JP3721287B2 - Energy selection slit width setting device - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタにおいて、特定のエネルギを選別するために用いられているエネルギ選択スリットの技術分野に属し、特に、このエネルギ選択スリットを通過させるエネルギ範囲を規定するスリット幅を設定するエネルギ選択スリット幅設定装置の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子顕微鏡により試料の特定のエネルギのスペクトルを取得するための１つとして、マグネットで電子を偏向させる方式のエネルギフィルタが電子顕微鏡に装着されている。このエネルギフィルタでは、エネルギを選別するためにエネルギ選択スリットと、マグネットで電子を偏向させるスペクトロメータとが用いられている。そして、エネルギ選択スリットでエネルギ範囲を規定し、試料を透過した電子のエネルギのうち、規定されたエネルギ範囲内のエネルギを選択し、この選択したエネルギをスペクトロメータで結像することでそのスペクトルを得ている。
【０００３】
ところで、このようなエネルギフィルタにおいては、エネルギ選択スリットを通過させるエネルギ範囲をスリットの幅で規定している。従来、エネルギ選択スリットのスリット幅を規定する手段として、通常は、マイクロメータが用いられている。すなわち、図２に示すようにマイクロメータ１０のヘッド１１にナイフエッジ１２,１３を取り付けて、このマイクロメータ１０の操作部１４を手動で操作することにより、ミクロンオーダでスリット幅Ｗを設定している。
【０００４】
一方、スペクトロメータの構造によってエネルギ分散が定まるが、このエネルギ分散は通常μｍ／ｅＶの単位で表される固有値であり、エネルギ選択スリットの位置と一致するエネルギ分散面において、１エレクトロンボルトのエネルギ差の電子をどれだけの間隔に分離可能かの性能を表している。いま、スペクトロメータのエネルギ分散をＤ（μｍ／ｅＶ）、スリットの幅をＷ（μｍ）とすると、このスリットにより選択され得るエネルギ幅はＷ／Ｄ（ｅＶ）ということになる。
前述のように、分散Ｄは固有値であるから、このＤ値をメモリ等のいずれかに記録しておき、マイクロメータの読みから電卓などで簡単な計算を行うことにより、選択するエネルギ幅は簡単に求められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マイクロメータ１０を手動で操作することでスリット幅Ｗを設定したのでは、操作が煩雑となるばかりでなく、スリット幅Ｗを正確に設定することは難しい。
また、スペクトロメータ固有の分散Ｄは電子の初期エネルギ（primary energy）に依存して変化するため、電子顕微鏡の加速電圧を一定のまま像観察を行っているだけならば、その加速電圧のＤ値のみを使用すればよいが、像コントラスト向上や収束電子回折などの目的で加速電圧を変えて使用する場合は、そのprimary energyに対するＤ値を計算するかあるいは実測して用意し、エネルギ選択幅を計算する定数を変えてやらなければならない。このため、オペレータは、その都度、分散Ｄ値の違いによる、スリット幅のエネルギ換算値を計算して見積もらなければならなく、操作が更に一層煩雑となっている。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、エネルギ選択スリットのスリット幅を容易に設定可能にするとともに、スリット幅の換算値を自動的に計算して直接表示することにより、操作効率を向上することのできるエネルギ選択スリット幅設定装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するために、請求項１の発明は、電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、オペレータによって操作され、スリット幅Ｗを設定操作する操作手段と、前記エネルギ選択スリットのスリット幅をこの操作手段で設定操作されたスリット幅Ｗに対応して設定するスリット幅自動設定手段と、前記操作手段で設定操作されたスリット幅Ｗに基づいて前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、予め設定された基準加速電圧Ｅ0およびこの基準加速電圧Ｅ0におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、前記制御装置が、前記操作手段により前記スリット幅Ｗが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ0および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記スリット幅Ｗに基づき、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを表示手段に表示させるようにしたことを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２の発明は、前記制御装置が、前記エネルギ分散Ｄを下記数１により求め、前記エネルギ幅ｄＥを下記数２により求めることをことを特徴としている。
【数１】

Figure 0003721287
【数２】
Figure 0003721287
【０００９】
更に、請求項３の発明は、電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、オペレータによって操作され、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを設定操作する操作手段と、前記エネルギ選択スリットのスリット幅を設定するスリット幅自動設定手段と、前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、予め設定された基準加速電圧Ｅ0およびこの基準加速電圧Ｅ0におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、前記制御装置が、前記操作手段によりエネルギ幅ｄＥが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ0および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記エネルギ幅ｄＥに基づき、設定されたエネルギ幅ｄＥに対応するスリット幅を求め、前記エネルギ選択スリットのスリット幅が求めたスリット幅Ｗになるように前記スリット幅自動設定手段を制御するようにしたことを特徴としている。
【００１０】
更に、請求項４の発明は、電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、オペレータによって操作され、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを設定操作する操作手段と、前記エネルギ選択スリットのスリット幅を設定するスリット幅自動設定手段と、前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、予め設定された基準加速電圧Ｅ0およびこの基準加速電圧Ｅ0におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、前記制御装置が、前記操作手段によりエネルギ幅ｄＥが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ0および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ0に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記エネルギ幅ｄＥに基づき、設定されたエネルギ幅ｄＥに対応するスリット幅Ｗを求め、その求めたスリット幅Ｗを表示手段に表示させるようにしたことを特徴としている。
【００１１】
更に、請求項５の発明は、前記制御装置が、前記エネルギ分散Ｄを下記数１により求め、前記スリット幅Ｗを下記数３により求めることをことを特徴としている。
【数１】
Figure 0003721287
【数３】
Figure 0003721287
【００１２】
【作用】
このような構成をした本発明のエネルギ選択スリット幅設定装置においては、オペレータが操作手段でスリット幅を設定操作することにより、スリット幅自動設定手段がスリット幅に自動的に設定するようになる。
また、設定操作された長さの単位で表されたスリット幅のエネルギ換算値を制御手段で計算して表示手段に直接表示するか、あるいは設定操作されたエネルギの単位で表されたスリット幅の長さ換算値を制御手段で計算して表示手段に直接表示するようになる。
【００１３】
このようにスリット幅の換算値が表示手段で直接表示されるので、オペレータは一切の計算を行うことなく、換算値を知ることができ、操作効率が向上する。
更に、加速電圧が変わった場合にも、オペレータが操作手段で換算値の操作を行うことにより、制御装置が換算式の定数を自動的に変えて換算値を計算するので、スリット幅の換算値が直ちに更新されて表示手段に常に正しい値で表示されるようになる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明にかかるエネルギ選択スリット幅設定装置の実施の形態の一例を模式的に示す図である。
図１に示すように、この例のエネルギ選択スリット幅設定装置１は、オペレータによって操作され、スリット幅Ｗ（μｍ）を設定するための操作手段２と、スリット幅Ｗ（μｍ）を自動的に設定するスリット幅自動設定手段３と、スリット幅Ｗおよびエネルギ幅ｄＥを表示する、ディスプレイ等の表示手段４と、電子顕微鏡の加速電圧Ｅ（ｋＶ：キロボルト）を検出する加速電圧検出手段５と、基準加速電圧Ｅ0（ｋＶ）およびこの基準加速電圧Ｅ0におけるエネルギフィルタのエネルギの分散（以下、説明の便宜上、エネルギフィルタのエネルギの基準分散ともいう）Ｄ0を予め記憶するメモリ６と、操作手段２からのスリット幅設定操作情報、加速電圧検出手段５からの加速電圧情報、およびメモリ６からの基準加速電圧Ｅ0およびエネルギフィルタのエネルギの基準分散Ｄ0の各情報に基づいて、スリット幅自動設定手段３および表示手段４にそれぞれ制御信号を出力する制御装置（ＣＰＵ）７とを備えている。
【００１５】
スリット幅自動設定手段３はエネルギ選択スリットのスリット幅Ｗを設定するものであり、マイクロメータ１０およびこのマイクロメータ１０のヘッド１１の駆動のためにステッピングモータ（不図示）を備えている。このステッピングモータの駆動電源がＣＰＵ７によって制御されることで、マイクロメータヘッド１１は従来の手動方式に代えてステッピングモータ駆動方式にされている。
【００１６】
ＣＰＵ７は、操作手段２からの長さの単位で表されるスリット幅Ｗ（μｍ）、加速電圧検出手段５の加速電圧Ｅ（ｋＶ）、およびメモリに記憶されている基準加速電圧Ｅ0（ｋＶ）およびエネルギフィルタのエネルギの基準分散Ｄ0（μｍ／ｅＶ）に基づいて、所定のエネルギ換算式
【数１】
Figure 0003721287
【数２】
Figure 0003721287
により、分散Ｄ（μｍ／ｅＶ）およびスリット幅Ｗ（μｍ）のエネルギ換算値ｄＥ（ｅＶ）を計算するようになっている。なお、基準加速電圧は電子顕微鏡本体で可能な最高加速電圧に設定すると管理しやすいが、特にこれに限定されるものではない。また、基準加速電圧Ｅ0およびエネルギフィルタのエネルギの基準分散Ｄ0はいずれもスペクトロメータを設計する段階で既に判っている値であり、また、実験的に測定することも容易であるので前もって測定することで既知量としておけば、以後は変動することはない。
【００１７】
そして、ＣＰＵ７は、更にスリット幅Ｗの設定信号をスリット幅自動設定手段３に出力するとともに、このスリット幅Ｗおよび計算で得られたエネルギ幅ｄＥ（ｅＶ）の表示信号を表示手段４に出力するようになっている。
【００１８】
このように構成されたこの例のエネルギ選択スリット幅設定装置１においては、オペレータが操作手段２を操作して長さの単位のスリット幅Ｗの設定操作を行うと、この操作信号がＣＰＵ７に入力される。ＣＰＵ７は、このスリット幅Ｗの設定操作信号に基づいてスリット幅Ｗの設定信号をスリット幅自動設定手段３に出力し、ステッピングモータを駆動制御する。これにより、スリット幅自動設定手段３は、エネルギ選択スリットをこのスリット幅Ｗになるように自動的に設定する。また同時に、ＣＰＵ７は、前述のようにスリット幅Ｗ（μｍ）に基づいてそのエネルギ換算値ｄＥ（ｅＶ）を計算するとともに、スリット幅Ｗおよびエネルギ幅ｄＥ（ｅＶ）の表示信号を表示手段４に出力する。これにより、表示手段４はスリット幅Ｗおよびエネルギ幅ｄＥ（ｅＶ）を表示する。こうして、設定操作されたスリット幅Ｗが直接にエネルギの幅ｄＥ（ｅＶ）として表示される。
【００１９】
この例のエネルギ選択スリット幅設定装置１によれば、オペレータが操作手段２でスリット幅Ｗを設定操作することにより、スリット幅自動設定手段３がスリット幅Ｗに自動的に設定するようになるので、エネルギ選択スリットのスリット幅をより簡単に設定できるようになるとともに、より正確に設定できるようになる。
【００２０】
また、設定操作された長さ単位のスリット幅Ｗのエネルギ換算値をＣＰＵ７で計算して表示手段に直接表示するようになるので、オペレータは一切の計算を行うことなく、スリット幅Ｗのエネルギ換算値を知ることができる。このように、長さ単位のスリット幅Ｗをオペレータが必要とする値であるエネルギとして直接表示することにより、操作効率が向上する。
【００２１】
更に、加速電圧Ｅを変えた場合にも、オペレータが操作手段２でエネルギ換算値の操作を行うことにより、ＣＰＵ７が換算式の定数を自動的に変えてエネルギ値を計算するので、スリット幅Ｗのエネルギ値を直ちに更新して表示手段４に常に正しいエネルギ幅を表示することができるようになる。これにより、従来オペレータによって行われた、加速電圧Ｅの変化に基づくエネルギフィルタのエネルギの分散の違いの見積もりが不要となる。
【００２２】
なお、前述の例では、オペレータが操作手段２で長さの単位のスリット幅Ｗを設定操作することで、エネルギ選択スリットのスリット幅を自動設定するとともに、スリット幅Ｗのエネルギ換算値ｄＥを自動的に計算し表示するようにしているが、逆に、オペレータが操作手段２でエネルギ幅ｄＥを設定操作することで、ＣＰＵ７により前述と同様にしてエネルギフィルタのエネルギの分散Ｄ値を計算するとともに、換算式
【数３】
Figure 0003721287
を用いてスリット幅Ｗを自動的に計算し、エネルギ選択スリットのスリット幅を得られたスリット幅Ｗに自動設定するとともに、これらのスリット幅Ｗおよびエネルギ幅ｄＥを自動的に表示するようにすることもできる。
【００２３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明のエネルギ選択スリット幅設定装置によれば、オペレータが操作手段でスリット幅を設定操作することで、スリット幅自動設定手段によりエネルギ選択スリットのスリット幅を自動的に設定するようにしているので、エネルギ選択スリットのスリット幅をより簡単にかつより正確に設定できる。
【００２４】
また、設定操作されたスリット幅のエネルギ単位または長さ単位の換算値を制御装置で計算して表示手段に直接表示するようにしているので、オペレータは一切の計算を行うことなく、スリット幅の換算値を知ることができる。このように、スリット幅をオペレータが必要とする値であるエネルギ単位または長さ単位の換算値として直接表示することにより、操作効率を向上することができる。
【００２５】
更に、加速電圧を変えた場合にも、オペレータが操作手段でエネルギ単位または長さ単位の換算値の操作を行うことにより、制御装置が換算式の定数を自動的に変えて換算値を計算するので、スリット幅の換算値を直ちに更新して表示手段に常に正しい値を表示することができるようになる。これにより、従来オペレータによって行われた、加速電圧の変化に基づくエネルギフィルタのエネルギの分散の違いの見積もりが不要となり、操作効率を更に一層向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明にかかるエネルギ選択スリット幅設定装置の実施の形態の一例を模式的に示す図である。
【図２】 従来のエネルギ選択スリットのスリット幅の設定方法を説明する図である。
【符号の説明】
１…エネルギ選択スリット幅設定装置、２…操作手段、３…スリット幅自動設定手段、４…表示手段、５…加速電源、６…メモリ、７…制御装置（ＣＰＵ）、１０…マイクロメータ、１１…マイクロメータヘッド[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of energy selective slits used for selecting specific energy in an energy filter mounted on an electron microscope, and in particular, a slit that defines an energy range that passes through the energy selective slit. The present invention belongs to the technical field of an energy selective slit width setting device for setting a width.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, as one of means for acquiring a specific energy spectrum of a sample with an electron microscope, an energy filter of a type that deflects electrons with a magnet is attached to the electron microscope. In this energy filter, an energy selection slit and a spectrometer that deflects electrons with a magnet are used to select energy. Then, the energy range is defined by the energy selection slit, the energy within the defined energy range is selected from the energy of the electrons transmitted through the sample, and the spectrum is obtained by imaging the selected energy with a spectrometer. It has gained.
[0003]
By the way, in such an energy filter, the energy range which passes an energy selection slit is prescribed | regulated by the width | variety of a slit. Conventionally, a micrometer is usually used as a means for defining the slit width of the energy selection slit. That is, as shown in FIG. 2, the knife widths 12 and 13 are attached to the head 11 of the micrometer 10 and the operation section 14 of the micrometer 10 is manually operated to set the slit width W in the micron order. Yes.
[0004]
On the other hand, the energy dispersion is determined by the structure of the spectrometer, and this energy dispersion is usually an eigenvalue expressed in units of μm / eV, and an energy difference of 1 electron volt on the energy dispersion surface coincident with the position of the energy selection slit. It shows the performance of how many electrons can be separated. Now, assuming that the energy dispersion of the spectrometer is D (μm / eV) and the width of the slit is W (μm), the energy width that can be selected by this slit is W / D (eV).
As described above, since the variance D is an eigenvalue, the energy width to be selected is simple by recording this D value in any memory or the like and performing a simple calculation with a calculator or the like from reading the micrometer. Is required.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, if the slit width W is set by manually operating the micrometer 10, not only the operation becomes complicated, but it is difficult to set the slit width W accurately.
Further, since the dispersion D inherent to the spectrometer changes depending on the primary energy of the electrons, if the image observation is performed with the acceleration voltage of the electron microscope kept constant, the D value of the acceleration voltage is used. However, when changing the acceleration voltage for the purpose of improving image contrast or converging electron diffraction, calculate the D value for the primary energy or prepare it by actual measurement, and set the energy selection range. You have to change the constant to calculate. For this reason, the operator must calculate and estimate the energy conversion value of the slit width due to the difference in the variance D value each time, and the operation is further complicated.
[0006]
The present invention has been made in view of such circumstances, and its purpose is to make it possible to easily set the slit width of the energy selection slit and to automatically calculate and directly display the converted value of the slit width. By doing this, it is providing the energy selection slit width | variety setting apparatus which can improve operation efficiency.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is provided in an energy filter mounted on an electron microscope and is operated by an operator in an energy selection slit width setting device for selecting desired energy of electrons from a sample. An operation means for setting and operating the slit width W, an automatic slit width setting means for setting the slit width of the energy selection slit corresponding to the slit width W set and operated by the operation means, and setting by the operation means A controller for controlling the operation of the automatic slit width setting means based on the operated slit width W, an acceleration voltage detecting means for detecting the current acceleration voltage E of the electron microscope, and a preset reference acceleration voltage E 0. and Bei and storage means energy dispersion D 0 of the energy filter are stored beforehand respectively in the reference acceleration voltage E 0 , Wherein the controller, when said the slit width W is set operated by the operation means, the acceleration voltage is detected by the detection means the current acceleration voltage E, and the reference stored in the storage means accelerating voltage E 0 and Based on the energy dispersion D 0 of the energy filter, the energy dispersion D of the energy filter at the current acceleration voltage E is obtained, and the energy width selected by the slit based on the obtained energy dispersion D and the slit width W. It is characterized in that dE is displayed on the display means.
[0008]
The invention of claim 2 is characterized in that the control device obtains the energy dispersion D by the following equation 1 and obtains the energy width dE by the following equation 2.
[Expression 1]
Figure 0003721287
[Expression 2]
Figure 0003721287
[0009]
Further, the invention of claim 3 is provided in an energy filter attached to an electron microscope, and is operated by an operator and selected by the slit in an energy selection slit width setting device for selecting a desired energy of electrons from a sample. Operating means for setting and operating the energy width dE, a slit width automatic setting means for setting the slit width of the energy selection slit, a control device for controlling the operation of the slit width automatic setting means, and the current acceleration of the electron microscope Accelerating voltage detecting means for detecting the voltage E, and storage means for storing a preset reference acceleration voltage E 0 and energy dispersion D 0 of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0 in advance, respectively. When the device is operated to set the energy width dE by the operating means, the acceleration voltage detection Current acceleration voltage E detected by the stage, and based on the energy dispersion D 0 of the reference acceleration voltage E 0 and the energy filter stored in the storage means, the energy dispersion D of the energy filter in the current acceleration voltage E Further, based on the obtained energy dispersion D and the energy width dE, a slit width corresponding to the set energy width dE is obtained, and the slits so that the slit width of the energy selection slit becomes the obtained slit width W. The automatic width setting means is controlled.
[0010]
Furthermore, the invention of claim 4 is provided in an energy filter attached to an electron microscope, and is operated by an operator and selected by the slit in an energy selection slit width setting device for selecting a desired energy of electrons from a sample. Operating means for setting and operating the energy width dE, a slit width automatic setting means for setting the slit width of the energy selection slit, a control device for controlling the operation of the slit width automatic setting means, and the current acceleration of the electron microscope Accelerating voltage detecting means for detecting the voltage E, and storage means for storing a preset reference acceleration voltage E 0 and energy dispersion D 0 of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0 in advance, respectively. When the device is operated to set the energy width dE by the operating means, the acceleration voltage detection Current acceleration voltage E detected by the stage, and based on the energy dispersion D 0 of the reference acceleration voltage E 0 and the energy filter stored in the storage means, the energy dispersion D of the energy filter in the current acceleration voltage E Further, a slit width W corresponding to the set energy width dE is obtained based on the obtained energy dispersion D and the energy width dE, and the obtained slit width W is displayed on the display means. It is said.
[0011]
Furthermore, the invention of claim 5 is characterized in that the control device obtains the energy dispersion D by the following equation 1 and obtains the slit width W by the following equation 3.
[Expression 1]
Figure 0003721287
[Equation 3]
Figure 0003721287
[0012]
[Action]
In the energy selection slit width setting apparatus of the present invention having such a configuration, the slit width automatic setting means automatically sets the slit width when the operator sets the slit width with the operation means.
Also, the energy conversion value of the slit width expressed in the unit of the set operation length is calculated by the control unit and displayed directly on the display unit, or the slit width expressed in the unit of the set operation energy is displayed. The length converted value is calculated by the control means and directly displayed on the display means.
[0013]
Thus, since the converted value of the slit width is directly displayed on the display means, the operator can know the converted value without performing any calculation, and the operation efficiency is improved.
Furthermore, even when the acceleration voltage changes, the operator operates the conversion value with the operating means, so that the control device automatically changes the conversion formula constant and calculates the conversion value. Is updated immediately and always displayed on the display means with a correct value.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of an embodiment of an energy selective slit width setting device according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the energy selection slit width setting device 1 of this example is operated by an operator, and the operation means 2 for setting the slit width W (μm) and the slit width W (μm) are automatically set. A slit width automatic setting means 3 for setting, a display means 4 for displaying a slit width W and an energy width dE, an acceleration voltage detecting means 5 for detecting an acceleration voltage E (kV: kilovolt) of an electron microscope, A memory 6 for storing in advance a reference acceleration voltage E 0 (kV) and energy dispersion of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0 (hereinafter also referred to as energy reference energy dispersion for convenience) D 0 Slit width setting operation information from means 2, acceleration voltage information from acceleration voltage detection means 5, reference acceleration voltage E 0 and energy from memory 6 A control device (CPU) 7 is provided for outputting control signals to the slit width automatic setting means 3 and the display means 4 based on each information of the filter energy reference dispersion D 0 .
[0015]
The slit width automatic setting means 3 sets the slit width W of the energy selection slit, and includes a micrometer 10 and a stepping motor (not shown) for driving the head 11 of the micrometer 10. By controlling the driving power of the stepping motor by the CPU 7, the micrometer head 11 is changed to the stepping motor driving method instead of the conventional manual method.
[0016]
The CPU 7 has a slit width W (μm) expressed in units of length from the operation means 2, an acceleration voltage E (kV) of the acceleration voltage detection means 5, and a reference acceleration voltage E 0 (kV) stored in the memory. ) And the energy standard dispersion D 0 (μm / eV) of the energy filter, a predetermined energy conversion formula
Figure 0003721287
[Expression 2]
Figure 0003721287
Thus, the energy conversion value dE (eV) of the dispersion D (μm / eV) and the slit width W (μm) is calculated. The reference acceleration voltage is easy to manage when set to the highest acceleration voltage possible in the electron microscope main body, but is not particularly limited to this. In addition, the reference acceleration voltage E 0 and the reference dispersion D 0 of the energy of the energy filter are values already known at the stage of designing the spectrometer, and are also measured in advance because it is easy to measure experimentally. If it is set as a known amount by doing so, it will not fluctuate thereafter.
[0017]
Then, the CPU 7 further outputs a setting signal for the slit width W to the slit width automatic setting means 3 and outputs a display signal for the slit width W and the energy width dE (eV) obtained by the calculation to the display means 4. It is like that.
[0018]
In the energy selection slit width setting device 1 of this example configured as described above, when the operator operates the operation means 2 to perform the setting operation of the slit width W in units of length, this operation signal is input to the CPU 7. Is done. The CPU 7 outputs a slit width W setting signal to the slit width automatic setting means 3 based on the slit width W setting operation signal, and drives and controls the stepping motor. Thereby, the slit width automatic setting means 3 automatically sets the energy selection slit to be the slit width W. At the same time, the CPU 7 calculates the energy conversion value dE (eV) based on the slit width W (μm) as described above, and displays display signals of the slit width W and energy width dE (eV) to the display means 4. Output. Thereby, the display means 4 displays the slit width W and the energy width dE (eV). In this way, the slit width W that has been set is directly displayed as the energy width dE (eV).
[0019]
According to the energy selection slit width setting device 1 of this example, the slit width automatic setting means 3 automatically sets the slit width W when the operator operates the setting means 2 to set the slit width W. The slit width of the energy selection slit can be set more easily and more accurately.
[0020]
Further, since the energy conversion value of the slit width W in the unit of the set length is calculated by the CPU 7 and directly displayed on the display means, the operator converts the energy of the slit width W without performing any calculation. You can know the value. Thus, the operation efficiency is improved by directly displaying the slit width W in length units as energy that is a value required by the operator.
[0021]
Further, even when the acceleration voltage E is changed, the operator operates the energy conversion value with the operation means 2 so that the CPU 7 automatically changes the constant of the conversion formula to calculate the energy value. The energy value is immediately updated, and the correct energy width can always be displayed on the display means 4. This eliminates the need for estimating the difference in energy dispersion of the energy filter based on the change in the acceleration voltage E, which has been conventionally performed by an operator.
[0022]
In the above-described example, the operator automatically sets the slit width W of the energy selection slit by setting and operating the slit width W in the unit of length with the operation means 2, and the energy conversion value dE of the slit width W is automatically set. On the contrary, when the operator sets the energy width dE with the operating means 2, the CPU 7 calculates the energy dispersion D value of the energy filter in the same manner as described above. Conversion formula [Equation 3]
Figure 0003721287
Is used to automatically calculate the slit width W, automatically set the slit width W of the energy selection slit to the obtained slit width W, and automatically display these slit width W and energy width dE. You can also.
[0023]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the energy selection slit width setting device of the present invention, the slit width of the energy selection slit is automatically set by the slit width automatic setting means when the operator sets the slit width by the operation means. Therefore, the slit width of the energy selection slit can be set more easily and more accurately.
[0024]
In addition, since the converted value of the energy unit or length unit of the slit width that has been set and operated is calculated by the control device and directly displayed on the display means, the operator can perform the calculation of the slit width without performing any calculation. You can know the conversion value. Thus, the operation efficiency can be improved by directly displaying the slit width as the converted value of the energy unit or the length unit which is a value required by the operator.
[0025]
Further, even when the acceleration voltage is changed, the control unit automatically calculates the conversion value by changing the constant of the conversion formula by operating the conversion value of the energy unit or the length unit with the operation means by the operator. Therefore, the converted value of the slit width can be immediately updated so that the correct value can always be displayed on the display means. Thereby, the estimation of the difference in energy dispersion of the energy filter based on the change of the acceleration voltage, which has been conventionally performed by the operator, becomes unnecessary, and the operation efficiency can be further improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of an embodiment of an energy selective slit width setting device according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram for explaining a conventional method for setting the slit width of an energy selection slit.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Energy selection slit width setting apparatus, 2 ... Operation means, 3 ... Slit width automatic setting means, 4 ... Display means, 5 ... Acceleration power supply, 6 ... Memory, 7 ... Control apparatus (CPU), 10 ... Micrometer, 11 ... Micrometer head

Claims (5)

電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、
オペレータによって操作され、スリット幅Ｗを設定操作する操作手段と、前記エネルギ選択スリットのスリット幅をこの操作手段で設定操作されたスリット幅Ｗに対応して設定するスリット幅自動設定手段と、前記操作手段で設定操作されたスリット幅Ｗに基づいて前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、
前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、
予め設定された基準加速電圧Ｅ 0 およびこの基準加速電圧Ｅ 0 におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、
前記制御装置は、前記操作手段により前記スリット幅Ｗが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ 0 および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記スリット幅Ｗに基づき、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを表示手段に表示させるようにしたことを特徴とするエネルギ選択スリット幅設定装置。In an energy selection slit width setting device that is provided in an energy filter attached to an electron microscope and selects a desired energy of electrons from a sample,
It is operated by an operator, and operating means for setting operation of the slit width W, and the slit width automatic setting means for setting in response to the slit width W which is set operated by the operating means to the slit width of the energy selection slit, the operation A control device for operating and controlling the slit width automatic setting means based on the slit width W set and operated by the means ;
Accelerating voltage detecting means for detecting a current accelerating voltage E of the electron microscope;
Storage means for storing a preset reference acceleration voltage E 0 and energy dispersion D 0 of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0, respectively.
When the slit width W is set by the operation means, the control device detects the current acceleration voltage E detected by the acceleration voltage detection means, the reference acceleration voltage E 0 stored in the storage means, and the Based on the energy dispersion D 0 of the energy filter, the energy dispersion D of the energy filter at the current acceleration voltage E is obtained, and further, the energy width dE selected by the slit based on the obtained energy dispersion D and the slit width W. energy selection slit width setting device is characterized in that so as to be displayed on the display means. 前記制御装置は、前記エネルギ分散Ｄを下記数１により求め、前記エネルギ幅ｄＥを下記数２により求めることをことを特徴とする請求項１記載のエネルギ選択スリット幅設定装置。
Figure 0003721287
Figure 0003721287
 2. The energy selection slit width setting device according to claim 1 , wherein the control device obtains the energy dispersion D by the following equation (1) and obtains the energy width dE by the following equation (2 ).
Figure 0003721287
Figure 0003721287
 電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、
オペレータによって操作され、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを設定操作する操作手段と、
前記エネルギ選択スリットのスリット幅を設定するスリット幅自動設定手段と、
前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、
前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、
予め設定された基準加速電圧Ｅ 0 およびこの基準加速電圧Ｅ 0 におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、
前記制御装置は、前記操作手段によりエネルギ幅ｄＥが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ 0 および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記エネルギ幅ｄＥに基づき、設定されたエネルギ幅ｄＥに対応するスリット幅を求め、前記エネルギ選択スリットのスリット幅が求めたスリット幅Ｗになるように前記スリット幅自動設定手段を制御するようにしたことを特徴とするエネルギ選択スリット幅設定装置。 In an energy selection slit width setting device that is provided in an energy filter attached to an electron microscope and selects a desired energy of electrons from a sample,
An operating means operated by an operator to set and operate an energy width dE selected by the slit;
Automatic slit width setting means for setting the slit width of the energy selection slit;
A controller for controlling the slit width automatic setting means;
Accelerating voltage detecting means for detecting a current accelerating voltage E of the electron microscope;
Storage means for storing a preset reference acceleration voltage E 0 and energy dispersion D 0 of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0, respectively.
When the energy width dE is set and operated by the operation means, the control device detects the current acceleration voltage E detected by the acceleration voltage detection means, the reference acceleration voltage E 0 stored in the storage means, and the energy Based on the energy dispersion D 0 of the filter, the energy dispersion D of the energy filter at the current acceleration voltage E is obtained, and further, the slit corresponding to the set energy width dE based on the obtained energy dispersion D and the energy width dE. determined width, features and to Rue Nerugi selection slit width setting device that it has to control the slit width automatic setting means so that the slit width W of the slit width is determined in the energy selection slit. 電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリット幅設定装置において、
オペレータによって操作され、前記スリットによって選択されるエネルギ幅ｄＥを設定操作する操作手段と、
前記エネルギ選択スリットのスリット幅を設定するスリット幅自動設定手段と、
前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置と、
前記電子顕微鏡の現在の加速電圧Ｅを検出する加速電圧検出手段と、
予め設定された基準加速電圧Ｅ 0 およびこの基準加速電圧Ｅ 0 におけるエネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 がそれぞれ予め記憶されている記憶手段とを備え、
前記制御装置は、前記操作手段によりエネルギ幅ｄＥが設定操作されたとき、前記加速電圧検出手段で検出された現在の加速電圧Ｅ、および前記記憶手段に記憶された基準加速電圧Ｅ 0 および前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄ 0 に基づき、現在の加速電圧Ｅにおける前記エネルギフィルタのエネルギ分散Ｄを求め、さらにその求めたエネルギ分散Ｄと前記エネルギ幅ｄＥに基づき、設定されたエネルギ幅ｄＥに対応するスリット幅Ｗを求め、その求めたスリット幅Ｗを表示手段に表示させるようにしたことを特徴とするエネルギ選択スリット幅設定装置。 In an energy selection slit width setting device that is provided in an energy filter attached to an electron microscope and selects a desired energy of electrons from a sample,
An operating means operated by an operator to set and operate an energy width dE selected by the slit;
Automatic slit width setting means for setting the slit width of the energy selection slit;
A controller for controlling the slit width automatic setting means;
Accelerating voltage detecting means for detecting a current accelerating voltage E of the electron microscope;
Storage means for storing a preset reference acceleration voltage E 0 and energy dispersion D 0 of the energy filter at the reference acceleration voltage E 0, respectively.
When the energy width dE is set and operated by the operation means, the control device detects the current acceleration voltage E detected by the acceleration voltage detection means, the reference acceleration voltage E 0 stored in the storage means, and the energy Based on the energy dispersion D 0 of the filter, the energy dispersion D of the energy filter at the current acceleration voltage E is obtained, and further, the slit corresponding to the set energy width dE based on the obtained energy dispersion D and the energy width dE. It determined width W, the determined features and to Rue Nerugi selection slit width setting device that it has to be displayed on the display means the slit width W. 前記制御装置は、前記エネルギ分散Ｄを下記数１により求め、前記スリット幅Ｗを下記数３により求めることをことを特徴とする請求項３または４記載のエネルギ選択スリット幅設定装置。
Figure 0003721287
Figure 0003721287
 5. The energy selection slit width setting device according to claim 3 , wherein the control device obtains the energy dispersion D by the following equation (1) and obtains the slit width W by the following equation ( 3 ).
Figure 0003721287
Figure 0003721287
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JPH0697601B2 (en) * 1992-02-14 1994-11-30 日本電子株式会社 Cylindrical mirror energy analyzer
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US5640012A (en) * 1995-08-25 1997-06-17 Gatan, Inc. Precision-controlled slit mechanism for electron microscope
US5798524A (en) * 1996-08-07 1998-08-25 Gatan, Inc. Automated adjustment of an energy filtering transmission electron microscope
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