JP3799317B2 - Column positioning method and jig for ion source for mass spectrometer - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法に関し、より詳しくは、真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、質量分析装置内部の真空を破ることなく、フィラメントやイオン化室を大気側に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源が提案されている(例えば、特許文献1〜6参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭52−84793号公報
【特許文献2】
特開昭54−109895号公報
【特許文献3】
特開昭57−202054号公報
【特許文献4】
特開昭61−82647号公報
【特許文献5】
実開平1−86058号公報
【特許文献6】
特開平6−68842号公報
このようなタイプのイオン源を備えたガスクロマトグラフ質量分析装置では、ガスクロマトグラフ装置のカラムを汚れや消耗のために交換しなければならなくなった場合や、分析対象物の種類に応じて複数のカラムを交換する必要がある場合などに、カラムのイオン源への挿入深さの位置決めが重要となることがある。カラムのイオン源への挿入深さに再現性がないと、カラムから供給される試料ガスのイオン源内でのイオン化効率に再現性がなくなり、引いては、質量分析結果の定量性にも再現性が出なくなるからである。そこで、従来は、このカラムの位置決めを再現性良く行なうために、次のような方法が取られていた。
【0004】
図1は、質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法の従来技術を示す図である。イオン源ケーシング(真空容器)D内に置かれたイオン源は、内部でイオンを生成するインナーチャンバーKと、このインナーチャンバーKを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーJとの、2つのアセンブリーから成っており、ベースチャンバーJをイオン源ケーシングD内に残したまま、インナーチャンバーKをイオン源ケーシングD外に取り出せるように構成されている。尚、このインナーチャンバーKとベースチャンバーJに関しては、すでに、特願2002−300276号として、当該出願人により、特許出願がなされている。
【0005】
このようなイオン源内に挿入されるキャピラリーカラムBの先端位置は、イオン源のイオン化効率を向上させる上で、イオン化室Mのできるだけ直近に設定することが望ましい。しかし、インナーチャンバーKの着脱の際の出入りに障害があってはならないため、インナーチャンバーKが嵌合するベースチャンバーJの内孔部にキャピラリーカラムBの先端部が飛び出してはならない。
【0006】
しかるに、キャピラリーカラムBの先端部は、イオン源ケーシングD、ガイドパイプI、ベースチャンバーJの内側にあること、また、前面には仕切り弁E、予備排気室Fが設けられ、後面には分析部Vや検出部がつながり、これらが不透明な材料で構成されていることにもよって、装置外部からキャピラリーカラムBの先端位置を確認することは不可能である。
【0007】
このため、従来は、まず最初に、インナーチャンバーKを着脱用ロッドGで大気側へ抜き取った上で、通気弁Sと仕切り弁Eを開いて、真空状態にあるイオン源ケーシングDの内部を大気圧にし、仕切り弁E、予備排気室FをフランジPごとイオン源ケーシングDから取り外し、前面を開放状態にしていた。
【0008】
そして、ベースチャンバーJの内孔部を目視可能な状態にし、ガスクロマトグラフC側から延びるキャピラリーカラムBを、ガイドパイプIの内側を通して挿入しながら、その先端部が、ガイドパイプIの先端部と当接するサンプル導入口Lの手前の位置、すなわち、インナーチャンバーKが嵌合するベースチャンバーJの内孔部に向けて飛び出ないぎりぎりの位置にあることを確認した上で、カラムナットQを締め、キャピラリーカラムBの先端位置を固定していた。
【0009】
こうして、カラム固定後、再び、フランジPをイオン源ケーシングDに取り付け、通気弁Sを閉じ、仕切り弁Eを開いて、予備排気室Fとイオン源ケーシングDの真空引きを行なって、カラム取り付け作業を終了していた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の技術では、キャピラリーカラムを汚れや消耗のために交換しなければならなくなった場合や、分析対象物の種類に応じて複数のキャピラリーカラムを交換する必要がある場合などに、ベースチャンバーJに挿入されたキャピラリーカラムBの先端位置を確認するためには、イオン源ケーシングDの前面フランジPを取り外して、イオン源を大気に曝さなければならなかった。
【0011】
そして、そのような前面フランジPの取り外しと再取り付けには手間がかかり、かつ、イオン源ケーシングDを真空引きして立ち上げるためには、待ち時間が必要となるために、効率的な測定ができなかった。
【0012】
しかも、キャピラリーカラムBの先端位置の設定は、目視に依存するため、位置の再現性に不確実性が伴い、また、イオン源を大気に曝したとき、イオン源を構成する部品が気体分子や水蒸気を吸着するために、イオン源の汚れが促進されるなど、キャピラリーカラムBの位置決めは、質量分析装置の感度を不安定にしたり、低下させたりする要因になっていた。
【0013】
本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオン源ケーシングDの真空を破ったり、目視に頼ったりすることなく、再現性良くキャピラリーカラムBの先端位置を位置決めすることのできる質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法および質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明にかかる質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法は、
真空容器内に配置されるとともに、カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できる挿入手段をインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法であって、
ベースチャンバーからインナーチャンバーに向けてカラムを挿入するに当たり、インナーチャンバーの代わりに、インナーチャンバーと同じ外形の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たないカラム位置決め用治具を予めベースチャンバーに固定・保持させた上で、該カラム位置決め用治具に突き当たるまでカラムを挿入させ、カラムの挿入深さを位置合わせするようにしたことを特徴としている。
【0015】
また、本発明にかかる質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具は、
カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できる挿入手段をインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具であって、
その形状は、インナーチャンバーの外形と同形状、同寸法の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たない盲栓構造をしていることを特徴としている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかる質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法の一実施例を示したものである。本実施例では、ガスクロマトグラフC、カラムインターフェイスV、ガイドパイプI、イオン源ケーシングD、ベースチャンバーJ、インナーチャンバーK、予備排気室Fなど、ガスクロマトグラフ質量分析装置を構成する構成要素は、従来の技術とまったく同じである。
【0017】
本発明において、従来の技術と異なる要素は、引き掛け溝Uを一端に有するカラム位置決め用治具Tのみである。カラム位置決め用治具Tは、インナーチャンバーKの外形と同形状、同寸法の部位を持ち、その部位にサンプル導入口LとイオンリペラOを持たない、単純な盲栓構造の位置合わせ用治具である。
【0018】
この実施例は、次のように動作される。まず、仕切り弁Eが「開」の状態で、インナチャンバーKの引き掛け金具Hに着脱用ロッドGの先端を引き掛けて、インナーチャンバーKを予備排気室Fに取り出す。次に、仕切り弁Eを「閉」の状態にし、予備排気室Fに通気弁Sから大気を導入し、予備排気室Fの蓋を開けて、インナーチャンバーKを大気中に取り出す。
【0019】
着脱ロッドGの先端に、インナーチャンバーKの代わりにカラム位置決め用治具Tの引き掛け用溝Uを嵌め込み、予備排気室Fに入れ、予備排気室Fの蓋を閉じる。通気弁Sを閉じ、予備排気室Fを真空引きする。予備排気室Fの真空度が所定の値に到達したら、仕切り弁Eを「開」の状態にして、イオン源ケーシングD内へカラム位置決め用治具Tを挿入する。カラム位置決め用治具Tは、ベースチャンバーJの内孔部(インナーチャンバーKが収納される穴)に収納される。このとき、着脱用ロッドGは取り外さず、カラム位置決め用治具Tの引き掛け用溝Uに嵌め込んだままとする。
【0020】
キャピラリーカラムBを、ガスクロマトグラフC側から、カラムインターフェイスV経由で、イオン源ケーシングD内のガイドパイプに挿入して行くと、カラム位置決め用治具Tは盲栓構造なので、キャピラリーカラムBの先端は、カラム位置決め用治具Tに突き当たって行き止まりとなる。
【0021】
この行き止まり位置を、キャピラリーカラムBの先端がベースチャンバーJの内孔部に飛び出さず、かつ、インナーチャンバーKの出し入れに支障なくインナーチャンバーKに最近接する位置と理解し、カラムインターフェイスVの入口部のカラムナットQとシール用のフェラルRを締めて、キャピラリーカラムBの位置を固定する。
【0022】
カラムナットQを締め終えたら、着脱用ロッドGでカラム位置決め用治具TをベースチャンバーJから取り外し、仕切り弁Eが「開」の状態で、カラム位置決め用治具Tを予備排気室Fに取り出す。次に、仕切り弁Eを「閉」の状態にし、予備排気室Fに通気弁Sから大気を導入し、予備排気室Fの蓋を開けて、カラム位置決め用治具Tを大気中に取り出す。
【0023】
着脱ロッドGの先端に、カラム位置決め用治具Tの代わりにインナーチャンバーKの引き掛け用溝Uを嵌め込み、予備排気室Fに入れ、予備排気室Fの蓋を閉じる。通気弁Sを閉じ、予備排気室Fを真空引きする。予備排気室Fの真空度が所定の値に到達したら、仕切り弁Eを「開」の状態にして、イオン源ケーシングD内へインナーチャンバーKを挿入する。インナーチャンバーKは、ベースチャンバーJの内孔部に収納される。
【0024】
最後に、インナーチャンバーKの引き掛け用溝Uから、着脱ロッドGの先端を取り外して、イオン源ケーシングD内から着脱ロッドGを抜き取り、仕切り弁Eを「閉」の状態にする。
【0025】
以上の手順により、イオン源ケーシングD内は、常時、真空に保持されたまま、インナーチャンバーKに対して、再現性良くキャピラリーカラムBの先端位置を位置決めすることができる。
【0026】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明の質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法によれば、真空容器内に配置されるとともに、カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できるガイドパイプをインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法であって、ベースチャンバーからインナーチャンバーに向けてカラムを挿入するに当たり、インナーチャンバーの代わりに、インナーチャンバーと同じ外形の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たないカラム位置決め用治具を予めベースチャンバーに固定・保持させた上で、該カラム位置決め用治具に突き当たるまでカラムを挿入させ、カラムの挿入深さを位置合わせするようにしたので、イオン源ケーシングの真空を破ったり、目視に頼ったりすることなく、再現性良くキャピラリーカラムの先端位置を位置決めすることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法を示す図である。
【図2】本発明にかかる質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法を示す図である。
【符号の説明】
A・・・サンプル注入口、B・・・キャピラリーカラム、C・・・ガスクロマトグラフ装置、D・・・イオン源ケーシング(真空容器)、E・・・仕切り弁、F・・・予備排気室、G・・・着脱用ロッド、H・・・引き掛け金具、I・・・ガイドパイプ、J・・・ベースチャンバー、K・・・インナーチャンバー、L・・・サンプル導入口、M・・・イオン化室、N・・・ヒーター、O・・・イオンリペラ、P・・・フランジ、Q・・・カラムナット、R・・・フェラル、S・・・通気弁、T・・・カラム位置決め用治具、U・・・引き掛け用溝、V・・・カラムインターフェイス。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for positioning a column of an ion source for a mass spectrometer, and more specifically, an inner chamber that is disposed in a vacuum vessel and generates ions therein, and the inner chamber can be detachably fixed and held. The present invention relates to a column positioning method for an ion source for a mass spectrometer configured to be able to take out an inner chamber from the vacuum container while the base chamber remains in the vacuum container.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, an ion source for a mass spectrometer configured so that a filament and an ionization chamber can be taken out to the atmosphere without breaking a vacuum inside the mass spectrometer has been proposed (for example, see Patent Documents 1 to 6).
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 52-84793 [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 54-109895 [Patent Document 3]
JP-A-57-202054 [Patent Document 4]
JP 61-82647 A [Patent Document 5]
Japanese Utility Model Publication No. 1-86058 [Patent Document 6]
JP, 6-68842, A In a gas chromatograph mass spectrometer provided with such a type of ion source, when the column of a gas chromatograph has to be replaced due to contamination or wear, When it is necessary to replace a plurality of columns depending on the type, positioning of the insertion depth of the column into the ion source may be important. If the insertion depth of the column into the ion source is not reproducible, the ionization efficiency of the sample gas supplied from the column in the ion source will not be reproducible. This is because no longer appears. Therefore, conventionally, in order to perform positioning of the column with high reproducibility, the following method has been employed.
[0004]
FIG. 1 is a diagram showing a conventional technique of a column positioning method for an ion source for a mass spectrometer. An ion source placed in an ion source casing (vacuum vessel) D includes an inner chamber K that generates ions therein, and a base chamber J that is configured to detachably fix and hold the inner chamber K. It consists of two assemblies, and it is comprised so that the inner chamber K can be taken out of the ion source casing D, leaving the base chamber J in the ion source casing D. Incidentally, regarding the inner chamber K and the base chamber J, a patent application has already been filed by the applicant as Japanese Patent Application No. 2002-300206.
[0005]
The tip position of the capillary column B inserted into such an ion source is desirably set as close as possible to the ionization chamber M in order to improve the ionization efficiency of the ion source. However, since there must be no obstacle to the entry / exit when the inner chamber K is attached / detached, the tip of the capillary column B must not protrude into the inner hole of the base chamber J into which the inner chamber K is fitted.
[0006]
However, the tip of the capillary column B is located inside the ion source casing D, the guide pipe I, and the base chamber J. Further, a partition valve E and a preliminary exhaust chamber F are provided on the front surface, and an analysis portion V is provided on the rear surface. It is impossible to confirm the position of the tip of the capillary column B from the outside of the apparatus because the detectors are connected to each other and are made of an opaque material.
[0007]
For this reason, in the prior art, first, the inner chamber K is first pulled out to the atmosphere with the detachable rod G, then the vent valve S and the gate valve E are opened, and the inside of the ion source casing D in a vacuum state is made large. At atmospheric pressure, the gate valve E and the preliminary exhaust chamber F were removed from the ion source casing D together with the flange P, and the front surface was opened.
[0008]
Then, the inner hole portion of the base chamber J is made visible, and the capillary column B extending from the gas chromatograph C side is inserted through the inner side of the guide pipe I, and the distal end thereof comes into contact with the distal end of the guide pipe I. After confirming that the position before the sample introduction port L, that is, the position where it does not pop out toward the inner hole of the base chamber J into which the inner chamber K is fitted, the column nut Q is tightened, and the capillary column B The tip position of was fixed.
[0009]
Thus, after the column is fixed, the flange P is attached to the ion source casing D again, the vent valve S is closed, the gate valve E is opened, the pre-exhaust chamber F and the ion source casing D are evacuated, and the column is attached. Had ended.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the conventional technique, when the capillary column has to be replaced due to contamination or wear, or when a plurality of capillary columns need to be replaced depending on the type of analyte, the base chamber is used. In order to confirm the tip position of the capillary column B inserted into J, it was necessary to remove the front flange P of the ion source casing D and expose the ion source to the atmosphere.
[0011]
And it takes time to remove and replace such a front flange P, and since it takes a waiting time to start up the ion source casing D by evacuation, efficient measurement is possible. could not.
[0012]
In addition, since the setting of the tip position of the capillary column B depends on visual observation, the position reproducibility is uncertain, and when the ion source is exposed to the atmosphere, the components constituting the ion source are gas molecules and water vapor. For example, the contamination of the ion source is promoted to adsorb the ion, and the positioning of the capillary column B becomes a factor that makes the sensitivity of the mass spectrometer unstable or decreases.
[0013]
In view of the above-described points, an object of the present invention is to provide an ion source for a mass spectrometer capable of positioning the tip position of the capillary column B with good reproducibility without breaking the vacuum of the ion source casing D or relying on visual observation. And a column positioning jig for an ion source for a mass spectrometer.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this object, a column positioning method for an ion source for a mass spectrometer according to the present invention includes:
An inner chamber that is arranged in a vacuum vessel and has a sample introduction port into which a sample gas supplied from a column can be introduced, and ionizes the sample gas introduced from the sample introduction port. It consists of a base chamber that can be detachably fixed and held, and has an insertion means that can be inserted into the inner chamber so that the column can be inserted into the inner chamber. A column positioning method of an ion source for a mass spectrometer configured to be able to take out the inner chamber out of a vacuum container while
When inserting a column from the base chamber to the inner chamber, instead of the inner chamber, a column positioning jig that has the same outer shape as the inner chamber and does not have a sample inlet is fixed to the base chamber in advance. -After being held, the column is inserted until it hits the column positioning jig, and the insertion depth of the column is aligned.
[0015]
Further, a column positioning jig for the ion source for a mass spectrometer according to the present invention is:
A sample introduction port through which a sample gas supplied from a column can be introduced; an inner chamber that ionizes the sample gas introduced from the sample introduction port; and the inner chamber can be detachably fixed and held; and A base chamber provided with an insertion means for inserting the column toward the inner chamber at a position in contact with the sample introduction port of the inner chamber, and the inner chamber is left in the vacuum container while the base chamber remains in the vacuum container. A column positioning jig for an ion source for a mass spectrometer configured to be removed outside,
The shape is characterized by having a part having the same shape and the same size as the outer shape of the inner chamber, and having a blind plug structure having no sample inlet at that part.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 shows an embodiment of a column positioning method for an ion source for a mass spectrometer according to the present invention. In this embodiment, the components constituting the gas chromatograph mass spectrometer such as the gas chromatograph C, the column interface V, the guide pipe I, the ion source casing D, the base chamber J, the inner chamber K, and the preliminary exhaust chamber F are the conventional components. It is exactly the same as technology.
[0017]
In the present invention, the only element different from the prior art is the column positioning jig T having a hook groove U at one end. The column positioning jig T is a positioning jig having a simple blind plug structure that has a part having the same shape and the same dimensions as the outer shape of the inner chamber K, and does not have the sample introduction port L and the ion repeller O at the part. is there.
[0018]
This embodiment operates as follows. First, with the gate valve E in the “open” state, the tip of the detachable rod G is hooked on the hook metal fitting H of the inner chamber K, and the inner chamber K is taken out to the preliminary exhaust chamber F. Next, the gate valve E is set to the “closed” state, the atmosphere is introduced from the vent valve S into the preliminary exhaust chamber F, the lid of the preliminary exhaust chamber F is opened, and the inner chamber K is taken out into the atmosphere.
[0019]
Instead of the inner chamber K, the hooking groove U of the column positioning jig T is fitted into the tip of the detachable rod G, put into the preliminary exhaust chamber F, and the cover of the preliminary exhaust chamber F is closed. The vent valve S is closed and the preliminary exhaust chamber F is evacuated. When the degree of vacuum in the preliminary exhaust chamber F reaches a predetermined value, the gate valve E is opened and the column positioning jig T is inserted into the ion source casing D. The column positioning jig T is accommodated in an inner hole portion (a hole in which the inner chamber K is accommodated) of the base chamber J. At this time, the detachable rod G is not removed and remains fitted in the hooking groove U of the column positioning jig T.
[0020]
When the capillary column B is inserted into the guide pipe in the ion source casing D from the gas chromatograph C side via the column interface V, the column positioning jig T has a blind plug structure. It hits the positioning jig T and becomes a dead end.
[0021]
This dead end position is understood as the position where the tip of the capillary column B does not jump out into the inner hole of the base chamber J, and is closest to the inner chamber K without any trouble in the insertion and removal of the inner chamber K. The position of the capillary column B is fixed by tightening the column nut Q and the sealing ferrule R.
[0022]
When the column nut Q has been tightened, the column positioning jig T is removed from the base chamber J with the detachable rod G, and the column positioning jig T is taken out into the preliminary exhaust chamber F with the gate valve E in the “open” state. . Next, the gate valve E is set to the “closed” state, the atmosphere is introduced from the vent valve S to the preliminary exhaust chamber F, the lid of the preliminary exhaust chamber F is opened, and the column positioning jig T is taken out into the atmosphere.
[0023]
Instead of the column positioning jig T, the hooking groove U of the inner chamber K is fitted into the tip of the detachable rod G, put into the preliminary exhaust chamber F, and the cover of the preliminary exhaust chamber F is closed. The vent valve S is closed and the preliminary exhaust chamber F is evacuated. When the degree of vacuum in the preliminary exhaust chamber F reaches a predetermined value, the gate valve E is opened and the inner chamber K is inserted into the ion source casing D. The inner chamber K is accommodated in the inner hole portion of the base chamber J.
[0024]
Finally, the tip of the detachable rod G is removed from the hooking groove U of the inner chamber K, the detachable rod G is extracted from the ion source casing D, and the gate valve E is brought into a “closed” state.
[0025]
By the above procedure, the tip position of the capillary column B can be positioned with high reproducibility with respect to the inner chamber K while the inside of the ion source casing D is always kept in a vacuum.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the column positioning method of the ion source for a mass spectrometer of the present invention, the ion source is disposed in the vacuum vessel and includes a sample introduction port into which the sample gas supplied from the column can be introduced. An inner chamber that ionizes the sample gas introduced from the sample inlet, and a guide pipe that can be detachably fixed and held and the column can be inserted toward the inner chamber. And a column positioning method for an ion source for a mass spectrometer, wherein the inner chamber can be taken out of the vacuum container while the base chamber remains in the vacuum container. In order to insert the column from the base chamber to the inner chamber Instead of the inner chamber, a column positioning jig that has the same outer shape as the inner chamber and does not have a sample introduction port is fixed and held in the base chamber in advance. The column is inserted until it hits the tool, and the insertion depth of the column is aligned, so that the tip position of the capillary column can be positioned with good reproducibility without breaking the vacuum of the ion source casing or relying on visual inspection. I was able to do it.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a conventional column positioning method of an ion source for a mass spectrometer.
FIG. 2 is a diagram showing a column positioning method of an ion source for a mass spectrometer according to the present invention.
[Explanation of symbols]
A ... Sample inlet, B ... Capillary column, C ... Gas chromatograph, D ... Ion source casing (vacuum vessel), E ... Gate valve, F ... Pre-exhaust chamber, G ... Detachable rod, H ... Hook, I ... Guide pipe, J ... Base chamber, K ... Inner chamber, L ... Sample inlet, M ... Ionization chamber , N ... heater, O ... ion repeller, P ... flange, Q ... column nut, R ... ferrule, S ... vent valve, T ... column positioning jig, U ... Hook groove, V ... Column interface.

Claims (2)

真空容器内に配置されるとともに、カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できる挿入手段をインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法であって、
ベースチャンバーからインナーチャンバーに向けてカラムを挿入するに当たり、インナーチャンバーの代わりに、インナーチャンバーと同じ外形の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たないカラム位置決め用治具を予めベースチャンバーに固定・保持させた上で、該カラム位置決め用治具に突き当たるまでカラムを挿入させ、カラムの挿入深さを位置合わせするようにしたことを特徴とする質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法。
An inner chamber that is arranged in a vacuum vessel and has a sample introduction port into which a sample gas supplied from a column can be introduced, and ionizes the sample gas introduced from the sample introduction port. It consists of a base chamber that can be detachably fixed and held, and has an insertion means that can be inserted into the inner chamber so that the column can be inserted into the inner chamber. A column positioning method of an ion source for a mass spectrometer configured to be able to take out the inner chamber out of a vacuum container while
When inserting a column from the base chamber to the inner chamber, instead of the inner chamber, a column positioning jig that has the same outer shape as the inner chamber and does not have a sample inlet is fixed to the base chamber in advance. A column positioning method for an ion source for a mass spectrometer, wherein the column is inserted and held until it hits the column positioning jig, and the insertion depth of the column is aligned.
カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できる挿入手段をインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具であって、
その形状は、インナーチャンバーの外形と同形状、同寸法の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たない盲栓構造をしていることを特徴とする質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具。
A sample introduction port through which a sample gas supplied from a column can be introduced; an inner chamber that ionizes the sample gas introduced from the sample introduction port; and the inner chamber can be detachably fixed and held; and A base chamber provided with an insertion means for inserting the column toward the inner chamber at a position in contact with the sample introduction port of the inner chamber, and the inner chamber is left in the vacuum container while the base chamber remains in the vacuum container. A column positioning jig for an ion source for a mass spectrometer configured to be removed outside,
A column for an ion source for a mass spectrometer, characterized in that it has a part of the same shape and dimensions as the outer shape of the inner chamber, and has a blind plug structure without a sample inlet at that part. Positioning jig.
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