JP3767470B2 - Ink jet head and manufacturing method thereof - Google Patents

Ink jet head and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP3767470B2
JP3767470B2 JP2001366194A JP2001366194A JP3767470B2 JP 3767470 B2 JP3767470 B2 JP 3767470B2 JP 2001366194 A JP2001366194 A JP 2001366194A JP 2001366194 A JP2001366194 A JP 2001366194A JP 3767470 B2 JP3767470 B2 JP 3767470B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
pressure chamber
communication hole
plate
etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001366194A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003165216A (en
Inventor
宏人 菅原
雅明 出口
敦 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP2001366194A priority Critical patent/JP3767470B2/en
Priority to US10/302,181 priority patent/US20030103116A1/en
Publication of JP2003165216A publication Critical patent/JP2003165216A/en
Priority to US10/939,249 priority patent/US7076873B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3767470B2 publication Critical patent/JP3767470B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14217—Multi layer finger type piezoelectric element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14225—Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14403—Structure thereof only for on-demand ink jet heads including a filter
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126—Assembling bases
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49128—Assembling formed circuit to base
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y10T29/49133—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with component orienting
    • Y10T29/49135—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with component orienting and shaping, e.g., cutting or bending, etc.
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関し、詳しくは、クラッド材から形成されたキャビティプレートを備えたインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、紙等の記録媒体に記録を行う記録装置として、例えばインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。図１３に示すように、このインクジェットプリンタのインクジェットヘッド１５０では、図示外の駆動回路で発生した駆動電圧により伸縮する圧電材料製のアクチュエータプレート１５５と、インクが通るためのインク流路を形成するキャビティプレート１５６と、インクを噴射するノズル１５８を備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート１５７とがそれぞれ上部、中間部及び下部に位置するように積層されて構成されている。各プレートは薄板形状を有し、キャビティプレート１５６は、金属製の第１乃至第３の層１５６ａ〜１５６ｃが上下に積層されて構成されている。その内、第１の層１５６ａには、アクチュエータプレート１５５の動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室１６５が、第３の層１５６ｃには、インクを圧力室１６５に供給するマニホールド１６９がそれぞれエッチングにより形成されており、第２の層１５６ｂには、圧力室１６５の一端とマニホールド１６９とを連通する連通孔１６７がエッチングにより形成されている。さらに、第２の層１５６ｂ及び第３の層１５６ｃには、圧力室１６５の前記一端とは反対側の他端をノズルプレート１５７に設けられたノズル１５８に連通する連通孔１６８，１７０がエッチングにより形成されている。そして、マニホールド１６９、圧力室１６５、連通孔１６７，１６８，１７０及びノズル１５８によってインク流路が形成されている。
【０００３】
しかし、キャビティプレート１５６の各層は２０〜８０μｍと非常に薄いため、インクジェットヘッド１５０の製造工程における各層の取り扱い中に折れ曲がったり反ったりして歩留まりが悪くなるという問題点があった。このような問題を解決するために、例えば、図１４に示すように、インクジェットヘッド１６０において、図１３に示すキャビティプレート１５６の第１の層１５６ａと第２の層１５６ｂとを１つの材料で一体にして、所定厚が確保された第１の層１６６ａと、図１３に示す第３の層１５６ｃに相当する第２の層１６６ｂとでキャビティプレート１６６を形成する方法も考えられる。この場合、第１の層１６６ａにハーフエッチングを施して圧力室１７５を形成し、またエッチングにより、圧力室１７５と第２の層１６６ｂに形成されたマニホールド１６９とを連通する連通孔１７７と、圧力室１７５とノズル１５８とを連通する連通孔１７８とを形成することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術では、第１の層１６６ａにハーフエッチングという方法で圧力室１７５を形成するので、圧力室１７５の深さ方向（図１４の上下方向）の精度を高くすることが難しく、その結果圧力室１７５の深さのばらつきが大きくなって、圧力室１７５の流動抵抗が変化してインク液滴を安定して噴射することができないという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、深さ方向の精度が高い圧力室を有し、取り扱いのし易いキャビティプレートを備えたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための請求項１に係る発明のインクジェットヘッドは、駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティプレートとが、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように重ね合わされて接合されたものであって、前記キャビティプレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室が形成され、前記第１の層を挟んで前記アクチュエータプレートの反対側に位置する前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔が形成されており、前記第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成のインクジェットヘッドでは、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層には、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【０００８】
また、請求項２に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記他方の層は、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との他方が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、他方の層は、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液でエッチングされるので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成された一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１０】
また、請求項３に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方がレーザ加工により形成されたものであることを特徴とする。
【００１１】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、樹脂材料からなる他方の層がレーザ加工されることにより、圧力室と第１の連通孔との他方が形成されるので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１２】
また、請求項４に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートが重ね合わされて接合されていることを特徴とする。
【００１３】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、マニホールドプレートが重ね合わされて接合されているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００１４】
また、請求項５に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第１の連通孔は前記圧力室の一端に連通しており、前記圧力室の他端の前記第２の層には、該圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、該第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通していることを特徴とすることを特徴とする。
【００１５】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、複数の圧力室のインクがノズルから噴射される。
【００１６】
また、請求項６に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記キャビティープレートは、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を貼り合わせたクラッド材から形成され、前記第３の層には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、キャビティープレートは、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成され、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されているので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１８】
また、請求項７に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第１の連通孔は、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであることを特徴とする。
【００１９】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時にマニホールドやインク供給孔などに残留したゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に侵入する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００２０】
また、請求項８に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、前記インク供給孔が、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に位置し、前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びていることを特徴とする。
【００２１】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、複数の第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、インク供給孔が、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びているので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００２２】
また、請求項９に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法は、駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体的に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティープレートとを備え、前記キャビティープレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室を有し、前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔を有しており、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように前記アクチュエータプレートと前記キャビティープレートとを重ね合わせて接合するものであって、前記クラッド材の第１の層と第２の層との何れか一方の層を、他方の層を実質的にエッチングすることができず前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方を形成することを特徴とする。
【００２３】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００２４】
また、請求項１０に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記他方の層を、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との他方を形成することを特徴とする。
【００２５】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によって他方の層をエッチングするので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成した一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００２６】
また、請求項１１に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方をレーザ加工により形成することを特徴とする。
【００２７】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、樹脂材料からなる他方の層をレーザ加工することにより、圧力室と第１の連通孔との他方を形成するので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００２８】
また、請求項１２に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記キャビティープレートに前記圧力室及び第１の連通孔を形成した後、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００２９】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側にマニホールドプレートを重ね合わせて接合しているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００３０】
また、請求項１３に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第２の層には、前記圧力室の一端に連通する位置に前記第１の連通孔を形成し、前記圧力室の他端に各々連通する位置に複数の第２の連通孔を形成し、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記第２の連通孔にインクを外部に噴射するためのノズルを連通させるようにノズルプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００３１】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔を形成し、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００３２】
また、請求項１４に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記キャビティープレートを、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を一体に貼り合わせたクラッド材から形成し、前記第３の層部分には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成することを特徴とする。
【００３３】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、キャビティープレートを、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成し、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成するので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００３４】
また、請求項１５に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第１の連通孔を、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を近接配置して形成することを特徴とする。
【００３５】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔を、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置して形成するので、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時にマニホールドやインク供給孔などに残留したゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に侵入する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００３６】
また、請求項１６に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第２の層の前記複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、前記インク供給孔を、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に配置し、かつ前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びるように、前記スペーサプレートを、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００３７】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、インク供給孔を、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、かつ第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びるように、スペーサプレートを第２の層の第１の層とは反対側に重ね合わせて接合するので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施の形態について図面に沿って説明する。ここで、図１は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の長手方向と略平行に切断した断面図であり、図２は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の配列方向と平行に切断した断面図である。図１及び図２に示すように、インクジェットヘッド３０では、図示外の駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレート５と、インクが通るためのインク流路を形成するキャビティプレート１５と、インクを噴射するノズル２１を備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート２０とがそれぞれ上部、中間部及び下部に位置するように積層されている。そして、積層された各プレートがエポキシ系の熱硬化性の接着剤を介して接合され、さらに、アクチュエータプレート５の上面に、当該アクチュエータプレート５に図示外の駆動回路で発生した駆動電圧を印加するためにフレキシブル配線基板（図示外）等が接合されて、インクジェットヘッド３０が構成されるようになっている。
【００３９】
キャビティプレート１５は、金属材料からなる薄板の３つの層１５ａ，１５ｂ，１５ｃからなり、図１の上方から下方に向かって、第１の層１５ａ、第２の層１５ｂ、マニホールドプレート１５ｃという順に積層されて構成されている。最上部の第１の層１５ａは、アクチュエータプレート５に接しており、最下部のマニホールドプレート１５ｃは、ノズルプレート２０に接している。このキャビティプレート１５を構成する第１の層１５ａと第２の層１５ｂは、互いに異なる材料からなり、両者が貼り合わされ一体に圧延された２層のクラッド材１６となっている。第１の層１５ａ及び第２の層１５ｂの材質については後述する。
【００４０】
また、キャビティプレート１５の第１の層１５ａには、アクチュエータプレート５の動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室１８が形成されている。複数の圧力室１８は、第１の層１５ａをエッチング液でエッチングすることにより形成され、その長手方向を平行に並べて平面状に配列されている。また、第２の層１５ｂには、圧力室１８の一端をノズル２１に連通させる連通孔３４と、圧力室１８の他端を後述するマニホールド流路２５に連通させる連通孔３５とが、エッチング液でエッチングされて形成されている。
【００４１】
また、マニホールドプレート１５ｃには、圧力室１８の一端をノズル２１に連通させる連通孔３６が穿設されている。さらに、マニホールドプレート１５ｃには、インクを圧力室１８に供給するマニホールド流路２５が複数の圧力室１８がなす列の下方においてその列方向に長く形成されている。マニホールド流路２５は、その一端で公知のようにインク供給源に接続され、連通孔３５を通して圧力室１８にインクを供給する。そして、上記マニホールド流路２５、連通孔３５、圧力室１８、連通孔３４，３６及びノズル２１は、インク流路を形成する。尚、マニホールドプレート１５ｃは、クラッド材１６を後述するエッチング加工した後、そのクラッド材１６に熱硬化性接着剤によって接合される。
【００４２】
圧電アクチュエータプレート５は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる圧電セラミックス材料からなり、圧電・電歪効果を有する複数の圧電セラミックス層４０と、その層間に複数の内部電極４７，４８，４９，５０とを備えている。圧電アクチュエータプレート５は、全圧力室１８に渡って延びており、その各内部電極４７，４８，４９，５０は各圧力室１８に対応して位置している。内部電極４７，４８，４９，５０に挟まれる圧電セラミックス層４０の部分は、公知のように分極処理されており、この内部電極に分極方向と同方向の電圧が印加されると、その電極に挟まれた部分（活性部）が積層方向に伸張し、圧力室１８内のインクに噴射のための圧力が選択的に付与されることになる。
【００４３】
次に、図３及び図４を参照して、インクジェットヘッド３０の製造方法について説明する。尚、ここでは、キャビティプレート１５の製造方法について詳細に説明する。図３は、キャビティプレート１５を構成する第１の層１５ａと第２の層１５ｂとからなるクラッド材１６の第１の層１５ａにエッチングにより圧力室１８を形成する工程を示す断面図である。また、図４は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにエッチングにより連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。図３に示すように、まず、クラッド材１６の第１の層１５ａの図３における上面１５ａ１に、スピナーコート等の方法でレジスト処理を施して、圧力室１８を形成しない部分のみを覆うようにレジスト５０を形成する。その後、図３の上方から、第１の層１５ａのみをエッチング可能でかつ第２の層１５ｂを実質的にエッチングすることができないエッチング液（図示外）を、図の矢印方向にスプレー噴霧又は被エッチング面上に滴下することにより、第１の層１５ａのみをエッチングして圧力室１８を形成する。
【００４４】
次に、図４に示すように、クラッド材１６において、第２の層１５ｂの図４における下面１５ｂ１に、第１の層１５ａにレジスト処理を施したのと同様の方法で、連通孔３４を形成しない部分のみを覆うようにレジスト５１を形成する。その後、図４の下方から、第２の層１５ｂのみをエッチング可能でかつ第１の層１５ａを実質的にエッチングすることができないエッチング液（図示外）を、図の矢印方向にスプレー噴霧等することにより、第２の層１５ｂのみをエッチングして連通孔３４を形成する。尚、第２の層１５ｂには、連通孔３４と同様の方法で同時に連通孔３５を形成することができる。連通孔３４，３５が、圧力室１８と重なる位置にあって圧力室１８の幅（長手方向と直交する幅）とほぼ同じかそれよりも小さい幅（直径）であれば、第２の層１５ｂをエッチングして連通孔３４，３５を形成するとき、第１の層１５ａもエッチング可能なエッチング液を使用し、スプレー噴霧等の時間を制御して行うこともできる。
【００４５】
このとき、例えば、クラッド材１６がステンレス製又はアルミニウム製の第１の層１５ａとチタン製の第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを塩化第二鉄（ＦｅＣｌ ３ ）エッチング液でエッチングすると、第１の層１５ａのみをエッチングすることができる。それにより、第１の層１５ａに、レジスト５０の開口部の幅でかつその層１５ａの厚さに対応する深さの圧力室１８が精度よく形成される。また、第２の層１５ｂをフッ化水素酸（ＨＦ）エッチング液でエッチングすると、第２の層１５ｂのみをエッチングすることができる。それにより、第２の層１５ｂに、レジスト５１の開口部の幅でかつその層１５ｂの厚さに対応する深さの連通孔３４及び連通孔３５が精度よく形成される。
【００４６】
また、クラッド材１６がニッケル製の第１の層１５ａとチタン製の第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを塩化第二鉄（ＦｅＣｌ ３ ）＋塩酸（ＨＣｌ）エッチング液でエッチングすると、第１の層１５ａのみをエッチングでき、深さ方向に精度の高い圧力室１８が形成される。また、第２の層１５ｂをフッ化水素酸（ＨＦ）エッチング液でエッチングすると、第２の層１５ｂのみをエッチングでき、深さ方向に精度の高い連通孔３４及び連通孔３５が形成される。
【００４７】
尚、第１の層１５ａと第２の層１５ｂとは、互いにその材質が入れ替わっても、各層の材質に対応するエッチング液で片側の層のみをエッチングすることができる。また、第１の層１５ａ及び第２の層１５ｂは、上述したものの他の材料で成形されていてもよい。その場合には、各層のみを実質的にエッチング可能なエッチング液を用いれば、各層に圧力室及び連通孔をそれぞれ形成することができる。
【００４８】
以上説明したように、上記実施の形態のインクジェットヘッド３０では、キャビティプレート１５が、互いに材質が異なる第１の層１５ａと第２の層１５ｂとからなるクラッド材１６を用いて形成されており、第１の層１５ａを、当該第１の層１５ａのみをエッチング可能なエッチング液でエッチングし、第２の層１５ｂを、当該第２の層１５ｂのみをエッチング可能なエッチング液又は第１の層１５ａと第２の層１５ｂとの両方をエッチング可能なエッチング液でそれぞれエッチングすることにより、第１の層１５ａに圧力室１８を、第２の層１５ｂに連通孔３４，３５をそれぞれ深さ方向に精度が高い状態で形成することができる。また、クラッド材１６を用いることにより、キャビティプレート１５を構成する層の厚さを確保でき、インクジェットヘッド３０の製造工程でキャビティプレート１５が反ったり折れ曲がったりするのを防止できるので、製造工程での歩留まりをよくすることができる。
【００４９】
ここで、上記実施の形態において、クラッド材１６は、共に金属材料からなる第１の層１５ａと第２の層１５ｂとから形成されたものに限られず、金属材料からなる第１の層１５ａと樹脂材料からなる第２の層１５ｂとから構成されていてもよい。図５に示すように、クラッド材１６が、ステンレス等の金属材料からなる第１の層１５ａと、ポリイミド等の樹脂材料からなる第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを前述のようにエッチング液でエッチングして圧力室１８を形成した後、第２の層１５ｂの下側にレーザ透過領域５２ａを備えたマスク５２を配設して、当該マスク５２の下方からエキシマレーザ光等のレーザ光（以下、「レーザ光」という。）を矢印方向に照射することにより、前記圧力室１８と連通した連通孔を形成することができる。
【００５０】
前述のように、第１の層１５ａは、当該第１の層１５ａのみを実質的にエッチング可能なエッチング液により、その上面にレジストが形成されていない部分がエッチングされて第１の層１５ａに圧力室１８が形成される。次に、第１の層１５ａの下側に貼り合わされた第２の層１５ｂの下側にレーザ透過領域５２ａを備えたマスク５２を配設し、マスク５２の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク５２のレーザ透過領域５２ａを通過して、第２の層１５ｂに連通孔３４が形成される。尚、第２の層１５ｂには、連通孔３４を形成したのと同様の方法で連通孔３５が形成されることになる。従って、金属薄板の第１の層１５ａと樹脂薄板の第２の層１５ｂとにそれぞれ個別にエッチング処理又はレーザ光照射処理が施され、各処理が対応する層ではない層に影響を与えることがないので、圧力室１８及び連通孔３４，３５は、その深さ方向（図５の上下方向）精度が高い状態で形成される。また、キャビティプレート１５の構成部材に、所定厚さが確保されたクラッド材１６を用いていることにより、製造工程においてキャビティプレート１５の取り扱いがし易く、歩留まりをよくすることができる。
【００５１】
図６は、他の実施の形態を示すインクジェットヘッド６０の断面図であり、図７は、キャビティプレート６５の第１の層６５ａに圧力室６８を形成する工程を示す断面図であり、図８は、キャビティプレート６５の第２の層６５ｂに連通孔７７を形成する工程を示す断面図である。図６に示すように、インクジェットヘッド６０は、アクチュエータプレート５５とキャビティプレート６５とノズルプレート７０が積層されて構成されている。アクチュエータプレート５５は、前記実施の形態のアクチュエータプレート５と同様の構成であり、ノズルプレート７０は、所定厚を有する樹脂製の薄板である。
【００５２】
また、キャビティプレート６５は、上下方向に積層された複数の層からなる薄板状部材であり、この内、第１の層６５ａと第２の層６５ｂとは、貼り合わされて一体となったクラッド材６６で形成されている。また、キャビティプレート６５の第１の層６５ａ及びスペーサプレート６５ｃは１枚の金属製の薄板であり、第２の層６５ｂは１枚の樹脂製の薄板である。また、マニホールドプレート６５ｄは、上方から下方に順に積層された４枚の金属薄板６５ｄ１乃至６５ｄ４からなっている。キャビティプレート６５の最上層の第１の層６５ａは、エッチングによって形成された圧力室６８を複数列例えば２列にかつ１つの平面上に配置して備えている。また、第２の層６５ｂは、レーザ光照射によって形成された連通孔７７を有しており、スペーサプレート６５ｃは、エッチングによって形成されたインク供給孔７８を有している。
【００５３】
スペーサプレート６５ｃに形成されたインク供給孔７８は、キャビティプレート６５の各層の平面方向において圧力室６８の外に位置している。第２の層６５ｂに形成された連通孔７７は、第１の層６５ａとスペーサプレート６５ｃとの間でそれらの平面方向に、圧力室６８の延長方向に長く延びて形成され、一端が上側の圧力室６８と連通し、他端が下側のインク供給孔７８と連通している。つまり、連通孔７７は、その断面積を圧力室６８及びインク供給孔７８よりも絞った制限流路を形成し、アクチュエータプレートの動作によって圧力室６８からインク供給孔７８側にインクが逆流するのを制限している。
【００５４】
また、最下部のノズルプレート７０は、インク滴を吐出する複数のノズル７１を有する。キャビティプレート６５の第１の層６５ａとノズルプレート７０間に位置するキャビティプレート６５の第２の層６５ｂ、スペーサプレート６５ｃ及びマニホールドプレート６５ｄは、各圧力室６８の一端をノズル７１に連通するための連通孔７２をそれぞれ備えている。さらに、マニホールドプレート６５ｄの上側３枚の薄板６５ｄ１乃至６５ｄ３は、各圧力室６８の列の下に対応してその列方向にマニホールド流路７５を有する。また、各圧力室６８の他端は、第２の層６５ｂに形成された連通孔７７とスペーサプレート６５ｃに形成されたインク供給孔７８とを介してマニホールド流路７５に連通している。
【００５５】
次に、図７及び図８を参照して、キャビティプレート６５の構成部材であるクラッド材６６の第１の層６５ａに圧力室６８を、第２の層６５ｂに連通孔７７をそれぞれ形成する方法について説明する。図７及び図８に示すように、クラッド材６６の第１の層６５ａには、前記実施の形態でクラッド材１６に圧力室１８を形成したのと同様に、第１の層６５ａのみを実質的にエッチング可能なエッチング液により、その上面６５ａ１にレジスト８０が形成されていない部分がエッチングされて第１の層６５ａに圧力室６８が形成される。次に、第１の層６５ａの下側に貼り合わされた第２の層６５ｂの下側にレーザ透過領域８１ａを備えたマスク８１を配設し、マスク８１の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク８１のレーザ透過領域８１ａを通過して、第２の層６５ｂに連通孔７７が形成される。尚、第２の層６５ｂには、連通孔７７を形成したのと同様の方法で連通孔７２が形成されることになる。
【００５６】
上記場合、従来では、圧力室を形成する第１の層またはインク供給孔を形成する第３層に、連通孔７７に相当する溝をハーフエッチングにより形成していたので、深さ（図８の上下方向寸法）にばらつきが生じ、溝の断面積の精度を高くするのが難しいという問題があった。本実施の形態では、クラッド材６６において金属薄板の第１の層６５ａと樹脂薄板の第２の層６５ｂに対してエッチング加工とレーザ加工とを個別に行っているので、前記実施の形態と同様に圧力室６８をレジスト８０の開口部分の幅で、かつ第１の層６５ａの厚さに相当する深さだけ正確に形成することができ、また、連通孔７７をマスク８１の開口幅で、かつ第２の層６５ｂの厚さに相当する深さに正確に形成することができる。つまり、連通孔７７の断面積を精度よく確保し、圧力室６８とインク供給孔７８との間の流動抵抗のばらつきを少なくして噴射性能をほぼ均一にすることができる。尚、クラッド材６６、スペーサプレート６５ｃ、マニホールドプレート６５ｄを構成する薄板６５ｄ１乃至６５ｄ４、及びノズルプレート７０は、熱硬化性の接着剤により接合される。
【００５７】
さらに、上述のような金属薄板と樹脂薄板とを貼り合わせて形成したクラッド材の樹脂薄板側にさらにもう１枚の金属薄板を貼り付けて、３層となったクラッド材を用いてキャビティプレートを形成してもよい。以下、図９乃至図１２を参照して、３層となったクラッド材８６を有するキャビティプレート８５を備えたインクジェットヘッド８０及びその製造方法について説明する。ここで、図９は、インクジェットヘッド８０の断面図であり、図１０は、連通孔９７部分の拡大断面図であり、図１１は、クラッド材８６の第１の層８５ａに圧力室８８を、第３の層８５ｃにインク供給孔９８を、それぞれエッチングにより形成する工程を示す断面図である。また、図１２は、クラッド材８６の第２の層８５ｂにレーザ光を照射して連通孔９７（図１０参照）を形成する工程を示す断面図である。
【００５８】
図９に示すように、インクジェットヘッド８０は、アクチュエータプレート７５と、樹脂薄板のノズルプレート９０と、複数の薄板が積層されたキャビティプレート８５とから構成され、前述のインクジェットヘッド６０と略同一の構成となっている。キャビティプレート８５は、複数の薄板材料から構成されている。また、キャビティプレート８５を構成する複数の層の内、第１の層８５ａは１枚の金属製の薄板であり、第２の層８５ｂは樹脂製の薄板であり、第３の層８５ｃは金属製の薄板であり、マニホールドプレート８５ｄは、上方から下方に順に積層された４枚の金属製の薄板８５ｄ１乃至８５ｄ４からなっている。そして、第１の層８５ａと第２の層８５ｂと第３の層８５ｃとは貼り合わされて一体となっており、３層のクラッド材８６が形成されている。
【００５９】
３層になったクラッド材８６の第１の層８５ａは、エッチングによって形成された圧力室８８を複数列例えば２列にかつ１つの平面上に配置して備え、第３の層８５ｃは、後述するマニホールド流路９５を圧力室８８に連通するために、エッチングによって形成されたインク供給孔９８を有する。また、第２の層８５ｂは、レーザ加工によって形成された連通孔９７（図１０参照）を有する。連通孔９７は近接した複数の孔からなり、圧力室８８内に外部からゴミ等が侵入するのを防止するためのフィルタとなっている。
【００６０】
また、最下部のノズルプレート９０は、インク滴を吐出する複数のノズル９１を有する。キャビティプレート８５の第２の層８５ｂ、第３の層８５ｃ及びマニホールドプレート８５ｄは、各圧力室８８の一端をノズル９１に連通するための連通孔９２をそれぞれ備えており、さらに、マニホールドプレート８５ｄの上側３枚の薄板８５ｄ１乃至８５ｄ３は、各圧力室８８の列の下に対応してその列方向にマニホールド流路９５を有する。また、各圧力室８８の他端は、図１０に詳細に示すように、第３の層８５ｃ及び第２の層８５ｂにそれぞれ設けられたインク供給孔９８と連通孔９７とを介してマニホールド流路９５に連通している。
【００６１】
次に、図１１及び図１２を参照して、キャビティプレート８５を構成するクラッド材８６の３つの層に圧力室、連通孔及びインク供給孔をそれぞれ形成する方法について説明する。図１１に示すように、まず、クラッド材８６の第１の層８５ａの上側面と、第３の層８５ｃの下側面とにそれぞれレジスト８２及び８３を形成し、図の矢印方向にそれぞれエッチング液をスプレー噴霧等することにより、第１の層８５ａと第３の層８５ｃとをエッチングする。このとき、各薄板は、自身のみを実質的にエッチング可能なエッチング液によりエッチングされ、第１の層８５ａには圧力室８８が、第３の層８５ｃにはインク供給孔９８がそれぞれ形成される。
【００６２】
そして、図１２に示すように、第２の層８５ｂの下方にレーザ透過領域８４ａを備えたマスク８４を配設し、図１２の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク８４のレーザ透過領域８４ａを通過して、第２の層８５ｂに連通孔９７（図１０参照）が形成される。このとき、図示しないが、マスク８４のレーザ透過領域８４ａには複数の小さな貫通孔が穿設されており、当該貫通孔を通過したレーザ光によって複数の小孔からなる連通孔９７即ちフィルタ孔が形成されることになる。
【００６３】
このように、インクジェット８０では、キャビティプレート８５に３層のクラッド材８６を用いて、クラッド材８６を構成する各金属薄板を個別にエッチングすることで圧力室８８及びインク供給孔９８をそれぞれ形成し、クラッド材８６を構成する樹脂薄板にレーザ光を照射することにより、連通孔９７を形成しているので、各々の深さ方向精度を高くすることができる。従って、従来のように、フィルタ孔が形成されたフィルタを小型の別部品として接着する必要がなくなり、また接着時に生じていた位置ずれも生じることがない。
【００６４】
【発明の効果】
以上、詳述したとおり、請求項１に係る発明のインクジェットヘッドでは、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００６５】
また、請求項２に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液で他方の層がエッチングされるので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成された一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００６６】
また、請求項３に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、樹脂材料からなる他方の層がレーザ加工されることにより、圧力室と第１の連通孔との他方が形成されるので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００６７】
また、請求項４に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、マニホールドプレートが重ね合わされて接合されているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００６８】
また、請求項５に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００６９】
また、請求項６に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、キャビティープレートは、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成され、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されているので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７０】
また、請求項７に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時に侵入するゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に存在する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００７１】
また、請求項８に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、複数の第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、インク供給孔が、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びているので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００７２】
また、請求項９に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００７３】
また、請求項１０に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液で他方の層をエッチングするので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成した一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７４】
また、請求項１１に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、樹脂材料からなる他方の層をレーザ加工することにより、圧力室と第１の連通孔との他方を形成するので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７５】
また、請求項１２に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側にマニホールドプレートを重ね合わせて接合しているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００７６】
また、請求項１３に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔を形成し、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００７７】
また、請求項１４に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、キャビティープレートを、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成し、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成するので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７８】
また、請求項１５に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時に侵入するゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に存在する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００７９】
また、請求項１６に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、インク供給孔を、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、かつ第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びるように、スペーサプレートを第２の層の第１の層とは反対側に重ね合わせて接合するので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の長手方向と略平行に切断した断面図である。
【図２】 図２は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の配列方向に平行に切断した断面図である。
【図３】 図３は、クラッド材１６の第１の層１５ａにエッチングにより圧力室１８を形成する工程を示す断面図である。
【図４】 図４は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにエッチングにより連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。
【図５】 図５は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにレーザ光を照射して連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。
【図６】 図６は、他の実施の形態を示すインクジェットヘッド６０の断面図である。
【図７】 図７は、キャビティプレート６５の第１の層６５ａに圧力室６８を形成する工程を示す断面図である。
【図８】 図８は、キャビティプレート６５の第２の層６５ｂに連通孔７７を形成する工程を示す断面図である。
【図９】 図９は、さらに他の実施の形態を示すインクジェットヘッド８０の断面図である。
【図１０】 図１０は、連通孔９７部分の拡大断面図である。
【図１１】 図１１は、クラッド材８６の第１の層８５ａに圧力室８８を、第３の層８５ｃにインク供給孔９８を、それぞれエッチングにより形成する工程を示す断面図である。
【図１２】 図１２は、クラッド材８６の第２の層８５ｂにレーザ光を照射して連通孔９７を形成する工程を示す断面図である。
【図１３】 従来のインクジェットヘッド１５０を示す断面図である。
【図１４】 他の従来のインクジェットヘッド１６０を示す断面図である。
【符号の説明】
５ アクチュエータプレート
１５ キャビティプレート
１５ａ 第１の層
１５ｂ 第２の層
１５ｃ マニホールドプレート
１６ クラッド材
１８ 圧力室
２０ ノズルプレート
２１ ノズル
２５ マニホールド流路
３４，３５，３６ 連通孔
６０ インクジェットヘッド
６５ キャビティプレート
６５ａ 第１の層
６５ｂ 第２の層
６５ｃ スペーサプレート
６６ クラッド材
６８ 圧力室
７７ 連通孔
７８ インク供給孔
８０ インクジェットヘッド
８５ キャビティプレート
８５ａ 第１の層
８５ｂ 第２の層
８５ｃ 第３の層
８６ クラッド材
９７ 連通孔
９８ インク供給孔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to an inkjet head and a manufacturing method thereof, and more particularly, to an inkjet head including a cavity plate formed of a clad material and a manufacturing method thereof.
[0002]
[Prior art]
  2. Description of the Related Art Conventionally, for example, an ink jet printer including an ink jet head is known as a recording apparatus that performs recording on a recording medium such as paper. As shown in FIG. 13, in an inkjet head 150 of this inkjet printer, an actuator plate 155 made of a piezoelectric material that expands and contracts by a drive voltage generated by a drive circuit (not shown), and a cavity that forms an ink flow path for ink to pass through. A plate 156 and a nozzle plate 157 made of a synthetic resin such as polyimide having a nozzle 158 for ejecting ink are laminated so as to be positioned at the upper part, the middle part, and the lower part, respectively. Each plate has a thin plate shape, and the cavity plate 156 is configured by laminating metal first to third layers 156a to 156c vertically. Among them, the first layer 156a has a plurality of pressure chambers 165 for containing ink to be selectively ejected by the operation of the actuator plate 155, and the third layer 156c supplies ink to the pressure chambers 165. Each of the manifolds 169 is formed by etching, and a communication hole 167 that connects the one end of the pressure chamber 165 and the manifold 169 is formed in the second layer 156b by etching. Further, in the second layer 156b and the third layer 156c, communication holes 168 and 170 that communicate the other end of the pressure chamber 165 opposite to the one end with the nozzle 158 provided in the nozzle plate 157 are formed by etching. Is formed. An ink flow path is formed by the manifold 169, the pressure chamber 165, the communication holes 167, 168, 170 and the nozzle 158.
[0003]
  However, since each layer of the cavity plate 156 is very thin with a thickness of 20 to 80 μm, there is a problem that the yield is deteriorated by bending or warping during handling of each layer in the manufacturing process of the inkjet head 150. In order to solve such a problem, for example, as shown in FIG. 14, in the inkjet head 160, the first layer 156a and the second layer 156b of the cavity plate 156 shown in FIG. Thus, a method of forming the cavity plate 166 with the first layer 166a having a predetermined thickness and the second layer 166b corresponding to the third layer 156c shown in FIG. In this case, the first layer 166a is half-etched to form the pressure chamber 175, and the etching allows the pressure hole 177 to communicate with the manifold 169 formed in the second layer 166b, and the pressure A communication hole 178 that allows the chamber 175 and the nozzle 158 to communicate with each other is formed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
  However, in the conventional technique as described above, since the pressure chamber 175 is formed in the first layer 166a by a method called half etching, the accuracy in the depth direction of the pressure chamber 175 (vertical direction in FIG. 14) can be increased. As a result, the variation in the depth of the pressure chamber 175 becomes large, and the flow resistance of the pressure chamber 175 changes to cause a problem that ink droplets cannot be stably ejected.
[0005]
  The present invention has been made to solve the above problems, and provides an inkjet head having a pressure plate with high accuracy in the depth direction and having a cavity plate that is easy to handle, and a method for manufacturing the same. Objective.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, an ink jet head according to a first aspect of the present invention includes an actuator plate driven by a driving voltage generated by a driving circuit, and a first layer and a second layer made of different materials, which are integrally bonded. A cavity plate including the clad material, and the first layer is superposed and bonded so as to be adjacent to the actuator plate, and the first plate of the clad material constituting the cavity plate Is formed with a plurality of pressure chambers for containing ink to be selectively ejected by the operation of the actuator plate, and the second layer located on the opposite side of the actuator plate across the first layer. Is formed with a plurality of first communication holes communicating with the respective pressure chambers, and one of the first layer and the second layer. The pressure chamber and the first communication hole are formed by etching with a first etchant that cannot substantially etch the other layer and can etch the one layer. It is characterized by being.
[0007]
  In the ink jet head having this configuration, the pressure chamber and the communication hole communicating therewith are formed in the clad material bonded with different materials, so that the rigidity of the material is increased and the handling property in the manufacturing process is good. In addition, in either one of the first layer and the second layer, the other layer cannot be substantially etched, and one of the layers is etched with a first etchant that can be etched. Thus, since either the pressure chamber or the first communication hole is formed, it can be formed more accurately in the depth direction as compared with the half etching as in the prior art.
[0008]
  Moreover, in the inkjet head of the invention according to claim 2, in addition to the configuration of the inkjet head according to claim 1, the other layer is etched by a second etching solution capable of etching the other layer. The other of the pressure chamber and the first communication hole is formed.
[0009]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention described in claim 1, since the other layer is etched with the second etching solution capable of etching the other layer, the pressure chamber and the first communication are communicated. Among the holes, the accuracy in the depth direction of the other not formed by etching with the first etching solution can be increased.
[0010]
  In the ink jet head according to the third aspect of the present invention, in addition to the structure of the ink jet head according to the first aspect, the other layer is a resin material, and the pressure chamber and the first communication hole The other is formed by laser processing.
[0011]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention described in claim 1, the other of the pressure chamber and the first communication hole is formed by laser processing the other layer made of the resin material. Therefore, the accuracy in the other depth direction of the pressure chamber and the first communication hole can be increased.
[0012]
  Moreover, in the inkjet head of the invention according to claim 4, in addition to the configuration of the inkjet head according to any one of claims 1 to 3, on the opposite side of the second layer to the first layer, A manifold plate having a manifold flow path for supplying ink to the plurality of pressure chambers through the plurality of first communication holes is overlapped and joined.
[0013]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 3, a manifold plate is superimposed and bonded to the opposite side of the second layer to the first layer. Therefore, ink can be supplied to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes.
[0014]
  In addition to the configuration of the ink jet head according to any one of claims 1 to 4, the first communication hole communicates with one end of the pressure chamber. The second layer at the other end of the pressure chamber is formed with a plurality of second communication holes that communicate with the pressure chamber, and the second communication holes are nozzles for ejecting ink to the outside. It is characterized by communicating with.
[0015]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 4, the first communication hole communicates with one end of the pressure chamber, and the second communication port at the other end of the pressure chamber. The layer is formed with a plurality of second communication holes communicating with the pressure chambers, and the second communication holes communicate with nozzles for ejecting ink to the outside. Is ejected from the nozzle.
[0016]
  In addition, in the ink jet head of the invention according to claim 6, in addition to the structure of the ink jet head according to claim 1, the cavity plate is formed by attaching the first and third layers with the second layer interposed therebetween. In the third layer, an ink supply hole communicating with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole substantially includes the second layer. The third layer cannot be etched and is formed by etching with an etchant capable of etching.
[0017]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention described in claim 1, the cavity plate is formed of a three-layer clad material including the first to third layers, and the third layer includes the first layer. An ink supply hole that communicates with the pressure chamber of the first layer through one communication hole is formed by etching with an etchant that cannot substantially etch the second layer and can etch the third layer. Therefore, the accuracy of the ink supply hole in the depth direction can be increased.
[0018]
  In addition, in the ink jet head according to the seventh aspect of the invention, in addition to the configuration of the ink jet head according to the sixth aspect, the first communication hole includes a plurality of small holes for one pressure chamber. It is characterized by being closely arranged.
[0019]
  In the ink jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention described in claim 6, since the first communication hole is formed by arranging a plurality of small holes close to each other with respect to one pressure chamber, It is possible to reduce the probability that dust or the like remaining in the manifold, the ink supply hole, or the like when the head is manufactured enters the flow path from the pressure chamber to the nozzle, and prevent the pressure chamber or the nozzle from being blocked.
[0020]
  Moreover, in the inkjet head of the invention according to claim 8, in addition to the configuration of the inkjet head according to any one of claims 1 to 5, on the opposite side of the second layer from the first layer, A spacer plate having a plurality of ink supply holes communicating with the pressure chambers of the first layer through the plurality of first communication holes is overlapped and joined, and the ink supply holes are connected to the first and second ink holes. The first communication hole is located outside the pressure chamber in the planar direction of the first layer, and extends in parallel with the planar direction between the first layer and the spacer plate.
[0021]
  In the ink-jet head having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 5, the second layer on the side opposite to the first layer is provided with a plurality of first communication holes. A spacer plate having a plurality of ink supply holes communicating with the pressure chambers of the first layer is overlapped and joined, and the ink supply holes are located outside the pressure chambers in the planar direction of the first and second layers. The first communication hole extends in parallel with the plane direction between the first layer and the spacer plate, so that the depth of the first communication hole is ensured with high accuracy by the thickness of the second layer. The flow resistance between the ink supply hole and the pressure chamber can be made constant.
[0022]
  According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an ink jet head manufacturing method in which an actuator plate driven by a driving voltage generated in a driving circuit is integrally bonded to a first layer and a second layer made of different materials. A plurality of pressure chambers that contain ink to be selectively ejected by the operation of the actuator plate in the first layer of the clad material constituting the cavity plate. The second layer has a plurality of first communication holes communicating with the pressure chambers, and the actuator plate and the actuator plate so that the first layer is adjacent to the actuator plate. The cavity plate is overlapped and joined, and either one of the first layer and the second layer of the clad material is attached to the other One of the pressure chamber and the first communication hole is formed by etching with a first etchant that can substantially etch one of the layers but cannot etch the one layer. .
[0023]
  In the ink jet head manufacturing method having this configuration, the pressure chamber and the communication hole communicating therewith are formed in the clad material bonded with different materials, so that the rigidity of the material is increased and the handleability in the manufacturing process is good. Further, either one of the first layer and the second layer cannot be etched substantially, and the other layer is etched with a first etchant that can be etched. Since any one of the pressure chamber and the first communication hole is formed, it can be formed with higher accuracy in the depth direction as compared with half etching as in the prior art.
[0024]
  According to a method of manufacturing an ink jet head of a tenth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the method of manufacturing the ink jet head according to the ninth aspect, the second layer is capable of etching the other layer. The other of the pressure chamber and the first communication hole is formed by etching with an etchant.
[0025]
  In the method of manufacturing the ink jet head having this structure, in addition to the action of the invention according to claim 9, the other layer is etched by the second etching solution capable of etching the other layer. Among the communication holes, the accuracy in the other depth direction that is not formed by etching with the first etching solution can be increased.
[0026]
  Further, in the method for manufacturing an ink jet head according to an eleventh aspect, in addition to the structure of the method for manufacturing an ink jet head according to the ninth aspect, the other layer is a resin material, The other of the one communication hole is formed by laser processing.
[0027]
  In this method of manufacturing an ink jet head, in addition to the operation of the invention according to claim 9, the other of the pressure chamber and the first communication hole is formed by laser processing the other layer made of a resin material. Therefore, the accuracy in the other depth direction of the pressure chamber and the first communication hole can be increased.
[0028]
  According to a twelfth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the ink jet head manufacturing method according to any one of the ninth to eleventh aspects, the pressure chamber and the first After the communication hole is formed, a manifold channel that supplies ink to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes is provided on the opposite side of the second layer from the first layer. It is characterized by overlapping and joining manifold plates.
[0029]
  In this method of manufacturing an ink jet head, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 9 to 11, a manifold plate is overlapped and bonded to the opposite side of the second layer to the first layer. Therefore, ink can be supplied to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes.
[0030]
  In addition, in the ink jet head manufacturing method according to the thirteenth aspect, in addition to the configuration of the ink jet head manufacturing method according to any one of the ninth to twelfth aspects, the second layer includes the pressure chamber. The first communication hole is formed at a position communicating with one end, a plurality of second communication holes are formed at positions communicating with the other end of the pressure chamber, and the first layer of the second layer is formed. A nozzle plate is overlapped and joined to the opposite side to the second communication hole so that a nozzle for ejecting ink to the outside communicates with the second communication hole.
[0031]
  In this method of manufacturing an ink jet head, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 9 to 12, the first communication hole communicates with one end of the pressure chamber, and the other end of the pressure chamber In the second layer, a plurality of second communication holes communicating with the pressure chambers are formed, and the second communication holes communicate with nozzles for ejecting ink to the outside. The ink supplied to the plurality of pressure chambers can be ejected from the nozzle.
[0032]
  According to a method for manufacturing an ink jet head of a fourteenth aspect of the present invention, in addition to the structure of the method for manufacturing the ink jet head according to the ninth aspect, the cavity plate may be connected to the first and second layers with the second layer interposed therebetween. The third layer is formed of a clad material integrally bonded, and the third layer portion has an ink supply hole communicating with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole. The second layer cannot be substantially etched, and the third layer is formed by etching with an etchable etchant.
[0033]
  In this method of manufacturing an inkjet head, in addition to the operation of the invention described in claim 9, the cavity plate is formed from a three-layer clad material composed of first to third layers, and the third layer is formed on the third layer. The ink supply hole communicating with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole is formed by an etching solution that cannot substantially etch the second layer but can etch the third layer. Since it is formed by etching, the accuracy of the ink supply hole in the depth direction can be increased.
[0034]
  In addition, in the ink jet head manufacturing method according to the fifteenth aspect, in addition to the configuration of the ink jet head manufacturing method according to the fourteenth aspect, a plurality of the first communication holes may be provided for one pressure chamber. The small holes are formed in close proximity to each other.
[0035]
  In the ink jet head manufacturing method with this configuration, in addition to the operation of the invention described in claim 14, the first communication hole is formed by arranging a plurality of small holes close to each other with respect to one pressure chamber. Therefore, since the first communication hole is formed by arranging a plurality of small holes close to each other with respect to one pressure chamber, dust or the like remaining in the manifold, the ink supply hole, or the like at the time of manufacturing the inkjet head is The probability of entering the flow path from the nozzle to the nozzle can be reduced, and the pressure chamber and the nozzle can be prevented from being blocked.
[0036]
  According to a sixteenth aspect of the invention, there is provided an inkjet head manufacturing method, in addition to the configuration of the inkjet head manufacturing method according to any one of the ninth to fourteenth aspects, the plurality of first layers of the second layer. A spacer plate having a plurality of ink supply holes corresponding to the communication holes is formed, the ink supply holes are arranged outside the pressure chamber in the planar direction of the first and second layers, and the first The spacer plate is overlapped on the opposite side of the second layer from the first layer so that the communication hole extends between the first layer and the spacer plate in parallel with the planar direction. It is characterized by joining.
[0037]
  In addition to the operation of the invention according to any one of claims 9 to 14, the ink jet head manufacturing method having this configuration has a plurality of ink supply holes corresponding to the plurality of first communication holes of the second layer. A spacer plate is formed, the ink supply hole is located outside the pressure chamber in the plane direction of the first and second layers, and the first communication hole is a plane between the first layer and the spacer plate. Since the spacer plate is overlapped and joined on the opposite side of the second layer to the first layer so as to extend in parallel with the direction, the depth of the first communication hole depends on the thickness of the second layer. The flow resistance between the ink supply hole and the pressure chamber can be kept constant.
[0038]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. Here, FIG. 1 is a cross-sectional view of the inkjet head 30 cut substantially parallel to the longitudinal direction of the pressure chamber, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the inkjet head 30 cut parallel to the arrangement direction of the pressure chambers. is there. As shown in FIGS. 1 and 2, in the inkjet head 30, an actuator plate 5 driven by a drive voltage generated by a drive circuit (not shown), a cavity plate 15 forming an ink flow path for ink to pass through, A nozzle plate 20 made of synthetic resin such as polyimide having nozzles 21 for ejecting ink is laminated so as to be positioned at the upper part, the middle part and the lower part, respectively. The stacked plates are joined via an epoxy-based thermosetting adhesive, and a drive voltage generated by a drive circuit (not shown) is applied to the actuator plate 5 on the upper surface of the actuator plate 5. For this purpose, a flexible wiring board (not shown) or the like is joined to form the ink jet head 30.
[0039]
  The cavity plate 15 is composed of three layers 15a, 15b, and 15c of a thin plate made of a metal material, and is laminated in the order of the first layer 15a, the second layer 15b, and the manifold plate 15c from the upper side to the lower side in FIG. Has been configured. The uppermost first layer 15 a is in contact with the actuator plate 5, and the lowermost manifold plate 15 c is in contact with the nozzle plate 20. The first layer 15a and the second layer 15b constituting the cavity plate 15 are made of different materials, and are a two-layer clad material 16 that is bonded and rolled together. The materials of the first layer 15a and the second layer 15b will be described later.
[0040]
  The first layer 15 a of the cavity plate 15 is formed with a plurality of pressure chambers 18 that store ink for selective ejection by the operation of the actuator plate 5. The plurality of pressure chambers 18 are formed by etching the first layer 15a with an etchant, and are arranged in a plane with their longitudinal directions aligned in parallel. In addition, the second layer 15b includes a communication hole 34 that allows one end of the pressure chamber 18 to communicate with the nozzle 21, and a communication hole 35 that allows the other end of the pressure chamber 18 to communicate with a manifold channel 25 described later. It is formed by etching.
[0041]
  The manifold plate 15 c is provided with a communication hole 36 that allows one end of the pressure chamber 18 to communicate with the nozzle 21. Further, a manifold channel 25 for supplying ink to the pressure chambers 18 is formed in the manifold plate 15 c so as to be long in the column direction below the column formed by the plurality of pressure chambers 18. The manifold channel 25 is connected at one end thereof to an ink supply source as is well known, and supplies ink to the pressure chamber 18 through the communication hole 35. The manifold channel 25, the communication hole 35, the pressure chamber 18, the communication holes 34 and 36, and the nozzle 21 form an ink channel. The manifold plate 15c is bonded to the clad material 16 by a thermosetting adhesive after etching the clad material 16 to be described later.
[0042]
  The piezoelectric actuator plate 5 is made of a piezoelectric ceramic material made of a lead zirconate titanate (PZT) ceramic material, and has a plurality of piezoelectric ceramic layers 40 having a piezoelectric / electrostrictive effect, and a plurality of internal electrodes 47, 48 between the layers. , 49, 50. The piezoelectric actuator plate 5 extends over all the pressure chambers 18, and the internal electrodes 47, 48, 49, 50 are located corresponding to the pressure chambers 18. The portion of the piezoelectric ceramic layer 40 sandwiched between the internal electrodes 47, 48, 49, and 50 is subjected to polarization processing as is well known, and when a voltage in the same direction as the polarization direction is applied to the internal electrode, The sandwiched portion (active portion) extends in the stacking direction, and pressure for ejection is selectively applied to the ink in the pressure chamber 18.
[0043]
  Next, a method for manufacturing the inkjet head 30 will be described with reference to FIGS. Here, the manufacturing method of the cavity plate 15 will be described in detail. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a process of forming the pressure chamber 18 by etching in the first layer 15a of the clad material 16 composed of the first layer 15a and the second layer 15b constituting the cavity plate 15. As shown in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a process of forming the communication hole 34 in the second layer 15b of the clad material 16 by etching. As shown in FIG. 3, first, the upper surface 15a1 in FIG. 3 of the first layer 15a of the clad material 16 is subjected to resist treatment by a method such as spinner coating so as to cover only the portion where the pressure chamber 18 is not formed. A resist 50 is formed. Thereafter, from the upper side of FIG. 3, an etching solution (not shown) that can etch only the first layer 15a and cannot substantially etch the second layer 15b is sprayed or applied in the direction of the arrow in the figure. By dropping on the etching surface, only the first layer 15 a is etched to form the pressure chamber 18.
[0044]
  Next, as shown in FIG. 4, in the clad material 16, the communication hole 34 is formed on the lower surface 15 b 1 of the second layer 15 b in FIG. 4 in the same manner as the first layer 15 a is subjected to resist treatment. A resist 51 is formed so as to cover only the portions not to be formed. After that, from the lower side of FIG. 4, an etching solution (not shown) that can etch only the second layer 15b and cannot substantially etch the first layer 15a is sprayed in the direction of the arrow in the figure. Thus, only the second layer 15b is etched to form the communication hole 34. In the second layer 15b, the communication holes 35 can be simultaneously formed in the same manner as the communication holes 34. If the communication holes 34 and 35 are positioned so as to overlap with the pressure chamber 18 and have a width (diameter) substantially the same as or smaller than the width of the pressure chamber 18 (width orthogonal to the longitudinal direction), the second layer 15b. Etching is used to form the communication holes 34 and 35, and the first layer 15a can also be etched using an etchable etchant and controlling the spraying time and the like.
[0045]
  At this time, for example, when the clad material 16 includes a first layer 15a made of stainless steel or aluminum and a second layer 15b made of titanium, the first layer 15a is made of ferric chloride (FeCl 3 When etching with an etchant, only the first layer 15a can be etched. Thus, the pressure chamber 18 having a width corresponding to the thickness of the opening of the resist 50 and a depth corresponding to the thickness of the layer 15a is accurately formed in the first layer 15a. Further, when the second layer 15b is etched with a hydrofluoric acid (HF) etchant, only the second layer 15b can be etched. Thereby, the communication hole 34 and the communication hole 35 having the width of the opening of the resist 51 and the depth corresponding to the thickness of the layer 15b are accurately formed in the second layer 15b.
[0046]
  When the clad material 16 is composed of a first layer 15a made of nickel and a second layer 15b made of titanium, the first layer 15a is made of ferric chloride (FeCl 3 ) + Hydrochloric acid (HCl) etching solution can etch only the first layer 15a, and the pressure chamber 18 with high accuracy is formed in the depth direction. Further, when the second layer 15b is etched with a hydrofluoric acid (HF) etchant, only the second layer 15b can be etched, and the communication hole 34 and the communication hole 35 with high accuracy are formed in the depth direction.
[0047]
  Note that, even if the materials of the first layer 15a and the second layer 15b are interchanged with each other, only one layer can be etched with an etchant corresponding to the material of each layer. Further, the first layer 15a and the second layer 15b may be formed of other materials as described above. In that case, if an etchant that can substantially etch only each layer is used, a pressure chamber and a communication hole can be formed in each layer.
[0048]
  As described above, in the inkjet head 30 of the above-described embodiment, the cavity plate 15 is formed using the clad material 16 composed of the first layer 15a and the second layer 15b that are different from each other, The first layer 15a is etched with an etchant capable of etching only the first layer 15a, and the second layer 15b is etched with an etchant capable of etching only the second layer 15b or the first layer 15a. And the second layer 15b are etched with an etchable etchant, respectively, so that the pressure chamber 18 is formed in the first layer 15a, and the communication holes 34 and 35 are formed in the depth direction in the second layer 15b. It can be formed with high accuracy. Further, by using the clad material 16, the thickness of the layers constituting the cavity plate 15 can be secured, and the cavity plate 15 can be prevented from being warped or bent in the manufacturing process of the inkjet head 30. Yield can be improved.
[0049]
  Here, in the above-described embodiment, the clad material 16 is not limited to the first layer 15a and the second layer 15b both made of the metal material, but the first layer 15a made of the metal material and You may be comprised from the 2nd layer 15b which consists of resin materials. As shown in FIG. 5, when the clad material 16 is composed of a first layer 15a made of a metal material such as stainless steel and a second layer 15b made of a resin material such as polyimide, the first layer After the pressure chamber 18 is formed by etching 15a with the etching solution as described above, a mask 52 having a laser transmission region 52a is provided below the second layer 15b, and the mask 52 is formed from below. By irradiating laser light such as excimer laser light (hereinafter referred to as “laser light”) in the direction of the arrow, a communication hole communicating with the pressure chamber 18 can be formed.
[0050]
  As described above, the first layer 15a is etched into the first layer 15a by etching the portion where the resist is not formed on the upper surface with an etching solution that can substantially etch only the first layer 15a. A pressure chamber 18 is formed. Next, a mask 52 having a laser transmission region 52a is provided below the second layer 15b bonded to the lower side of the first layer 15a, and laser light is directed from the lower side of the mask 52 in the direction of the arrow. , The laser light passes through the laser transmission region 52a of the mask 52, and the communication hole 34 is formed in the second layer 15b. Note that the communication hole 35 is formed in the second layer 15b in the same manner as the communication hole 34 is formed. Therefore, the first metal thin plate layer 15a and the second resin thin plate layer 15b are individually subjected to etching treatment or laser light irradiation treatment, and each treatment may affect a layer that is not a corresponding layer. Therefore, the pressure chamber 18 and the communication holes 34 and 35 are formed with high accuracy in the depth direction (vertical direction in FIG. 5). Further, since the clad material 16 having a predetermined thickness is used as the constituent member of the cavity plate 15, the cavity plate 15 can be easily handled in the manufacturing process, and the yield can be improved.
[0051]
  FIG. 6 is a cross-sectional view of an inkjet head 60 showing another embodiment, and FIG. 7 is a cross-sectional view showing a process of forming a pressure chamber 68 in the first layer 65a of the cavity plate 65. FIG. These are sectional views showing a step of forming the communication hole 77 in the second layer 65 b of the cavity plate 65. As shown in FIG. 6, the inkjet head 60 is configured by stacking an actuator plate 55, a cavity plate 65, and a nozzle plate 70. The actuator plate 55 has the same configuration as the actuator plate 5 of the above embodiment, and the nozzle plate 70 is a thin resin plate having a predetermined thickness.
[0052]
  The cavity plate 65 is a thin plate member made up of a plurality of layers stacked in the vertical direction. Among these, the first layer 65a and the second layer 65b are bonded together to form a clad material. 66. The first layer 65a and the spacer plate 65c of the cavity plate 65 are a single metal thin plate, and the second layer 65b is a single resin thin plate. The manifold plate 65d is composed of four metal thin plates 65d1 to 65d4 that are stacked in order from the top to the bottom. The uppermost first layer 65a of the cavity plate 65 includes pressure chambers 68 formed by etching arranged in a plurality of rows, for example, two rows and on one plane. The second layer 65b has a communication hole 77 formed by laser beam irradiation, and the spacer plate 65c has an ink supply hole 78 formed by etching.
[0053]
  The ink supply holes 78 formed in the spacer plate 65 c are located outside the pressure chamber 68 in the planar direction of each layer of the cavity plate 65. The communication hole 77 formed in the second layer 65b is formed between the first layer 65a and the spacer plate 65c so as to extend in the plane direction thereof and in the extending direction of the pressure chamber 68, and one end is on the upper side. The pressure chamber 68 communicates with the other end and communicates with the lower ink supply hole 78. That is, the communication hole 77 forms a restricted flow path whose cross-sectional area is narrower than that of the pressure chamber 68 and the ink supply hole 78, and the ink flows backward from the pressure chamber 68 to the ink supply hole 78 side by the operation of the actuator plate. Is limiting.
[0054]
  The lowermost nozzle plate 70 has a plurality of nozzles 71 for ejecting ink droplets. The second layer 65b of the cavity plate 65 located between the first layer 65a of the cavity plate 65 and the nozzle plate 70, the spacer plate 65c, and the manifold plate 65d are used for communicating one end of each pressure chamber 68 with the nozzle 71. A communication hole 72 is provided. Furthermore, the upper three thin plates 65d1 to 65d3 of the manifold plate 65d have manifold flow paths 75 in the row direction corresponding to the lower rows of the pressure chambers 68. The other end of each pressure chamber 68 communicates with the manifold channel 75 via a communication hole 77 formed in the second layer 65b and an ink supply hole 78 formed in the spacer plate 65c.
[0055]
  Next, referring to FIG. 7 and FIG. 8, a method of forming the pressure chamber 68 in the first layer 65a of the clad material 66, which is a constituent member of the cavity plate 65, and the communication hole 77 in the second layer 65b, respectively. Will be described. As shown in FIGS. 7 and 8, only the first layer 65a is substantially formed on the first layer 65a of the clad material 66 in the same manner as the pressure chamber 18 is formed in the clad material 16 in the above embodiment. The portion where the resist 80 is not formed on the upper surface 65a1 is etched by the etching solution that can be etched, and the pressure chamber 68 is formed in the first layer 65a. Next, a mask 81 having a laser transmission region 81a is provided below the second layer 65b bonded to the lower side of the first layer 65a, and laser light is directed from below the mask 81 in the direction of the arrow. , The laser light passes through the laser transmission region 81a of the mask 81, and a communication hole 77 is formed in the second layer 65b. Note that the communication holes 72 are formed in the second layer 65b in the same manner as the communication holes 77 are formed.
[0056]
  In the above case, conventionally, since the groove corresponding to the communication hole 77 is formed by half etching in the first layer forming the pressure chamber or the third layer forming the ink supply hole, the depth (in FIG. There is a problem that it is difficult to increase the accuracy of the cross-sectional area of the groove. In the present embodiment, the etching process and the laser processing are separately performed on the first layer 65a of the metal thin plate and the second layer 65b of the resin thin plate in the clad material 66, and thus the same as in the previous embodiment. In addition, the pressure chamber 68 can be accurately formed by the width of the opening portion of the resist 80 and the depth corresponding to the thickness of the first layer 65a, and the communication hole 77 can be formed by the opening width of the mask 81, In addition, it can be accurately formed to a depth corresponding to the thickness of the second layer 65b. In other words, the cross-sectional area of the communication hole 77 can be ensured with high accuracy, the variation in flow resistance between the pressure chamber 68 and the ink supply hole 78 can be reduced, and the ejection performance can be made substantially uniform. The clad material 66, the spacer plate 65c, the thin plates 65d1 to 65d4 constituting the manifold plate 65d, and the nozzle plate 70 are joined by a thermosetting adhesive.
[0057]
  Furthermore, another metal thin plate is attached to the resin thin plate side of the clad material formed by bonding the metal thin plate and the resin thin plate as described above, and the cavity plate is formed using the clad material having three layers. It may be formed. Hereinafter, an ink jet head 80 including a cavity plate 85 having a clad material 86 having three layers will be described with reference to FIG. 9 to FIG. 9 is a cross-sectional view of the inkjet head 80, FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of the communication hole 97 portion, and FIG. 11 shows the pressure chamber 88 in the first layer 85a of the clad material 86. It is sectional drawing which shows the process of forming the ink supply hole 98 in the 3rd layer 85c, respectively by an etching. FIG. 12 is a cross-sectional view showing a process of forming the communication hole 97 (see FIG. 10) by irradiating the second layer 85b of the clad material 86 with laser light.
[0058]
  As shown in FIG. 9, the inkjet head 80 includes an actuator plate 75, a resin thin plate nozzle plate 90, and a cavity plate 85 in which a plurality of thin plates are stacked, and has substantially the same configuration as the inkjet head 60 described above. It has become. The cavity plate 85 is composed of a plurality of thin plate materials. Of the plurality of layers constituting the cavity plate 85, the first layer 85a is a single metal thin plate, the second layer 85b is a resin thin plate, and the third layer 85c is a metal plate. The manifold plate 85d is composed of four metal thin plates 85d1 to 85d4 that are stacked in order from the top to the bottom. The first layer 85a, the second layer 85b, and the third layer 85c are bonded together to form a three-layer clad material 86.
[0059]
  The first layer 85a of the clad material 86 having three layers includes pressure chambers 88 formed by etching arranged in a plurality of rows, for example, two rows on one plane, and the third layer 85c is described later. In order to communicate the manifold flow path 95 to the pressure chamber 88, an ink supply hole 98 formed by etching is provided. The second layer 85b has a communication hole 97 (see FIG. 10) formed by laser processing. The communication hole 97 is composed of a plurality of adjacent holes, and serves as a filter for preventing dust and the like from entering the pressure chamber 88 from the outside.
[0060]
  The lowermost nozzle plate 90 has a plurality of nozzles 91 that eject ink droplets. The second layer 85b, the third layer 85c, and the manifold plate 85d of the cavity plate 85 are each provided with a communication hole 92 for communicating one end of each pressure chamber 88 to the nozzle 91. Further, the manifold plate 85d The upper three thin plates 85d1 to 85d3 have manifold flow paths 95 in the row direction corresponding to the lower rows of the pressure chambers 88. Further, as shown in detail in FIG. 10, the other end of each pressure chamber 88 is connected to the manifold flow via an ink supply hole 98 and a communication hole 97 respectively provided in the third layer 85c and the second layer 85b. It communicates with the road 95.
[0061]
  Next, a method of forming the pressure chamber, the communication hole, and the ink supply hole in the three layers of the clad material 86 constituting the cavity plate 85 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 11, first, resists 82 and 83 are formed on the upper surface of the first layer 85a and the lower surface of the third layer 85c of the clad material 86, respectively, and etching solutions are respectively shown in the directions of the arrows in the figure. The first layer 85a and the third layer 85c are etched by spraying or the like. At this time, each thin plate is etched by an etchant that can substantially etch only itself, and a pressure chamber 88 is formed in the first layer 85a, and an ink supply hole 98 is formed in the third layer 85c. .
[0062]
  Then, as shown in FIG. 12, when a mask 84 having a laser transmission region 84a is arranged below the second layer 85b and the laser beam is irradiated from the lower side of FIG. Passes through the laser transmission region 84a of the mask 84, and a communication hole 97 (see FIG. 10) is formed in the second layer 85b. At this time, although not shown, a plurality of small through holes are formed in the laser transmission region 84a of the mask 84, and the communication holes 97, that is, the filter holes made up of the plurality of small holes are formed by the laser light that has passed through the through holes. Will be formed.
[0063]
  As described above, in the inkjet 80, the pressure chamber 88 and the ink supply hole 98 are formed by individually etching each metal thin plate constituting the cladding material 86 using the three layers of the cladding material 86 for the cavity plate 85. Since the communication hole 97 is formed by irradiating the resin thin plate constituting the clad material 86 with laser light, the accuracy in the depth direction of each can be increased. Therefore, unlike the conventional case, it is not necessary to bond the filter in which the filter hole is formed as a small separate part, and the positional deviation that has occurred at the time of bonding does not occur.
[0064]
【The invention's effect】
  As described above in detail, in the ink jet head of the invention according to claim 1, since the pressure chamber and the communication hole communicating with the clad material bonded with different materials are formed, the rigidity of the material is increased and the handling in the manufacturing process is increased. Good sex. Further, either one of the first layer and the second layer cannot be etched substantially, and the other layer is etched with a first etchant that can be etched. Since any one of the pressure chamber and the first communication hole is formed, it can be formed with higher accuracy in the depth direction as compared with half etching as in the prior art.
[0065]
  In the ink jet head of the invention according to claim 2, in addition to the effect of the invention of claim 1, the other layer is etched with a second etching solution capable of etching the other layer. And the first communication hole, the accuracy in the other depth direction, which is not formed by etching with the first etchant, can be increased.
[0066]
  In the ink jet head of the invention according to claim 3, in addition to the effect of the invention of claim 1, the other layer made of a resin material is laser processed, so that the pressure chamber and the first communication hole are Therefore, the accuracy in the depth direction of the other of the pressure chamber and the first communication hole can be increased.
[0067]
  In the ink jet head of the invention according to claim 4, in addition to the effect of the invention of any one of claims 1 to 3, a manifold plate is provided on the opposite side of the second layer from the first layer. Since they are overlapped and joined, ink can be supplied to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes.
[0068]
  In the ink jet head according to the fifth aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, the first communication hole communicates with one end of the pressure chamber. The second layer at the other end is formed with a plurality of second communication holes communicating with the pressure chambers, and the second communication holes communicate with a nozzle for ejecting ink to the outside. The ink supplied to the plurality of pressure chambers is ejected from the nozzles by the manifold plate.
[0069]
  In the ink jet head of the invention according to claim 6, in addition to the effect of the invention of claim 1, the cavity plate is formed of a three-layer clad material composed of first to third layers. In this layer, the ink supply hole communicating with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole cannot substantially etch the second layer but can etch the third layer. Since it is formed by etching with an etchant, the accuracy of the ink supply hole in the depth direction can be increased.
[0070]
  In the ink jet head of the invention according to claim 7, in addition to the effect of the invention of claim 6, the first communication hole has a plurality of small holes arranged close to each other with respect to one pressure chamber. Therefore, it is possible to reduce the probability that dust or the like entering during manufacture of the ink jet head is present in the flow path from the pressure chamber to the nozzle, and to prevent the pressure chamber and the nozzle from being blocked.
[0071]
  In the ink jet head according to the eighth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the first to fifth aspects, a plurality of first layers are provided on the opposite side of the second layer from the first layer. A spacer plate having a plurality of ink supply holes communicating with the pressure chamber of the first layer through one communication hole is overlapped and joined, and the ink supply holes are pressured in the planar direction of the first and second layers. Since the first communication hole is located outside the chamber and extends in parallel with the planar direction between the first layer and the spacer plate, the depth of the first communication hole is the thickness of the second layer. Therefore, the flow resistance between the ink supply hole and the pressure chamber can be made constant with high accuracy.
[0072]
  Further, in the ink jet head manufacturing method according to the ninth aspect of the present invention, the pressure chamber and the communication hole communicating therewith are formed in the clad material bonded with different materials, so that the rigidity of the material is increased and the handling property in the manufacturing process is improved. Good. Further, either one of the first layer and the second layer cannot be etched substantially, and the other layer is etched with a first etchant that can be etched. Since any one of the pressure chamber and the first communication hole is formed, it can be formed with higher accuracy in the depth direction as compared with half etching as in the prior art.
[0073]
  Moreover, in the manufacturing method of the ink jet head of the invention according to claim 10, in addition to the effect of the invention of claim 9, the other layer is etched with a second etching solution capable of etching the other layer. Of the pressure chamber and the first communication hole, the accuracy in the other depth direction that is not formed by etching with the first etchant can be increased.
[0074]
  In the method for manufacturing an ink jet head according to an eleventh aspect of the invention, in addition to the effect of the ninth aspect of the invention, the other layer made of a resin material is laser-processed, whereby the first communication with the pressure chamber is achieved. Since the other of the holes is formed, the accuracy in the depth direction of the other of the pressure chamber and the first communication hole can be increased.
[0075]
  According to a twelfth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the ninth to eleventh aspects, the manifold plate is disposed on the opposite side of the second layer from the first layer. In this case, the ink can be supplied to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes.
[0076]
  In the ink jet head manufacturing method according to the thirteenth aspect, in addition to the effect of the invention according to any one of the ninth to twelfth aspects, the first communication hole communicates with one end of the pressure chamber. The second layer at the other end of the pressure chamber is formed with a plurality of second communication holes that respectively communicate with the pressure chamber, and the second communication holes communicate with a nozzle for ejecting ink to the outside. Therefore, the ink supplied to the plurality of pressure chambers can be ejected from the nozzles by the manifold plate.
[0077]
  In addition, in the method of manufacturing an ink jet head according to the fourteenth aspect, in addition to the effect of the ninth aspect, the cavity plate is formed from a three-layer clad material including the first to third layers. The third layer has an ink supply hole that communicates with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole, and the third layer cannot be etched substantially. Since it is formed by etching with an etchable etchant, the accuracy of the ink supply hole in the depth direction can be increased.
[0078]
  In addition, in the ink jet head manufacturing method according to the fifteenth aspect, in addition to the effect of the fourteenth aspect, the first communication hole includes a plurality of small holes for one pressure chamber. Since they are arranged close to each other, it is possible to reduce the probability that dust or the like that enters during the manufacture of the inkjet head is present in the flow path from the pressure chamber to the nozzle, and to prevent the pressure chamber and the nozzle from being blocked.
[0079]
  In addition, in the ink jet head manufacturing method according to the sixteenth aspect, in addition to the effect of the invention according to any one of the ninth to fourteenth aspects, a plurality corresponding to the plurality of first communication holes in the second layer. A spacer plate having ink supply holes is formed, the ink supply holes are located outside the pressure chamber in the planar direction of the first and second layers, and the first communication hole is formed between the first layer and the spacer. Since the spacer plate is overlapped and joined to the opposite side of the first layer of the second layer so as to extend parallel to the planar direction between the plate and the plate, the depth of the first communication hole is the second It is ensured with high accuracy by the thickness of the layer, and the flow resistance between the ink supply hole and the pressure chamber can be made constant.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of an inkjet head 30 cut substantially parallel to the longitudinal direction of a pressure chamber.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the inkjet head 30 cut in parallel to the direction in which the pressure chambers are arranged.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a process of forming a pressure chamber 18 in the first layer 15a of the clad material 16 by etching.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a process of forming a communication hole 34 in the second layer 15b of the clad material 16 by etching.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a step of forming a communication hole 34 by irradiating the second layer 15b of the clad material 16 with a laser beam.
FIG. 6 is a cross-sectional view of an ink jet head 60 showing another embodiment.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a step of forming a pressure chamber 68 in the first layer 65a of the cavity plate 65. FIG.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a step of forming a communication hole 77 in the second layer 65b of the cavity plate 65. FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view of an inkjet head 80 showing still another embodiment.
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a communication hole 97 portion.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a process of forming a pressure chamber 88 in the first layer 85a of the cladding material 86 and an ink supply hole 98 in the third layer 85c by etching.
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a step of forming a communication hole 97 by irradiating the second layer 85b of the clad material 86 with laser light.
13 is a cross-sectional view showing a conventional inkjet head 150. FIG.
14 is a cross-sectional view showing another conventional inkjet head 160. FIG.
[Explanation of symbols]
    5 Actuator plate
  15 Cavity plate
  15a first layer
  15b second layer
  15c Manifold plate
  16 Clad material
  18 Pressure chamber
  20 Nozzle plate
  21 nozzles
  25 Manifold flow path
  34, 35, 36 communication hole
  60 Inkjet head
  65 cavity plate
  65a first layer
  65b second layer
  65c spacer plate
  66 Cladding material
  68 Pressure chamber
  77 Communication hole
  78 Ink supply hole
  80 Inkjet head
  85 cavity plate
  85a first layer
  85b second layer
  85c third layer
  86 Cladding material
  97 communication hole
  98 Ink supply hole

Claims (16)

駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティプレートとが、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように重ね合わされて接合されたインクジェットヘッドであって、
前記キャビティプレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室が形成され、
前記第１の層を挟んで前記アクチュエータプレートの反対側に位置する前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔が形成されており、
前記第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。An actuator plate driven by a drive voltage generated in the drive circuit, and a cavity plate including a clad material in which a first layer and a second layer made of different materials are integrally bonded, and the first layer is the An ink jet head that is superposed and bonded so as to be adjacent to an actuator plate,
In the first layer of the clad material constituting the cavity plate, a plurality of pressure chambers for containing ink for selectively ejecting by operation of the actuator plate are formed,
A plurality of first communication holes communicating with the respective pressure chambers are formed in the second layer located on the opposite side of the actuator plate across the first layer,
Either one of the first layer and the second layer cannot substantially etch the other layer, and is etched by a first etchant that can etch the one layer. One of the pressure chamber and the first communication hole is formed. 前記他方の層は、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との他方が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。  The other of the pressure chamber and the first communication hole is formed in the other layer by etching with a second etching solution capable of etching the other layer. Inkjet head. 前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方がレーザ加工により形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。  The inkjet head according to claim 1, wherein the other layer is a resin material, and the other of the pressure chamber and the first communication hole is formed by laser processing. 前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートが重ね合わされて接合されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェットヘッド。  On the opposite side of the second layer from the first layer, a manifold plate having a manifold channel for supplying ink to the plurality of pressure chambers via the plurality of first communication holes is overlaid. The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head is bonded. 前記第１の連通孔は前記圧力室の一端に連通しており、前記圧力室の他端の前記第２の層には、該圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、該第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェットヘッド。  The first communication hole communicates with one end of the pressure chamber, and the second layer at the other end of the pressure chamber is formed with a plurality of second communication holes respectively communicating with the pressure chamber. The inkjet head according to any one of claims 1 to 4, wherein the second communication hole communicates with a nozzle for ejecting ink to the outside. 前記キャビティープレートは、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を貼り合わせたクラッド材から形成され、
前記第３の層には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。The cavity plate is formed of a clad material in which the first and third layers are bonded together with the second layer interposed therebetween,
In the third layer, an ink supply hole communicating with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole cannot substantially etch the second layer, and the first layer The inkjet head according to claim 1, wherein the third layer is formed by etching with an etchant capable of etching. 前記第１の連通孔は、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。  The inkjet head according to claim 6, wherein the first communication hole is formed by arranging a plurality of small holes close to each other with respect to the one pressure chamber. 前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、
前記インク供給孔が、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に位置し、前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェットヘッド。On the opposite side of the second layer from the first layer is a spacer plate having a plurality of ink supply holes communicating with the pressure chambers of the first layer through the plurality of first communication holes. Superimposed and joined,
The ink supply hole is located outside the pressure chamber in the planar direction of the first and second layers, and the first communication hole is disposed between the first layer and the spacer plate in the planar direction. The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head extends in parallel with the inkjet head. 駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体的に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティープレートとを備え、前記キャビティープレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室を有し、前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔を有しており、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように前記アクチュエータプレートと前記キャビティープレートとを重ね合わせて接合するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記クラッド材の第１の層と第２の層との何れか一方の層を、他方の層を実質的にエッチングすることができず前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。An actuator plate driven by a drive voltage generated by a drive circuit; and a cavity plate including a clad material in which a first layer and a second layer made of different materials are integrally bonded, and the cavity plate The first layer of the clad material constituting the plurality of pressure chambers contains a plurality of pressure chambers for storing inks that are selectively ejected by the operation of the actuator plate, and the second layer includes the pressure chambers. And a plurality of first communication holes communicating with the actuator plate, wherein the actuator plate and the cavity plate are overlapped and joined so that the first layer is adjacent to the actuator plate. Because
Etching with one of the first layer and the second layer of the clad material using a first etchant that cannot etch the other layer substantially but can etch the one layer One of the pressure chamber and the first communication hole is formed by the method of manufacturing an ink-jet head. 前記他方の層を、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との他方を形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。  10. The inkjet head according to claim 9, wherein the other layer is formed by etching with a second etching solution capable of etching the other layer, the other of the pressure chamber and the first communication hole. Manufacturing method. 前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方をレーザ加工により形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。  The method of manufacturing an ink jet head according to claim 9, wherein the other layer is a resin material, and the other of the pressure chamber and the first communication hole is formed by laser processing. 前記キャビティープレートに前記圧力室及び第１の連通孔を形成した後、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１１の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。  After the pressure chamber and the first communication hole are formed in the cavity plate, the plurality of the plurality of first communication holes are provided on the opposite side of the second layer from the first layer. 12. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 9, wherein a manifold plate having a manifold channel for supplying ink to the pressure chamber is overlapped and joined. 前記第２の層には、前記圧力室の一端に連通する位置に前記第１の連通孔を形成し、前記圧力室の他端に各々連通する位置に複数の第２の連通孔を形成し、
前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記第２の連通孔にインクを外部に噴射するためのノズルを連通させるようにノズルプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１２の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。In the second layer, the first communication hole is formed at a position communicating with one end of the pressure chamber, and a plurality of second communication holes are formed at positions communicating with the other end of the pressure chamber. ,
A nozzle plate is overlapped and joined to the second communication hole on the side opposite to the first layer so that a nozzle for ejecting ink to the outside communicates with the second communication hole. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 9. 前記キャビティープレートを、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を一体に貼り合わせたクラッド材から形成し、
前記第３の層部分には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。The cavity plate is formed from a clad material in which the first and third layers are bonded together with the second layer interposed therebetween,
The third layer portion has an ink supply hole that communicates with the pressure chamber of the first layer through the first communication hole, and the second layer cannot be etched substantially. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 9, wherein the third layer is formed by etching with an etchable etchant. 前記第１の連通孔を、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を近接配置して形成することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。  The method of manufacturing an ink jet head according to claim 14, wherein the first communication hole is formed by arranging a plurality of small holes adjacent to the one pressure chamber. 前記第２の層の前記複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、
前記インク供給孔を、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に配置し、かつ前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びるように、前記スペーサプレートを、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 Forming a spacer plate having a plurality of ink supply holes corresponding to the plurality of first communication holes of the second layer;
The ink supply hole is disposed outside the pressure chamber in the planar direction of the first and second layers, and the first communication hole is disposed between the first layer and the spacer plate in the plane. 15. The spacer plate according to any one of claims 9 to 14, wherein the spacer plate is overlapped and bonded to the opposite side of the second layer to the first layer so as to extend in parallel with the direction. A method for manufacturing an inkjet head .
JP2001366194A 2001-11-30 2001-11-30 Ink jet head and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP3767470B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001366194A JP3767470B2 (en) 2001-11-30 2001-11-30 Ink jet head and manufacturing method thereof
US10/302,181 US20030103116A1 (en) 2001-11-30 2002-11-22 Ink-jet head and method of manufacturing the same
US10/939,249 US7076873B2 (en) 2001-11-30 2004-09-09 Method of manufacturing an ink-jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001366194A JP3767470B2 (en) 2001-11-30 2001-11-30 Ink jet head and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003165216A JP2003165216A (en) 2003-06-10
JP3767470B2 true JP3767470B2 (en) 2006-04-19

Family

ID=19176129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001366194A Expired - Fee Related JP3767470B2 (en) 2001-11-30 2001-11-30 Ink jet head and manufacturing method thereof

Country Status (2)

Country Link
US (2) US20030103116A1 (en)
JP (1) JP3767470B2 (en)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120073135A1 (en) * 2000-04-18 2012-03-29 Silverbrook Research Pty Ltd Method of forming a nozzle chamber incorporating an ink ejection paddle and nozzle chamber rim
DE10202996A1 (en) * 2002-01-26 2003-08-14 Eppendorf Ag Piezoelectrically controllable microfluidic actuators
US7266868B2 (en) 2003-06-30 2007-09-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of manufacturing liquid delivery apparatus
US7690770B2 (en) 2003-07-08 2010-04-06 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sheet-member stacked structure, lead frame, lead-frame stacked structure, sheet-member stacked and adhered structure, and ink jet printer head
JP3975979B2 (en) * 2003-07-15 2007-09-12 ブラザー工業株式会社 Method for manufacturing liquid transfer device
JP2005035013A (en) * 2003-07-15 2005-02-10 Brother Ind Ltd Process for manufacturing liquid transfer system
US7540084B2 (en) * 2004-09-30 2009-06-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method for manufacturing ink-jet heads
DE602006014051D1 (en) * 2005-04-28 2010-06-17 Brother Ind Ltd Method for producing a piezoelectric actuator
JP4911669B2 (en) * 2005-12-13 2012-04-04 富士フイルム株式会社 Piezoelectric actuator, liquid discharge head manufacturing method, liquid discharge head, and image forming apparatus
JP4581987B2 (en) * 2005-12-16 2010-11-17 ブラザー工業株式会社 Ink jet head and manufacturing method thereof
JP5047734B2 (en) * 2007-08-28 2012-10-10 株式会社リコー Method for manufacturing liquid discharge head
JP5406556B2 (en) * 2009-02-23 2014-02-05 関東化学株式会社 Etching composition for metal laminate film
JP2011207098A (en) * 2010-03-30 2011-10-20 Brother Industries Ltd Inkjet head, inkjet recorder, and method for manufacturing inkjet head
JP2012245625A (en) * 2011-05-25 2012-12-13 Seiko Epson Corp Liquid jetting head and liquid jetting apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4680595A (en) * 1985-11-06 1987-07-14 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet print head and method of making same
EP0378222B1 (en) * 1989-01-11 1995-08-23 Hitachi, Ltd. Magnetic recording medium and method of magnetically recording and reading data
IL106803A (en) * 1993-08-25 1998-02-08 Scitex Corp Ltd Ink jet print head
JP3185767B2 (en) * 1998-09-17 2001-07-11 日本電気株式会社 Ink jet recording head and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
US20050030351A1 (en) 2005-02-10
US20030103116A1 (en) 2003-06-05
JP2003165216A (en) 2003-06-10
US7076873B2 (en) 2006-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4665620B2 (en) Inkjet printer head and manufacturing method thereof
JP3767470B2 (en) Ink jet head and manufacturing method thereof
JP6402547B2 (en) Piezoelectric element, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2015150713A (en) Liquid ejection head and liquid ejection device
EP2783856B1 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2000158645A (en) Ink jet head
JP2008036988A (en) Droplet ejector and method of manufacturing the same
US10000061B2 (en) Piezoelectric device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2006116953A (en) Liquid ejecting apparatus and manufacturing method therefor
JP2008200951A (en) Channel forming body
JP2009178893A (en) Liquid transferring apparatus and method of manufacturing the same
JP2017045746A (en) Manufacturing method for bonded structure, manufacturing method for piezoelectric device and manufacturing method for liquid injection head
JP4670159B2 (en) Inkjet printer head
JP4843954B2 (en) Liquid transfer device
JP2003011356A (en) Ink jet printer head
JP4222218B2 (en) Nozzle plate, nozzle plate manufacturing method, and inkjet head manufacturing method
JP3915800B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JP3298755B2 (en) Method of manufacturing inkjet head
JPH11245406A (en) Ink-jet head
JP2014024275A (en) Liquid discharge head, and image forming apparatus
JP2003017770A (en) Piezoelectric element unit, ink-jet recording head and method of fabricating the same elements
JP2007260919A (en) Inkjet head
JP2008080517A (en) Head for liquid droplet jet device and method for manufacturing the same
JP2005319643A (en) Multilayer bonded structure of thin plate-like part
JP2017209890A (en) Inkjet recording head

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040318

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051018

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051206

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060123

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3767470

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110210

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120210

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120210

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130210

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees