JP3797979B2 - ベーキング装置並びにそれを用いる基板の熱処理方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
ベーキング装置並びにそれを用いる基板の熱処理方法及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置用の半導体基板、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板等の各種基板の製造工程において基板の熱処理に使用されるベーキング装置並びにそれを用いる基板の熱処理方法及び半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において半導体基板に対する熱処理を行うベーキング装置は、特にリソグラフィ工程において多用される。
【0003】
ベーキング装置の具体的な用途としては、例えば、半導体基板上にスピン塗布法によりフォトレジスト膜を形成した後の乾燥処理、パターンをフォトレジスト膜に転写した後のレジスト膜中の光分解した感光剤を拡散させてその濃度分布を均一化させるPEB(Post Exposure Bake:露光後焼きしめ)処理等が挙げられ、さらに最近は、現像処理を行ってパターン形成を行った後に半導体基板を加熱しパターンを熱変形させることによりパターン寸法を任意に変化させるフローベーク処理にもベーキング装置が使用されている。
【0004】
その他、リソグラフィ工程以外でも、アルミニウム・銅(Al−Cu)膜中における銅の膜中分布を均一化するために半導体基板温度を銅の融点以上の温度から常温程度まで急速に冷却する急冷処理等にもベーキング装置が使用されている。
【0005】
いずれのプロセスにおいても、半導体基板に与える温度の精度とともに、半導体基板全体における温度の均一性が非常に重要である。
【0006】
ベーキング装置の温度精度に関しては、例えば直径8インチの半導体基板を処理するベーキング装置に備えられた熱板において既に±0.2℃程度の温度精度が実現されている。
【0007】
しかしながら、ベーキング装置における処理温度の均一性に関しては、半導体基板が全体にわたって均一な処理温度で処理されたか否かを確認する手段も含めて、必ずしも十分に精度の高い装置は実現されていない。この問題について、半導体基板を熱板上の中央部に正確に載置するための対策も含めて説明する。
【0008】
図8は、半導体基板がベーキング装置の熱板上の中央部に載置されている状態を示す平面図(図8(a))及び側面図(図8(b))、図9は、半導体基板がベーキング装置の熱板上の中央部からずれて載置されている状態を示す平面図(図9(a))及び側面図(図9(b))である。
【0009】
図8(a)及び(b)に示すように、半導体基板が熱板からはみ出すことなく中央部に載置されて熱処理が行われた場合には、処理温度の均一性が確保され、半導体基板の品質にも問題は生じない。
【0010】
ところが、図9(a)及び(b)に示すように、半導体基板の一部が熱板からはみ出した状態で載置されることがある。
【0011】
このような位置ずれは、熱板上に半導体基板を移載するロボットアームの座標ずれによるものであり、ロボットアームの調整不足や経時的な劣化、又は、突発的なノイズの発生によって引き起こされる。
【0012】
位置ずれの程度が大きい場合、ベーキング装置からロボットアームが半導体基板を取り出す際に、アームと半導体基板とが予定されていない箇所で衝突し、アーム及び半導体基板の一方又は両方が破損する場合もある。
【0013】
そのため、ベーキング装置には、通常、半導体基板の位置ずれを防止する機構が設けられている。
【0014】
図10は、半導体基板の位置ずれ防止機構を備えたベーキング装置の熱板の平面図(図10(a))及び側面図(図10(b))である。
【0015】
図10に示すベーキング装置には、半導体基板6の位置ずれを防止するガイド部材2が熱板1の周縁部に4箇所設けられている。このようなガイド部材2は、半導体基板の位置ずれ防止機構として一般的に用いられているものであり、例えば図10に示すガイド部材2のように、角柱状又は円柱状部材の上面を熱板1の中心部側が低くなる傾斜面に加工したガイド部材を、熱板1の周縁部の一部又は全部に設けることによって、半導体基板6の端部が位置ずれによりガイド部材2に乗り上げたとしても熱板1の中心部側へ滑り落ちるようにして半導体基板6の位置ずれを修正し、半導体基板の位置ずれに起因する搬送トラブルを防止するものである。
【0016】
ところが、上述のようなガイド部材2が熱板1の周縁部に設けられていても、位置ずれによりガイド部材2に乗り上げた半導体基板6の端部が熱板1の中心部側へ完全に滑り落ちずに途中で止まってしまう片上がりという現象が生ずることがある。
【0017】
図11は、半導体基板がガイド部材に乗り上げたまま停止した片上がりの状態を示す半導体基板及び熱板の側面図である。
【0018】
図11に示すように、半導体基板6が片上がりの状態になったままで半導体基板6に対する熱処理が行われると、特に図11示す点線で囲んだ箇所では半導体基板6と熱板1との間に不均一な空隙が生じ、半導体基板6の部位によって熱板1から直接又は間接に与えられる熱量に差が生ずる結果となり、半導体基板全体にわたる均一な熱処理が行われないこととなってしまう。
【0019】
半導体基板に対して不均一な熱処理が行われると、レジスト塗布後の乾燥処理ではレジスト膜厚の不均一、PEB処理やフローベーク処理では寸法不良が生ずる。
【0020】
通常、リソグラフィ工程においては、パターン形成後の半導体基板のパターン寸法を走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)等を用いて測定し、許容値外の場合は再加工を行う。
【0021】
しかしながら、半導体基板の位置ずれに起因する寸法変動又は寸法不良が、半導体基板のどの部分に発生するか、また、どの半導体基板に発生するかは、全く不規則な現象であるため、各半導体基板につき数カ所程度の寸法測定サンプリングを行っても、半導体基板の寸法不良を見逃さずに確実に発見することは極めて困難である。
【0022】
そこで、従来より、熱板上の半導体基板の片上がりを検出する手段として、熱板の温度特性を利用した検出機構がベーキング装置に設けられている。
【0023】
その検出機構は、半導体基板が熱板上に正常に載置されて接触した際の熱板の温度特性を比較対照モデルとして用い、検出対象の半導体基板が熱板上に載置される際の熱板の温度特性を測定し比較対照モデルと比較することにより、温度特性の差が許容値の範囲内にあるかどうかを識別し、半導体基板の片上がりを検出するものである。
【0024】
図12は、半導体基板の片上がり検出機構により測定された熱板の温度特性を示すグラフである。尚、図12のグラフに示す曲線のうち曲線1は、温度160℃に設定された熱板上に半導体基板が正常に載置されて接触した際の熱板の温度特性であり、曲線2は、同じく温度160℃に設定された熱板上に半導体基板が片上がりの状態で載置された際の熱板の温度特性である。
【0025】
高温に熱せられた熱板上に、相対的に低温の半導体基板を載置すると、両者の温度差により熱板の温度が一時的に低下する。ここで、半導体基板が正常に載置されて全面で熱板に接触した際の温度低下をΔTとすると、半導体基板が片上がりの状態で載置されて一部のみが熱板に接触した際の温度低下はΔT’(<ΔT)となり、図12に示されるように、半導体基板が片上がりの状態で載置された場合の熱板の温度低下量ΔT’が正常な場合の温度低下量ΔTと比較して小さいことが分かる。
【0026】
そこで、この検出機構においては、温度低下量ΔTについて予め許容閾値を設定しておき、実際に半導体基板を熱板上に載置した際の熱板の温度特性を測定して、その温度低下量が許容閾値より大きければ、半導体基板が熱板上に正常に載置されて正常処理が行われたと判断し、その温度低下量が許容閾値より小さければ、半導体基板が片上がりにより熱板上に正常に載置されずに不均一な処理温度で処理が行われたと判断する。
【0027】
以上のように、基板を熱板上に載置した際の熱板の温度特性を利用して、基板が熱板上に正常に載置されたか否かを判断する方法及び装置が、これまでにいくつか提案されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。
【0028】
その他、基板を熱板上へ又は熱板上から移載する際に基板を支持する支持ピン内部に熱電対を設け、基板の温度を直接検出する方法及び装置も、これまでに提案されている(例えば、特許文献3参照)。
【0029】
【特許文献1】
特開2002−050557号公報
【特許文献2】
特開2000−306825号公報
【特許文献3】
特開平11−272342号公報
【0030】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記温度低下量ΔTの許容閾値の設定は、非常に厳密な微調整が要求され、許容閾値が小さすぎると半導体基板の片上がりが発生しているにもかかわらず不良処理を見逃してしまう一方、許容閾値が大きすぎると正常処理であるにもかかわらず不良処理として検出してしまうこととなり、実際の不良検出には必ずしも十分な精度が得られていないのが現状である。
【0031】
加えて、熱板上に半導体基板が正常に載置されて接触した際の熱板の温度特性、即ち、温度低下量ΔTは、熱板の温度設定によっても異なってくる。
【0032】
図13は、熱板上に半導体基板が正常に載置されて接触した際の熱板の温度低下量ΔTを熱板の設定温度ごとに示すグラフである。
【0033】
図13のグラフに示すように、熱板上に半導体基板が正常に載置されて接触した際の熱板の一時的な温度低下量ΔTは、熱板の設定温度が高いほど大きくなっていることが分かる。
【0034】
ところが、一つの熱板を複数の温度設定に変更するとともに温度低下量ΔTの許容閾値の設定も変更しながら使用するには、非常に煩雑且つ困難な作業が必要とされるため、結局、設定温度ごとに複数のベーキング装置を用意しなければならず、設備コスト増大の要因ともなっている。
【0035】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、熱板上における基板の片上がり及びそれに起因する熱処理不良を低コストで高精度に検出することが可能なベーキング装置を提供することである。
【0036】
【課題を解決するための手段】
本発明の実施の一形態に係るベーキング装置によれば、
載置された基板に対し熱処理を行う熱板と、
上記熱板に開口された貫通孔を貫通して、上記熱板上の基板を裏面から支持する少なくとも3本の支持ピンを有し、上下動可能に設置された台座と、
上記各支持ピンの先端部にそれぞれ配設され、基板との接触を検知する複数のセンサと、
基板を上記支持ピンにより支持する際の上記各センサにおける基板との接触タイミングの時間差を計測する計測手段と、
を備えていることを特徴とする。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置について、図面を参照しながら説明する。
【0038】
図1は、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の熱板及びその周辺部を示す平面図(図1(a))及び側面図(図1(b))である。
【0039】
本発明の実施の一形態に係るベーキング装置は、載置された半導体基板に対し熱処理を行う熱板1と、熱板1に開口された貫通孔を貫通して、熱板1上の半導体基板を裏面から支持する少なくとも3本の支持ピン3を有し、上下動可能に設置された台座4と、熱板1の中心部側が低くなる傾斜面に上面が加工され、熱板1周縁部の一部又は全部に配設されたガイド部材2と、各支持ピン3の先端部にそれぞれ配設され、半導体基板との接触を検知する複数のセンサ5A,5B,5Cと、を備えている。
【0040】
熱板1の直径は、例えば210mmである。ガイド部材2の具体的な形状は、ここでは、熱板1の中心部側が低くなる傾斜面に上面が加工された角柱状部材であり、そのガイド部材2を熱板1周縁部の4箇所に配設している。その他、例えば、直径2mm、高さ3mmの円柱状部材の上面を熱板1の中心部側が低くなる傾斜面に加工したものをガイド部材2として用い、熱板1の中心から例えば102mmの周縁部4箇所に配設してもよく、ガイド部材2の具体的な形状、及び、熱板1周縁部における配設位置は任意である。
【0041】
少なくとも3本の支持ピン3は、それらの先端により水平な単一平面が形成され且つ半導体基板を裏面から支持することができるように台座4に配設されていればよく、ここでは、3本の支持ピン3が一辺150mmの正三角形状に配置されている。支持ピン3は、4本以上であってもよい。
【0042】
台座4には、台座4を上下動させる機構が備えられており、台座4を上下動させることにより、支持ピン3に裏面から支持された半導体基板を熱板1上において上下動させることができる。この半導体基板を上下動させる機構は、ロボットアームとベーキング装置との間で半導体基板を移載する際に動作する。
【0043】
そして、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置においては、半導体基板6との接触を検知するセンサ5A,5B,5Cが各支持ピン3の先端部にそれぞれ配設されている。各センサ5A,5B,5Cは、それぞれ半導体基板6との接触を独立して検知する。センサ5は、半導体基板との接触を検知する機能を有するものであればよく、ここでは例えば、ZPT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いた圧電素子を用いている。その他、センサ5としては、静電容量素子等も用いることができる。
【0044】
以上に述べた本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の構成に基づき、その動作及び機能について説明する。
【0045】
図2乃至図6は、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作を示す側面図である。また、図7は、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置において半導体基板の片上がりが発生した状態を示す側面図である。
【0046】
先ず最初に、図2に示すように、熱処理の対象となる半導体基板6がロボットアーム7によりベーキング装置内の熱板1上の空間に搬入される。このとき、台座4は、支持ピン3の先端が熱板1の上面から突出し、且つ、支持ピン3がロボットアーム7上の半導体基板6には接触しない程度の高さに調整しておく。
【0047】
次に、図3に示すように、ロボットアーム7は、半導体基板6が支持ピン3により支持されるように下方へ移動する。半導体基板6が支持ピン3上に移載された後、ロボットアーム7は、図4に示すように、ベーキング装置外へ移動する。
【0048】
ロボットアーム7がベーキング装置外へ移動した後、半導体基板6を熱板1上に載置して熱処理を行うべく、図5に示すように、台座4を下方へ移動させ、支持ピン3の先端が熱板1の上面より低い高さに位置するようにして、半導体基板6を熱板1上に載置し、半導体基板6に対する熱処理を行う。
【0049】
熱処理終了後、図6に示すように、台座4を上方へ移動させることにより支持ピン3の先端を熱板1の上面から突出させ、支持ピン3により半導体基板6を支持して熱板1の上面から持ち上げる。このとき、3本の支持ピンの先端部に配設された各センサ5A,5B,5Cが同一タイミングで半導体基板6との接触を検知すれば、半導体基板6は熱板1上に正常に、即ち、水平に載置されていたこととなり、半導体基板6全体にわたって均一な温度で熱処理が正常に行われたと判断することができる。
【0050】
一方、図7に示すように、半導体基板6の端部がガイド部材2に乗り上げて片上がりが発生していた場合、各センサ5A,5B,5Cは、それぞれ異なるタイミングで半導体基板6との接触を検知する。例えば、図7に示す通りに半導体基板6に片上がりが発生し、片上がりによって半導体基板6と熱板1とのなす角が1°になっており、台座4の上昇速度が5mm/秒であるとした場合、センサ5Cが最初に半導体基板6に接触し、その0.26秒後にセンサ5Bが半導体基板6に接触し、さらにその0.26秒後にセンサ5Aが半導体基板6に接触する。
【0051】
従って、各センサ5A,5B,5Cにおける半導体基板6との接触タイミングを監視することにより、半導体基板6が熱板1上に正常に載置されたか、又は、半導体基板6の片上がりが発生していたかを検出することができる。
【0052】
具体的には、各センサ5A,5B,5Cにおける半導体基板6との接触タイミングの時間差について予め任意の許容値を設定しておき、実際に計測した時間差がその許容値以下であるときは正常処理と判断し、計測した時間差がその許容値を超えるときは不良処理であると判断するとよい。不良処理が検出された際には、警報装置により視覚的又は聴覚的な警報を発するようにするとよい。さらに、ベーキング装置の動作を中断させるようにしてもよい。あるいは、不良処理が検出された際に処理対象となっている半導体基板を製造工程から自動的に除外するようにしてもよい。
【0053】
尚、台座4は、上昇速度及び下降速度、少なくとも上昇速度を調整可能なものとしておくと、台座4の上昇速度を加減することにより、検出感度を調整することが可能である。
【0054】
また、図3に示すように、ロボットアーム7から支持ピン3上に半導体基板6を移載する際にも、同様に各センサ5A,5B,5Cにおける半導体基板6との接触のタイミングを監視することにより、半導体基板6自体の歪み、台座4の傾き、支持ピン3の高さのばらつきによって発生する接触タイミングの時間差を測定しておき、その接触タイミングの時間差を熱処理後の接触タイミングの検出の際に補正値として用いれば、半導体基板6の片上がりの発生をさらに高精度に検出することができる。
【0055】
尚、上述の本発明の実施の一形態に係るベーキング装置は、半導体装置用の半導体基板の製造工程において基板の熱処理に使用されるものとして説明したが、本発明の実施の一形態に係るベーキング装置は、その他、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板等の各種基板の製造工程において基板の熱処理に使用することができる。
【0056】
また、上記本発明の実施の一形態に係るベーキング装置においては、熱板1周縁部の一部又は全部にガイド部材2が配設されているものとして説明したが、ガイド部材2が配設されていない場合においても本発明の構成は適用可能である。
【0057】
さらに、本発明は、以上の説明から明らかなように、上記本発明の実施の一形態に係るベーキング装置を用いて基板に対する熱処理を行うことを含む基板の熱処理方法及び半導体基板の製造方法にも関するものである。
【0058】
【発明の効果】
本発明の実施の一形態に係るベーキング装置によれば、熱板上における基板の片上がり及びそれに起因する熱処理不良を低コストで高精度に検出することができ、不良品の発生を最小限に抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の熱板及びその周辺部を示す平面図(図1(a))及び側面図(図1(b))である。
【図2】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作における一過程を示す側面図である。
【図3】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作における一過程を示す側面図である。
【図4】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作における一過程を示す側面図である。
【図5】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作における一過程を示す側面図である。
【図6】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置の一連の動作における一過程を示す側面図である。
【図7】本発明の実施の一形態に係るベーキング装置において半導体基板の片上がりが発生した状態を示す側面図である。
【図8】半導体基板がベーキング装置の熱板上の中央部に載置されている状態を示す平面図(図8(a))及び側面図(図8(b))である。
【図9】半導体基板がベーキング装置の熱板上の中央部からずれて載置されている状態を示す平面図(図9(a))及び側面図(図9(b))である。
【図10】半導体基板の位置ずれ防止機構を備えたベーキング装置の熱板の平面図(図10(a))及び側面図(図10(b))である。
【図11】半導体基板がガイド部材に乗り上げたまま停止した片上がりの状態を示す半導体基板及び熱板の側面図である。
【図12】半導体基板の片上がり検出機構により測定された熱板の温度特性を示すグラフである。
【図13】熱板上に半導体基板が正常に載置されて接触した際の熱板の温度低下量ΔTを熱板の設定温度ごとに示すグラフである。
【符号の説明】
1 熱板
2 ガイド部材
3 支持ピン
4 台座
5A,5B,5C センサ
6 半導体基板
7 ロボットアーム
Claims (13)
- 載置された基板に対し熱処理を行う熱板と、
前記熱板に開口された貫通孔を貫通して、前記熱板上の基板を裏面から支持する少なくとも3本の支持ピンを有し、上下動可能に設置された台座と、
前記各支持ピンの先端部にそれぞれ配設され、基板との接触を検知する複数のセンサと、
基板を前記支持ピンにより支持する際の前記各センサにおける基板との接触タイミングの時間差を計測する計測手段と、
を備えていることを特徴とするベーキング装置。 - 前記複数のセンサは、それぞれ基板との接触を独立して検知することを特徴とする請求項1に記載のベーキング装置。
- 前記各センサは、圧電素子であることを特徴とする請求項1又は2に記載のベーキング装置。
- 前記各センサは、静電容量素子であることを特徴とする請求項1又は2に記載のベーキング装置。
- 熱処理後に基板を前記支持ピンにより支持する際の前記各センサにおける基板との接触タイミングの時間差について予め任意に設定した許容値を、計測した前記時間差が超えるときは、不良処理が検出されたと判断することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のベーキング装置。
- 不良処理が検出された際に視覚的又は聴覚的な警報を発する警報装置をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載のベーキング装置。
- 不良処理が検出された際に動作を中断することを特徴とする請求項5又は6に記載のベーキング装置。
- 不良処理が検出された際に処理対象となっている基板を製造工程から除外することを特徴とする請求項5又は6に記載のベーキング装置。
- 熱処理前に基板を前記支持ピン上に移載する際の前記各センサにおける基板との接触タイミングの時間差を計測しておき、当該時間差を、熱処理後に計測する前記時間差に対する補正値として用いることを特徴とする請求項5乃至8のいずれかに記載のベーキング装置。
- 前記台座は、上昇速度が調整可能であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のベーキング装置。
- 前記熱板の中心部側が低くなる傾斜面に上面が加工され、前記熱板周縁部の一部又は全部に配設されたガイド部材をさらに備えていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のベーキング装置。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載のベーキング装置を用いて基板に対する熱処理を行うことを含むことを特徴とする基板の熱処理方法。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載のベーキング装置を用いて半導体基板に対する熱処理を行うことを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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