JP3623410B2

JP3623410B2 - Cleaning brush

Info

Publication number: JP3623410B2
Application number: JP28448299A
Authority: JP
Inventors: 昭彦鵜澤
Original assignee: 株式会社ユーティーケー・システム
Priority date: 1999-10-05
Filing date: 1999-10-05
Publication date: 2005-02-23
Anticipated expiration: 2019-10-05
Also published as: JP2001104052A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に使用する洗浄用ブラシに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶ディスプレイや半導体基板等のワークの洗浄工程では、洗浄用ブラシを用いた洗浄が行われ、純水または洗浄液をシャワーしながらブラシに回転を与え、ワークのこすり洗いを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の洗浄用ブラシでは、純水または洗浄液をシャワーしながら洗浄しているものの、ワークから除去した異物やブラシ自身の摩耗粉がブラシ内部に滞留してしまって、それらを速やかに流し落とすことができず、滞留した異物や摩耗粉でワーク表面を再汚染し、またその表面に傷（スクラッチ）を付けてしまい、したがって、要求されているようなる高度の洗浄品質を達成できなくなっている。
【０００４】
この発明は上記に鑑み提案されたもので、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することのできる洗浄用ブラシを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、洗浄用ブラシであって、外表面に多数のブラシ毛を植毛した円筒状のブラシ本体と、上記ブラシ本体の内部の軸方向両端側に設けられた軸受を介して設けたシャフトと、上記シャフトの内部に軸方向に形成され、上記軸受の少し内方の２カ所においてシャフトとブラシ本体との間の空部に連通する流体出口を備える流路孔と、上記ブラシ本体の植毛部分に形成され、上記空部に連通するとともにその植毛部分に流体出口を備える本体側流体通路と、上記シャフトの流路孔に供給されその流路孔の流体出口から空部に導入された流体の流れを受けてブラシ本体を回転させる回転駆動部と、を備え、上記回転駆動部は、上記流路孔の流体出口の各々よりさらに軸方向で少し内方の２カ所に設けられ、シャフトに固定された固定翼と、ブラシ本体の内周面に固定された回転翼とからなり、上記シャフトの流路孔に供給された流体は、軸方向両端側の流体出口から出て、シャフトとブラシ本体との間の空部に入り、回転駆動部、本体側流体通路、およびブラシ毛の植毛根部分を経由して排出される、ことを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。先ず第１の実施形態を図１、図２および図３を用いて説明する。
【００１１】
図１はこの発明の洗浄用ブラシの構成を示す正面断面図、図２は図１のＩ−Ｉ線断面図、図３は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。これらの図において、この発明の洗浄用ブラシ１は、外表面に多数のブラシ毛７…を植毛した円筒状のブラシ本体５と、ブラシ本体５の内部に軸受４ａ，４ｂを介して設けたシャフト３とを備えている。
【００１２】
ブラシ本体５の適宜複数の箇所には、シャフト３との間の空部Ｒに連通する本体側流体通路６を穿設してあり、空部Ｒに流入した流体は、この本体側流体通路６を通り、ブラシ毛７…の植毛根部分７ａを流体出口として外部に排出されるようになっている。
【００１３】
シャフト３は、その両端側が支持部３１等に挟持固定されている。このシャフト３の内部には、一端側が開口する流路孔２が軸方向に沿って形成されている。また、シャフト３とブラシ本体５との間には、ブラシ本体５の両端側に相当する位置にそれぞれ、上記した軸受４ａ，４ｂが嵌着してある。シャフト３には、この軸受４ａ，４ｂのそれぞれ少し内方に、流路孔２から空部Ｒに連通する、四方に開口した流体出口８ａ，８ｂが穿設されている。
【００１４】
この流体出口８ａ，８ｂのさらに少し内方には、シャフト３とブラシ本体５との間に回転駆動部９ａ，９ｂが設けられている。この回転駆動部９ａ，９ｂはそれぞれ、シャフト３の外周面に固定された固定翼９１ａ，９１ｂと、ブラシ本体５の内周面に固定された回転翼９２ａ，９２ｂとを備えている。回転駆動部９ａ，９ｂは、流路孔２に供給されその流体出口８ａ，８ｂから空部Ｒに導入された流体の流れを受けると、固定翼９１ａ，９１ｂがその流れを斜流とし、その斜流で回転翼９２ａ，９２ｂが回転するようになっている。そして、この回転翼９２ａ，９２ｂの回転と一体にブラシ本体５が回転する。
【００１５】
上記構成を有する洗浄用ブラシ１において、シャフト３の一端側開口から流路孔２に供給された流体は、前段側の流体出口８ａもしくは後段側の流体出口８ｂを通って、空部Ｒに入り、回転駆動部９ａ，９ｂに流入して、ブラシ本体５を回転させ、その回転駆動部９ａ，９ｂを通った後、複数箇所に形成した本体側流体通路６に入り、植毛根部分７ａから外部に排出される。
【００１６】
このように、この第１の実施形態では、ブラシ本体５の内側から供給した流体でブラシ本体５を回転させることで、ワークをブラシ毛７…でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路６を介して植毛根部分７ａから外部に排出するようにしたので、ブラシ毛７…内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛７…の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によるワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００１７】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシ１を回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００１８】
次に、第２の実施形態を図４および図５を用いて説明する。
【００１９】
図４はこの発明の第２の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図５は図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。これらの図において、第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０は、シャフト１３とブラシ本体１５とを備え、シャフト１３は、内部に軸方向に形成され一端側に軸方向とは直角に四方向の流体出口１８を有する流路孔１２と、その流体出口１８より他端寄りに設けた拡径開口部１３０とを備えている。
【００２０】
また、ブラシ本体１５は、厚肉円盤状のプレート部１５１と、そのプレート部１５１の外径より小さい径でプレート部１５１の裏面に立設された周壁部１５２とからなり、一端側の周壁部１５２がシャフト１３の拡径開口部１３０に軸受１４を介して回転自在に嵌着されるとともに、他端側のプレート部１５１外表面に多数のブラシ毛１７…が植毛されている。このブラシ本体１５のプレート部１５１の適宜複数の箇所には、プレート部１５１とシャフト１３との間であって周壁部１５２に囲まれている空部Ｒ１に連通する本体側流体通路１６を穿設してあり、空部Ｒ１に流入した流体は、この本体側流体通路１６を通り、ブラシ毛１７…の植毛根部分１７ａを流体出口として外部に排出されるようになっている。
【００２１】
上記のシャフト１３の流体出口１８のさらに少し一端寄りには、シャフト１３と、ブラシ本体１５の周壁部１５２との間に回転駆動部１９が設けられている。この回転駆動部１９は、シャフト１３の外周面に固定された固定翼１９１と、ブラシ本体１５の周壁部１５２内周面に固定された回転翼１９２とを備えている。回転駆動部１９は、流路孔１２に供給されその流体出口１８から空部Ｒ１に導入された流体の流れを受けると、固定翼１９１がその流れを斜流とし、その斜流で回転翼１９２が回転するようになっている。そして、この回転翼１９２の回転と一体にブラシ本体１５が回転する。
【００２２】
上記構成を有する洗浄用ブラシ１０において、シャフト１３の他端側開口（図示省略）から流路孔１２に供給された流体は、流体出口１８を通って、空部Ｒ１に入り、回転駆動部１９に流入して、ブラシ本体１５を回転させ、その回転駆動部１９を通った後、複数箇所に形成した本体側流体通路１６に入り、植毛根部分１７ａから外部に排出される。
【００２３】
このように、この第２の実施形態においても、上記した第１の実施形態の場合と同様に、ブラシ本体１５の裏面側から供給した流体でブラシ本体１５を回転させることで、ワークをブラシ毛１７…でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路１６を介して植毛根部分１７ａから外部に排出するようにしたので、ブラシ毛１７…内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛１７…の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によるワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００２４】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシ１０を回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００２５】
次に、第３の実施形態を図６および図７を用いて説明する。
【００２６】
図６はこの発明の第３の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図７は図６のＩＶ−ＩＶ線断面図である。この第３の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０が、上記した第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０と相違する点は、シャフト１３に形成する流体出口２８を、図６に示すように、シャフト軸方向に対して斜め下方に向け、かつ図７に示すように、周方向に傾けて三方向に形成した点であり、また、回転駆動部２９を固定翼２９１のみで形成した点である。このように構成することで、流路孔１２を導かれて流体出口２８の三方向の出口から噴出した流体は、直接固定翼２９１に斜流となってぶつかり、固定翼２９１を回転させ、ブラシ本体１５を回転させる。
【００２７】
したがって、この第３の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０は、より簡単な構成の下で、上記した高度の洗浄品質の達成やクリーンな環境での洗浄を可能とする。
【００２８】
次に、第４の実施形態を図８および図９を用いて説明する。
【００２９】
図８はこの発明の第４の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図９は図８のＶ−Ｖ線断面図である。この第４の実施形態に係る洗浄用ブラシ３０が、上記した第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０と相違する点は、シャフト１３の流路孔１２の終端に拡幅部３２０を設け、その拡幅部３２０に流体出口３８を形成するとともに、その流体出口３８を、図８に示すように、シャフト軸方向に対して斜め下方に向け、かつ図９に示すように、周方向に傾けて六方向に形成した点であり、また、ブラシ本体１５の周壁部１５２の内周面に固定する回転駆動部３９を、円環状のプレートで構成し、そのプレート内周面を鋸歯状とした点である。
【００３０】
このように構成することで、流路孔１２を導かれて流体出口３８の六方向の出口から噴出した流体は、直接回転駆動部３９の鋸歯状のプレート内周面に斜流となってぶつかり、回転駆動部３９を回転させ、ブラシ本体１５を回転させる。
【００３１】
したがって、この第４の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０は、複雑な形状となる回転翼や固定翼を用いることなく、さらに一層簡単な構成の下で、上記した高度の洗浄品質の達成やクリーンな環境での洗浄を可能とする。
【００３２】
なお、上記した第１の実施形態では、ブラシ本体５の適宜複数の箇所に本体側流体通路６を形成するように構成したが、図１０に示すように、この本体側流体通路６をブラシ本体５に多数存在する植毛根部分７ａの各々に形成するようにしてもよい。また、同様に、上記した第２〜第４の実施形態では、ブラシ本体１５の適宜複数の箇所に本体側流体通路１６を形成するように構成したが、図１１に示すように、この本体側流体通路１６をブラシ本体１５に多数存在する植毛根部分１７ａの各々に形成するようにしてもよい。
【００３３】
このように構成することで、ブラシ毛７，１７内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を流し落とす作用がより強められ、したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのをより確実に防止することができ、より一層高度の洗浄品質を達成することができるようになる。
【００３４】
【発明の効果】
この発明は上記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。
【００３５】
請求項１に記載の発明では、ブラシ本体の内側から供給した流体でブラシ本体を回転させることで、ワークをブラシ毛でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路を介して植毛根部分から外部に排出するようにしたので、ブラシ毛内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００３６】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシを回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００３７】
また、この発明では、流体通路をブラシ本体の植毛部分に対応して設けたので、ブラシ毛内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を流し落とす作用がより強められ、したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのをより確実に防止することができ、より一層高度の洗浄品質を達成することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の洗浄用ブラシの構成を示す正面断面図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ線断面図である。
【図３】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図４】この発明の第２の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図５】図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図６】この発明の第３の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図７】図６のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図８】この発明の第４の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図９】図８のＶ−Ｖ線断面図である。
【図１０】第１の実施形態においてブラシ毛の各植毛根部分に本体側流体通路を形成した場合を示す図である。
【図１１】第２〜第４の実施形態においてブラシ毛の各植毛根部分に本体側流体通路を形成した場合を示す図である。
【符号の説明】
１洗浄用ブラシ
２流路孔
３シャフト
４ａ軸受
４ｂ軸受
５ブラシ本体
６本体側流体通路
７ブラシ毛
７ａ植毛根部分
８ａ流体出口
８ｂ流体出口
９ａ回転駆動部
９ｂ回転駆動部
１０洗浄用ブラシ
１２流路孔
１３シャフト
１４軸受
１５ブラシ本体
１６本体側流体通路
１７ブラシ毛
１７ａ植毛根部分
１８流体出口
１９回転駆動部
２０洗浄用ブラシ
２８流体出口
２９回転駆動部
３０洗浄用ブラシ
３１支持部
３８流体出口
３９回転駆動部
９１ａ固定翼
９１ｂ固定翼
９２ａ回転翼
９２ｂ回転翼
１３０拡径開口部
１５１プレート部
１５２周壁部
１９１固定翼
１９２回転翼
２９１固定翼
３２０拡幅部
Ｒ空部
Ｒ１空部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaning brush used for cleaning a liquid crystal display or a semiconductor substrate.
[0002]
[Prior art]
In recent years, in a cleaning process of a workpiece such as a liquid crystal display or a semiconductor substrate, cleaning using a cleaning brush is performed, and the workpiece is rubbed by rotating the brush while showering pure water or cleaning liquid.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above conventional cleaning brush, although cleaning is performed while showering with pure water or cleaning liquid, foreign matter removed from the work and abrasion powder of the brush itself remain in the brush, and they are quickly washed away. The surface of the workpiece cannot be removed, and the surface of the workpiece is recontaminated with the accumulated foreign matter or wear powder, and the surface is scratched. Therefore, the required high cleaning quality cannot be achieved. Yes.
[0004]
The present invention has been proposed in view of the above, and an object thereof is to provide a cleaning brush capable of achieving a high cleaning quality required for cleaning liquid crystal displays, semiconductor substrates, and the like.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is a cleaning brush, a cylindrical brush body in which a large number of bristles are implanted on the outer surface, and both axial ends of the brush body. A shaft provided via a bearing provided on the side, and a fluid outlet formed in the axial direction inside the shaft and communicating with a space between the shaft and the brush body at two locations slightly inward of the bearing A body-side fluid passage that is formed in a flocked portion of the brush body, communicates with the empty portion, and has a fluid outlet at the flocked portion, and is supplied to the channel hole of the shaft. A rotation drive unit that rotates the brush body in response to the flow of the fluid introduced from the fluid outlet of the hole into the empty portion, and the rotation drive unit is further axial in the direction of each of the fluid outlets of the channel hole. A little inward two places The fixed wing fixed to the shaft and the rotating wing fixed to the inner peripheral surface of the brush body, the fluid supplied to the flow path hole of the shaft exits from the fluid outlets at both axial ends. It is characterized in that it enters the space between the shaft and the brush body and is discharged via the rotational drive part, the body-side fluid passage, and the flocked root part of the brush hair .
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a first embodiment will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG.
[0011]
FIG. 1 is a front sectional view showing the structure of the cleaning brush of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. In these drawings, the cleaning brush 1 of the present invention includes a cylindrical brush body 5 in which a large number of brush bristles 7 are planted on the outer surface, and a shaft provided inside the brush body 5 via bearings 4a and 4b. 3 is provided.
[0012]
A main body side fluid passage 6 communicating with the hollow portion R between the brush body 5 and the shaft 3 is formed at appropriate locations in the brush main body 5. , And the hair root portion 7a of the brush bristles 7 is discharged to the outside as a fluid outlet.
[0013]
Both ends of the shaft 3 are clamped and fixed to the support portion 31 and the like. Inside the shaft 3, a flow path hole 2 opened at one end side is formed along the axial direction. Further, between the shaft 3 and the brush body 5, the above-described bearings 4 a and 4 b are fitted at positions corresponding to both ends of the brush body 5, respectively. The shaft 3 is formed with fluid outlets 8a and 8b that are open in four directions and communicate with the hollow portion R from the flow path hole 2 slightly inside the bearings 4a and 4b.
[0014]
Rotation drive units 9a and 9b are provided between the shaft 3 and the brush body 5 slightly further inside the fluid outlets 8a and 8b. Each of the rotation drive units 9 a and 9 b includes fixed blades 91 a and 91 b fixed to the outer peripheral surface of the shaft 3, and rotary blades 92 a and 92 b fixed to the inner peripheral surface of the brush body 5. When the rotational drive units 9a and 9b receive the flow of the fluid supplied to the flow path hole 2 and introduced into the void R from the fluid outlets 8a and 8b, the fixed blades 91a and 91b make the flow a diagonal flow, The rotor blades 92a and 92b are rotated by the mixed flow. And the brush main body 5 rotates integrally with rotation of these rotary blades 92a and 92b.
[0015]
In the cleaning brush 1 having the above-described configuration, the fluid supplied to the flow path hole 2 from the opening on one end side of the shaft 3 enters the empty portion R through the fluid outlet 8a on the front stage side or the fluid outlet 8b on the rear stage side. , Flows into the rotation drive units 9a and 9b, rotates the brush body 5, passes through the rotation drive units 9a and 9b, enters the body-side fluid passage 6 formed at a plurality of locations, and enters the external portion from the flocked root portion 7a. To be discharged.
[0016]
As described above, in the first embodiment, by rotating the brush body 5 with the fluid supplied from the inside of the brush body 5, the work is rubbed and cleaned with the brush bristles 7. 6 so that the foreign matter and abrasion powder that tends to stay inside the bristle 7... Are quickly removed by the fluid flowing from the root side of the bristle 7. Can be washed away. Therefore, it is possible to prevent the surface of the workpiece from being recontaminated or scratched by the staying foreign matter or wear powder, and it is possible to achieve a high cleaning quality required for cleaning a liquid crystal display or a semiconductor substrate.
[0017]
In addition, since the cleaning brush 1 is rotated without using a motor drive source, cleaning can be performed at low cost, and noise can be reduced, and cleaning in a clean environment is possible.
[0018]
Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS.
[0019]
FIG. 4 is a front sectional view showing the configuration of the main part of the cleaning brush according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. In these drawings, the cleaning brush 10 according to the second embodiment includes a shaft 13 and a brush body 15, and the shaft 13 is formed in the axial direction inside and has four directions perpendicular to the axial direction at one end side. The fluid passage hole 12 having the fluid outlet 18 and the enlarged diameter opening 130 provided closer to the other end than the fluid outlet 18 are provided.
[0020]
The brush body 15 includes a thick disc-shaped plate portion 151 and a peripheral wall portion 152 standing on the back surface of the plate portion 151 with a diameter smaller than the outer diameter of the plate portion 151, and a peripheral wall portion on one end side. 152 is rotatably fitted to the diameter-expanded opening 130 of the shaft 13 via the bearing 14 and a large number of brush hairs 17 are implanted on the outer surface of the plate portion 151 on the other end side. A body-side fluid passage 16 communicating with the empty portion R1 between the plate portion 151 and the shaft 13 and surrounded by the peripheral wall portion 152 is formed in a plurality of appropriate portions of the plate portion 151 of the brush body 15. The fluid that has flowed into the empty portion R1 passes through the main body side fluid passage 16 and is discharged to the outside using the flocked root portion 17a of the bristles 17 as a fluid outlet.
[0021]
A rotation drive unit 19 is provided between the shaft 13 and the peripheral wall 152 of the brush body 15 at a little closer end to the fluid outlet 18 of the shaft 13. The rotation drive unit 19 includes a fixed blade 191 fixed to the outer peripheral surface of the shaft 13 and a rotary blade 192 fixed to the inner peripheral surface of the peripheral wall 152 of the brush body 15. When the rotation drive unit 19 receives the flow of the fluid supplied to the flow path hole 12 and introduced from the fluid outlet 18 to the empty portion R1, the fixed blade 191 makes the flow a diagonal flow, and the mixed flow causes the rotary blade 192 to rotate. Is designed to rotate. Then, the brush body 15 rotates integrally with the rotation of the rotary blade 192.
[0022]
In the cleaning brush 10 having the above-described configuration, the fluid supplied from the other end opening (not shown) of the shaft 13 to the flow path hole 12 passes through the fluid outlet 18 and enters the empty portion R <b> 1. , The brush main body 15 is rotated, and after passing through the rotation drive unit 19, the main body side fluid passage 16 formed in a plurality of places is entered and discharged from the flock root portion 17 a to the outside.
[0023]
As described above, also in the second embodiment, the brush body 15 is rotated by the fluid supplied from the back surface side of the brush body 15 in the same manner as in the first embodiment described above, so that the workpiece is brushed. 17 ... rubbing and cleaning, and the fluid is discharged from the root portion 17a to the outside via the fluid passage 16 on the main body side, so that the foreign matter and wear powder that tends to stay in the brush bristles 17 ... The fluid flowing from the base side of the brush bristles 17 can be quickly washed off. Therefore, it is possible to prevent the surface of the workpiece from being recontaminated or scratched by the staying foreign matter or wear powder, and it is possible to achieve a high cleaning quality required for cleaning a liquid crystal display or a semiconductor substrate.
[0024]
Further, since the cleaning brush 10 is rotated without using a motor drive source, cleaning can be performed at a low cost, and noise can be reduced and cleaning in a clean environment can be performed.
[0025]
Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS.
[0026]
FIG. 6 is a front sectional view showing the configuration of the main part of the cleaning brush according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. The cleaning brush 20 according to the third embodiment is different from the cleaning brush 10 according to the second embodiment described above in that the fluid outlet 28 formed in the shaft 13 is as shown in FIG. The point is obliquely downward with respect to the shaft axis direction and is formed in three directions by being inclined in the circumferential direction as shown in FIG. 7, and the rotational drive unit 29 is formed only by the fixed blade 291. . With this configuration, the fluid that is guided through the flow path hole 12 and ejected from the three-way outlets of the fluid outlet 28 directly collides with the fixed wing 291, rotates the fixed wing 291, and brushes The main body 15 is rotated.
[0027]
Therefore, the cleaning brush 20 according to the third embodiment can achieve the above-described high cleaning quality and can be cleaned in a clean environment under a simpler configuration.
[0028]
Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIGS.
[0029]
FIG. 8 is a front cross-sectional view showing the main configuration of a cleaning brush according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG. The cleaning brush 30 according to the fourth embodiment is different from the cleaning brush 10 according to the second embodiment described above in that a widening portion 320 is provided at the end of the flow path hole 12 of the shaft 13, A fluid outlet 38 is formed in the widened portion 320, and the fluid outlet 38 is inclined obliquely downward with respect to the shaft axial direction as shown in FIG. 8 and inclined in the circumferential direction as shown in FIG. In addition, the rotational drive unit 39 that is fixed to the inner peripheral surface of the peripheral wall 152 of the brush body 15 is formed of an annular plate, and the inner peripheral surface of the plate is serrated. is there.
[0030]
With this configuration, the fluid guided through the flow path hole 12 and ejected from the six outlets of the fluid outlet 38 collides with the sawtooth plate inner peripheral surface of the rotary drive unit 39 as a diagonal flow. Then, the rotation drive unit 39 is rotated to rotate the brush body 15.
[0031]
Therefore, the cleaning brush 20 according to the fourth embodiment achieves the above-described high cleaning quality and is clean with an even simpler configuration without using a complicatedly shaped rotor blade or fixed blade. Enables cleaning in a harsh environment.
[0032]
In the first embodiment described above, the main body side fluid passage 6 is formed in a plurality of appropriate locations in the brush main body 5. However, as shown in FIG. 5 may be formed on each of the flocked root portions 7a. Similarly, in the above-described second to fourth embodiments, the main body side fluid passage 16 is formed in a plurality of appropriate locations in the brush main body 15, but as shown in FIG. You may make it form the fluid channel | path 16 in each of the flocked root part 17a which exists in many in the brush main body 15. FIG.
[0033]
By configuring in this way, the action of pouring off foreign matter and wear powder that tends to stay inside the brush bristles 7 and 17 is further strengthened. Therefore, the work surface is recontaminated or scratched by the stayed foreign matter or wear powder. It is possible to more reliably prevent sticking and to achieve a higher cleaning quality.
[0034]
【The invention's effect】
Since this invention consists of an above-described structure, there can exist an effect which is demonstrated below.
[0035]
In the first aspect of the invention, the brush body is rotated by the fluid supplied from the inside of the brush body, so that the work is rubbed and washed with the brush hair, and the fluid is externally transferred from the root portion through the body-side fluid passage. Therefore, foreign matter and wear powder that tends to stay inside the brush hair can be quickly washed out by the fluid flowing from the base side of the brush hair. Therefore, it is possible to prevent the work surface from being recontaminated or damaged by the accumulated foreign matter or wear powder, and to achieve a high cleaning quality required for cleaning liquid crystal displays, semiconductor substrates, and the like.
[0036]
In addition, since the cleaning brush is rotated without using the motor drive source, cleaning can be performed at low cost, and noise can be reduced and cleaning can be performed in a clean environment.
[0037]
Further, foreign matter in the invention of this, since there is provided in correspondence to the fluid passage flocked portion of the brush body, the action of dropping flowing foreign substances or wear debris tend to stay inside the brush bristles are more strengthened, therefore staying It is possible to more reliably prevent the work surface from being recontaminated or scratched by wear powder and to achieve a higher level of cleaning quality.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view showing the structure of a cleaning brush according to the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
FIG. 4 is a front cross-sectional view showing the main configuration of a cleaning brush according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 6 is a front cross-sectional view showing the main configuration of a cleaning brush according to a third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG.
FIG. 8 is a front cross-sectional view showing the main configuration of a cleaning brush according to a fourth embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG.
FIG. 10 is a diagram showing a case where a main body side fluid passage is formed in each flocked root portion of the brush hair in the first embodiment.
FIG. 11 is a diagram showing a case where a main body side fluid passage is formed in each flock root portion of a brush hair in the second to fourth embodiments.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cleaning brush 2 Channel hole 3 Shaft 4a Bearing 4b Bearing 5 Brush main body 6 Main body side fluid passage 7 Brush bristles 7a Rooted root portion 8a Fluid outlet 8b Fluid outlet 9a Rotation drive unit 9b Rotation drive unit 10 Cleaning brush 12 Channel Hole 13 Shaft 14 Bearing 15 Brush body 16 Body side fluid passage 17 Brush bristles 17a Rooted root portion 18 Fluid outlet 19 Rotation drive unit 20 Cleaning brush 28 Fluid outlet 29 Rotation driving unit 30 Cleaning brush 31 Support unit 38 Fluid outlet 39 Rotation Drive portion 91a Fixed blade 91b Fixed blade 92a Rotor blade 92b Rotor blade 130 Expanded opening 151 Plate portion 152 Peripheral wall portion 191 Fixed blade 192 Rotor blade 291 Fixed blade 320 Widened portion R Empty portion R1 Empty portion

Claims

A cylindrical brush body in which a large number of brush hairs are implanted on the outer surface ;
A shaft provided via bearings provided on both ends in the axial direction inside the brush body;
A flow path hole that is formed in the axial direction inside the shaft and includes a fluid outlet that communicates with an empty space between the shaft and the brush body at two locations slightly inward of the bearing;
A body-side fluid passage formed in the flocked portion of the brush body, communicating with the void and having a fluid outlet in the flocked portion;
A rotation drive unit that rotates the brush body in response to the flow of the fluid that is supplied to the flow path hole of the shaft and is introduced into the empty part from the fluid outlet of the flow path hole, and
The rotation drive unit is provided at two locations slightly inward in the axial direction from each of the fluid outlets of the flow path hole, and a fixed blade fixed to the shaft and a rotation fixed to the inner peripheral surface of the brush body Consisting of wings,
The fluid supplied to the flow path hole of the shaft exits from the fluid outlets on both axial ends, enters the space between the shaft and the brush body, and rotates the rotation drive unit, the body side fluid passage, and the brush bristles. Discharged through the flocked root,
A cleaning brush characterized by that.