JP3778321B2 - マグネット式ロッドレスシリンダ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ピストンの移動と共に移動する磁石の磁力によりピストンの位置を検出可能なマグネット式ロッドレスシリンダに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のマグネット式ロッドレスシリンダは、非磁性体から形成されるシリンダチューブ内を軸線方向に摺動可能なピストンにカップリング用磁石を設け、シリンダチューブ外周を移動可能な移動子にカップリング用磁石を設け、ピストンと移動子に夫々設けたカップリング用磁石による磁気吸引力により、ピストンの摺動に追従(同期)して移動子が移動するようになっている。このロッドレスシリンダのピストン位置の検出は、▲1▼カップリング用磁石からの漏れ磁力を位置検出手段により検出して行なうようになっているものがある。例えばこのようなマグネット式ロッドレスシリンダとして特公平7−11283号公報や特許第2568000号公報に開示のものが知られている。これらは、追従体(移送体)に設けた複数のカップリング用磁石の磁束(磁力)を遮断する磁界遮蔽体(シールド板)を追従体と一体に移動するように設けてある。ロッドレスシリンダの両エンドブロック間には取付けレールが架設され、これに位置検出器が取付けられている。磁界遮蔽体には追従体に設けた磁石の磁束を漏洩する磁束漏洩口を設けてあり、この磁束漏洩口がピストンの移動により位置検出器と対応する位置に差し掛るとカップリング磁石の漏れ磁力により、あるいは、磁束漏洩口に取付けた補助磁石で強くされたカップリング磁石の漏れ磁力により位置検出器がオン動作し、任意位置でピストン位置の検出を行なうようになっている。また、▲2▼移動子に移動子の回転を防止するスライド部材を設け、このスライド部材の磁石取付溝にカップリング用磁石と異なるピストンの位置を検出するための円柱状のセンサ用マグネットを設け、カップリング用磁石の磁束をシールドするための磁気シールド板を移動子に設け、シリンダチューブの任意位置に位置検出センサを設けたものが特開平8−135611号公報に開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の▲1▼では、移動子をピストンと同期して移動させるためのカップリング用磁石の漏れ磁力を利用してピストン位置を検出しているが、カップリング用磁石の磁力は移動子とピストンとの間に所定の磁気吸引力が作用するように設定されている。このため位置検出手段が作動するのに好都合な磁界の強さに合わせて磁力を設定することができない問題があった。また、移動子にシールド板を設けて磁束を吸収させ、そのシールド板にカップリング用磁石の磁力を漏洩させるための磁束漏洩口を設け、この磁束漏洩口から磁束を漏洩しているので、シールド板の製作、組付誤差等でシールド板に吸収される磁束の量が変動して漏れ磁束が一定しない問題があり、従って位置検出手段が安定動作できないおそれがあった。また、カップリング用磁石は夫々シリンダチューブの軸線方向両側に強磁性体のヨークに挾まれているため、磁力はシリンダチューブの半径方向には強くなるが、軸線方向には弱くなる。位置検出手段として有接点スイッチ(リードスイッチ)を用いた場合に、有接点スイッチはオーバラップ部分(接点)から軸線方向に所定長さ離れた部分で磁気を感知して作動するので、ヨークに挾まれて軸線方向の磁力が弱くなっているカップリング磁石の磁力を利用することは好ましくなかった。
【0004】
また、▲2▼では、移動子に設けたスライド部材にセンサ用マグネットを設けているので移動子が大きくなり、ロッドレスシリンダ全体が大きくなる問題があり、小型のセンサ用マグネットしか設けられず、十分な検出感度を得がたい可能性があり、十分な検出感度を得るためにセンサ用マグネットを大きくすると、このことによってもロッドレスシリンダが大きくなる問題があった。
本願発明の課題は、ピストンにセンサ用マグネットを設けることにより、位置検出手段を安定動作するようにし、大きくならないマグネット式ロッドレスシリンダを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、非磁性体から成るシリンダチューブのシリンダ孔内にピストンを軸線方向摺動可能に設け、シリンダチューブの外周面に沿って非磁性体の移動子を移動可能に設け、移動子に設けたカップリング用磁石との間に磁気吸引力を作用させて、移動子を同期させて移動させるためのカップリング用磁石または磁性体をピストンに設け、ピストンの移動位置を磁力により検出する位置検出手段により検出可能なマグネット式ロッドレスシリンダにおいて、ピストンに環状のセンサ用マグネットをカップリング用磁石とは別に設け、シリンダチューブの軸線方向の任意の位置にセンサ用マグネットの磁力によりピストン位置を検出する位置検出手段を設け、移動子に設けたカップリング用磁石を覆い外部漏れ磁力が位置検出手段に作用することを防止する移動子と一体に移動するシールド板を設け、シールド板は軸線方向長さが移動子に設けた複数のカップリング用磁石の軸線方向長さと略同一または僅かに長く、位置検出手段によるセンサ用マグネットの磁力の検出を妨げない長さに設定されているようにした(請求項1)。具体的には、センサ用マグネットと移動子に設けられたカップリング用磁石とは同極同志が互いに対向して配置されている(請求項2)。
【0006】
また、非磁性体から成るシリンダチューブのシリンダ孔内にピストンを軸線方向摺動可能に設け、シリンダチューブの外周面に沿って非磁性体の移動子を移動可能に設け、移動子に設けた磁性体との間に磁気吸引力を作用させて、移動子を同期させて移動させるためのカップリング用磁石をピストンに設け、ピストンの移動位置を磁力により検出する位置検出手段により検出可能なマグネット式ロッドレスシリンダにおいて、ピストンに環状のセンサ用マグネットをカップリング用磁石とは別に設け、シリンダチューブの軸線方向の任意の位置にセンサ用マグネットの磁力によりピストン位置を検出する位置検出手段を設け、移動子に設けた磁性体の軸線方向長さをピストンに設けたカップリング用磁石の軸線方向長さと同一にすることでその磁性体にカップリング用磁石の磁気吸引力を作用させて漏れ磁力を防止するシールド板の役目をさせ、移動子に設けた磁性体によってカップリング用磁石の磁力が位置検出手段に作用することを防止して位置検出手段によるセンサ用マグネットの磁力の検出を妨げないようにした(請求項3)。
【0007】
好適には、センサ用マグネットとしてカップリング用磁石と同一のものを使用する(請求項4)。前記センサ用マグネットをピストンにピストン軸線方向に固定する固定部材が非磁性体である(請求項5)。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本願実施の形態を図1から図3により説明する。マグネット式ロッドレスシリンダ1のシリンダチューブ2は、非磁性材料(例えばステンレス鋼)を成形して成り、シリンダチューブ2内には軸線方向全長に亘ってシリンダ孔3が形成してある。シリンダチューブ2の長手方向両端部は、端部材である左右のエンドキャップ4,4により塞がれ、左右のエンドキャップ4,4間にシリンダ室5を形成している。シリンダ孔3内にはピストン6がシリンダチューブ2軸線方向に摺動可能に嵌合されており、このピストン6によりシリンダ室5が左右シリンダ室5a,5bに区画されている。左右シリンダ室5a,5bには左右エンドキャップ4,4に設けられた圧流体を左右シリンダ室5a,5bに供給するためのポート7が連通されている。
【0009】
次にピストン6について説明する。複数の環状の永久磁石であるインナマグネット(カップリング用磁石)8が環状の磁性体(例えば鋼)であるインナヨーク9と交互にピストンシャフト10の外周に嵌合され、インナマグネット列11を構成している。夫々のインナマグネット8は、磁極が幅方向においてSNとなっており、図1に示すようにSN,NS,SN,NSと同極同志が対応するように中心から左右対象となるように配置されている。ピストンシャフト10の一端側(図1において右側)にはピストンパッキン12が嵌合された右ピストンエンド(右締付部材)13が螺合されている。また、ピストンシャフト10の他端側(図1において左側)には、左ピストンエンド(左締付部材)14が螺合され、左ピストンエンド14の軸部には環状のセンサ用マグネット15と、センサ用マグネット15とインナマグネット列11との間に適当な軸方向距離を設けるための非磁性体からなる環状のスペーサ16とが嵌合されている。スペーサ16と左右ピストンエンド13,14とはセンサ用マグネット15を固定する固定部材である。センサ用マグネット15はインナマグネット8と同一のものが用いられており、インナマグネット8と異極同志が図1に示すようにSN,SNと対応して設けてあるのでピストン6の組付け時にインナマグネット列11と反発せず、組付けやすいようになっている。左右ピストンエンド13,14は、ピストンシャフト10にインナマグネット8とインナヨーク9とセンサ用マグネット15とスペーサ16とを左右から締め付けて固定している。また、ピストン6の中心から両端までの距離は左右対象となっており、左ピストンエンド14のセンサ用マグネット15の取付けスペースは、右ピストンエンド13と対象に作られたときのピストンパッキン12を嵌合するスペースを利用しているので、センサ用マグネット15を嵌合してもピストン6が大きくなることが無く、シリンダ1が大きくならない。
【0010】
シリンダチューブ2の外周面には、シリンダチューブ2軸線方向に摺動可能な移動子(スライダ)17が嵌合されている。移動子17は非磁性体から形成され、図3に示すように上部が四角形状をしており、下部が円弧形状をしている。移動子17内には、複数の環状の永久磁石であるアウタマグネット(カップリング用磁石)18が環状の磁性体であるアウタヨーク19と交互に嵌合され、アウタマグネット列20を構成している。アウタマグネット18とアウタヨーク19とは移動子17内に螺合された左右ホルダ21,21により左右から締め付けられて固定されている。夫々のアウタマグネット18は、同極同志が対応するように配置され、また、前記複数のインナマグネット8と1対1で対応すると共にインナマグネット8の磁極と異極同志となるように図1に示すようにNS,SN,NS,SNと配置され、インナ、アウタマグネット列11,20がお互いに磁気吸引力が作用し、ピストン1と移動子17とが物理的に結合している。また、インナ、アウタマグネット8,18の厚み(シリンダ軸線方向長さ)は同一であり、インナ、アウタヨーク9,19の厚みも同一となっている。また、アウタマグネット18の磁極はセンサ用マグネット15の磁極と軸方向においては同極同志が対応するので、センサ用マグネット15の磁力が強くされ、その結果応差(センサスイッチに対しセンサ用マグネットを平行に移動させ、センサスイッチがONした位置からセンサ用マグネットを逆方向に移動させ、OFFとなる位置までの範囲)を小さくする効果がある。
【0011】
図2、図3に示すように左右エンドキャップ4,4の側面下側で、左右エンドキャップ4,4の間には、センサレール22が架設されている。センサレール22には位置検出手段であるセンサスイッチ23が取付けられており、このセンサスイッチ23は、センサレール22の長手方向の所望位置に位置調整可能とされている。移動子17の下部にはセンサスイッチ23にインナ、アウタマグネット8,18の磁力が作用しないようにインナ、アウタマグネット8,18の磁束の漏れを防止する円弧状のシールド板24が設けられている。このシールド板24はアウタマグネット列20の軸線方向の長さと略同一または僅かに長く、センサ用マグネット15にはかからず(覆わず)、センサ用マグネット15からの磁力を奪うこと無くセンサスイッチ23のセンサ用マグネット15の磁力の検出を妨げないようになっている。
【0012】
以上のように構成されたマグネット式ロッドレスシリンダ1では、左右のポート7の一方から圧流体を左右シリンダ室5a,5b内に交互に供給するとピストン6の移動に追従して移動子17が往復動し、センサ用マグネット15がシリンダチューブ2と移動子17とを介してセンサスイッチ23と対向するとピストン6位置を任意の位置で検出する。このとき、センサスイッチ23としてリードスイッチを用いている場合、前記のようにアウタマグネット18の磁極とセンサ用マグネット15の磁極とを同極同志が対応して設けてあるので受磁力が強く、センサスイッチ23がセンサ用マグネットの磁界によりON状態となっている動作距離からOFFとなるまでの応差が小さくなり、センサスイッチ23の接点部が接触した状態から離れた状態に急速に変化するので、夫々の接点部が離れるときにスパークが発生せず、センサスイッチ23の寿命が延びる。
【0013】
図4は前記実施の形態において、センサ用マグネット15の磁極を反対にし、センサ用マグネット15とインナマグネット8との同極同志を対向させたものである。
【0014】
次に第2の実施の形態を図5により説明する。前記実施の形態と同一部分には同一の符号を付けてある。前記第1の実施の形態のインナマグネット列に換えて、ピストンシャフト10に環状の内側磁性体25が嵌合されている。内側磁性体25の外周面には環状突起部26が形成されている。この環状突起部26は移動子17内に嵌合された夫々のアウタヨーク19と対応する位置でアウタヨーク19の軸線方向の厚みと同一の厚みに形成されている。アウタマグネット18と、アウタマグネット18のN極に隣接するアウタヨーク19と、このアウタヨーク19にシリンダチューブ2を介して対応する環状突起部26と、磁性体25と、アウタマグネット18のS極に隣接するアウタヨーク19にシリンダチューブ2を介して対応する環状突起部26と、アウタマグネット18のS極に隣接するアウタヨーク19とを巡る閉鎖的な磁気回路が形成されている。この磁気回路により、磁性体25に移動子17のアウタマグネット18の磁気吸引力が有効に作用するようになっている。前記第1の実施の形態と同様に図2、図3に示すように、移動子17の下部外周にはアウタマグネット18の漏れ磁力を防止するシールド板24が設けられており、左右エンドキャップ4,4間に架設されたセンサレール22にセンサスイッチ23が取付けられており、左右のポート7の一方から圧流体が左右シリンダ室5a,5bに供給されるとピストン6に同期して移動子17が移動し、センサ用マグネット15が移動子17とシリンダチューブ2を介してセンサスイッチ23に対応するとピストン6位置が検出される。
【0015】
次に第3の実施の形態を説明する。前記実施の形態と同一部分には同一の符号を付けてある。これは前記第2の実施の形態において、ピストン6に嵌合された磁性体をインナマグネット列11とし、移動子17のアウタマグネット列を環状の外側磁性体28としたものである。外側磁性体28の内周面には環状突起部29が形成されている。この環状突起部29はピストン6の夫々のインナヨーク9と対応する位置でインナヨーク9の軸線方向の厚さと同一の厚さに形成されており、ピストン6に嵌合されたインナマグネット8と、インナマグネット8のN極に隣接するインナヨーク9と、このインナヨーク9にシリンダチューブ2を介して対応する環状突起部29と、外側磁性体28と、インナマグネット8のS極に隣接するインナヨーク9にシリンダチューブ2を介して対応する環状突起部29と、インナマグネット8のS極に隣接するインナヨーク9とを巡る閉鎖的な磁気回路が形成され、磁性体28に移動子17のインナマグネット8の磁気吸引力が有効に作用するようになっている。前記第1、第2の実施の形態とは異なり、移動子17に外側磁性体28を嵌合したので、この外側磁性体28がシールド板の役目をするためインナマグネット8の漏れ磁力を防止し、図7に示すように、移動子17の下部外周にはインナマグネット8の漏れ磁力を防止するシールド板を設ける必要が無い。
【0016】
【発明の効果】
以上のように本願では、環状のセンサ用マグネットをピストンに設けたので、ピストンが回転したとしても、センサ用マグネットとセンサスイッチまでの距離変化が生じず、安定した位置検出が行なえると共に移動子に設ける場合と異なり、ロッドレスシリンダが大きくならない。また、カップリング用磁石からの漏れ磁力を防止するシールド板を移動子に設けたので、センサスイッチがカップリング用磁石の漏れ磁力を検出することが無く、センサ用マグネットにより正確な位置を検出できる。また、従来のようにカップリング用磁石の漏れ磁力を利用するのではなく専用のセンサ用マグネットを設けることで、ピストンと移動子との間のカップリング力にも無関係であるので、位置検出手段の検出能力に合わせて受磁力の設定を容易に行なえ、位置検出手段を安定動作させ得る。また、シールド板を位置検出手段のセンサ用マグネットの磁力の検出を妨げない長さに設定したので、センサ用マグネットの磁束がシールド板に吸収されず、これによっても安定したピストン位置の検出が行なえるようになる。
【0017】
また、センサ用マグネットと移動子側のカップリング用磁石との同極を軸線方向において互いに対向して配置すると、センサ用マグネットの受磁力が大きくなり、応差が小さくなるために位置検出手段としてリードスイッチを用いた場合にリードスイッチの寿命が延びる。また、センサ用マグネットをカップリング用磁石を有するピストンに取付けるときには、センサ用マグネットとピストン側のカップリング用磁石との磁極が異極同志対向するので、センサ用マグネットとピストン側のカップリング用磁石が引き付けあい、取付けが容易となる。
【0019】
また、ピストンに環状のセンサ用マグネットとカップリング用磁石を設け、移動子にカップリング用磁石との間の磁気吸引力が作用する磁性体を設け、その磁性体の軸線方向長さをピストンに設けたカップリング用磁石の軸線方向長さと同一にしてその磁性体にカップリング用磁石の磁気吸引力を作用させるようにする場合には、磁性体がカップリング用磁石の漏れ磁力を防止するシールド板の役目を果たすので、移動子に設けた磁性体を覆うシールド板が無くても漏れ磁力の影響を受けず、正確なピストン位置検出を安定して行なえる。
【0020】
また、センサ用マグネットとしてカップリング用磁石と同一のものを使用することで、安価になる。センサ用マグネットをピストンに固定する固定部材が非磁性体であるので、センサ用マグネットの磁束が固定部材に奪われることが無く磁束が多く、位置検出手段によりピストン位置を検出しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図1】マグネット式ロッドレスシリンダの要部断面平面図である。
【図2】マグネット式ロッドレスシリンダの正面図である。
【図3】図2のIII視図である。
【図4】センサ用マグネットとカップリング用磁石の他の配置を示す説明図である。
【図5】第2の実施の形態を示す要部断面平面図である。
【図6】第3の実施の形態を示す要部断面平面図である。
【図7】第3の実施の形態を示す正面図である。
【符号の説明】
1 マグネット式ロッドレスシリンダ
2 シリンダチューブ
3 シリンダ孔
6 ピストン
8,18 カップリング用磁石
15 センサ用マグネット
17 移動子
23 位置検出手段
24 シールド板
25,28 磁性体
Claims (5)
- 非磁性体から成るシリンダチューブのシリンダ孔内にピストンを軸線方向摺動可能に設け、シリンダチューブの外周面に沿って非磁性体の移動子を移動可能に設け、移動子に設けたカップリング用磁石との間に磁気吸引力を作用させて、移動子を同期させて移動させるためのカップリング用磁石または磁性体をピストンに設け、ピストンの移動位置を磁力により検出する位置検出手段により検出可能なマグネット式ロッドレスシリンダにおいて、ピストンに環状のセンサ用マグネットをカップリング用磁石とは別に設け、シリンダチューブの軸線方向の任意の位置にセンサ用マグネットの磁力によりピストン位置を検出する位置検出手段を設け、移動子に設けたカップリング用磁石を覆い外部漏れ磁力が位置検出手段に作用することを防止する移動子と一体に移動するシールド板を設け、シールド板は軸線方向長さが移動子に設けた複数のカップリング用磁石の軸線方向長さと略同一または僅かに長く、位置検出手段によるセンサ用マグネットの磁力の検出を妨げない長さに設定されていることを特徴とするマグネット式ロッドレスシリンダ。
- センサ用マグネットと移動子に設けられたカップリング用磁石とは同極同志が互いに対向して配置されていることを特徴とする請求項1記載のマグネット式ロッドレスシリンダ。
- 非磁性体から成るシリンダチューブのシリンダ孔内にピストンを軸線方向摺動可能に設け、シリンダチューブの外周面に沿って非磁性体の移動子を移動可能に設け、移動子に設けた磁性体との間に磁気吸引力を作用させて、移動子を同期させて移動させるためのカップリング用磁石をピストンに設け、ピストンの移動位置を磁力により検出する位置検出手段により検出可能なマグネット式ロッドレスシリンダにおいて、ピストンに環状のセンサ用マグネットをカップリング用磁石とは別に設け、シリンダチューブの軸線方向の任意の位置にセンサ用マグネットの磁力によりピストン位置を検出する位置検出手段を設け、移動子に設けた磁性体の軸線方向長さをピストンに設けたカップリング用磁石の軸線方向長さと同一にすることでその磁性体にカップリング用磁石の磁気吸引力を作用させて漏れ磁力を防止するシールド板の役目をさせ、移動子に設けた磁性体によってカップリング用磁石の磁力が位置検出手段に作用することを防止して位置検出手段によるセンサ用マグネットの磁力の検出を妨げないようにしたことを特徴とするマグネット式ロッドレスシリンダ。
- センサ用マグネットとしてカップリング用磁石と同一のものを使用することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項記載のマグネット式ロッドレスシリンダ。
- センサ用マグネットをピストンにピストン軸線方向に固定する固定部材が非磁性体であることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項記載のマグネット式ロッドレスシリンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27380797A JP3778321B2 (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | マグネット式ロッドレスシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27380797A JP3778321B2 (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | マグネット式ロッドレスシリンダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1193909A JPH1193909A (ja) | 1999-04-06 |
JP3778321B2 true JP3778321B2 (ja) | 2006-05-24 |
Family
ID=17532849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27380797A Expired - Fee Related JP3778321B2 (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | マグネット式ロッドレスシリンダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3778321B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112077562A (zh) * | 2020-10-29 | 2020-12-15 | 重庆福瑞斯自动化设备股份有限公司 | 一种强磁铁自动化装配检测机构 |
-
1997
- 1997-09-19 JP JP27380797A patent/JP3778321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1193909A (ja) | 1999-04-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050927 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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