JP3625541B2 - Optical recording medium and recording / reproducing method - Google Patents

Optical recording medium and recording / reproducing method Download PDF

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、光記録媒体および記録再生方法に関し、レーザー光の照射により、基板の溝部と溝間の両方に情報の記録、再生、消去を行うための光学的情報記録媒体および記録再生方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報量の増大にともない、高密度でかつ高速に大量のデータの記録・再生ができる記録媒体が求められているが、光ディスクはまさにこうした用途に応えるものとして期待されている。
こうした記録媒体への高容量化、高密度化への要求は、膨大な画像情報や音声信号を扱う上で記録媒体と記録装置に課せられた時代の必然であり、デジタル変調技術及びデータ圧縮技術の進歩と歩調をあわせてその進歩はまさに日進月歩である。
【0003】
高密度化の具体的な手段として光ディスクにおいては、光源の短波長化やレンズの高NA(Numerical Aperture)化による照射光の収束ビーム径の縮小、記録マーク長の短小化、回転数一定のもとで外周に行くほど記録周波数を上げて内外周での記録密度を一定とするMCAV(Modified Constant Angular Velocity)、マーク始端と後端に情報をのせるマークエッジ記録などが開発、利用されており、今後に向けてさらなる高密度化の手法が模索されているのが現状である。
【0004】
記録が可能な光ディスクでは、あらかじめ案内溝がディスク上に刻まれ、いわゆるトラックが形成されている。
通常、案内溝相互間もしくは案内溝内にレーザー光が集光されることによって、情報信号の記録、再生又は消去が行われる。
現在市販されている一般的な光ディスクにおいては、通常案内溝相互間もしくは案内溝内のどちらか一方にのみ情報信号が記録され、他方は隣接トラックを分離して信号の漏れ込みを防ぐための境界の役割を果たしているに過ぎない。
【0005】
この境界部分、例えば案内溝相互間に記録する場合においては案内溝内、また、案内溝内に記録する場合においては案内溝相互間、にも同様に情報の記録が可能となれば記録密度は2倍となり記録容量の大幅な向上が期待できる。
以下、案内溝をグルーブ、案内溝相互間をランド、ランド部とグルーブ部の両方に情報を記録する方法をL&G記録と記述することにする。
【0006】
L&G記録の提案としては特公昭63−57859号などがあるが、このような技術を用いる場合には、クロストークの低減に格段の注意を払う必要がある。
すなわち、前述の特公昭63−57859号記載のL&G記録では、あるトラックの記録マーク列とそれと隣合うトラックの記録マーク列同士の間隔が収束ビーム径の半分になるため、再生したい記録マーク列の隣の記録マーク列まで収束ビーム径が重なる。
【0007】
このため、再生時のクロストークが大きくなり、再生S/Nが劣化するという問題がある。
このクロストークを低減させるため、例えば、SPIE Vol.1316 Optical Data Storage(1990)pp.35にあるように、光ディスク再生装置に特別の光学系とクロストークキャンセル回路を設けてクロストークを低減しようとする手法がある。
【0008】
しかしながらこの方法では、装置の光学系及び信号処理系がさらに複雑なものになってしまうデメリットがある。
再生クロストーク低減のための特別な光学系や信号処理回路を特に設けることをせずに、クロストークを低減する方法として、グルーブ(案内溝)とランド(案内溝相互間)の幅を等しくし、グルーブ深さを再生光波長に対応したある範囲内とすることが効果的であるとの提案がある。(Jpn.J.Appl.Phys.Vol32 (1993)pp.5324−5328)。
【0009】
これによれば、ランド幅=グルーブ幅でかつグルーブ深さがλ/7n〜λ/5n(λ:再生光波長、n:基板の屈折率)のときにクロストークが低減されることが、計算及び実験事実として示されている。
このことは特開平5−282705号にも記されている。
この論文に記載されているCN比(キャリア/ノイズ比)、クロストークのグルーブ深さ依存性によれば、溝深さを最適値とすることでクロストークの低減効果がみられるが、ランド部とグルーブ部でのCN比がアンバランスとなってしまっている。
【0010】
L&G記録を行なう場合、ランド部のキャリアレベルとグルーブ部のキャリアレベルに違いが生じ、その結果、一方のCN比が著しく低下することは、ディスクの信号品質において望ましいことではない。
一方、高密度のために、トラックピッチをつめる場合、通常は、クロストークの量が所定のレベル以下となるように、トラックピッチ及び溝形状等を選べば良いのであるが、相変化媒体においては、もう一つ考慮しなければならない問題がある。
【0011】
それは、あるトラックに繰り返しオーバーライトしたときに、隣接トラックの非晶質ビットが消える(再結晶化する)という問題がある。
その理由は必ずしも明らかではないが、隣接トラックの記録時の集束光ビームの強度分布の裾野の部分の弱いレーザー光によって隣接トラックが昇温され、非晶質ビット部の温度が結晶化温度以上に加熱されるためであると考えられる。
【0012】
その時間は、1回につき、数百ナノ秒の間ではあるが、繰り返し加熱されるうちに、徐々にではあるが再結晶化されてしまう。
例えば、繰り返しオーバーライト1万回で、隣接トラックのC/N比(キャリアー対ノイズ比)が初期55dBあったものが、50dB未満にまで低下するということがある。
【0013】
この問題を以後クロスイレーズと称するが、相変化媒体においては、光学的な回折限界よりも、クロスイレーズによる最小トラックピッチに留意しなければならないが、その限界については必ずしも明らかではなかった。
さらに、我々が鋭意検討を進めた結果、グルーブとランドの幅を1:1に保ったままグルーブ幅を狭くして狭トラックピッチ化による高密度化を進めると、繰り返しオーバーライト後の前マークの消え残りや記録マークのジッタの悪化の点でランド部での特性悪化が著しいことが判明した。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる課題を解決するもので、特に波長700nm以下のレーザー光を光源として用いるようなL&G記録型光ディスクにおいて、ランド部とグルーブ部の記録マークのキャリアレベルのアンバランスを解消し、ランド部及びグルーブ部のいずれに記録しても、同等な高い信号品質の得られる高密度光ディスクを提供することを目的としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明は、グルーブ深さの規定と、未記録領域と記録マークからの反射光の位相差について検討を重ねた結果なされたもので、その要旨は、溝が形成された透明基板上に、誘電体層、相変化型記録層、誘電体層、金属反射層を順次積層した構成からなり、前記溝上とランド上の両方を記録領域として用い、700nm以下の波長のレーザー光を照射することによって情報の記録、消去、再生を行なう光記録媒体であって、
(1)溝幅が0.3μm以上0.8μm以下、ランド幅が0.3μm以上0.8μm以下で、溝幅とランド幅がほぼ等しく、かつ溝深さdが以下に示す不等式を満たし、
【0016】
【数7】
λ/7n<d<λ/5n
(λ:照射光の波長、n:基板の屈折率、d:溝の深さ)
【0017】
(2)下記で定義される未記録領域からの反射光と記録領域からの反射光のうち、反射率の大きい方をRhigh(%)、低い方をRlow (%)とし、未記録領域と記録領域からの反射光の位相差を2παとすると、以下に示す式を満たし、
【0018】
【数8】
10≦Rhigh≦40
【0019】
【数9】
low /Rhigh≦0.15
mπ≠2πα (mは整数)
ただし、
2πα=(未記録領域からの反射光の位相)−(記録領域からの反射光の位相)
【0020】
(3)ランド幅LWが次式を満たし、
【0021】
【数10】
0.62λ/NA≦LW≦0.8λ/NA
λは照射光波長、NAは集束レンズの開口数
【0022】
(4)溝幅GW及びランド幅LWが次式を満たす
【0023】
【数11】
(LW+GW)/2>0.6λ/NA
【0024】
ことを特徴とする光記録媒体である。
上記に示した構成により本発明の光ディスクでは、ランド部とグルーブ部のいずれに記録しても記録マークの信号品質(キャリアレベル)は同等となる。
さらに本発明は記録トラックのピッチが、0.6λ/NA(λ:光ビーム波長、NA:集束レンズの開口数)より大であることを特徴とする光学的情報記録用媒体に関する。
【0025】
また、ランド部におけるくり返しオーバーライトに対する耐久性を保証するため、ランド幅(従って、グルーブ幅もほぼ等しい)を、0.62λ/NA以上、0.8λ/NA以下とすることを特徴とする光学的情報記録用媒体に関する。
これらは、波長700nm以下のレーザー光を光源として用いるようなL&G記録方式の光ディスクの信頼性を保証する点において不可欠な規定である。
本発明がランド&グルーブ記録用光記録媒体の再生過程に如何に作用して効果をもたらすかについて、その有効となる根拠を簡単なモデルを用いて以下に詳細に説明する。
【0026】
図1〜図4にL&G用光ディスクのランド上またはグルーブ上に再生光ビームが照射されている場合を模式図として示した。
図を見やすくするために記録層2以外の層は省略した。
再生光ビームは対物レンズなどを用いて集光され、基板1側からディスクに照射されているとし、以下、収束ビームと呼ぶ。
図1と図3は未記録領域に収束ビーム5が存在する場合を示し、図2と図4は記録マーク8上に収束ビーム6が存在する場合を示している。
【0027】
仮定では計算を簡単にするために、記録マーク8が収束ビーム5より十分長いと仮定する。
後に実施例で示すように、実際には記録マークが収束ビーム径よりも短くても何ら問題はない。
ここでは、未記録時の記録層の状態を結晶状態、記録時の記録層の状態をアモルファス状態と定義する。
【0028】
収束ビームの強度は実際のモデルに即してガウス分布とし、ビーム径を中心強度の1/eと定義する。
ランド3の幅(ランド幅)とグルーブ4の幅(グルーブ幅)は等しく、かつ、ビーム径の半分の長さであると仮定し、ランド3とグルーブ4の間の段差をdとする。
収束ビームは基板側から照射されるので、紙面の向こう側から入射して反射する。
【0029】
したがって、光源側から見るとランド部3が凹となり、反対にグルーブ部4が凸となっている。
グルーブ面を位相の基準にとるとランド部からの反射光はグルーブ部からの反射光よりも2π・2nd/λだけ位相が遅れる。
ただし、nは基板の屈折率、dは溝(グルーブ)の深さ、λは収束ビームの波長である。
【0030】
位相の変化はグルーブ深さのみに起因するものではなく、記録層の相変化前後における光学定数の変化によっても一般に位相差が変化する。
ここでは、アモルファス領域からの反射光が結晶領域からの反射光よりも2παだけ位相が遅れると仮定する。
以下、グルーブ面を位相の基準にとって収束ビームの振幅反射率を必要に応じてαを用いながら定式化することにする。
図1のようにアモルファス記録マークのないランド部3に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φは次式で表すことができる。
【0031】
【数12】
φ=Rc1・exp[−2πi・2nd/λ]+Rc2・exp[−2πi・0] (a)
【0032】
ただし、Rc1は収束ビームが照射されたランド部の領域6からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたグルーブ部の領域7からの反射光量、nは基板の屈折率、dはグルーブの深さ、λは照射光の波長、iは虚数単位を示している。
図2のようにアモルファス記録マークのあるランド部に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φは次式で表すことができる。
【0033】
【数13】
φ=Ra1・exp[−2πi(2nd/λ+α)]+Rc2・exp[−2πi・0] (b)
【0034】
ただし、Ra1は収束ビームが照射されたランド部の領域6からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたグルーブ部の領域7からの反射光量を示している。
図3のようにアモルファス記録マークのないグルーブ部に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φは次式で表すことができる。
【0035】
【数14】
φ=Rc1・exp[−2πi・0]+Rc2・exp[−2πi(2nd/λ)] (c)
【0036】
ただし、Rc1は収束ビームが照射されたグルーブ部の領域7からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたランド部の領域6からの反射光量を示している。
図4のようにアモルファス記録マークのあるグルーブ部に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φは次式で表すことができる。
【0037】
【数15】
φ=Ra1・exp[−2πiα]+Rc2・exp[−2πi(2nd/λ)] (d)
【0038】
ただし、Ra1は収束ビームが照射されたグルーブ部の領域7からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたランド部の領域6からの反射光量を示している。
ここで、ランド幅=グルーブ幅で、その幅は収束ビーム径の半分と仮定しているので、0<β<1とおくと、
【0039】
【数16】
c2=βRc1 (e)
【0040】
【数17】
a2 =βRa1 (f)
【0041】
とかける。
c1 +Rc2、R=Ra1 a2 とおいて式()と式(f)を整理すると、
【0042】
【数18】
c1=R/(1+β) (g)
【0043】
【数19】
c2=βR/(1+β) (h)
【0044】
【数20】
a1=R/(1+β) (i)
【0045】
【数21】
a2=βR/(1+β) (j)
【0046】
となる。
式(g)〜式(j)を式(a)〜式(d)に代入して整理すると、
【0047】
【数22】
φ =[R/(1+β)][β+exp[−4πind/λ]] (k)
【0048】
【数23】
φ=[1/(1+β)]・
[βR+R・exp[−4πind/λ−2πiα]] (l)
【0049】
【数24】
φ=[R/(1+β)][1+β・exp[−4πind/λ]] (m)
【0050】
【数25】
φ=[1/(1+β)][R・exp−2πiα]+βR・exp[−4πind/λ]] (n)
【0051】
ここで、ランド部に記録した場合、再生キャリアレベルCL′(L)は
【0052】
【数26】
CL′(L)=|φ−|φ (o)
【0053】
に比例する。
また、同様にしてグルーブ部に記録した場合、再生キャリアレベルは
【0054】
【数27】
CL′(G)=|φ−|φ (p)
【0055】
に比例する。
ランド部とグルーブ部のキャリアレベルの差が生じないということは、式(o)と式(p)との差が0になるということに他ならない。
式(k)〜式(n)を式(o)と式(p)に代入して差を計算し、その差が0になる必要条件を求めると、2πα=mπ(ただしmは整数)となる。
【0056】
この結果は、相転移間の位相差がπの整数倍(0を含む)の場合において、ランド幅グルーブ幅のときに、ランド部とグルーブ部の再生信号振幅が等しくなることを示している。
これに反して、我々は相転移間の位相差のある層構成のディスクを意図的に作製し、鋭意検討を進めてきた。
【0057】
その結果、相転移間位相差がいかなる任意の値をとっても、ランド部とグルーブ部の信号振幅に差が生じない新たな条件を見い出すに至った。
この条件とは、記録層が結晶状態のときのディスクの鏡面部の反射率Rとアモルファス状態のときのディスクの鏡面部反射率Rの比率がある範囲内に限定するというものである。
【0058】
そもそも、ランド幅=グルーブ幅の場合、ランドとグルーブで再生信号振幅が異なるのは溝形状に依存する位相差と相転移間位相差が関係しているが、ランドとグルーブの反射光量の違い(すなわち再生信号振幅の差)は、相転移間の反射率の比率によって干渉効果の程度が異なることにも大きく依存している。
すなわち、 とRのうち反射率の大きい方をRhigh、反射率の小さい方をRlow とすると、Rlow がRhighに比べて十分小さければ、いかに位相差が生じようとも実質的には干渉によるランドとグルーブの反射光量の差異は十分小さい。
【0059】
このことを実際に調べる目的で、我々は相転移間位相差とRhigh、Rlow の異なるディスクを大量に作製し、ランドとグルーブの再生信号振幅の差に与える影響を調べた。その結果、本発明の請求項1で示したように、Rhighの範囲を10%から40%の範囲に限定したディスクにおいて、 low /R high が0.15以下とすることにより、相転移間位相差が任意の値でも、L&G記録におけるランド記録の信号品質とグルーブ記録の信号品質を同等にすることが可能であることを見い出した。
【0060】
このために必要な low /R high の範囲の特定は、各層の光学定数と膜厚を適切に選択することで実現することができる。
基板の溝深さについては、Jpn.J.Appl.Phys.Vol32 (1993)pp.5324−5328に記載されているように、グルーブ深さがλ/7n〜λ/5n(λ:再生光波長、n:基板の屈折率)のときに隣接トラックからのクロストークが低減されるため、この範囲にあることが望ましい。
【0061】
ここで、溝幅、溝深さの測定方法について述べる。測定は、レーザー光(波長630nm)を基板の溝の付いていない側から照射し、透過光について基板の溝により回折した0次光強度I、1次光強度I、2次光強度Iおよび回折光の角度を測定することにより行う。Pを溝ピッチ、wを溝幅、dを溝深さ、λをレーザー波長、θを0次光と1次光の間の角度とした場合、溝が矩形の時には、
【0062】
【数28】
/I=cos(πε)
【0063】
【数29】
/I ={2sin(πε)(1−cosδ)}/[π{1−2ε(1−ε)(1−cosδ)}]
【0064】
【数30】
ε=w/P,δ=2 (n−1)πd/λ (nは基板の屈折率)
【0065】
【数31】
P=λ/sinθ
【0066】
の関係が成り立つため溝幅、溝深さが計算される。実際の溝形状は完全な矩形ではないが、本発明における溝形状は上記の測定法により溝の幅及び溝深さを一義的に決定した値を用いている。
従って、本発明における溝形状は矩形からずれた場合であっても適用される。ランド又はグルーブのいずれのトラックに記録しても高い信号品質を保証する。
【0067】
請求項1に記載の金属反射層の上に膜の保護のために樹脂層を塗布又はスピンコートして作成することが望ましい。
本発明で誘電体層に用いる誘電体としては、種々の組合せが可能であり、屈折率、熱伝導率、化学的安定性、機械的強度、密着性等に留意して決定される。
一般的には透明性が高く高融点であるMg、Ca、Sr、Y、La、Ce、Ho、Er、Yb、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Zn、Al、Si、Ge、Pb等の酸化物、硫化物、窒化物やCa、Mg、Li等のフッ化物を用いることができる。
【0068】
このうちで、ZnSとSiOまたはYの少なくとも一方の混合膜を用いる場合、望ましくはSiOまたはYの含量が5〜40mol%であると、記録したディスクの保存安定性に優れる。
ディスクは片面のみを利用した単板仕様として使用できるほか、2枚のディスクを基板と反対側の面を向い合わせにして貼り合わせることにより容量を倍増することができる。
【0069】
又、貼合せディスクとした場合にディスクの両側に光ピックアップをセッティングした構造のドライブを採用することにより、ディスクの入れ替えを全くせずに、両面同時に記録消去再生が行える。
これはレーザー照射側と反対側に磁石を必要とする光磁気型ディスクでは行うことのできない重要な特徴である。
本発明のディスクを設計するには、相変化前後の反射光の位相差を正確に把握する必要がある。
【0070】
また、願わくば前記A/Aをも正確に把握して、ある範囲内とすることがCN比や記録マークのジッタの点でより望ましい。
位相差の測定についてはレーザー干渉顕微鏡などによって実測することができる。
/Aは多層構造の中の記録層のみの吸収率比であるため、直接測定して知ることができない。
【0071】
しかしながら、相変化前後の反射光の位相差も吸収率比A/Aも各層の光学定数と膜厚を用いて計算によって求めることができる。
計算方法は「分光の基礎と方法」(工藤恵栄著、オーム社、1985)3章に詳しく述べられている。
本実施例及び比較例における位相差、吸収率比の計算値はこの文献に記載された方法に基づいて計算を行った。
【0072】
各層の光学定数はあらかじめ単層膜をスパッタリングなどの方法で作製し、エリプソメーターなどで測定すればよい。
本発明の光ディスクの記録・消去・再生は対物レンズで集光した1ビームのレーザーを使用し、回転する光ディスクの基板側から照射する。
記録及び消去時にはパルス状に変調したレーザービームを回転するディスクに照射し、記録層を結晶状態又はアモルファス状態の2つの可逆的な状態に相変化させ、記録状態又は消去状態(未記録状態)とする。
【0073】
このとき、オーバーライトにより、記録しながら記録前に存在していたマークを同時に消去することもできる。
再生時には記録及び消去時のレーザーパワーよりも低いパワーのレーザー光を回転するディスクに照射する。
このとき、再生直前の記録層の相状態を変化させてはならない。
反射光の強度変化をフォトディテクタで検知して、記録又は未記録状態を判定することにより再生を行なう。
【0074】
さて、前述のようにランドとグルーブにおいてもし良好な初期特性が得られるようになった後、くり返しオーバーライトに対する耐久性、及び前述のクロスイレーズに対する耐久性を一層改善することが望まれる。本発明者らの検討によれば、グルーブ部のくり返しオーバーライトに対する耐久性はグルーブ幅が細くなるほうがむしろ良好でトラックピッチの高密化に矛盾しない。強いて、下限を設けるとすれば、溝(グルーブ)内から記録マークがはみ出さないことで、その条件は、例えば特開平6−338064において、集束ビーム形状と関連づけて規定されている。
【0075】
しかしながら、くり返しオーバーライトに対する耐久性がグルーブ幅あるいはランド幅に影響されることは何もふれられていない本発明者らの検討によれば、ランド上におけるくり返しオーバーライトは、ランド幅とビーム径との相対関係に依存し、ランド幅がビーム径に比して著しく狭くなると、急激に劣化することが判明した。
【0076】
そこで、本発明ではランドの幅を好ましくは0.62×(λ/NA)から0.80×(λ/NA)の範囲とする。
ランドの幅がこの範囲内よりも狭いと、ランド上に記録マークを繰り返しオーバーライトした場合に前マークの消え残りが顕著になり、記録マークのジッタが著しく悪化する。
【0077】
ランドの幅がこの範囲内にある場合には、繰り返しオーバーライトした場合の前マークの消え残りや記録マークのジッタの著しい悪化はなく、グルーブに記録した場合と同等の特性が保たれる。
ランドの幅がこの範囲より大きい場合にはランドの繰り返しオーバーライト特性に何ら問題はなく、良好な特性を得られるが、高密度記録という観点から無意味にランド幅を広げて記録密度を低下させるのは得策でない。
【0078】
さらに、クロスイレーズ現象も、ビームスポット径と、記録トラックピッチとの相対的関係に依存することが判明した。すなわち、クロスイレーズを実用上無視できるレベルにまで低減できる最小トラックピッチが存在し、それは、ビームスポットの径の大小に依存する。
光ビームスポット径はλ/NAに比例するから、許容可能最小ピッチはλ/NAに比例するとみなせる。
【0079】
比例係数は、正確には実験に基づいて決定すれば良い。
実際本発明者らが種々検討を行ったところ、L&G記録の溝ピッチについては1.2 (λ/NA)より大とすれば10回オーバーライト後のC/N比(キャリア対ノイズ比)の低下を3dB未満とでき実用上問題のないレベルとできる。
L&G記録の実質的な記録トラックピッチは溝ピッチ(グルーブピッチ)の半分であるから、最小記録トラックピッチを0.6 (λ/NA)より大とすれば、クロスイレーズによる隣接トラックの信号劣化を防止できることが実験的にも確認された。
【0080】
上記0.6という値は理論的にはレンズ9を通った収束光10のビームスポットのちょうど半分に相当する。
すなわち、収束光ビーム10は図5に示すような形をしており、回折効果により強度分布(図5の11が強度分布を示す図)にサブピークが現れる。
中央スポットの直径は、ほぼ1.2 (λ/NA)で表される。
【0081】
これをエアリーディスク(airy disk)12という。
また、この中の光強度分布は一様ではなく強度が1/e(eは自然対数の底)となる直径は、0.82 (λ/NA)と表される。
トラック1の最小ピッチは、エリアーディスクの半径に対応していることから、クロスイレーズ現象は、第1近似として図5に示すような集束光ビームスポットのエアリーディスクの裾野の部分の、弱いレーザー光によって隣接するトラックが昇温されるためという物理的意味あいも明確になった。
【0082】
クロスイレーズ現象が記録層の熱伝導にほとんど影響されないのは、現在知らされている、GeSbTe、AgInSbTe、InSnTe、InSbTe等III b、IVb、Vb、VIb族元素のいずれかまたは、その混合物(合金)を主成分として40at.%以上を含む記録層においては、熱伝導率は光磁気媒体等にくらべて2〜3桁小さなオーダーであるためである。
そして、記録に要する10〜100ナノ秒オーダーでは実質的に断熱的であるからである。
【0083】
従って、上記0.6λ/NAで決まる最小トラックピッチは実質的にビームスポット径、従って、光ビーム波長及びNAによってのみ決まる。
ただし、繰り返しオーバーライト1万回以上でのクロスイレーズを若干であるが、さらに低減するのは、記録媒体の層構成や記録層物性の制限によっても達成できる。
【0084】
記録層の融点や結晶化温度にも依存するが、上記合金記録層において結晶/非晶質間の可逆的変化が可能であることが現在知られている組成では、融点Tmが700℃未満、結晶化温度Tgが150℃以上であるものが多い。
実際、GeSbTeあるいはGeSb組成近傍では、融点が600〜620℃、結晶化温度が150〜170℃である。
また、Ag0.11In0.11Te0.20Sb0.55では、融点が約550℃、結晶化温度は約230℃である。
Tgが150℃より低いと、非晶質状態の安定性が悪くクロスイレーズされやすい。
【0085】
また、Tmが700℃以上となると記録時に照射すべきエネルギーが高くなり、やはり隣接トラックにクロスイレーズを生じやすい。
層構成については、記録層膜厚が30nmを越えると、記録感度が低下し、また、記録時に隣接トラックへ熱が逃げ出しやすいためクロスイレーズが起きやすい。
以下に実施例を示すが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。
【0086】
実施例1
基板としてポリカーボネート樹脂基板を射出成形により得た。
基板は、溝(グルーブ)ピッチを1.3μm〜1.6μmまでほぼ0.05μmきざみで変えたものを複数枚用意した。
従って、実質的な記録トラックピッチは0.65〜0.8μmとなる。得られた基板に下部保護層として(ZnS)80(SiO20を2100Å、記録層としてGe22Sb23.5Te54.5を200Å、上部保護層として(ZnS)80(SiO20を200Å、反射層としてAl97.5Ta2.5 を1000Åスパッタにより形成した。反射層の上に更に紫外線硬化樹脂を保護コートとして設けた。
【0087】
初期化により、全面結晶化した状態を未記録状態とし、記録マークは非晶質である。未記録状態の反射率Rhighは14.2%、反射率比Rlow /Rhigh=0.09、A/A=0.91、位相差は−0.44πである。
光ヘッドは、波長680nm、NA=0.55のものを用いた。線速度は3m/sとし、Pw=8〜9mW、Pe=4.5mWとした。また記録パワーは、周波数2.24MHz、デューティー25%の単一パターンで変調した。
溝上に記録を行った場合は隣接両溝間に繰り返しオーバーライトを行って、最初に溝に記録された信号のC/N比の低下を測定した。
【0088】
ランド上に記録を行って、隣接する両溝上に繰り返しオーバーライトした場合についても同様の測定を行った。
溝ピッチが1.5μm(記録トラックピッチ0.75μm)より大であれば、1万回オーバーライト後の隣接溝または溝間のC/N比の低下を3dB未満とでき、実用上問題のないレベルであった。
【0089】
(680/0.55)×0.6=741nm=0.741μmであり、最小トラックピッチに関する要件0.6λ/NAより大であるとみなせる。
一方、680nm、NA=0.6のヘッドを用いて同様の実験を行うと、溝ピッチ1.4μm(記録トラックピッチ0.7μm)まで問題なかった。
これは、(680/0.6)×0.6=0.680μmという最小記録トラックピッチ条件を満たしている。
【0090】
一方、ランド上に記録を行い、隣接両溝内に繰り返しオーバーライトして、ランド上の信号のクロスイレーズによる劣化を測定したところ、1〜2dBの違いを除き、全く同様の結果がえられた。
さらに、ランド上に繰り返しオーバーライトし、その溝間上の信号のマーク長ジッタを測定した。この場合、λ=680nm、NA=0.55のヘッドでのみ測定を行った。溝ピッチ1.6μm(ランド幅≒0.8μm)の場合にのみ、10回のオーバーライトに対するジッター増加はほとんどなかった(20%程度の増加のみ)。この場合、ランド幅は、0.62λ/NA≒0.77μmより広く、本発明の要件をみたす。一方、溝ピッチ1.4μm(ランド幅0.7μm)では、ジッターの増加が著しく、10回のオーバーライトで、2倍以上となった。
【0091】
なお、本発明者らの熱拡散方程式を数値計算によって解いた解析結果によれば、この実施例で用いた層構成は、横方向の熱拡散が最も多いものの一つであり、クロスイレーズに関して最も厳しい条件で検討していることになる。従って上記最小トラックピッチに関する規定は、層構成に依存せず成立すると考えてよい。
【0092】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明による光記録媒体および記録再生方法によれば、ランドとグルーブの両方に信号を記録しても溝深さが限定されているために隣接トラックからのクロストークを低減することができる。
また、再生光の波長と同じ波長を有するコヒーレント光に対する未記録領域からの反射光の反射率と記録領域からの反射光の反射率の比率を規定しているために、ランド部の記録マークのキャリアレベルとグルーブ部のキャリアレベルの間の好ましからざる差を解消できる。
【0093】
したがってランド部とグルーブ部のいずれに記録しても同等なレベルの再生信号振幅が得られ、高品質で高信頼性のランドグルーブ記録用ディスクを提供できる。
また、本発明の光記録媒体の記録層がアモルファス状態の場合に記録層に吸収される照射光の光の割合と、前記記録層が結晶状態の場合に記録層に吸収される照射光の光の割合の比率、すなわち、記録層がアモルファス相である場合をA、記録層が結晶状態である場合をAとしたとき、結晶状態とアモルファス状態の吸収率の比 /A
【0094】
【数32】
0.84≦ /A<1.01
【0095】
の範囲に規定することにより、高CN比かつ記録マークのジッタの低い優れた特性を保証でき、優れたディスクを提供できる。
さらに、本発明の光記録媒体を用いることにより、溝上と溝間の両方を記録領域として用い、いずれの領域にも700nm以下の波長のレーザーの1ビームオーバーライトによって記録、消去、再生せしめることを特徴とする記録再生方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例における光ディスクの溝形状と照射レーザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜視図。
【図2】実施例における光ディスクの溝形状と照射レーザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜視図。
【図3】実施例における光ディスクの溝形状と照射レーザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜視図。
【図4】実施例における光ディスクの溝形状と照射レーザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜視図。
【図5】収束光ビームの強度分布についての説明図。
【符号の説明】
1 基板
2 記録層
3 ランド部
4 グルーブ部
5 収束ビーム
6 ランドに照射された収束ビームの領域
7 グルーブに照射された収束ビームの領域
8 記録マーク
9 レンズ
10 収束光
11 強度分布
12 エアリーディスク
[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to an optical recording medium and a recording / reproducing method, and more particularly to an optical information recording medium and a recording / reproducing method for recording, reproducing, and erasing information in and between a groove portion of a substrate by irradiation with a laser beam.
[0002]
[Prior art]
In recent years, as the amount of information increases, a recording medium capable of recording and reproducing a large amount of data at high density and at high speed is demanded. However, an optical disc is expected to meet such a use.
The demand for higher capacity and higher density of such recording media is inevitable in the era when it was imposed on recording media and recording devices to handle enormous amounts of image information and audio signals. Digital modulation technology and data compression technology Together with the progress of, the progress is just a step forward.
[0003]
As a specific means of increasing the density, in an optical disk, the convergent beam diameter of irradiated light is reduced by shortening the wavelength of the light source and increasing the NA (Numerical Aperture) of the lens, shortening the recording mark length, and maintaining a constant rotation speed. Originally, MCAV (Modified Constant Angular Velocity), which increases the recording frequency toward the outer periphery and keeps the recording density at the inner and outer periphery constant, mark edge recording that puts information on the start and rear ends of the mark, has been developed and used. Therefore, the present situation is that a method for further densification is being sought for the future.
[0004]
In a recordable optical disc, a guide groove is cut in advance on the disc to form a so-called track.
Usually, information signals are recorded, reproduced or erased by condensing laser light between guide grooves or in guide grooves.
In general optical disks currently on the market, information signals are usually recorded only between guide grooves or within guide grooves, and the other is a boundary for separating adjacent tracks to prevent signal leakage. It only plays a role.
[0005]
If information can be recorded in the boundary portion, for example, between guide grooves when recording between guide grooves, and between guide grooves when recording within guide grooves, the recording density is The recording capacity is doubled and a significant improvement in recording capacity can be expected.
Hereinafter, a method of recording information on the guide groove as a groove, between the guide grooves as a land, and on both the land portion and the groove portion is described as L & G recording.
[0006]
Japanese Patent Publication No. Sho 63-57859 is proposed as an L & G recording proposal. When such a technique is used, it is necessary to pay special attention to reducing crosstalk.
That is, in the above-mentioned L & G recording described in Japanese Patent Publication No. 63-57859, the interval between the recording mark row of a certain track and the recording mark row of the adjacent track is half of the convergent beam diameter. The convergent beam diameter overlaps to the adjacent recording mark row.
[0007]
For this reason, there is a problem that crosstalk during reproduction increases and reproduction S / N deteriorates.
In order to reduce this crosstalk, for example, SPIE Vol. 1316 Optical Data Storage (1990) pp. 1316. As shown in FIG. 35, there is a technique for reducing crosstalk by providing a special optical system and a crosstalk cancel circuit in the optical disk reproducing apparatus.
[0008]
However, this method has a disadvantage that the optical system and signal processing system of the apparatus become more complicated.
As a method of reducing crosstalk without providing any special optical system or signal processing circuit for reducing reproduction crosstalk, the width of the groove (guide groove) and land (between the guide grooves) are made equal. There is a proposal that it is effective to set the groove depth within a certain range corresponding to the reproduction light wavelength. (Jpn. J. Appl. Phys. Vol 32 (1993) pp. 5324-5328).
[0009]
According to this calculation, it is calculated that crosstalk is reduced when land width = groove width and groove depth is λ / 7n to λ / 5n (λ: reproduction light wavelength, n: refractive index of substrate). And shown as experimental facts.
This is also described in JP-A-5-282705.
According to the CN ratio (carrier / noise ratio) and the groove depth dependency of crosstalk described in this paper, the effect of reducing crosstalk can be seen by setting the groove depth to an optimum value. And the CN ratio in the groove part is unbalanced.
[0010]
When L & G recording is performed, a difference occurs between the carrier level of the land portion and the carrier level of the groove portion, and as a result, the CN ratio of one of them is remarkably lowered.
On the other hand, when packing the track pitch due to high density, it is usually sufficient to select the track pitch, groove shape, etc. so that the amount of crosstalk is below a predetermined level. There is another issue that must be considered.
[0011]
That is, when a track is repeatedly overwritten, the amorphous bit of the adjacent track disappears (recrystallizes).
The reason for this is not necessarily clear, but the adjacent track is heated by the weak laser beam at the bottom of the intensity distribution of the focused light beam at the time of recording the adjacent track, and the temperature of the amorphous bit part exceeds the crystallization temperature. This is thought to be due to heating.
[0012]
Although the time is several hundred nanoseconds at a time, it is gradually recrystallized while being repeatedly heated.
For example, when the overwrite is 10,000 times, the C / N ratio (carrier-to-noise ratio) of the adjacent track that initially was 55 dB may be reduced to less than 50 dB.
[0013]
This problem is hereinafter referred to as cross erase. In the phase change medium, attention must be paid to the minimum track pitch due to cross erase rather than the optical diffraction limit, but the limit is not necessarily clear.
Furthermore, as a result of our diligent investigations, when the groove width was narrowed and the density was increased by narrowing the track pitch while keeping the groove and land width at 1: 1, the previous mark after repeated overwriting was improved. It was found that the characteristic deterioration in the land portion was remarkable in terms of unerased residue and deterioration of jitter of the recording mark.
[0014]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention solves such a problem. In particular, in an L & G recording type optical disc using a laser beam having a wavelength of 700 nm or less as a light source, the carrier level imbalance between the land portion and the groove portion is eliminated. It is an object of the present invention to provide a high-density optical disk that can obtain the same high signal quality regardless of whether it is recorded in the groove portion.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
The present invention was made as a result of repeated studies on the definition of the groove depth and the phase difference between the reflected light from the unrecorded area and the recorded mark. The gist of the present invention is that the dielectric is formed on the transparent substrate on which the groove is formed. A body layer, a phase change recording layer, a dielectric layer, and a metal reflective layer are sequentially laminated. Information is obtained by irradiating a laser beam having a wavelength of 700 nm or less using both the groove and the land as a recording region. An optical recording medium for recording, erasing and reproducing
(1) The groove width is 0.3 μm or more and 0.8 μm or less, the land width is 0.3 μm or more and 0.8 μm or less,The groove width and land width are almost equal,And the groove depth d satisfies the following inequality,
[0016]
[Expression 7]
λ / 7n <d <λ / 5n
(Λ: wavelength of irradiated light, n: refractive index of substrate, d: depth of groove)
[0017]
(2) Of the reflected light from the unrecorded area and the reflected light from the recorded area defined below, the one with the higher reflectivity is Rhigh(%), The lower one is Rlow(%) And the phase difference between the reflected light from the unrecorded area and the recorded area.2παThen, the following equation is satisfied,
[0018]
[Equation 8]
10 ≦ Rhigh≦ 40
[0019]
[Equation 9]
Rlow/ Rhigh≦ 0.15
mπ ≠ 2πα    (M is an integer)
However,
2πα= (Phase of reflected light from unrecorded area)-(Phase of reflected light from recorded area)
[0020]
(3) The land width LW satisfies the following equation:
[0021]
[Expression 10]
0.62λ / NA ≦ LW ≦ 0.8λ / NA
λ is the irradiation light wavelength, NA is the numerical aperture of the focusing lens
[0022]
(4) The groove width GW and the land width LW satisfy the following formula:
[0023]
## EQU11 ##
(LW + GW) / 2> 0.6λ / NA
[0024]
This is an optical recording medium.
With the configuration described above, in the optical disc of the present invention, the signal quality (carrier level) of the recording mark is the same regardless of whether recording is performed on either the land portion or the groove portion.
Furthermore, the present invention relates to an optical information recording medium, wherein the recording track pitch is larger than 0.6λ / NA (λ: light beam wavelength, NA: numerical aperture of focusing lens).
[0025]
Further, in order to guarantee durability against repeated overwriting in the land portion, the land width (and therefore the groove width is substantially equal) is set to 0.62λ / NA or more and 0.8λ / NA or less. The present invention relates to an information recording medium.
These are indispensable provisions in terms of guaranteeing the reliability of an L & G recording type optical disk using a laser beam having a wavelength of 700 nm or less as a light source.
How the present invention works in the reproduction process of the optical recording medium for land and groove recording and brings about an effect will be described in detail below using a simple model.
[0026]
1 to 4 schematically show a case where a reproduction light beam is irradiated on a land or a groove of an L & G optical disk.
In order to make the figure easy to see, layers other than the recording layer 2 are omitted.
The reproduction light beam is condensed using an objective lens or the like and is applied to the disk from the substrate 1 side, and is hereinafter referred to as a convergent beam.
1 and 3 show the case where the convergent beam 5 exists in the unrecorded area, and FIGS. 2 and 4 show the case where the convergent beam 6 exists on the recording mark 8.
[0027]
It is assumed that the recording mark 8 is sufficiently longer than the convergent beam 5 in order to simplify the calculation.
As will be shown later in the embodiment, there is no problem even if the recording mark is actually shorter than the convergent beam diameter.
Here, the state of the recording layer when not recorded is defined as a crystalline state, and the state of the recording layer during recording is defined as an amorphous state.
[0028]
The intensity of the convergent beam is Gaussian according to the actual model, and the beam diameter is 1 / e of the center intensity.2It is defined as
Assume that the width of the land 3 (land width) is equal to the width of the groove 4 (groove width) and is half the beam diameter, and the step between the land 3 and the groove 4 is d.
Since the convergent beam is irradiated from the substrate side, it is incident and reflected from the other side of the paper.
[0029]
Therefore, when viewed from the light source side, the land portion 3 is concave and the groove portion 4 is convex.
When the groove surface is used as a phase reference, the phase of the reflected light from the land portion is delayed by 2π · 2nd / λ from the reflected light from the groove portion.
Where n is the refractive index of the substrate, d is the depth of the groove, and λ is the wavelength of the convergent beam.
[0030]
The phase change is not caused only by the groove depth, but the phase difference generally changes also by the change of the optical constant before and after the phase change of the recording layer.
Here, the reflected light from the amorphous region is more than the reflected light from the crystalline region.2παAssume that the phase is only delayed.
Below, the amplitude reflectivity of the convergent beam is set as required with the groove surface as the phase reference.ΑWe will formulate while using.
As shown in FIG. 1, the amplitude reflectivity φ when the convergent beam 5 is in the land 3 without the amorphous recording mark1Can be expressed as:
[0031]
[Expression 12]
φ1= Rc1Exp [-2πi · 2nd / λ] + Rc2Exp [-2πi · 0] (a)
[0032]
However, Rc1Is the amount of light reflected from the area 6 of the land portion irradiated with the convergent beam, Rc2Is the amount of light reflected from the region 7 of the groove portion irradiated with the convergent beam, n is the refractive index of the substrate, d is the depth of the groove, λ is the wavelength of the irradiated light, and i is the imaginary unit.
As shown in FIG. 2, the amplitude reflectance φ when the convergent beam 5 is in the land portion where the amorphous recording mark is present.2Can be expressed as:
[0033]
[Formula 13]
φ2= Ra1Exp [-2πi (2nd / λ + α)] + Rc2Exp [-2πi · 0] (b)
[0034]
However, Ra1Is the amount of light reflected from the area 6 of the land portion irradiated with the convergent beam, Rc2Indicates the amount of light reflected from the region 7 of the groove portion irradiated with the convergent beam.
No amorphous recording mark as shown in Fig. 3Groove partAmplitude reflectivity φ when there is a convergent beam 53Can be expressed as:
[0035]
[Expression 14]
φ3= Rc1Exp [-2πi · 0] + Rc2Exp [-2πi (2nd / λ)] (c)
[0036]
However, Rc1Is the amount of reflected light from the region 7 of the groove part irradiated with the convergent beam, Rc2Indicates the amount of reflected light from the area 6 of the land portion irradiated with the convergent beam.
As shown in FIG. 4, the amplitude reflectance φ when the convergent beam 5 is in the groove portion where the amorphous recording mark is present.4Can be expressed as:
[0037]
[Expression 15]
φ4= Ra1Exp [-2πiα] + Rc2Exp [-2πi (2nd / λ)] (d)
[0038]
However, Ra1Is the amount of reflected light from the region 7 of the groove part irradiated with the convergent beam, Rc2Indicates the amount of reflected light from the area 6 of the land portion irradiated with the convergent beam.
Here, it is assumed that land width = groove width, and the width is half of the convergent beam diameter, so if 0 <β <1,
[0039]
[Expression 16]
Rc2= ΒRc1                        (E)
[0040]
[Expression 17]
R a2 = ΒRa1                        (F)
[0041]
Call it.
Rc=R c1 + Rc2, Ra= Ra1+R a2 The formula (e) And formula (f)
[0042]
[Expression 18]
Rc1= Rc/ (1 + β) (g)
[0043]
[Equation 19]
Rc2= ΒRc/ (1 + β) (h)
[0044]
[Expression 20]
Ra1= Ra/ (1 + β) (i)
[0045]
[Expression 21]
Ra2= ΒRa/ (1 + β) (j)
[0046]
It becomes.
Substituting the formulas (g) to (j) into the formulas (a) to (d) and rearranging them,
[0047]
[Expression 22]
φ 1 = [Rc/ (1 + β)] [β + exp [−4πind / λ]] (k)
[0048]
[Expression 23]
φ2= [1 / (1 + β)]
[ΒRc+ RaExp [-4πind / λ-2πiα]] (l)
[0049]
[Expression 24]
φ3= [Rc/ (1 + β)] [1 + β · exp [−4πind / λ]] (m)
[0050]
[Expression 25]
φ4= [1 / (1 + β)] [Ra・ Exp[-2πiα] + βRcExp [-4πind / λ]] (n)
[0051]
Here, when recorded on the land portion, the reproduction carrier level CL ′ (L) is
[0052]
[Equation 26]
CL ′ (L) = | φ12− | Φ22                        (O)
[0053]
Is proportional to
Similarly, when recorded in the groove part, the playback carrier level is
[0054]
[Expression 27]
CL ′ (G) = | φ32− | Φ42                        (P)
[0055]
Is proportional to
The fact that there is no difference in the carrier level between the land part and the groove part means that the difference between the expression (o) and the expression (p) becomes zero.
Formula (k)-Formula (n)Formula (o) and Formula (p)Substituting into, calculating the difference, and finding the necessary condition for the difference to be zero,2πα= Mπ (where m is an integer).
[0056]
This result is obtained when the phase difference between phase transitions is an integral multiple of π (including 0).=In the case of the groove width, the reproduction signal amplitudes of the land portion and the groove portion are equal.
On the other hand, we have intentionally made a layered disk with a phase difference between phase transitions, and have made extensive studies.
[0057]
As a result, a new condition has been found in which no difference occurs in the signal amplitude between the land portion and the groove portion regardless of any arbitrary value of the phase difference between the phase transitions.
This condition is the reflectivity R of the mirror surface of the disk when the recording layer is in a crystalline state.cAnd mirror surface reflectivity R in the amorphous stateaThe ratio is limited to a certain range.
[0058]
In the first place, when the land width is equal to the groove width, the difference in the reproduction signal amplitude between the land and the groove is related to the phase difference depending on the groove shape and the phase difference between the phase transitions. That is, the difference in the reproduction signal amplitude) is also largely dependent on the degree of interference effect depending on the reflectance ratio between the phase transitions.
That is,R c And RaR with higher reflectivityhigh, R with the smaller reflectancelowThen RlowIs RhighIf the phase difference is sufficiently small, the difference in the reflected light amount between the land and the groove due to the interference is substantially small no matter how the phase difference occurs.
[0059]
For the purpose of actually investigating this, we will compare the phase difference between the phase transitions and Rhigh, RlowA large number of discs with different sizes were manufactured, and the influence on the difference in the reproduction signal amplitude between the land and the groove was investigated. As a result, as indicated in claim 1 of the present invention, RhighIn a disc whose range is limited to a range of 10% to 40%,R low / R high It has been found that the land recording signal quality and the groove recording signal quality in L & G recording can be made equal even if the phase difference between phase transitions is 0.15 or less.
[0060]
Necessary for thisR low / R high The range can be specified by appropriately selecting the optical constant and film thickness of each layer.
For the groove depth of the substrate, see Jpn. J. et al. Appl. Phys. Vol 32 (1993) pp. As described in 5324-5328, crosstalk from adjacent tracks is reduced when the groove depth is λ / 7n to λ / 5n (λ: reproduction light wavelength, n: refractive index of the substrate). In this range, it is desirable.
[0061]
Here, a method for measuring the groove width and the groove depth will be described. Measurement, Les-0th-order light intensity I irradiating the laser beam (wavelength 630 nm) from the side of the substrate not having grooves and diffracting the transmitted light by the substrate grooves0Primary light intensity I1Secondary light intensity I2And by measuring the angle of the diffracted light. When P is the groove pitch, w is the groove width, d is the groove depth, λ is the laser wavelength, θ is the angle between the 0th order light and the 1st order light,
[0062]
[Expression 28]
I2/ I1= Cos2(Πε)
[0063]
[Expression 29]
I 1 / I 0 = {2sin2(Πε) (1-cosδ)} / [π2{1-2ε (1-ε) (1-cosδ)}]
[0064]
[30]
ε = w / P, δ = 2 (n−1) πd / λ (n is the refractive index of the substrate)
[0065]
[31]
P = λ / sinθ
[0066]
Therefore, the groove width and the groove depth are calculated. The actual groove shape is not a perfect rectangle, but the groove shape in the present invention uses values in which the groove width and groove depth are uniquely determined by the measurement method described above.
Therefore, the groove shape in the present invention is applied even when it is deviated from a rectangle. High signal quality is assured regardless of whether it is recorded on a land or groove track.
[0067]
It is desirable that a resin layer is applied or spin-coated on the metal reflective layer according to claim 1 to protect the film.
Various combinations are possible for the dielectrics used for the dielectric layer in the present invention, and are determined in consideration of the refractive index, thermal conductivity, chemical stability, mechanical strength, adhesion, and the like.
Generally, Mg, Ca, Sr, Y, La, Ce, Ho, Er, Yb, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Zn, Al, Si, Ge, which have high transparency and high melting point, Oxides such as Pb, sulfides, nitrides, and fluorides such as Ca, Mg, and Li can be used.
[0068]
Of these, ZnS and SiO2Or Y2O3When using a mixed film of at least one of2Or Y2O3When the content is 5 to 40 mol%, the storage stability of the recorded disc is excellent.
The disc can be used as a single plate specification using only one side, and the capacity can be doubled by bonding two discs with the opposite side facing the substrate.
[0069]
In addition, when a laminated disk is used, by adopting a drive having a structure in which optical pickups are set on both sides of the disk, recording, erasure and reproduction can be performed simultaneously on both sides without replacing the disk at all.
This is an important feature that cannot be performed with a magneto-optical disk that requires a magnet on the side opposite to the laser irradiation side.
In order to design the disc of the present invention, it is necessary to accurately grasp the phase difference of the reflected light before and after the phase change.
[0070]
In addition, hopefully said Ac/ AaIt is more desirable to accurately grasp the above and to make it within a certain range in terms of CN ratio and recording mark jitter.
The phase difference can be measured with a laser interference microscope or the like.
Ac/ AaIs an absorptance ratio of only the recording layer in the multilayer structure and cannot be directly measured.
[0071]
However, the phase difference of the reflected light before and after the phase change is also the absorptance ratio A.c/ AaCan also be obtained by calculation using the optical constants and film thickness of each layer.
The calculation method is described in detail in Chapter 3 of “Spectros Fundamentals and Methods” (Keiei Kudo, Ohmsha, 1985).
The calculated values of the phase difference and the absorptance ratio in this example and the comparative example were calculated based on the method described in this document.
[0072]
The optical constant of each layer may be measured in advance by preparing a single layer film by a method such as sputtering and using an ellipsometer.
For recording / erasing / reproducing of the optical disk of the present invention, a one-beam laser beam condensed by an objective lens is used and irradiated from the substrate side of the rotating optical disk.
During recording and erasing, a rotating disk is irradiated with a pulsed laser beam to change the phase of the recording layer into two reversible states, a crystalline state or an amorphous state, and a recorded state or erased state (unrecorded state). To do.
[0073]
At this time, it is also possible to simultaneously erase marks existing before recording while recording by overwriting.
During reproduction, the rotating disk is irradiated with a laser beam having a power lower than that for recording and erasing.
At this time, the phase state of the recording layer immediately before reproduction must not be changed.
Reproduction is performed by detecting a change in the intensity of the reflected light with a photodetector and determining a recorded or unrecorded state.
[0074]
Now, as described above, it is desired to further improve the durability against repeated overwrite and the above-described cross erase after the good initial characteristics can be obtained in the land and the groove. According to the study by the present inventors, the durability of the groove portion against repeated overwriting is better when the groove width is narrower, and is consistent with the increase in the track pitch density. If the lower limit is provided, the recording mark does not protrude from the inside of the groove, and the condition is defined in association with the focused beam shape in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-338064.
[0075]
However, there is no mention that the durability against repeated overwrite is affected by the groove width or land width..According to the study by the present inventors, the repeated overwrite on the land depends on the relative relationship between the land width and the beam diameter, and can deteriorate rapidly when the land width becomes significantly narrower than the beam diameter. found.
[0076]
Therefore, in the present invention, the land width is preferably in the range of 0.62 × (λ / NA) to 0.80 × (λ / NA).
When the land width is narrower than this range, when the recording mark is repeatedly overwritten on the land, the remaining mark disappears remarkably, and the jitter of the recording mark is remarkably deteriorated.
[0077]
If the land width is within this range, there is no disappearance of the previous mark or remarkably deteriorated jitter of the recording mark when overwriting is repeated, and characteristics equivalent to those recorded in the groove are maintained.
If the land width is larger than this range, there is no problem with the repeated overwriting characteristics of the land, and good characteristics can be obtained, but from the viewpoint of high-density recording, the land width is meaninglessly expanded to lower the recording density. Is not a good idea.
[0078]
Further, it has been found that the cross erase phenomenon also depends on the relative relationship between the beam spot diameter and the recording track pitch. That is, there is a minimum track pitch that can reduce the cross erase to a level that can be ignored in practice, and it depends on the size of the beam spot.
Since the light beam spot diameter is proportional to λ / NA, the allowable minimum pitch can be regarded as proportional to λ / NA.
[0079]
The proportionality coefficient may be determined based on experiments.
In fact, the present inventors have made various studies, and as a result, the groove pitch for L & G recording is 10 (if greater than 1.2 (λ / NA)).4The C / N ratio (carrier-to-noise ratio) can be reduced to less than 3 dB after overwriting, and the level can be practically not problematic.
Since the actual recording track pitch of L & G recording is half of the groove pitch (groove pitch), if the minimum recording track pitch is made larger than 0.6 (λ / NA), the signal deterioration of the adjacent track due to cross erase will be caused. It was confirmed experimentally that this can be prevented.
[0080]
The value of 0.6 theoretically corresponds to exactly half the beam spot of the convergent light 10 that has passed through the lens 9.
That is, the convergent light beam 10 has a shape as shown in FIG. 5, and a sub-peak appears in the intensity distribution (the figure 11 in FIG. 5 shows the intensity distribution) due to the diffraction effect.
The diameter of the central spot is approximately 1.2 (λ / NA).
[0081]
This is called an airy disk 12.
Also, the light intensity distribution in this is not uniform and the intensity is 1 / e.2The diameter (e is the base of natural logarithm) is expressed as 0.82 (λ / NA).
Since the minimum pitch of the track 1 corresponds to the radius of the area disk, the cross erase phenomenon is a weak laser beam at the base of the Airy disk of the focused light beam spot as shown in FIG. 5 as a first approximation. As a result, the physical meaning that the temperature of the adjacent truck is heated is also clarified.
[0082]
The fact that the cross erase phenomenon is hardly influenced by the heat conduction of the recording layer is currently known, such as GeSbTe, AgInSbTe, InSnTe, InSbTe, etc. IIIb, IVb, Vb, VIb group elements, or a mixture (alloy) thereof 40 at. This is because the thermal conductivity of the recording layer containing at least% is on the order of 2 to 3 orders of magnitude smaller than that of the magneto-optical medium.
This is because the order of 10 to 100 nanoseconds required for recording is substantially adiabatic.
[0083]
Therefore, the minimum track pitch determined by the above 0.6λ / NA is substantially determined only by the beam spot diameter, and therefore the light beam wavelength and NA.
However, although the cross-erasing at 10,000 times or more of repeated overwriting is slight, further reduction can be achieved by limiting the layer structure of the recording medium and the physical properties of the recording layer.
[0084]
Although depending on the melting point and crystallization temperature of the recording layer, the composition currently known to allow reversible change between crystal / amorphous in the alloy recording layer has a melting point Tm of less than 700 ° C., Many have a crystallization temperature Tg of 150 ° C. or higher.
In fact, Ge1Sb2Te4Or Ge2Sb2TsIn the vicinity of the composition, the melting point is 600 to 620 ° C., and the crystallization temperature is 150 to 170 ° C.
Ag0.11In0.11Te0.20Sb0.55The melting point is about 550 ° C., and the crystallization temperature is about 230 ° C.
When Tg is lower than 150 ° C., the amorphous state is not stable and is easily cross-erased.
[0085]
Further, when Tm is 700 ° C. or higher, energy to be irradiated at the time of recording becomes high, and it is easy to cause cross erase in the adjacent track.
As for the layer structure, when the recording layer thickness exceeds 30 nm, the recording sensitivity is lowered, and cross-erasing is likely to occur because heat easily escapes to the adjacent track during recording.
Examples will be shown below, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded.
[0086]
Example 1
A polycarbonate resin substrate was obtained by injection molding as the substrate.
A plurality of substrates were prepared in which the groove pitch was changed from 1.3 μm to 1.6 μm in steps of approximately 0.05 μm.
Therefore, the substantial recording track pitch is 0.65 to 0.8 μm. (ZnS) as a lower protective layer on the obtained substrate80(SiO2)202100 mm, Ge as the recording layer22Sb23.5Te54.5As a top protective layer (ZnS)80(SiO2)20200 mm, Al as the reflective layer97.5Ta2.5Was formed by 1000-mm sputtering. An ultraviolet curable resin was further provided as a protective coating on the reflective layer.
[0087]
By the initialization, the entire crystallized state is changed to an unrecorded state, and the recording mark is amorphous. Unrecorded reflectance RhighIs 14.2%, reflectance ratio Rlow/ Rhigh= 0.09, Ac/ Aa= 0.91 and the phase difference is -0.44π.
An optical head having a wavelength of 680 nm and NA = 0.55 was used. The linear velocity was 3 m / s, Pw = 8 to 9 mW, and Pe = 4.5 mW. The recording power was modulated with a single pattern having a frequency of 2.24 MHz and a duty of 25%.
When recording was performed on the groove, overwriting was repeatedly performed between the adjacent grooves, and a decrease in the C / N ratio of the signal first recorded in the groove was measured.
[0088]
The same measurement was performed when recording was performed on the land and repeated overwriting was performed on both adjacent grooves.
If the groove pitch is larger than 1.5 μm (recording track pitch 0.75 μm), the decrease in the C / N ratio between adjacent grooves after overwriting 10,000 times or between the grooves can be less than 3 dB, and there is no practical problem. It was a level.
[0089]
(680 / 0.55) × 0.6 = 741 nm = 0.441 μm, which can be considered to be larger than the requirement 0.6λ / NA regarding the minimum track pitch.
On the other hand, when a similar experiment was performed using a head of 680 nm and NA = 0.6, there was no problem up to a groove pitch of 1.4 μm (recording track pitch of 0.7 μm).
This satisfies the minimum recording track pitch condition of (680 / 0.6) × 0.6 = 0.680 μm.
[0090]
On the other hand, when recording was performed on the land, overwriting was repeated in both adjacent grooves, and deterioration due to cross erase of the signal on the land was measured, the same result was obtained except for a difference of 1 to 2 dB. .
Furthermore, overwriting was repeatedly performed on the land, and the mark length jitter of the signal between the grooves was measured. In this case, measurement was performed only with a head of λ = 680 nm and NA = 0.55. Only when the groove pitch is 1.6 μm (land width≈0.8 μm).3There was almost no increase in jitter for each overwrite (only an increase of about 20%). In this case, the land width is wider than 0.62λ / NA≈0.77 μm, which satisfies the requirements of the present invention. On the other hand, when the groove pitch is 1.4 μm (land width 0.7 μm), the jitter is remarkably increased.3The number of overwriting times has more than doubled.
[0091]
According to the analysis results obtained by solving the thermal diffusion equation of the present inventors by numerical calculation, the layer configuration used in this example is one of the most lateral thermal diffusions, and the most in terms of cross erase. It is considered under severe conditions. Therefore, it can be considered that the definition regarding the minimum track pitch is established regardless of the layer structure.
[0092]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the optical recording medium and the recording / reproducing method of the present invention, even if a signal is recorded on both the land and the groove, the groove depth is limited. Can be reduced.
In addition, since the ratio of the reflectance of the reflected light from the unrecorded area to the coherent light having the same wavelength as the wavelength of the reproduction light and the reflectance of the reflected light from the recording area are defined, Undesirable differences between the carrier level and the groove carrier level can be eliminated.
[0093]
Accordingly, a reproduction signal amplitude of the same level can be obtained regardless of whether recording is performed on either the land portion or the groove portion, and a high-quality and highly reliable land / groove recording disc can be provided.
Further, the ratio of the irradiation light absorbed in the recording layer when the recording layer of the optical recording medium of the present invention is in an amorphous state, and the irradiation light absorbed in the recording layer when the recording layer is in a crystalline state. Ratio, i.e., when the recording layer is in an amorphous phase.aA when the recording layer is in a crystalline statecThe ratio of the absorption ratio between the crystalline state and the amorphous stateA c / AaThe
[0094]
[Expression 32]
0.84 ≦A c / Aa<1.01
[0095]
By prescribing within this range, it is possible to guarantee excellent characteristics with a high CN ratio and low recording mark jitter, and an excellent disk can be provided.
In addition, by using the optical recording medium of the present invention, both on and between the grooves are used as recording areas, and recording, erasure and reproduction can be performed by one-beam overwriting with a laser having a wavelength of 700 nm or less in both areas. A characteristic recording / reproducing method can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an enlarged perspective view for explaining a positional relationship between a groove shape of an optical disk and a convergent beam of irradiation laser light in an embodiment.
FIG. 2 is an enlarged perspective view for explaining a positional relationship between a groove shape of an optical disk and a convergent beam of irradiation laser light in the embodiment.
FIG. 3 is an enlarged perspective view for explaining a positional relationship between a groove shape of an optical disk and a convergent beam of irradiation laser light in the embodiment.
FIG. 4 is an enlarged perspective view for explaining a positional relationship between a groove shape of an optical disc and a convergent beam of irradiation laser light in the embodiment.
FIG. 5 is an explanatory diagram of intensity distribution of a convergent light beam.
[Explanation of symbols]
1 Substrate
2 Recording layer
3 Land
4 Groove
5 Focused beam
Area of convergent beam irradiated to 6 lands
7 Focused beam area irradiated to groove
8 Record mark
9 Lens
10 Convergent light
11 Intensity distribution
12 Airy Disc

Claims (6)

溝が形成された透明基板上に、誘電体層、相変化型記録層、誘電体層、金属反射層を順次積層した構成からなり、前記溝上とランド上の両方を記録領域として用い、700nm以下の波長のレーザー光を照射することによって情報の記録、消去、再生を行なう光記録媒体であって、
(1)溝幅が0.3μm以上0.8μm以下、ランド幅が0.3μm以上0.8μm以下で、溝幅とランド幅がほぼ等しく、かつ溝深さdが以下に示す不等式を満たし、
【数1】
λ/7n<d<λ/5n
(λ:照射光の波長、n:基板の屈折率、d:溝の深さ)
(2)下記で定義される未記録領域からの反射光と記録領域からの反射光のうち、反射率の大きい方をRhigh(%)、低い方をRlow (%)とし、未記録領域と記録領域からの反射光の位相差を2παとすると、以下に示す式を満たし、
【数2】
10≦Rhigh≦40
【数3】
low /Rhigh≦0.15
mπ≠2πα (mは整数)
ただし、
2πα=(未記録領域からの反射光の位相)−(記録領域からの反射光の位相)
(3)ランド幅LWが次式を満たし、
【数4】
0.62λ/NA≦LW≦0.8λ/NA
λは照射光波長、NAは集束レンズの開口数
(4)溝幅GW及びランド幅LWが次式を満たす
【数5】
(LW+GW)/2>0.6λ/NA
ことを特徴とする光記録媒体。
It consists of a structure in which a dielectric layer, a phase change recording layer, a dielectric layer, and a metal reflective layer are sequentially laminated on a transparent substrate on which grooves are formed. Both the groove and the land are used as a recording area, and 700 nm or less. An optical recording medium for recording, erasing and reproducing information by irradiating a laser beam having a wavelength of
(1) The groove width is 0.3 μm or more and 0.8 μm or less, the land width is 0.3 μm or more and 0.8 μm or less, the groove width is substantially equal to the land width, and the groove depth d satisfies the following inequality,
[Expression 1]
λ / 7n <d <λ / 5n
(Λ: wavelength of irradiated light, n: refractive index of substrate, d: depth of groove)
(2) Of the reflected light from the unrecorded area and the reflected light from the recorded area defined below, the higher reflectance is R high (%) and the lower reflectance is R low (%). And the phase difference of the reflected light from the recording area is 2πα, the following equation is satisfied:
[Expression 2]
10 ≦ R high ≦ 40
[Equation 3]
R low / R high ≦ 0.15
mπ ≠ 2πα (m is an integer)
However,
2πα = (phase of reflected light from unrecorded area) − (phase of reflected light from recorded area)
(3) The land width LW satisfies the following equation:
[Expression 4]
0.62λ / NA ≦ LW ≦ 0.8λ / NA
λ is the irradiation light wavelength, NA is the numerical aperture of the focusing lens (4) The groove width GW and land width LW satisfy the following formula
(LW + GW) / 2> 0.6λ / NA
An optical recording medium characterized by the above.
波長λの照射レーザー光のうち、前記記録層で吸収される比率を記録層がアモルファス相である場合を 、記録層が結晶状態である場合をAとしたとき、結晶状態とアモルファス状態の吸収率の比A/A
【数6】
0.84≦A/A<1.01
である請求項1に記載の光記録媒体。
A ratio of the absorption laser light of wavelength λ absorbed by the recording layer is expressed as A a when the recording layer is in an amorphous phase. When the case where the recording layer is in the crystalline state was A c, the ratio A c / A a in the absorption of the crystalline and amorphous states is [6]
0.84 ≦ A c / A a <1.01
The optical recording medium according to claim 1, wherein
記録層が、Ge、Sb、Teを主成分とする合金からなり、厚みが20±5nmである請求項1または2に記載の光記録媒体。The optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer is made of an alloy mainly composed of Ge, Sb, and Te and has a thickness of 20 ± 5 nm. 反射層がAlとTiまたはTaの合金であり、TiまたはTaの含有量が0.5〜3.5at%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光記録媒体。The optical recording medium according to claim 1, wherein the reflective layer is an alloy of Al and Ti or Ta, and the content of Ti or Ta is 0.5 to 3.5 at%. 下部誘電体保護層と上部誘電体保護層のうちの一方かまたは両方が、ZnSとSiOまたはYのうちのいずれか一方との混合膜であり、SiOまたはYの含量が5〜40mol%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光記録媒体。One or both of the lower dielectric protective layer and the upper dielectric protective layer is a mixed film of ZnS and either SiO 2 or Y 2 O 3 , and is made of SiO 2 or Y 2 O 3 . Content is 5-40 mol%, The optical recording medium in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 請求項1に記載の光記録媒体を用い、溝上と溝間の両方を記録領域として用い、いずれの領域にも700nm以下の波長のレーザーの1ビームオーバーライトによって記録、消去、再生せしめることを特徴とする記録再生方法。The optical recording medium according to claim 1 is used, both on the groove and between the grooves are used as recording areas, and recording, erasure and reproduction are performed by one-beam overwriting with a laser having a wavelength of 700 nm or less in both areas. Recording and playback method.
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