JP3701394B2 - Leak test method for thin specimens with helium leak detector - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドラム缶や食品のパッケージ袋等の圧力変化によって変形を生じる可能性のある薄物の漏洩試験方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の薄物の漏洩試験法として水没法や石鹸水塗布法が知られている。また、微少な漏洩を試験する方法として、試験体の内部又は周囲のいずれか一方をヘリウムガス雰囲気とすると共に他方を真空排気して真空雰囲気とし、試験体に漏洩があったときその真空雰囲気に混入するヘリウムガスの有無をヘリウムリークディテクターで検出する方法も知られている。該ヘリウムリークディテクターは、真空中のガス分子をイオン化し、質量分析管によりヘリウムイオンのみを選別してイオンコレクターに入射させ、イオン電流として真空中に漏れるヘリウムガスを定量的に検出できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記の水没法は、およそ8.8×10-4Pa・m3/s程度のリーク量を試験することを目安としており、水没させた試験体を例えば1分間放置し、直径1mmの水泡が出なければ良品とする試験方法であるが、実際には試験体を水没させたとき水面が揺れ、水中を目視することが困難で、しかも水没した際に試験体に付着した水泡が上昇するので漏洩が原因の水泡との区別が判断できず、この水没法では実際は10-2Pa・m3/s程度のリーク量の試験が限界である。石鹸水塗布法では、試験体が汚れること及び漏洩箇所を予測して石鹸水を塗布するので多数の試験体の試験には不向きである。
【0004】
また、ヘリウムリークディテクターはヘリウムガスの分子が小さく僅かな隙間を通過するので感度の高い漏洩試験を行えるが、この装置では試験体を真空排気しなければならず、試験体が薄物である場合にはその排気のために変形を生じて製品検査には適しない。薄物試験体の内部をヘリウムガスによって加圧し、外部に漏れてくるヘリウムガスをヘリウムリークディテクターで検出するスニファー法という漏洩検査方法も知られているが、漏洩箇所を特定するには適していても製造タクトタイムに合わせて内容物を順次に充填しなければならない食品包装容器等の漏洩検査には不向きである。
【0005】
本発明は、薄物の試験体に変形をもたらさずに効率よく高感度で行える漏洩試験の方法を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明では、薄物試験体の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄物試験体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形しない程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウムリークディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験することにより、上記の目的を達成するようにした。該薄物試験体の外周を微真空圧とするために、該薄物試験体を、流量調整バルブを備えた気体導入管と真空ポンプに連なる排気管とを設けた気密のチャンバー内に納め、該薄物試験体が変形しない程度に該流量調整バルブで気体導入管からの気体流入量を調整しながら排気管により大気に排気し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリークディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験するものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づき説明すると、図1に於いて符号1は気体導入管2と排気管3を備えた気密のチャンバーを示し、該気体導入管2には大気中から該チャンバー1内へ導入する気体の量を調整する流量調整バルブ4を設け、該排気管3にはテストバルブ5と該チャンバー1内の気体を排気するためのオイルミスト等が発生しないドライポンプの差動排気用真空ポンプ6を接続した。該流量調整バルブ4は該チャンバー1に設けた圧力計7により該チャンバー1内が一定の設定圧力になるように制御される。また、該排気管3のテストバルブ5と真空ポンプ6の間にヘリウムリークディテクター8のガス導入口9を接続する。該ヘリウムリークディテクター8は公知のもので、該ガス導入口9から可変の導入バルブ10を介して導入される少量のガスをイオン化して質量分析管へ導き、所定のイオン例えばヘリウムイオンを選択してイオンコレクターに入射させ、該イオンコレクターに流れるイオン電流を検出することにより、各種試験体の漏洩量を検知するものである。該チャンバー1内には、本発明が漏洩試験の対象とするドラム缶や食品のパッケージ袋等の薄物試験体11であってその内部に適当な濃度でヘリウムガスを混入した気体を常圧に封入した薄物試験体11が納められる。医薬品、食料品のパッケージを試験するときは、真空ポンプ6として、オイルを使用しないドライポンプが最適である。
【0008】
該薄物試験体11が例えば80000Paで変形してしまうようなものである場合、該真空ポンプ6の有効排気速度が5L/min(8.3×10-5m3/s)であるならば、該流量調整バルブ4を調整して気体導入管2から6.64Pa・m3/sの大気流量が得られるように設定すれば、該チャンバー1内は微真空圧になり該試験体11が圧力で変形することはない。そして該試験体11に漏洩箇所があった場合、その内部からヘリウムガスがチャンバー1内へ漏出し、排気管3及びポンプ6を介して該気体導入管2からの気体と共に外部へ排出されるが、排気管3の途中で排気の一部はヘリウムリークディテクター8に導かれ、該試験体11から漏れ出したヘリウムガスが検出される。該流量調整バルブ4は該チャンバー1内の圧力が一定になるように圧力計7からの信号により制御する。従来の加圧真空法やスニファー法は真空排気するため排気時間が掛かるが、本発明の場合は該チャンバー1内を微真空圧とするのでごくわずかな時間ですみ、漏洩試験時間が大幅に短縮できる。
【0009】
尚、気体導入管2から大気を導入する代わりに窒素ガスを導入し、ヘリウムリークディテクター8を窒素ガスを検出できるように設定すれば、大気中に含有されている5ppmのヘリウムガスのバックグランドの影響を受けない検出を行え、高感度の漏洩試験を行える。流量調整バルブ4の流量、真空ポンプ6の排気速度、試験体11に封入するヘリウムガスの濃度は、検出する漏洩量、検出濃度によって適当に変更され、例えば検出濃度を高くしたいときには、真空ポンプ6の排気速度を落として流量調整バルブ4からの大気の導入を少なくすることにより実質的にチャンバー1内のヘリウムガスの濃度を上げ、或いは試験体11に封入するヘリウムガスの濃度を上げるようにする。また、漏洩検出時間を短縮したいときには、検出濃度が許される範囲でポンプ6の排気速度を上げればレスポンスを向上できる。
【0010】
該漏洩試験体11に、図2に示すように、流量調整バルブ4を備えた気体導入管2と真空ポンプ6に連なる排気管3を直接取り付けておき、該試験体11を常圧でヘリウム雰囲気の気密のフード12内に納め、前記と同様の手法で流量調整バルブ4で気体導入量を調整しながら排気管3から排気すれば、該薄物試験体11を変形させずに漏洩試験を行える。この場合、該試験体11に漏洩箇所があると、フード12内のヘリウムが該試験体11内に侵入し、該ディテクター8に於いて検出される。この場合もヘリウムガスに代え窒素ガスとし、該リークディテクター8を窒素ガス検出に設定すれば、高感度の漏洩試験を行える。
【0011】
【実施例】
(実施例1)
図1に示すチャンバー1内に、適当な濃度の常圧のヘリウムガスを封入した80000Paで変形する薄物試験体11を納め、テストバルブ5を開いてドライポンプ6により差動排気した。該ドライポンプ6の有効排気速度を5L/minとし、流量調整バルブ4は気体導入管2から6.64Pa・m3/sの大気流量が得られるように設定した。該チャンバー1内は5×104Paの一定の微真空圧に維持されて該試験体11に変形は生じず、該ドライポンプ6を作動させてから3秒後に試験体11に漏洩が存在することをヘリウムリークディテクター8にて検出することができた。
【0012】
(実施例2)
103Paで変形するドラム缶の薄物試験体11に、流量調整バルブ4を備えた気体導入管2とドライポンプ6に連なる排気管3を設け、該薄物試験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密の合成樹脂製のフード12内に納め、テストバルブ5を開いてドライポンプ6により差動排気した。該ドライポンプ6の有効排気速度を5L/minとし、流量調整バルブ4は気体導入管2から6.64Pa・m3/sの大気流量が得られるように設定した。該チャンバー1内は1328Paの一定の微真空圧に維持されて該試験体11に変形は生じず、該ドライポンプ6を作動させてから3秒後に試験体11に漏洩が存在することをヘリウムリークディテクター8にて検出することができた。
【0013】
【発明の効果】
以上のように本発明によるときは、薄物試験体の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄物試験体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形しない程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウムリークディテクターへ導いて漏洩試験をするので、短時間の排気で変形しやすい薄物試験体を変形することなく漏洩試験でき、ガスの種類や濃度を変更することで高感度の試験を行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の請求項1、2の実施の形態の説明図
【図2】本発明の請求項3の実施の形態の説明図
【符号の説明】
1 チャンバー、2 気体導入管、3 排気管、4 流量調整バルブ、6 真空ポンプ、8 ヘリウムリークディテクター、11 薄物試験体、12 フード、[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak test method for thin objects that may be deformed by a pressure change of a drum can or a food package bag.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a submergence method and a soapy water application method are known as a leakage test method for this type of thin object. Also, as a method of testing for minute leaks, either inside or around the specimen is set to a helium gas atmosphere and the other is evacuated to a vacuum atmosphere. A method of detecting the presence or absence of mixed helium gas with a helium leak detector is also known. The helium leak detector ionizes gas molecules in a vacuum, selects only helium ions with a mass spectrometer tube and enters them into an ion collector, and can quantitatively detect helium gas leaking into the vacuum as an ion current.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The above submerging method is based on testing a leak amount of about 8.8 × 10 −4 Pa · m 3 / s, and the submerged specimen is left for 1 minute, for example. If it does not come out, it is a test method to make it a non-defective product.However, when the specimen is submerged, the surface of the water sways and it is difficult to visually observe the water, and the water bubbles adhering to the specimen rise when submerged. A distinction from water bubbles caused by leakage cannot be made, and this submersion method is actually limited to a leak amount test of about 10 −2 Pa · m 3 / s. The soapy water application method is not suitable for testing a large number of specimens because the specimen is soiled and the soap water is applied in anticipation of leaking points.
[0004]
In addition, the helium leak detector can perform a highly sensitive leak test because helium gas molecules are small and pass through a small gap, but this device requires that the test specimen be evacuated and the specimen is thin. Deforms due to its exhaust and is not suitable for product inspection. A leak inspection method called sniffer method is also known, in which the inside of a thin specimen is pressurized with helium gas and helium gas leaking to the outside is detected by a helium leak detector. It is not suitable for leakage inspection of food packaging containers or the like that must be sequentially filled with contents according to the manufacturing tact time.
[0005]
An object of the present invention is to provide a leakage test method that can be performed efficiently and with high sensitivity without causing deformation of a thin specimen.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, the inside of the thin specimen is set to a normal pressure helium atmosphere, and then the outer circumference of the thin specimen is set to a micro vacuum pressure so that the thin specimen is not deformed by a vacuum pump. The above object was achieved by guiding the detector to a detector and testing the leakage of the thin specimen. In order to make the outer periphery of the thin test specimen have a fine vacuum pressure, the thin test specimen is placed in an airtight chamber provided with a gas introduction pipe provided with a flow rate adjusting valve and an exhaust pipe connected to a vacuum pump. While adjusting the amount of gas flowing in from the gas introduction pipe with the flow rate adjusting valve to such an extent that the test body does not deform, the exhaust pipe exhausts it to the atmosphere , and a part of the gas flowing through the exhaust pipe is led to the helium leak detector. This test is for leakage of the specimen.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1,
[0008]
If the
[0009]
If nitrogen gas is introduced instead of introducing the atmosphere from the
[0010]
As shown in FIG. 2, a
[0011]
【Example】
(Example 1)
In the
[0012]
(Example 2)
A thin
[0013]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, after the inside of the thin specimen is set to a normal pressure helium atmosphere, the outer periphery of the thin specimen is set to a micro vacuum pressure that does not deform the thin specimen by a vacuum pump. The leak test is conducted by guiding the ambient atmosphere to the helium leak detector, so that a leak test can be performed without deforming a thin specimen that is easily deformed with a short exhaust time, and a highly sensitive test by changing the type and concentration of gas. There is an effect that can be performed .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of
1 chamber, 2 gas introduction pipe, 3 exhaust pipe, 4 flow rate adjustment valve, 6 vacuum pump, 8 helium leak detector, 11 thin object specimen, 12 hood,
Claims (1)
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Cited By (2)
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