JP3648736B2 - 固体撮像素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、センサの上層にオンチップレンズを有する固体撮像素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図6は、本願の発明の一従来例を示している。この一従来例では、半導体基板11中に各画素のセンサ(図示せず)や転送部(図示せず)等が形成されており、半導体基板11の表面にゲート絶縁膜12が形成されている。ゲート絶縁膜12上には転送電極13が形成されており、転送電極13は絶縁膜14等に覆われている。
【0003】
絶縁膜14等は遮光膜15に覆われており、この遮光膜15のうちでセンサ上の部分に開口15aが形成されている。遮光膜15等は平坦化膜16に覆われており、カラーフィルタ層17及びオンチップレンズ18が平坦化膜16上に順次に形成されている。この様な一従来例では、オンチップレンズ18によって光19がセンサに集められるので、オンチップレンズ18が設けられていない構造に比べて感度が高い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、各画素の面積が縮小されても、転送電極13の抵抗の増大や遮光膜15の遮光能力の低下等を防止するために、転送電極13や遮光膜15等を薄くすることが困難である。このため、開口15aの大きさに対する遮光膜15等の高さの比率が大きくなってきており、その結果、図6にも示した様に、オンチップレンズ18で集められても遮光膜15等によるけられでセンサまで導かれない光19が生じ易かった。
【0005】
このため、図6に示した一従来例では、高い感度を得ることが困難であった。また、遮光膜15のパターンが画素毎にばらついており、更に、画素によって光19の入射角度が異なっていてけられの割合も異なるので、光19にけられが生じていると、画素毎の感度のむらも生じ易かった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本願の発明による固体撮像素子は、複数層のオンチップレンズが設けられており、上層の前記オンチップレンズの焦点がその下層の前記オンチップレンズよりも前記上層側に位置しており、前記焦点と前記下層のオンチップレンズとの間の距離をLnとし、前記下層のオンチップレンズの焦点距離をflとすると、
fl<Ln
であることを特徴としている。
【0007】
本願の発明による固体撮像素子は、
Ln<2fl
であることが好ましい。
【0008】
本願の発明による固体撮像素子は、前記上層のオンチップレンズの焦点距離をfuとすると、
fl<fu
であることが好ましい。
【0009】
本願の発明による固体撮像素子では、複数層のオンチップレンズのうちで上層のオンチップレンズの焦点がその下層のオンチップレンズよりも上層側に位置しており、しかも、上層のオンチップレンズの焦点と下層のオンチップレンズとの間の距離が下層のオンチップレンズの焦点距離よりも長いので、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光が下層のオンチップレンズで再び収束される。
【0010】
このため、各層のオンチップレンズで光の発散を抑制しつつ、この光をセンサまで導くことができる。従って、センサ上の遮光膜の開口の大きさに対する遮光膜等の高さの比率が相対的に大きくても、遮光膜等による光のけられを生じることなく、この光をセンサまで導くことができる。
【0011】
また、上層のオンチップレンズの焦点と下層のオンチップレンズとの間の距離が下層のオンチップレンズの焦点距離の2倍よりも短ければ、下層のオンチップレンズの径が小さくても、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光のうちで下層のオンチップレンズに入射しない光が少ない。
【0012】
また、下層のオンチップレンズの焦点距離が上層のオンチップレンズの焦点距離よりも短ければ、下層のオンチップレンズの径が小さくても、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光のうちで下層のオンチップレンズに入射しない光が少ない。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本願の発明の一実施形態を、図1〜5を参照しながら説明する。図1が、本実施形態を示している。本実施形態では、オンチップレンズ18とは別のオンチップレンズ21がセンサとオンチップレンズ18との間に設けられていて、オンチップレンズ18、21が2層になっている。
【0014】
オンチップレンズ18の焦点距離をfuとすると、この固体撮像素子の表面に垂直に入射した光19は、オンチップレンズ18からfuの距離の焦点Pに収束する。この焦点Pが遮光膜15の上面付近の高さに位置する様に、平坦化膜16の厚さ等が選択されている。
【0015】
また、オンチップレンズ21の焦点距離をflとし、焦点Pからオンチップレンズ21までの距離をLnとすると、
fl<Ln<2fl ▲1▼
fl<fu ▲2▼
の関係が満たされている。以上の点を除いて、本実施形態も図6に示した一従来例と実質的に同様の構成を有している。
【0016】
本実施形態では、図1からも明らかな様に、オンチップレンズ18で光19が焦点Pに一旦収束されており、焦点Pを通過して発散した光19もオンチップレンズ21に入射して再び収束されている。つまり、オンチップレンズ18、21で光19の発散が抑制されつつ、この光19がセンサまで導かれている。
【0017】
しかも、オンチップレンズ18で光19を収束している焦点Pが、遮光膜15の上面付近の高さに位置している。従って、遮光膜15の開口15aの大きさに対する遮光膜15等の高さの比率が大きくても、遮光膜15等による光19のけられを生じることなく、この光19をセンサまで導くことができる。
【0018】
一方、本実施形態が満たしている上述の▲1▼の条件に反してfl=Lnであると、図4に示す様に、オンチップレンズ18を透過した光19は収束されずに平行光になるので、遮光膜15のうちで半導体基板11に近い部分で光19のけられが生じ易くなる。なお、fl>Lnであると、オンチップレンズ18を透過した光19が発散光になるので、光19のけられが更に生じ易くなる。
【0019】
また、▲1▼の条件に反してLn≧2flであると、実際問題として、図5に示す様に、オンチップレンズ18で焦点Pに一旦収束された後に発散した光19のうちでオンチップレンズ21に入射しない光19が多い。この様にオンチップレンズ21に入射しない光19は、遮光膜15の上面等に入射してけられ、感度に寄与しない。
【0020】
また、▲2▼の条件に反してfl≧fuであると、この場合も、実際問題として、オンチップレンズ18で焦点Pに一旦収束された後に発散した光19のうちでオンチップレンズ21に入射しない光19が多い。この様にオンチップレンズ21に入射しない光19は、遮光膜15の上面等に入射してけられ、感度に寄与しない。
【0021】
図2は、平凸状のオンチップレンズ21を有する固体撮像素子の第1の製造方法を示している。この第1の製造方法でも、図2(a)に示す様に、遮光膜15に開口15aを形成するまでは従来公知の工程を実行する。しかし、この第1の製造方法では、遮光膜15等を平坦化膜16で覆った後、図2(b)に示す様に、この平坦化膜16のうちで遮光膜15の開口15a上の部分に凹部16aを形成する。
【0022】
次に、図2(c)に示す様に、平坦化膜16よりも屈折率の高い樹脂層22を平坦化膜16上に平坦に塗布して、凹部16aを樹脂層22で埋める。その後、図2(d)に示す様に、樹脂層22上にカラーフィルタ層17を形成して凹部16a内の樹脂層22でオンチップレンズ21を形成し、図2(e)に示す様に、カラーフィルタ層17上にオンチップレンズ18を形成する。
【0023】
図3は、両凸状のオンチップレンズ21を有する固体撮像素子の第2の製造方法を示している。この第2の製造方法でも、図3(a)〜(c)に示す様に、樹脂層22を平坦化膜16上に塗布するまでは、図2に示した第1の製造方法と実質的に同様の工程を実行する。
【0024】
しかし、この第2の製造方法では、その後、図3(d)に示す様に、樹脂層22のうちで凹部16a上以外の部分をエッチングして、凹部16a上に断面が台形状の樹脂層22を残す。そして、図3(e)に示す様に、断面が台形状の樹脂層22及び平坦化膜16上に別の平坦化膜23を塗布して樹脂層22でオンチップレンズ21を形成し、図示してはいないが、更に、カラーフィルタ層17及びオンチップレンズ18を形成する。
【0025】
なお、以上の実施形態ではオンチップレンズ18、21が2層であるが、3層以上のオンチップレンズを固体撮像素子に設けることもできる。その場合も、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光を下層のオンチップレンズで順次に収束させる。
【0026】
【発明の効果】
本願の発明による固体撮像素子では、センサ上の遮光膜の開口の大きさに対する遮光膜等の高さの比率が相対的に大きくても、遮光膜等による光のけられを生じることなく、この光をセンサまで導くことができるので、感度が高く画素毎の感度のむらも少ない。
【0027】
また、上層のオンチップレンズの焦点と下層のオンチップレンズとの間の距離が下層のオンチップレンズの焦点距離の2倍よりも短ければ、下層のオンチップレンズの径が小さくても、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光のうちで下層のオンチップレンズに入射しない光が少ないので、感度が更に高い。
【0028】
また、下層のオンチップレンズの焦点距離が上層のオンチップレンズの焦点距離よりも短ければ、下層のオンチップレンズの径が小さくても、上層のオンチップレンズで一旦収束された後に発散した光のうちで下層のオンチップレンズに入射しない光が少ないので、感度が更に高い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願の発明の一実施形態の概念的な側断面図である。
【図2】一実施形態の第1の製造方法を工程順に示す側断面図である。
【図3】一実施形態の第2の製造方法を工程順に示す側断面図である。
【図4】一実施形態とは構成が異なる場合の問題点を説明するための側断面図である。
【図5】一実施形態とは構成が異なる別の場合の問題点を説明するための側断面図である。
【図6】本願の発明の一従来例の側断面図である。
【符号の説明】
18、21 オンチップレンズ P 焦点
Claims (3)
- 複数層のオンチップレンズが設けられており、
上層の前記オンチップレンズの焦点がその下層の前記オンチップレンズよりも前記上層側に位置しており、
前記焦点と前記下層のオンチップレンズとの間の距離をLnとし、前記下層のオンチップレンズの焦点距離をflとすると、
fl<Ln
であることを特徴とする固体撮像素子。 - Ln<2fl
であることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記上層のオンチップレンズの焦点距離をfuとすると、
fl<fu
であることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
Priority Applications (1)
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JP02202897A JP3648736B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 固体撮像素子 |
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JPH10209409A JPH10209409A (ja) | 1998-08-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02202897A Expired - Fee Related JP3648736B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 固体撮像素子 |
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1997
- 1997-01-21 JP JP02202897A patent/JP3648736B2/ja not_active Expired - Fee Related
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