JP5047734B2

JP5047734B2 - Method for manufacturing liquid discharge head

Info

Publication number: JP5047734B2
Application number: JP2007221731A
Authority: JP
Inventors: 憲一郎橋本
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2007-08-28
Filing date: 2007-08-28
Publication date: 2012-10-10
Anticipated expiration: 2027-08-28
Also published as: JP2009051145A

Description

本発明は、エネルギーを液体に作用させることによって液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to energy production how the liquid discharge heads for discharging liquid by acting on the liquid.

近年、印字速度の高速化の要請に伴ってインクジェットプリンタ等の液体吐出装置に使用される液体吐出ヘッドには吐出速度の高速化が求められており、そのための一つの対策として一つのノズルプレートに形成するノズル数を増やすことが挙げられる。ノズルピッチを同じにしつつノズル数を増やした場合にはノズル列が長くなり、その結果として液体吐出ヘッドを構成する部品も細長い形状となる。また、ノズルプレートに形成するノズルピッチを小さくしてノズルや圧力室を高密度に並べることも考えられるが、ノズルプレートを高密度に加工するにはより薄いプレート材を用いる必要がある。
特許文献１に係る液体吐出ヘッドにおいては、複数枚のプレートを積層することによりインク流路を形成したキャビティユニットが構成されている。これらのプレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、各ノズルごとに圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ各圧力室に接続するマニホールド室を有するマニホールドプレート等とから構成されている。圧力室を有するベースプレートを金属製圧延板材にて形成し、この圧延板を圧延加工する際の圧延方向を圧力室の列方向と略直交させ、且つ各圧力室の長手方向と平行状としている。これにより、凹凸条の圧延条痕の長手方向が隣接する圧力室に跨がることなくインクのリークを防止できる。 In recent years, with the demand for higher printing speeds, liquid ejection heads used in liquid ejection devices such as ink jet printers have been required to have higher ejection speeds. One example is to increase the number of nozzles to be formed. When the number of nozzles is increased while keeping the same nozzle pitch, the nozzle row becomes longer, and as a result, the parts constituting the liquid ejection head also have an elongated shape. Although it is conceivable to arrange the nozzles and pressure chambers at high density by reducing the nozzle pitch formed on the nozzle plate, it is necessary to use a thinner plate material to process the nozzle plate at high density.
In the liquid ejection head according to Patent Document 1, a cavity unit is formed in which an ink flow path is formed by stacking a plurality of plates. These plates include a nozzle plate having a plurality of nozzles, a base plate having a pressure chamber for each nozzle, a manifold plate connected to an ink supply source and having a manifold chamber connected to each pressure chamber. It is configured. A base plate having a pressure chamber is formed of a metal rolled plate material, and the rolling direction when the rolled plate is rolled is substantially orthogonal to the row direction of the pressure chambers and parallel to the longitudinal direction of each pressure chamber. Accordingly, ink leakage can be prevented without the longitudinal direction of the rolling stripes of the uneven stripes straddling adjacent pressure chambers.

しかしながら、特許文献１に係る液体吐出ヘッドでは、圧力室を有するベースプレートの圧延方向を圧力室の列方向と直交させ、且つ各圧力室の長手方向と平行状としているため、圧延加工された薄板は、圧延板の特性上、圧延方向と直交する方向の剛性が平行方向の剛性よりも小さい。スリット状の圧力室を配列したプレートは、その構成上、圧力室の長手方向と平行な方向の剛性よりも直交方向の剛性の方が小さくなる。
また、圧力室数を増やしてプレートを細長い形状にすると、圧力室の長手方向の剛性の低下が顕著になる。剛性の低下により、プレートの反りやたわみが発生しやすくなる。さらに、プレスなどの機械的工法で圧力室を形成した場合には、加工時のストレスによって、部品に反りや撓みが発生しやすい。特許文献１による構成ではそのような反りや撓みが大きくなる。また、圧力室数を増やすためには長いプレートが必要となるが、長いプレートを得るためには、幅広の圧延材が必要となる。幅広の圧延材は製造装置も大型となり、コスト高となってしまう。 However, in the liquid discharge head according to Patent Document 1, since the rolling direction of the base plate having the pressure chambers is orthogonal to the row direction of the pressure chambers and parallel to the longitudinal direction of each pressure chamber, the rolled thin plate is The rigidity in the direction orthogonal to the rolling direction is smaller than the rigidity in the parallel direction due to the characteristics of the rolled sheet. The plate in which the slit-shaped pressure chambers are arranged has a lower rigidity in the orthogonal direction than the rigidity in the direction parallel to the longitudinal direction of the pressure chamber.
Further, when the number of pressure chambers is increased and the plate is elongated, the rigidity of the pressure chamber in the longitudinal direction is significantly reduced. Due to the decrease in rigidity, the plate tends to warp or bend. Furthermore, when the pressure chamber is formed by a mechanical method such as pressing, the parts are likely to warp or bend due to stress during processing. In the configuration according to Patent Document 1, such warpage and deflection increase. Further, in order to increase the number of pressure chambers, a long plate is required, but in order to obtain a long plate, a wide rolled material is required. A wide rolled material has a large manufacturing apparatus, which increases costs.

さらにプレートの長さに応じて圧延材の幅を変えなくてはならず、この点でもコスト高を招く。また、圧力室を高密度に並べる場合には、加工上、プレートは薄いものを用いた方が好ましいが、圧力室が高密度に並んだ薄いプレートは剛性が小さくなる。この場合もプレートの反りや撓みが発生しやすくなるが、特許文献１による構成ではそのような反りや撓みが大きくなる。プレートの剛性低下、反りや撓みの発生は、製造工程でのプレートの搬送、保持、接着、アライメントにおいて、取扱い不良、精度低下等々、生産性を高め、品質を確保する上で種々の不具合をもたらす。
特許文献２には、インクジェットヘッドのノズルプレートの製造方法が開示されているが、特許文献１と同様の欠点を有している。
特開２００５−０４１０４７公報特開２００１−０６３０６７公報 Furthermore, the width of the rolled material must be changed according to the length of the plate, which also increases the cost. Further, when the pressure chambers are arranged with high density, it is preferable to use a thin plate for processing, but a thin plate with pressure chambers arranged with high density has low rigidity. In this case as well, the plate is likely to warp and bend, but in the configuration according to Patent Document 1, such warp and bend are increased. Reduced plate rigidity, warpage, and bending cause various problems in improving productivity and ensuring quality, such as poor handling and reduced accuracy in transporting, holding, bonding, and alignment of plates in the manufacturing process. .
Patent Document 2 discloses a method for manufacturing a nozzle plate of an ink jet head, but has the same drawbacks as Patent Document 1.
JP 2005-041047 A JP 2001-063067 A

本発明は上記に鑑みてなされたものであり、インクジェットプレートを構成するプレート（ノズルプレート、ベースプレート、マニホールドプレート等）の剛性の低下、反りや撓みを小さくして、長尺なプレートによって長尺な液体吐出ヘッドを製造することを可能とし、高速な液体吐出動作が可能となる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above. The plate (nozzle plate, base plate, manifold plate, etc.) constituting the ink jet plate is reduced in rigidity, warped and bent, and is elongated by a long plate. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a liquid discharge head that enables manufacturing of a liquid discharge head and enables high-speed liquid discharge operation.

上記目的を達成するため、請求項１の発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する複数のノズル口を備えたノズルプレートと、該ノズルプレートの内側面に接合されて各前記ノズル口がそれぞれ連通する複数のスリット状の圧力室が形成された圧延金属板から成る略長方形状のチャンバープレートと、前記圧力室内の液体を加圧する圧力を発生させる圧力発生手段と、を備え、スリット状の前記複数の圧力室は前記チャンバープレートの長手方向に沿って配列され、前記チャンバープレートはその圧延方向とスリット状の各前記圧力室の長手方向とが略直交し、前記チャンバープレートの長辺は前記圧延方向と略平行である液体吐出ヘッドの製造方法であり、長手方向が圧延方向と略平行である略長方形状の複数の前記圧延金属板をその圧延方向に沿ってプレス装置に順次供給し、前記プレス装置により長手方向が前記圧延方向と略直交するスリット状の空所を前記圧延方向に沿って配列されるように前記各圧延金属板を連続してプレス加工することを特徴とする。

In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid discharge head according to a first aspect of the present invention includes a nozzle plate having a plurality of nozzle openings for discharging a liquid, and each nozzle connected to an inner surface of the nozzle plate. A substantially rectangular chamber plate made of a rolled metal plate in which a plurality of slit-shaped pressure chambers each having a communication port are formed, and pressure generating means for generating pressure to pressurize the liquid in the pressure chamber, The plurality of pressure chambers are arranged along the longitudinal direction of the chamber plate, the rolling direction of the chamber plate being substantially orthogonal to the longitudinal direction of each of the slit-shaped pressure chambers, and the long side of the chamber plate is a method of manufacturing the rolling direction and the liquid ejection head is substantially parallel, substantially rectangular plurality of said rolled metal longitudinal direction is parallel rolling direction and substantially Sequentially supplied to the up-less device along its rolling direction, wherein each of rolled metal such that the longitudinal direction is arranged along the cavity slit of the rolling direction substantially perpendicular to the rolling direction by the pressing device The plate is continuously pressed .

以上のように本発明では、液体吐出ヘッドを構成する圧延金属板としての金属プレートが、圧延金属板の圧延方向と、該圧延金属板に形成された圧力室の長手方向とが略直交するように構成されているので、スリット状の圧力室を多数配列した場合、チャンバープレートの剛性は圧力室の長手方向と直交する方向が構造的に剛性が小さくなる。
本発明では、圧力室の形成により剛性が小さくなる方向を、材料として剛性の大きい方向（圧延方向）に一致させている。そのため圧力室の形成によって低下する剛性の影響を小さくすることができる。剛性を確保することによってプレートの反りや撓みも抑制することができ、プレートの搬送、保持、接合、アライメントなどでの製造上の不具合を防止することができる。 As described above, in the present invention, in the metal plate as the rolled metal plate constituting the liquid discharge head, the rolling direction of the rolled metal plate and the longitudinal direction of the pressure chamber formed in the rolled metal plate are substantially orthogonal. Therefore, when a large number of slit-shaped pressure chambers are arranged, the rigidity of the chamber plate is structurally small in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the pressure chambers.
In the present invention, the direction in which the rigidity decreases due to the formation of the pressure chamber is made to coincide with the direction in which the rigidity is large (rolling direction) as a material. Therefore, it is possible to reduce the influence of rigidity that is reduced by the formation of the pressure chamber. By ensuring the rigidity, warping and bending of the plate can also be suppressed, and manufacturing defects in transporting, holding, joining, alignment, etc. of the plate can be prevented.

本発明では、プレート外形の長辺を圧延方向と略平行としているので、細長い長尺プレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。
チャンバープレートの圧力室をプレス加工によって形成することにより、チャンバープレートの長さが多種にわたっていても、ロール方向の長さを調整するだけで、複数の幅を有した圧延金属板を用意する必要がない。特に、複数のチャンバープレートを連続して作製する場合にも、ワークの送り、位置決めを行うリニアは一軸でよく、装置コストが低く、装置の大きさも小さくてすむ。また、圧延方向に複数のチャンバープレートを連続してプレス加工するので、大量に生産する場合には特に生産性の向上が図れる。
また、材料低コスト、製造コストが低く、精度のよい本発明の液体吐出ヘッドを利用することにより、低コストで高画質な液体吐出装置が実現できる。 In the present invention, since the long side of the outer shape of the plate is substantially parallel to the rolling direction, it is possible to increase the rigidity in the long direction of the long and narrow long plate, and to reduce warpage and deflection.
By forming the pressure chamber of the chamber plate by pressing, it is necessary to prepare a rolled metal plate having a plurality of widths by adjusting the length in the roll direction even if the chamber plate has various lengths. Absent. In particular, even when a plurality of chamber plates are produced continuously, the linear for feeding and positioning the workpiece may be uniaxial, the device cost is low, and the size of the device can be small. In addition, since a plurality of chamber plates are continuously pressed in the rolling direction, productivity can be improved particularly when mass production is performed.
In addition, by using the liquid discharge head of the present invention that is low in material cost, low in manufacturing cost, and high in accuracy, a high-quality liquid discharge apparatus can be realized at low cost.

以下、本発明を図示した実施形態に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）の要部拡大縦断面図であり、図２はチャンバープレートの要部平面図である。
なお、この実施形態ではインクジェットプリンタとしての液滴吐出装置に使用する液滴吐出ヘッドを例示して説明する。
この液体吐出ヘッドは、流路ユニット１とアクチュエータユニット（圧力発生手段）２とフレーム３とを一体に固定して構成されている。
流路ユニット１は、ノズルプレート４、チャンバープレート５、及び振動板６を順次積層し、アクチュエータユニット２を構成する圧力発生手段である個々の圧電振動子７の伸縮により圧力室８を縮小、膨張させてインク滴をノズル口９から前方（図面では上方）へ吐出するように構成されている。
即ち、最前面に位置するノズルプレート４の背面側には、これと一体化されて圧力室８等を形成するチャンバープレート５が配置され、更にチャンバープレート５の背面側には振動板６が固定配置されている。 Hereinafter, the present invention will be described based on illustrated embodiments. FIG. 1 is an enlarged vertical sectional view of a main part of a liquid discharge head (liquid discharge head) according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the main part of a chamber plate.
In this embodiment, a droplet discharge head used in a droplet discharge apparatus as an ink jet printer will be described as an example.
This liquid discharge head is configured by integrally fixing a flow path unit 1, an actuator unit (pressure generating means) 2 and a frame 3.
In the flow path unit 1, a nozzle plate 4, a chamber plate 5, and a diaphragm 6 are sequentially laminated, and the pressure chamber 8 is contracted and expanded by expansion and contraction of individual piezoelectric vibrators 7 that are pressure generating means constituting the actuator unit 2. Thus, the ink droplet is ejected forward (upward in the drawing) from the nozzle port 9.
That is, on the back side of the nozzle plate 4 positioned at the forefront, a chamber plate 5 that is integrated with the nozzle plate 4 to form the pressure chamber 8 and the like is disposed, and the diaphragm 6 is fixed to the back side of the chamber plate 5. Has been placed.

ノズルプレート４には圧力室８に連通するノズル口９が所定のピッチ、所定の配置にて穿設されており、チャンバープレート５には圧力室、及び流体抵抗部１０となる空所が形成されている。振動板６は、圧電振動子７の前面に当接する凸部１２と、凸部１２の前面に連設された弾性変形可能なダイヤフラム部（可撓性板）１３と、を備え、ノズルプレート４との間で各圧力室８、流体抵抗部１０等を形成する。
また、振動板６には、フレーム３内に設けられた共通液室１１と圧力室８とを連通させる液体供給口１５が形成されている。また各共通液室１１に対面する振動板の領域（ダンパー室２３と対面する領域）にも上述のダイヤフラム部１３と同様のダイヤフラム部１４が配置されている。両ダイヤフラム部１３、１４は、一枚の可撓性板材により構成されている。 Nozzle ports 9 communicating with the pressure chamber 8 are formed in the nozzle plate 4 at a predetermined pitch and in a predetermined arrangement, and the chamber plate 5 is formed with a space for the pressure chamber and the fluid resistance portion 10. ing. The vibration plate 6 includes a convex portion 12 that comes into contact with the front surface of the piezoelectric vibrator 7, and an elastically deformable diaphragm portion (flexible plate) 13 that is connected to the front surface of the convex portion 12. The pressure chambers 8, the fluid resistance portions 10, and the like are formed therebetween.
In addition, the diaphragm 6 is formed with a liquid supply port 15 that allows the common liquid chamber 11 and the pressure chamber 8 provided in the frame 3 to communicate with each other. In addition, a diaphragm portion 14 similar to the above-described diaphragm portion 13 is also disposed in a region of the diaphragm facing each common liquid chamber 11 (region facing the damper chamber 23). Both the diaphragm parts 13 and 14 are comprised with the sheet | seat of a flexible board.

本発明の一つの特徴はチャンバープレート５の構成にある。本発明は、液体を吐出する複数のノズル口９を備えたノズルプレート４と、ノズルプレートの内側面に接合されてノズル口が連通する圧力室８を形成するスリット状の空所を備えた圧延金属板から成るチャンバープレート５と、チャンバープレートの内側面に接合されてノズルプレート４との間で圧力室８を形成する振動板６と、圧力室内の液体を加圧する圧力を発生させる圧力発生手段７と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、チャンバープレート５は、その圧延方向とスリット状の圧力室８の長手方向とが略直交している構成が特徴的である。
即ち、図２に示したチャンバープレート５は、剛性が高く、かつエッチングが可能な材料、例えばステンレス鋼を一方向に圧延した厚さ３０乃至６０μｍ程度の圧延金属板１６により構成されている。圧力室８、流体抵抗部１０、ダンパー室２３となる部分には貫通口（空所）が形成されている。 One feature of the present invention is the configuration of the chamber plate 5. The present invention is a rolling method provided with a nozzle plate 4 having a plurality of nozzle openings 9 for discharging a liquid, and a slit-like cavity that forms a pressure chamber 8 joined to the inner surface of the nozzle plate and communicating with the nozzle openings. A chamber plate 5 made of a metal plate, a diaphragm 6 joined to the inner surface of the chamber plate to form a pressure chamber 8 between the nozzle plate 4 and pressure generating means for generating pressure for pressurizing the liquid in the pressure chamber 7 is characterized in that the rolling direction of the chamber plate 5 and the longitudinal direction of the slit-shaped pressure chamber 8 are substantially orthogonal to each other.
That is, the chamber plate 5 shown in FIG. 2 is composed of a rolled metal plate 16 having a thickness of about 30 to 60 μm obtained by rolling a material having high rigidity and etching, for example, stainless steel in one direction. A through-hole (vacant space) is formed in a portion that becomes the pressure chamber 8, the fluid resistance portion 10, and the damper chamber 23.

また、チャンバープレート５の要所に貫通孔からなる位置決め孔３７が穿設されている。位置決め孔３７は他のプレートに設けた対応する位置決め孔と連通することにより各プレーと間の位置決めを行う手掛かりとなる。細長いスリット状の圧力室８は、チャンバープレート加工時の圧延方向（図中、矢印Ａの方向）に対して個々の圧力室８の長手方向が直交するようにした構成が特徴的である。スリット状の圧力室８を多数並行且つ連続的に隣接配列した場合、チャンバープレートの剛性は圧力室の長手方向と直交する方向が構造的に小さくなる。
本発明では、圧力室８の形成により剛性が小さくなる方向Ｂを、材料として剛性の大きい方向（圧延方向Ａ）に一致させている。そのため圧力室の形成によって低下するチャンバープレート５の剛性の影響を小さくすることができる。剛性を確保することによってチャンバープレートの反りや撓みも抑制することができ、チャンバープレートの搬送、保持、接合、アライメントなどでの製造上の不具合を解消することができる。 Further, a positioning hole 37 made of a through hole is formed in a main portion of the chamber plate 5. The positioning holes 37 serve as clues for positioning between the respective plays by communicating with corresponding positioning holes provided in other plates. The elongated slit-shaped pressure chamber 8 is characterized in that the longitudinal direction of each pressure chamber 8 is orthogonal to the rolling direction (the direction of arrow A in the figure) during the processing of the chamber plate. When a large number of slit-like pressure chambers 8 are arranged adjacently in parallel, the rigidity of the chamber plate is structurally reduced in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the pressure chambers.
In the present invention, the direction B in which the rigidity is reduced by the formation of the pressure chamber 8 is made coincident with the direction in which the rigidity is large (rolling direction A) as a material. Therefore, it is possible to reduce the influence of the rigidity of the chamber plate 5 that is lowered due to the formation of the pressure chamber. By ensuring rigidity, warpage and bending of the chamber plate can be suppressed, and problems in manufacturing such as conveyance, holding, joining, and alignment of the chamber plate can be solved.

圧力室８をより高密度に並べる場合、圧力室をエッチング、プレスなどの工法で作製することを考えると、加工効率、加工精度上、チャンバープレート５は薄い方が好ましい。薄い板厚のプレートを加工する場合、圧延の加工率が大きくなり、圧延方向の剛性に対する影響も大きくなる。従来のように圧力室の配置密度が低く、板厚が比較的厚い場合には、圧延方向と圧力室の長手方向との間に相互の関係が少なく、反りや撓みが問題となることはなかったが、圧力室を高密度に並べ、且つ板厚が薄くなってくると、上記問題が大きくなってくる。
本発明では、圧力室８の形成により剛性が小さくなる方向Ｂを、材料として剛性の大きい方向（圧延方向Ａ）に一致させているので、圧力室の形成によって低下する剛性の影響を小さくすることができる。 In the case where the pressure chambers 8 are arranged with higher density, considering that the pressure chambers are manufactured by a method such as etching or pressing, the chamber plate 5 is preferably thin in view of processing efficiency and processing accuracy. When processing a thin plate, the processing rate of rolling increases and the influence on the rigidity in the rolling direction also increases. When the arrangement density of the pressure chambers is low and the plate thickness is relatively thick as in the conventional case, there is little mutual relationship between the rolling direction and the longitudinal direction of the pressure chambers, and there is no problem with warping or bending. However, when the pressure chambers are arranged with high density and the plate thickness is reduced, the above problem becomes larger.
In the present invention, the direction B in which the rigidity is reduced by the formation of the pressure chamber 8 is made coincident with the direction in which the rigidity is large (rolling direction A) as a material, so that the influence of the rigidity that is reduced by the formation of the pressure chamber is reduced. Can do.

次に、このような構成を有した液体吐出ヘッドをより詳細に説明する。流路ユニット１は、例えばステンレス（ＳＵＳ）で形成したノズルプレート４とチャンバープレート５と振動板６とを接合したものである。
振動板６は、圧延金属板に対して、圧電振動子７の変位により弾性変形が可能で、インク（吐出液体）に対する耐蝕性を備えた例えばポリイミド（ＰＩ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂等の高分子フィルムを積層して構成されている。振動板６を構成する圧延金属板の要所に貫通孔からなる図示しない位置決め孔が穿設されており、ダイヤフラム部１３、１４を形成すべき領域をエッチングして圧延金属板により凸部１２を形成している。
このように構成された振動板６は、一方の面にノズルプレート４が積層されたチャンバープレート５の他方の面に対して、各凸部１２、及びダイヤフラム部１３が圧力室８に対して規定の位置となるように位置決め孔３７を用いて位置合わせして積層される。 Next, the liquid discharge head having such a configuration will be described in more detail. The flow path unit 1 is obtained by joining a nozzle plate 4, a chamber plate 5, and a diaphragm 6 made of, for example, stainless steel (SUS).
The vibrating plate 6 can be elastically deformed by the displacement of the piezoelectric vibrator 7 with respect to the rolled metal plate, and has corrosion resistance against ink (discharged liquid) such as polyimide (PI) or polyphenylene sulfide (PPS) resin. It is constructed by laminating polymer films. A positioning hole (not shown) made of a through hole is formed at a key point of the rolled metal plate constituting the diaphragm 6, and the regions where the diaphragm portions 13 and 14 are to be formed are etched so that the convex portion 12 is formed by the rolled metal plate. Forming.
In the diaphragm 6 configured in this way, each convex portion 12 and the diaphragm portion 13 are defined with respect to the pressure chamber 8 with respect to the other surface of the chamber plate 5 in which the nozzle plate 4 is laminated on one surface. The positioning holes 37 are used for alignment so that they are positioned.

ノズルプレート４に形成されたノズル口９は、圧力室８に対応して直径１０〜３０μｍの大きさで形成する。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、液体との撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティング、塗布などの周知の方法で撥水膜を形成している。
振動板６の内側（圧力室８と反対面側）には、アクチュエータユニット２が配置されており、各圧力室８に対応して圧力発生手段としての圧電振動子７を接合している。これらの振動板６と圧電振動子７によって振動板６の可動部分であるダイヤフラム部１３を変形させる圧電型アクチュエータを構成している。
この液体吐出ヘッドでは、圧電振動子７を溝加工（スリット加工）によって分断することなく形成する。また、圧電振動子７の一端面には各圧電振動子７ａに駆動波形（交番電流）を与えるためのＦＰＣケーブル２０を接続している。
なお、圧電振動子７の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて圧力室８内の液体を加圧する構成とすることも、圧電振動子の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて圧力室内の液体を加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。 The nozzle port 9 formed in the nozzle plate 4 is formed with a diameter of 10 to 30 μm corresponding to the pressure chamber 8. In addition, a water-repellent film is formed on the nozzle surface (surface in the ejection direction: ejection surface) by a known method such as plating film, water-repellent agent coating, or coating to ensure water repellency with the liquid. .
The actuator unit 2 is arranged inside the diaphragm 6 (on the side opposite to the pressure chamber 8), and a piezoelectric vibrator 7 as a pressure generating unit is joined to each pressure chamber 8. The diaphragm 6 and the piezoelectric vibrator 7 constitute a piezoelectric actuator that deforms the diaphragm portion 13 that is a movable part of the diaphragm 6.
In this liquid discharge head, the piezoelectric vibrator 7 is formed without being divided by groove processing (slit processing). Further, an FPC cable 20 for applying a driving waveform (alternating current) to each piezoelectric vibrator 7 a is connected to one end face of the piezoelectric vibrator 7.
It should be noted that the liquid in the pressure chamber 8 may be pressurized using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric vibrator 7, or the liquid in the pressure chamber using the displacement in the d31 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric vibrator. It can also be set as the structure which pressurizes. In the present embodiment, a configuration using displacement in the d33 direction is adopted.

ベース部材２１は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材２１の材質（材料）が金属であれば、その放熱性を利用して圧電振動子７の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電振動子７とベース部材２１は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電振動子７の自己発熱により１００℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。
また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、液体温度が上昇するが、液体の温度が上昇すると、液体粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材２１を金属材料で形成して圧電振動子７の自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、液体粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる。
また、ＦＰＣケーブル２０には各チャンネル（各圧力室８に対応する）を駆動する駆動波形（電気信号）を印加するためのドライバＩＣ２２を複数搭載している。 The base member 21 is preferably formed of a metal material. If the material (material) of the base member 21 is a metal, heat storage due to self-heating of the piezoelectric vibrator 7 can be prevented by utilizing the heat dissipation property. The piezoelectric vibrator 7 and the base member 21 are bonded and bonded with an adhesive. However, when the number of channels increases, the temperature rises to near 100 ° C. due to self-heating of the piezoelectric vibrator 7 and the bonding strength is significantly reduced. Become.
In addition, the temperature inside the head increases due to self-heating, and the liquid temperature rises. However, when the temperature of the liquid rises, the liquid viscosity decreases and the ejection characteristics are greatly affected. Therefore, by forming the base member 21 with a metal material and preventing heat storage due to self-heating of the piezoelectric vibrator 7, it is possible to prevent deterioration in jetting characteristics due to a decrease in bonding strength and a decrease in liquid viscosity.
The FPC cable 20 includes a plurality of driver ICs 22 for applying drive waveforms (electric signals) for driving each channel (corresponding to each pressure chamber 8).

さらに、振動板６の背面側外周にはアクチュエータユニット２を構成する圧電振動子７を包囲するようにフレーム３を接着剤で接合している。このフレーム３内には、ドライバＩＣ２２と少なくともベース部材２１を挟んで反対側に配置されるように、圧力室８に外部から液体を供給するための共通液室１１を形成している。この共通液室１１は、振動板６の液体供給口１５を介して流体抵抗部１０及び圧力室８に連通している。
チャンバープレート５に形成されたダンパー室２３は、ノズルプレート４と振動板６の一部であるダイヤフラム部１４とによって密封されており、ダンパー室２３は、ダイヤフラム部１４を介して共通液室１１と対面している。ダンパー室２３は、ノズルからの液体吐出によって共通液室１１内に発生する圧力波を減衰させ、液体吐出を安定させる役割を果たす。
圧電振動子７は、圧電層（圧電材料層）２４の内部に内部電極２５Ａ及び内部電極２５Ｂとを交互に積層し、両端面に共通側外部電極２６と個別側外部電極２７とを設けた状態で、スリット加工（溝加工）を施して図示しない溝を入れることにより、複数の圧電素子を形成している。 Further, the frame 3 is joined to the outer periphery on the back side of the diaphragm 6 with an adhesive so as to surround the piezoelectric vibrator 7 constituting the actuator unit 2. A common liquid chamber 11 for supplying liquid from the outside to the pressure chamber 8 is formed in the frame 3 so as to be disposed on the opposite side of the driver IC 22 and at least the base member 21. The common liquid chamber 11 communicates with the fluid resistance unit 10 and the pressure chamber 8 through the liquid supply port 15 of the diaphragm 6.
The damper chamber 23 formed in the chamber plate 5 is sealed by the nozzle plate 4 and a diaphragm portion 14 which is a part of the diaphragm 6, and the damper chamber 23 is connected to the common liquid chamber 11 via the diaphragm portion 14. Face to face. The damper chamber 23 plays a role of attenuating the pressure wave generated in the common liquid chamber 11 by the liquid discharge from the nozzle and stabilizing the liquid discharge.
In the piezoelectric vibrator 7, the internal electrodes 25 </ b> A and the internal electrodes 25 </ b> B are alternately stacked inside the piezoelectric layer (piezoelectric material layer) 24, and the common side external electrode 26 and the individual side external electrode 27 are provided on both end faces. Thus, a plurality of piezoelectric elements are formed by performing slit processing (groove processing) and inserting grooves (not shown).

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、圧電振動子７の駆動部（圧電素子）に対して選択的に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された駆動部が積層方向に伸びてダイヤフラム部１３、１４をノズル口９方向に変形させ、圧力室８の容積／体積変化によって圧力室８内の液体が加圧され、ノズル口９から液滴が吐出（噴射）される。
液滴の吐出に伴って圧力室８内の液圧力が低下し、このときの液流れの慣性によって圧力室８内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電振動子７への電圧の印加をオフ状態にすることによって、ダイヤフラム１３、１４が元の位置に戻って圧力室８が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、液体貯留室と連通した液供給路２９から共通液室１１、流体抵抗部１０を経て圧力室８内に液体が充填される。そこで、ノズル口９のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のために圧電振動子７ａにパルス電圧を印加し液滴を吐出させる。
なお、ここでは、押し打ちで液滴を吐出させる方式で説明したが、引き打ちや、引き−押し打ちで液滴を吐出させる方式とすることもでき、これらは駆動波形によって任意に選択設定することができる。 In the liquid discharge head configured as described above, the drive unit to which the pulse voltage is applied is selectively applied by applying a drive pulse voltage of 20 to 50 V to the drive unit (piezoelectric element) of the piezoelectric vibrator 7. Extending in the stacking direction and deforming the diaphragm parts 13 and 14 toward the nozzle port 9, the liquid in the pressure chamber 8 is pressurized by the volume / volume change of the pressure chamber 8, and droplets are ejected (jetted) from the nozzle port 9. Is done.
As the liquid droplets are ejected, the liquid pressure in the pressure chamber 8 decreases, and a slight negative pressure is generated in the pressure chamber 8 due to the inertia of the liquid flow at this time. Under this state, the application of voltage to the piezoelectric vibrator 7 is turned off, so that the diaphragms 13 and 14 return to their original positions and the pressure chamber 8 becomes the original shape. To do. At this time, the liquid is filled into the pressure chamber 8 from the liquid supply path 29 communicating with the liquid storage chamber via the common liquid chamber 11 and the fluid resistance portion 10. Therefore, after the vibration of the meniscus surface of the nozzle opening 9 is attenuated and stabilized, a pulse voltage is applied to the piezoelectric vibrator 7a to discharge the droplet for the next droplet discharge.
Here, the method of ejecting droplets by pushing is described, but a method of ejecting droplets by drawing or drawing-pushing can also be used, and these are arbitrarily selected and set according to the driving waveform. be able to.

次に、図３は本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置を構成するチャンバープレート５の構成を示す平面図である。
このようにチャンバープレート５に細長いスリット状の圧力室８を多数並べて、ノズル数を増やすことにより高速化を実現することができる。その場合、図３に示すように、チャンバープレート５の全体形状は圧力室の配列方向Ａに沿って細長い形状となる。
本発明ではプレート外形の長辺を、圧延方向Ａと略平行としている点が特徴的である。圧延板の剛性は、圧延方向に平行方向は、圧延方向と直交する方向よりも剛性が大きい。長尺化に伴いプレート部品の反りや撓みが問題となってくるが、本発明では、プレート外形の長辺を圧延方向Ａと略平行としているので、細長い長尺プレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。 Next, FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the liquid ejection head and the chamber plate 5 constituting the liquid ejection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
In this way, it is possible to increase the speed by arranging a large number of elongated slit-like pressure chambers 8 on the chamber plate 5 and increasing the number of nozzles. In that case, as shown in FIG. 3, the overall shape of the chamber plate 5 is an elongated shape along the arrangement direction A of the pressure chambers.
The present invention is characterized in that the long side of the outer shape of the plate is substantially parallel to the rolling direction A. As for the rigidity of the rolled sheet, the rigidity in the direction parallel to the rolling direction is larger than the direction orthogonal to the rolling direction. Although the warpage and bending of the plate parts become a problem with increasing the length, in the present invention, since the long side of the plate outer shape is substantially parallel to the rolling direction A, the rigidity in the long direction of the long and narrow plate is increased. It can be increased and warpage and deflection can be reduced.

次に、チャンバープレートの製造方法を図４（１）乃至（５）に基づいて説明する。
まず、工程（１）では、基材となる厚さ４０μｍの板材３０（ＳＵＳ材）の両面にディッピングによりレジスト３１を塗布し、ベーク乾燥する。
工程（２）では、アライメントされた圧力室、流体抵抗などのパターンが形成された２枚のマスク３２間に板材３０を挟み込み、両面から露光する。これにより、マスク３２の開口から露出したレジスト３１が露光する。
工程（３）では、現像により露光部分のレジスト３１を開口する。
工程（４）では、エッチング液をスプレーによって噴射して、レジスト開口部分の板材３０をエッチングすることによって、圧力室、流体抵抗などの貫通パターンが形成される。高密度に配列されたパターンを形成する場合、両面からのエッチングが有効である。
工程（５）では、レジスト３１を剥離液で除去する。大判シートあるいはロール状態で工程を流していた場合には、この後に各チップに分割する。
以上のようにエッチング加工により圧力室８、流体抵抗部１０の各パターンが形成されたチャンバープレート５が作製できる。ここで、圧延方向に対して直交する方向が、個々の圧力室８の長手方向となるように形成し、プレート外形の長辺を、圧延方向と略平行としているので、細長い長尺チャンバープレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。 Next, a method for manufacturing the chamber plate will be described with reference to FIGS.
First, in step (1), a resist 31 is applied by dipping on both sides of a plate material 30 (SUS material) having a thickness of 40 μm serving as a base material, followed by baking and drying.
In step (2), the plate 30 is sandwiched between two masks 32 on which patterns such as aligned pressure chambers and fluid resistance are formed, and exposure is performed from both sides. Thereby, the resist 31 exposed from the opening of the mask 32 is exposed.
In step (3), the exposed portion of the resist 31 is opened by development.
In the step (4), an etching solution is sprayed to etch the plate material 30 in the resist opening portion, thereby forming a penetrating pattern such as a pressure chamber and fluid resistance. When forming a pattern arranged at high density, etching from both sides is effective.
In step (5), the resist 31 is removed with a stripping solution. If the process is run in a large sheet or roll, it is divided into chips thereafter.
As described above, the chamber plate 5 in which the patterns of the pressure chamber 8 and the fluid resistance portion 10 are formed by etching can be manufactured. Here, the direction perpendicular to the rolling direction is formed to be the longitudinal direction of each pressure chamber 8 and the long side of the outer shape of the plate is substantially parallel to the rolling direction. The rigidity in the longitudinal direction can be increased, and warpage and deflection can be reduced.

次に、チャンバープレートの別の製造方法を図５に基づいて説明する。図５（ａ）はプレス装置の模式図、図５（ｂ）はプレス装置のパンチ周辺の断面模式図である。
このプレス装置は、上面にワークとなる板材３０を支持して矢印方向Ｃに移動させるダイ３４と、ダイ３４に設けた穴３４ａ内に上方から押し込まれて先端の刃部で板材３０を切断、打ち抜きするパンチ３３と、パンチによる打ち抜き時に板材３０をダイ３４との間で押さえ込むストリッパー３５と、を概略備えている。
ＳＵＳなどの圧延金属板３０は矢印Ｃ方向にリニアで精度良く送られる。所定位置でストリッパー３５が降下して板材をダイ３４とで挟んで固定し、パンチ３３が降下して板材３０を打ち抜く。打ち抜かれたカス３６は下に落下する。パンチ３３、ダイ３４、ストリッパー３５は圧力室、流体抵抗等を構成する空所に対応した形状になっている。ここで圧延金属板３０の圧延方向は矢印Ａ方向になっている。
図２、図３の場合と同様に圧延方向Ａに対して直交する方向Ｂが、個々の圧力室８の長手方向となるように形成し、プレート外形の長辺を、圧延方向と略平行としているので、細長い長尺チャンバープレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。特にプレスで加工した場合、圧延金属板に加工時の応力が発生しやすく、完成したチャンバープレートに反りや撓みが発生しやすいが、本発明の構成によれば、長尺方向の剛性が大きいために反りや撓みを小さくすることができる。 Next, another method for manufacturing the chamber plate will be described with reference to FIG. FIG. 5A is a schematic diagram of the press device, and FIG. 5B is a schematic cross-sectional view around the punch of the press device.
This press device supports a plate material 30 that is a workpiece on the upper surface and is moved from the upper side into a hole 34a provided in the die 34 to move the plate material 30 in the direction of arrow C, and the plate material 30 is cut with a blade portion at the tip. A punch 33 for punching and a stripper 35 for pressing the plate 30 between the die 34 when punching is provided.
Rolled metal plate 30 such as SUS is fed in the direction of arrow C in a linear and accurate manner. At a predetermined position, the stripper 35 is lowered and the plate material is sandwiched and fixed by the die 34, and the punch 33 is lowered and the plate material 30 is punched out. The punched punch 36 falls down. The punch 33, the die 34, and the stripper 35 have shapes corresponding to voids that constitute a pressure chamber, fluid resistance, and the like. Here, the rolling direction of the rolled metal plate 30 is the direction of arrow A.
As in the case of FIGS. 2 and 3, the direction B perpendicular to the rolling direction A is formed to be the longitudinal direction of each pressure chamber 8, and the long side of the outer shape of the plate is substantially parallel to the rolling direction. Therefore, the rigidity in the longitudinal direction of the elongated long chamber plate can be increased, and the warpage and the deflection can be reduced. Especially when processed with a press, the rolled metal plate is likely to be stressed during processing, and the finished chamber plate is likely to warp and bend, but according to the configuration of the present invention, the rigidity in the longitudinal direction is large. Warpage and deflection can be reduced.

一般的に圧延金属板３０は圧延方向Ａに長いロールとなっている。圧力室８の長手方向を圧延方向と平行とした場合、圧力室の配列方向はロールの幅方向となる。圧力室８を多数並べた長尺なチャンバープレートを作製する場合、チャンバープレートの長さに応じたロール幅が必要となるためロール幅が大きくなる。ロール幅が大きくなると、圧延装置、焼鈍装置などの圧延板を製造する装置としても大型のものが必要となり、コスト高となってしまう。
製品のラインナップのためにノズル数の少ない低価格機、ノズル数の多い高速機などを製造する場合、各機種に応じてチャンバープレートの長さが変わってくる。圧力室の長手方向を圧延方向と平行とした場合には、チャンバープレートの長さに応じた複数の幅の圧延金属板を準備する必要がある。
これに対して、本発明のように圧延方向Ａに対して直交する方向が個々の圧力室８の長手方向となるように形成する（圧力室の配列方向をロールの長手方向と一致させる）ことによって、チャンバープレートの長さが多種にわたっていても、ロール方向の長さを調整するだけで、圧延金属板は複数の幅を用意する必要がない。
さらに、複数の圧延金属板をプレス装置に供給して連続してプレス加工することによってチャンバープレートを連続して製造することもでき、大量に生産する必要がある場合には特に生産性の向上が図れる。 In general, the rolled metal plate 30 is a long roll in the rolling direction A. When the longitudinal direction of the pressure chambers 8 is parallel to the rolling direction, the arrangement direction of the pressure chambers is the roll width direction. When producing a long chamber plate in which a large number of pressure chambers 8 are arranged, a roll width corresponding to the length of the chamber plate is required, so that the roll width is increased. When the roll width becomes large, a large-sized device is required as a device for producing a rolled plate such as a rolling device or an annealing device, resulting in an increase in cost.
When manufacturing a low-priced machine with a small number of nozzles or a high-speed machine with a large number of nozzles for the product lineup, the length of the chamber plate varies depending on each model. When the longitudinal direction of the pressure chamber is parallel to the rolling direction, it is necessary to prepare a rolled metal plate having a plurality of widths according to the length of the chamber plate.
On the other hand, as in the present invention, the direction perpendicular to the rolling direction A is formed to be the longitudinal direction of the individual pressure chambers 8 (the arrangement direction of the pressure chambers is matched with the longitudinal direction of the rolls). Therefore, even if the chamber plate has various lengths, it is not necessary to prepare a plurality of widths for the rolled metal plate only by adjusting the length in the roll direction.
Furthermore, a chamber plate can be manufactured continuously by supplying a plurality of rolled metal plates to a pressing device and continuously pressing them, which improves productivity especially when it is necessary to produce in large quantities. I can plan.

また、従来のように圧力室８の長手方向を圧延方向Ａと平行とした場合には、複数のチャンバープレートを連続して作製するには、圧力室並びに送る方向のリニアと、次のチャンバープレートに送る方向リニアの二軸のリニアが必要となり、装置コストが高く、大型の装置となってしまう。一方、本発明のように個々の圧力室８の長手方向を圧延方向Ａと直交する方向となるように構成することによって、複数のチャンバープレートを連続して作製する場合にも、ワークの送り、位置決めを行うリニアは一軸でよく、装置コストが低く、装置の大きさも小さくて済むこととなる。
なお、図５には、図３に示されている位置決め孔３７やダンパー室２３などが省略されているが、これらの形状に対応したパンチとダイもプレス装置に備えることによって、位置決め孔やダンパー室を形成できることは言うまでもない。 Further, when the longitudinal direction of the pressure chamber 8 is made parallel to the rolling direction A as in the prior art, in order to continuously produce a plurality of chamber plates, the linearity of the pressure chamber and the feeding direction, and the next chamber plate A linear biaxial linear is required, which leads to a high device cost and a large device. On the other hand, by configuring the longitudinal direction of each pressure chamber 8 to be a direction orthogonal to the rolling direction A as in the present invention, even when a plurality of chamber plates are continuously produced, the workpiece feed, The linear for positioning may be one axis, and the apparatus cost is low and the size of the apparatus is small.
In FIG. 5, the positioning hole 37 and the damper chamber 23 shown in FIG. 3 are omitted, but the punch and die corresponding to these shapes are also provided in the press device, so that the positioning hole and the damper are provided. It goes without saying that chambers can be formed.

次に、図６は本発明の他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す縦断面図である。
図１の実施形態に係る液体吐出ヘッドでは、振動板６、チャンバープレート５、ノズルプレート４を積層することによって流路ユニット１を構成していたが、本実施形態では、図６に示すように、振動板６、チャンバープレート５、リストリクタプレート３８、ノズルプレート４によって流路ユニット１を構成している。
図７はチャンバープレート５とリストリクタプレート３８の要部平面図であり、何れもほぼ同形状、同寸法、同配置で、圧力室８となるスリット８を有している。各プレートを重ねた時に各スリット８は整合状態で連通した状態となる。リストリクタプレート３８側のスリット８には流体抵抗部１０が設けられている。
圧力室８を狭ピッチで配列することによる高密度化実現のためには、製造方法としてエッチングを採用するか、或いはプレスを採用するかに関わらず、工法上、圧延金属板の板厚は薄い方が好ましいが、板厚が薄くなると圧力室８の高さが低くなり、圧力室の流体抵抗値が大きくなる。その結果、液吐出周波数を大きくしてゆくと液の供給が液吐出に追いつかなくなり吐出不良が生じる。 Next, FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a liquid discharge head according to another embodiment of the present invention.
In the liquid discharge head according to the embodiment of FIG. 1, the flow path unit 1 is configured by laminating the diaphragm 6, the chamber plate 5, and the nozzle plate 4, but in this embodiment, as shown in FIG. 6. The flow path unit 1 is constituted by the diaphragm 6, the chamber plate 5, the restrictor plate 38, and the nozzle plate 4.
FIG. 7 is a plan view of the main part of the chamber plate 5 and the restrictor plate 38, all having substantially the same shape, the same size, and the same arrangement, and a slit 8 serving as the pressure chamber 8. When the plates are stacked, the slits 8 are in communication in an aligned state. A fluid resistance portion 10 is provided in the slit 8 on the restrictor plate 38 side.
In order to achieve high density by arranging the pressure chambers 8 at a narrow pitch, regardless of whether etching is employed as a manufacturing method or a press is employed, the thickness of the rolled metal plate is thin due to the construction method. However, when the plate thickness is reduced, the height of the pressure chamber 8 is decreased, and the fluid resistance value of the pressure chamber is increased. As a result, when the liquid discharge frequency is increased, the liquid supply cannot catch up with the liquid discharge, resulting in a discharge failure.

本実施形態では図７に示すようにチャンバープレート５に対してリストリクタプレート３８を積層することにより十分な高さを備えた圧力室８を構成している。例えば、チャンバープレート５とリストリクタプレート３８として厚さが４０μｍのものを用いた場合、圧力室８の高さは８０μｍとなる。また振動板６の流体抵抗部１０に対応するダイヤフラム位置には、チャンバープレート５が接合接着されているので、ダイヤフラム部の大きなコンプライアンスによる圧力損失が小さくなり、より高効率の液吐出、より高周波数の液吐出が可能となる。
本実施形態においても、チャンバープレート５とリストリクタプレート３８は個々の圧力室８の長手方向Ｂが圧延方向Ａと直交する方向となるように形成し、プレート外形の長辺を圧延方向と略平行としているので、細長い長尺チャンバープレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。
次に、各実施形態では圧電振動子７をｄ３３方向へ変位させる例を示したが、ｄ３１方向の変位を用いることも可能である。 In the present embodiment, as shown in FIG. 7, the pressure chamber 8 having a sufficient height is configured by stacking the restrictor plate 38 on the chamber plate 5. For example, when the chamber plate 5 and the restrictor plate 38 having a thickness of 40 μm are used, the height of the pressure chamber 8 is 80 μm. In addition, since the chamber plate 5 is bonded and bonded to the diaphragm position corresponding to the fluid resistance portion 10 of the diaphragm 6, pressure loss due to large compliance of the diaphragm portion is reduced, more efficient liquid discharge, and higher frequency. Can be discharged.
Also in this embodiment, the chamber plate 5 and the restrictor plate 38 are formed so that the longitudinal direction B of each pressure chamber 8 is perpendicular to the rolling direction A, and the long side of the outer shape of the plate is substantially parallel to the rolling direction. Therefore, the rigidity in the longitudinal direction of the elongated long chamber plate can be increased, and warping and bending can be reduced.
Next, in each embodiment, an example in which the piezoelectric vibrator 7 is displaced in the d33 direction has been shown, but a displacement in the d31 direction can also be used.

図８は圧電振動子７をｄ３１方向へ変位させる場合の液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。振動板６より上部の構成は図１の実施形態に示した構成と同じである。ベース部材２１はセラミックスなどの絶縁性材料からなり、片面には薄膜電極３９が形成されており、ベース部材２１の薄膜電極３９形成面に圧電振動子７が接着剤または半田などでろう付け接合されている。
この際、治具などを用いてベース部材２１のエッジと圧電振動子７が平行となるように位置合わせされる。ダイシングあるいはワイヤーソーなどを用いて、圧電振動子７とベース部材２１上の薄膜電極３９を同時に切断し、等ピッチで並ぶ個別圧電振動子を形成するとともに、薄膜電極３９をも分割して各個別圧電振動子ごとの引き出し電極を設ける。引き出し電極にＦＰＣ２０を半田やＡＣＦなどによって接合する。
上述の実施形態においては、圧力室列を２列としたものを一例として説明したが、圧力室列数は２列に限らず１列、或いは４列、６列等々にも適用することができ、多列のものであっても本発明は有効である。
なお、上記各実施形態においては、圧延金属板としてステンレス（ＳＵＳ）鋼を使用した例を示したが、圧延加工及びエッチングが可能で、しかも接着性が高い他の金属、例えば銅、ニッケル、鉄を使用してもよく、同様の効果を得ることができる。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of the liquid ejection head when the piezoelectric vibrator 7 is displaced in the d31 direction. The configuration above the diaphragm 6 is the same as the configuration shown in the embodiment of FIG. The base member 21 is made of an insulating material such as ceramics, and a thin film electrode 39 is formed on one surface, and the piezoelectric vibrator 7 is brazed and bonded to the surface of the base member 21 on which the thin film electrode 39 is formed with an adhesive or solder. ing.
At this time, the edge of the base member 21 and the piezoelectric vibrator 7 are aligned using a jig or the like. Using a dicing or wire saw, the piezoelectric vibrator 7 and the thin film electrode 39 on the base member 21 are simultaneously cut to form individual piezoelectric vibrators arranged at an equal pitch, and the thin film electrode 39 is also divided into individual pieces. A lead electrode is provided for each piezoelectric vibrator. The FPC 20 is joined to the extraction electrode with solder or ACF.
In the above-described embodiment, the case where the pressure chamber rows are two rows has been described as an example. However, the number of pressure chamber rows is not limited to two rows, but can be applied to one row, four rows, six rows, and the like. The present invention is effective even in a multi-row configuration.
In each of the above-described embodiments, an example in which stainless steel (SUS) steel is used as the rolled metal plate has been shown. However, other metals that can be rolled and etched and have high adhesion, such as copper, nickel, and iron. The same effect can be obtained.

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置（液体吐出装置）の一例について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同記録装置の斜視説明図、図１０は同記録装置の機構部の側面説明図である。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。 Next, an example of an ink jet recording apparatus (liquid ejection apparatus) equipped with the liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is an explanatory perspective view of the recording apparatus, and FIG. 10 is an explanatory side view of a mechanism portion of the recording apparatus.
The ink jet recording apparatus includes a carriage that can move in the main scanning direction inside the recording apparatus main body 81, a liquid discharge head that is an ink jet head that implements the present invention mounted on the carriage, an ink cartridge that supplies ink to the liquid discharge head, and the like. A sheet feeding cassette (or a sheet feeding tray) 84 on which a large number of sheets 83 can be stacked from the front side is detachable in the lower portion of the apparatus main body 81. The manual feed tray 85 for manually feeding the paper 83 can be opened, the paper 83 fed from the paper feed cassette 84 or the manual feed tray 85 is taken in, and the printing mechanism section After a required image is recorded by 82, it is discharged to a discharge tray 86 mounted on the rear side.

印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（図１０の紙面直交方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
インクカートリッジ６５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド６４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
ここで、キャリッジ６３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。 The printing mechanism 82 holds the carriage 93 slidably in the main scanning direction (in the direction perpendicular to the plane of FIG. 10) with a main guide rod 91 and a sub guide rod 92 which are guide members horizontally mounted on left and right side plates (not shown). The carriage 93 is provided with a plurality of ink discharge ports including a head 94 formed of an ink jet head according to the present invention that discharges ink droplets of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk). (Nozzles) are arranged in a direction crossing the main scanning direction, and are mounted with the ink droplet ejection direction facing downward.
In addition, each ink cartridge 95 for supplying ink of each color to the head 94 is replaceably mounted on the carriage 93.
The ink cartridge 65 has an air opening communicating with the atmosphere upward, a supply opening supplying ink to the inkjet head below, and a porous body filled with ink inside, and the capillary force of the porous body. Thus, the ink supplied to the inkjet head is maintained at a slight negative pressure. Further, although the heads 64 of the respective colors are used here as the recording heads, a single head having nozzles for ejecting ink droplets of the respective colors may be used.
Here, the carriage 63 is slidably fitted on the main guide rod 91 on the rear side (downstream side in the paper conveyance direction), and is slidably mounted on the sub guide rod 92 on the front side (upstream side in the paper conveyance direction). is doing. In order to move and scan the carriage 93 in the main scanning direction, a timing belt 100 is stretched between a driving pulley 98 and a driven pulley 99 that are rotationally driven by a main scanning motor 97, and the timing belt 100 is moved to the carriage 93. The carriage 93 is driven to reciprocate by forward and reverse rotation of the main scanning motor 97.

一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。 On the other hand, in order to convey the paper 83 set in the paper feed cassette 84 to the lower side of the head 94, the paper feed roller 101 and the friction pad 102 for separating and feeding the paper 83 from the paper feed cassette 84 and the paper 83 are guided. A guide member 103, a transport roller 104 that reverses and transports the fed paper 83, a transport roller 105 that is pressed against the peripheral surface of the transport roller 104, and a leading end that defines a feed angle of the paper 83 from the transport roller 104 A roller 106 is provided. The transport roller 134 is driven to rotate by a sub-scanning motor 107 through a gear train.
A printing receiving member 109 is provided as a paper guide member that guides the paper 83 sent from the transport roller 104 below the recording head 94 in accordance with the movement range of the carriage 93 in the main scanning direction. A conveyance roller 111 and a spur 112 that are rotationally driven to send the paper 83 in the paper discharge direction are provided on the downstream side of the printing receiving member 109 in the paper conveyance direction, and the paper 83 is further delivered to the paper discharge tray 86. A roller 113 and a spur 114, and guide members 115 and 116 that form a paper discharge path are disposed.
At the time of recording, the recording head 94 is driven according to the image signal while moving the carriage 93, thereby ejecting ink onto the stopped sheet 83 to record one line. Record the line. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the paper 83 has reached the recording area, the recording operation is terminated and the paper 83 is discharged.

また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。
キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。 Further, a recovery device 117 for recovering defective ejection of the head 94 is disposed at a position outside the recording area on the right end side in the movement direction of the carriage 93. The recovery device 117 includes a cap unit, a suction unit, and a cleaning unit.
The carriage 93 is moved to the recovery device 117 side during printing standby and the head 94 is capped by the capping means, and the ejection port portion is kept in a wet state to prevent ejection failure due to ink drying. Further, by ejecting ink that is not related to recording during recording or the like, the ink viscosity of all the ejection ports is made constant and stable ejection performance is maintained. When a discharge failure occurs, the discharge port (nozzle) of the head 94 is sealed with a capping unit, and bubbles and the like are sucked out from the discharge port with the suction unit through the tube. Is removed by the cleaning means to recover the ejection failure. Further, the sucked ink is discharged to a waste ink reservoir (not shown) installed at the lower part of the main body and absorbed and held by an ink absorber inside the waste ink reservoir.

次に、図１１は、インクジェット記録装置の他の構成例を示す模式的要部斜視図である。この液体吐出装置は、ノズル配列方向が用紙Ｐの送り方向に対して略直交しており、用紙の記録可能領域の全幅にわたって複数の吐出口が配された、いわゆるフルラインヘッド１２０を有している。フルラインヘッド１２０は、搬送ドラム１２１による用紙Ｐの搬送経路上に搬送経路を横切るように配置されており、用紙Ｐの記録可能領域の全幅に一括して記録を行うことができる。フルライン型インクジェット記録装置の液体吐出ヘッドはとくに長尺のものが必要とされ、長尺なチャンバープレートに対して、本発明は特に有効である。
本発明の液体吐出ヘッドは、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対して記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用することができる。 Next, FIG. 11 is a schematic perspective view of a main part showing another configuration example of the ink jet recording apparatus. This liquid ejection apparatus has a so-called full-line head 120 in which the nozzle arrangement direction is substantially orthogonal to the feeding direction of the paper P and a plurality of ejection ports are arranged over the entire width of the recordable area of the paper. Yes. The full line head 120 is disposed on the transport path of the paper P by the transport drum 121 so as to cross the transport path, and can record all over the entire width of the recordable area of the paper P. The liquid discharge head of the full-line type ink jet recording apparatus requires a particularly long one, and the present invention is particularly effective for a long chamber plate.
The liquid discharge head of the present invention is a printer, a copying machine, a facsimile having a communication system, a printer for performing recording on a recording medium such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. The present invention can be applied to an apparatus such as a word processor having a section, and an industrial recording apparatus combined with various processing apparatuses.

なお、本発明における「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対してインク等の液体を付与することだけでなく、全面あるいはパターン等の意味を持たない画像を被記録媒体に付与することをも意味し、画像形成、印写、印字、印刷も同義語で使用するものである。
以上のように本発明の液体吐出ヘッドは、液体吐出ヘッドを構成する圧延金属板としての金属プレートが、圧延金属板の圧延方向と、該圧延金属板に形成された圧力室の長手方向とが略直交するように構成されているので、スリット状の圧力室８を多数配列した場合、チャンバープレートの剛性は圧力室の長手方向と直交する方向が構造的に剛性が小さくなる。
本発明では、圧力室の形成により剛性が小さくなる方向を、材料として剛性の大きい方向（圧延方向）に一致させている。そのため圧力室の形成によって低下する剛性の影響を小さくすることができる。剛性を確保することによってプレートの反りや撓みも抑制することができ、プレートの搬送、保持、接合、アライメントなどでの製造上の不具合を防止することができる。 In the present invention, “recording” means not only the application of a liquid such as ink to an image having a meaning such as a character or a figure, but also an image having no meaning such as the entire surface or a pattern. It also means that it is applied to a recording medium, and image formation, printing, printing, and printing are also used synonymously.
As described above, in the liquid discharge head of the present invention, the metal plate as the rolled metal plate constituting the liquid discharge head has the rolling direction of the rolled metal plate and the longitudinal direction of the pressure chamber formed in the rolled metal plate. Since it is configured to be substantially orthogonal, when a large number of slit-like pressure chambers 8 are arranged, the rigidity of the chamber plate is structurally less rigid in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the pressure chambers.
In the present invention, the direction in which the rigidity decreases due to the formation of the pressure chamber is made to coincide with the direction in which the rigidity is large (rolling direction) as a material. Therefore, it is possible to reduce the influence of rigidity that is reduced by the formation of the pressure chamber. By ensuring the rigidity, warping and bending of the plate can also be suppressed, and manufacturing defects in transporting, holding, joining, alignment, etc. of the plate can be prevented.

圧延金属板の剛性は、圧延方向に平行な方向は、直交方向よりも剛性が大きい。長尺化に伴いプレート部品の反りや撓みが問題となってくるが、本発明では、プレート外形の長辺を圧延方向と略平行としているので、細長い長尺プレートの長尺方向の剛性を大きくすることができ、反りや撓みを小さくすることができる。
チャンバープレートの圧力室をプレス加工によって形成することにより、チャンバープレートの長さが多種にわたっていても、ロール方向の長さを調整するだけで、複数の幅を有した圧延金属板を用意する必要がない。特に、複数のチャンバープレートを連続して作製する場合にも、ワークの送り、位置決めを行うリニアは一軸でよく、装置コストが低く、装置の大きさも小さくてすむ。また、圧延方向に複数のチャンバープレートを連続してプレス加工するので、大量に生産する場合には特に生産性の向上が図れる。
また、材料低コスト、製造コストが低く、精度のよい本発明の液体吐出ヘッドを利用することにより、低コストで高画質な液体吐出装置が実現できる。
なお、振動板は必須ではなく、本発明は振動板を有しないサーマルタイプ（熱吐出）のヘッドにも適用することができる。 As for the rigidity of the rolled metal plate, the direction parallel to the rolling direction has a higher rigidity than the orthogonal direction. Although warping and bending of plate parts become a problem as the length increases, in the present invention, since the long side of the plate outer shape is substantially parallel to the rolling direction, the rigidity of the long and narrow long plate is increased. It is possible to reduce warpage and deflection.
By forming the pressure chamber of the chamber plate by pressing, it is necessary to prepare a rolled metal plate having a plurality of widths by adjusting the length in the roll direction even if the chamber plate has various lengths. Absent. In particular, even when a plurality of chamber plates are produced continuously, the linear for feeding and positioning the workpiece may be uniaxial, the device cost is low, and the size of the device can be small. In addition, since a plurality of chamber plates are continuously pressed in the rolling direction, productivity can be improved particularly when mass production is performed.
In addition, by using the liquid discharge head of the present invention that is low in material cost, low in manufacturing cost, and high in accuracy, a high-quality liquid discharge apparatus can be realized at low cost.
The diaphragm is not essential, and the present invention can also be applied to a thermal type (heat discharge) head that does not have a diaphragm.

本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）の要部拡大縦断面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of a main part of a liquid discharge head (liquid discharge head) according to an embodiment of the present invention. 本発明のチャンバープレートの要部平面図である。It is a principal part top view of the chamber plate of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置を構成するチャンバープレート５の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the chamber plate 5 which comprises the liquid discharge head which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, and a liquid discharge apparatus. （１）乃至（５）は、チャンバープレートの製造方法を説明する工程図である。(1) thru | or (5) is process drawing explaining the manufacturing method of a chamber plate. チャンバープレートの別の製造方法を示す図であり、（ａ）はプレス装置の模式図、（ｂ）はプレス装置のパンチ周辺の断面模式図である。It is a figure which shows another manufacturing method of a chamber plate, (a) is a schematic diagram of a press apparatus, (b) is a cross-sectional schematic diagram of the punch periphery of a press apparatus. 本発明の他の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the liquid discharge head which concerns on other embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）は、チャンバープレートとリストリクタプレートの要部平面図である。(A) (b) is a principal part top view of a chamber plate and a restrictor plate. 圧電振動子をｄ３１方向へ変位させる場合の液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the liquid discharge head in the case of displacing a piezoelectric vibrator to d31 direction. インクジェット記録装置の斜視説明図である。It is a perspective explanatory view of an ink jet recording apparatus. インクジェット記録装置の機構部の側面説明図である。It is side surface explanatory drawing of the mechanism part of an inkjet recording device. インクジェット記録装置の他の構成例を示す模式的要部斜視図である。It is a typical principal part perspective view which shows the other structural example of an inkjet recording device.

Explanation of symbols

１…流路ユニット、２…アクチュエータユニット、３…フレーム、４…ノズルプレート、５…チャンバープレート、６…振動板、７…圧電振動子、７ａ…圧電振動子、８…スリット（圧力室）、９…ノズル口、１０…流体抵抗部、１１…共通液室、１２…凸部、１３、１４…ダイヤフラム、１４…ダイヤフラム部、１５…液体供給口、１６…圧延金属板、２０…ＦＰＣケーブル、２１…ベース部材、２２…ドライバＩＣ、２３…ダンパー室、２５Ａ…内部電極、２５Ｂ…内部電極、２６…共通側外部電極、２７…個別側外部電極、２９…液供給路、３０…圧延金属板、３１…レジスト、３２…マスク、３３…パンチ、３４…ダイ、３４ａ…穴、３５…ストリッパー、３６…カス、３７…位置決め孔、３８…リストリクタプレート、３９…薄膜電極、６３…キャリッジ、６４…ヘッド、６５…インクカートリッジ、７…圧電振動子、８１…記録装置本体、８２…印字機構部、８３…用紙、８４…給紙カセット、８５…トレイ、８６…排紙トレイ、９…ノズル口、９１…主ガイドロッド、９２…従ガイドロッド、９３…キャリッジ、９４…記録ヘッド、９５…インクカートリッジ、９７…主走査モータ、９７…主走査モータ、９８…駆動プーリ、９９…従動プーリ、１００…タイミングベルト、１０１…給紙ローラ、１０２…フリクションパッド、１０３…ガイド部材、１０４…搬送ローラ、１０５…搬送コロ、１０６…先端コロ、１０７…副走査モータ、１１１…搬送コロ、１１２…拍車、１１３…排紙ローラ、１１４…拍車、１１５、１１６…ガイド部材、１１７…回復装置、１２０…フルラインヘッド、１２１…搬送ドラム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flow path unit, 2 ... Actuator unit, 3 ... Frame, 4 ... Nozzle plate, 5 ... Chamber plate, 6 ... Vibration plate, 7 ... Piezoelectric vibrator, 7a ... Piezoelectric vibrator, 8 ... Slit (pressure chamber), DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 ... Nozzle port, 10 ... Fluid resistance part, 11 ... Common liquid chamber, 12 ... Convex part, 13, 14 ... Diaphragm, 14 ... Diaphragm part, 15 ... Liquid supply port, 16 ... Rolled metal plate, 20 ... FPC cable, DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Base member, 22 ... Driver IC, 23 ... Damper chamber, 25A ... Internal electrode, 25B ... Internal electrode, 26 ... Common side external electrode, 27 ... Individual side external electrode, 29 ... Liquid supply path, 30 ... Rolled metal plate 31 ... Resist, 32 ... Mask, 33 ... Punch, 34 ... Die, 34a ... Hole, 35 ... Stripper, 36 ... Waste, 37 ... Positioning hole, 38 ... Restrictor plate, 39 ... Thin film Pole, 63 ... carriage, 64 ... head, 65 ... ink cartridge, 7 ... piezoelectric vibrator, 81 ... recording device main body, 82 ... printing mechanism, 83 ... paper, 84 ... feed cassette, 85 ... tray, 86 ... discharge Paper tray, 9 ... Nozzle port, 91 ... Main guide rod, 92 ... Secondary guide rod, 93 ... Carriage, 94 ... Recording head, 95 ... Ink cartridge, 97 ... Main scanning motor, 97 ... Main scanning motor, 98 ... Drive pulley , 99 ... driven pulley, 100 ... timing belt, 101 ... paper feed roller, 102 ... friction pad, 103 ... guide member, 104 ... transport roller, 105 ... transport roller, 106 ... tip roller, 107 ... sub-scanning motor, 111 ... Conveying roller, 112 ... spur, 113 ... paper discharge roller, 114 ... spur, 115, 116 ... guide member, 117 ... recovery device, 12 ... full-line head, 121 ... transport drum

Claims

An abbreviated structure comprising a nozzle plate having a plurality of nozzle openings for discharging liquid, and a rolled metal plate formed with a plurality of slit-like pressure chambers joined to the inner surface of the nozzle plate and communicating with the nozzle openings. A rectangular chamber plate and pressure generating means for generating pressure to pressurize the liquid in the pressure chamber, wherein the plurality of slit-shaped pressure chambers are arranged along the longitudinal direction of the chamber plate, In the method of manufacturing a liquid discharge head, the plate is substantially perpendicular to the rolling direction and the longitudinal direction of each slit-shaped pressure chamber, and the long side of the chamber plate is substantially parallel to the rolling direction .
Slit longitudinal direction a substantially rectangular shape of a plurality of said rolled metal plate is parallel rolling direction substantially sequentially supplied to the up-less device along its rolling direction, a longitudinal direction is substantially perpendicular to the rolling direction by the pressing device A method of manufacturing a liquid discharge head , wherein the rolled metal plates are continuously pressed so that the vacant spaces are arranged along the rolling direction .