JP3796163B2

JP3796163B2 - Nitrogen oxide measuring device

Info

Publication number: JP3796163B2
Application number: JP2001337894A
Authority: JP
Inventors: 優宮井; 茂中谷
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2001-11-02
Filing date: 2001-11-02
Publication date: 2006-07-12
Anticipated expiration: 2021-11-02
Also published as: JP2003139759A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、サンプルガス中の窒素酸化物（ＮＯx ）をＮＯに変換し、このＮＯ濃度を、化学発光法によって測定することにより、前記窒素酸化物の濃度を測定する窒素酸化物測定装置（ＮＯx 測定装置）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
いわゆる化学発光法に則ったＮＯx 測定装置（化学発光法ＮＯx 測定装置）は、ＮＯがオゾンガスと反応して光を発することを利用してその光量を検出することによりサンプルガス中のＮＯx を定量分析できるようにしたものであり、より具体的には、サンプルガスはＮＯx コンバータを通過させることにより、それに含まれるＮＯx がＮＯに還元され、その後、この還元処理されたサンプルガスは、反応槽および光検出器を備えた検出部に供給される。そして、前記反応槽には、前記ＮＯと化学発光反応を生ずるオゾンガスが別途供給され、前記化学発光反応によって生ずる発光を前記光検出器によって検出し、そのとき得られる発光強度に基づいて前記ＮＯx の濃度を定量するのである。
【０００３】
ところで、燃料電池からの排出ガスのように、高濃度（例えば１０％程度）の水素ガスを含有するサンプルガス中のＮＯx を前記化学発光法によって定量分析する場合、常圧の化学発光分析法では、サンプルガス中の高濃度水素ガスとオゾンガスとの爆発反応が予測されため、従来においては、例えば、図２に示すように、検出部に対して不活性ガスによって希釈されたサンプルガスを供給していた。
【０００４】
すなわち、図２において、２１は反応槽および光検出器を備えた検出部、２２，２３は検出部２１に互いに並列に接続されるサンプルガス供給路、オゾンガス供給路である。サンプルガス供給路２２には、燃料電池などサンプルガス源（図示していない）から排出されるガスがサンプルガスＳとして流れ、その途中には、サンプルガスＳ中のＮＯx をＮＯに変換するＮＯx コンバータ２４が設けられている。そして、このＮＯx コンバータ２４の上流側には、例えば窒素ガスやアルゴンなどの不活性ガスを希釈ガスＤＧとしてサンプルガス供給路２２に供給する希釈ガス供給路２５が接続されている。２６，２７は流量調整用のキャピラリである。また、オゾンガス供給路２３には、濃度１００％の酸素ガスが流れ、圧力調整弁２８、流量調整用のキャピラリ２９およびオゾンガス発生器３０がこの順に設けられている。なお、３１は検出部２１の下流側の排気流路で、オゾンガス分解器３２を備えている。
【０００５】
上記構成の常圧下の化学発光法ＮＯx 測定装置においては、検出部２１の反応槽に対して、予め希釈ガスＤＧによって水素濃度を十分低くなるように希釈されたサンプルガスＳが供給されるので、濃度１００％の酸素ガスに基づくオゾンガスＯＧが前記反応槽に供給されても水素ガスとオゾンガスＯＧとが爆発反応することがなくなる。しかしながら、前記サンプルガスＳが希釈ガスＤＧによって希釈されているため、この希釈に起因して光検出器による検出感度が低下するとともに検出結果に誤差が生ずるといった不都合が生ずることがある。
【０００６】
そこで、上記図２に示した構成から希釈ガス供給路２５を除去し、その代わりに、排出流路３１のオゾンガス分解器３２の下流側に真空ポンプを設け、ＮＯx コンバータ２４以下の流路を減圧状態とすることが考えられる。しかしながら、この構成においては、サンプルガスＳの希釈に起因する上記不都合が解消されるものの、排気系が常圧であるため、高濃度水素ガスと酸素との爆発反応が生ずるおそれがあり、安全性の面での課題が生ずるといった不都合がある。
【０００７】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、高濃度水素ガスを含有するサンプルガスにおけるＮＯx を安全かつ高精度に定量分析することのできる窒素酸化物測定装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、検出部の反応槽に対して、水素ガスを含有するサンプルガス中のＮＯx をＮＯに変換するＮＯx コンバータおよび第１流量制御手段を備えたサンプルガス供給路と、オゾン源ガスとしての空気または空気と同様の酸素含有率を有する混合ガスに基づいてオゾンガスを発生するオゾンガス発生器および第２流量制御手段を備えたオゾンガス供給路とが互いに並列的に接続され、前記検出部の下流側の排気流路に真空ポンプを設けて、減圧下において化学発光反応を行わせることにより、前記ＮＯx を定量分析する窒素酸化物測定装置において、前記検出部から常圧となる排気系に排出されるガスの水素含有率が爆発限界以下となるように、前記第１および第２流量制御手段により流量制御を行うようにしたことを特徴としている。
【０００９】
上記窒素酸化物測定装置においては、検出部の反応槽が減圧状態となっているとともに、従来と異なり、オゾン源ガスとして濃度１００％の酸素ガスを用いるのではなく、空気または空気と同様の酸素含有率を有する混合ガスを用いるようにして流量制御を行い、サンプルガスとオゾン源ガスとの比率を空気中における水素ガスの爆発限界以下となるように設定しているので、高濃度水素ガスを含むサンプルガスを反応槽に供給し、反応槽に供給されるオゾンガスと反応させても、減圧下において化学発光反応が行われるので、そこでの爆発のおそれがないとともに、常圧状態となる排気系における爆発のおそれもなくなる。また、サンプルガスは、予め希釈されることなく、生のままで反応槽に供給されるので、サンプルガスの希釈に起因する検出感度の低下や測定結果に誤差が生ずるといったこともなく、高精度の測定結果を得ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図１は、この発明の窒素酸化物測定装置の構成の一例を概略的に示すもので、この図において、１は反応槽および光検出器を備えた検出部である。２，３は検出部１の上流側に互いに並列的に接続されるサンプルガス供給路、オゾンガス供給路であり、４は検出部１の下流側に接続される排気流路である。
【００１１】
前記サンプルガス供給路２は、その上流側には燃料電池などサンプルガス源（図示していない）が接続され、サンプルガス源から排出される水素ガスを含有するガスがサンプルガスＳとして流れる。そして、このサンプルガス供給路２には、検出部１へのサンプルガスＳの流量を制御する第１流量制御手段５と、サンプルガスＳ中のＮＯx をＮＯに変換するＮＯx コンバータ６が設けられている。この実施の形態においては、第１流量制御手段５は、サンプルガス供給路２に直列に介装され、互いに直列接続された流量設定用の第１キャピラリ７および第２キャピラリ８と、これらのキャピラリ７，８の接続点９に接続されるオーバーフロー流路１０上の第３キャピラリ１１とからなる。このオーバーフロー流路１０の下流側は排気流路（図示していない）に接続されている。
【００１２】
前記オゾンガス供給路３は、その上流側にはオゾン源ガスＧとしての空気の導入部（図示していない）が接続され、この導入された空気が流れる。そして、このオゾンガス供給路３には、圧力調整弁１２、第２流量制御手段としてのキャピラリ１３および空気Ｇ中の酸素からオゾンガスＯＧを発生するオゾンガス発生器１４がこの順に直列に設けられている。
【００１３】
前記排気流路４には、検出部１から排出されるガスＨＧ中に残留するオゾンガスＯＧを分解して酸素ガスを生成するオゾンガス分解器１５および真空ポンプ１６がこの順で互いに直列な状態で設けられている。なお、真空ポンプ１６の下流側は、例えば大気開放されている。
【００１４】
そして、上記窒素酸化物測定装置においては、サンプルガス供給路２に設けられる第１流量制御手段５は、例えば、第１キャピラリ７に５００ｍＬ／ｍｉｎのサンプルガスＳが流れるとき、オーバーフロー用の第３キャピラリ１１に４８０ｍＬ／ｍｉｎのサンプルガスＳが流れ、ＮＯx コンバータ６の上流側の第２キャピラリ８には２０ｍＬ／ｍｉｎのサンプルガスＳしか流れないように流量設定されている。そして、真空ポンプ１６によって２０ｍＬ／ｍｉｎで吸引を行う。つまり、サンプルガス供給路２を流れるサンプルガスＳは、その大半はオーバーフローし、その一部（この実施の形態では元のサンプルガスＳの１／２５）が流れるように流量制御される。そして、このとき、オゾンガス供給路３を流れる空気Ｇは、キャピラリ１３によって５００ｍＬ／ｍｉｎの流量となるように設定され、サンプルガス供給路２から検出部１の反応槽へのサンプルガスＳの供給量は、オゾンガス供給路３から前記反応槽へのオゾンガスの供給の１／２５になるように制御される。
【００１５】
そして、上記窒素酸化物測定装置においては、サンプルガス供給路２に設けられた第１流量制御手段５によってサンプルガスＳの検出部１に対する供給量を設定するとともに、オゾンガス供給路３に設けられた第２流量制御手段１３によってオゾン源ガスとしての空気Ｇの流量を設定し、もってオゾンガスＯＧの検出部１に対する供給量を設定するとともに、検出部１の下流側から真空ポンプ１５によってサンプルガスＳおよびオゾンガスＯＧの吸引を行うようにして第２キャピラリ８以降のＮＯx コンバータ６、検出部１、オゾンガス分解器１５および真空ポンプ１６までの流路部分１７が真空に近い減圧状態となるようにしている。したがって、検出部１においては、サンプルガスＳ中のＮＯとオゾンガスＯＧとが真空に近い減圧状態で反応する。
【００１６】
そして、サンプルガスＳ中に高濃度の水素ガスが含まれていても、これらのガスは、真空に近い減圧状態の検出部１において反応するので、この水素ガスと前記オゾンガスＯＧとが爆発的に反応することがない。また、オゾンガスＯＧは、オゾン源ガスＧが酸素の含有量が約２０％といった空気から生成されるとともに、たとえ、水素ガス濃度１００％のガスが導入されたとしても、前記第１および第２の流量制御手段５，１３によって、検出部１に対するサンプルガスＳとオゾンガスＯＧとの比率が水素の爆発限界以下（４％以下）に保持されるので、常圧となる排気系（真空ポンプ１６より下流側の流路）における水素ガスと酸素とによる爆発を回避することができる。なお、前記水素の爆発限界を示す４％という数字は、酸素含有率が約２０％のときのものであり、酸素含有率が変わると、この爆発限界を示す数値も変わる。
【００１７】
また、サンプルガスＳは、図２に示した従来技術とは異なり、不活性ガスによって希釈されていないので、サンプルガスＳの希釈に起因する検出感度の低下や測定結果に誤差が生ずるといったこともなく、したがって、高精度の測定結果を得ることができる。
【００１８】
なお、上述の実施の形態においては、水素ガスの爆発限界を４％としているが、この数字は、酸素含有率が変わると変化するものであり、上述の実施の形態では、オゾン源ガスＧとして入手が容易で安価である空気を用いているが、これに代えて、酸素をアルゴンなどの不活性ガスで空気における酸素含有量と同様にした混合ガスを用いるようにしてもよい。このようにした場合においても、１００％の酸素をオゾン源ガスＧとして用いる場合に比べて安価になる。
【００１９】
この発明の窒素酸化物測定装置は、特に、高濃度の水素ガスを含むサンプルガスにおけるＮＯx を定量分析するのに有効であり、前記サンプルガスとしては、燃料電池などから排出されるガスのように高濃度の水素ガスを含むもののほか、例えばメタノールなどのアルコールを水素ガスに改質する改質装置からのガスなどにおける高濃度水素ガスを含むガスにおけるＮＯx の定量分析にも好適に使用することができる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の窒素酸化物測定装置によれば、高濃度水素ガスを含有するサンプルガスにおけるＮＯx を安全かつ高精度に定量分析することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の窒素酸化物測定装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】従来の窒素酸化物測定装置の構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
１…検出部、２…サンプルガス供給路、３…オゾンガス供給路、４…排気流路、５…第１流量制御手段、６…ＮＯx コンバータ、７，８，１１，１３…キャピラリ、１０…オーバーフロー流路、１３…第２流量制御手段、１４…オゾンガス発生器、１６…真空ポンプ、Ｓ…サンプルガス、Ｇ…オゾン源ガス、ＯＧ…オゾンガス、ＨＧ…検出部からの排ガス。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention converts a nitrogen oxide (NOx) in a sample gas into NO and measures the concentration of the nitrogen oxide by a chemiluminescence method to measure the concentration of the nitrogen oxide (NOx). Measuring device).
[0002]
[Prior art]
The NOx measuring device (chemiluminescent NOx measuring device) in accordance with the so-called chemiluminescence method quantitatively analyzes NOx in the sample gas by detecting the amount of light utilizing the fact that NO reacts with ozone gas and emits light. More specifically, the sample gas is allowed to pass through a NOx converter, whereby NOx contained therein is reduced to NO, and then the reduced sample gas is supplied to the reaction vessel and the light. It is supplied to a detection unit equipped with a detector. The reaction tank is separately supplied with ozone gas that causes a chemiluminescence reaction with NO, and the light emitted by the chemiluminescence reaction is detected by the photodetector. Based on the emission intensity obtained at that time, The concentration is quantified.
[0003]
By the way, when quantitatively analyzing NOx in a sample gas containing a high concentration (for example, about 10%) of hydrogen gas such as exhaust gas from a fuel cell by the chemiluminescence method, Since an explosion reaction between the high-concentration hydrogen gas and the ozone gas in the sample gas is predicted, conventionally, for example, as shown in FIG. 2, a sample gas diluted with an inert gas is supplied to the detection unit. It was.
[0004]
That is, in FIG. 2, reference numeral 21 denotes a detection unit including a reaction tank and a photodetector, and 22 and 23 denote a sample gas supply path and an ozone gas supply path that are connected to the detection unit 21 in parallel. A gas discharged from a sample gas source (not shown) such as a fuel cell flows into the sample gas supply path 22 as a sample gas S, and a NOx converter that converts NOx in the sample gas S into NO in the middle thereof. 24 is provided. A dilution gas supply path 25 for supplying an inert gas such as nitrogen gas or argon as the dilution gas DG to the sample gas supply path 22 is connected to the upstream side of the NOx converter 24. 26 and 27 are capillaries for flow rate adjustment. Further, an oxygen gas having a concentration of 100% flows through the ozone gas supply path 23, and a pressure adjusting valve 28, a flow rate adjusting capillary 29 and an ozone gas generator 30 are provided in this order. Reference numeral 31 denotes an exhaust passage on the downstream side of the detection unit 21 and includes an ozone gas decomposer 32.
[0005]
In the chemiluminescence NOx measuring device under normal pressure having the above-described configuration, the sample gas S diluted in advance with the diluent gas DG so that the hydrogen concentration is sufficiently low is supplied to the reaction tank of the detection unit 21. Even if ozone gas OG based on oxygen gas having a concentration of 100% is supplied to the reaction vessel, the hydrogen gas and ozone gas OG will not explode. However, the order sample gas S is diluted by the dilution gas DG, sometimes disadvantage error both in the detection result the detection sensitivity by the optical detector due to this dilution lowers occurs occurs.
[0006]
Therefore, the dilution gas supply path 25 is removed from the configuration shown in FIG. 2, and instead, a vacuum pump is provided on the downstream side of the ozone gas decomposer 32 in the discharge flow path 31 to depressurize the flow path below the NOx converter 24. It can be considered as a state. However, in this configuration, although the above inconvenience due to the dilution of the sample gas S is eliminated, there is a risk that an explosion reaction between the high-concentration hydrogen gas and oxygen occurs because the exhaust system is at normal pressure. There is an inconvenience that a problem arises in terms of
[0007]
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to provide a nitrogen oxide measuring apparatus capable of quantitatively analyzing NOx in a sample gas containing high-concentration hydrogen gas safely and with high accuracy. It is to be.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a sample gas supply path provided with a NOx converter for converting NOx in a sample gas containing hydrogen gas into NO and a first flow rate control means with respect to the reaction tank of the detection unit. And an ozone gas generator that generates ozone gas based on air as an ozone source gas or a mixed gas having an oxygen content similar to that of air and an ozone gas supply path that includes second flow rate control means are connected in parallel to each other. In the nitrogen oxide measuring apparatus for quantitatively analyzing the NOx by providing a vacuum pump in the exhaust flow path downstream of the detection unit to cause a chemiluminescence reaction under reduced pressure , the detection unit can as the hydrogen content of the gas discharged to the exhaust system is equal to or less than the explosion limit made, so as to control the flow rate by said first and second flow rate control means It is characterized in that.
[0009]
In the nitrogen oxide measuring apparatus, the reaction tank of the detection unit is in a reduced pressure state , and unlike the conventional case, oxygen gas having a concentration of 100% is not used as the ozone source gas, but oxygen or oxygen similar to air is used. The flow rate is controlled so that a mixed gas having a content rate is used, and the ratio of the sample gas and the ozone source gas is set to be below the explosion limit of hydrogen gas in the air. the sample gas fed to the reaction vessel containing, be reacted with ozone gas to be supplied to the reaction vessel, since Oite chemiluminescent reaction is carried out under reduced pressure, with no danger of explosion there, the normal pressure There is no risk of explosion in the exhaust system. In addition, since the sample gas is supplied to the reaction vessel as it is without being diluted in advance, there is no reduction in detection sensitivity due to dilution of the sample gas and no error in measurement results. Measurement results can be obtained.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the details of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows an example of the configuration of a nitrogen oxide measuring apparatus according to the present invention. In this figure, reference numeral 1 denotes a detection unit including a reaction tank and a photodetector. Reference numerals 2 and 3 denote a sample gas supply path and an ozone gas supply path connected in parallel to the upstream side of the detection unit 1, and reference numeral 4 denotes an exhaust flow path connected to the downstream side of the detection unit 1.
[0011]
A sample gas source (not shown) such as a fuel cell is connected to the upstream side of the sample gas supply path 2, and a gas containing hydrogen gas discharged from the sample gas source flows as the sample gas S. The sample gas supply path 2 is provided with a first flow rate control means 5 for controlling the flow rate of the sample gas S to the detector 1 and a NOx converter 6 for converting NOx in the sample gas S to NO. Yes. In this embodiment, the first flow rate control means 5 is interposed in series with the sample gas supply path 2 and connected to each other in series, and the flow rate setting first capillary 7 and second capillary 8, and these capillaries. 7 and the third capillary 11 on the overflow channel 10 connected to the connection point 9. The downstream side of the overflow channel 10 is connected to an exhaust channel (not shown).
[0012]
The ozone gas supply path 3 is connected to an upstream side (not shown) of the air as the ozone source gas G, and the introduced air flows. The ozone gas supply path 3 is provided with a pressure regulating valve 12, a capillary 13 as second flow rate control means, and an ozone gas generator 14 for generating ozone gas OG from oxygen in the air G in series in this order.
[0013]
In the exhaust flow path 4, an ozone gas decomposer 15 and a vacuum pump 16 that decompose the ozone gas OG remaining in the gas HG discharged from the detection unit 1 to generate oxygen gas are provided in this order in series. It has been. For example, the downstream side of the vacuum pump 16 is open to the atmosphere.
[0014]
In the nitrogen oxide measuring device, the first flow rate control means 5 provided in the sample gas supply path 2 is, for example, when the sample gas S of 500 mL / min flows through the first capillary 7, The flow rate is set so that 480 mL / min of the sample gas S flows through the capillary 11 and only 20 mL / min of the sample gas S flows through the second capillary 8 upstream of the NOx converter 6. Then, suction is performed at 20 mL / min by the vacuum pump 16. That is, most of the sample gas S flowing through the sample gas supply path 2 overflows, and the flow rate is controlled so that a part (1/25 of the original sample gas S in this embodiment) flows. At this time, the air G flowing through the ozone gas supply path 3 is set to have a flow rate of 500 mL / min by the capillary 13, and the supply amount of the sample gas S from the sample gas supply path 2 to the reaction tank of the detection unit 1. Is controlled to be 1/25 of the supply of ozone gas from the ozone gas supply path 3 to the reaction vessel.
[0015]
And in the said nitrogen oxide measuring apparatus, while supplying the supply amount with respect to the detection part 1 of the sample gas S by the 1st flow control means 5 provided in the sample gas supply path 2, it was provided in the ozone gas supply path 3 The flow rate of the air G as the ozone source gas is set by the second flow rate control means 13, thereby setting the supply amount of the ozone gas OG to the detection unit 1, and the sample gas S and the vacuum pump 15 from the downstream side of the detection unit 1 Ozone gas OG is sucked so that the NOx converter 6 after the second capillary 8, the detector 1, the ozone gas decomposer 15, and the flow path portion 17 to the vacuum pump 16 are in a reduced pressure state close to vacuum. Therefore, in the detection unit 1, NO in the sample gas S and the ozone gas OG react in a reduced pressure state close to vacuum .
[0016]
Even if the sample gas S contains high-concentration hydrogen gas, these gases react in the detection unit 1 in a reduced pressure state close to vacuum, so that the hydrogen gas and the ozone gas OG explosively. There is no reaction. In addition, the ozone gas OG is generated from the air in which the ozone source gas G has an oxygen content of about 20%. Even if a gas having a hydrogen gas concentration of 100% is introduced, the first and second ozone gases OG are used. Since the ratio of the sample gas S to the ozone gas OG with respect to the detection unit 1 is maintained below the explosion limit of hydrogen (4% or less) by the flow rate control means 5 and 13, the exhaust system (downstream from the vacuum pump 16) becomes normal pressure. Explosion due to hydrogen gas and oxygen in the side flow path) can be avoided. The number of 4% indicating the explosion limit of hydrogen is the value when the oxygen content is about 20%. When the oxygen content changes, the value indicating the explosion limit also changes.
[0017]
In addition, unlike the prior art shown in FIG. 2, the sample gas S is not diluted with an inert gas, so that a decrease in detection sensitivity due to the dilution of the sample gas S and an error in measurement results may occur. Therefore, a highly accurate measurement result can be obtained.
[0018]
In the above-described embodiment, the explosion limit of hydrogen gas is 4%, but this number changes when the oxygen content changes. In the above-described embodiment, as the ozone source gas G, Air that is readily available and inexpensive is used, but instead, a mixed gas in which oxygen is an inert gas such as argon and the oxygen content in the air is used may be used. Even in this case, the cost is lower than when 100% oxygen is used as the ozone source gas G.
[0019]
The nitrogen oxide measuring apparatus of the present invention is particularly effective for quantitative analysis of NOx in a sample gas containing a high concentration of hydrogen gas, and the sample gas may be a gas discharged from a fuel cell or the like. In addition to those containing high-concentration hydrogen gas, it can be suitably used for quantitative analysis of NOx in gas containing high-concentration hydrogen gas, for example, gas from a reformer that reforms alcohol such as methanol into hydrogen gas. it can.
[0020]
【The invention's effect】
As described above, according to the nitrogen oxide measuring apparatus of the present invention, NOx in the sample gas containing high-concentration hydrogen gas can be quantitatively analyzed safely and with high accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of the configuration of a nitrogen oxide measuring apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a conventional nitrogen oxide measuring apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Detection part, 2 ... Sample gas supply path, 3 ... Ozone gas supply path, 4 ... Exhaust flow path, 5 ... 1st flow control means, 6 ... NOx converter, 7 , 8 , 11 , 13 ... Capillary, 10 ... Overflow Flow path, 13 ... second flow rate control means, 14 ... ozone gas generator, 16 ... vacuum pump, S ... sample gas, G ... ozone source gas, OG ... ozone gas, HG ... exhaust gas from the detector.

Claims

A sample gas supply path including a NOx converter for converting NOx in the sample gas containing hydrogen gas into NO and a first flow rate control means, and air or air as an ozone source gas with respect to the reaction tank of the detection unit; An ozone gas generator that generates ozone gas based on a mixed gas having the same oxygen content and an ozone gas supply path including a second flow rate control means are connected in parallel to each other, and an exhaust flow path downstream of the detection unit In the nitrogen oxide measuring apparatus for quantitatively analyzing NOx by providing a vacuum pump to cause a chemiluminescence reaction under reduced pressure , the hydrogen content of the gas discharged from the detector to the exhaust system at normal pressure A nitrogen oxide measuring apparatus characterized in that the flow rate is controlled by the first and second flow rate control means so that the rate is below the explosion limit.

The first flow rate control means is connected in series with the sample gas supply path, and is connected to the first capillary and the second capillary for flow rate setting connected in series with each other and a connection point between the first capillary and the second capillary. The nitrogen oxide measuring device according to claim 1, wherein the second flow rate control means is a capillary provided in series with an ozone gas supply path.