JP3727687B2

JP3727687B2 - Adsorption fixing sheet

Info

Publication number: JP3727687B2
Application number: JP17082195A
Authority: JP
Inventors: 博之飯田; 陽三長井; 順一森山; 周治矢野; 俊光橘
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1995-07-06
Filing date: 1995-07-06
Publication date: 2005-12-14
Anticipated expiration: 2015-07-06
Also published as: JPH0922935A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はプラスチック多孔質シートから成る吸着固定用シートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウェハへの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等の加工に際しては、これらの被加工体が位置ズレしないように固定して作業している。
【０００３】
上記被加工体の固定には真空吸着法が採用されている。この方法は、例えば、図１に示すように、上面に所定個数の通気孔１を設けると共に所定位置に吸引孔２を設けた基台（金属等の機械的強度を有する材料から成る）３を用い、基台３の通気孔形成面上に被加工体４を載置し、吸引孔２に接続された真空ポンプ（図示省略）により減圧し基台１の内部を減圧状態とすることにより、被加工体４を基台１上に吸着固定しその位置ズレを防止して、これを加工するものである。
【０００４】
上記真空吸着法は被加工体の固定が容易であり、また、加工時の位置ズレを防止できる利点を有する反面、被加工体表面に基台との接触摩擦による微小な傷を生じ易い。この微小傷の発生を回避するため、基台３の通気孔形成面上にゴムシート、紙あるいは不織布を保護材５として介在させることが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ゴムシートは摩擦係数が大きいため、加工の途中や終了後に被加工体を移動させる際の作業性が悪いという問題がある。また、紙や不織布は摩擦係数がゴムシートよりも小さく被加工体の移動の容易性という点ではゴムシートよりも有利なものの、被加工体の接触により損傷され易くて寿命が短いため頻繁に交換する必要がある。
【０００６】
従って、本発明は摩擦係数が低く、且つ、長寿命である吸着固定用シートを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る吸着固定用シートは摩擦係数が０．３以下であり、且つ、摩耗量が０．１ｍｍ以下である超高分子量ポリエチレン多孔質シートから成るものである。
ただし、前記摩耗量は、＃３２０サンドペーパーで研磨したステンレス板を相手材とし、接触面積２ｃｍ ² 、荷重５ｋｇ、摺動速度３００ｍｍ／ｓｅｃ、摺動時間２時間の条件で摩耗量を測定したときの試験前の厚さから試験後の厚さを減じて得た値である。
【０００８】
本発明に係る吸着固定用シートは超高分子量ポリエチレン多孔質シートから成るものである。超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭＷＰＥ」という）は、摩擦係数が低く、しかも耐摩耗性が優れている。この吸着固定用シートは径が約１μｍ〜５μｍの孔を多数有するものであり、延伸法、抽出法あるいはプラスチックシートに貫通孔を形成する方法等により得ることができる。また、その厚さは通常約０．０５〜１０ｍｍである。
【０００９】
そして、本発明に係る吸着固定用シートは摩擦係数が０．３以下であり、且つ、摩耗量が０．１ｍｍ以下である必要がある。摩擦係数が０．３を超えるときは吸着固定作業中や作業終了後における被加工体の移動に際し滑り性が悪くなり作業性が低下し、また、摩耗量が０．１ｍｍを超えると耐久性が低下するのでいずれも好ましくない。
【００１０】
本発明の吸着固定用シートは上記したようにＵＨＭＷＰＥから形成されたものである。ＵＨＭＷＰＥは、一般のポリエチレンの分子量（粘度法による測定値）が約１０万以下であるのに対し、約５０万以上の高い値を示す点で特異である。かようなＵＨＭＷＰＥは、例えば、三井石油化学工業社から「ハイゼックス・ミリオン」、ヘキスト社から「ホスタレンＧＵＲ」等の商品名で市販されている。
【００１１】
ＵＨＭＷＰＥ多孔質シートから成る吸着固定用シートは次に述べる方法により得ることができる。この方法はＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上の温度に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体（多孔質体）とした後冷却し、この成形体を所定厚さのシートに切削するものである。
【００１２】
この方法においては、先ず、ＵＨＭＷＰＥ粉末（粒径は通常３０〜２００μｍ）を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とする。このようにＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、これを加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するので、金型としては少なくとも一つの開口部（加熱水蒸気導入用）を有するものを用いる。焼結に要する時間は粉末の充填量や水蒸気の温度等によって変わるが、通常、約１〜１２時間である。
【００１３】
この際に用いる水蒸気はＵＨＭＷＰＥの融点以上に昇温させるため、加圧状態とされるので、金型に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末間に容易に進入することができる。なお、ＵＨＭＷＰＥ粉末間への加熱水蒸気の進入をより容易にするため、該粉末を金型に充填し、この金型を耐圧容器に入れ、減圧状態とする脱気操作を施し、その後加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するようにしてもよい。この際の減圧度合いは特に限定されないが、約１〜１００ｍｍＨｇが好ましい。
【００１４】
従って、金型に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末の焼結は、前記耐圧容器に水蒸気導入管およびその開閉バルブを設けておき、該粉末間の空気を脱気した後、減圧を止めあるいは減圧を続けながら、水蒸気バルブを開いて加熱水蒸気を導入する方法によって行うことができる。
【００１５】
この焼結時において、ＵＨＭＷＰＥ粉末は融点以上の温度に加熱されるがその溶融粘度が高いのであまり流動せず、その粉末形状を一部乃至大部分維持し、隣接する粉末相互がその接触部位において熱融着し多孔質のブロック状成形体（粉末相互の非接触部が該多孔質成形体の微孔となる）が形成される。なお、焼結に際し、所望により加圧することもできるが、その圧力は、通常、約１０ｋｇ／ｃｍ²以下とするのが好ましい。
【００１６】
上記のようにして焼結を行った後、冷却する。冷却に際してはブロック状成形体への亀裂の発生を防止するため、急冷を避けるのが好ましく、例えば、室温に放置して冷却する方法を採用できる。なお、冷却はブロック状成形体を金型に入れたまま行ってもよく、あるいは金型から取り出して行ってもよい。このようにしてブロック状成形体を冷却した後、旋盤等により所定厚さに切削することにより、多孔質シートを得ることができる。
【００１７】
上記方法により得られる多孔質シートの微孔の孔径、気孔率は用いるＵＨＭＷＰＥ粉末の粒径や焼結時における加圧の有無によって決定される。他の条件が同じであれば、用いた粉末の粒径が大きい程微孔の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られる。また、焼結時に加圧しない場合は加圧した場合に比べ微孔の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られる。更に、焼結時に加圧加圧した場合はその圧力が高い程微孔の孔径が小さく、気孔率の低い多孔質シートが得られる。
【００１８】
本発明に係る吸着固定用シートは帯電防止処理されたものであってもよい。帯電防止処理を施すことにより、例えば、半導体ウェハのダイシング工程において吸着固定用シートの帯電によるスパークを回避でき、スパークに起因するウェハの損傷を防止できる。また、塵やゴミが半導体ウェハ等の被加工体に付着することも防止できる。
【００１９】
吸着固定用シートの帯電防止処理は格別である必要はなく、通常の方法を採用できる。例えば、プラスチック粉末と帯電防止剤を混合し、この混合物を用いて吸着固定用シートを製造すればよい。また、このシートを帯電防止剤含有液と接触（浸漬、塗布等）させ、該シートに帯電防止剤を含浸させる方法を採用することもできる。この処理を行う場合の帯電防止剤の使用量は特に限定されないが、通常、吸着固定用シートの重量中に占める帯電防止剤の割合が０．１〜２重量％の範囲となるようにする。
【００２０】
上記帯電防止剤としては「エレクノンＯＲＷ（ニューファインケミカル株式会社製）」、「エレクトロストリッパー（花王株式会社製）」等の市販品を用いることができ、また、カーボンブラック粉末、金属粉末等の無機質導電性材料を用いることができる。
【００２１】
本発明に係る吸着固定用シートは着色されたものであってもよい。プラスチック多孔質シートは通常白色不透明であるが、これを任意の色に着色した場合には、例えば、次のような利点がある。多孔質シートを吸着固定用シートとして液晶用ガラス板の切断に用いた場合、スクライビング工程においてガラス板にスクライブ痕を生じるが、シートが白色であるとこのスクライブ痕の視認が困難となり、加工不良（スクライブ深さが設計どおりでない、設計場所以外にスクライブ痕がある等の不良）を見逃す恐れがある。しかし、このシートを白色以外の任意の色に着色しておけば、スクライブ痕の白色とシートの色の対比により、このスクライブ痕を容易に視認でき、不良品をより確実に捕捉除去できる。
【００２２】
本発明に係る吸着固定用シートを用いて被加工体を吸着固定するには、図１に示すのと同様な通気孔を有する基台上に、このシートを配置し、このシート上に被加工体を載置し、前記通気孔を介して基台におけるシート配置側の反対側を減圧する。この減圧により被加工体は吸着固定される。なお、所望により基台と吸着固定用シートの間にゴムシート（多数の貫通孔を形成したもの）やステンレス板（多数の貫通孔を形成したもの）を介在させてもよい。
【００２３】
本発明に係る多孔質シートは上記のように用いるので、その片面に部分的（筋状、点状、網目状等）に接着剤層を設けておけば、使用時その配置が容易となるばかりでなく、その後の位置ズレをより確実に防止できるので好ましい。なお、接着剤としては接着作業性、および該シートを交換する際における剥離の容易性を考慮すると感圧性接着剤が好ましいが、ホットメルト接着剤や熱硬化型接着剤等を用いることもできる。
【００２４】
【実施例】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
【００２５】
実施例１
内径１０５ｍｍの円筒状金型（上面開口、底面閉鎖）にＵＨＭＷＰＥ粉末（分子量５００万、融点１３５℃、平均粒径１１０μｍ）を充填し、該粉末を９０ｇ／ｃｍ²の割合で加圧する。
【００２６】
これを金属製耐圧容器（水蒸気導入管およびその開閉バルブを備える）に入れ、真空ポンプを作動させて雰囲気圧を３０ｍｍＨｇまで減圧することにより、充填された粉末間の空気を脱気する。
【００２７】
脱気後、真空ポンプを止め、水蒸気導入バルブを開き水蒸気（温度１５８℃、６気圧）を導入して６０分間加熱することによりＵＨＭＷＰＥ粉末を焼結し、丸棒状多孔質体を得る。
【００２８】
次に、これを温度２５℃の部屋に３時間放置して冷却した後金型から丸棒状成形体（外径約１０５ｍｍ）を取り出し、旋盤によりその周方向に沿って厚さ５００μｍに切削して白色不透明の多孔質シート（気孔率３０％、平均孔径３０μｍ）を得た。
【００３０】
比較例１
ポリテトラフルオロエチレンから成る厚さ１ｍｍのシートを用いること以外は実施例２と同様に作業し多孔質の吸着固定用シートを得た。
【００３１】
比較例２
厚さ２００μｍの紙製吸着固定用シート（市販品）を用意した。
上記実施例および比較例のシートの特性を下記要領で測定し、得られた結果を表１に示す。
【００３２】
Ａ．摩擦係数
バーデンレーベン式摩擦試験機（株式会社オリエンテック製、ＡＳＴ−１５Ｂ型往復動摩擦摩耗試験機）を用いて摩擦係数を測定した。なお、相手材としては厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、荷重２００ｇ、摺動速度１５０ｍｍ／ｍｉｎに設定した。
【００３３】
Ｂ．摩耗量
松原式摩耗試験機（株式会社オリエンテック製、ＥＦＭ−ＩＩＩ−Ｆ）を用いて摩耗量を測定した。なお、相手材としては＃３２０サンドペーパーで研磨したステンレス板（厚さ１ｍｍ）を用い、接触面積２ｃｍ²、荷重５ｋｇ、摺動速度３００ｍｍ／ｓｅｃ、摺動時間２時間に設定した。そして、吸着固定用シートの試験前の厚さから試験後の厚さを減じて摩耗量（単位は「ｍｍ」である）とした。
【００３４】
Ｃ．実装試験
図１に示すのと同構造の金属製基台上に実施例および比較例で得た吸着固定用シートを配置し、このシート上に液晶用ガラス板（厚さ０．８ｍｍ、縦３５０ｍｍ、横２５０ｍｍ）を載置する。そして、真空ポンプにより吸引して該ガラス板をシート上に吸着固定し、ダイヤモンドカッターによるスクライブ加工（ガラス板に所定の傷を入れる加工、本試験では傷の深さを約７０μｍに設定した）を行う。スクライブ加工の終了したガラス板を未加工のガラス板と交換し、同様に加工する。このスクライブ加工を繰り返すとガラス板のエッジで吸着固定用シートがじょじょに損傷され、そのためスクライブ加工の直線精度が損なわれるようになり、ブレーク工程（スクライブ加工後に、スクライブ痕を起点としてガラス板を割る工程）において割れ面の精度が損なわれるようになる。この割れ面の平面精度が０．２ｍｍ／２５０ｍｍを越えるまでに加工できるガラス板の枚数を数えた。
【００３５】
【表１】

【００３６】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成され、吸着固定用シートを多孔質としたので、摩擦係数が低く、また、摩耗量が小さく寿命が長いという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】吸着固定法の実例を示す正面図である。
【符号の説明】
１通気孔
２吸引孔
３基台
４被加工体
５保護材[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a suction fixing sheet made of a plastic porous sheet.
[0002]
[Prior art]
Precision cutting of liquid crystal glass plates and semiconductor wafers, precision coating on liquid crystal glass plates and semiconductor wafers, polarizing plates and retardation plates, or precision bonding of these to glass plates, etc. The work is fixed so that the body does not shift.
[0003]
A vacuum adsorption method is employed for fixing the workpiece. In this method, for example, as shown in FIG. 1, a base (made of a material having mechanical strength such as metal) 3 having a predetermined number of vent holes 1 on the upper surface and suction holes 2 at predetermined positions is provided. By using the work piece 4 placed on the vent hole forming surface of the base 3 and reducing the pressure by a vacuum pump (not shown) connected to the suction hole 2, the inside of the base 1 is brought into a reduced pressure state. The workpiece 4 is sucked and fixed on the base 1 to prevent the positional deviation, and is processed.
[0004]
The vacuum suction method is easy to fix the workpiece, and has the advantage of preventing misalignment during processing, but tends to cause minute scratches on the workpiece surface due to contact friction with the base. In order to avoid the occurrence of such micro-scratches, it has been proposed to interpose a rubber sheet, paper or non-woven fabric as the protective material 5 on the vent hole forming surface of the base 3.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the rubber sheet has a large coefficient of friction, there is a problem that workability when moving the workpiece during or after the processing is poor. Paper and non-woven fabrics have a smaller coefficient of friction than rubber sheets and are more advantageous than rubber sheets in terms of ease of movement. However, they are frequently damaged because they are easily damaged by contact with the workpiece and have a short life. There is a need to.
[0006]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a suction fixing sheet having a low friction coefficient and a long life.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The adsorption-fixing sheet according to the present invention comprises an ultra-high molecular weight polyethylene porous sheet having a friction coefficient of 0.3 or less and an abrasion amount of 0.1 mm or less.
However, the wear amount was measured when the wear amount was measured under the conditions of a contact area of 2 cm ² , a load of 5 kg, a sliding speed of 300 mm / sec, and a sliding time of 2 hours using a stainless steel plate polished with # 320 sandpaper. This is a value obtained by subtracting the thickness after the test from the thickness before the test.
[0008]
Chucking seat according to the present invention is Ru der made of ultra high molecular weight polyethylene porous sheet. Ultra high molecular weight polyethylene (hereinafter referred to as "UHMWPE"), the friction coefficient is low and wear resistance that are superior. This adsorption fixing sheet has a large number of holes having a diameter of about 1 μm to 5 μm, and can be obtained by a stretching method, an extraction method, a method of forming a through hole in a plastic sheet, or the like. The thickness is usually about 0.05 to 10 mm.
[0009]
And the adsorption fixing sheet according to the present invention needs to have a friction coefficient of 0.3 or less and a wear amount of 0.1 mm or less. When the friction coefficient exceeds 0.3, the slipping property deteriorates when the workpiece is moved during the adsorption fixing work or after the work is finished, and the workability is deteriorated. When the wear amount exceeds 0.1 mm, the durability is improved. Since it falls, neither is preferable.
[0010]
Suction fixing sheet of the present invention is Ru der those formed from UHMWPE as described above. UHMWPE is unique in that it exhibits a high value of about 500,000 or more, while the molecular weight (measured by viscosity method) of general polyethylene is about 100,000 or less. Such UHMWPE is commercially available, for example, from Mitsui Petrochemical Industries under the trade name “Hi-Zex Million” and Hoechst “Hostalen GUR”.
[0011]
A sheet for adsorbing and fixing comprising a UHMWPE porous sheet can be obtained by the following method. In this method, UHMWPE powder is filled in a mold, and then sintered in a steam atmosphere heated to a temperature equal to or higher than the melting point of UHMWPE to form a block-shaped molded body (porous body), and then cooled. The molded body is cut into a sheet having a predetermined thickness.
[0012]
In this method, first, UHMWPE powder (particle size is usually 30 to 200 μm) is filled in a mold, and then this is sintered in a steam atmosphere heated above the melting point of UHMWPE to obtain a block-shaped molded body. To do. In this way, the UHMWPE powder is filled in a mold and sintered in a heated steam atmosphere, and therefore, a mold having at least one opening (for heating steam introduction) is used. The time required for sintering varies depending on the amount of powder filling, the temperature of water vapor, and the like, but is usually about 1 to 12 hours.
[0013]
Since the water vapor used at this time raises the temperature to the melting point of UHMWPE or higher, it is in a pressurized state, so that it can easily enter between the UHMWPE powders filled in the mold. In order to facilitate the entry of heated steam between UHMWPE powders, the powder was filled in a mold, the mold was placed in a pressure vessel, subjected to a degassing operation to reduce the pressure, and then heated. You may make it sinter in water vapor | steam atmosphere. The degree of decompression at this time is not particularly limited, but is preferably about 1 to 100 mmHg.
[0014]
Therefore, the sintering of the UHMWPE powder filled in the mold is performed by providing a steam inlet pipe and its open / close valve in the pressure vessel, degassing the air between the powders, and then stopping the decompression or continuing the decompression. The method can be carried out by opening a steam valve and introducing heated steam.
[0015]
During this sintering, the UHMWPE powder is heated to a temperature above its melting point, but its melt viscosity is high, so it does not flow very much, and part or most of the powder shape is maintained. A heat-fused porous block-shaped molded body (the non-contact portions between the powders become micropores of the porous molded body) is formed. In addition, although it can also pressurize as needed in the case of sintering, it is preferable that the pressure shall be about 10 kg / cm < ² > or less normally.
[0016]
After performing the sintering as described above, it is cooled. In cooling, it is preferable to avoid rapid cooling in order to prevent cracks from forming in the block-shaped molded body. For example, a method of cooling by allowing to stand at room temperature can be employed. The cooling may be performed while the block-shaped molded body is placed in a mold, or may be performed after being removed from the mold. Thus, after cooling a block-shaped molded object, a porous sheet can be obtained by cutting to predetermined thickness with a lathe.
[0017]
The pore diameter and porosity of the porous sheet obtained by the above method are determined by the particle size of the UHMWPE powder used and the presence or absence of pressure during sintering. If the other conditions are the same, a porous sheet with a larger porosity and a higher porosity can be obtained as the particle size of the powder used is larger. Further, when no pressure is applied during sintering, a porous sheet having a large pore diameter and a high porosity can be obtained as compared with the case where pressure is applied. Further, when pressure is applied during sintering, a porous sheet having a smaller pore diameter and a lower porosity can be obtained as the pressure is higher.
[0018]
The sheet for adsorbing and fixing according to the present invention may be subjected to antistatic treatment. By performing the antistatic treatment, for example, it is possible to avoid sparks due to charging of the suction fixing sheet in the dicing process of the semiconductor wafer, and to prevent damage to the wafer due to sparks. Moreover, it is possible to prevent dust and dirt from adhering to a workpiece such as a semiconductor wafer.
[0019]
The antistatic treatment of the adsorption fixing sheet does not need to be special, and a normal method can be adopted. For example, a plastic powder and an antistatic agent may be mixed, and an adsorbing and fixing sheet may be produced using this mixture. Further, it is possible to employ a method in which the sheet is brought into contact with the antistatic agent-containing liquid (immersion, coating, etc.) and the sheet is impregnated with the antistatic agent. The amount of the antistatic agent used in this treatment is not particularly limited, but usually the proportion of the antistatic agent in the weight of the adsorption-fixing sheet is in the range of 0.1 to 2% by weight.
[0020]
As the antistatic agent, commercially available products such as “ELEKON ORW (manufactured by New Fine Chemical Co., Ltd.)” and “Electro Stripper (manufactured by Kao Corporation)” can be used, and inorganic conductive materials such as carbon black powder and metal powder can be used. Can be used.
[0021]
The adsorption fixing sheet according to the present invention may be colored. The plastic porous sheet is usually white and opaque, but when it is colored in an arbitrary color, for example, there are the following advantages. When the porous sheet is used for cutting the liquid crystal glass plate as an adsorbing and fixing sheet, scribing marks are generated on the glass plate in the scribing process. However, if the sheet is white, it is difficult to visually recognize the scribing marks and processing defects ( The scribe depth may not be as designed, or there may be a defect such as a scribe mark other than the design location. However, if this sheet is colored in an arbitrary color other than white, the scribe marks can be easily visually recognized by comparing the white color of the scribe marks with the color of the sheet, and defective products can be captured and removed more reliably.
[0022]
In order to adsorb and fix a workpiece using the adsorbing and fixing sheet according to the present invention, the sheet is placed on a base having a vent hole similar to that shown in FIG. 1, and the workpiece is processed on the sheet. The body is placed, and the pressure on the side opposite to the sheet arrangement side in the base is reduced through the vent hole. The workpiece is adsorbed and fixed by this reduced pressure. If desired, a rubber sheet (with a large number of through holes) or a stainless steel plate (with a large number of through holes) may be interposed between the base and the adsorption fixing sheet.
[0023]
Since the porous sheet according to the present invention is used as described above, if an adhesive layer is partially provided on one side thereof (such as a streak, a dot, or a mesh), the arrangement is facilitated during use. In addition, it is preferable because the subsequent positional deviation can be more reliably prevented. The adhesive is preferably a pressure sensitive adhesive in consideration of adhesion workability and ease of peeling when the sheet is replaced, but a hot melt adhesive, a thermosetting adhesive, or the like can also be used.
[0024]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
[0025]
Example 1
UHMWPE powder (molecular weight: 5 million, melting point: 135 ° C., average particle size: 110 μm) is filled in a cylindrical mold (top opening, bottom closing) having an inner diameter of 105 mm, and the powder is pressurized at a rate of 90 g / cm ² .
[0026]
This is put in a metal pressure vessel (equipped with a water vapor inlet tube and its opening / closing valve), and the vacuum pump is operated to reduce the atmospheric pressure to 30 mmHg, thereby degassing the air between the filled powders.
[0027]
After deaeration, the vacuum pump is stopped, the water vapor introduction valve is opened, water vapor (temperature: 158 ° C., 6 atm) is introduced and heated for 60 minutes to sinter the UHMWPE powder to obtain a round rod-like porous body.
[0028]
Next, after cooling this by leaving it in a room at a temperature of 25 ° C. for 3 hours, a round bar-shaped molded body (outer diameter of about 105 mm) is taken out from the mold and cut into a thickness of 500 μm along the circumferential direction by a lathe. A white opaque porous sheet (porosity 30%, average pore diameter 30 μm) was obtained.
[0030]
Comparative Example 1
A porous adsorption and fixing sheet was obtained in the same manner as in Example 2 except that a 1 mm thick sheet made of polytetrafluoroethylene was used.
[0031]
Comparative Example 2
A sheet for adsorbing and fixing paper (commercially available) having a thickness of 200 μm was prepared.
The characteristics of the sheets of the above examples and comparative examples were measured in the following manner, and the results obtained are shown in Table 1.
[0032]
A. Coefficient of friction The coefficient of friction was measured using a Baden-Leben friction tester (Orientec Co., Ltd., AST-15B type reciprocating friction and wear tester). In addition, as a counterpart material, a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used, and the load was set to 200 g and the sliding speed was set to 150 mm / min.
[0033]
B. Abrasion amount The abrasion amount was measured using a Matsubara type abrasion tester (Orientec Co., Ltd., EFM-III-F). A stainless plate (thickness 1 mm) polished with # 320 sandpaper was used as the counterpart material, and the contact area was set to 2 cm ² , the load was 5 kg, the sliding speed was 300 mm / sec, and the sliding time was 2 hours. Then, the thickness after the test was subtracted from the thickness before the test of the adsorption fixing sheet to obtain the wear amount (unit is “mm”).
[0034]
C. Mounting test Adsorption fixing sheets obtained in Examples and Comparative Examples are placed on a metal base having the same structure as shown in FIG. 1, and a glass plate for liquid crystal (thickness 0.8 mm, length 350 mm) is placed on this sheet. , 250 mm wide). Then, the glass plate is sucked and fixed on the sheet by suction with a vacuum pump, and a scribing process by a diamond cutter (processing to put a predetermined scratch on the glass plate, the depth of the scratch is set to about 70 μm in this test) Do. The glass plate after the scribing process is replaced with an unprocessed glass sheet and processed in the same manner. If this scribing process is repeated, the suction fixing sheet is gradually damaged at the edge of the glass plate, so that the linear accuracy of the scribing process is impaired, and the break process (the process of breaking the glass plate starting from the scribe mark after the scribing process) ), The accuracy of the cracked surface is impaired. The number of glass plates that can be processed until the plane accuracy of the crack surface exceeds 0.2 mm / 250 mm was counted.
[0035]
[Table 1]

[0036]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above and the adsorption fixing sheet is porous, there are advantages that the coefficient of friction is low, the wear amount is small, and the life is long.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view showing an example of an adsorption fixing method.
[Explanation of symbols]
1 Ventilation hole 2 Suction hole 3 Base 4 Work piece 5 Protective material

Claims

An adsorption fixing sheet comprising an ultrahigh molecular weight polyethylene porous sheet having a friction coefficient of 0.3 or less and an abrasion amount of 0.1 mm or less.
However, the wear amount was measured when the wear amount was measured under conditions of a contact area of 2 cm ² , a load of 5 kg, a sliding speed of 300 mm / sec, and a sliding time of 2 hours, using a stainless steel plate polished with # 320 sandpaper. The value obtained by subtracting the thickness after the test from the thickness before the test.

The adsorption fixing sheet according to claim 1, which has been subjected to antistatic treatment.