JP3732035B2 - パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法 - Google Patents

パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3732035B2
JP3732035B2 JP05404299A JP5404299A JP3732035B2 JP 3732035 B2 JP3732035 B2 JP 3732035B2 JP 05404299 A JP05404299 A JP 05404299A JP 5404299 A JP5404299 A JP 5404299A JP 3732035 B2 JP3732035 B2 JP 3732035B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
pulse tube
refrigerant gas
regenerator
tube refrigerator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP05404299A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000249414A (ja
Inventor
富雄 西谷
善生 丸野
悦治 川口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iwatani Industrial Gases Corp
Iwatani Corp
Original Assignee
Iwatani Industrial Gases Corp
Iwatani Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Iwatani Industrial Gases Corp, Iwatani Corp filed Critical Iwatani Industrial Gases Corp
Priority to JP05404299A priority Critical patent/JP3732035B2/ja
Publication of JP2000249414A publication Critical patent/JP2000249414A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3732035B2 publication Critical patent/JP3732035B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • F25B9/145Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle pulse-tube cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/14Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used 
    • F25B2309/1408Pulse-tube cycles with pulse tube having U-turn or L-turn type geometrical arrangements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/14Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used 
    • F25B2309/1418Pulse-tube cycles with valves in gas supply and return lines
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/14Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used 
    • F25B2309/1421Pulse-tube cycles characterised by details not otherwise provided for
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/14Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used 
    • F25B2309/1424Pulse tubes with basic schematic including an orifice and a reservoir

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス管冷凍機で圧縮機とパルス管との間を往復する動作用冷媒ガスの純度を保持する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、パルス管冷凍機では動作用冷媒ガスとしてヘリウムガスを使用し、このヘリウムガスを圧縮機とパルス管の間で往復させるようにし、パルス管冷凍機の蓄冷器内に充填した蓄冷材に返送ガスの寒冷エネルギーを蓄積し、次の流入ガスとの間で熱交換するようにしている。そして、この動作用冷媒ガスは基本的に封入されたガスが循環するようになっている。そしてこの動作用冷媒ガスの純度がパルス管冷凍機の冷凍性能に影響を及ぼす。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来のパルス管冷凍機では、高純度のヘリウムガスを動作用冷媒ガスとして使用しているが、ヘリウムガス中の残留不純ガスや、各種機器や配管を形成している金属からのアウトガス、油分離器や油吸着器で除去し切れなかった圧縮機オイルの分解ガス、プラスチックからのアウトガスが冷凍機の運転に応じて動作用ガスであるヘリウムガスに混入し、ヘリウムガスの純度を低下させることになる。なお、金属からのアウトガスは水素や水分が主体であり、オイルの分解ガスやプラスチツクからのアウトガスはメタン等の有機炭化水素が主体である。そして、この混入した不純ガスは蓄冷器の低温部に凝固蓄積して、蓄冷材表面での熱交換性能を低下させ、蓄冷器の性能を劣化させる作用を果たし、冷凍機の到達温度が上昇する、すなわち、冷凍能力を低下させるという問題があった。
【0004】
本発明はこのような点に着目してなされたもので、パルス管冷凍機が長期間安定した冷凍機性能を発揮することができる方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために本発明は、パルス管冷凍機における圧縮機ユニットの吐出口から蓄冷器とパルス管との間に位置する吸熱用連結路に至るまでの動作用冷媒ガスのガス流路内に装着した不純ガスゲッターまたは吸着材等の不純ガス吸着手段で不純ガスを捕捉して動作用冷媒ガスの純度を維持するようにしたことを特徴としている。
【0006】
【発明の作用】
本発明では、パルス管冷凍機における圧縮機ユニットの吐出口から蓄冷器とパルス管との間に位置する吸熱用連結路に至るまでの動作用冷媒ガスのガス流路系内に不純ガスゲッターを装着し、動作用冷媒ガスのガス流路系内を流れる動作用冷媒ガス中に混入している不純ガスを不純ガスゲッターで吸着除去することにより、動作用冷媒ガスの純度長期にわたって維持し続けることができることになる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図はパルス管冷凍機の概略系統図であり、このパルス管冷凍機はパルス管(1)と蓄冷器(2)とをその一端部同士を吸熱用連結路(3)を介して連通させることにより形成した寒冷発生部(4)と、圧縮機ユニット(5)、及び圧縮機ユニット(5)で発生した高圧ガスの寒冷発生部(4)への給排を切り換え制御するロータリ弁ユニット(6)とで構成してある。
【0008】
圧縮機ユニット(5)は圧縮機(7)、冷却器(8)、油分離器(9)、油吸着器(10)及び保圧弁(11)とで構成してあり、ロータリ弁ユニット(6)はロータリ弁(12)と弁駆動モータ(13)とで構成してある。そして、油吸着器(10)から導出されている高圧ガス通路(14)がフレキシブルホース(15)でロータリ弁(12)の一次側高圧ポートに接続され、ロータリ弁(12)の一次側低圧ポートから導出したフレキシブルホース(16)が低圧ガス戻し路(17)を介して圧縮機(7)に連通接続してある。
【0009】
寒冷発生部(4)は2本のステンレスパイプ(18)(19)を平行に配置し、その下端部を銅製エンドキャップ(20)に嵌着し、上端部を取り付けフランジ(21)に嵌着して形成してあり、一方のステンレスパイプ(18)の内部にメッシュ体を積層配置して蓄冷材(22)とするとともに、上下両端部に整流板(23)を配置することにより、蓄冷器(2)に構成し、他方のステンレスパイプ(19)の下端部に整流板(24)を配置してパルス管(1)に構成してある。そして、銅製エンドキャップ(20)にはスぺーサ(26)を装着することにより、吸熱用連結路(3)を形成して、蓄冷器(2)とパルス管(1)とを連通するようになっている。
【0010】
蓄冷器(2)の上端部は取り付けフランジ(21)に装着したガス導入プラグ(27)に連通しており、このガス導入プラグ(27)から連出した冷媒ガス導入管(28)が可撓性ホース(29)を介してロータリ弁(12)の二次ポートに連通してある。そして、ロータリ弁(12)の切換えにより圧縮機ユニット(5)で発生させた高圧冷媒ガスを蓄冷器(2)に供給するようになっている。
【0011】
図中符号(30)はパルス管(1)の上端からオリィフィス(31)を介して連通接続させたバッファタンクである。
【0012】
このような構成のパルス管冷凍機において、動作用ガスに混入する不純ガスを吸着除去する吸着手段(33)として不純ガスゲッター材が寒冷発生部(4)への冷媒ガス給排路中に装着してある。ここでヘリウムガスを動作用冷媒ガスとして使用している場合には、ゲッター材(33)として水素ガスを除去する効果のあるものが望ましい。ここで、寒冷発生部(4)への冷媒ガス給排路とは、図示したロータリー弁ユニット(6)と寒冷発生部(4)とを接続する可撓性ホース(29)部分だけでなく、圧縮機ユニット(5)での高圧ガス通路(14)、圧縮機ユニット(5)とロータリ弁ユニット(6)の一次側高圧ポートとを接続するフレキシブルホース(15)部分を含む概念である。
【0013】
また、蓄冷器(2)の蓄冷材(22)の一部に活性炭等の吸着剤を装着して吸着手段(33)としてもよい。この場合、活性炭は織物状、網状、タブレット状、ぺレット状に形成した非粉体で構成することが望ましい。
【0014】
上述のように、パルス管冷凍機の動作ガス給排系内、あるいは、蓄冷器(2)内に不純ガスを捕捉する吸着手段(33)を配置すると、初期混入ガスあるいはパルス管冷凍機の運転に伴って生じる機器や配管からのアウトガスや圧縮機オイルの分解ガス等の不純ガスを吸着手段(33)で捕捉することになる。これにより、動作用冷媒ガスを高純度に維持することができ、蓄冷器(2)の低温端部での不純ガスの凝固蓄積を抑制する。
【0015】
【発明の効果】
本発明では、パルス管冷凍機における圧縮機ユニットの吐出口から蓄冷器とパルス管との間に位置する吸熱用連結路に至るまでの動作用冷媒ガスのガス流路系内に不純ガスゲッターを装着し、動作用冷媒ガスのガス流路系内を流れる動作用冷媒ガス中に混入している不純ガスを不純ガスゲッターで吸着除去することにより、動作用冷媒ガスの純度長期にわたって維持し続けることができることになる。
これにより、蓄冷器の低温端部での不純ガス成分の凝結がなくなり、パルス管冷凍機としての冷凍能力を長時間にわたって高く維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】パルス管冷凍機の概略系統図である。
【符号の説明】
1…パルス管、2…蓄冷器,3…吸熱用連結路、7…圧縮機、22…蓄冷材、33…吸着手段。

Claims (3)

  1. パルス管(1)の低温端と蓄冷器(2)の低温端とを吸熱用連結路(3)を介して接続し、動作用冷媒ガスを圧縮機(7)、蓄冷器(2)、吸熱用連結路(3)、パルス管(1)の順で往復させるように構成したパルス管冷凍機において、
    圧縮機 ( ) とともに油分離器 ( ) と油吸着器 (10) とを有してなる圧縮機ユニット ( ) の吐出口から吸熱用連結路(3)に至るまでの動作用冷媒ガスのガス流路系内に不純ガスゲッターと吸着材との少なくともいずれか一方からなる不純ガス吸着手段(33)を装着し、この不純ガス吸着手段(33)で不純ガスを捕捉することにより、動作用冷媒ガスの純度を維持するようにしたことを特徴とするパルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法。
  2. 圧縮機ユニット ( ) の吐出口から蓄冷器(2)の高温側端部に至るまでの間の動作用冷媒ガス通路に前記不純ガス吸着手段(33)を配置した請求項1に記載のパルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法。
  3. 蓄冷器(2)内に装着した蓄冷材(22)の一部に前記不純ガス吸着手段(33)を配置した請求項1に記載のパルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法。
JP05404299A 1999-03-02 1999-03-02 パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法 Expired - Lifetime JP3732035B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05404299A JP3732035B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05404299A JP3732035B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000249414A JP2000249414A (ja) 2000-09-14
JP3732035B2 true JP3732035B2 (ja) 2006-01-05

Family

ID=12959555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05404299A Expired - Lifetime JP3732035B2 (ja) 1999-03-02 1999-03-02 パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3732035B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7497084B2 (en) 2005-01-04 2009-03-03 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Co-axial multi-stage pulse tube for helium recondensation
JP5425754B2 (ja) * 2010-02-03 2014-02-26 住友重機械工業株式会社 パルスチューブ冷凍機
DE102016215985A1 (de) * 2016-08-25 2018-03-01 Leybold Gmbh Kältemaschine

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000249414A (ja) 2000-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2101551C (en) Refrigerant recycling system
JP4202369B2 (ja) ガス状炭化水素の処理・回収装置
CN103848398B (zh) 采用一体式低温吸附法生产超纯氢装置
AU2013288510A1 (en) Method and apparatus for purifying a carbon dioxide-rich mixture at a low temperature
KR100902911B1 (ko) 폐헬륨가스 농축정제장치
JP3732035B2 (ja) パルス管冷凍機における動作用冷媒ガスの純度保持方法
US20130305744A1 (en) Cng delivery system with cryocooler and method of supplying purified cng
JP2005083588A (ja) ヘリウムガス液化装置およびヘリウムガス回収・精製・液化装置
CN102350077B (zh) 一种高效紧凑的油气冷凝吸附回收装置
JP2009028723A (ja) ガス状炭化水素の処理・回収方法
CN210814519U (zh) 一种基于压缩低温冷凝方式回收有机溶剂的装置
CN114370601B (zh) 一种液氮注入系统及方法和应用
CN1232785C (zh) 类分离热管型船用吸附制冰机
CN214598096U (zh) 一种用于真空变温吸附的提纯塔
CN113623943A (zh) 一种用于制造纯度不同的氮气的氮气制造系统及制造方法
JP2006250457A (ja) 流体分離装置
KR20060091067A (ko) 헬륨가스의 초저온 정제 방법 및 장치
CN202485269U (zh) 一种带压力驱动阀门的吸附制冷机
CN111495109B (zh) 一种油气回收系统
JP2008238171A (ja) ガス状炭化水素の処理・回収方法
CN2780736Y (zh) 变压吸附制氧装置
JPH04306472A (ja) 液化冷凍機付きクライオスタット
CN218653054U (zh) 一种油气回收用吸脱附装置
JP3407939B2 (ja) ガス精製装置
CN112902490B (zh) 吸附制冷机

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050208

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050913

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051011

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081021

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091021

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101021

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101021

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111021

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111021

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121021

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131021

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term