JP3376806B2 - Optical recording medium and recording / reproducing method - Google Patents

Optical recording medium and recording / reproducing method

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JP3376806B2
JP3376806B2 JP05912196A JP5912196A JP3376806B2 JP 3376806 B2 JP3376806 B2 JP 3376806B2 JP 05912196 A JP05912196 A JP 05912196A JP 5912196 A JP5912196 A JP 5912196A JP 3376806 B2 JP3376806 B2 JP 3376806B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体および記録
再生方法に関し、レーザー光の照射により、基板の溝部
と溝間の両方に情報の記録、再生、消去を行うための光
学的情報記録媒体および記録再生方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium and a recording / reproducing method, and an optical information recording for recording, reproducing and erasing information on both the groove portion and the groove portion of a substrate by irradiating a laser beam. The present invention relates to a medium and a recording / reproducing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報量の増大にともない、高密度
でかつ高速に大量のデータの記録・再生ができる記録媒
体が求められているが、光ディスクはまさにこうした用
途に応えるものとして期待されている。こうした記録媒
体への高容量化、高密度化への要求は、膨大な画像情報
や音声信号を扱う上で記録媒体と記録装置に課せられた
時代の必然であり、デジタル変調技術及びデータ圧縮技
術の進歩と歩調をあわせてその進歩はまさに日進月歩で
ある。
2. Description of the Related Art In recent years, a recording medium capable of recording and reproducing a large amount of data at high density and at high speed has been demanded as the amount of information has increased. Optical discs are expected to meet such applications. There is. The demand for higher capacity and higher density in such a recording medium is inevitable in the era when the recording medium and the recording device were imposed in handling a huge amount of image information and audio signals, and digital modulation technology and data compression technology. Keeping pace with the progress of, the progress is just progressing.

【0003】高密度化の具体的な手段として光ディスク
においては、光源の短波長化やレンズの高NA(Numeric
al Aperture)化による照射光の収束ビーム径の縮小、記
録マーク長の短小化、回転数一定のもとで外周に行くほ
ど記録周波数を上げて内外周での記録密度を一定とする
MCAV(Modified Constant Angular Velocity)、マー
ク始端と後端に情報をのせるマークエッジ記録などが開
発、利用されており、今後に向けてさらなる高密度化の
手法が模索されているのが現状である。
As a specific means of increasing the density, in an optical disc, the wavelength of the light source is shortened and the lens has a high NA (Numeric).
MCAV (constant recording density on the inner and outer circumferences) by increasing the recording frequency toward the outer circumference under a constant number of rotations by reducing the convergent beam diameter of the irradiation light due to al. Modified Constant Angular Velocity), mark edge recording that puts information on the beginning and end of the mark, etc. have been developed and used, and the current situation is that further densification methods are being sought for the future.

【0004】記録が可能な光ディスクでは、あらかじめ
案内溝がディスク上に刻まれ、いわゆるトラックが形成
されている。通常、案内溝相互間もしくは案内溝内にレ
ーザー光が集光されることによって、情報信号の記録、
再生又は消去が行われる。現在市販されている一般的な
光ディスクにおいては、通常案内溝相互間もしくは案内
溝内のどちらか一方にのみ情報信号が記録され、他方は
隣接トラックを分離して信号の漏れ込みを防ぐための境
界の役割を果たしているに過ぎない。
In a recordable optical disc, a guide groove is preliminarily formed on the disc to form a so-called track. Normally, by recording laser light between the guide grooves or in the guide grooves, information signals are recorded,
Playback or deletion is performed. In general optical discs currently on the market, information signals are normally recorded only between the guide grooves or in the guide grooves, and the other is a boundary for separating adjacent tracks to prevent signal leakage. It only plays the role of.

【0005】この境界部分、例えば案内溝相互間に記録
する場合においては案内溝内、また、案内溝内に記録す
る場合においては案内溝相互間、にも同様に情報の記録
が可能となれば記録密度は2倍となり記録容量の大幅な
向上が期待できる。以下、案内溝をグルーブ、案内溝相
互間をランド、ランド部とグルーブ部の両方に情報を記
録する方法をL&G記録と記述することにする。
If it is possible to record information at this boundary portion, for example, in the guide groove when recording between the guide grooves, or between the guide grooves when recording in the guide groove. The recording density is doubled, and a large improvement in recording capacity can be expected. Hereinafter, a method of recording information on both the groove and the guide groove, the land between the guide grooves, and both the land portion and the groove portion will be described as L & G recording.

【0006】L&G記録の提案としては特公昭63−5
7859号などがあるが、このような技術を用いる場合
には、クロストークの低減に格段の注意を払う必要があ
る。すなわち、前述の特公昭63−57859号記載の
L&G記録では、あるトラックの記録マーク列とそれと
隣合うトラックの記録マーク列同士の間隔が収束ビーム
径の半分になるため、再生したい記録マーク列の隣の記
録マーク列まで収束ビーム径が重なる。
As a proposal for L & G recording, Japanese Patent Publication No. 63-5
7859, etc., but when such a technique is used, it is necessary to pay great attention to the reduction of crosstalk. That is, in the L & G recording described in Japanese Patent Publication No. 63-57859, since the distance between the recording mark train of a certain track and the recording mark train of the adjacent track is half the convergent beam diameter, the recording mark train to be reproduced is The convergent beam diameters overlap to the adjacent recording mark row.

【0007】このため、再生時のクロストークが大きく
なり、再生S/Nが劣化するという問題がある。このク
ロストークを低減させるため、例えば、SPIE Vo
l.1316 Optical Data Stora
ge(1990)pp.35にあるように、光ディスク
再生装置に特別の光学系とクロストークキャンセル回路
を設けてクロストークを低減しようとする手法がある。
Therefore, there is a problem that the crosstalk during reproduction becomes large and the reproduction S / N deteriorates. In order to reduce this crosstalk, for example, SPIE Vo
l. 1316 Optical Data Storage
ge (1990) pp. 35, there is a method for reducing crosstalk by providing a special optical system and a crosstalk cancel circuit in the optical disc reproducing apparatus.

【0008】しかしながらこの方法では、装置の光学系
及び信号処理系がさらに複雑なものになってしまうデメ
リットがある。再生クロストーク低減のための特別な光
学系や信号処理回路を特に設けることをせずに、クロス
トークを低減する方法として、グルーブ(案内溝)とラ
ンド(案内溝相互間)の幅を等しくし、グルーブ深さを
再生光波長に対応したある範囲内とすることが効果的で
あるとの提案がある。(Jpn.J.Appl.Phy
s.Vol32(1993)pp.5324−532
8)。
However, this method has a demerit that the optical system and the signal processing system of the apparatus become more complicated. As a method for reducing crosstalk without providing a special optical system or signal processing circuit for reducing playback crosstalk, equalize the width of the groove (guide groove) and the land (between guide grooves). There is a proposal that it is effective to set the groove depth within a certain range corresponding to the reproduction light wavelength. (Jpn. J. Appl. Phy
s. Vol 32 (1993) pp. 5324-532
8).

【0009】これによれば、ランド幅=グルーブ幅でか
つグルーブ深さがλ/7n〜λ/5n(λ:再生光波
長、n:基板の屈折率)のときにクロストークが低減さ
れることが、計算及び実験事実として示されている。こ
のことは特開平5−282705号にも記されている。
この論文に記載されているCN比(キャリア/ノイズ
比)、クロストークのグルーブ深さ依存性によれば、溝
深さを最適値とすることでクロストークの低減効果がみ
られるが、ランド部とグルーブ部でのCN比がアンバラ
ンスとなってしまっている。
According to this, the crosstalk is reduced when the land width = the groove width and the groove depth is λ / 7n to λ / 5n (λ: reproducing light wavelength, n: refractive index of the substrate). Are shown as calculated and experimental facts. This is also described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-282755.
According to the CN ratio (carrier / noise ratio) and the groove depth dependency of crosstalk described in this paper, the effect of reducing crosstalk can be seen by optimizing the groove depth. And the CN ratio in the groove is unbalanced.

【0010】L&G記録を行なう場合、ランド部のキャ
リアレベルとグルーブ部のキャリアレベルに違いが生
じ、その結果、一方のCN比が著しく低下することは、
ディスクの信号品質において望ましいことではない。
When L & G recording is performed, a difference occurs between the carrier level of the land portion and the carrier level of the groove portion, and as a result, the CN ratio on one side is significantly reduced.
It is not desirable in the signal quality of the disc.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる課題を
解決するもので、特に波長700nm以下のレーザー光
を光源として用いるようなL&G記録型光ディスクにお
いて、ランド部とグルーブ部の記録マークのキャリアレ
ベルのアンバランスを解消し、ランド部及びグルーブ部
のいずれに記録しても、同等な高い信号品質の得られる
高密度光ディスクを提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the above problems, and particularly in an L & G recording type optical disc using a laser light having a wavelength of 700 nm or less as a light source, the carrier level of the recording mark of the land portion and the groove portion. It is an object of the present invention to eliminate the above-mentioned imbalance and to provide a high density optical disc that can obtain the same high signal quality regardless of whether recording is performed on the land portion or the groove portion.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、グルーブ深さ
の規定と、未記録領域と記録マークからの反射光の位相
差について検討を重ねた結果なされたもので、その要旨
は、溝が形成された透明基板上に、誘電体層、相変化型
記録層、誘電体層、金属反射層を順次積層した構成から
なり、前記溝上と溝間の両方を記録領域として用い、7
00nm以下の波長のレーザー光を照射することによっ
て情報の記録、消去、再生を行なう光記録媒体であっ
て、 (1)溝幅が0.1μm以上0.7μm以下、溝間の幅
が0.1μm以上0.7μm以下で、溝幅と溝間の幅が
ほぼ等しく、かつ溝深さdが以下に示す不等式を満た
し、
The present invention has been made as a result of repeated studies on the regulation of the groove depth and the phase difference of the reflected light from the unrecorded area and the recording mark. On the formed transparent substrate, a dielectric layer, a phase change recording layer, a dielectric layer, and a metal reflective layer are sequentially laminated, and both the groove and the groove are used as a recording area.
An optical recording medium for recording, erasing and reproducing information by irradiating a laser beam having a wavelength of 00 nm or less, wherein (1) the groove width is 0.1 μm or more and 0.7 μm or less, and the width between grooves <br / > Is 0.1 μm or more and 0.7 μm or less, the groove width and the width between the grooves are
And the groove depth d satisfies the following inequalities,

【0013】[0013]

【数5】λ/7n < d < λ/5n (λ:照射光の波長、n:基板の屈折率、d:溝の深
さ)
## EQU5 ## λ / 7n <d <λ / 5n (λ: wavelength of irradiation light, n: refractive index of substrate, d: depth of groove)

【0014】(2)下記で定義される未記録領域からの
反射光と記録領域からの反射光のうち、反射率の大きい
方をRhigh(%)、低い方をRlow (%)とし、未記録
領域と記録領域からの反射光の位相差を2παとする
と、
(2) Of the reflected light from the unrecorded area and the reflected light from the recorded area defined below, the one with the higher reflectance is R high (%), and the one with the lower reflectance is R low (%), If the phase difference between the reflected light from the unrecorded area and the recorded area is 2πα ,

【0015】[0015]

【数6】10 ≦ Rhigh ≦ 40(6) 10 ≤ R high ≤ 40

【0016】[0016]

【数7】Rlow /Rhigh ≦ 0.15 mπ≠2πα (mは整数) ただし、2πα =(未記録領域からの反射光の位相)−(記録領
域からの反射光の位相) の3つの条件を満たし、波長λの照射レーザー光のう
ち、前記記録層で吸収される比率を記録層がアモルファ
ス相である場合をA a 、記録層が結晶状態である場合を
c としたとき、結晶状態とアモルファス状態の吸収率
の比A c /A a
## EQU00007 ## Rlow / Rhigh.ltoreq.0.15 m.pi..noteq.2.pi..alpha. ( M is an integer) where 2.pi..alpha. = (Phase of reflected light from unrecorded area)-(phase of reflected light from recording area) Fill and irradiate laser light of wavelength λ
Then, the absorption rate of the recording layer is determined by the recording layer.
A a when the phase is a phase and when the recording layer is in a crystalline state
Absolute rate in crystalline and amorphous states, where A c
The ratio A c / A a of

【数8】0.84 ≦ A c /A a < 1.01 である ことを特徴とする光記録媒体である。An optical recording medium, wherein the Equation 8 is a 0.84 ≦ A c / A a < 1.01.

【0017】上記に示した構成により本発明の光ディス
クでは、ランド部とグルーブ部のいずれに記録しても記
録マークの信号品質(キャリアレベル)は同等となる。
したがって、波長700nm以下のレーザー光を光源と
して用いるようなL&G記録方式の光ディスクの信頼性
を保証する点において不可欠な規定である。本発明がラ
ンド&グルーブ記録用光記録媒体の再生過程に如何に作
用して効果をもたらすかについて、その有効となる根拠
を簡単なモデルを用いて以下に詳細に説明する。
With the above-described structure, in the optical disc of the present invention, the signal quality (carrier level) of the recording mark is the same regardless of whether recording is performed on the land portion or the groove portion.
Therefore, it is an indispensable rule in guaranteeing the reliability of the optical disc of the L & G recording system in which a laser beam having a wavelength of 700 nm or less is used as a light source. How the present invention works and effects in the reproducing process of the optical recording medium for land & groove recording will be explained in detail below by using a simple model as to the basis of its effectiveness.

【0018】図1〜図4にL&G用光ディスクのランド
上またはグルーブ上に再生光ビームが照射されている場
合を模式図として示した。図を見やすくするために記録
層2以外の層は省略した。再生光ビームは対物レンズな
どを用いて集光され、基板1側からディスクに照射され
ているとし、以下、収束ビームと呼ぶ。
FIGS. 1 to 4 are schematic views showing the case where the reproducing light beam is irradiated onto the land or groove of the L & G optical disk. Layers other than the recording layer 2 are omitted for easy viewing of the drawing. The reproduction light beam is condensed using an objective lens or the like, and is assumed to be irradiated onto the disc from the substrate 1 side, and is hereinafter referred to as a converged beam.

【0019】図1と図3は未記録領域に収束ビーム5が
存在する場合を示し、図2と図4は記録マーク8上に収
束ビーム6が存在する場合を示している。仮定では計算
を簡単にするために、記録マーク8が収束ビーム5より
十分長いと仮定する。後に実施例で示すように、実際に
は記録マークが収束ビーム径よりも短くても何ら問題は
ない。
FIGS. 1 and 3 show the case where the convergent beam 5 exists in the unrecorded area, and FIGS. 2 and 4 show the case where the convergent beam 6 exists on the recording mark 8. The assumption is that the recording mark 8 is sufficiently longer than the convergent beam 5 to simplify the calculation. As will be shown later in Examples, there is no problem even if the recording mark is actually shorter than the convergent beam diameter.

【0020】ここでは、未記録時の記録層の状態を結晶
状態、記録時の記録層の状態をアモルファス状態と定義
する。収束ビームの強度は実際のモデルに即してガウス
分布とし、ビーム径を中心強度の1/e2 と定義する。
ランド3の幅とグルーブ4の幅は等しく、かつ、ビーム
径の半分の長さであると仮定し、ランド3とグルーブ4
の間の段差をdとする。
Here, the state of the recording layer when unrecorded is defined as a crystalline state, and the state of the recording layer when recorded is defined as an amorphous state. The intensity of the convergent beam has a Gaussian distribution according to an actual model, and the beam diameter is defined as 1 / e 2 of the central intensity.
Assuming that the width of the land 3 and the width of the groove 4 are equal and half the beam diameter, the land 3 and the groove 4
The step between them is d.

【0021】収束ビームは基板側から照射されるので、
紙面の向こう側から入射して反射する。したがって、光
源側から見るとランド部3が凹となり、反対にグルーブ
部4が凸となっている。グルーブ面を位相の基準にとる
とランド部からの反射光はグルーブ部からの反射光より
も2π・2nd/λだけ位相が遅れる。
Since the convergent beam is emitted from the substrate side,
It is incident from the other side of the paper and reflected. Therefore, when viewed from the light source side, the land portion 3 is concave and the groove portion 4 is convex. When the groove surface is used as a phase reference, the phase of the reflected light from the land portion lags the reflected light from the groove portion by 2π · 2nd / λ.

【0022】ただし、nは基板の屈折率、dは溝(グル
ーブ)の深さ、λは収束ビームの波長である。位相の変
化はグルーブ深さのみに起因するものではなく、記録層
の相変化前後における光学定数の変化によっても一般に
位相差が変化する。ここでは、アモルファス領域からの
反射光が結晶領域からの反射光よりも2παだけ位相が
遅れると仮定する。
Here, n is the refractive index of the substrate, d is the depth of the groove, and λ is the wavelength of the convergent beam. The phase change is not caused only by the groove depth, but generally the phase difference also changes by the change in the optical constants before and after the phase change of the recording layer. Here, it is assumed that the reflected light from the amorphous region is delayed in phase by 2πα from the reflected light from the crystalline region.

【0023】以下、グルーブ面を位相の基準にとって収
束ビームの振幅反射率を必要に応じて位相差2παを用
いながら定式化することにする。図1のようにアモルフ
ァス記録マークのないランド部3に収束ビーム5がある
場合の振幅反射率φ1 は次式で表すことができる。
In the following, the amplitude reflectance of the convergent beam will be formulated using the phase difference 2πα as necessary with the groove surface as the phase reference. As shown in FIG. 1, the amplitude reflectance φ 1 when the convergent beam 5 is on the land portion 3 having no amorphous recording mark can be expressed by the following equation.

【0024】[0024]

【数9】 φ1 =Rc1・exp[−2πi・2nd/λ] +Rc2・exp[−2πi・0] (a)[Formula 9] φ 1 = R c1 · exp [−2πi · 2nd / λ] + R c2 · exp [−2πi · 0] (a)

【0025】ただし、Rc1は収束ビームが照射されたラ
ンド部の領域6からの反射光量、Rc2は収束ビームが照
射されたグルーブ部の領域7からの反射光量、nは基板
の屈折率、dはグルーブの深さ、λは照射光の波長、i
は虚数単位を示している。図2のようにアモルファス記
録マークのあるランド部に収束ビーム5がある場合の振
幅反射率φ2 は次式で表すことができる。
Where R c1 is the amount of reflected light from the region 6 of the land portion irradiated with the convergent beam, R c2 is the amount of reflected light from the region 7 of the groove portion irradiated with the convergent beam, n is the refractive index of the substrate, d is the depth of the groove, λ is the wavelength of the irradiation light, and i
Indicates an imaginary unit. As shown in FIG. 2, the amplitude reflectance φ 2 when the convergent beam 5 is on the land portion having the amorphous recording mark can be expressed by the following equation.

【0026】[0026]

【数10】 φ2 =Ra1・exp[−2πi(2nd/λ+α)] +Rc2・exp[−2πi・0] (b) ただし、Ra1は収束ビームが照射されたランド部の領域
6からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたグル
ーブ部の領域7からの反射光量を示している。
Equation 10] φ 2 = R a1 · exp [ -2πi (2nd / λ + α)] + R c2 · exp [-2πi · 0] (b) provided that, R a1 is the region 6 of land portions converging beam is irradiated , R c2 indicates the amount of reflected light from the region 7 of the groove portion irradiated with the convergent beam.

【0027】図3のようにアモルファス記録マークのな
いグルーブ部に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φ
3 は次式で表すことができる。
As shown in FIG. 3, the amplitude reflectance φ when the convergent beam 5 is present in the groove portion having no amorphous recording mark
3 can be expressed by the following equation.

【0028】[0028]

【数11】 φ3 =Rc1・exp[−2πi・0] +Rc2・exp[−2πi(2nd/λ)] (c) ただし、Rc1は収束ビームが照射されたグルーブ部の領
域7からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたラ
ンド部の領域6からの反射光量を示している。
Equation 11] φ 3 = R c1 · exp [ -2πi · 0] + R c2 · exp [-2πi (2nd / λ)] (c) provided that, R c1 is from the region 7 of the groove portions converging beam is irradiated , R c2 represents the amount of reflected light from the region 6 of the land portion irradiated with the convergent beam.

【0029】図4のようにアモルファス記録マークのあ
るグルーブ部に収束ビーム5がある場合の振幅反射率φ
4 は次式で表すことができる。
As shown in FIG. 4, the amplitude reflectance φ when the convergent beam 5 is present in the groove portion having the amorphous recording mark
4 can be expressed by the following equation.

【0030】[0030]

【数12】 φ4 =Ra1・exp[−2πiα +Rc2・exp[−2πi(2nd/λ)] (d) ただし、Ra1は収束ビームが照射されたグルーブ部の領
域7からの反射光量、Rc2は収束ビームが照射されたラ
ンド部の領域6からの反射光量を示している。
Equation 12] φ 4 = R a1 · exp [ -2πiα] + R c2 · exp [-2πi (2nd / λ)] (d) where the reflection from the region 7 of the R a1 is a groove portion converging beam is irradiated The amount of light, R c2 , indicates the amount of light reflected from the region 6 of the land portion irradiated with the convergent beam.

【0031】ここで、ランド幅=グルーブ幅で、その幅
は収束ビーム径の半分と仮定しているので、0<β<1
とおくと、
Here, it is assumed that land width = groove width, and that width is half the convergent beam diameter, so 0 <β <1.
If you put it

【0032】[0032]

【数13】c2=βRc1 (e) [ Equation 13] R c2 = βR c1 (e)

【0033】[0033]

【数14】a2=βRa1 (f) とかける。Rc =Rc1+Rc2、Ra =Ra1+Ra2とおい
て式(e)と式(f)を整理すると、
## EQU00004 ## Multiply by R a2 = βR a1 (f). When R c = R c1 + R c2 and R a = R a1 + R a2, and formula (e) and formula (f) are arranged,

【0034】[0034]

【数15】c1=Rc /(1+β) (g) Equation 15] R c1 = R c / (1 + β) (g)

【0035】[0035]

【数16】c2=βRc /(1+β) (h) [Number 16] R c2 = βR c / (1 + β) (h)

【0036】[0036]

【数17】a1=Ra /(1+β) (i) [Number 17] R a1 = R a / (1 + β) (i)

【0037】[0037]

【数18】a2=βRa /(1+β) (j) となる。式(g)〜式(j)を式(a)〜式(d)に代
入して整理すると、
## EQU16 ## R a2 = βR a / (1 + β) (j) Substituting equations (g) to (j) into equations (a) to (d) and rearranging,

【0038】[0038]

【数19】 φ1 =[Rc /(1+β)][β+exp[−4πind/λ]] (k) [Number 19] φ 1 = [R c / ( 1 + β)] [β + exp [-4πind / λ]] (k)

【0039】[0039]

【数20】 φ2 =[1/(1+β)]・ [βRc +Ra ・exp[−4πind/λ−2πiα]] (l) Equation 20] φ 2 = [1 / (1 + β)] · [βR c + R a · exp [-4πind / λ-2πiα]] (l)

【0040】[0040]

【数21】 φ3 =[Rc /(1+β)] [1+β・exp[−4πind/λ]] (m) Equation 21] φ 3 = [R c / ( 1 + β)] [1 + β · exp [-4πind / λ]] (m)

【0041】[0041]

【数22】 φ4 =[1/(1+β)][Ra ・exp[−2πiα]+ βRc ・exp[−4πind/λ]] (n) ここで、ランド部に記録した場合、再生キャリアレベル
CL’(L)は
Equation 22] φ 4 = [1 / (1 + β)] [R a · exp [-2πiα] + βR c · exp [-4πind / λ]] (n) Here, when recorded in the land portions, reproduced carrier Level CL '(L) is

【0042】[0042]

【数23】 CL’(L)=|φ1 2 −|φ2 2 (o) に比例する。また、同様にしてグルーブ部に記録した場
合、再生キャリアレベルは
[Equation 23] CL ′ (L) = proportional to | φ 1 | 2 − | φ 2 | 2 (o). Also, when recorded in the groove section in the same manner, the reproduction carrier level is

【0043】[0043]

【数24】 CL’(G)=|φ3 2 −|φ4 2 (p) に比例する。ランド部とグルーブ部のキャリアレベルの
差が生じないということは、式(o)と式(p)との差
が0になるということに他ならない。
[Equation 24] CL '(G) = proportional to | φ 3 | 2 − | φ 4 | 2 (p). The fact that there is no difference in the carrier level between the land portion and the groove portion means that the difference between the equation (o) and the equation (p) becomes zero.

【0044】式(k)〜式(n)を式(m)と式(o)
に代入して差を計算し、その差が0になる必要条件を求
めると、2πα=mπ(ただしmは整数)となる。この
結果は、相転移間の位相差がπの整数倍(0を含む)の
場合において、ランド幅=グルーブ幅のときに、ランド
部とグルーブ部の再生信号振幅が等しくなることを示し
ている。
Expressions (k) to (n) are converted into expressions (m) and (o).
Substituting into, the difference is calculated, and the necessary condition for the difference to be 0 is obtained, 2πα = mπ (where m is an integer). This result shows that when the phase difference between the phase transitions is an integral multiple of π (including 0), the reproduction signal amplitudes of the land portion and the groove portion are equal when the land width = the groove width. .

【0045】これに反して、我々は相転移間の位相差の
ある層構成のディスクを意図的に作製し、鋭意検討を進
めてきた。その結果、相転移間位相差がいかなる任意の
値をとっても、ランド部とグルーブ部の信号振幅に差が
生じない新たな条件を見い出すに至った。この条件と
は、記録層が結晶状態のときのディスクの鏡面部の反射
率とアモルファス状態のときのディスクの鏡面部反射率
の比率がある範囲内に限定するというものである。
Contrary to this, we have intentionally made a disc having a layer structure having a phase difference between phase transitions, and conducted intensive studies. As a result, they have found a new condition that the signal amplitudes of the land portion and the groove portion do not differ even if the phase difference between phase transitions takes any arbitrary value. This condition is the reflection of the mirror surface of the disc when the recording layer is in a crystalline state.
Ratio and the mirror surface reflectance of the disk in the amorphous state are limited within a certain range.

【0046】そもそも、ランド幅=グルーブ幅の場合、
ランドとグルーブで再生信号振幅が異なるのは溝形状に
依存する位相差と相転移間位相差が関係しているが、ラ
ンドとグルーブの反射光量の違い(すなわち再生信号振
幅の差)は、相転移間の反射率の比率によって干渉効果
の程度が異なることにも大きく依存している。すなわ
ち、記録層が結晶状態のときのディスクの鏡面部反射率
記録層がアモルファス状態のときのディスクの鏡面部
反射率のうち反射率の大きい方をRhigh、反射率の小さ
い方をRlow とすると、Rlow がRhighに比べて十分小
さければ、いかに位相差が生じようとも実質的には干渉
によるランドとグルーブの反射光量の差異は十分小さ
い。
In the first place, when land width = groove width,
The difference in the reproduction signal amplitude between the land and the groove is related to the phase difference depending on the groove shape and the phase difference between the phase transitions, but the difference in the reflected light amount between the land and the groove (that is, the difference in the reproduction signal amplitude) is It is also highly dependent on the degree of interference effect depending on the ratio of reflectance between transitions. That is, the mirror surface reflectance of the disk when the recording layer is in the crystalline state and the mirror surface portion of the disk when the recording layer is in the amorphous state
Larger one R high reflectance of the reflectance, when the smaller reflectivity and R low, if R low is sufficiently small compared to R high, the land by how interference substantially even trying phase difference is about to occur And the difference in the amount of reflected light from the groove is sufficiently small.

【0047】このことを実際に調べる目的で、我々は相
転移間位相差とRhigh、Rlow の異なるディスクを大量
に作製し、ランドとグルーブの再生信号振幅の差に与え
る影響を 調べた。その結果、本発明の請求項1で示し
たように、Rhighの範囲を10%から40%の範囲に限
定したディスクにおいて、 low /R high が0.15以
下とすることにより、相転移間位相差が任意の値でも、
L&G記録におけるランド記録の信号品質とグルーブ記
録の信号品質を同等にすることが可能であることを見い
出した。このために必要な low /R high の範囲の特定
は、各層の光学定数と膜厚を適切に選択することで実現
することができる。
For the purpose of actually investigating this, we made a large number of discs having different phase differences between phase transitions and R high and R low , and examined the influence on the difference in the reproduced signal amplitude between the land and the groove. As a result, as shown in claim 1 of the present invention, in the disk with a limited range of R high in the range of 10% to 40%, by R low / R high is 0.15 or less, the phase transition Even if the interphase difference is any value,
It has been found that it is possible to equalize the signal quality of land recording and the signal quality of groove recording in L & G recording. The specification of the range R low / R high necessary for this purpose can be realized by appropriately selecting the optical constants and the film thickness of each layer.

【0048】基板の溝深さについては、Jpn.J.A
ppl.Phys.Vol32(1993)pp.53
24−5328に記載されているように、グルーブ深さ
がλ/7n〜λ/5n(λ:再生光波長、n:基板の屈
折率)のときに隣接トラックからのクロストークが低減
されるため、この範囲にあることが望ましい。ここで、
溝幅、溝深さの測定方法について述べる。測定は、He
−Neレーザー光(波長630nm)を基板の溝の付い
ていない側から照射し、透過光について基板の溝により
回折した0次光強度I0 、1次光強度I1 、2次光強度
2 および回折光の角度を測定することにより行う。P
を溝ピッチ、wを溝幅、dを溝深さ、λをレーザー波
長、θを0次光と1次光の間の角度とした場合、溝が矩
形の時には、
Regarding the groove depth of the substrate, see Jpn. J. A
ppl. Phys. Vol 32 (1993) pp. 53
24-5328, crosstalk from adjacent tracks is reduced when the groove depth is λ / 7n to λ / 5n (λ: reproducing light wavelength, n: refractive index of substrate). , It is desirable to be in this range. here,
The measuring method of the groove width and the groove depth will be described. The measurement is He
-Ne laser light (wavelength: 630 nm) was irradiated from the side of the substrate having no groove, and the transmitted light was diffracted by the groove of the substrate to obtain 0-th order light intensity I 0 , first-order light intensity I 1 , and second-order light intensity I 2. And by measuring the angle of the diffracted light. P
Is the groove pitch, w is the groove width, d is the groove depth, λ is the laser wavelength, and θ is the angle between the 0th-order light and the 1st-order light.

【0049】[0049]

【数25】2 /I1 =cos2(πε) [ Equation 25] I 2 / I 1 = cos 2 (πε)

【0050】[0050]

【数26】 1 /I 0 ={2sin2(πε)(1−cosδ)} /[π2 {1−2ε(1−ε)(1−cosδ)}] Equation 26] I 1 / I 0 = {2sin 2 (πε) (1-cosδ)} / [π 2 {1-2ε (1-ε) (1-cosδ)}]

【0051】[0051]

【数27】 ε=w/P,δ=2(n−1)πd/λ (nは基板の屈折率) Equation 27] ε = w / P, δ = 2 (n-1) πd / λ (n is the refractive index of the substrate)

【0052】[0052]

【数28】 P=λ/sinθ の関係が成り立つため溝幅、溝深さが計算される。実際
の溝形状は完全な矩形ではないが、本発明における溝形
状は上記の測定法により溝の幅及び溝深さを一義的に決
定した値を用いている。
Since the relationship of P = λ / sin θ holds, the groove width and groove depth are calculated. Although the actual groove shape is not a perfect rectangle, the groove shape in the present invention uses the values that uniquely determine the groove width and groove depth by the above-described measurement method.

【0053】従って、本発明における溝形状は矩形から
ずれた場合であっても適用される。ランド又はグルーブ
のいずれのトラックに記録しても高い信号品質を保証す
る点においては、その点では前記位相差の限定のみなら
ず、記録層の相変化前後の光吸収率の比率をある範囲に
限定することで効果が増幅する。PWM記録では記録マ
ークの前端と後端に0又は1の情報を割り当てるため、
特にマーク前端と後端の形状が記録時に歪まないことが
特に要求される。
Therefore, the groove shape in the present invention can be applied even when it is deviated from the rectangular shape. In terms of ensuring high signal quality regardless of whether recording on the land or groove tracks, in that respect, not only the phase difference is limited but also the ratio of the optical absorptance before and after the phase change of the recording layer falls within a certain range. The effect is amplified by limiting. In PWM recording, since information of 0 or 1 is assigned to the front end and the rear end of the recording mark,
In particular, it is particularly required that the shapes of the front end and the rear end of the mark are not distorted during recording.

【0054】アモルファス記録マークの形成時の相変化
型記録層溶融に関係した重要パラメータとして、記録層
の吸収率がある。相変化型光ディスクの特徴として特公
平5−32811などにあるように1ビームオーバーラ
イトが挙げられる。1ビームオーバーライトでは、記録
前の記録層がアモルファス状態か結晶状態であるかによ
って、熱伝導率が異なるなどの理由によって昇温及び降
温過程が不均一となってしまい、記録マークが歪むこと
が指摘されている。
An absorptivity of the recording layer is an important parameter related to the melting of the phase-change recording layer when forming the amorphous recording mark. As one of the characteristics of the phase change type optical disk, one-beam overwriting can be mentioned as in Japanese Patent Publication No. 5-32811. In the one-beam overwrite, the heating and cooling processes may become non-uniform due to different thermal conductivity depending on whether the recording layer before recording is in an amorphous state or a crystalline state, and the recording mark may be distorted. It has been pointed out.

【0055】ここで、結晶状態の吸収率をAc 、アモル
ファス状態の吸収率をAa とおくことにする。例えば、
特開平5−298747に記載されているように、記録
層の吸収率において、アモルファス状態の吸収率よりも
結晶状態の吸収率を大きくした方が大きなCN比、高い
消去率ならびに広いパワー許容幅(マージン)を得られ
るという提案がある。
Here, the absorptance in the crystalline state is set as A c , and the absorptance in the amorphous state is set as A a . For example,
As described in JP-A-5-298747, in the absorptance of the recording layer, a larger absorptance in the crystalline state than in the amorphous state results in a larger CN ratio, a higher erasing rate and a wider power permissible range ( There is a proposal to get a margin).

【0056】しかしながら、我々の検討では結晶状態の
吸収率を必ずしもアモルファス状態の吸収率よりも著し
く大きくする必要はなく、鋭意検討を行った結果、CN
比や記録マークのジッタの点で、吸収率の比Ac /Aa
However, in our study, it is not necessary to make the absorptance in the crystalline state significantly higher than that in the amorphous state.
In terms of the ratio and the jitter of the recording mark, the ratio of absorptance A c / A a
But

【0057】[0057]

【数29】 0.84≦ Ac /Aa <1.01 の範囲にあるようにディスクの層構成を設計したディス
クにおいて特に優秀であることが判明した。
(29) It has been found that the disc is particularly excellent in the disc whose layer structure is designed so that 0.84 ≦ A c / A a <1.01.

【0058】これは、ディスクの回転速度がある限られ
た範囲にある場合に限らず、線速度1.4m/sから1
5m/sの広い範囲にわたってこの範囲内に吸収率比が
あるディスクにおいて、優秀であるという効果が顕著に
みられた。
This is not limited to the case where the rotational speed of the disk is within a certain limited range, and the linear velocity is from 1.4 m / s to 1
In the disk having the absorptance ratio within this range over a wide range of 5 m / s, the effect of being excellent was remarkably observed.

【0059】Ac /Aa が0.84未満であると、記録
トラック上にあらかじめ存在する記録マークの有無によ
ってオーバーライト時の記録層溶融の際の昇温・降温過
程にアンバランスが生じてマーク形状の歪み問題となる
上に、ディスクの初期状態(未記録状態)を高反射率、
記録状態を低反射率とするようなディスクにおいては、
記録感度が悪い方向であり、その点でもAc /Aa
0.84が望ましい。
When A c / A a is less than 0.84, an imbalance occurs in the temperature rising / cooling process at the time of melting the recording layer during overwriting, depending on the presence or absence of recording marks existing in advance on the recording track. In addition to the problem of mark shape distortion, the initial state of the disc (unrecorded state) has a high reflectance,
In the case of a disc with a low reflectance in the recorded state,
Recording sensitivity tends to be poor, and A c / A a
0.84 is desirable.

【0060】このような優れた特性を有するディスクを
得るには、記録層組成がGeとSbとTeを主成分とす
るカルコゲン系の相変化材料を厚み20±5nmの厚さ
に成膜することが特に望ましい。この膜厚よりも厚すぎ
ても薄すぎても繰り返し記録消去の回数が著しく低下し
てしまったり、記録パワーの許容幅(マージン)の低下
を招くことがある。
In order to obtain a disc having such excellent characteristics, a chalcogen-based phase change material whose recording layer composition is Ge, Sb, and Te as main components is formed into a film having a thickness of 20 ± 5 nm. Is especially desirable. If the thickness is too thick or too thin, the number of times of repeated recording and erasing may be significantly reduced, or the allowable width (margin) of the recording power may be reduced.

【0061】反射膜としては、感度や安定性を考慮する
と、AlとTi又はAlとTaの合金であることが望ま
しい。願わくば、Ti又はTaの含有量が0.5at%
から3.5at%であることが望ましく、このときディ
スクの反射率のロスが小さく、かつ適度な放熱層として
の役割を発揮することが実験により明らかとなった。
Considering sensitivity and stability, the reflective film is preferably an alloy of Al and Ti or Al and Ta. Hopefully, the Ti or Ta content is 0.5 at%
Therefore, it has been clarified by experiments that the loss of the reflectance of the disk is small and that the disk plays an appropriate role as a heat dissipation layer.

【0062】本発明のL&G用光ディスクは書換え可能
な光学的情報記録媒体であるが、一度だけ書換え可能な
ライトワンス型として使用することもできる。2度目の
記録消去ができないように、ドライブ側で情報の書き込
み禁止の信号をディスクに記録することにより容易に可
能となる。ディスクの作成法としては、あらかじめグル
ーブを形成した樹脂やガラスなどの基板ディスクにマグ
ネトロンDCスパッタリング、同RFスパッタリングな
どの通常の光学薄膜を形成する方法で作成できる。
Although the L & G optical disk of the present invention is a rewritable optical information recording medium, it can also be used as a write-once type that can be rewritten only once. This can be easily done by recording an information write prohibition signal on the disk on the drive side so that the second recording and erasing cannot be performed. The disk can be prepared by forming a normal optical thin film such as magnetron DC sputtering or RF sputtering on a substrate disk such as resin or glass in which grooves are formed in advance.

【0063】請求項1に記載の金属反射層の上に膜の保
護のために樹脂層を塗布又はスピンコートして作成する
ことが望ましい。本発明で誘電体層に用いる誘電体とし
ては、種々の組合せが可能であり、屈折率、熱伝導率、
化学的安定性、機械的強度、密着性等に留意して決定さ
れる。一般的には透明性が高く高融点であるMg,C
a,Sr,Y,La,Ce,Ho,Er,Yb,Ti,
Zr,Hf,V,Nb,Ta,Zn,Al,Si,G
e,Pb等の酸化物、硫化物、窒化物やCa,Mg,L
i等のフッ化物を用いることができる。
A resin layer is preferably applied or spin-coated on the metal reflective layer according to the first aspect in order to protect the film. The dielectric used in the dielectric layer of the present invention can be variously combined, and the refractive index, thermal conductivity,
It is determined by paying attention to chemical stability, mechanical strength, adhesion, etc. Generally, Mg and C, which have high transparency and high melting points
a, Sr, Y, La, Ce, Ho, Er, Yb, Ti,
Zr, Hf, V, Nb, Ta, Zn, Al, Si, G
e, Pb and other oxides, sulfides, nitrides, Ca, Mg, L
Fluorides such as i can be used.

【0064】このうちで、ZnSとSiO2 またはY2
3 の少なくとも一方の混合膜を用いる場合、望ましく
はSiO2 またはY2 3 の含量が5〜40mol%で
あると、記録したディスクの保存安定性に優れる。ディ
スクは片面のみを利用した単板仕様として使用できるほ
か、2枚のディスクを基板と反対側の面を向い合わせに
して貼り合わせることにより容量を倍増することができ
る。
Of these, ZnS and SiO 2 or Y 2
When a mixed film of at least one of O 3 is used, if the content of SiO 2 or Y 2 O 3 is preferably 5 to 40 mol%, the storage stability of the recorded disk is excellent. The disk can be used as a single plate specification using only one surface, and the capacity can be doubled by bonding two disks with the surfaces opposite to the substrates facing each other.

【0065】又、貼合せディスクとした場合にディスク
の両側に光ピックアップをセッティングした構造のドラ
イブを採用することにより、ディスクの入れ替えを全く
せずに、両面同時に記録消去再生が行える。これはレー
ザー照射側と反対側に磁石を必要とする光磁気型ディス
クでは行うことのできない重要な特徴である。
Further, in the case of a laminated disc, by adopting a drive having a structure in which optical pickups are set on both sides of the disc, recording / erasing / reproduction can be performed simultaneously on both sides without replacing the disc at all. This is an important feature that cannot be achieved with a magneto-optical disc that requires a magnet on the side opposite to the laser irradiation side.

【0066】本発明のディスクを設計するには、相変化
前後の反射光の位相差を正確に把握する必要がある。ま
た、願わくば前記Ac /Aa をも正確に把握して、ある
範囲内とすることがCN比や記録マークのジッタの点で
より望ましい。位相差の測定についてはレーザー干渉顕
微鏡などによって実測することができる。
In designing the disk of the present invention, it is necessary to accurately grasp the phase difference of the reflected light before and after the phase change. In addition, it is more desirable to accurately grasp the above A c / A a and set it within a certain range from the viewpoint of CN ratio and recording mark jitter. Can be measured, such as by measuring the For laser interference microscope of the phase difference.

【0067】Ac /Aaは多層構造の中の記録層のみの
吸収率比であるため、直接測定して知ることができな
い。しかしながら、相変化前後の反射光の位相差も吸収
率比Ac /Aaも各層の光学定数と膜厚を用いて計算に
よって求めることができる。計算方法は「分光の基礎と
方法」(工藤恵栄著、オーム社、1985)3章に詳し
く述べられている。
Since A c / A a is the absorptance ratio of only the recording layer in the multilayer structure, it cannot be determined by direct measurement. However, both the phase difference of the reflected light before and after the phase change and the absorptance ratio A c / A a can be calculated by using the optical constant and the film thickness of each layer. The calculation method is described in detail in Chapter 3 of "Fundamentals and Methods of Spectroscopy" (Kei Keiei, Ohmsha, 1985).

【0068】本実施例及び比較例における位相差、吸収
率比の計算値はこの文献に記載された方法に基づいて計
算を行った。各層の光学定数はあらかじめ単層膜をスパ
ッタリングな どの方法で作製し、エリプソメーターな
どで測定すればよい。本発明の光ディスクの記録・消去
・再生は対物レンズで集光した1ビームのレーザーを使
用し、回転する光ディスクの基板側から照射する。
The calculated values of the phase difference and the absorptance ratio in this example and the comparative example were calculated based on the method described in this document. The optical constant of each layer may be measured by an ellipsometer or the like after forming a single layer film by a method such as sputtering in advance. Recording / erasing / reproduction of the optical disc of the present invention uses a one-beam laser focused by an objective lens and irradiates from the substrate side of the rotating optical disc.

【0069】記録及び消去時にはパルス状に変調したレ
ーザービームを回転するディスクに照射し、記録層を結
晶状態又はアモルファス状態の2つの可逆的な状態に相
変化させ、記録状態又は消去状態(未記録状態)とす
る。このとき、オーバーライトにより、記録しながら記
録前に存在していたマークを同時に消去することもでき
る。
At the time of recording and erasing, the rotating disk is irradiated with a pulsed laser beam to change the recording layer into two reversible states, a crystalline state and an amorphous state, and a recording state or an erasing state (unrecorded state). State). At this time, by overwriting, it is possible to simultaneously erase the marks existing before recording while recording.

【0070】再生時には記録及び消去時のレーザーパワ
ーよりも低いパワーのレーザー光を回転するディスクに
照射する。このとき、再生直前の記録層の相状態を変化
させてはならない。反射光の強度変化をフォトディテク
タで検知して、記録又は未記録状態を判定することによ
り再生を行なう。
At the time of reproduction, a laser beam having a power lower than the laser power at the time of recording and erasing is applied to the rotating disk. At this time, the phase state of the recording layer immediately before reproduction should not be changed. Reproduction is performed by detecting a change in the intensity of reflected light with a photodetector and determining a recorded or unrecorded state.

【0071】[0071]

【実施例】以下、具体例をもって本発明をさらに詳しく
説明する。なお、実施例及び比較例で用いた基板ディス
クは全て同一のものを使用した。また、実施例及び比較
例で示したいずれの記録条件でも、ランドに記録した場
合のノイズレベルとグルーブに記録した場合のノイズレ
ベルは同程度であった。
The present invention will be described in more detail with reference to specific examples. The substrate disks used in Examples and Comparative Examples were all the same. Further, under any of the recording conditions shown in Examples and Comparative Examples, the noise level when recording on the land and the noise level when recording on the groove were about the same.

【0072】したがって、ランド記録とグルーブ記録に
おけるCN比の比較は、本実施例において単に記録キャ
リアレベルの比較と同義である。基板に形成したトラッ
キング用の溝幅(グルーブ幅)と前記溝間の幅(ランド
幅)は、隣接トラックからの信号のもれこみがいずれに
記録した場合においても小さくなるようにする目的では
1:1にするのが望ましい。
Therefore, the comparison of the CN ratio between the land recording and the groove recording is synonymous with the comparison of the recording carrier level in this embodiment. The width of the tracking groove (groove width) formed on the substrate and the width between the grooves (land width) are set to be 1 for the purpose of reducing the leakage of the signal from the adjacent track in any case. It is desirable to set it to: 1.

【0073】しかしながら、トラッククロス信号を確保
する目的、あるいは多数回の繰り返し記録消去などを行
った場合の特性の劣化を防止する観点から、ランドとグ
ルーブの最適な形状を考慮して、グルーブ幅とランド幅
の比率をクロストークに問題が生じない程度であれば、
1:1から意図的に若干ずらしてもよい。
However, from the viewpoint of ensuring the track cross signal or preventing the deterioration of the characteristics when recording and erasing are repeated many times, the groove width and groove width are considered in consideration of the optimum shapes of the land and the groove. If the land width ratio is such that crosstalk does not occur,
You may intentionally deviate slightly from 1: 1.

【0074】実施例1 基板材料はポリカーボネート(波長680nmのレーザ
ー光に対して屈折率1.56)を用い、グルーブ幅及び
ランド幅は共に0.65μmとした。グルーブ深さdは
約70nmとしたが、これは波長λ=680nmのと
き、約λ/(6n)に相当する。各層の膜厚を変化させ
たディスクを作製した。
Example 1 Polycarbonate (refractive index 1.56 for laser light having a wavelength of 680 nm) was used as the substrate material, and the groove width and the land width were both 0.65 μm . The groove depth d is set to about 70 nm, which corresponds to about λ / (6n) when the wavelength λ = 680 nm. Disks having different layer thicknesses were prepared.

【0075】膜厚、反射率、相転移間の反射率比、位相
差、記録層の吸収率比をまとめた一覧表を表1に示す。
いずれも本発明の光ディスクに含まれる。下部誘電体保
護層及び上部誘電体保護層はZnSとSiO2 (4:1
モル比)の混合物とした。
Table 1 shows a list of the film thickness, reflectance, reflectance ratio between phase transitions, phase difference and absorptance ratio of the recording layer.
Both are included in the optical disc of the present invention. The lower dielectric protection layer and the upper dielectric protection layer are made of ZnS and SiO 2 (4: 1
(Molar ratio).

【0076】記録層はレーザー照射によってアモルファ
ス層と結晶相で可逆的に相変化を起こすGeとSbとT
eを主成分とする材料を用い、組成比はGe:Sb:T
eをおよそ22:25:53(原子比)とした。
The recording layer is Ge, Sb, and T, which undergo a reversible phase change between the amorphous layer and the crystalline phase by laser irradiation.
A material containing e as a main component is used and the composition ratio is Ge: Sb: T.
e was set to about 22:25:53 (atomic ratio).

【0077】反射層にはAlにTaを2.5mol%を
含有する材料を用いた。全ての薄膜はスパッタリングに
より下部誘電体保護層/記録層/上部誘電体 保護層/
反射層の順に成膜した。スパッタリングによる成膜直後
は記録層はアモルファス状態であるため、レーザー光に
より全面アニールを施し、結晶状態に相変化させ、これ
を初期(未記録)状態とした。
For the reflective layer, a material containing 2.5 mol% of Ta in Al was used. All thin films are sputtered to lower dielectric protective layer / recording layer / upper dielectric protective layer /
The reflective layer was formed in this order. Since the recording layer is in an amorphous state immediately after film formation by sputtering, the entire surface was annealed by laser light to change the phase to a crystalline state, which was set to an initial (unrecorded) state.

【0078】したがって、記録についてはトラック上に
高パワーのレーザーの収束ビームを照射して、記録層を
アモルファス状 態に変化させ、その結果生じたアモル
ファス記録マークからの反射光量の変化によって、記録
マークの検出を行うことができる。次にディスクを線速
度3m/sで回転させ、680nmの半導体レーザー光
を開口数0.55の対物レンズで記録膜上に集光し、プ
ッシュプル方式でトラッキング制御を行いながら信号の
記録、再生を行った。
Therefore, for recording, the recording layer is irradiated with a convergent beam of a high-power laser to change the recording layer to an amorphous state, and the resulting change in the amount of reflected light from the amorphous recording mark causes the recording mark to change. Can be detected. Then, the disk is rotated at a linear velocity of 3 m / s, a 680 nm semiconductor laser beam is focused on the recording film by an objective lens with a numerical aperture of 0.55, and a signal is recorded and reproduced while tracking control is performed by a push-pull method. I went.

【0079】信号記録は以下のようにして行った。照射
パルスは1ビームオーバーライトを行なう目的で、半導
体レーザーの記録パワー、ベースパワー(消去パワ
ー)、再生パワーの3値で変調し、記録周波数は2.2
4MHz、デューティー比25%とした。再生パワーは
1.0mWと固定とした。
Signal recording was performed as follows. The irradiation pulse is modulated with three values of the recording power of the semiconductor laser, the base power (erasing power), and the reproducing power for the purpose of performing one-beam overwriting, and the recording frequency is 2.2.
The frequency was 4 MHz and the duty ratio was 25%. The reproduction power was fixed at 1.0 mW.

【0080】記録パワーとベースパワー(消去パワー)
の決め方は、まずベースパワーを4.5mWに固定して
記録パワーのみ変化させて記録し、スペクトラムアナラ
イザーを用いてキャリアレベルを測定し、キャリアレベ
ルが立ち上がるパワーを最適記録パワーとした。
Recording power and base power (erasing power)
First, the base power was fixed at 4.5 mW, only the recording power was changed and recording was performed, the carrier level was measured using a spectrum analyzer, and the power at which the carrier level rises was taken as the optimum recording power.

【0081】次に、記録パワーを最適記録パワーに固定
して、ベースパワー組合せを変化させ、記録パワーのジ
ッタが最小になるようなベースパワー(消去パワー)を
最適ベースパワー(消去パワー)とした。グルーブ部と
ランド部の10回オーバーライト記録後のCN比を表1
に示した。いずれの場合もランド部、グルーブ部ともに
良好な再生信号品質であった。
Next, the recording power is fixed to the optimum recording power, the base power combination is changed, and the base power (erasing power) that minimizes the jitter of the recording power is set as the optimum base power (erasing power). . Table 1 shows the CN ratio after overwriting recording 10 times on the groove and land.
It was shown to. In each case, the quality of the reproduced signal was good in both the land portion and the groove portion.

【0082】[0082]

【表1】 [Table 1]

【0083】実施例2 記録層のGe:Sb:Te組成を2:2:5とし、その
他の点で実施例1と全く同様にしてディスクを作製し
た。この記録層組成は実施例1の記録層に比べて結晶化
速度がはやいため、よりディスクの線速度又は回転速度
が早い場合に適している。
Example 2 A disk was produced in the same manner as in Example 1 except that the Ge: Sb: Te composition of the recording layer was 2: 2: 5. This recording layer composition has a faster crystallization rate than the recording layer of Example 1, and is suitable for a case where the linear velocity or the rotational velocity of the disc is higher.

【0084】これらのディスクを線速度10m/sで回
転させ、実施例1と同様な記録再生実験を行った。その
結果、実施例1の場合と記録パワー及びベースパワー
(消去パワー)が異なるものの、そのほかの点では、反
射率や相転移間位相差などの静特性やCN比などの動特
性ともに、ほぼ同様な実験結果が得られた。
These disks were rotated at a linear velocity of 10 m / s, and the same recording / reproducing experiment as in Example 1 was conducted. As a result, although the recording power and the base power (erasing power) are different from those in the first embodiment, in other points, the static characteristics such as the reflectance and the phase difference between phase transitions and the dynamic characteristics such as the CN ratio are almost the same. The experimental results were obtained.

【0085】比較例1 実施例1の比較例として各層の膜厚のみを変更したディ
スクを作製した。記録層のGe:Sb:Te組成は2
2:25:53である。各層の膜厚、反射率、相転移間
の反射率比、位相差、記録層の吸収率比をまとめた一覧
表を表2に示す。
Comparative Example 1 As a comparative example of Example 1, a disk was prepared in which only the film thickness of each layer was changed. The Ge: Sb: Te composition of the recording layer is 2
It is 2:25:53. Table 2 shows a list of the film thickness of each layer, the reflectance, the reflectance ratio between phase transitions, the phase difference, and the absorptance ratio of the recording layer.

【0086】いずれのディスクも本発明の光ディスクの
範中には含まれない。信号記録及び評価は実施例1と同
様に行った。ディスクの線速度は3m/sとした。評価
結果を表2に示す。このように、実施例1のディスクと
異なり、ランド部とグルーブ部の再生信号品質に大きな
差が生じてしまった。
Neither disc is included in the scope of the optical disc of the present invention. Signal recording and evaluation were performed in the same manner as in Example 1. The linear velocity of the disk was 3 m / s. The evaluation results are shown in Table 2. As described above, unlike the disc of the first embodiment, there is a large difference in the reproduction signal quality between the land portion and the groove portion.

【0087】また、記録層の吸収率比が本発明の範囲外
のディスクにおいては記録マークのジッタが実施例1の
ディスクに比べて悪化していた。
Further, in the disc having the absorptance ratio of the recording layer outside the range of the present invention, the jitter of the recording mark was worse than that of the disc of Example 1.

【0088】[0088]

【表2】 [Table 2]

【0089】比較例2 実施例2の比較例として各層の膜厚のみを変更したディ
スクを作製した。記録層のGe:Sb:Te組成は2:
2:5とし、その他の点で比較例1と全く同様にディス
クを作製した。いずれのディスクも本発明の光ディスク
の範中には含まれない。
Comparative Example 2 As a comparative example of Example 2, a disk was prepared in which only the film thickness of each layer was changed. The Ge: Sb: Te composition of the recording layer is 2:
A disk was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except for 2: 5. Neither disc is included in the scope of the optical disc of the present invention.

【0090】ディスクの線速度は実施例2と同様に10
m/sとし、信号記録及び評価は実施例2と同様に行っ
た。その結果、比較例1の場合と記録パワー及びベース
パワー(消去パワー)が異なるものの、そのほかの点で
は、反射率や相転移間位相差などの静特性やCN比など
の動特性ともに、ほぼ同様な実験結果が得られた。
The linear velocity of the disk is 10 as in the second embodiment.
m / s, and signal recording and evaluation were performed in the same manner as in Example 2. As a result, although the recording power and the base power (erasing power) are different from those in Comparative Example 1, the static characteristics such as the reflectance and the phase difference between phase transitions and the dynamic characteristics such as the CN ratio are almost the same in other points. The experimental results were obtained.

【0091】すなわち、ランド部とグルーブ部の再生信
号品質に大きな差が生じてしまった。また、記録層の吸
収率比が本発明の範囲外のディスクにおいては記録マー
クのジッタが実施例2のディスクに比べて悪化してい
た。
That is, there is a large difference in the reproduced signal quality between the land portion and the groove portion. Further, in the disc having the absorptance ratio of the recording layer outside the range of the present invention, the recording mark jitter was worse than that of the disc of Example 2.

【0092】[0092]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明による
光記録媒体および記録再生方法によれば、ランドとグル
ーブの両方に信号を記録しても溝深さが限定されている
ために隣接トラックからのクロストークを低減すること
ができる。また、再生光の波長と同じ波長を有するコヒ
ーレント光に対する未記録領域からの反射光の反射率と
記録領域からの反射光の反射率の比率を規定しているた
めに、ランド部の記録マークのキャリアレベルとグルー
ブ部のキャリアレベルの間の好ましからざる差を解消で
きる。
As described above in detail, according to the optical recording medium and the recording / reproducing method of the present invention, even if a signal is recorded on both the land and the groove, the groove depth is limited, so that the adjacent tracks are adjacent. Crosstalk from can be reduced. Further, since the ratio of the reflectance of the reflected light from the unrecorded area to the coherent light having the same wavelength as the reproduction light and the reflectance of the reflected light from the recording area is defined, the recording mark of the land portion The undesired difference between the carrier level and the carrier level of the groove part can be eliminated.

【0093】したがってランド部とグルーブ部のいずれ
に記録しても同等なレベルの再生信号振幅が得られ、高
品質で高信頼性のランドグルーブ記録用ディスクを提供
できる。また、本発明の光記録媒体の記録層がアモルフ
ァス状態の場合に記録層に吸収される照射光の光の割合
と、前記記録層が結晶状態の場合に記録層に吸収される
照射光の光の割合の比率、すなわち、記録層がアモルフ
ァス相である場合をAa 、記録層が結晶状態である場合
をAc としたとき、結晶状態とアモルファス状態の吸収
率の比Ac /Aa
Therefore, a reproduction signal amplitude of the same level can be obtained regardless of whether recording is made on the land portion or the groove portion, and a high quality and highly reliable land groove recording disk can be provided. Further, the ratio of the irradiation light absorbed by the recording layer when the recording layer of the optical recording medium of the present invention is in the amorphous state, and the irradiation light absorbed by the recording layer when the recording layer is in the crystalline state. Where Aa is the case where the recording layer is in the amorphous phase and Ac is the case where the recording layer is in the crystalline state, the ratio of the absorption rate between the crystalline state and the amorphous state, A c / A a ,

【0094】 0.84 ≦ Ac /Aa < 1.01 の範囲に規定することにより、高CN比かつ記録マーク
のジッタの低い優れた特性を保証でき、優れたディスク
を提供できる。
By defining the range of 0.84 ≦ A c / A a <1.01, excellent characteristics with a high CN ratio and low recording mark jitter can be guaranteed, and an excellent disc can be provided.

【0095】さらに、本発明の光記録媒体を用いること
により、溝上と溝間の両方を記録領域として用い、いず
れの領域にも700nm以下の波長のレーザーの1ビー
ムオーバーライトによって記録、消去、再生せしめるこ
とを特徴とする記録再生方法を供することができる。
Further, by using the optical recording medium of the present invention, both on and between the grooves are used as recording areas, and any area is recorded, erased, and reproduced by one-beam overwrite of a laser having a wavelength of 700 nm or less. It is possible to provide a recording / reproducing method characterized in that

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例における光ディスクの溝形状と照射レー
ザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜
視図
FIG. 1 is an enlarged perspective view for explaining a positional relationship between a groove shape of an optical disk and a converged beam of irradiation laser light in an example.

【図2】実施例における光ディスクの溝形状と照射レー
ザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜
視図
FIG. 2 is an enlarged perspective view for explaining the positional relationship between the groove shape of the optical disc and the convergent beam of the irradiation laser light in the example.

【図3】実施例における光ディスクの溝形状と照射レー
ザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜
視図
FIG. 3 is an enlarged perspective view for explaining the positional relationship between the groove shape of the optical disc and the convergent beam of the irradiation laser light in the example.

【図4】実施例における光ディスクの溝形状と照射レー
ザー光の収束ビームの位置関係を説明するための拡大斜
視図
FIG. 4 is an enlarged perspective view for explaining the positional relationship between the groove shape of the optical disc and the convergent beam of the irradiation laser light in the example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 記録層 3 ランド部 4 グルーブ部 5 収束ビーム 6 ランドに照射された収束ビームの領域 7 グルーブに照射された収束ビームの領域 8 記録マーク 1 substrate 2 recording layers 3 land section 4 Groove part 5 Focused beam Area of convergent beam irradiated on 6 lands 7 Area of convergent beam irradiated on the groove 8 record marks

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G11B 7/00 B41M 5/26 X (56)参考文献 特開 平7−311980(JP,A) 特開 平7−287872(JP,A) 特開 平6−215415(JP,A) 特開 平5−159360(JP,A) 特開 平3−113844(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/24 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI G11B 7/00 B41M 5/26 X (56) References JP-A-7-311980 (JP, A) JP-A-7-287872 ( JP, A) JP 6-215415 (JP, A) JP 5-159360 (JP, A) JP 3-113844 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 7/24

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 溝が形成された透明基板上に、誘電体
層、相変化型記録層、誘電体層、金属反射層を順次積層
した構成からなり、前記溝上と溝間の両方を記録領域と
して用い、700nm以下の波長のレーザー光を照射す
ることによって情報の記録、消去、再生を行なう光記録
媒体であって、 (1)溝幅が0.1μm以上0.7μm以下、溝間の幅
が0.1μm以上0.7μm以下で、溝幅と溝間の幅が
ほぼ等しく、かつ溝深さdが以下に示す不等式を満た
し、 【数1】λ/7n < d < λ/5n (λ:照射光の波長、n:基板の屈折率、d:溝の深
さ) (2)下記で定義される未記録領域からの反射光と記録
領域からの反射光のうち、反射率の大きい方をR
high(%)、低い方をRlow (%)とし、未記録領域と
記録領域からの反射光の位相差を2παとすると、 【数2】10 ≦ Rhigh ≦ 40 【数3】Rlow /Rhigh ≦ 0.15 mπ≠2πα (mは整数) ただし、2πα =(未記録領域からの反射光の位相)−(記録領
域からの反射光の位相) の3つの条件を満たし、 波長λの照射レーザー光のうち、前記記録層で吸収され
る比率を記録層がアモルファス相である場合をA a 、記
録層が結晶状態である場合をA c としたとき、結晶状態
とアモルファス状態の吸収率の比A c /A a 【数4】0.84 ≦ A c /A a < 1.01 である ことを特徴とする光記録媒体。
1. A transparent substrate on which a groove is formed, and a dielectric layer, a phase-change recording layer, a dielectric layer, and a metal reflective layer are sequentially laminated on the transparent substrate. as used, the recording of information by irradiating a laser beam having a wavelength of not more than 700 nm, erase, an optical recording medium to reproduce, (1) the groove width is 0.1μm or more 0.7μm or less, the width between the grooves is 0.1 μm or more and 0.7 μm or less, the groove width and the width between the grooves are
Almost equal and the groove depth d satisfies the following inequality: λ / 7n <d <λ / 5n (λ: wavelength of irradiation light, n: refractive index of substrate, d: depth of groove (2) Of the reflected light from the unrecorded area and the reflected light from the recorded area defined below, the one with the higher reflectance is R
high (%), lower the the R low (%), the unrecorded area and When 2πα the phase difference between the reflected light from the recording area, Equation 2] 10 ≦ R high ≦ 40 Equation 3] R low / R high ≦ 0.15 mπ ≠ 2πα (m is an integer) where 2πα = (phase of reflected light from unrecorded area) − (phase of reflected light from recording area) is satisfied, and Of the irradiated laser light, it is absorbed in the recording layer
That when the recording layer is amorphous phase ratio A a, serial
When the recording layer is in the crystalline state, A c is the crystalline state.
An optical recording medium, wherein the ratio A c / A a in the absorption rate of the amorphous state Equation 4 is a 0.84 ≦ A c / A a < 1.01.
【請求項2】 記録層が、Ge、Sb、Teを主成分と
する合金からなり、厚みが20±5nmである請求項1
に記載の光記録媒体。
Wherein the recording layer is made of an alloy mainly Ge, Sb, and Te, claim thickness of 20 ± 5 nm 1
The optical recording medium according to 1.
【請求項3】 反射層がAlとTiまたはTaの合金で
あり、TiまたはTaの含有量が0.5〜3.5at%
であることを特徴とする請求項1または2に記載の光記
録媒体。
3. The reflection layer is an alloy of Al and Ti or Ta, and the content of Ti or Ta is 0.5 to 3.5 at%.
The optical recording medium according to claim 1 or 2 , wherein
【請求項4】 下部誘電体保護層と上部誘電体保護層の
うちの一方かまたは両方が、ZnSとSiO2 またはY
23 のうちのいずれか一方との混合膜であり、SiO
2 またはY23 の含量が5〜40mol%であること
を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光記録媒
体。
4. One or both of the lower dielectric protective layer and the upper dielectric protective layer comprises ZnS and SiO 2 or Y.
SiO 2 is a mixed film with one of 2 O 3 and
The optical recording medium according to claim 1 , wherein the content of 2 or Y 2 O 3 is 5 to 40 mol%.
【請求項5】 請求項1に記載の光記録媒体を用い、溝
上と溝間の両方を記録領域として用い、いずれの領域に
も700nm以下の波長のレーザーの1ビームオーバー
ライトによって記録、消去、再生せしめることを特徴と
する記録再生方法。
5. The optical recording medium according to claim 1, wherein both the groove and the groove are used as recording areas, and recording and erasing in both areas by one-beam overwriting with a laser having a wavelength of 700 nm or less, A recording / reproducing method characterized by reproducing.
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