through-hole 4 and the concavo-convex portion 6, the cross-sectional shape of the pins is 648, and 81 pins are arranged in 8 rows. It is formed by punching with a die having the number of pins (sheet processing step). At this time, the molding pressure is 1000 kgf / cm 2 .
[0020]
Then, as shown in FIG. 3, the ceramic sheet 1 is separated into 640 pieces 9 by using a cutting machine 10 as a total of 16 shots in 2 shots in each row, as shown in FIG. A plurality of ceramic bodies are formed with the inner circumferential surface of the through hole 4 and the outer circumferential surface of the concavo-convex portion 6 as a part of the outer shape (element body forming step).
[0021]
In this element forming step, the ceramic sheet 1 having a predetermined shape is attached to the adhesive sheet 8 formed by applying the adhesive layer 5 made of a material that reversibly changes viscosity with temperature to the substrate sheet 7. A sticking step, a cutting groove forming step for forming the cutting groove 3 along the outer shape of the piece 9 by rotating (dicing cutting) the ceramic sheet 1 so as not to separate the adhesive sheet 8, and the ceramic sheet 1 And a cleaning process for removing cutting scraps by rotary cutting, and as shown in FIG. 5, the temperature is changed to high temperature or low sound to reduce the viscosity of the adhesive layer 5 (FIG. 5 (a) is a low temperature). A peeling step of peeling the ceramic sheet 1 from the adhesive layer 5 having a reduced viscosity, sometimes having a low adhesive strength and a high adhesive strength at high temperatures, FIG. 5 (b) having a low adhesive strength at high temperatures and a high adhesive strength at low temperatures) At the same time peeling off the ceramic sheet 1 formed with the cut groove 3 from the adhesive sheet 8, along the cutting groove 3 is provided a separation step of separating a plurality of the ceramic body.
[0022]
When performing the cleaning process, the viscosity of the adhesive layer 5 may be reduced in advance, and the cleaning process, the peeling process, and the separation process may be performed simultaneously by ultrasonic vibration in ultrasonic cleaning.
[0023]
Finally, the ceramic body is degreased and fired at 1300 degrees for 2 hours.
[0024]
According to the above manufacturing method, the ceramic sheet 1 is separated into the individual pieces 9 without forming the step of filling the ceramic granulated powder into the mold, and the ceramic body is formed. The sheet 1 can be used, and the yield and reliability of the ceramic body can be improved.
[0025]
When the ceramic sheet 1 is separated into individual pieces 9, the cutting groove 3 is formed along the outer shape of the ceramic body in the ceramic sheet 1 attached to the adhesive sheet 8, and the ceramic sheet 1 is separated from the adhesive sheet 8. Simultaneously with the separation, the ceramic body is separated along the cutting groove 3 (the ceramic body is inevitably separated along the cutting groove 3 when the ceramic sheet 1 is peeled from the adhesive sheet 8). Can be separated from the ceramic sheet 1 into individual pieces 9 and the yield can be further improved. In particular, even if the external dimensions of the ceramic body are as small as 1 mm square or less, the ceramic body does not scatter during separation and is easily collected at a predetermined location.
[0026]
Here, when peeling the ceramic sheet 1 from the pressure-sensitive adhesive layer 5, the ceramic sheet 1 is attached to the pressure-sensitive adhesive layer 5 whose viscosity changes due to a temperature change, and the viscosity of the pressure-sensitive adhesive layer 5 is lowered due to a temperature change and peeled off. Therefore, it is easy to peel the ceramic sheet 1 from the adhesive sheet 8.
[0027]
In particular, when the ceramic sheet 1 is attached to the pressure-sensitive adhesive sheet 8, the pressure-sensitive adhesive sheet 8 is viscous. It is easy to use, such as preventing the ceramic body from being scattered during the separation, and the yield and reliability can be improved.
[0028]
Since the pressure-sensitive adhesive layer 5 of the pressure-sensitive adhesive sheet 8 is made of a material whose viscosity changes reversibly with changes in temperature, the pressure-sensitive adhesive sheet 8 can be used many times.
[0029]
However, when the cut groove 3 is formed, a cut flaw is often formed in the adhesive layer 5. In such a case, it is better to replace the adhesive sheet 8 with a new one each time.
[0030]
Further, when the cutting groove 3 is formed by rotary cutting, cutting waste is generated. However, since the ceramic sheet 1 is ultrasonically cleaned, it is possible to prevent a decrease in the reliability of the ceramic body due to the cutting waste. At this time, since the ceramic sheet 1 is unfired, it is soft, and when the piece 9 separated from the ceramic sheet 1 has a complicated shape or a very small external dimension, the stress on the piece 9 when the cutting groove 3 is formed is reduced. Thus, distortion to the pieces 9 can be suppressed, and the number of pieces can be increased by narrowing the interval between the pieces 9 on the ceramic sheet 1.
[0031]
And the through-hole 4 and the uneven | corrugated | grooved part 6 formed in the ceramic sheet | seat 1 have good productivity, since the inner peripheral surface of the through-hole 4 and the outer peripheral surface of the uneven | corrugated | grooved part 6 are made into a part of the external shape of a ceramic body.
[0032]
As described above, according to the embodiment of the present invention, it is very easy to separate the ceramic body from the ceramic sheet 1 into the individual pieces 9 and the yield and reliability can be improved, and the ceramic body can be scattered. It is easy to collect in place without doing.
[0033]
Moreover, since the adhesive layer 5 of the adhesive sheet 8 is made of a material whose viscosity changes reversibly with temperature change, the adhesive sheet 8 can be used many times, and the through-hole 4 formed in the ceramic sheet 1 The uneven portion 6 has good productivity because the inner peripheral surface of the through hole 4 and the outer peripheral surface of the uneven portion 6 are part of the outer shape of the ceramic body.
[0034]
In the embodiment of the present invention, the adhesive layer 5 of the adhesive sheet 8 is made of a material whose viscosity is reversibly changed by a temperature change, and the ceramic sheet 1 is peeled from the adhesive sheet 8. The adhesive in which foamed particles having foamability are mixed is used as the pressure-sensitive adhesive layer 5, and in the peeling process, the foamed particles are foamed by changing the temperature to a high temperature or a low temperature. It may be peeled off to push up.
[0035]
According to this, since the foamed particles do not reversibly foam or shrink, the ceramic sheet 1 can be easily peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer 5 having reduced viscosity after foaming, so that the temperature at the time of peeling There is no need for control and it is easy to use.
[0036]
In addition, when forming the cutting groove 3, as shown in FIG. 6 instead of rotational cutting, if it is formed by pressing (pressing with a flat plate cutter), the number of pieces 9 per unit area can be increased, As shown in FIG. 7, the shape of the piece 9 may be a rectangular parallelepiped.
[0037]
Furthermore, using the ceramic body manufactured according to the embodiment of the present invention, conductor plating is applied to the outer periphery of the ceramic body, and the conductor plating is spirally grooved to form a coil on the outer periphery of the ceramic body. If the part is formed, it can be used as a coil component. However, when the outer dimensions of the coil component are very small, 1 mm square or less, the formation range of the coil portion is reduced depending on the shape of the ceramic body, or the cross-sectional area of the ceramic body is reduced, Characteristic values such as inductance values are greatly affected. In particular, since the ceramic sheet 1 to be attached to the pressure-sensitive adhesive sheet 8 is unfired, when the ceramic sheet 1 is peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet 8, the shape of the separated pieces 9 is likely to be deformed. Therefore, in such a case, the shape change of the piece 9 can be suppressed by using a material made of a material whose viscosity is reversibly changed by a temperature change as the adhesive layer 5. In the case where the foamed particles are mixed with the adhesive, the foamed particles are forcibly separated from the adhesive having a predetermined viscosity. This is because it is difficult to deform.
[0038]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the ceramic body is formed by separating the ceramic sheet into individual pieces without providing the step of filling the ceramic granulated powder into the mold. The ceramic sheet can be used, and a method for producing a ceramic body with improved yield and reliability of the ceramic body can be provided.
[0039]
Moreover, when dispersing the ceramic sheet into individual pieces, a cutting groove is formed along the outer shape of the ceramic body in the ceramic sheet affixed to the adhesive sheet, and at the same time the ceramic sheet is peeled off from the adhesive sheet, Therefore, it is very easy to separate the ceramic body from the ceramic sheet into individual pieces, and the yield can be further improved. In particular, even if the external dimensions of the ceramic body are as small as 1 mm square or less, the ceramic body does not scatter during separation and is easily collected at a predetermined location.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A to 1C are manufacturing process diagrams of a ceramic body according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a ceramic sheet after a sheet forming process in the manufacturing process of the ceramic body. 3] Perspective view of the ceramic sheet during the cutting groove forming step in the manufacturing process of the ceramic body. FIG. 4 is a perspective view of the ceramic body after the separation step in the manufacturing process of the ceramic body. (B) Adhesive characteristic diagram showing the adhesive strength state due to temperature change of the adhesive sheet FIG. 6 is a perspective view of another ceramic sheet during the cutting groove forming process in the ceramic element manufacturing process. FIG. Perspective view of another ceramic body after the separation step in the body manufacturing process
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic sheet 3 Cutting groove 4 Through-hole 5 Adhesive layer 6 Uneven part 7 Substrate sheet 8 Adhesive sheet 9 Piece 10 Cutting machine

Claims (2)

セラミックシートを形成するシート形成工程と、前記セラミックシートを個片に分離して複数のセラミック素体を形成する素体形成工程とを備え、前記素体形成工程では前記セラミックシートを粘着シートに貼付する貼付工程と、前記粘着シートを分離しないように前記個片の外形に沿わせた切断溝を前記セラミックシートに形成する切断溝形成工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離する剥離工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離すると同時に前記切断溝に沿って複数のセラミック素体に分離する分離工程とを備え、前記シート形成工程において、セラミックシートを複数積層するとともに貫通孔を形成し、前記貫通孔の内周面をセラミック素体の外形面の一部とするセラミック素体の製造方法。 A sheet forming step of forming a ceramic sheet; and an element body forming step of separating the ceramic sheet into individual pieces to form a plurality of ceramic elements. In the element forming step, the ceramic sheet is attached to an adhesive sheet. An attaching step, a cutting groove forming step for forming a cutting groove along the outer shape of the piece so as not to separate the adhesive sheet in the ceramic sheet, and peeling the ceramic sheet on which the cutting groove is formed from the adhesive sheet And a separation step of separating the ceramic sheet on which the cut groove is formed from the adhesive sheet and simultaneously separating the ceramic sheet into a plurality of ceramic bodies along the cut groove, and in the sheet forming step, a plurality of ceramic sheets are provided. The ceramic is formed by laminating and forming a through hole, and the inner peripheral surface of the through hole is a part of the outer surface of the ceramic body. Method of manufacturing a click body. セラミックシートを形成するシート形成工程と、前記セラミックシートを個片に分離して複数のセラミック素体を形成する素体形成工程とを備え、前記素体形成工程では前記セラミックシートを粘着シートに貼付する貼付工程と、前記粘着シートを分離しないように前記個片の外形に沿わせた切断溝を前記セラミックシートに形成する切断溝形成工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離する剥離工程と、前記切断溝を形成したセラミックシートを粘着シートから剥離すると同時に前記切断溝に沿って複数のセラミック素体に分離する分離工程とを備え、前記シート形成工程において、セラミックシートを複数積層するとともに凹凸部を形成し、前記凹凸部の外周面をセラミック素体の外形面の一部とするセラミック素体の製造方法。 A sheet forming step of forming a ceramic sheet; and an element body forming step of separating the ceramic sheet into individual pieces to form a plurality of ceramic elements. In the element forming step, the ceramic sheet is attached to an adhesive sheet. An attaching step, a cutting groove forming step for forming a cutting groove along the outer shape of the piece so as not to separate the adhesive sheet in the ceramic sheet, and peeling the ceramic sheet on which the cutting groove is formed from the adhesive sheet And a separation step of separating the ceramic sheet on which the cut groove is formed from the adhesive sheet and simultaneously separating the ceramic sheet into a plurality of ceramic bodies along the cut groove, and in the sheet forming step, a plurality of ceramic sheets are provided. The ceramic is formed by laminating and forming an uneven portion, and the outer peripheral surface of the uneven portion is part of the outer surface of the ceramic body. Method of manufacturing a click body.
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