JP3690646B2

JP3690646B2 - Connection structure between optical waveguide circuit board and optical fiber array

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Publication number: JP3690646B2
Application number: JP33998299A
Authority: JP
Inventors: 勝弘金子
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-11-30
Filing date: 1999-11-30
Publication date: 2005-08-31
Anticipated expiration: 2019-11-30
Also published as: JP2001154059A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信モジュール等に用いられる光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関し、より詳細には、光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路と光ファイバとの接続構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板上に光導波路からなる種々の機能を持つ光導波路回路が製作されている。そのような光導波路回路には、例えば、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ（Arrayed Waveguide Grating ：導波路型回折格子）・マッハツェンダ型干渉計光回路等がある。
【０００３】
また、基板内の光導波路回路に、ＳＯＡ（Semiconductor Optical Amplifier ：半導体光増幅素子）や非線形光導波路素子、ＬＤ（Laser Diode ：レーザダイオード）・ＰＤ（Photodiode：フォトダイオード）・ＯＥＩＣ（Opto-Electronic Integrated Circuit：光電子集積回路）等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路もある。
【０００４】
これらの光導波路回路と外部との光信号の入出力を行なうためには、基板端部に配置された光導波路の各入出力ポートに対応させて光ファイバが接続される。
【０００５】
この際、複数の光ファイバを支持基板に整列させた光ファイバアレイ等を用い、光導波路基板の各光信号入出力用端部（光導波路の各入出力ポート）に、光軸を調整して対向させて、両者を紫外線硬化型接着剤等で接合されていた。また、この光ファイバアレイとそれに対応する各光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かして、出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるようにして光軸を調整することが行なわれていた。
【０００６】
なお、光導波路回路を構成する光導波路としては、例えば石英ガラス基板やシリコン基板上に火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッドおよびコア部を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部を形成した光導波路等がある。
【０００７】
また、これら無機系材料による光導波路に代えて、低温形成が可能な有機系材料による光導波路も検討されている。この光導波路に利用される有機系材料としては、例えばＰＭＭＡ（ポリメチルメタアクリレート）樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）樹脂・フッ素樹脂等が検討されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｎ×Ｍの光スプリッタやＡＷＧ・マッハツェンダ型干渉計光回路等は複数の入出力ポートを持つが、意図的にあるいは製造上のばらつきにより出力光の強度がポートによって異なっていたり、また、ＡＷＧやマッハツェンダ型干渉計光回路等では波長選択性があるために特定の波長の光のみが特定の出力ポートから出力されたりすること等があることから、光導波路回路の出力ポートから出力される出力光は不均一であることが普通である。
【０００９】
従って、光ファイバアレイと光導波路回路基板の光信号入出力用ポートとの光軸を調整する場合においては、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する際に、出力ポートから出力される出力光が不均一であるときには、それぞれの出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整するアルゴリズムが複雑となり、光軸調整に時間がかかったり精度が悪化したりする等の問題点があった。
【００１０】
また、基板内の光導波路回路にＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスが組み込まれた光導波路回路基板においては、入力ポートから入射した光はこれらデバイスに光接続されているため必ずしも出力ポートから出力されるものではないことから、入力ポートから光を入射し、入力側の光ファイバアレイと出力側の光ファイバアレイとをそれぞれ動かしつつ出力ポートからの出力光の強度がなるべく大きくなるように光軸を調整する方法が利用できないという問題点があった。
【００１１】
さらに、２つの光ファイバアレイと光導波路回路基板とを接続する場合には、２つの光ファイバアレイをそれぞれ光軸を合わせて接合する必要があり、１つずつの光ファイバアレイを独立に接続することができないという問題点もあった。
【００１２】
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、光ファイバアレイを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能な光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造は、基板上に、複数の光導波路で構成され、前記基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、前記光入力ポートおよび光出力ポートが配置された前記基板の前記同じ側の端部に前記光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、前記光導波路回路の前記光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、前記光軸調整用光導波路の前記光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する前記光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを合わせて接合したことから、光導波路回路の機能にかかわらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイを光導波路回路基板に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００１８】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができるものとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造について図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。図１において、１は光導波路回路が形成される基板、２は基板１上に形成され、基板１の端部に光入出力ポートを有する光導波路回路を形成する複数の光導波路のコア部、３はコア部２の周囲に形成された光導波路のクラッド部である。これらコア部２およびクラッド部３により光導波路回路が形成されている。４は、基板１の端部にコア部２の光入出力ポートと所定の位置関係で配置した光入力ポートおよび光出力ポートを有する光軸調整用光導波路のコア部であり、ここでは光導波路回路のクラッド部３と同じクラッド部中に光導波路回路の両側にそれぞれ形成した例を示している。すなわち、この例では光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板１の異なる側の端部、ここでは対向する２辺側の端部に配置するとともに、光軸調整用光導波路のコア部４を２つ形成している。これらにより、光導波路回路基板５が構成されている。
【００２１】
また、６は光ファイバアレイの支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートに対応するように支持基板６上に配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応するように、支持基板６上に光ファイバ７に対して前記所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバである。これらにより、光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２２】
なお、10は、基板１上に搭載されて光導波路回路に組み込まれる、ＳＯＡや非線形光導波路素子・ＬＤ・ＰＤ・ＯＥＩＣ等の光デバイスである。
【００２３】
本参考例の光導波路回路基板５と光ファイバアレイ９との接続構造によれば、このような光導波路回路の光入出力ポートに対して所定の位置関係で光入力ポートおよび光出力ポートを配列して成る光軸調整用光導波路を形成した光導波路回路基板５に対し、光導波路回路の光入出力ポートに対応する光ファイバ７と光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバ８を所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイ９を、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸と光軸調整用光ファイバ８の光軸とを合わせて接合したことを特徴とするものである。これにより、光導波路回路の機能にかかわらず、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれに対応する光軸調整用光ファイバ８との光軸を調整することだけによって、光導波路回路の光導波路のコア部２の光入出力ポートとそれに対応する光ファイバ７とについても同時に光軸を合わせることができるため、光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５に接続する際の光軸調整を簡易に行なうことができる。
【００２４】
そして、図１に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートをそれぞれ基板の異なる側の端部、ここでは基板１の対向する２辺側の端部にそれぞれ配置するとともに、光軸調整用光導波路を光導波路回路の両側に１つずつ、計２つ形成している。これにより、基板１（光導波路回路基板５）の異なる側の端部にそれぞれ接続される光ファイバアレイ９を、同時に正確な光軸合わせを行なって光導波路回路基板５に接続させることができる。
【００２５】
また、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を、図２に図１と同様の平面図で示す。図２において図１と同様の箇所には同じ符号を付してあり、１は基板、２は光導波路のコア部、３は光導波路のクラッド部であり、これらにより光導波路回路基板５が構成されている。なお、図２において光デバイスは図示していない。また、６は支持基板、７は光導波路回路のコア部２の光入出力ポートと対応して配列された光ファイバ、８は光軸調整用光導波路のコア部４と対応させて光ファイバ７と所定の位置関係で配列された光軸調整用光ファイバであり、これらにより光ファイバアレイ９が構成されている。
【００２６】
そして、図２に示す例においては、光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部、ここでは基板１の１辺側の端部に配置している。これにより、光導波路回路基板５に対して１つの光ファイバアレイ９を正確に光軸調整して接続することができ、光導波路回路基板５に単一の光ファイバアレイ９を接続する場合に好適なものとなる。
【００２７】
このように基板１（光導波路回路基板５）の同じ側の端部に光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートおよび光出力ポートを配置する場合には、光軸調整用光ファイバ８から光軸調整用光導波路のコア部４の光入力ポートに入射した光がこのコア部４を伝搬して光ファイバアレイ９の別の光軸調整用光ファイバ８への光出力ポートに出力されるように、例えば図２に示すように光軸調整用光導波路のコア部４を配置する。その際、コア部４が他の光導波路回路を横切る場合には、光軸調整用光導波路と他の光導波路回路との間で光結合が生じて光信号の乗り移りやクロストークが生じないように、その交差角度を十分大きくする必要がある。例えばシングルモード光導波路の場合であれば、一般的には交差角度が20度程度以上あれば問題ないものとできる。また、他の光導波路回路を横切ることがないように、光導波路回路および光デバイスを迂回するように光軸調整用光導波路のコア部４を配置したり、コア部４をコア部２と立体的に交差させて、十分な間隔を持って他の光導波路回路を横切るように配置しても良い。
【００２９】
本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造において、基板１は光集積回路基板や光電子混在基板等の光信号を扱う基板として使用される種々の基板であり、例えばシリコン基板やアルミナ基板・ガラスセラミックス基板・多層セラミック電気回路基板・プラスチック電気配線基板等が使用できる。
【００３０】
基板１上に形成される光導波路は、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路であり、その形成材料としては、シリカやニオブ酸リチウム等の無機系材料、あるいはＰＭＭＡ樹脂・ポリカーボネート樹脂・ポリイミド樹脂・ポリシロキサン樹脂・ＢＣＢ樹脂・フッ素樹脂等の有機系材料を用いれば良い。
【００３１】
光導波路の作製方法としては、例えば、まずクラッド部３のうち下部クラッド層を形成する。有機系材料を用いる場合には上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液を基板１にスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成する。
【００３２】
コア部２は下部クラッド層上に上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより形成した後、フォトリソグラフィやＲＩＥ等の周知の薄膜微細加工技術を用いて所定の形状で形成すればよい。ここで、コア部２は下部クラッド層よりも高い屈折率を有する材料とする。
【００３３】
次に、コア部２を形成した後に、上記各樹脂等の有機系材料の有機溶媒溶液をスピンコート法等により所定厚みに塗布し、熱処理することにより、クラッド部３のうち上部クラッド層を被覆形成する。
【００３４】
または、火炎堆積法により成膜したシリカ膜を利用して３次元形状のクラッド部３およびコア部２を形成したシリカ系光導波路や、ニオブ酸リチウム単結晶基板をクラッド部３とし、この基板上にチタンを熱拡散して３次元導波路形状にコア部２を形成して作製した光導波路等を用いてもよい。
【００３５】
ここで、コア部３の高さや幅・屈折率、下部クラッド層の厚さ・屈折率、上部クラッド層の厚さ・屈折率などは、周知の光導波路理論を用いて所望の仕様で設計すればよい。
【００３６】
以上のようにして、クラッド部３中にコア部２が形成された３次元光導波路を作製する。このとき、光軸調整用光導波路のコア部４は、例えば図２に示すように、基板１の１つの端部に接続される光ファイバアレイ９に、それぞれ光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポート（光入力ポート・光出力ポート）が２つ接続されるように配置する。これにより、基板１の端部において光ファイバアレイ９がそれぞれ光軸調整用光導波路のコア部４の２つの接続ポートで光軸合わせを行なって接続することができ、光導波路回路基板５に対する光ファイバアレイ９の傾きも所定の状態に調整して両者を精度良く接続することができる。
【００３７】
光ファイバアレイ９は、ガラス基板やセラミック基板に切削により等ピッチで溝を形成した基板やシリコン基板に周知の微細加工技術によって溝を形成した基板等の支持基板６を用いて、その表面に形成した保持溝に光ファイバ７および光軸調整用光ファイバ８を載置し固定することによって作製すればよい。
【００３８】
ここで、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致させておく。さらに、前述のように、１つの光ファイバアレイ９に光軸調整用光導波路のコア部４との接続ポートをコア部２および光ファイバ７に対して所定の位置関係で２つ設置して、２つの接続ポートでもって、光を入射しつつ入力側の光ファイバアレイ９と出力側の光ファイバアレイ９とをそれぞれ動かして、出力される光の強度が最大値をとるようにしてコア部４の光軸と光ファイバ８の光軸とが合うように位置を調整すれば、つまり、１つの光ファイバアレイ９の２つの接続ポートでもって光軸を合わせれば、光導波路回路のコア部２の光入出力ポートの光軸中心の相対的な位置と、それに接続する光ファイバアレイ９の光ファイバ７の光軸中心の相対的な位置とは一致しているので、これら他の接続ポートについても同時に光軸を合わせることができる。
【００３９】
【実施例】
次に、本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造について具体例を説明する。
【００４０】
＜参考例＞
図３に図１および図２と同様の平面図で示すように、厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部２がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、２個の方向性結合器を２本の直線光導波路で連結してなるマッハツェンダ形光干渉計から成る光回路を作製した。ここで、２個の方向性結合器は、いわゆる３ｄＢカップラーとして機能するように結合部の長さおよび間隔を設定した。
【００４１】
２個の方向性結合器を連結する２本の直線光導波路の間には、光デバイスとして２個の非線形光導波路素子10をそれぞれ実装した。また、非線形光導波路素子10の制御用光信号を入射するための光導波路もそれぞれ形成した。
【００４２】
さらに、この光導波路回路基板５に光ファイバアレイ９を接続する際の光軸調整用光導波路のコア部４をマッハツェンダ光回路の両側面のクラッド部３中に形成した。各光入出力ポートのコア中心すなわち光軸の間隔は約250 μｍとした。
【００４３】
また、光軸は同水準とした。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４４】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４５】
２つの光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の両端に配置して、一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８のコア部にそれぞれ波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して、もう一方の光ファイバアレイ９の両側の２つの光軸調整用光ファイバ８に接続して２つの光パワーメータに導いた。２つのパワーメータでそれぞれの光強度をモニタしながら光強度が最大となるように２つの光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００４６】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の光入出力ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となって、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００４７】
＜実施例＞
厚さ１ｍｍのシリコン基板１上に、クラッド部３がシロキサン系ポリマ、コア部がチタン含有シロキサン系ポリマから成るステップインデックス型の光導波路を用いて、図２に示したような、４本の直線状光導波路のコア部２と光ファイバアレイ９の光ファイバ７とを接続する際の、光軸調整用光導波路を形成した。この光軸調整用光導波路のコア部４は、半径５ｍｍの２つの曲り部によって４本の直線光導波路のコア部２と交差するようにして、基板１の同じ側の端部に光入力ポートと光出力ポートとを配置した。以上のようにして２つの光軸調整用光導波路を有する光導波路回路基板５を作製した。
【００４８】
これらの各接続ポートに対応させて、光ファイバアレイ９の光ファイバ７・８の光軸中心を同様に、同水準で光軸の間隔が約250 μｍのものとした。
【００４９】
そして、図２のように光ファイバアレイ９を光導波路回路基板５の端部に配置して、光ファイバアレイ９の最も外側の１つの光軸調整用光ファイバ８に波長1.55μｍのレーザ光を入射して、光導波路回路基板５の光軸調整用光導波路のコア部４を通して光ファイバアレイ９の別の最外側の光ファイバ８に接続して、光パワーメータに導いた。このようにしてパワーメータでその光強度をモニタしながら、光強度が最大となるように光ファイバアレイ９の位置を調整して光軸を合わせた後、紫外線硬化樹脂を用いて光ファイバアレイ９と光導波路回路基板５とを接着した。
【００５０】
この結果、光軸調整用光導波路のコア部４とそれらに接続される光軸調整用光ファイバ８との接合損失は１ｄＢ以下となり、さらに、その他のコア部２の接続ポートでの光ファイバ７との接合損失も１ｄＢ以下となり、いずれも良好に光軸が合わせられていることが確認できた。
【００５１】
以上により、本発明によれば、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接合する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。また、光導波路回路基板と１つの光ファイバアレイとを接続する場合であっても、光導波路回路基板と光ファイバアレイとを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能であることが確認できた。
【００５２】
なお、本発明は以上の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更・改良を加えることは何ら差し支えない。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の光導波路回路と光ファイバアレイとの接続構造によれば、基板上に、複数の光導波路で構成され、基板の同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートを有する光導波路回路を形成するとともに、光入力ポートおよび光出力ポートが配置された基板の前記同じ側の端部に光入力ポートおよび光出力ポートと所定の位置関係で配置した一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路を形成して成る光導波路回路基板に対し、光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートに対応する光ファイバならびに光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートにそれぞれ対応する光軸調整用光ファイバを前記所定の位置関係で配列して成る光ファイバアレイを、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバの光軸とを調整して合わせて接合することから、光導波路回路の機能に関わらず、基板の同じ側の端部に一端側の光入力ポートおよび他端側の光出力ポートを有する光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートの光軸とそれぞれに対応する光軸調整用光ファイバとの光軸を調整することだけによって、光導波路回路の他の光導波路の光入出力ポートについても、すなわち光導波路回路の光入力ポートおよび光出力ポートとそれに対応する光ファイバとについても同時に光軸を合わせることができるため、光導波路回路基板に光ファイバアレイを接続する際の光軸調整を簡易に行なうことが可能である。
【００５５】
さらに、光軸調整用光導波路の光入力ポートおよび光出力ポートを基板の同じ側の端部に配置しているので、光導波路回路基板に対して１つの光ファイバアレイを正確に光軸調整して接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【図２】本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図３】本発明の光導波路回路基板と光ファイバアレイとの接続構造の参考例を示す平面図である。
【符号の説明】
１・・・基板
２・・・光導波路のコア部
３・・・光導波路のクラッド部
４・・・光軸調整用光導波路のコア部
５・・・光導波路回路基板
６・・・支持基板
７・・・光ファイバ
８・・・光軸調整用光ファイバ
９・・・光ファイバアレイ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a connection structure between an optical waveguide circuit used in an optical communication module or the like and an optical fiber, and more specifically, an optical waveguide circuit capable of easily adjusting an optical axis when connecting an optical fiber array, and The present invention relates to a connection structure with an optical fiber.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, optical waveguide circuits composed of optical waveguides having various functions have been manufactured on a substrate. Examples of such an optical waveguide circuit include an N × M optical splitter, an AWG (Arrayed Waveguide Grating) / Mach-Zehnder interferometer optical circuit, and the like.
[0003]
In addition, the optical waveguide circuit in the substrate includes an SOA (Semiconductor Optical Amplifier), a nonlinear optical waveguide device, an LD (Laser Diode), a PD (Photodiode), and an OEIC (Opto-Electronic Integrated). There is also an optical waveguide circuit in which an optical device such as a circuit (optoelectronic integrated circuit) is incorporated.
[0004]
In order to input / output optical signals between these optical waveguide circuits and the outside, optical fibers are connected in correspondence with the respective input / output ports of the optical waveguide arranged at the end of the substrate.
[0005]
At this time, using an optical fiber array or the like in which a plurality of optical fibers are aligned with a support substrate, the optical axis is adjusted to each optical signal input / output end portion (each input / output port of the optical waveguide) of the optical waveguide substrate. The two were opposed to each other with an ultraviolet curable adhesive or the like. In the case of adjusting the optical axes of the optical fiber array and the corresponding optical signal input / output ports, the input side optical fiber array and the output side optical fiber array And adjusting the optical axis so that the intensity of the output light from the output port is as large as possible.
[0006]
As an optical waveguide constituting the optical waveguide circuit, for example, a silica-based optical waveguide in which a three-dimensional clad and a core portion are formed using a silica film formed by a flame deposition method on a quartz glass substrate or a silicon substrate. In addition, there is an optical waveguide in which a lithium niobate single crystal substrate is used as a cladding portion, and titanium is thermally diffused on the substrate to form a core portion in a three-dimensional waveguide shape.
[0007]
In addition, instead of these optical waveguides made of inorganic materials, optical waveguides made of organic materials that can be formed at a low temperature have been studied. For example, PMMA (polymethyl methacrylate) resin, polycarbonate resin, polyimide resin, polysiloxane resin, BCB (benzocyclobutene) resin, fluorine resin, and the like have been studied as organic materials used for the optical waveguide.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, although the N × M optical splitter, AWG / Mach-Zehnder interferometer optical circuit, etc. have a plurality of input / output ports, the intensity of the output light differs depending on the port intentionally or due to manufacturing variations. In AWG, Mach-Zehnder interferometer optical circuit, etc., since there is wavelength selectivity, only light of a specific wavelength may be output from a specific output port. The output light is usually non-uniform.
[0009]
Therefore, when adjusting the optical axes of the optical fiber array and the optical signal input / output port of the optical waveguide circuit board, light is incident from the input port, and the input side optical fiber array and the output side optical fiber array When adjusting the optical axis so that the intensity of the output light from the output port becomes as large as possible while moving each of the output ports, if the output light output from the output port is uneven, the output light from each output port The algorithm for adjusting the optical axis so that the intensity becomes as large as possible becomes complicated, and there are problems such as that it takes time to adjust the optical axis and the accuracy deteriorates.
[0010]
In an optical waveguide circuit board in which an optical device such as an SOA, nonlinear optical waveguide element, LD, PD, or OEIC is incorporated in the optical waveguide circuit in the substrate, the light incident from the input port is optically connected to these devices. Therefore, it is not always output from the output port, so that the light from the input port is incident and the intensity of the output light from the output port is increased while moving the optical fiber array on the input side and the optical fiber array on the output side. There has been a problem that the method of adjusting the optical axis to be as large as possible cannot be used.
[0011]
Furthermore, when connecting two optical fiber arrays and an optical waveguide circuit board, it is necessary to join the two optical fiber arrays with their optical axes aligned, and each optical fiber array is connected independently. There was also a problem that it was not possible.
[0012]
The present invention has been devised in view of the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide an optical waveguide circuit board and an optical fiber that can easily adjust the optical axis when joining optical fiber arrays. It is to provide a connection structure with an array.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
Connection structure between the optical waveguide circuit and the optical fiber array of the present invention, on a substrate, a plurality of consists of an optical waveguide, an optical waveguide circuit having a light input port and optical output port on the same end of said substrate forming together with one end of the light input to said optical input port and optical output port is disposed at the optical input port and optical output port and a predetermined positional relationship to the end of the same side of the substrate disposed to the optical waveguide circuit board obtained by forming an optical axis adjusting optical waveguide having an optical output port of the port and the other end, the optical fiber and the corresponding to the optical input port and optical output port of said optical waveguide circuit An optical fiber array in which optical axis adjusting optical fibers respectively corresponding to the optical input port and the optical output port of the optical axis adjusting optical waveguide are arranged in the predetermined positional relationship, Is characterized in that it has joined together with the optical axis of said optical input port and optical output port of the optical axis and the optical axis adjusting optical fiber corresponding to each integer optical waveguide.
[0016]
According to the connection structure of the optical waveguide circuit board and the optical fiber array of the present invention, on a substrate, formed of a plurality of optical waveguides, optical having a light input port and optical output port on the same end of the substrate to form a waveguide circuit, one end optical input port of the optical input port and optical output port is disposed at the end portion on the light input port and optical output port and a predetermined positional relationship on the same side of the substrate disposed and to the optical waveguide circuit board obtained by forming an optical axis adjusting optical waveguide having an optical output port of the other end, the optical fiber and adjusting the optical axis corresponding to an optical input port and optical output port of the optical waveguide circuit An optical fiber array formed by arranging optical axis adjustment optical fibers corresponding to the optical input port and the optical output port of the optical waveguide in the predetermined positional relationship is used as the optical input port of the optical axis adjustment optical waveguide. And since it has joined together with the optical axis of the optical axis adjusting optical fiber corresponding to each the optical axis of the optical output port, regardless of the function of the optical waveguide circuit, the one end side to the end on the same side of the substrate adjusting the optical axes of the optical input port and the other end the optical axis and the optical axis adjusting optical fiber corresponding to, respectively that of the optical input port and optical output port of the optical axis adjusting optical waveguide having an optical output port of only by, it is possible to align the optical axis at the same time for the optical fiber and the corresponding optical input port and optical output port of the optical waveguide circuit, the optical axis when connecting the optical fiber array to the optical waveguide circuit board that Adjustment can be performed easily.
[0018]
Further, since the optical input port and optical output port of the optical axis adjusting optical waveguide are arranged in the same end of the substrate to accurately adjust the optical axis of one optical fiber array to the optical waveguide circuit board Can be connected.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The connection structure between the optical waveguide circuit and the optical fiber array of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0020]
FIG. 1 is a plan view showing a reference example of a connection structure between an optical waveguide circuit board and an optical fiber array of the present invention. In FIG. 1, 1 is a substrate on which an optical waveguide circuit is formed, 2 is a core portion of a plurality of optical waveguides formed on the substrate 1 and forming an optical waveguide circuit having an optical input / output port at the end of the substrate 1, Reference numeral 3 denotes an optical waveguide clad formed around the core 2. The core portion 2 and the cladding portion 3 form an optical waveguide circuit. Reference numeral 4 denotes a core portion of an optical waveguide for adjusting an optical axis, which has an optical input port and an optical output port arranged in a predetermined positional relationship with an optical input / output port of the core portion 2 at an end portion of the substrate 1. An example is shown in which each is formed on both sides of an optical waveguide circuit in the same clad part as the clad part 3 of the circuit. That is, in this example, the optical input port and the optical output port of the core part 4 of the optical waveguide for adjusting an optical axis are respectively arranged at different ends of the substrate 1, in this case, opposite two side ends, Two core portions 4 of the optical waveguide for axis adjustment are formed. Thus, the optical waveguide circuit board 5 is configured.
[0021]
Reference numeral 6 denotes a support substrate for the optical fiber array, 7 denotes an optical fiber arranged on the support substrate 6 so as to correspond to the optical input / output port of the core portion 2 of the optical waveguide circuit, and 8 denotes an optical waveguide for adjusting the optical axis. The optical fibers for adjusting the optical axis are arranged on the support substrate 6 with respect to the optical fiber 7 in the predetermined positional relationship so as to correspond to the optical input port and the optical output port of the core unit 4, respectively. Thus, the optical fiber array 9 is configured.
[0022]
Reference numeral 10 denotes an optical device such as SOA, nonlinear optical waveguide element, LD, PD, or OEIC that is mounted on the substrate 1 and incorporated in the optical waveguide circuit.
[0023]
According to the connection structure between the optical waveguide circuit board 5 and the optical fiber array 9 of this reference example , the optical input port and the optical output port are arranged in a predetermined positional relationship with respect to the optical input / output port of such an optical waveguide circuit. For the optical waveguide circuit board 5 on which the optical axis adjusting optical waveguide is formed, the optical fiber 7 corresponding to the optical input / output port of the optical waveguide circuit, the optical input port of the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide, and An optical fiber array 9 formed by arranging optical axis adjusting optical fibers 8 respectively corresponding to the optical output ports in a predetermined positional relationship is used as the light of the optical input port and the optical output port of the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide. The shaft and the optical axis of the optical axis adjusting optical fiber 8 are joined together. As a result, the optical axis of the optical input port and the optical output port of the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis and the optical axis of the corresponding optical fiber 8 for adjusting the optical axis are adjusted regardless of the function of the optical waveguide circuit. The optical axis of the optical input / output port of the core part 2 of the optical waveguide of the optical waveguide circuit and the corresponding optical fiber 7 can be adjusted simultaneously, so that the optical fiber array 9 is connected to the optical waveguide circuit board 5. It is possible to easily adjust the optical axis when connecting to.
[0024]
In the example shown in FIG. 1, the optical input port and the optical output port of the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting an optical axis are respectively connected to end portions on different sides of the substrate, here, on the opposite two sides of the substrate 1. Two optical waveguides for adjusting the optical axis are formed, one on each side of the optical waveguide circuit. As a result, the optical fiber arrays 9 respectively connected to the different end portions of the substrate 1 (optical waveguide circuit substrate 5) can be connected to the optical waveguide circuit substrate 5 at the same time by accurately aligning the optical axes.
[0025]
An example of the embodiment of the connection structure between the optical waveguide circuit board and the optical fiber array according to the present invention is shown in FIG. 2 as a plan view similar to FIG. In Figure 2 are denoted by the same reference numerals are used for the same portion as FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a core part of the optical waveguide 3 is a cladding portion of the optical waveguide, constituting an optical waveguide circuit board 5 by these Has been. Note that the optical device is not shown in FIG. Reference numeral 6 denotes a support substrate, 7 denotes an optical fiber arranged corresponding to the optical input / output port of the core part 2 of the optical waveguide circuit, and 8 denotes an optical fiber 7 corresponding to the core part 4 of the optical axis adjusting optical waveguide. And an optical axis adjusting optical fiber arranged in a predetermined positional relationship, and an optical fiber array 9 is constituted by these.
[0026]
In the example shown in FIG. 2, the optical input port and the optical output port of the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting an optical axis are connected to the same end of the substrate 1 (optical waveguide circuit substrate 5), here the substrate 1 It arrange | positions at the edge part of one side. Thereby, one optical fiber array 9 can be accurately adjusted and connected to the optical waveguide circuit board 5 and is suitable for connecting a single optical fiber array 9 to the optical waveguide circuit board 5. It will be something.
[0027]
Thus, when the optical input port and the optical output port of the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis are arranged at the end on the same side of the substrate 1 (optical waveguide circuit substrate 5), an optical fiber for adjusting the optical axis is used. The light incident on the optical input port of the core part 4 of the optical axis adjusting optical waveguide from 8 propagates through the core part 4 and is output to the optical output port to another optical axis adjusting optical fiber 8 of the optical fiber array 9. For example, as shown in FIG. 2, the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide is disposed. At this time, when the core portion 4 crosses another optical waveguide circuit, optical coupling occurs between the optical axis adjusting optical waveguide and the other optical waveguide circuit, so that optical signal transfer and crosstalk do not occur. In addition, it is necessary to make the intersection angle sufficiently large. For example, in the case of a single mode optical waveguide, in general, if the crossing angle is about 20 degrees or more, there can be no problem. Further, the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis is arranged so as to bypass the optical waveguide circuit and the optical device so as not to cross other optical waveguide circuits, or the core portion 4 and the core portion 2 are three-dimensionally arranged. May be arranged so as to cross each other and cross another optical waveguide circuit with a sufficient interval.
[0029]
In the connection structure between the optical waveguide circuit board and the optical fiber array of the present invention, the board 1 is various boards used as a board for handling optical signals such as an optical integrated circuit board and an optoelectronic mixed board, for example, a silicon board or an alumina board. Substrates, glass ceramic substrates, multilayer ceramic electric circuit boards, plastic electric wiring boards, etc. can be used.
[0030]
The optical waveguide formed on the substrate 1 is a three-dimensional optical waveguide in which the core portion 2 is formed in the clad portion 3, and the formation material thereof is an inorganic material such as silica or lithium niobate, or PMMA resin. An organic material such as polycarbonate resin, polyimide resin, polysiloxane resin, BCB resin, or fluorine resin may be used.
[0031]
As a method for manufacturing the optical waveguide, for example, a lower cladding layer is first formed in the cladding portion 3. When using an organic material an organic solvent solution of an organic material such as the above resin is applied to a predetermined thickness by spin coating or the like to the substrate 1, is formed by heat treatment.
[0032]
The core part 2 is formed by applying an organic solvent solution of an organic material such as the above-mentioned resin to the predetermined thickness on the lower clad layer by a spin coat method or the like and performing a heat treatment, and then a known thin film such as photolithography or RIE. What is necessary is just to form in a predetermined shape using a microfabrication technique. Here, the core part 2 is made of a material having a higher refractive index than that of the lower cladding layer.
[0033]
Next, after the core portion 2 is formed, an organic solvent solution of an organic material such as the above resin is applied to a predetermined thickness by a spin coat method or the like, and is heat-treated to cover the upper clad layer in the clad portion 3 Form.
[0034]
Alternatively, a silica-based optical waveguide in which a three-dimensional clad part 3 and a core part 2 are formed using a silica film formed by a flame deposition method, or a lithium niobate single crystal substrate is used as a clad part 3, Alternatively, an optical waveguide manufactured by thermally diffusing titanium to form the core portion 2 in a three-dimensional waveguide shape may be used.
[0035]
Here, the height and width / refractive index of the core part 3, the thickness / refractive index of the lower cladding layer, the thickness / refractive index of the upper cladding layer, etc. are designed with desired specifications using well-known optical waveguide theory. That's fine.
[0036]
As described above, a three-dimensional optical waveguide in which the core portion 2 is formed in the cladding portion 3 is manufactured. At this time, the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide is connected to an optical fiber array 9 connected to one end portion of the substrate 1 as shown in FIG. 4 are arranged so that two connection ports (light input port / light output port) are connected. As a result, the optical fiber array 9 can be connected at the end portion of the substrate 1 by aligning the optical axes at the two connection ports of the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis. The inclination of the fiber array 9 can also be adjusted to a predetermined state, and both can be connected with high accuracy.
[0037]
The optical fiber array 9 is formed on the surface using a support substrate 6 such as a substrate in which grooves are formed at a constant pitch by cutting on a glass substrate or a ceramic substrate, or a substrate in which grooves are formed on a silicon substrate by a well-known fine processing technique. The optical fiber 7 and the optical axis adjusting optical fiber 8 may be mounted and fixed in the holding groove.
[0038]
Here, the relative position of the optical axis center of the optical input / output port of the core portion 2 of the optical waveguide circuit is matched with the relative position of the optical axis center of the optical fiber 7 of the optical fiber array 9 connected thereto. Keep it. Further, as described above, two connection ports with the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide are installed in one optical fiber array 9 in a predetermined positional relationship with respect to the core portion 2 and the optical fiber 7, With the two connection ports, the input side optical fiber array 9 and the output side optical fiber array 9 are moved while the light is incident, so that the intensity of the output light takes the maximum value, and the core unit 4 If the position is adjusted so that the optical axis of the optical fiber 8 coincides with the optical axis of the optical fiber 8, that is, if the optical axes are aligned with the two connection ports of one optical fiber array 9, the core portion 2 of the optical waveguide circuit Since the relative position of the optical axis center of the optical input / output port coincides with the relative position of the optical axis center of the optical fiber 7 of the optical fiber array 9 connected to the optical input / output port, these other connection ports can also be used. At the same time align the optical axis Can.
[0039]
【Example】
Next, a specific example of the connection structure between the optical waveguide circuit board of the present invention and the optical fiber array will be described.
[0040]
< Reference example >
As shown in a plan view similar to FIGS. 1 and 2 in FIG. 3, a step index type in which a cladding portion 3 is made of a siloxane polymer and a core portion 2 is made of a titanium-containing siloxane polymer on a silicon substrate 1 having a thickness of 1 mm. Using this optical waveguide, an optical circuit composed of a Mach-Zehnder optical interferometer formed by connecting two directional couplers with two linear optical waveguides was fabricated. Here, the length and interval of the coupling portion were set so that the two directional couplers functioned as a so-called 3 dB coupler.
[0041]
Two nonlinear optical waveguide elements 10 were mounted as optical devices between two linear optical waveguides connecting two directional couplers. In addition, an optical waveguide for entering the control optical signal of the nonlinear optical waveguide element 10 was also formed.
[0042]
Further, the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis when the optical fiber array 9 is connected to the optical waveguide circuit substrate 5 is formed in the clad portions 3 on both sides of the Mach-Zehnder optical circuit. The core center of each optical input / output port, that is, the distance between the optical axes was about 250 μm.
[0043]
The optical axis was the same level. As described above, an optical waveguide circuit board 5 having two optical axis adjusting optical waveguides was produced.
[0044]
Corresponding to each of these connection ports, the optical axis centers of the optical fibers 7 and 8 of the optical fiber array 9 are similarly set at the same level and the interval between the optical axes is about 250 μm.
[0045]
Two optical fiber arrays 9 are arranged at both ends of the optical waveguide circuit board 5, and laser light having a wavelength of 1.55 μm is incident on the cores of the two optical axis adjusting optical fibers 8 on both sides of the one optical fiber array 9. The two optical power meters are connected to the two optical axis adjusting optical fibers 8 on both sides of the other optical fiber array 9 through the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide of the optical waveguide circuit board 5. lead. The positions of the two optical fiber arrays 9 are adjusted so that the light intensity becomes maximum while monitoring the respective light intensities with two power meters, the optical axes are aligned, and then the optical fiber array 9 is made using an ultraviolet curable resin. And the optical waveguide circuit board 5 were bonded.
[0046]
As a result, the junction loss between the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide and the optical axis adjusting optical fiber 8 connected thereto is 1 dB or less, and the light at the optical input / output port of the other core portion 2 is reduced. The bonding loss with the fiber 7 was 1 dB or less, and it was confirmed that the optical axes were well aligned.
[0047]
<Example>
On a silicon substrate 1 having a thickness of 1 mm, four linear lines as shown in FIG. 2 are formed using a step index type optical waveguide in which the clad portion 3 is made of a siloxane polymer and the core portion is made of a titanium-containing siloxane polymer. An optical waveguide for adjusting the optical axis when connecting the core portion 2 of the optical waveguide and the optical fiber 7 of the optical fiber array 9 was formed. The core portion 4 of the optical waveguide for adjusting an optical axis is intersected with the core portions 2 of the four linear optical waveguides by two bent portions having a radius of 5 mm, and is connected to the optical input port at the end portion on the same side of the substrate 1. And an optical output port. As described above, an optical waveguide circuit board 5 having two optical axis adjusting optical waveguides was produced.
[0048]
Corresponding to each of these connection ports, the optical axis centers of the optical fibers 7 and 8 of the optical fiber array 9 are similarly set at the same level and the interval between the optical axes is about 250 μm.
[0049]
Then, as shown in FIG. 2, the optical fiber array 9 is disposed at the end of the optical waveguide circuit board 5, and laser light having a wavelength of 1.55 μm is applied to the optical fiber 8 for adjusting the optical axis on the outermost side of the optical fiber array 9. Incident light was connected to another outermost optical fiber 8 of the optical fiber array 9 through the core portion 4 of the optical waveguide for adjusting the optical axis of the optical waveguide circuit board 5 and led to the optical power meter. In this way, while monitoring the light intensity with the power meter, the position of the optical fiber array 9 is adjusted so that the light intensity becomes maximum and the optical axis is aligned, and then the optical fiber array 9 is made using an ultraviolet curable resin. And the optical waveguide circuit board 5 were bonded.
[0050]
As a result, the bonding loss between the core portion 4 of the optical axis adjusting optical waveguide and the optical axis adjusting optical fiber 8 connected thereto is 1 dB or less, and the optical fiber 7 at the connection port of the other core portion 2 is further reduced. The junction loss was 1 dB or less, and it was confirmed that the optical axes were well aligned.
[0051]
As described above, according to the present invention, it was confirmed that the optical axis adjustment when joining the optical waveguide circuit board and the optical fiber array can be easily performed. Further, even when the optical waveguide circuit board and one optical fiber array are connected, it is possible to easily adjust the optical axis when connecting the optical waveguide circuit board and the optical fiber array. It could be confirmed.
[0052]
It should be noted that the present invention is not limited to the above examples, and various modifications and improvements can be made without departing from the scope of the present invention .
[0053]
【The invention's effect】
As described above, according to the connection structure between the optical waveguide circuit and the optical fiber array of the present invention, on a substrate, formed of a plurality of optical waveguides, optical input port and optical output ends of the same side of the substrate and forming an optical waveguide circuit having a port, one end of the optical input port and optical output port is disposed at the same side of the end portion to the optical input port and optical output port and a predetermined positional relationship between a substrate disposed to the optical waveguide circuit board obtained by forming an optical axis adjusting optical waveguide having an optical output port of the optical input port and the other end, as well as the optical fiber corresponding to the optical input port and optical output port of the optical waveguide circuit An optical fiber array in which optical axis adjusting optical fibers respectively corresponding to the optical input port and the optical output port of the optical axis adjusting optical waveguide are arranged in the predetermined positional relationship is formed on the optical axis adjusting optical waveguide. Since joining to fit and adjust the optical axis of the input port and optical output port of the optical axis and the optical axis adjusting optical fiber corresponding to each, regardless of the function of the optical waveguide circuit, the end of the same side of the substrate The optical axis of the optical axis adjusting optical waveguide having an optical input port on one end side and an optical output port on the other end side of the optical axis, and the optical axis of the optical axis adjusting optical fiber corresponding to each of the optical axes By simply adjusting the optical axis, the optical axes of the optical input / output ports of the other optical waveguides of the optical waveguide circuit, that is , the optical input ports and optical output ports of the optical waveguide circuit, and the corresponding optical fibers can be adjusted simultaneously. because it is, it is possible to perform optical axis adjustment when connecting the optical fiber array to the optical waveguide circuit board easily.
[0055]
Further, since the optical input port and optical output port of the optical axis adjusting optical waveguide are arranged in the same end of the substrate to accurately adjust the optical axis of one optical fiber array to the optical waveguide circuit board Can be connected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a reference example of a connection structure between an optical waveguide circuit board and an optical fiber array according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing an example of an embodiment of a connection structure between an optical waveguide circuit board and an optical fiber array of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a reference example of a connection structure between an optical waveguide circuit board and an optical fiber array according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate 2 ... Core part 3 of optical waveguide ... Cladding part 4 of optical waveguide ... Core part of optical waveguide for optical axis adjustment 5 ... Optical waveguide circuit board 6 ... Support substrate 7: Optical fiber 8: Optical axis adjusting optical fiber 9: Optical fiber array

Claims

On a substrate, formed of a plurality of optical waveguides, the same in the end on the side to form the optical waveguide circuit with an optical input port and optical output port, said optical input port and optical output port disposed in the substrate has been said optical axis adjusting optical guide having one end light output ports of the optical input port and the other end of which is disposed in said optical input port and optical output port and a predetermined positional relationship to the end of the same side of the substrate to the optical waveguide circuit board obtained by forming a waveguide, said optical input port and optical output port of the optical fiber and the optical axis adjusting optical waveguide corresponding to the optical input port and optical output port of said optical waveguide circuit An optical fiber array in which optical axis adjustment optical fibers corresponding to each other are arranged in the predetermined positional relationship is used as the light at the optical input port and the optical output port of the optical axis adjustment optical waveguide. When the connection structure between the optical waveguide circuit board and the optical fiber array, characterized in that the joining together the optical axis of said optical axis adjusting optical fiber corresponding to each.