JP3670686B2 - 逆投影ピント検査装置および調整装置 - Google Patents

逆投影ピント検査装置および調整装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3670686B2
JP3670686B2 JP22842494A JP22842494A JP3670686B2 JP 3670686 B2 JP3670686 B2 JP 3670686B2 JP 22842494 A JP22842494 A JP 22842494A JP 22842494 A JP22842494 A JP 22842494A JP 3670686 B2 JP3670686 B2 JP 3670686B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus
back projection
adjustment
fiber bundle
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP22842494A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07151980A (ja
Inventor
尊臣 関谷
守康 白柳
Original Assignee
ペンタックス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ペンタックス株式会社 filed Critical ペンタックス株式会社
Priority to JP22842494A priority Critical patent/JP3670686B2/ja
Publication of JPH07151980A publication Critical patent/JPH07151980A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3670686B2 publication Critical patent/JP3670686B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、ファイバースコープ等の光学系のピント調整を、像側から物体側に逆投影して結像させた像に基づいて行なう逆投影ピント検査装置および調整装置に関する。
【0002】
【従来技術およびその問題点】
内視鏡などに利用されるファイバースコープは、通常、対物レンズでファイバーバンドルの物体側端面に結像した像を、ファイバーバンドルの反対側端面で、接眼レンズ光学系、またはモニター系を介して観察するが、この対物レンズはファイバーバンドルに対して固定される。したがって、製造過程において、対物レンズのピント調整が不可欠である。
このピント調節方法として、ファイバーバンドルに観察系側から光を入射し、対物レンズにより物体側に結像されたファイバーバンドルの端面構造の像に基づいてピント調整する逆投影法が特開平4-149509号公報に開示されている。
【0003】
しかし、この従来例では、1個の光電変換素子を1か所に置いているだけなので、その位置におけるピント調整は可能であるが、その前後の物体に対するピントバランス調整、深度バランスの調整は行なえない。
【0004】
図8および図9には、ファイバーバンドルの端面の走査位置とその光強度との関係を示してある。通常、ファイバーバンドル103は、多数のオプティカルファイバー101の六方細密充填構造であるから、図8(A)、図9(A)に示すように非等方光学系である。しかも、通常、センサの幅はファイバ1本の幅(直径)よりも非常に小さい。その比は、例えば、図8、9において、オプティカルファイバー101に対して数分の1以下である。したがって、一列のセンサで走査すると、走査位置がずれたり、あるいはファイバーバンドル103の端面の光軸周りの回転角が変わると、サンプリングした光強度、あるいは強度分布が変化してしまう(図8(B)、図9(B)参照)。そのため、測定誤差が大きく、正確なピント調整が困難である、という問題があった。
【0005】
【発明の目的】
本発明は、上記従来のピント調整手段の問題に鑑みてなされたもので、誤差が少なく、また、深度バランスの調整が簡単にできる逆投影ピント検査装置および調整装置を提供することを目的とする。
【0006】
【発明の概要】
この目的を達成する本発明は、光ファイバーバンドルを有する光学系の対物レンズのピント検査を行なう装置であって、対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観察系側端面から逆投影光を照射する光源と、上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出され、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路分割手段と、上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、を備えたことに特徴を有する。
請求項2に記載の本発明は、光ファイバーバンドルを有する光学系の対物レンズのピント調整を行なう装置であって、対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観察系側端面から逆投影光を照射する光源と、上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出され、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路分割手段と、上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、上記複数の逆投影光受光手段が受光した像に基づいて上記対物レンズのピント調整を行なうピント調整手段と、を備えたことに特徴を有する逆投影ピント調整装置である。
【0007】
【実施例】
以下図示実施例に基づいて本発明を説明する。図1は、本発明を適用した、ファイバースコープ用の逆投影ピント調整装置の一実施例を示すブロック図である。このファイバースコープ10は、光ファイバーバンドル11およびその物側端部(物体空間側の端部)12に装着される対物レンズ15を備えている。対物レンズ15は、物側端部12に嵌装された対物レンズ固定筒17内に固定されている。なお、ファイバースコープ10の通常の使用状態では、対物レンズ15を介して光ファイバーバンドル11の物側端部12の物側端面12aに結像され、光ファイバーバンドル11の観測系側端面13aに伝送された物体像は、図示しない接眼レンズ系を通して観察され、あるいはCCD撮像装置等により撮像してモニタTVに映し出される。
【0008】
光ファイバーバンドル11は、観測系側端部13が投影装置20に固定され、物側端部12が、焦点調整装置を構成する移動ステージ33の固定具34に固定され、さらに対物レンズ15(対物レンズ固定筒17)が固定台35に固定される。
【0009】
移動ステージ33および固定台35は共通のベンチ31上に装着されている。移動ステージ33は、固定台35に対して直線的に、図示しないマイクロアジャスト機構により精密移動可能に構成されている。対物レンズ15および物側端部12は、その光軸Oが移動ステージ33の移動方向と平行になるように、移動ステージ33の固定具34および固定台35にそれぞれ固定される。
【0010】
観測系側端部13の観測系側端面13aには、集光レンズ23を介して光源21の光が入射される。本実施例では、ほぼ均一な光束を観測系側端面13aに入射している。観測系側端面13aに入射された光束は、光ファイバーバンドル11により伝達されて、物側端面12aから射出(逆投影)される。ここで、光ファイバーバンドル11は、コア部とクラッド部を有する光ファイバーの六方細密充填構造であるという性質上、物側端部12aは、二次元的な規則性のある二次光源になる。
【0011】
対物レンズ15の物界側には、光軸O上に順に、第1のハーフミラー41、第2のハーフミラー42および第3の撮像装置(逆投影像受光手段)53が配置されている。第1のハーフミラー41の反射方向には第1の撮像装置(逆投影像受光手段)51が配置され、第2のハーフミラー42の反射方向には第2の撮像装置(逆投影像受光手段)52が配置されている。これらのハーフミラー41、42および撮像装置51、52、53は、図示しないが、ベンチ31と共通の固定構造に固定されている。
ここで、第1の撮像装置51は、このファイバースコープ10により観察する最至近観察距離(近点)に相当する光学距離に配置され、第3の撮像装置53は、同最遠観察距離(遠点)に配置され、第2の撮像装置52は、このファイバースコープ10の予定合焦物距離に配置されている。
【0012】
各撮像装置51〜53の受光面には、逆投影された物側端面12aの像が対物レンズ15により結像される。撮像装置51〜53は、多数の光電変換素子を有する一次元あるいは二次元センサ、例えばCCDイメージセンサで構成される。CCDイメージセンサの場合には周知の通り、一水平ライン単位での水平走査(X方向)および垂直方向(Y方向)の垂直走査がなされる。なお、一次元センサの場合には、主走査および副走査可能な構成に形成する。
撮像装置51〜53は、受光した像を光電変換し、電気的な画像信号として画像入出力装置61に出力する。
【0013】
画像入出力装置61は、撮像装置51〜53から入力した画像信号を所定の規格のディジタル画像データに変換してパーソナルコンピュータ、ワークステーションなどのコンピュータ63に出力し、またビデオ信号に変換して端面像をTVモニタ67に表示する。このTVモニタ67は、各撮像装置51〜53が受光した像を切り替えながら再生する構成でもよく、あるいは画面を分割して同時に表示する構成でもよい。さらに、モニタを3個設けて、各撮像装置51〜53が受光した像をそれぞれに同時に表示する構成でもよい。
【0014】
一方、コンピュータ63は、画像入出力装置61から入力した画像データに基づいて、光軸O付近のコントラスト分布を横軸方向(撮像装置51〜53の横方向)に演算し、演算結果をグラフとしてCRT65に表示する。本実施例では、コンピュータ63は、光軸付近の水平方向画像データを垂直方向に複数ライン分サンプリングし、平均化処理を施して水平方向の光強度分布曲線を算出し、CRT65に表示する。観測系側端面12aにおけるサンプリング部分を図3の(A)、図4の(A)に示し、その演算結果を図3の(B)、図4の(B)に示した。
【0015】
ここで、図3は、物側端面12aの像が撮像装置51〜53のいずれかに鮮明に結像された場合、つまりデフォーカス量がほぼ0の合焦状態を表わし、図4は、同物側端面12aの像が撮像装置51〜53のいずれかに不鮮明に結像された場合、つまりデフォーカス量が大きい非合焦状態を表わしている。これらの図から明らかなように、合焦状態のときには平均強度に対する光強度のピークと底との差(振幅)、つまりコントラストが大きく、非合焦状態のときには平均強度に対する光強度のピークと底との差(振幅)、つまりコントラストが小さいことが分かる。
【0016】
図5ないし図7には、移動ステージ33を駆動して物側端面12aと対物レンズ15との間隔を変化させたときのコントラストの変化状態を示したグラフである。各グラフにおいて、縦軸はコントラストを、横軸は対物レンズ15と物側端面12aとの距離(以下「レンズ距離Z」という)を示している。各グラフにおいて、ピーク位置が合焦レンズ距離(位置)であり、コントラストが低くなる程デフォーカスが大きくなることを示している。
【0017】
図5は、第2の撮像装置52により得たコントラスト曲線52cを示してある。このグラフから、レンズ距離ZがZ0 のときに、第2の撮像装置52に対して合焦することが分かる。図6には、第1、第2の撮像装置51、53により得たコントラスト曲線51c、53cを、図7には、第1、第2、第3の撮像装置51、52、53により得たコントラスト曲線51c、52c、53cを示している。
【0018】
図6より、コントラスト曲線51c、53cが交わるレンズ距離Z0 にピント調整、つまり移動ステージ33を移動して対物レンズ15と物側端面12aの距離を調整すれば、近点と遠点との間では、このレンズ距離Z0 で合焦する合焦物体の前後で合焦物体からの距離に応じてほぼ均等なボケ具合となる。つまり、遠点および近点においてほぼ均等なボケ具合となる。
【0019】
また、図6、図7のグラフに基づいて、遠点側あるいは近点側を重視したピント調整も簡単にできる。しかも、例えば、予定遠点が第3の撮像装置53よりも遠くにある場合は、レンズ距離Z0 よりも近いレンズ距離Z1 をベスト位置とすることにより、第3の撮像装置53を移動することなくピント調整ができる。
本実施例のピント調整は移動ステージ33を移動して行なうが、その移動は操作者自身が手動操作で行っても、あるいはコンピュータ制御によって行う構成としてもよい。また、本実施例をピント検査装置として使用するときには、ピント調整機構は使用しないので、これはなくてもよい。
【0020】
図2には、第2、第3の撮像装置52、53の前方(対物レンズ15側)に、像倍率を小さくする変倍レンズ72、73を配置した実施例を示してある。
内視鏡等のファイバースコープの場合、対物レンズ15の画角は通常超広角なので、物側端面12aの像を対物レンズ15から逆投影すると、遠方では像が非常に大きく投影されてしまい、第1の撮像装置51と同サイズの第2、第3の撮像装置52、53では周期構造を捕えられない場合を生じる。また、デフォーカス状態をモニタに映し出した像により肉眼で観察する場合には、各位置における像の大きさが等しい方が観察が容易である。
【0021】
そこで、第2、第3の撮像装置52、53の前に倍率の異なる変倍レンズ72、73を配置して、第1、第2、第3の撮像装置51、52、53にほぼ等倍の物側端面12aの像が形成されるようにした。また、遠点、近点が非常に近い場合には撮像装置51〜53を配置するスペースが無くなるので、光路延長光学系を設けて配置スペースを確保する。
【0022】
図示実施例では、撮像装置を3か所に設けたが、本発明は2か所でも、4か所以上に設けてもよい。撮像装置の相対位置は固定したものでもよいが、移動可能に構成すれば、より広範囲な条件でのピント調整が容易になる。また、撮像装置を回転可能にするか、あるいは撮像装置が出力する画像データのサンプリング方向、サンプリング幅を変更可能にすることにより、被検光学系の周期、非周期構造にかかわらず同一条件でのピント調整が可能になる。光路分割手段はハーフミラーに限定されず、ビームスプリッタなどの光学素子を利用できる。光源21の光を観測系側端面13aに集光させているが、コントラストが得られるパターン像を投影してもよい。要するに、コントラスト法により焦点検出を行なう場合には、コントラストのある像が得られる光源であればよいのである。また、焦点検出も、コントラスト法に限定されることはない。
【0023】
【発明の効果】
以上の通り請求項1に記載の本発明は、ファイバースコープの物側の光路を二以上に分割して分割光路の異なる光学距離に複数の受光手段を配置し、ファイバースコープの観察系側から光を入射して上記各受光手段に逆投影するので、その上記各受光手段が受光した逆投影像に基づいてピントの検査が容易にできる。
さらに請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の各受光手段が受光した逆投影像に基づいてピントを調整する調整装置を備えているので、受光手段を移動することなく異なる物体距離に対してのピント調整や、被写界深度を考慮したピント調整が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したファイバースコープのピント検査装置および調整装置の一実施例を示すブロック図である。
【図2】同実施例の受光部の変形例を示すブロック図である。
【図3】同実施例の光ファイバーバンドルの物側端面の像およびサンプリング(走査)態様と光強度分布の関係を示す図である。
【図4】同実施例の光ファイバーバンドルの物側端面の像およびサンプリング(走査)態様と光強度分布の関係を示す図である。
【図5】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図である。
【図6】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図である。
【図7】対物レンズ、光ファイバーバンドルの物側端面間の距離とコントラストとの関係を示すグラフ図である。
【図8】従来の光ファイバーバンドルの物側端面の像、走査態様と光強度分布の関係を示す図である。
【図9】従来の光ファイバーバンドルの物側端面の像、走査態様と光強度分布の関係を示す図である。
【符号の説明】
10 ファイバースコープ
11 光ファイバーバンドル
12a 物側端面
13a 観測系側端面
15 対物レンズ
31 ベンチ
33 移動ステージ
35 固定台
51 第1の撮像装置
52 第2の撮像装置
53 第3の撮像装置
61 画像入出力装置
63 コンピュータ
65 ディスプレイ
72 変倍レンズ
73 変倍レンズ

Claims (18)

  1. 光ファイバーバンドルを有する光学系の対物レンズのピント検査を行なう装置であって、
    対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観察系側端面から逆投影光を照射する光源と、
    上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出され、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路分割手段と、
    上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、
    を備えたことを特徴とする逆投影ピント検査装置。
  2. 光ファイバーバンドルを有する光学系の対物レンズのピント調整を行なう装置であって、
    対物レンズと相対していない光ファイバーバンドルの観察系側端面から逆投影光を照射する光源と、
    上記ファイバーバンドルの対物レンズ側端面から射出され、上記対物レンズを透過した逆投影光を分割する光路分割手段と、
    上記光路分割手段により分割された逆投影光をそれぞれ受光する、上記ファイバーバンドルの端面から異なる光学距離に配置された複数の逆投影光受光手段と、
    上記複数の逆投影光受光手段が受光した像に基づいて上記対物レンズのピント調整を行なうピント調整手段と、
    を備えたことを特徴とする逆投影ピント調整装置。
  3. 請求項1または2において、上記逆投影光受光手段は、各々で異なる倍率の投影光学系を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の上記逆投影光受光手段は、受光した逆投影像を電気的な画像データに変換する光電変換手段を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  5. 請求項4に記載の光電変換手段は、二次元画像データを取り込むこと、を特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  6. 請求項4に記載の光電変換手段は、二次元センサーであること、を特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  7. 請求項5に記載に装置はさらに、上記二次元画像データの中から、任意の方向、任意の幅の画像データをサンプリングするサンプリング手段を有することを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  8. 請求項6または7において、上記二次元画像データを平均化して一次元データ化する解析手段を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  9. 請求項4から8のいずれか一項において、上記画像データに基づくコントラストデータをピント情報として利用することを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  10. 請求項1から9のいずれか一項において、上記ファイバーバンドルの物体側端面において等デフォーカスとなることが望まれる2つの物距離に配置された逆投影像受光手段を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  11. 請求項1から9のいずれか一項において、上記ファイバーバンドルの物体側端面において異なるデフォーカスとなることが望まれる複数の物距離に配置された逆投影像受光手段を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  12. 請求項1から9のいずれか一項において、上記ファイバーバンドルの物体側端面において最良像面が望まれる物距離に配置された逆投影像受光手段を含むことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  13. 請求項10から12のいずれか一項において、上記各逆投影受光手段が受光し変換した画像データに基づいてピント評価を行なう評価手段を備えたことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  14. 請求項10において、上記評価手段による両逆投影像受光手段に基づく評価が等しくなるように上記ピント調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  15. 請求項10において、上記両逆投影受光手段におけるデフォーカスが等しくなるようにピント調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  16. 請求項10から12のいずれか一項において、上記評価手段による評価が、近距離側の評価よりも遠距離側の評価の方が良くなるようにピント調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  17. 請求項10から12のいずれか一項において、上記評価手段による評価が、遠距離側の評価よりも近距離側の評価の方が良くなるようにピント調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
  18. 請求項12において、上記最良像面が得られる物距離に配置された逆投影像受光手段に基づく評価が最良になるように上記ピント調整手段によりピント調整を行なうことを特徴とする逆投影ピント検査装置および調整装置。
JP22842494A 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置 Expired - Fee Related JP3670686B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22842494A JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23956093 1993-09-27
JP5-239560 1993-09-27
JP22842494A JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07151980A JPH07151980A (ja) 1995-06-16
JP3670686B2 true JP3670686B2 (ja) 2005-07-13

Family

ID=26528247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22842494A Expired - Fee Related JP3670686B2 (ja) 1993-09-27 1994-09-22 逆投影ピント検査装置および調整装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3670686B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07151980A (ja) 1995-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0834758B1 (en) Continuous volume imaging system for scanning microscopy
US10182890B2 (en) Camera for recording surface structures, such as for dental purposes
US6839469B2 (en) Multiparallel three dimensional optical microscopy system
US8520280B2 (en) Method and apparatus for dynamically shifting a light beam with regard to an optic focussing the light beam
JP2011024842A5 (ja)
EP3125015A1 (en) Focusing apparatus and method
CN101884524B (zh) 基于自适应光学技术的宽视场光学相干层析仪
US20120120232A1 (en) Shape measuring device, observation device, and image processing method
JP2012073285A (ja) 撮像方法および顕微鏡装置
CN112334744B (zh) 用于多图像激光束质量测量的聚焦校正的方法和设备
JP2000275027A (ja) スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置
KR20120072757A (ko) 광섬유 다발 기반의 내시경 타입 스펙트럼 영역 광학단층영상 시스템
KR20130102465A (ko) 높이 측정 방법 및 높이 측정 장치
JP3482013B2 (ja) 光学系のピント評価方法、調整方法、調整装置、およびチャート装置
JP2955017B2 (ja) 同時および共焦点式の像形成装置
JPH1068616A (ja) 形状計測装置
KR101826127B1 (ko) 광학적 웨이퍼 검사 장치
JP2016148569A (ja) 画像測定方法、及び画像測定装置
JP3726028B2 (ja) 3次元形状計測装置
JP2004054262A (ja) 電子カメラを用いた光学素子整合デバイス
JP3670686B2 (ja) 逆投影ピント検査装置および調整装置
KR20160082076A (ko) 간섭계 기반 단층영상 및 표면형상 동시 획득 장치
JP2006519408A5 (ja)
CN114371549A (zh) 一种基于多焦复用透镜的定量相位成像方法及系统
KR100519266B1 (ko) 공초점 현미경

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050412

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050415

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees