JP3739500B2 - Filter unit for integrated gas panel - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用高純度ガス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の集積化ガスパネルは、図５に示すようにパネル３０上にガス上流側からマスフローコントローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３３、フィルター３４の順に取り付けられたガスライン３５が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記ガスライン３５の各部品は、定期交換部品であり、ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間がかかる。特に横型のフィルター３４を取り外すには２ヵ所のねじ部３６、３７を緩め、さらにシール面を傷付けないようにする為、ガスライン３５を部分的に緩めなければならない。従って、フィルター１個を脱着するにガスライン１本を分解することとなり、復元時シール性を確保することが難しくなり、ユーザーが定期補修、交換等のメンテナンスを行うことは実際上できない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、フィルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単にでき、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネル用フィルターユニットを提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するための本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、該フィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開口のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアを被うようにその外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじネットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合されていることを特徴とするものである。
【０００５】
上記集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路ブロックとの接合面は、ガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることが好ましい。
【０００６】
上記ガスケットは、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケットの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテーナで結合保持した場合とがある。
【０００７】
上記のように構成された本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、本体のボディの外周に装着された外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合されているので、外ねじナット１個を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。また、本体のボディと流路ブロックとの接合面に介在したガスケットが、外ねじナット１個の締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。さらに、フィルターユニットの本体が縦型でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットの実施形態を図１によって説明すると、１は半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットである。このフィルターユニット１の本体２は、縦型になされ、下端のみ開口のフィルターメディア３がボディ４の上面中央の突出部５上に立設固定され、フィルターメディア３を被うようにその外側に同心に円筒状のハウジング６がボディ４の上面外周部に立設固定され、ボディ４の中心部にフィルターメディア３内に連通するガス通路７が設けられ、ボディ４の半径方向にフィルターメディア３外に連通するガス通路８が設けられ、ボディ４の外周下部に鍔９が設けられ、この鍔９の上側の外周に外ねじナット１０が装着されている。
【０００９】
このように構成された本体２は、前記外ねじナット１０にてボディ４を流路ブロック１１の凹部１２内に締め込み装着し、ボディ４のガス通路７と流路ブロック１１のガス流入通路１３とを連通し、ボディ４のガス通路８と流路ブロック１１のガス流出通路１４とを連通している。この連通部分の相互の接合面１５、１６は長円形になされて凹凸嵌合され、この相互の接合面１５、１６の間に図２に示すように中央にガス流入側のガス通路穴１７とその両側にガス流出側のガス通路穴１８を有する長円形の一体型のガスケット１９が挟み付けられて、接合面１５、１６がシールされている。前記ガスケット１９のガス流出側のガス通路穴１８は２個の内、１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時その方向を見定める必要がなく、また全面均等な締付力にて挟み付けることができると共に、長円形になされている為、回り止めの効果もある。
【００１０】
尚、上記ガスケット１９は、ガス流入用のガス通路穴１７とガス流出用のガス通路穴１８を有する一体型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２０を有するガスケット２１をＳ字型のリテーナ２２に２個結合保持したものであってもよい。その場合、接合面１５、１６の形状は２個のガスケット２１に相応する長円形になされる。
【００１１】
上記のように構成された実施形態の集積化ガスパネル用フィルターユニット１は、ガスが流路ブロック１１のガス流入通路１３から入り、ガスケット１９のガス通路穴１７、ボディ４のガス通路７を通って、フィルターメディア３の内側に入り、ここからフィルターメディア３を透過して、清浄化され、ハウジング６内を通ってボディ４のガス通路８、ガスケット１９のガス通路穴１８を通って、流路ブロック１１のガス流出通路１４から出ていく。かかる機能の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、本体２がボディ４の外周に装着された外ねじナット１０にて流路ブロック１１にねじ結合されているので、図４に示すように専用工具２５にて外ねじナット１０を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロック１１からの本体２の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。また、本体２のボディ４の接合面１５と流路ブロック１１の接合面１６との間に介在したガスケット１９が外ねじナット１０のみの締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。さらに、フィルターユニット１の本体２が縦型で、コンパクトとなっているので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明で判るように本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットはフィルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解することなく、外ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単にでき、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保でき、従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる。その上、本発明のフィルターユニットは、本体が縦型でコンパクトとなっているので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットの一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１のフィルターユニットに於けるガスケットを示す平面図である。
【図３】ガスケットの他の例を示す平面図である。
【図４】図１のフィルターユニットの本体を脱着する方法を示す図である。
【図５】従来の集積化ガスパネルに於けるガスラインを示す平面図である。
【符号の説明】
１ フィルターユニット
２ 本体
３ フィルターメディア
４ ボディ
６ ハウジング
７、８ ガス通路
１０ 外ねじナット
１１ 流路ブロック
１３ ガス流入通路
１４ ガス流出通路
１５、１６ 接合面
１７、１８ ガス通路穴
１９ 一体型のガスケット
２０ ガス通路穴
２１ ガスケット
２２ リテーナ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a filter unit used in a gas line in an integrated gas panel of a high-purity gas-based gas control device for semiconductors.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIG. 5, the conventional integrated gas panel has a large number of gas lines 35 arranged in parallel on the panel 30 in the order of the mass flow controller 31, the block valve 32, the valve 33, and the filter 34 from the gas upstream side. It is packed tightly. Each part of the gas line 35 is a regular replacement part, and the detaching operation in a tightly packed place is very troublesome and takes time. In particular, in order to remove the horizontal filter 34, it is necessary to loosen the two screw portions 36 and 37 and further loosen the gas line 35 partially so as not to damage the sealing surface. Therefore, one gas line is disassembled in order to remove and attach one filter, and it becomes difficult to ensure the sealing property at the time of restoration, and it is practically impossible for the user to perform maintenance such as periodic repair and replacement.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, the present invention can easily remove and install the filter unit main body without disassembling the gas line, and can secure a tight seal of the coupling portion of the filter unit main body, allowing the user to perform periodic repairs, replacements, etc. An object of the present invention is to provide a filter unit for an integrated gas panel that can be easily maintained, can be made compact, and can save space in a gas line.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
The filter unit for an integrated gas panel of the present invention for achieving the above object is a filter unit used in a gas line in a high purity gas-based integrated gas panel for a semiconductor, and the main body of the filter unit Is a vertical type, and the filter media with an opening at the lower end is erected and fixed at the center of the upper surface of the body, and a cylindrical housing is concentrically placed outside the filter media so as to cover the filter media. Gas passages that are fixed and communicate with the inside and outside of the filter media are provided in the body, and an external thread net is attached to the outer periphery of the body, and the body of the filter unit having the above configuration is formed into a flow path block by the external thread nut. It is characterized by being screwed.
[0005]
In the integrated gas panel filter unit, the joint surface between the body of the filter unit and the flow path block is preferably sealed with a gasket having a gas passage hole interposed therebetween.
[0006]
The gasket may be an integrated gasket having a gas passage hole on the gas inflow side and a gas passage hole on the gas outflow side, or may be a case where two gaskets having gas passage holes are joined and held by a retainer.
[0007]
Since the filter unit for an integrated gas panel of the present invention configured as described above is screwed to the flow path block by an external screw nut attached to the outer periphery of the body of the main body, one external screw nut is provided. The main body can be easily detached from the flow path block simply by loosening or tightening, and there is no need to disassemble the gas line as in the prior art. In addition, since the gasket interposed in the joint surface between the body of the main body and the flow path block is uniformly tightened by tightening one external screw nut, a tight seal can be secured. Furthermore, since the main body of the filter unit is vertical and compact, it is possible to save space in the gas line.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of a filter unit for an integrated gas panel according to the present invention will be described with reference to FIG. 1. Reference numeral 1 denotes a filter unit used for a gas line in a high purity gas integrated gas panel for semiconductors. The main body 2 of the filter unit 1 is a vertical type, and a filter medium 3 having an opening only at the lower end is erected and fixed on a projecting portion 5 at the center of the upper surface of the body 4, and is concentrically arranged on the outside so as to cover the filter medium 3 A cylindrical housing 6 is erected and fixed to the outer peripheral portion of the upper surface of the body 4, and a gas passage 7 communicating with the inside of the filter medium 3 is provided at the center of the body 4. A gas passage 8 that communicates is provided, a flange 9 is provided at the lower outer periphery of the body 4, and an external screw nut 10 is attached to the outer periphery on the upper side of the flange 9.
[0009]
In the main body 2 configured in this way, the body 4 is fastened and fitted into the recess 12 of the flow path block 11 by the external screw nut 10, and the gas passage 7 of the body 4 and the gas inflow passage 13 of the flow path block 11 are mounted. And the gas passage 8 of the body 4 and the gas outflow passage 14 of the flow path block 11 are communicated. The mutual joint surfaces 15 and 16 of the communication portion are formed into an oval shape and are concavo-convexly fitted, and a gas passage hole 17 on the gas inflow side is formed between the joint surfaces 15 and 16 at the center as shown in FIG. An oblong integral gasket 19 having gas passage holes 18 on the gas outflow side is sandwiched between both sides, and the joint surfaces 15 and 16 are sealed. The gas passage hole 18 on the gas outflow side of the gasket 19 is used, one of the two is used, and the other one is a vacant hole, but it is not necessary to determine the direction when mounting, and the entire surface is tightened evenly. In addition to being sandwiched by force, it has an oblong effect because it is oval.
[0010]
The gasket 19 is an integral type having a gas passage hole 17 for inflow of gas and a gas passage hole 18 for outflow of gas. However, as shown in FIG. Two pieces may be held by being joined to the character-shaped retainer 22. In this case, the shape of the joining surfaces 15 and 16 is an oval corresponding to the two gaskets 21.
[0011]
In the integrated gas panel filter unit 1 of the embodiment configured as described above, gas enters from the gas inflow passage 13 of the flow path block 11 and passes through the gas passage hole 17 of the gasket 19 and the gas passage 7 of the body 4. The inside of the filter medium 3 passes through the filter medium 3 and is then cleaned, passes through the inside of the housing 6, passes through the gas passage 8 of the body 4, passes through the gas passage hole 18 of the gasket 19, and passes through the flow path. It exits from the gas outflow passage 14 of the block 11. In the integrated gas panel filter unit having such a function, the main body 2 is screwed to the flow path block 11 by an external screw nut 10 mounted on the outer periphery of the body 4, and therefore, as shown in FIG. By simply loosening or tightening the external screw nut 10, the body 2 can be easily detached from the flow path block 11, and there is no need to disassemble the gas line as in the prior art. In addition, since the gasket 19 interposed between the joint surface 15 of the body 4 of the main body 2 and the joint surface 16 of the flow path block 11 is evenly tightened by tightening only the external screw nut 10, a tight sealing property can be secured. . Furthermore, since the main body 2 of the filter unit 1 is vertical and compact, it is possible to save space in the gas line.
[0012]
【The invention's effect】
As can be seen from the above description, the filter unit for an integrated gas panel according to the present invention can be easily attached and detached by simply loosening or tightening one external screw nut without disassembling the gas line. In addition, it is possible to secure a tight sealing property of the coupling portion of the filter unit main body, and therefore the user can easily perform maintenance such as periodic repair and replacement. In addition, since the filter unit of the present invention has a vertical and compact body, it can save space in the gas line.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a filter unit for an integrated gas panel of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a gasket in the filter unit of FIG. 1;
FIG. 3 is a plan view showing another example of the gasket.
4 is a view showing a method for detaching the main body of the filter unit of FIG. 1; FIG.
FIG. 5 is a plan view showing a gas line in a conventional integrated gas panel.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Filter unit 2 Main body 3 Filter media 4 Body 6 Housing 7, 8 Gas passage 10 Outer screw nut 11 Channel block 13 Gas inflow passage 14 Gas outflow passages 15, 16 Joint surface 17, 18 Gas passage hole 19 Integrated gasket 20 Gas passage hole 21 Gasket 22 Retainer

Claims (3)

半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、該フィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開口の円筒状のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアの外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじナットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合されていることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。A filter unit used in a gas line in a high purity gas-based integrated gas panel for a semiconductor, wherein the main body of the filter unit is a vertical type, and a cylindrical filter medium having an opening at the lower end is the body. A cylindrical housing concentrically outside the filter media is erected and fixed to the outer periphery of the upper surface of the body, and gas passages that communicate with the inside and outside of the filter media are provided in the body. An integrated gas panel filter unit, wherein an outer screw nut is attached to an outer periphery, and a main body of the filter unit having the above-described configuration is screwed to a flow path block by the outer screw nut. 請求項１記載の集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路ブロックとの接合面にガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。2. The integrated gas panel filter unit according to claim 1, wherein a gasket having a gas passage hole is interposed and sealed at a joint surface between the body of the filter unit main body and the flow path block. Filter unit for integrated gas panel. 請求項２記載の集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、ガスケットが、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケット、又はガス通路穴を有するガスケット２個をリテーナで結合保持したものであることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。3. The integrated gas panel filter unit according to claim 2, wherein the gasket is an integrated gasket having a gas passage hole on the gas inflow side and a gas passage hole on the gas outflow side, or two gaskets having gas passage holes. A filter unit for an integrated gas panel, wherein the filter unit is held by a retainer.
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