JP3794298B2

JP3794298B2 - Inspection device

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Publication number: JP3794298B2
Application number: JP2001235392A
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Inventors: 千春羽生田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-08-02
Filing date: 2001-08-02
Publication date: 2006-07-05
Anticipated expiration: 2021-08-02
Also published as: JP2003042900A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの計量系検査及び計数検査を行う検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ライトバルブ等の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等の２枚の基板間に液晶を封入して構成される。液晶ライトバルブでは、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す）等の能動素子をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能にする。
【０００３】
ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、ＴＦＴ基板に対向配置される対向基板とは、別々に製造される。両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わされた後、液晶が封入される。
【０００４】
パネル組立工程においては、先ず、各基板工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との対向面、即ち、対向基板及びＴＦＴ基板の液晶層と接する面上に配向膜が形成され、次いでラビング処理が行われる。次に、一方の基板上の端辺に接着剤となるシール部が形成される。ＴＦＴ基板と対向基板とをシール部を用いて貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着硬化させる。シール部の一部には注入口が設けられており、この注入口を介して液晶を封入する。
【０００５】
一般的には、貼り合わせ工程までは、生産性及び歩留まりの点から、ＴＦＴ基板は、マザーガラス基板上で複数同時に形成される。マザーガラス基板上に形成された各ＴＦＴ基板上に夫々対向基板を貼り合わせて液晶を封入し、セルを形成する。スクライブ工程においては、マザーガラス基板を各セル毎に切れ込みを入れ、この切れ込みを利用して各セルを分断して、液晶パネルチップを得る。
【０００６】
液晶パネルチップの外部接続端子へFPCなどのフラットケーブルを圧着した後、パネルチップ保護のために樹脂などのケースを接着して、液晶パネルとする。
【０００７】
こうして完成された液晶パネルに対して、パネル表示特性検査が行われる。パネル表示特性検査としては、例えば、透過率コントラスト測定等の計量系検査と、点欠陥等の計数検査及び面ムラ等の官能検査等の目視表示特性検査とがある。一般的には、各検査工程は、夫々独立して別工程として行われている。
【０００８】
このようなパネル表示特性検査においては、以下の課題がある。
【０００９】
即ち、
（１）各検査工程が分割されていることから、検査ロット全体の品質は分かるが、個体毎の品質を把握することができない。
【００１０】
（２）各検査工程間の仕掛品が在庫として滞留してしまう。
【００１１】
（３）サンプルホールドタイミング等のパネルの駆動タイミングが製造上のばらつきなどでずれると、表示画像がずれてゴースト等が発生する。パネルの最適駆動タイミングは厳密にはパネル毎に異なるが、個々のタイミング調整は不可能であり、検査も不正確になってしまう。
【００１２】
（４）投影検査は目視検査であることから、検査に熟練を要する上、判定の曖昧さや見落としか発生する虞がある。
【００１３】
（５）各検査による判定結果をパネルに識別表示するために、検査工程であるにもかかわらず、印字等の付帯作業が必要になる。
【００１４】
そこで、これらの課題を解決するために、近年、自動検査装置が実用化されている。自動検査装置においては、透過率コントラスト測定等の計量系検査及び点欠陥及び面ムラ等の目視表示特性検査とが行われる。
【００１５】
これらの検査を自動化することによって、検査に熟練を要しなくなる等の利点がある。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、自動検査装置を採用した場合でも、上述した（１）〜（５）の全ての課題を解決することはできない。即ち、自動検査装置による検査においても、目視検査と同様に、パネル毎に異なる最適タイミングを個々に調整することができず、最適な検査を行うことができない。また、パネルの設置方法及び判定ランク毎のパネル分類を手作業で行う必要があり、検査が自動化された場合でも工数は削減されない。更に、画像を用いる検査では、検査毎に、画像取込み処理を実行し、取込んだ画像を用いて判定までの各工程を実施する必要があり、検査に長時間を要するという問題点があった。
【００１７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、パネル毎に異なる最適タイミングを個々に調整することを可能にすることができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【００１８】
また、本発明は、パネルの設置方法及び判定ランク毎のパネル分類を自動化することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【００１９】
また、本発明は、１回の画像取込み処理により画像を複数の検査で利用することで、検査に要する時間を短縮することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る検査装置は、表示パネルの画像を取込む画像取込み手段と、前記表示パネルの計量系検査を行う計量系検査手段と、前記画像取込み手段が取込んだ画像を利用して、前記表示パネルの計数検査を行う計数検査手段と、前記画像取込み手段、計量系検査手段及び前記計数検査手段に前記表示パネルを搬送する搬送手段とを具備したことを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、画像取込み手段によって表示パネルの画像が取込まれる。計量系検査手段は表示パネルの計量系検査を行う。計数検査手段は表示パネルの計数検査を行う。この場合には、計数検査手段は、画像取込み手段が取込んだ画像を利用する。従って、計量系検査毎に画像取り込みを行う必要はなく、検査時間を短縮することができる。
【００２２】
本発明に係る検査装置は、中が黒で背景が中間調のウィンドウパターン画面を表示して、表示パネルのゴースト現象が最小となるような水平方向の駆動回路の最適駆動タイミングを検出する最適タイミング検査手段と、前記表示パネルの透過率、コントラスト比又は電圧透過率特性の計量系検査を行う計量系検査手段と、前記最適タイミング検査手段が検出した最適駆動タイミングを利用して、前記表示パネルの表示画像を取込む画像取込み手段及び前記表示パネルの欠陥の計数検査を行う計数検査手段と、を具備したことを特徴とする。
【００２３】
このような構成によれば、最適タイミング検査手段によって表示パネル最適駆動タイミングが検出される。計量系検査手段は表示パネルの計量系検査を行い、計数検査手段は表示パネルの計数検査を行う。計数検査時には、最適タイミング検査手段が検出した最適駆動タイミングが利用される。これにより、各検査の精度を向上させることができる。
【００２４】
本発明に係る検査装置は、表示パネルのＩＤを検出するＩＤ読取手段と、前記表示パネルの画像を取込む画像取込み手段と、前記表示パネルの計量系検査を行う計量系検査手段と、前記表示パネルの計数検査を行う計数検査手段と、前記画像取込み手段、前記計量系検査手段及び前記計数検査手段に前記表示パネルを搬送する搬送手段と、前記ＩＤ読取手段が検出したＩＤによって、前記表示パネル毎に前記計量系検査手段及び前記計数検査手段の検査結果を得る判定手段とを具備したことを特徴とする。
【００２５】
このような構成によれば、ＩＤ読取手段によって表示パネルのＩＤが検出される。計量系検査手段は表示パネルの計量系検査を行い、計数検査手段は表示パネルの計数検査を行う。これらの計量系検査及び計数検査時には、ＩＤ読取手段が読み取ったＩＤが利用され、各検査結果は表示パネル毎に管理制御される。
【００２６】
本発明に係る検査装置は、前記表示パネルの画像を取込む画像取込み手段と、前記表示パネルの計量系検査を行う計量系検査手段と、前記表示パネルの計数検査を行う計数検査手段と、前記画像取込み手段、前記計量系検査手段及び前記計数検査手段に前記表示パネルを搬送する搬送手段と、前記計量系検査手段及び前記計数検査手段の検査結果に基づいて前記表示パネルを分類する判定手段と、前記判定手段の判定結果に基づいて検査後の前記表示パネルに検査結果の分類を示す表示を印字する印字手段とを具備したことを特徴とする。
【００２７】
このような構成によれば、計量系検査手段は表示パネルの計量系検査を行い、計数検査手段は表示パネルの計数検査を行う。判定手段は、各検査結果に基づいて表示パネルを分類する。印字手段は、この分類に従って、表示パネルに検査結果の分類を示す表示を印字する。これにより、検査者は、印字された表示によって、検査結果に応じた分類を把握することができる。
【００２８】
本発明に係る検査装置は、前記表示パネルの画像を取込む画像取込み手段と、前記表示パネルの計量系検査を行う計量系検査手段と、前記表示パネルの計数検査を行う計数検査手段と、前記画像取込み手段、前記計量系検査手段及び前記計数検査手段に前記表示パネルを搬送する搬送手段と、前記計量系検査手段及び前記計数検査手段の検査結果に基づいて前記表示パネルを分類する判定手段と、前記判定手段の判定結果に基づいて検査後の前記表示パネルを格納するトレイを決定するトレイ決定手段と、前記トレイ決定手段の決定に従って、検査後の前記表示パネルを分類に応じたトレイに移動させる除材手段とを具備したことを特徴とする。
【００２９】
このような構成によれば、計量系検査手段は表示パネルの計量系検査を行い、計数検査手段は表示パネルの計数検査を行う。判定手段は、各検査結果に基づいて表示パネルを分類する。トレイ決定手段は、この分類に従って、検査後の表示パネルを格納するトレイを決定する。この決定に従って、除材手段は検査後の表示パネルを分類に応じたトレイに移動させる。これにより、検査結果に応じた分類及び格納が自動的に行われる。
【００３０】
前記除材手段は、検査後の前記表示パネルを上下に積層された複数のトレイに移動させて格納することを特徴とする。
【００３１】
このような構成によれば、複数のトレイを配置する場所の面積が狭くてもよい。
【００３２】
前記トレイ決定手段は、前記表示パネルの判定結果として新たな分類が生じた場合には、前記上下に積層された複数のトレイのうち最も上に位置する空きトレイを前記新たな分類用のトレイとして決定することを特徴とする。
【００３３】
このような構成によれば、表示パネルの検査結果が新たな分類である場合には、分類が決められていないトレイのうち最も上に位置するトレイが新たな分類用のトレイとして決定される。即ち、トレイは予め分類が決められておらず、分類が少ない場合等のように無駄にトレイが使用されることを防止することができる。
【００３４】
前記計数検査手段は、画像の点欠陥を検査する点欠陥検査手段と画像の面欠陥を検査する面欠陥手段との少なくとも一方を含むことを特徴とする。
【００３５】
このような構成によれば、画像の点欠陥及び面欠陥を検査する場合に、既に取込まれている画像を利用することができるので、これらの処理時間を短縮することができる。
【００３６】
前記計数検査手段は、前記画像取込み手段による画像取込み、前記最適タイミング検査手段による最適駆動タイミングの検出及び前記ＩＤ読取手段によるＩＤの検出以後に、前記計数検査に複数の検査が含まれる場合にはこれらの複数の検査を並列処理することを特徴とする。
【００３７】
このような構成によれば、計数検査が並列処理されるので、処理に要する時間を短縮することができる。
【００３８】
本発明に係る検査方法は、表示パネルのＩＤを検出するＩＤ読取手順と、前記表示パネルの最適駆動タイミングを検出する最適タイミング検査手順と、前記表示パネルの画像を取込む画像取込み手順と、前記ＩＤ、最適駆動タイミング及び取込み画像を利用して、前記表示パネルの計量系検査を行うと共に、前記表示パネルの計数検査を行う計量系検査及び計数検査手順とを具備したことを特徴とする。
【００３９】
このような構成によれば、ＩＤ読取手順において表示パネルのＩＤが検出され、最適タイミング検査手順によって最適駆動タイミングが検出され、画像取込み手順によって表示パネルの画像が取込まれる。これらのＩＤ、最適駆動タイミング及び取込み画像を利用して、表示パネルの計量系検査を行うと共に、表示パネルの計数検査を行う。従って、計量系検査及び計数検査時に、最適な駆動タイミングで検査が行われて検査精度が向上し、既に取込まれた画像を利用するので検査時間が短縮され、ＩＤを用いて各検査結果を表示パネル毎に判定保持することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る検査装置を示すブロック図である。図２は液晶装置の画素領域を構成する複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図である。図３はＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図４は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図３のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図である。また、図５は液晶装置を詳細に示す断面図である。
【００４１】
先ず、図２乃至図５を参照して、検査対象となる液晶パネルの構造について説明する。
【００４２】
液晶パネルは、図３及び図４に示すように、ＴＦＴ基板等の素子基板１０と対向基板２０との間に液晶５０を封入して構成される。素子基板１０上には画素を構成する画素電極等がマトリクス状に配置される。図２は画素を構成する素子基板１０上の素子の等価回路を示している。
【００４３】
図２に示すように、画素領域においては、複数本の走査線３ａと複数本のデータ線６ａとが交差するように配線され、走査線３ａとデータ線６ａとで区画された領域に画素電極９ａがマトリクス状に配置される。そして、走査線３ａとデータ線６ａの各交差部分に対応してＴＦＴ３０が設けられ、このＴＦＴ３０に画素電極９ａが接続される。
【００４４】
ＴＦＴ３０は走査線３ａのＯＮ信号によってオンとなり、これにより、データ線６ａに供給された画像信号が画素電極９ａに供給される。この画素電極９ａと対向基板２０に設けられた対向電極２１との間の電圧が液晶５０に印加される。また、画素電極９ａと並列に蓄積容量７０が設けられており、蓄積容量７０によって、画素電極９ａの電圧はソース電圧が印加された時間よりも例えば３桁も長い時間の保持が可能となる。蓄積容量７０によって、電圧保持特性が改善され、コントラスト比の高い画像表示が可能となる。
【００４５】
図５は、一つの画素に着目した液晶パネルの模式的断面図である。
【００４６】
ガラスや石英等の素子基板１０には、ＬＤＤ構造をなすＴＦＴ３０が設けられている。ＴＦＴ３０は、チャネル領域１ａ、ソース領域１ｄ、ドレイン領域１ｅが形成された半導体層に絶縁膜２を介してゲート電極をなす走査線３ａが設けられてなる。ＴＦＴ３０上には第１層間絶縁膜４を介してデータ線６ａが積層され、データ線６ａはコンタクトホール５を介してソース領域１ｄに電気的に接続される。データ線６ａ上には第２層間絶縁膜７を介して画素電極９ａが積層され、画素電極９ａはコンタクトホール８を介してドレイン領域１ｅに電気的に接続される。
【００４７】
走査線３ａ（ゲート電極）にＯＮ信号が供給されることで、チャネル領域１ａが導通状態となり、ソース領域１ｄとドレイン領域１ｅとが接続されて、データ線６ａに供給された画像信号が画素電極９ａに与えられる。
【００４８】
また、半導体層にはドレイン領域１ｅから延びる蓄積容量電極１ｆが形成されている。蓄積容量電極１ｆは、誘電体膜である絶縁膜２を介して容量線３ｂが対向配置され、これにより蓄積容量７０を構成している。画素電極９ａ上にはポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜１６が積層され、所定方向にラビング処理されている。
【００４９】
一方、対向基板２０には、ＴＦＴアレイ基板のデータ線６ａ、走査線３ａ及びＴＦＴ３０の形成領域に対向する領域、即ち各画素の非表示領域において第１遮光膜２３が設けられている。この第１遮光膜２３によって、対向基板２０側からの入射光がＴＦＴ３０のチャネル領域１ａ、ソース領域１ｄ及びドレイン領域１ｅに入射することが防止される。第１遮光膜２３上に、対向電極（共通電極）２１が基板２０全面に亘って形成されている。対向電極２１上にポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜２２が積層され、所定方向にラビング処理されている。
【００５０】
そして、素子基板１０と対向基板２０との間に液晶５０が封入されている。ＴＦＴ３０は所定のタイミングでデータ線６ａから供給される画像信号を画素電極９ａに書き込む。書き込まれた画素電極９ａと対向電極２１との電位差に応じて液晶５０の分子集合の配向や秩序が変化して、光を変調し、階調表示を可能にする。
【００５１】
図３及び図４に示すように、対向基板２０には表示領域を区画する額縁としての第２遮光膜４２が設けられている。第２遮光膜４２は例えば第１遮光膜２３と同一又は異なる遮光性材料によって形成されている。
【００５２】
第２遮光膜４２の外側の領域に液晶を封入するシール材４１が、素子基板１０と対向基板２０間に形成されている。シール材４１は対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１０の１辺の一部において欠落しており、貼り合わされた素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶５０を注入するための液晶注入口７８が形成される。液晶注入口７８より液晶が注入された後、液晶注入口７８を封止材７９で封止するようになっている。
【００５３】
素子基板１０のシール材４１の外側の領域には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられている。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導通材６５が設けられている。
【００５４】
図１において、給材部８１には、図２乃至図５に示す液晶パネルが与えられる。給材部８１は液晶パネルを搬送部８２に給材する。給材部８１は、積層された図示しないトレイを有する。プラスチック成形された各トレイには液晶パネルが複数配列されるようになっている。給材部８１は、トレイが積み重ねられて設置される図示しない給材トレイ部を有している。各トレイ上には、検査する液晶パネル（以下、検査モジュールという）を例えば５列×４行で２０枚並べられている。給材部８１は、トレイ上の検査モジュールを搬送部８２に給材する。
【００５５】
搬送部８２は、液晶パネルを各検査部に自動搬送する。なお、搬送部８２は、各検査部間では、ループ状に移動する図示しないパレット搬送系によって液晶パネルを搬送するようになっている。また、搬送部８２は、全ての検査が終了した液晶パネルを除材部８３に搬送する。
【００５６】
なお、搬送部８２による各パレットからトレイ又は各検査部へのパネルセットは、ＸＹロボット又はスカラロボットを使用して、真空吸着することによって行われる。
【００５７】
除材部８３は検査終了後の液晶パネルを検査装置から除材する。本実施の形態においては、除材部８３は、検査によって良否又はランク判定された液晶パネルを分類して各トレイ上に載置するようになっている。
【００５８】
検査部としては、ＩＤ読取部８４、画像処理部８５、最適駆動タイミング設定部８６、計量系検査部８７、点欠陥検査部８８、面欠陥検査部８９及び印字部９０を有する。これらの検査部は、管理制御部９１によって管理制御されるようになっている。
【００５９】
ＩＤ読取部８４は、検査モジュールである液晶パネルの識別番号を読み取るようになっている。予め前工程によって、液晶パネルのＦＰＣ（フレキシブルプリント板）等にパネル識別記号を印字しておく。ＩＤ読取部８４は、搬送部８２による搬送路上に配置され、例えば、バーコードリーダー等によってパネル上の識別記号を読み取る。
【００６０】
なお、この場合には、印字面積を最小限にするために、２次元バーコードを使用するのが好ましい。また、識別記号をパネル上に印字することができない場合には、ＩＤ読取部８４を用いることなく、個々のパネルを搭載する搬送系のパレットにICタグなどの識別表示を付して装置内での識別用として用いてもよい。
【００６１】
検査モジュールのＩＤを認識することで、各検査部におけるパネル検査データを個体管理することが可能となる。
【００６２】
画像処理部８５は、画像を必要とする各検査工程のために、パネルの投影画面を数値化して取込むようになっている。図６は図１中の画像処理部８５の具体的な構成を示す説明図である。
【００６３】
搬送部８２によって、画像処理部８５の所定の検査位置に検査モジュールである液晶パネル１００が配置されるようになっている。検査位置においては実機と同様の光学系を用いた投影機構が設けられている。即ち、高圧水銀ランプ等を用いた光源１０３から、入射光学系１０６を通して、入射偏光板１０７、出射偏光板１０８で挟まれた液晶パネル１００へ光を入射して、投射光学系１０９からスクリーン１０１へ液晶パネル１００の表示画面を投影する。このとき、使用する光の波長は白色光でも良いが、波長によって検出感度が異なる欠陥を検出するために、緑色光、赤色光、青色光を使い分けても構わない。
【００６４】
液晶パネル１００近傍にはＬＣＤドライバ１０４が配置される。
【００６５】
ＬＣＤドライバ１０４は、電気信号を液晶パネル１００に伝達するための図示しないプローブ機構を有しており、液晶パネル１００を図示しない画像入力ボードからの画像信号に応じて駆動することができるようになっている。これにより、スクリーン１０１上に画像が投影される。
【００６６】
ＣＣＤ等のカメラ１０２は、スクリーン１０１の表示画面を取り込んで数値化するようになっている。
【００６７】
なお、投影機構は、パネルの搬送系と同様にパネルを水平に設置することで、精度の高い位置出しを可能にしている。また、図６ではスクリーン１０１を液晶パネル１００の上方向に配置して、画像投射方向を垂直方向としたが、反射ミラーを用いて９０度方向変換して水平方向へ投射するようにしてもよいことは明らかである。
【００６８】
また、ＣＣＤカメラ１０２としては、パネルの画素数に依存するが、例えば、横１３００×縦１０００画素の白黒カメラを用いる。また、中間調表示でわずかに周辺より輝度の高い欠陥を検出するために処理する階調数は、１０２４階調（１０ビット以上）あることが望ましい。３板用液晶ブロジェクタでは、１枚のパネルは白黒であるので、デバイスとしてのパネル検査用に用いるＣＣＤカメラはカラーである必要はない。
【００６９】
カメラ１０２からのカメラ出力は画像処理パソコン１０５に供給される。画像処理パソコン１０５は図示しないメモリを備えており、カメラ出力に所定の画像信号処理を施すと共に、処理画像を各種検査に用いるために、液晶パネルのＩＤに対応させて表示画面データとして記憶保持するようになっている。
【００７０】
図１において最適駆動タイミング設定部８６は、パネル駆動時の最適駆動タイミングを検出して、検出結果を以後の検査に適用するようになっている。
【００７１】
水平方向の駆動回路を内蔵したＴＦＴ液晶パネルにおいては、製造プロセスの相違によってトランジスタ特性が異なり、機種や個体毎に、特に水平方向サンプルホルダの駆動タイミングが異なる場合がある。この場合、表示画面のパターン切り替り部分にゴースト現象と呼ぶ影が発生する。そこで、最適駆動タイミング設定部８６は、駆動タイミングを自動的にずらしながら、ゴースト現象が最小となるタイミングを得ることで、最適タイミングを取得する。
【００７２】
例えば、最適駆動タイミング設定部８６は、液晶パネルを図示しない蛍光管等のバックライト上に配置した状態で、ゴーストが見えやすいパターンを表示させる。ゴーストを検出するパターンとしては、中が黒で背景が中間調のウィンドウパターン画面等がある。最適駆動タイミング設定部８６は、液晶パネルに表示された画像をＣＣＤカメラで撮像して、撮像画像からゴースト値を算出する。ゴースト値は、ウィンドウパターンに隣接する背景部（ゴースト発生部）の輝度Ａと、離れた場所の背景の輝度Ｂとを用いて、下記（１）式によって表すことができる。
【００７３】
ゴースト値＝（Ａ−Ｂ）／Ｂ×１００（％） …（１）
計量系検査部８７は、液晶パネルの計量系検査を実行する。例えば、計量系検査部８７は、透過率、コントラスト比及びＴＶ特性等を測定する。計量系検査部８７は、実機に近い図示しない光学系を具備しており、検査台上の液晶パネルに、実機に近い入射光を照射して、透過光を測定する。なお、透過光の測定器として照度計または、輝度計を使用すると、高い精度の測定が可能となる。
【００７４】
また、実際のプロジェクタ（実機）は、使用するパネルサイズによって光学系による入射光の角度分布が異なる。そこで、実機に近い入射光を得るために、計量系検査部８７の光学系に、パネルサイズに応じて最大入射角度が可変の機構を設けることにより、パネルサイズに拘わらず入射光の角度分布を実機と近似させることができる。
【００７５】
計量系検査部８７は、パネル有無による照度の差を透過率として取得し、白表示と黒表示との差をコントラスト比データとして取得する。また、計量系検査部８７は、ビデオ電圧を徐々に変化させた際の照度を測定することによって、電圧透過率特性（ＴＶカーブ）を得るようになっている。
【００７６】
点欠陥検査部８８は、ＣＣＤカメラ等によって位置及び階調情報に変換された表示画面データを画像処理して、点欠陥検査を実施する。本実施の形態においては、点欠陥検査部８８は、画像処理部８５の画像処理パソコン１０５に保持されている処理画像の表示画面データが後述する管理制御部９１から与えられて、点欠陥処理を実行するようになっている。従って、本実施の形態においては、点欠陥検査部８８において画像取込み装置は不要であり、また、点欠陥処理に際して画像取込み処理は不要である。
【００７７】
面欠陥検査部８９は、点欠陥検査部８８と同様に、予め画像処理パソコン１０５に格納されている画像データを画像処理して面欠陥の検出、判定を実施するようになっている。
【００７８】
印字部９０は、各種検査の検査判定結果の情報（判定情報）が与えられて、判定情報に基づく表示を液晶パネル等に印字するようになっている。例えば、印字部９０は、判定情報に基づいて、検査モジュールの部分に、インクジェットプリンタ等を用いて判定結果又はそれに類する記号やバーコード等の表示を印字する。なお、印字の色が黒の文字の場合には、透明なＦＰＣ部分に印字すると視認しやすく好ましい。
【００７９】
管理制御部９１は、各検査部等を管理制御すると共に、各検査部からの情報を収集して、検査判定結果の判定情報を得るための所定の処理を行うようになっている。本実施の形態においては、管理制御部９１は、点欠陥処理及び面欠陥処理時には、画像処理部８５が記憶保持している表示画面データを利用するようになっている。
【００８０】
次に、このように構成された実施の形態の動作について図７乃至図１８のフローチャートを参照して説明する。図７乃至図９は被検査物である液晶パネルの搬送を説明するためのものであり、図１０乃至図１８は検査工程を説明するためのものである。
【００８１】
検査工程が開始されると、図７のステップＳ11において、ハンドワーク等により、検査モジュールである液晶パネルをパレット上に載置する。次に、ステップＳ12においてトレイを給材部８１にセットする。
【００８２】
次に、ステップＳ13において給材を開始する。図８はステップＳ13の給材部における給材を説明するためのものである。図８のステップＳ21において、給材部８１の給材トレイ部の最上段のトレイから、ロボット等によって、パネルを吸着保持して（ステップＳ22）、所定場所に移動させる（ステップＳ23）。なお、１つのトレイ上の液晶パネルの全てが移動されて空になると、引き続き、次の段のトレイからパネルが取り出される。
【００８３】
給材部８１によって給材されたトレイ上の液晶パネルは搬送部８２によって各検査部に搬送される。各検査は図１０のフローチャートに従って行われる。先ず、搬送部８２は図７のステップＳ13において、トレイをＩＤ読取部８４に搬送する。図１０のステップＳ41に示すように、給材トレイから液晶パネルが取り出されて、ステップＳ42においてパネルの識別ＩＤがＩＤ読取部８４によって読み取られる。
【００８４】
図１１はＩＤ読み取り処理を示している。図１１のステップＳ51において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、ＩＤ読取部８４は、バーコードリーダーを下に移動させ（ステップＳ52）、ステップＳ53において識別記号を読み取る。次に、ステップＳ54において、ＩＤ読取部８４は読み取った各液晶パネルのＩＤを管理制御部９１に出力する。以後、搬送される液晶パネルに対して順次ＩＤの読み取り及び情報の転送が行われる。
【００８５】
次に、図７のステップＳ14において、搬送部８２は、検査モジュールを計量系検査部８７に搬送する。図１０のステップＳ43において、計量系検査部８７は計量系の各種検査を行う。図１２は計量系検査工程を示している。
【００８６】
図１２のステップＳ61において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、計量系検査部８７は、パネルを配置しない状態で照度測定を行い（ステップＳ62）、ステップＳ63においてパネルを検査台に配置して、全白画像の照度測定を行う（ステップＳ63）。次に、計量系検査部８７は、ステップＳ65において全黒画像の照度測定を行い、ステップＳ66において電圧可変時の照度測定を行う。計量系検査部８７は、ステップＳ67において測定結果を管理制御部９１に出力する。
【００８７】
管理制御部９１は、計量系検査部８７の測定結果に基づいて、透過率、コントラスト比及びＴＶ特性を算出する。
【００８８】
次に、図７のステップＳ15において、搬送部８２は、検査モジュールを最適駆動タイミング設定部８６に搬送する。図１０のステップＳ44において、最適駆動タイミング設定部８６は最適タイミングを検出する。図１３は最適タイミング検出処理を示している。
【００８９】
図１３のステップＳ71において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、最適駆動タイミング設定部８６は、ステップＳ72において、液晶パネルを所定のタイミングで駆動する。次に、この状態で、駆動タイミング設定部８６は、液晶パネルに中黒で背景が中間調のウィンドウパターンを表示させる（ステップＳ73）。次に、ステップＳ74において、ＣＣＤカメラにより画像を取込み、ウィンドウ周辺の輝度差（ゴースト）を算出する（ステップＳ75）。駆動タイミング設定部８６は、ゴーストの算出結果に基づいて、ステップＳ76，Ｓ79において、タイミングを変更する。駆動タイミング設定部８６は、ステップＳ73〜Ｓ76の処理を、設定タイミングまで繰返す。駆動タイミング設定部８６は、ステップＳ77において、ゴーストが最小値となるタイミングを、最適タイミングとして検出する。最適駆動タイミング設定部８６は、ステップＳ78において測定結果を管理制御部９１に出力する。
【００９０】
次に、図７のステップＳ16において、搬送部８２は、検査モジュールを画像処理部８５に供給する。図１０のステップＳ45において、画像処理部８５は投影画像を複数枚取込む。図１４は画像取込み処理を示している。
【００９１】
図１４のステップＳ81において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、画像処理部８５は、ステップＳ82において、液晶パネルに画像を表示させて、ＣＣＤカメラ１０２によって画像を撮像する（ステップＳ83）。撮像された画像はステップＳ84において、画像処理パソコン１０５に記憶保持される。次に、画像処理部８５は、液晶パネルに表示させるパターンを変化させて（ステップＳ86）、同様の処理を繰返す。
【００９２】
次に、図７のステップＳ17において、搬送部８２は、検査モジュールを各欠陥検査部８８，８９に搬送する。図１０のステップＳ46において、先ず、点欠陥検査部８８は点欠陥を検出する。図１５は点欠陥検査処理を示している。
【００９３】
図１５のステップＳ91において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、点欠陥検査部８８は、ステップＳ92において、画像処理部８５において取込み済みの画面データ読み出す。画像処理パソコン１０５からの画面データは管理制御部９１を介して点欠陥検査部８９に供給される。
【００９４】
点欠陥検査部８８は、例えば、以下の（Ａ１）乃至（Ｃ１）に示すアルゴリズムによって点欠陥処理を行う。
【００９５】
（Ａ１）元画面を５×５画素等の単位で平均化し、元画面と差を算出して輝度ムラを補正する。
【００９６】
（Ｂ１）元画面を判定規格で２値化して、白レベルとなるものを輝点候補とする。
【００９７】
（Ｃ１）各輝点候補の輝度値と面積を調べ、規格輝度以上で、規格面積以上のものを輝点と判定する。
【００９８】
黒点の場合には（Ｂ１）の２値化時に黒レベルとなるものについて同様に処理を行う。
【００９９】
即ち、点欠陥検査部８８は、ステップＳ93において、設定閾値で元画面を２値化し、ステップＳ94で黒部をマスクして、元画面から白部を抜き出し、ステップＳ95で抜き出し部を判定規格と比較し、ステップＳ96で輝点部検出、判定を行う。更に、点欠陥検査部８８は、ステップＳ97において、設定閾値で元画面を２値化し、ステップＳ98で白部をマスクして、元画面から黒部を抜き出し、ステップＳ99で抜き出し部を判定規格と比較し、ステップＳ100 で黒点部検出、判定を行う。次に、点欠陥検査部８８は、ステップＳ101 において、別ファイルを選択して処理をステップＳ92に戻し、最終画面ファイルまで同様の処理を繰返す。点欠陥検査部８８は、ステップＳ102 において測定結果を管理制御部９１に出力する。
【０１００】
次に、図１０のステップＳ47において、面欠陥検査部８９は面欠陥を検出する。図１６は面欠陥検査処理を示している。
【０１０１】
図１６のステップＳ111 において、管理制御部９１から開始信号が与えられると、面欠陥検査部８９は、ステップＳ112 において、画像処理部８５において取込み済みの画面データを読み出す。画像処理パソコン１０５からの画面データは管理制御部９１を介して面欠陥検査部８９に供給される。
【０１０２】
面欠陥検査部８９は、例えば、以下（Ａ２）乃至（Ｅ２）に示すアルゴリズムによって面欠陥処理を行う。下記アルゴリズムは、欠陥のうち、たとえば、シミ、ムラと呼ばれる比較的小面積の輝度変化についてのアルゴリズムを示している。
【０１０３】
（Ａ２）元画面の輝度ムラを補正する。
【０１０４】
（Ｂ２）画面を、５×５画素等の核となるサイズで平均化してブロック化する。
【０１０５】
（Ｃ２）周囲のブロックと比較して、差が大きいブロックをムラ候補とする（Ｄ２）核サイズを７×７，９×９等の数種類に設定して、（Ｂ２），（Ｃ２）を実施する。
【０１０６】
（Ｅ２）結果画像に適当な係数を乗じて加算し、最終結果とする。
【０１０７】
（Ｆ２）結果画像の中で、判定規格以上となる部分のピーク数値と面積を元にシミムラの判定を行う。
【０１０８】
即ち、面欠陥検査部８９は、ステップＳ113 において、設定画素数を単位として元画面を平均化し、ステップＳ114 において隣接領域（ブロック）との差を算出し、ステップＳ115 において、結果を判定規格と比較し、ステップＳ116 においてムラ部を検出する。次に、面欠陥検査部８９は、ステップＳ117 ，Ｓ122 において、設定画素数を変更して処理をステップＳ113 に戻し、最大設定まで同様の処理を繰返す。次に、面欠陥検査部８９は、ステップＳ118 において各設定画素数毎の検出結果を合算し、ステップＳ119 でムラ部を判定する。次に、面欠陥検査部８９は、ステップＳ120 ，Ｓ123 において、別ファイルを選択して処理をステップＳ112 に戻し、最終画面ファイルまで同様の処理を繰返す。面欠陥検査部８９は、ステップＳ121 において測定結果を管理制御部９１に出力する。
【０１０９】
図１０のステップＳ48は、管理制御部９１における判定処理を示している。図１７は結果判定処理を示すフローチャートである。
【０１１０】
図１０のフローチャートでは、全ての検査終了後に行われるように記載されているが、判定処理を各検査の終了毎に行うようにしてもよい。図１７は判定処理を各検査結果の受信毎に行われるものとして示してある。
【０１１１】
図１７のステップＳ131 において、管理制御部９１は検査結果に基づく判定処理を開始する。管理制御部９１は、ステップＳ132 において各検査部の受信結果を受信して、夫々判定を行う。管理制御部９１は、判定結果に基づいて、各液晶パネルをランク分けし（ステップＳ133 ）、液晶パネル毎にランクデータを保持する（ステップＳ134 ）。
【０１１２】
次に、図７のステップＳ18において、搬送部８２は、検査モジュールを印字部９０に搬送する。図１０のステップＳ49において、印字部９０は判定結果に基づく印字を行う。図１８は結果印字処理を示している。
【０１１３】
図１８のステップＳ142 において、印字部９０は、管理制御部９１から判定結果を受信すると、ステップＳ143 においてインクジェットプリンタ等の印字装置に検査モジュールである液晶パネルを移動させ、判定結果に基づいてランクを示す印字を行う（ステップＳ144 ）。
【０１１４】
次に、図７のステップＳ19において、搬送部８２は、検査モジュールを除材部８３に搬送する（図１０のステップＳ50）。除材部８３は、搬送された検査モジュールを除材する。図９は除材処理を示している。
【０１１５】
検査終了後、除材部８３は除材を開始する。除材部８３は、管理制御部９１から除材する液晶パネルのランクを受信する（ステップＳ32）。除材部８３は、判定ランク毎に格納するトレイを設定し、ランクに応じたトレイに検査済みの液晶パネルを載置可能なように、トレイの移動等を行う（ステップＳ33）。除材部８３は、ステップＳ34において、ランクに応じたトレイに液晶パネルをセットする。除材部８３は、ステップＳ35において、セットした液晶パネルのトレイ内での位置の情報及びトレイの番号等の情報を管理制御部９１に出力する。
【０１１６】
なお、除材部８３は、予めトレイをランク毎に作成しておく例を説明したが、ランクが新たに発生した時点で、最も上の空きトレイをそのランク用として決定してもよい。この場合には、判定結果の分布が予測できない場合においても、必要トレイ数が少なくて済む可能性がある。
【０１１７】
また、図１０においては、各検査を順次行うものとして説明した。しかし、ＩＤ認識、画像取込み、最適タイミング検査後の各検査については、並列処理によって実施することができることは明らかである。この場合でも、ＩＤ認識、画像取込み及び最適タイミングの検査結果を利用して、他の検査を行うことができる。並列処理によって検査時間を著しく短縮することが可能である。
【０１１８】
このように、本実施の形態においては、パネル毎に異なる最適タイミング情報を各検査部において利用することができることから、検査の最適化を図ることができる。また、各検査部で得られた情報を管理制御部において一括して処理していることから、検査部間での分類仕分け作業が不要となる。また、個々のパネルの欠陥情報を一括して処理することができることから、前工程への品質情報のフィードバックが容易となる。取込んだ画像を、画像を必要とする複数の検査で利用しており、各検査毎に画像取込みを行う必要がないので、全検査時間を短縮することが可能である。また、計量系検査、点欠陥検査及び面欠陥検査を分割して処理することができ、検査時聞を短縮することができる。また、個体を識別し、個体毎にランクを印字することができ、分類等の付帯作業を自動化することができる。
【０１１９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、パネル毎に異なる最適タイミングを個々に調整することを可能にすることができ、また、パネルの設置方法及び判定ランク毎のパネル分類を自動化することができ、更に、１回の画像取込み処理により画像を複数の検査で利用することで、検査に要する時間を短縮することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置を示すブロック図。
【図２】液晶装置の画素領域を構成する複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図。
【図３】ＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。
【図４】素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図３のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図。
【図５】液晶装置を詳細に示す断面図。
【図６】図１中の画像処理部８５の具体的な構成を示す説明図。
【図７】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図８】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図９】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１０】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１１】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１２】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１３】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１４】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１５】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１６】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１７】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１８】実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
８１…給材部
８２…搬送部
８３…除材部
８４…ＩＤ読取部
８５…画像処理部
８６…最適駆動タイミング設定部
８７…計量系検査部
８８…点欠陥検査部
８９…面欠陥検査部
９０…印字部
９１…管理制御部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection apparatus and inspection method for performing a measurement system inspection and a count inspection of a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
A liquid crystal device such as a liquid crystal light valve is configured by sealing liquid crystal between two substrates such as a glass substrate and a quartz substrate. In a liquid crystal light valve, active elements such as thin film transistors (hereinafter referred to as TFTs) are arranged in a matrix on one substrate, a counter electrode is arranged on the other substrate, and sealed between both substrates. By changing the optical characteristics of the stopped liquid crystal layer according to the image signal, it is possible to display an image.
[0003]
The TFT substrate on which the TFT is disposed and the counter substrate disposed to face the TFT substrate are manufactured separately. Both substrates are bonded together with high accuracy in the panel assembling process, and then liquid crystal is sealed therein.
[0004]
In the panel assembly process, first, an alignment film is formed on the opposing surfaces of the TFT substrate and the counter substrate manufactured in each substrate process, that is, on the surface in contact with the liquid crystal layer of the counter substrate and the TFT substrate, and then the rubbing process. Is done. Next, a seal portion serving as an adhesive is formed on the edge of one substrate. The TFT substrate and the counter substrate are bonded together using a seal portion, and are cured by pressure bonding while performing alignment. An injection port is provided in a part of the seal portion, and liquid crystal is sealed through the injection port.
[0005]
In general, until the bonding step, a plurality of TFT substrates are simultaneously formed on the mother glass substrate from the viewpoint of productivity and yield. A counter substrate is bonded to each TFT substrate formed on the mother glass substrate to enclose liquid crystal, thereby forming a cell. In the scribing step, the mother glass substrate is cut for each cell, and each cell is divided using this cut to obtain a liquid crystal panel chip.
[0006]
After crimping a flat cable such as FPC to the external connection terminals of the liquid crystal panel chip, a case of resin or the like is bonded to protect the panel chip to obtain a liquid crystal panel.
[0007]
A panel display characteristic inspection is performed on the liquid crystal panel thus completed. Examples of the panel display characteristic inspection include a measurement system inspection such as transmittance contrast measurement, and a visual display characteristic inspection such as a count inspection for point defects and a sensory inspection for surface unevenness. In general, each inspection process is performed independently as a separate process.
[0008]
Such panel display characteristic inspection has the following problems.
[0009]
That is,
(1) Since each inspection process is divided, the quality of the entire inspection lot can be understood, but the quality of each individual cannot be grasped.
[0010]
(2) Work-in-process items between the respective inspection processes stay as stock.
[0011]
(3) When the panel drive timing such as the sample hold timing is shifted due to manufacturing variation, the display image is shifted and a ghost or the like is generated. Strictly speaking, the optimum drive timing of the panel differs from panel to panel, but individual timing adjustment is impossible and the inspection becomes inaccurate.
[0012]
(4) Since the projection inspection is a visual inspection, skill is required for the inspection, and there is a possibility that determination may be ambiguous or overlooked.
[0013]
(5) In order to identify and display the determination results of each inspection on the panel, additional work such as printing is required regardless of the inspection process.
[0014]
In order to solve these problems, automatic inspection apparatuses have been put into practical use in recent years. In the automatic inspection apparatus, measurement system inspection such as transmittance contrast measurement and visual display characteristic inspection such as point defect and surface unevenness are performed.
[0015]
By automating these inspections, there is an advantage that inspection does not require skill.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
However, even when the automatic inspection apparatus is employed, all the problems (1) to (5) described above cannot be solved. That is, in the inspection by the automatic inspection apparatus, similarly to the visual inspection, the optimum timing different for each panel cannot be individually adjusted, and the optimal inspection cannot be performed. Moreover, it is necessary to manually perform the panel installation method and the panel classification for each determination rank, and even when the inspection is automated, the man-hours are not reduced. Furthermore, in the inspection using an image, it is necessary to execute an image capturing process for each inspection, and to perform each process up to the determination using the captured image, and there is a problem that it takes a long time for the inspection. .
[0017]
The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of individually adjusting optimum timings different for each panel.
[0018]
It is another object of the present invention to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of automating the panel installation method and panel classification for each determination rank.
[0019]
Another object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method that can reduce the time required for inspection by using an image for a plurality of inspections by one image capturing process.
[0020]
[Means for Solving the Problems]
The inspection apparatus according to the present invention uses an image capturing unit that captures an image of a display panel, a weighing system inspection unit that performs a weighing system inspection of the display panel, and an image captured by the image capturing unit. It is characterized by comprising: a count inspection means for performing a count inspection of the display panel; and an image capturing means, a weighing system inspection means, and a transport means for transporting the display panel to the count inspection means.
[0021]
According to such a configuration, the image on the display panel is captured by the image capturing means. The measurement system inspection means performs a measurement system inspection of the display panel. The counting inspection means performs a counting inspection of the display panel. In this case, the counting inspection unit uses the image captured by the image capturing unit. Therefore, it is not necessary to capture an image for each measurement system inspection, and the inspection time can be shortened.
[0022]
An inspection apparatus according to the present invention displays a window pattern screen with a black background and a halftone background, and detects an optimal driving timing of a horizontal driving circuit that minimizes a ghost phenomenon of a display panel. Using the inspection means, the measurement system inspection means for performing the measurement system inspection of the transmittance, contrast ratio or voltage transmittance characteristic of the display panel, and the optimum drive timing detected by the optimum timing inspection means, An image capturing means for capturing a display image and a counting inspection means for performing a count inspection for defects of the display panel are provided.
[0023]
According to such a configuration, the optimum driving timing of the display panel is detected by the optimum timing inspection unit. The weighing system inspection means performs a weighing system inspection of the display panel, and the counting inspection means performs a count inspection of the display panel. At the time of the count inspection, the optimum drive timing detected by the optimum timing inspection means is used. Thereby, the precision of each test | inspection can be improved.
[0024]
An inspection apparatus according to the present invention includes an ID reading unit that detects an ID of a display panel, an image capturing unit that captures an image of the display panel, a weighing system inspection unit that performs a weighing system inspection of the display panel, and the display The display panel includes a count inspection means for performing a count inspection of the panel, a transport means for transporting the display panel to the image capturing means, the weighing system inspection means, and the count inspection means, and an ID detected by the ID reading means. And a determination means for obtaining an inspection result of the measuring system inspection means and the count inspection means.
[0025]
According to such a configuration, the ID of the display panel is detected by the ID reading unit. The weighing system inspection means performs a weighing system inspection of the display panel, and the counting inspection means performs a count inspection of the display panel. In these measurement system inspection and count inspection, the ID read by the ID reading means is used, and each inspection result is managed and controlled for each display panel.
[0026]
The inspection apparatus according to the present invention includes an image capturing unit that captures an image of the display panel, a measurement system inspection unit that performs a measurement system inspection of the display panel, a count inspection unit that performs a count inspection of the display panel, Image capturing means, transport means for transporting the display panel to the measurement system inspection means and the counting inspection means, and determination means for classifying the display panels based on the inspection results of the measurement system inspection means and the count inspection means; And a printing means for printing a display indicating the classification of the inspection result on the display panel after the inspection based on the determination result of the determination means.
[0027]
According to such a configuration, the weighing system inspection unit performs the weighing system inspection of the display panel, and the counting inspection unit performs the count inspection of the display panel. The determination means classifies the display panel based on each inspection result. The printing means prints a display indicating the classification of the inspection result on the display panel according to the classification. Thereby, the inspector can grasp | ascertain the classification | category according to a test result with the printed display.
[0028]
The inspection apparatus according to the present invention includes an image capturing unit that captures an image of the display panel, a measurement system inspection unit that performs a measurement system inspection of the display panel, a count inspection unit that performs a count inspection of the display panel, Image capturing means, transport means for transporting the display panel to the measurement system inspection means and the counting inspection means, and determination means for classifying the display panels based on the inspection results of the measurement system inspection means and the count inspection means; A tray determining unit that determines a tray for storing the display panel after the inspection based on a determination result of the determination unit; and the display panel after the inspection is moved to a tray according to the classification according to the determination of the tray determining unit. And a material removal means.
[0029]
According to such a configuration, the weighing system inspection unit performs the weighing system inspection of the display panel, and the counting inspection unit performs the count inspection of the display panel. The determination means classifies the display panel based on each inspection result. The tray determining means determines a tray for storing the display panel after the inspection according to this classification. In accordance with this determination, the material removal means moves the display panel after the inspection to a tray corresponding to the classification. Thereby, classification and storage according to the inspection result are automatically performed.
[0030]
The said material removal means moves the said display panel after test | inspection to the some tray laminated | stacked up and down, It is characterized by the above-mentioned.
[0031]
According to such a structure, the area of the place which arrange | positions a some tray may be narrow.
[0032]
When a new classification occurs as a result of the determination on the display panel, the tray determining means sets the empty tray positioned at the top among the plurality of trays stacked above and below as the new classification tray. It is characterized by determining.
[0033]
According to such a configuration, when the inspection result of the display panel is a new classification, the uppermost tray among the trays for which the classification is not determined is determined as a new classification tray. That is, the trays are not classified in advance, and it is possible to prevent the trays from being used in vain as in the case where there are few classifications.
[0034]
The counting inspection means includes at least one of a point defect inspection means for inspecting a point defect of an image and a surface defect means for inspecting a surface defect of the image.
[0035]
According to such a configuration, when inspecting a point defect and a surface defect of an image, an already captured image can be used, so that the processing time can be shortened.
[0036]
The counting inspection means includes a plurality of inspections in the counting inspection after the image capturing by the image capturing means, the detection of the optimum driving timing by the optimum timing inspection means and the detection of the ID by the ID reading means. These plural inspections are processed in parallel.
[0037]
According to such a configuration, since the count inspection is processed in parallel, the time required for the processing can be shortened.
[0038]
The inspection method according to the present invention includes an ID reading procedure for detecting an ID of a display panel, an optimal timing inspection procedure for detecting an optimal drive timing of the display panel, an image capturing procedure for capturing an image of the display panel, In addition to performing a measurement system inspection of the display panel using an ID, an optimum drive timing, and a captured image, a measurement system inspection and a count inspection procedure for performing a count inspection of the display panel are provided.
[0039]
According to such a configuration, the ID of the display panel is detected in the ID reading procedure, the optimal drive timing is detected by the optimal timing inspection procedure, and the image of the display panel is captured by the image capturing procedure. Using these IDs, optimal drive timings, and captured images, a measurement system inspection of the display panel and a count inspection of the display panel are performed. Therefore, at the time of the measurement system inspection and the count inspection, the inspection is performed at the optimum driving timing, the inspection accuracy is improved, the inspection time is shortened because the already captured image is used, and each inspection result is obtained using the ID. The determination can be held for each display panel.
[0040]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of various elements and wirings in a plurality of pixels constituting the pixel region of the liquid crystal device. FIG. 3 is a plan view of an element substrate such as a TFT substrate as viewed from the counter substrate side together with each component formed thereon, and FIG. 4 is an assembly process in which the element substrate and the counter substrate are bonded together to enclose liquid crystal. It is sectional drawing which cut | disconnects and shows the liquid crystal device after completion | finish at the position of the HH 'line | wire of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the liquid crystal device in detail.
[0041]
First, the structure of a liquid crystal panel to be inspected will be described with reference to FIGS.
[0042]
As shown in FIGS. 3 and 4, the liquid crystal panel is configured by sealing a liquid crystal 50 between an element substrate 10 such as a TFT substrate and a counter substrate 20. On the element substrate 10, pixel electrodes and the like constituting pixels are arranged in a matrix. FIG. 2 shows an equivalent circuit of elements on the element substrate 10 constituting the pixel.
[0043]
As shown in FIG. 2, in the pixel region, a plurality of scanning lines 3a and a plurality of data lines 6a are wired so as to cross each other, and a pixel electrode is formed in a region partitioned by the scanning lines 3a and the data lines 6a. 9a are arranged in a matrix. A TFT 30 is provided corresponding to each intersection of the scanning line 3 a and the data line 6 a, and the pixel electrode 9 a is connected to the TFT 30.
[0044]
The TFT 30 is turned on by the ON signal of the scanning line 3a, whereby the image signal supplied to the data line 6a is supplied to the pixel electrode 9a. A voltage between the pixel electrode 9 a and the counter electrode 21 provided on the counter substrate 20 is applied to the liquid crystal 50. In addition, a storage capacitor 70 is provided in parallel with the pixel electrode 9a, and the storage capacitor 70 makes it possible to hold the voltage of the pixel electrode 9a for a time that is, for example, three orders of magnitude longer than the time when the source voltage is applied. The storage capacitor 70 improves the voltage holding characteristic and enables image display with a high contrast ratio.
[0045]
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal panel focusing on one pixel.
[0046]
An element substrate 10 such as glass or quartz is provided with a TFT 30 having an LDD structure. The TFT 30 includes a scanning line 3a that forms a gate electrode through an insulating film 2 on a semiconductor layer in which a channel region 1a, a source region 1d, and a drain region 1e are formed. A data line 6 a is stacked on the TFT 30 via the first interlayer insulating film 4, and the data line 6 a is electrically connected to the source region 1 d via the contact hole 5. A pixel electrode 9 a is stacked on the data line 6 a via a second interlayer insulating film 7, and the pixel electrode 9 a is electrically connected to the drain region 1 e via a contact hole 8.
[0047]
When the ON signal is supplied to the scanning line 3a (gate electrode), the channel region 1a becomes conductive, the source region 1d and the drain region 1e are connected, and the image signal supplied to the data line 6a becomes the pixel electrode. 9a.
[0048]
A storage capacitor electrode 1f extending from the drain region 1e is formed in the semiconductor layer. The storage capacitor electrode 1f is disposed so that the capacitor line 3b faces the insulating film 2 as a dielectric film, thereby forming a storage capacitor 70. On the pixel electrode 9a, an alignment film 16 made of polyimide polymer resin is laminated and rubbed in a predetermined direction.
[0049]
On the other hand, the counter substrate 20 is provided with a first light-shielding film 23 in a region facing the data line 6a, scanning line 3a, and TFT 30 formation region of the TFT array substrate, that is, in a non-display region of each pixel. The first light shielding film 23 prevents incident light from the counter substrate 20 side from entering the channel region 1 a, the source region 1 d, and the drain region 1 e of the TFT 30. A counter electrode (common electrode) 21 is formed over the entire surface of the substrate 20 on the first light shielding film 23. An alignment film 22 made of a polyimide-based polymer resin is laminated on the counter electrode 21 and rubbed in a predetermined direction.
[0050]
A liquid crystal 50 is sealed between the element substrate 10 and the counter substrate 20. The TFT 30 writes an image signal supplied from the data line 6a to the pixel electrode 9a at a predetermined timing. Depending on the potential difference between the written pixel electrode 9a and the counter electrode 21, the orientation and order of the molecular assembly of the liquid crystal 50 change, and light is modulated to enable gradation display.
[0051]
As shown in FIGS. 3 and 4, the counter substrate 20 is provided with a second light shielding film 42 as a frame for partitioning the display area. The second light shielding film 42 is formed of, for example, the same or different light shielding material as the first light shielding film 23.
[0052]
A sealing material 41 that encloses liquid crystal in a region outside the second light shielding film 42 is formed between the element substrate 10 and the counter substrate 20. The sealing material 41 is disposed so as to substantially match the contour shape of the counter substrate 20, and fixes the element substrate 10 and the counter substrate 20 to each other. The sealing material 41 is missing in a part of one side of the element substrate 10, and a liquid crystal injection port 78 for injecting the liquid crystal 50 is formed in the gap between the bonded element substrate 10 and the counter substrate 20. The After the liquid crystal is injected from the liquid crystal injection port 78, the liquid crystal injection port 78 is sealed with a sealing material 79.
[0053]
A data line driving circuit 61 and a mounting terminal 62 are provided along one side of the element substrate 10 in a region outside the sealing material 41 of the element substrate 10, and scanning lines are provided along two sides adjacent to the one side. A drive circuit 63 is provided. On the remaining side of the element substrate 10, a plurality of wirings 64 are provided for connecting between the scanning line driving circuits 63 provided on both sides of the screen display area. In addition, a conductive material 65 for electrically connecting the element substrate 10 and the counter substrate 20 is provided in at least one corner of the counter substrate 20.
[0054]
In FIG. 1, a liquid crystal panel shown in FIG. 2 to FIG. The material supply unit 81 supplies the liquid crystal panel to the conveyance unit 82. The material supply unit 81 includes stacked trays (not shown). A plurality of liquid crystal panels are arranged on each plastic molded tray. The feed part 81 has a feed tray part (not shown) in which trays are stacked and installed. On each tray, 20 liquid crystal panels to be inspected (hereinafter referred to as inspection modules) are arranged, for example, in 5 columns × 4 rows. The material supply unit 81 supplies the inspection module on the tray to the conveyance unit 82.
[0055]
The transport unit 82 automatically transports the liquid crystal panel to each inspection unit. In addition, the conveyance part 82 conveys a liquid crystal panel by the pallet conveyance system which is not shown in figure which moves between each test | inspection part. Further, the transport unit 82 transports the liquid crystal panel for which all inspections have been completed to the material removal unit 83.
[0056]
The panel setting from each pallet to the tray or each inspection unit by the transport unit 82 is performed by vacuum suction using an XY robot or a SCARA robot.
[0057]
The material removal unit 83 removes the liquid crystal panel after the inspection from the inspection apparatus. In the present embodiment, the material removal unit 83 classifies the liquid crystal panels that have been determined to be good or bad by inspection and places them on each tray.
[0058]
The inspection unit includes an ID reading unit 84, an image processing unit 85, an optimum drive timing setting unit 86, a measurement system inspection unit 87, a point defect inspection unit 88, a surface defect inspection unit 89, and a printing unit 90. These inspection units are managed and controlled by the management control unit 91.
[0059]
The ID reading unit 84 reads an identification number of a liquid crystal panel that is an inspection module. A panel identification symbol is printed in advance on an FPC (flexible printed board) or the like of the liquid crystal panel by a previous process. The ID reading unit 84 is disposed on the conveyance path by the conveyance unit 82, and reads an identification symbol on the panel by, for example, a barcode reader.
[0060]
In this case, it is preferable to use a two-dimensional barcode in order to minimize the printing area. Also, if the identification symbol cannot be printed on the panel, an identification display such as an IC tag is attached to the pallet of the transport system on which each panel is mounted without using the ID reading unit 84 in the apparatus. It may be used for identification.
[0061]
By recognizing the ID of the inspection module, it is possible to individually manage panel inspection data in each inspection unit.
[0062]
The image processing unit 85 captures the panel projection screen in a numerical value for each inspection process that requires an image. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a specific configuration of the image processing unit 85 in FIG.
[0063]
The liquid crystal panel 100 as an inspection module is arranged at a predetermined inspection position of the image processing unit 85 by the transport unit 82. At the inspection position, a projection mechanism using an optical system similar to the actual machine is provided. That is, light is incident on the liquid crystal panel 100 sandwiched between the incident polarizing plate 107 and the outgoing polarizing plate 108 from the light source 103 using a high-pressure mercury lamp or the like through the incident optical system 106, and is projected from the projection optical system 109 to the screen 101. The display screen of the liquid crystal panel 100 is projected. At this time, the wavelength of light to be used may be white light, but in order to detect defects having different detection sensitivities depending on the wavelength, green light, red light, and blue light may be properly used.
[0064]
An LCD driver 104 is disposed in the vicinity of the liquid crystal panel 100.
[0065]
The LCD driver 104 has a probe mechanism (not shown) for transmitting an electric signal to the liquid crystal panel 100, and can drive the liquid crystal panel 100 in accordance with an image signal from an image input board (not shown). ing. As a result, an image is projected on the screen 101.
[0066]
A camera 102 such as a CCD captures and digitizes the display screen of the screen 101.
[0067]
In addition, the projection mechanism enables high-accuracy positioning by installing the panel horizontally in the same manner as the panel transport system. Further, in FIG. 6, the screen 101 is arranged above the liquid crystal panel 100 and the image projection direction is set to the vertical direction. However, the screen 101 may be changed in direction by 90 degrees using a reflection mirror and projected in the horizontal direction. It is clear.
[0068]
Further, as the CCD camera 102, for example, a monochrome camera of 1300 horizontal × 1000 vertical pixels is used, depending on the number of pixels of the panel. In addition, it is desirable that the number of gradations to be processed for detecting a defect having a slightly higher brightness than the periphery in halftone display is 1024 gradations (10 bits or more). In the three-panel liquid crystal projector, since one panel is black and white, the CCD camera used for panel inspection as a device does not need to be in color.
[0069]
The camera output from the camera 102 is supplied to the image processing personal computer 105. The image processing personal computer 105 includes a memory (not shown), performs predetermined image signal processing on the camera output, and stores and holds the processed image as display screen data corresponding to the ID of the liquid crystal panel in order to use it for various inspections. It is like that.
[0070]
In FIG. 1, the optimum drive timing setting unit 86 detects the optimum drive timing at the time of panel drive, and applies the detection result to the subsequent inspection.
[0071]
In a TFT liquid crystal panel with a built-in horizontal driving circuit, the transistor characteristics differ depending on the manufacturing process, and the driving timing of the horizontal sample holder may differ depending on the model or individual. In this case, a shadow called a ghost phenomenon occurs in the pattern switching portion of the display screen. Therefore, the optimum drive timing setting unit 86 obtains the optimum timing by obtaining the timing at which the ghost phenomenon is minimized while automatically shifting the drive timing.
[0072]
For example, the optimum drive timing setting unit 86 displays a pattern in which a ghost is easily visible in a state where the liquid crystal panel is disposed on a backlight such as a fluorescent tube (not shown). As a pattern for detecting a ghost, there is a window pattern screen having a black inside and a halftone background. The optimum drive timing setting unit 86 captures an image displayed on the liquid crystal panel with a CCD camera, and calculates a ghost value from the captured image. The ghost value can be expressed by the following equation (1) using the luminance A of the background portion (ghost generation portion) adjacent to the window pattern and the background luminance B of a remote location.
[0073]
Ghost value = (A−B) / B × 100 (%) (1)
The measurement system inspection unit 87 performs a measurement system inspection of the liquid crystal panel. For example, the measurement system inspection unit 87 measures transmittance, contrast ratio, TV characteristics, and the like. The measuring system inspection unit 87 includes an optical system (not shown) close to the actual machine, and irradiates the liquid crystal panel on the inspection table with incident light close to the actual machine to measure the transmitted light. In addition, when an illuminometer or a luminance meter is used as a transmitted light measuring device, high-accuracy measurement is possible.
[0074]
In addition, the actual projector (actual device) has different angular distributions of incident light by the optical system depending on the panel size to be used. Therefore, in order to obtain incident light that is close to the actual machine, the optical system of the measuring system inspection unit 87 is provided with a mechanism that can change the maximum incident angle according to the panel size. It can be approximated with a real machine.
[0075]
The measurement system inspection unit 87 acquires the difference in illuminance depending on the presence or absence of the panel as a transmittance, and acquires the difference between white display and black display as contrast ratio data. Further, the measuring system inspection unit 87 obtains a voltage transmittance characteristic (TV curve) by measuring the illuminance when the video voltage is gradually changed.
[0076]
The point defect inspection unit 88 performs image processing on the display screen data converted into position and gradation information by a CCD camera or the like, and performs point defect inspection. In the present embodiment, the point defect inspection unit 88 is provided with display screen data of a processed image held in the image processing personal computer 105 of the image processing unit 85 from the management control unit 91 described later, and performs point defect processing. It is supposed to run. Therefore, in the present embodiment, no image capturing device is required in the point defect inspection unit 88, and no image capturing process is required in the point defect processing.
[0077]
Similar to the point defect inspection unit 88, the surface defect inspection unit 89 performs image processing on image data stored in advance in the image processing personal computer 105 to detect and determine surface defects.
[0078]
The printing unit 90 is provided with information (determination information) of inspection determination results of various inspections, and prints a display based on the determination information on a liquid crystal panel or the like. For example, based on the determination information, the printing unit 90 prints a display of a determination result or a similar symbol or barcode on an inspection module using an inkjet printer or the like. When the printing color is black, it is preferable to print on a transparent FPC portion because it is easy to see.
[0079]
The management control unit 91 manages and controls each inspection unit and the like, collects information from each inspection unit, and performs predetermined processing for obtaining determination information of the inspection determination result. In the present embodiment, the management control unit 91 uses display screen data stored and held by the image processing unit 85 during point defect processing and surface defect processing.
[0080]
Next, the operation of the embodiment configured as described above will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 7 to 9 are for explaining the conveyance of the liquid crystal panel as the object to be inspected, and FIGS. 10 to 18 are for explaining the inspection process.
[0081]
When the inspection process is started, in step S11 of FIG. 7, a liquid crystal panel as an inspection module is placed on the pallet by handwork or the like. Next, a tray is set in the material supply part 81 in step S12.
[0082]
Next, in step S13, material supply is started. FIG. 8 is for explaining the material supply in the material supply unit in step S13. In step S21 of FIG. 8, the panel is sucked and held by the robot or the like from the uppermost tray of the feed tray portion of the feed portion 81 (step S22) and moved to a predetermined location (step S23). When all the liquid crystal panels on one tray are moved and become empty, the panel is continuously taken out from the next tray.
[0083]
The liquid crystal panel on the tray supplied by the material supply unit 81 is conveyed to each inspection unit by the conveyance unit 82. Each inspection is performed according to the flowchart of FIG. First, the transport unit 82 transports the tray to the ID reading unit 84 in step S13 of FIG. As shown in step S41 of FIG. 10, the liquid crystal panel is taken out from the supply tray, and the ID ID of the panel is read by the ID reading unit 84 in step S42.
[0084]
FIG. 11 shows the ID reading process. In step S51 of FIG. 11, when a start signal is given from the management control unit 91, the ID reading unit 84 moves the bar code reader downward (step S52), and reads the identification symbol in step S53. Next, in step S54, the ID reading unit 84 outputs the read ID of each liquid crystal panel to the management control unit 91. Thereafter, ID reading and information transfer are sequentially performed on the transported liquid crystal panel.
[0085]
Next, in step S 14 of FIG. 7, the transport unit 82 transports the inspection module to the measurement system inspection unit 87. In step S43 of FIG. 10, the measurement system inspection unit 87 performs various inspections of the measurement system. FIG. 12 shows the measurement system inspection process.
[0086]
In step S61 of FIG. 12, when a start signal is given from the management control unit 91, the measurement system inspection unit 87 performs illuminance measurement without arranging the panel (step S62). In step S63, the panel is arranged on the inspection table. Then, the illuminance measurement of the all white image is performed (step S63). Next, the measurement system inspection unit 87 measures the illuminance of the all-black image in step S65, and measures the illuminance when the voltage is variable in step S66. The measurement system inspection unit 87 outputs the measurement result to the management control unit 91 in step S67.
[0087]
The management control unit 91 calculates the transmittance, contrast ratio, and TV characteristics based on the measurement result of the measurement system inspection unit 87.
[0088]
Next, in step S 15 of FIG. 7, the transport unit 82 transports the inspection module to the optimum drive timing setting unit 86. In step S44 of FIG. 10, the optimum drive timing setting unit 86 detects the optimum timing. FIG. 13 shows the optimum timing detection process.
[0089]
When a start signal is given from the management control unit 91 in step S71 in FIG. 13, the optimum drive timing setting unit 86 drives the liquid crystal panel at a predetermined timing in step S72. Next, in this state, the drive timing setting unit 86 causes the liquid crystal panel to display a middle black window pattern with a black background (step S73). Next, in step S74, an image is captured by the CCD camera, and a luminance difference (ghost) around the window is calculated (step S75). The drive timing setting unit 86 changes the timing in steps S76 and S79 based on the ghost calculation result. The drive timing setting unit 86 repeats the processes of steps S73 to S76 until the set timing. In step S77, the drive timing setting unit 86 detects the timing at which the ghost becomes the minimum value as the optimum timing. The optimum drive timing setting unit 86 outputs the measurement result to the management control unit 91 in step S78.
[0090]
Next, in step S 16 of FIG. 7, the transport unit 82 supplies the inspection module to the image processing unit 85. In step S45 in FIG. 10, the image processing unit 85 captures a plurality of projection images. FIG. 14 shows the image capturing process.
[0091]
In step S81 of FIG. 14, when a start signal is given from the management control unit 91, the image processing unit 85 displays an image on the liquid crystal panel in step S82 and takes an image with the CCD camera 102 (step S83). . The captured image is stored and held in the image processing personal computer 105 in step S84. Next, the image processing unit 85 changes the pattern to be displayed on the liquid crystal panel (step S86) and repeats the same processing.
[0092]
Next, in step S 17 of FIG. 7, the transport unit 82 transports the inspection module to the defect inspection units 88 and 89. In step S46 of FIG. 10, first, the point defect inspection unit 88 detects a point defect. FIG. 15 shows a point defect inspection process.
[0093]
In step S91 in FIG. 15, when a start signal is given from the management control unit 91, the point defect inspection unit 88 reads the screen data captured in the image processing unit 85 in step S92. Screen data from the image processing personal computer 105 is supplied to the point defect inspection unit 89 via the management control unit 91.
[0094]
For example, the point defect inspection unit 88 performs point defect processing according to the following algorithms (A1) to (C1).
[0095]
(A1) The original screen is averaged in units of 5 × 5 pixels and the difference from the original screen is calculated to correct luminance unevenness.
[0096]
(B1) The original screen is binarized according to the judgment standard, and a white level is determined as a bright spot candidate.
[0097]
(C1) The brightness value and area of each bright spot candidate are examined, and a spot that is equal to or greater than the standard brightness and greater than the standard area is determined as a bright spot.
[0098]
In the case of a black dot, the same processing is performed for a black level when binarizing (B1).
[0099]
That is, the point defect inspection unit 88 binarizes the original screen with the set threshold value in step S93, masks the black portion in step S94, extracts the white portion from the original screen, and compares the extracted portion with the determination standard in step S95. In step S96, the bright spot portion is detected and determined. Further, the point defect inspection unit 88 binarizes the original screen with the set threshold value in step S97, masks the white portion in step S98, extracts the black portion from the original screen, and compares the extracted portion with the determination standard in step S99. In step S100, black spot detection and determination are performed. Next, in step S101, the point defect inspection unit 88 selects another file, returns the process to step S92, and repeats the same process until the final screen file. The point defect inspection unit 88 outputs the measurement result to the management control unit 91 in step S102.
[0100]
Next, in step S47 of FIG. 10, the surface defect inspection unit 89 detects a surface defect. FIG. 16 shows a surface defect inspection process.
[0101]
When a start signal is given from the management control unit 91 in step S111 in FIG. 16, the surface defect inspection unit 89 reads screen data that has been captured in the image processing unit 85 in step S112. Screen data from the image processing personal computer 105 is supplied to the surface defect inspection unit 89 via the management control unit 91.
[0102]
The surface defect inspection unit 89 performs surface defect processing using, for example, algorithms shown in (A2) to (E2) below. The following algorithm shows an algorithm for a luminance change of a relatively small area called a spot or unevenness among defects, for example.
[0103]
(A2) The luminance unevenness of the original screen is corrected.
[0104]
(B2) The screen is averaged with a core size such as 5 × 5 pixels and blocked.
[0105]
(C2) A block having a large difference compared to surrounding blocks is selected as a candidate for unevenness. (D2) The kernel size is set to several types such as 7 × 7, 9 × 9, and (B2) and (C2) are performed To do.
[0106]
(E2) The result image is multiplied by an appropriate coefficient and added to obtain the final result.
[0107]
(F2) In the result image, the spot unevenness is determined based on the peak value and the area of the portion that is equal to or higher than the determination standard.
[0108]
That is, the surface defect inspection unit 89 averages the original screen in units of the set number of pixels in step S113, calculates the difference from the adjacent region (block) in step S114, and compares the result with the determination standard in step S115. In step S116, the uneven portion is detected. Next, the surface defect inspection unit 89 changes the number of set pixels in steps S117 and S122, returns the process to step S113, and repeats the same process until the maximum setting. Next, the surface defect inspection unit 89 adds the detection results for each set number of pixels in step S118, and determines the uneven portion in step S119. Next, the surface defect inspection unit 89 selects another file in steps S120 and S123, returns the process to step S112, and repeats the same process up to the final screen file. The surface defect inspection unit 89 outputs the measurement result to the management control unit 91 in step S121.
[0109]
Step S48 in FIG. 10 shows a determination process in the management control unit 91. FIG. 17 is a flowchart showing the result determination process.
[0110]
Although it is described in the flowchart of FIG. 10 that it is performed after the completion of all the inspections, the determination process may be performed at the end of each inspection. FIG. 17 shows that the determination process is performed every time each inspection result is received.
[0111]
In step S131 in FIG. 17, the management control unit 91 starts a determination process based on the inspection result. In step S132, the management control unit 91 receives the reception result of each inspection unit and makes a determination. The management control unit 91 ranks the liquid crystal panels based on the determination result (step S133), and holds rank data for each liquid crystal panel (step S134).
[0112]
Next, in step S 18 of FIG. 7, the transport unit 82 transports the inspection module to the printing unit 90. In step S49 of FIG. 10, the printing unit 90 performs printing based on the determination result. FIG. 18 shows the result printing process.
[0113]
In step S142 of FIG. 18, when the printing unit 90 receives the determination result from the management control unit 91, in step S143, the printing unit 90 moves the liquid crystal panel, which is an inspection module, to the printing apparatus such as an ink jet printer, and ranks based on the determination result. Printing is performed (step S144).
[0114]
Next, in step S19 in FIG. 7, the transport unit 82 transports the inspection module to the material removal unit 83 (step S50 in FIG. 10). The material removal unit 83 removes the conveyed inspection module. FIG. 9 shows the material removal process.
[0115]
After the inspection is completed, the material removal unit 83 starts material removal. The material removal unit 83 receives the rank of the liquid crystal panel to be removed from the management control unit 91 (step S32). The material removal unit 83 sets a tray to be stored for each determination rank, and moves the tray so that the inspected liquid crystal panel can be placed on the tray corresponding to the rank (step S33). In step S34, the material removing unit 83 sets the liquid crystal panel on the tray corresponding to the rank. In step S 35, the material removal unit 83 outputs information on the position of the set liquid crystal panel in the tray and information such as the tray number to the management control unit 91.
[0116]
Although the example in which the material removal unit 83 previously creates a tray for each rank has been described, the highest empty tray may be determined for the rank when a new rank is generated. In this case, even when the distribution of determination results cannot be predicted, the number of necessary trays may be small.
[0117]
Moreover, in FIG. 10, it demonstrated that each test | inspection was performed sequentially. However, it is clear that each inspection after ID recognition, image capture, and optimal timing inspection can be performed by parallel processing. Even in this case, other inspections can be performed using the inspection results of ID recognition, image capture, and optimum timing. The parallel processing can significantly reduce the inspection time.
[0118]
As described above, in the present embodiment, the optimum timing information that is different for each panel can be used in each inspection unit, so that the inspection can be optimized. In addition, since the information obtained in each inspection unit is collectively processed in the management control unit, classification and sorting work between the inspection units becomes unnecessary. Further, since defect information of individual panels can be processed at once, it is easy to feed back quality information to the previous process. Since the captured image is used in a plurality of inspections that require an image, and it is not necessary to perform image acquisition for each inspection, it is possible to shorten the entire inspection time. Moreover, the measurement system inspection, the point defect inspection, and the surface defect inspection can be divided and processed, and the inspection time can be shortened. Moreover, an individual can be identified and a rank can be printed for each individual, and incidental operations such as classification can be automated.
[0119]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to individually adjust different optimum timings for each panel, and it is possible to automate the panel installation method and panel classification for each judgment rank. In addition, since the image is used for a plurality of inspections by one image capturing process, the time required for the inspection can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of various elements and wirings in a plurality of pixels constituting a pixel region of the liquid crystal device.
FIG. 3 is a plan view of an element substrate such as a TFT substrate as viewed from the counter substrate side together with each component formed thereon.
4 is a cross-sectional view of the liquid crystal device after the assembly process in which liquid crystal is sealed by bonding an element substrate and a counter substrate, cut along the line HH ′ of FIG. 3;
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal device in detail.
6 is an explanatory diagram showing a specific configuration of an image processing unit 85 in FIG. 1. FIG.
FIG. 7 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 8 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 9 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 10 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 11 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 12 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 13 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 14 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 15 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 16 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 17 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
FIG. 18 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment;
[Explanation of symbols]
81 ... Feeding section
82 ... Conveying section
83 ... Material removal section
84 ... ID reading unit
85: Image processing unit
86: Optimal drive timing setting section
87… Measurement system inspection department
88 ... Point defect inspection section
89 ... Surface defect inspection section
90 ... Printing section
91 ... Management control unit

Claims

An optimal timing inspection means for displaying a window pattern screen with a black background and a halftone background, and detecting an optimal driving timing of a horizontal driving circuit that minimizes a ghost phenomenon of the display panel;
A measuring system inspection means for performing a measuring system inspection of the transmittance, contrast ratio or voltage transmittance characteristic of the display panel;
Using the optimum drive timing detected by the optimum timing inspection means, an image capturing means for capturing a display image of the display panel, and a count inspection means for performing a count inspection of defects of the display panel;
An inspection apparatus comprising:

The inspection apparatus according to claim 1, wherein the counting inspection unit includes at least one of a point defect inspection unit that inspects the point defect of the display image and a surface defect unit that inspects a surface defect of the display image. .

The counting inspection means includes a plurality of inspections in the counting inspection after the image capturing by the image capturing means, the detection of the optimum driving timing by the optimum timing inspection means, and the detection of the ID by the ID reading means. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the plurality of inspections are processed in parallel.