JP3649268B2 - インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力発生室を構成する弾性板を圧電振動子により弾性変形させて、圧力発生室のインクをノズル開口からインク滴として吐出させるインクジェット式記録ヘッド、より詳細には流路形成基板の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェット式記録ヘッドは、共通のインク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧力発生室の一部を変形させることができるように設けられた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させるように構成されている。
たとえば、特開平9-123448号公報に見られるように基板の両面にそれぞれ凹部からなる第1、第2圧力発生室を形成し、各圧力発生室にはリザーバと連通する若干絞られた凹部からなる第1、第2インク供給口を設け、さらにノズル開口に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔を形成したものが提案されている。
【0003】
これによれば、圧力発生室の容積を小さくしてグラフィック印刷に適した微小なインク滴を吐出させることができるばかりでなく、基板に貫通孔が占める比率が小さく剛性を確保でき、このため基板の厚みを薄くできて、エッチング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板の両面に偏平な2つの圧力発生室を形成する関係上、ノズル開口をキャップで封止してノズル開口に外部から負圧を作用させてインクを強制的に排出させてインク滴の吐出性能を回復させる際にも、リザーバから圧力発生室に流入するインクの流速が低下しやすいため、特に圧電振動子側の圧力発生室、つまりノズル開口から離れた側の圧力発生室に気泡が停滞しやすい。この気泡は、周知のようり圧電振動子による加圧力を吸収するため、インク滴の吐出能力が低下して印字品質を低下させる。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、圧力発生室へのインクの供給性の向上を図りつつ、圧力発生室の気泡の停滞を防止することができるインクジェット式記録ヘッドを提供することである。本発明の第2の目的は、前記インクジェット式記録ヘッドを備えたインクジェット式記録装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために本発明においては、リザーバ、弾性板に対向する面に形成された第1のインク供給口、ノズルプレートに対向する面に形成された第2のインク供給口、第1、第2のインク供給口を介して前記リザーバに連通する第1の圧力発生室、及び第2の圧力発生室、第1、第2の圧力発生室を連通させるノズル連通孔をそれぞれ備えた流路形成基板と、前記流路形成基板の一方の面を封止するノズル開口を有するノズルプレートと、前記流路形成基板の他面を封止する前記弾性板と、前記第1の圧力発生室のインクを加圧すべく前記第1の圧力発生室にだけ配置された圧力発生手段とを備え、前記第2の圧力発生室のインクが前記ノズル連通孔を介して前記第1の圧力発生室から流れ込むインクにより加圧されるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記ノズル連通孔が前記ノズル開口側に拡開するように形成されている。
【0006】
【作用】
ノズルプレートをキャプで封止して負圧に作用させると、第1の圧力発生室はノズル開口側に拡開するノズル連通孔を介してノズル開口に連通しているため、ノズル連通孔の近傍でのインクの流速が増大し、第1の圧力発生室に停滞している気泡もノズル開口側の第2の圧力発生室に速やかに移動できる。
【0007】
【発明の実施の形態】
そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図1は、本発明の一実施例をそれぞれ隣接する圧力発生室の中心線上での断面構造を示すものであって、図中符号1は、流路形成基板で、圧電振動子2に対向する領域の両面には図2、図3に示したように第1、2の圧力発生室3、4がハーフエッチングにより浅い凹部として形成されて、圧力発生室3、4の一側には貫通孔からなるリザーバ5が形成され、圧力発生室3、4とリザーバ5とはインク供給口6、7により連通されている。
【0008】
またノズルプレート8のノズル開口9の近傍には第1の圧力発生室3と第2の圧力発生室4を連通させる貫通孔からなるノズル連通孔10が形成されている。このノズル連通孔10は、圧電振動子側の開口面積が小さく、またノズル開口側の開口面積が大きく、好ましくは両面を滑らかな斜面10aで接続するようにノズル開口側に拡開する通孔として形成されている。
【0009】
このような流路形成基板1は、例えばシリコン単結晶基板を異方性エッチングして凹部や貫通孔を形成する方法や、不錆鋼等の金属板をやはりエッチング加工により凹部や貫通孔を形成する方法により構成することができる。
【0010】
この流路形成基板1は、その第1の圧力発生室3の側の面を弾性板11で封止されている。圧力発生室3のほぼ中央部には圧力発生手段、この実施例では圧電定数d31の軸方向に伸縮する圧電振動子2が、その先端を弾性板11に形成されたアイランド部12に当接させて、他端を固定基板13を介してヘッドフレーム14に固定されている。
【0011】
このような構成により、圧電振動子2を駆動信号により収縮、伸長させることにより、弾性板11を弾性変形させて第1の圧力発生室3を膨張、収縮させて、リザーバ5のインクを圧力発生室3、4に吸引し、また圧力発生室3、4のインクを加圧してノズル開口9からインク滴として吐出させることができる。
【0012】
なお、図中符号15は外部のインクタンクのインクをリザーバ5に誘導するインク供給路を、また符号16は圧電振動子2に駆動信号を供給するフレキシブルケーブルをそれぞれ示す。
【0013】
この実施例において圧電振動子2に駆動信号を印加して充電すると、圧電振動子2が収縮して第1の圧力発生室3の容積が膨張する。第1の圧力発生室3の膨張により第1、第2のインク供給口6、7を介してリザーバ5のインクが第1、第2の圧力発生室3、4に流れ込み、印刷に必要な量のインクを確実に第1、第2の圧力発生室3、4に供給することができる。なお、第2の圧力発生室4は、ノズル連通孔10を介して第1の圧力発生室3の負の圧力を受けるため、第2のインク供給口7を介してリザーバ5のインクを吸引する。
【0014】
ついで、圧電振動子2の電荷を放電させると、圧電振動子2が元の状態に伸長して圧力発生室3の容積を縮小させ、第1の圧力発生室3のインクが加圧されてノズル連通孔10を経由してノズル開口9からインク滴として吐出する。
【0015】
このような印刷動作が長時間継続されてノズル開口9に気泡が付着したり、また第1、第2の圧力発生室3、4に気泡が侵入した場合には、ノズルプレート8に図示ないキャップ部材を密着させて吸引ポンプの負圧をノズル開口9に作用させ、ノズル開口9からインクを強制的に排出させる。
【0016】
この際、第1の圧力発生室3は、ノズル開口側に拡開するノズル連通孔10を介してノズル開口9に連通しているため、図4に示したようにノズル連通孔10の近傍で流速が増大し、第1の圧力発生室3に停滞している気泡Bも第2の圧力発生室4に速やかに移動してノズル開口9からに近い位置に集まり、インクの流れに乗ってノズル開口9から外部に簡単に排出される。
【0017】
本発明においては、ノズル連通孔10が断面台形状に形成されているため、第1の圧力発生室3側の開口面積を絞って、強制排出時のインクの流速を増速させて気泡の排除性を向上させる一方、流路抵抗及びイナータンスを低い値に保つことが可能となり、インク滴吐出後に生じる圧力波を速やかに通過させて、応答速度の向上とインク滴の吐出安定性を確保することができる。
【0018】
なお、上述の実施例においては、拡開部を単一の斜面により形成しているが、図5に示したように第2圧力発生室から第1圧力発生室に拡大する斜面10aと、垂直面10bとで形成しても同様の作用を奏する。
【0019】
次に、上述した流路形成基板1の製造方法を、図6、図7に基づいて説明する。
ハンドリングの容易な300μm乃至600μm程度の厚みを有する、面方位(110)のシリコン単結晶基板20の表面全体にエッチング保護膜となる酸化シリコン膜21を熱酸化法により膜厚1μmで形成する。
さらに、表面にフォトレジスト剤をスピンコート法等により両面に塗布してフォトレジスト層22、23を形成し、フォトリソグラフィ技術により貫通孔として形成するリザーバ5、及びノズル連通孔10となるレジストパターンからなる窓24、24’、25、25’を表裏に形成する(図6(I))。ノズル連通孔10のパターン25、25’は、ノズル開口寄りとなる端面を一致させてそれぞれの面に開口すべき面積に合わせ、一方の面(図では上面側)を大きく形成されている。
【0020】
このようにレジスト層22、23にエッチング窓24、24’、25、25’を形成したシリコン単結晶基板20を緩衝フッ酸溶液に浸漬して窓24、24’、25、25’に対応したパターンを酸化シリコン膜21のハーフエッチング層26、26’、27、27’として転写する(図6(II))。
【0021】
ついで、第1、第2の圧力発生室3、4、及びインク供給口6、7となる領域を露光、現像して両面に圧力発生室3、4、及びインク供給口6、7のパターン28、28’、29、29’を形成し(図6(III))、再びシリコン単結晶基板20を緩衝フッ酸溶液に浸漬して、前述の工程(II)で形成した酸化シリコン膜21のパターン26、26’、27、27’が消失するまでエッチングを行う(図3(VI))。
【0022】
これによりハーフエッチングとして形成すべき第1、第2の圧力発生室3、4、及び第1、第2のインク供給口6、7の酸化シリコンのパターン21、21’の一部が残り、また表裏には貫通孔として形成すべきリザーバ5、ノズル連通孔10の異方性エッチング用の窓30、31’、31、31’が形成される。そしてノズル連通孔7の端部よりにYAGレーザー等により先導用の小径の通孔32を穿設する。
【0023】
シリコン単結晶基板21を摂氏80度に維持された20重量%の水酸化カリウム(KOH)の水溶液に浸潰して異方性エッチングを行うと、リザーバ5となる領域が窓30、30’の全面から徐々にエッチングされ、またノズル連通孔10となる領域は、先導用の通孔32から徐々にエッチングされ、またハーフエッチングにより残っていた酸化シリコン膜21’もエッチングを受けて消失する(図7(I))。
【0024】
さらにエッチングが進行すると、リザーバを形成すべき領域には貫通孔33が、またノズル連通孔10を形成すべき領域には一方の面に拡開し、略面方位(111)の面で区画された貫通孔34が、さらに圧力発生室3、4、及びインク供給口6、7を形成すべき領域には凹部35、36が形成される(図7(II))。最後に酸化シリコン膜21をエッチングにより除去すると流路形成基板1が完成する(図7(III))。
【0025】
この実施例のように先導用の貫通孔32を形成してから異方性エッチングを実施すると、圧力発生室の幅よりも幅が小さな貫通孔を形成でき、流路形成基板1の剛性の低下を可及的に抑えてクロストークの発生を防止することができる。
【0026】
なお、上述の実施例においては、圧力発生室3、4の一側からインクを供給する形式のものについて説明したが、図8に示したように圧力発生室3、4の軸方向の他端にもリザーバ5’を設け、インク供給口6’、7’を介して第2のリザーバ57からもインクを供給するものに適用しても同様の作用を奏する。
【0027】
また、上述の実施例においては軸方向に平行に内部電極と圧電材料を積層した圧電定数d31の圧電振動子に例を採って説明したが、図9に示したように軸方向に垂直に内部電極と圧電材料とを交互に積層して構成された圧電定数d33の圧電振動子40を用いても同様の作用を奏することは明らかである。
【0028】
また、上述の実施例においては、上述の実施例においては弾性板11に対して垂直方向に加圧する圧電振動子2を用いた場合に例を採って説明したが、図10に示したように弾性板11の表面に、必要に応じて、つまり弾性板が非導電材料で形成されている場合には下電極41を形成した上で、その表面に圧力発生室3と対向する位置に圧電材料のスパッタリングや、また圧電材料のグリーンシートの貼着等により圧電体層42を形成し、さらにその表面に上電極43を形成し、圧電体層42をたわみ変位させて圧力発生室3の領域だけを選択的に変形させても同様の作用を奏することは明らかである。
【0029】
さらに、上述の実施例においては単一の板材をエッチングにより凹部や貫通孔を形成して圧力発生室やリザーバ、ノズル連通孔等を作り付ける場合について説明したが、図11(イ)に示したように流路形成基板1を厚み方向に少なくとも4層、この実施例では5層に分割し、流路形成基板1のリザーバ5や、ノズル連通孔10を構成する貫通孔50、51、52、53、54、55、56、57、58、59、及び第1、第2の圧力発生室3、4、第1、第2のインク供給口6、7を形成する凹部となる貫通孔60、61を形成したフィルム62、63、64、65、66を用意する。
【0030】
そして、これらフィルム62〜66を図11(ロ)に示したように積層、密着させることにより、第1、第2の圧力発生室67、68、リザーバ69、第1、第2のインク供給口70、71、及びノズル連通孔72を構成することができる。このようなフィルム62〜66には、例えば感光性ドライフィルムを使用すると、露光作業とエッチングにより簡単に所望の形状の貫通孔を高い精度で形成でき、かつ自己溶着性により密着するため最適な材料となる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ノズルプレートをキャップで封止して負圧に作用させると、ノズル開口側に拡開するノズル連通孔によりノズル連通孔の近傍でインクの流速を増大させて、第1の圧力発生室に停滞している気泡をノズル開口側の第2の圧力発生室に速やかに移動させて確実に排除することができる。
【0032】
また、ノズル連通孔の流路抵抗及びイナータンスを低い値に保つことができるため、インク滴吐出後に生じる圧力波を速やかに通過させて、応答速度とインク滴の吐出安定性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図(イ)(ロ)は、それぞれ本発明の一実施例を、それぞれ隣接する圧力発生室の中心線での断面構造で示す図である。
【図2】同上記録ヘッドを構成する流路形成基板の一実施例を示す斜視図である。
【図3】図2におけるA−A線における断面図である。
【図4】インク吸引時におけるインクの流れを示す図である。
【図5】本発明の他の実施例を、流路形成基板の構造で示す断面図である。
【図6】図(I)乃至(IV)は、それぞれ流路形成基板の製造工程の内、前半の工程を示す図である。
【図7】図(I)乃至(III)は、ぞれぞれ流路形成基板の製造工程の内、後半の工程を示す図である。
【図8】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図9】図は、本発明の他の実施例を示す図である。
【図10】図は、本発明の他の実施例を示す図である。
【図11】図(イ)、(ロ)は、それぞれ流路形成基板を複数の板材を積層して構成する場合の実施例を、板材の形状と、これを積層した状態を示す図である。
【符号の説明】
1 流路形成基板
2 圧電振動子
3 第1の圧力発生室
4 第2の圧力発生室
5 リザーバ
6 第1のインク供給口
7 第2のインク供給口
8 ノズルプレート
9 ノズル開口
10 ノズル連通孔
11 弾性板
Claims (10)
- リザーバ、弾性板に対向する面に形成された第1のインク供給口、ノズルプレートに対向する面に形成された第2のインク供給口、第1、第2のインク供給口を介して前記リザーバに連通する第1の圧力発生室、及び第2の圧力発生室、第1、第2の圧力発生室を連通させるノズル連通孔をそれぞれ備えた流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方の面を封止するノズル開口を有するノズルプレートと、
前記流路形成基板の他面を封止する前記弾性板と、
前記第1の圧力発生室のインクを加圧すべく前記第1の圧力発生室にだけ配置された圧力発生手段とを備え、前記第2の圧力発生室のインクが前記ノズル連通孔を介して前記第1の圧力発生室から流れ込むインクにより加圧されるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記ノズル連通孔が前記ノズル開口側に拡開するように形成されているインクジェット式記録ヘッド。 - 前記ノズル連通孔の前記ノズル開口側の開口面積が、前記弾性板側の開口面積よりも大きく形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記ノズル連通孔の各面の開口が平面により接続されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記ノズル連通孔の幅が圧力発生室の幅以下である請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記ノズル貫通孔が第1の圧力発生室の一端と第2の圧力発生室の一端とを連通させる位置に形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記流路形成基板の厚みが300μm乃至600μmである請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記流路形成基板が、前記流路形成基板の厚み方向に少なくとも4枚の層に分割され、各層に対応する貫通孔が形成された板材を積層して構成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記板材が感光性ドライフィルムである請求項7に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記ノズル開口が前記ノズル連通孔に対向する位置に設けられている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- リザーバ、弾性板に対向する面に形成された第1のインク供給口、ノズルプレートに対向する面に形成された第2のインク供給口、第1、第2のインク供給口を介して前記リザーバに連通する第1の圧力発生室、第2の圧力発生室、第1、第2の圧力発生室を連通させるノズル連通孔をそれぞれ備えた流路形成基板と、
該流路形成基板の一方の面を封止しノズル開口を有するノズルプレートと、
前記流路形成基板の他面を封止する前記弾性板と、
前記第1の圧力発生室のインクを加圧すべく前記第1の圧力発生室にだけ配置された圧力発生手段とを備え、前記第2の圧力発生室のインクが前記ノズル連通孔を介して前記第1の圧力発生室から流れ込むインクにより加圧され、また前記ノズル連通孔が前記ノズル開口側に拡開するように形成されているインクジェット式記録ヘッドと、
第1、第2の圧力発生室に侵入した気泡を前記ノズル開口から吸引するキャップ手段を備えたインクジェット式記録装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5438198A JP3649268B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録装置 |
US09/252,217 US6322203B1 (en) | 1998-02-19 | 1999-02-18 | Ink jet recording head and ink jet recorder |
DE69909330T DE69909330T2 (de) | 1998-02-19 | 1999-02-19 | Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung |
DE69902703T DE69902703T2 (de) | 1998-02-19 | 1999-02-19 | Farbstrahlaufzeichnungsvorrichtung |
EP01122152A EP1157841B1 (en) | 1998-02-19 | 1999-02-19 | Ink jet recording device |
EP99103289A EP0937578B1 (en) | 1998-02-19 | 1999-02-19 | Ink jet recording device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5438198A JP3649268B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11227202A JPH11227202A (ja) | 1999-08-24 |
JP3649268B2 true JP3649268B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=12969119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5438198A Expired - Fee Related JP3649268B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3649268B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003094652A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
US8371683B2 (en) * | 2010-12-23 | 2013-02-12 | Palo Alto Research Center Incorporated | Particle removal device for ink jet printer |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP5438198A patent/JP3649268B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11227202A (ja) | 1999-08-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041201 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20050208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225 Year of fee payment: 4 |
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