JP3623152B2 - 圧力スイング吸着装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の吸着塔からなる吸着ユニットが複数個並列に配置された多連ユニット式の圧力スイング吸着装置(PSA装置、pressure swing adsorption gas generator )、特に空気を分離して窒素、酸素ガスを発生させる多連ユニット式の圧力スイング吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
今日までに、PSA装置を用いて複数のガス成分からなる混合ガスを各構成ガス成分に吸着分離することが知られており、一般的な空気を分離するPSA装置としては、二つの吸着塔が一つのユニットを形成した2塔式のものや、水素ガス発生装置のような4つの吸着塔が並列に連結されてひとつのユニットを形成した4塔式のものや、それ以上の多塔式ユニットのものがある。
しかしながら、これらのPSA装置はいずれも1ユニット式のものであって、製品ガス発生量に応じて吸着塔を設計しなければならず、小型化することが困難であるという問題点があった。又、多連式の小型PSAの場合、各吸着ユニット毎に切換弁、分離ガスサージタンクを設けるために、切換弁の数が多くなって故障頻度が増加する傾向となり、設置スペースも大きくせざるを得なかった。その上、能力が大きくなれば吸着ユニットを増加するにも限度があり、従来の中型〜大型の2塔式PSA装置に変更しなければならなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の多連ユニット式のPSA装置における上述の問題点を解決し、従来の装置よりもさらに効率化及び簡略化が図られ、切換弁の数が少なくて済む構造とし、これによってシーケンスの簡素化及び故障頻度の低減を図ることを課題とする。
又、各吸着塔を第2種圧力容器の適用も可能な大容量のものとすることで、従来のPSA装置よりも効率的に生産性を高め、併せて軽量化を達成し、これによって、製品ガス発生能力を増加させることも本発明の課題である。
【0004】
本発明者等は、複数の吸着塔からなる従来の吸着ユニットを並列させて多連ユニット構造とし、時間差制御によって、各吸着塔に設置された多数の切換弁をそれぞれ制御するのではなく、各吸着ユニットへ供給される混合ガス、A塔‐B塔間を流れる均圧ガス、各吸着ユニットで分離された分離ガス(製品ガス)、各吸着ユニットから排出される排ガスをそれぞれ、分流又は合流させるためのマニホールドをそれぞれ設置し、各マニホールド毎に切換弁を設けて、この切換弁をシーケンサー(又はプリント基板)で制御することにより、同時に複数の吸着ユニットの各工程(吸着工程、均圧工程、脱着工程)を切り換えることが可能な構造とし、その結果、時間差制御による従来の多連式PSA装置と同等の性能にて、混合ガスの分離が行えることを見い出した。
【0005】
又、本発明者等は、吸着塔の材質をアルミニウムとし、吸着塔を、アルミ製筒状体(パイプ)とアルミ製フランジにより構成し、これをOリングでシールする構造とすることにより、第2種圧力容器の適用も可能な大容量の吸着塔とすることができ、これによって、吸着塔(アルミタンク)の容量を従来のものよりも大きな40リットルを超えるものとすることで、多連ユニットの小型化および能力(製品ガス流量)増大が実現できることを見い出して、本発明を達成した。
【0006】
【課題を解決するための手段】
複数のガス成分からなる混合ガスを各構成ガス成分に分離するのに用いられる本発明のPSA装置は、2以上の吸着塔が並列に連結されることによりひとつの吸着ユニット4を形成し、かつ上記吸着ユニット4が2以上並列に連結されている多連ユニット式のものであって、
上記各吸着ユニット4の混合ガス流入側に、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な第一混合ガスマニホールド2と、B塔、B’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な第二混合ガスマニホールド1とが設けられており、上記第一及び第二混合ガスマニホールド1、2と吸着ユニット4との間には、各吸着ユニット4に流入する混合ガスの流量を調整することが可能な分流ガス調節手段3がそれぞれ設けられていること、
上記各吸着ユニット4の分離ガス流出側には、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な第一分離ガスマニホールド5と、B塔、B’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な第二分離ガスマニホールド6とが設けられており、各吸着ユニット4の混合ガス流入側には、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐に接続され、各吸着ユニット4を形成している吸着塔間を均圧とするための均圧ガスの流出入させることが可能な第一均圧ガスマニホールド8と、各吸着ユニットのB塔、B’塔、‐‐‐に接続され、各吸着ユニット4を形成している吸着塔間を均圧とするための均圧ガスの流出入させることが可能な第二均圧ガスマニホールド7が設けられており、上記各吸着ユニット4の排ガス流出側には、A塔、A’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な第一排ガスマニホールド9と、B塔、B’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な第二排ガスマニホールド10が設けられていること、
上記第一及び第二混合ガスマニホールド1及び2における混合ガス流入側、上記第一及び第二分離ガスマニホールド5及び6における分離ガス流出側、均圧ガスの流出入のために接続された上記第一及び第二均圧ガスマニホールド7‐8間、及び、上記第一及び第二排ガスマニホールド9及び10における排ガス流出側の位置には、2以上並列に連結された多連ユニットの全ての吸着ユニットにおける吸着工程、均圧工程、脱着工程を各ユニット同じに行うための切換弁がマニホールド毎に直結してそれぞれ設置されていること、及び、
上記第一及び第二分離ガスマニホールド5、6が分離ガスサージタンク11と連結されており、上記第一及び第二排ガスマニホールド9、10がサイレンサー12と連結されていることを特徴とする。
【0007】
又、本発明は、上記の構成を有する多連ユニット式のPSA装置において、上記吸着ユニット4を構成している各吸着塔の材質がアルミニウムであり、当該吸着塔が、アルミニウム製筒状体とアルミニウム製フランジにより構成されており、前記アルミニウム製筒状体の両端側開口がOリングを介して前記アルミニウム製フランジによりシールされた構造で、労働安全衛生法に規定された容量40リットル以上の第2種圧力容器であることを特徴とするものでもある。
【0008】
【発明の実施の形態】
まず、図1に本発明のPSA装置の一例として、窒素ガス発生装置における構成図を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は、2塔式5ユニット窒素ガス発生装置である、本発明のPSA装置の構成図である。図1に示されるように、本発明では、2以上の吸着塔が並列に連結されることにより形成される吸着ユニット4が2以上並列に連結されており、上記各吸着ユニット4の混合ガス流入側には、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な混合ガスマニホールド(分流器)2と、B塔、B’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な混合ガスマニホールド(分流器)1とが設けられている。そして、この混合ガスマニホールド1、2と吸着ユニット4との間には、各吸着ユニット4に流入する混合ガスの流量を調整可能な分流ガス調節手段3がそれぞれ設けられている。図1には、分流ガス調節手段3が調節バルブであるものを示しているが、本発明では、分流ガス調節手段3として、オリフィスや管路抵抗を使用することもできる。
【0009】
更に、本発明のPSA装置においては、図1に示されるようにして、上記各吸着ユニット4の分離ガス流出側に、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な分離ガスマニホールド(合流器)5と、B塔、B’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な分離ガスマニホールド(合流器)6とが設けられており、均圧ガス側には、吸着塔間を均圧とし得る均圧ガスマニホールド7、8が設けられており、排ガス側には、A塔、A’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な排ガスマニホールド(合流器)9と、B塔、B’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な排ガスマニホールド(合流器)10が設けられている。しかも、本発明では、図1に示されるようにして、上記の各マニホールド毎に直結した切換弁が設けられており、これらの切換弁の開閉状態を制御することによって圧力スイング吸着装置全体のガスの流れが制御可能であるので、同時に複数の吸着ユニットの工程(吸着工程、均圧工程、脱着工程)切り換えを行うことができる。これにより、本発明のPSA装置は、従来のPSA装置よりも切換弁の数が少ない。
尚、本発明のPSA装置における分離ガスマニホールド5、6の流出側は、分離ガスサージタンク11と連結され、この分離ガスサージタンク11を経て、製品ガスが取り出せるようになっており、一方、各吸着ユニットにて生じた排ガスを合流させて排出させるための排ガスマニホールド9、10には、サイレンサー12が連結され、サイレンサー12を通して排気が行われる。
【0010】
本発明では、吸着ユニット4を構成する各吸着塔を、アルミニウム製筒状体の両端側開口がOリングを介してアルミニウム製フランジ部材によりシールされた構造とすることが好ましく、この場合には、40リットルを超える容量の第2種圧力容器に適用し得る吸着塔とすることができ、これによって、各吸着ユニットの単独能力を増加させることが可能となり、多連ユニットの小型化および製品ガス発生能力の増加を達成することができる。尚、第2種圧力容器とは、労働安全衛生法(労安法)に規定されているものである。
【0011】
本発明のPSA装置では、マニホールドに直結した切換弁で同時に複数の吸着ユニットの工程を切り換えて、吸着工程、均圧工程、脱着工程を行うことができるので、吸着塔の切り換え時間を、シーケンサーだけでなくプリント基板でも制御することが可能である。この際、切り換え時の圧力変動を小さくするために、通常、分離ガスサージタンク11の容量を吸着塔と同容量とし、例えば2塔式3吸着ユニットの場合は装置全体で6塔あるので、1つの吸着塔の容量×3本分と同じ容量を持つ分離ガスサージタンクを設置すれば良い。
【0012】
【実施例】
実施例1:2塔式5ユニット窒素ガス発生装置(1塔の容量40リットル)による性能試験
塔内径198mm×充填高さ1280mmの吸着塔2つを1ユニットとし、このユニットを5つ並列にマニホールドで連結して吸着分離部を形成し、分離ガスサージタンクは容量200リットルとした。マニホールドに直結する切換弁として給気弁20A、均圧弁20A、製品弁20A、排気弁40Aを電磁弁にて選定した。尚、原料である空気から窒素ガスを分離するための吸着剤として、吸着塔1塔あたり約25kgのモレキュラーシーブカーボンを使用した。
【0013】
そして、このPSA装置に、ドライヤー付き空気圧縮機より約0.9MPaの圧縮空気を1分間当り2.0m3 導入し、マニホールドに直結する切換弁により工程を制御して吸着分離操作を行った。
このようにして各吸着ユニットより分離された製品窒素は、分離ガスサージタンクに集められ、製品流量計及び流量調節弁を経て各窒素ガス純度を有する製品窒素として取り出すことができた。
【0014】
その結果、この本発明の2塔式5ユニット窒素ガス発生装置から、製品窒素純度が99.99%(4N)の場合、製品窒素ガス量として1時間当り20Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約52ppmの製品窒素を取り出すことができ、製品窒素ガス純度が99.9%(3N)の場合は、製品窒素ガス量として1時間当り30Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約550ppmの製品窒素を取り出すことができた。この際の吸着時間(サイクルタイム)は80秒間であった。
【0015】
実施例2:2塔式8ユニット窒素ガス発生装置による性能試験
塔内径198mm×充填高さ1280mmの吸着塔2つを1ユニットとし、このユニットを8つ並列にマニホールドで連結して吸着分離部を形成し、分離ガスサージタンクは容量300リットルとした。マニホールドに直結する切換弁として給気弁25A、均圧弁25A、製品弁25A、排気弁50Aを電磁弁にて選定した。なお吸着剤は実施例1と同様に吸着塔1塔あたり約25kgのモレキュラーシーブカーボンを使用した。
【0016】
実施例1と同様にして、ドライヤー付き空気圧縮機より約0.9MPaの圧縮空気を1分間当り3.0m3 導入し、分流器(マニホールド)に直結する切換弁で工程を制御して吸着分離操作を行った。このようにして各吸着ユニットより分離された製品窒素は、分離ガスサージタンクに集められ、製品流量計及び流量調節弁を経て下記の製品窒素を得ることができた。
製品窒素純度が99.99%(4N)の場合、製品窒素ガス量として1時間当り32Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約45ppmの製品窒素を取り出すことができ、製品窒素ガス純度が99.9%(3N)の場合は、製品窒素ガス量として1時間当り48Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約460ppmの製品窒素を取り出すことができた。吸着時間は実施例1と同じく80秒間であった。
【0017】
実施例3:2塔式3ユニット窒素ガス発生装置(第2種圧力容器、1塔の容量100リットル)による性能試験
塔内径290mm×充填高さ1520mmの吸着塔(アルミニウム製パイプの両端がアルミニウム製フランジ部材によりOリングシールされた構造を有するもの)2つを1ユニットとし、このユニットを3つ並列にマニホールドで連結して吸着分離部を形成し、分離ガスサージタンクは容量300リットルとした。マニホールドに直結する切換弁として給気弁25A、均圧弁25A、製品弁25A、排気弁50Aを電磁弁にて選定した。なお吸着剤は実施例1と同様に吸着塔1塔あたり約63kgのモレキュラーシーブカーボンを使用した。
【0018】
実施例1と同様にして、ドライヤー付き空気圧縮機より約0.9MPaの圧縮空気を1分間当り3.0m3 導入し、マニホールドに直結する切換弁で工程を制御して吸着分離操作を行った。このようにして各吸着ユニットより分離された製品窒素は、分離ガスサージタンクに集められ、製品流量計及び流量調節弁を経て下記の製品窒素を得ることができた。製品窒素純度が99.99%(4N)の場合、製品窒素ガス量として1時間当り30Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約51ppmの製品窒素を取り出すことができ、製品窒素ガス純度が99.9%(3N)の場合は、製品窒素ガス量として1時間当り42Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約500ppmの製品窒素を取り出すことができた。吸着時間は実施例1と同じく80秒間であった。
【0019】
比較例:2塔式5ユニット窒素ガス発生装置による性能試験(従来の各吸着ユニットの吸着時間を14秒ずつ均等にずらす方式)
実施例1と同じ吸着ユニットにて、各吸着ユニットの吸着時間を14秒ずつ均等にずらして吸着操作を行うために各吸着ユニットに口径の小さい(15A)切換弁を設置し、原料空気条件、各ユニットの吸着時間は実施例1に合わせて、吸着操作を行った。その結果、製品窒素純度が99.99%(4N)の場合、製品窒素ガス量として1時間当り20Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約55ppmの製品窒素を取り出すことができた。又、製品窒素ガス純度が99.9%(3N)の場合は、製品窒素ガス量として1時間当り30Nm3 で、窒素ガス中の酸素濃度約500ppmの製品窒素を取り出すことができた。
【0020】
上記の性能比較試験の結果、実施例1の装置と比較例の装置とでは、PSA装置としての性能にほとんど差異は無く、混合ガス側、分離ガス側、均圧ガス側及び排ガス側にそれぞれマニホールドが設けられた本発明のPSA装置の場合には、各マニホールドごとに設置された切換弁によってガスの流れが装置全体で制御できるので、同時に複数の吸着ユニットの工程を切り換える操作も単純化でき、切換弁の少ない(5連の場合は1/5倍の数)分だけ従来の装置に比べて切換弁のトラブルの頻度が減少し、故障の少ない装置であることが確認された。
又、実施例2及び3のPSA装置を用いた試験結果から、本発明のPSA装置の場合には、ユニットの数を増やした場合にも、40リットルを越える大型の吸着塔とした場合にも、製品ガス純度が低下せず、大量の製品ガスを効率良く製造することができ、従来の装置よりも少ない切換弁数であることにより、装置の制御が単純化できることが確認された。
【0021】
【発明の効果】
本発明のPSA装置では、吸着操作が各ユニット同じに行われるために、制御方法の単純化(シーケンスの簡素化)が達成でき、切換弁の総数が減少することにより故障頻度を低減させることが可能である。又、吸着タンクが第2種圧力容器対応のものである本発明のPSA装置にあっては、1ユニット当りの製品ガス発生量を増加させることができ、これによって、装置のコンパクト化を図ることができる。
【0022】
なお、本発明のPSA装置は、窒素ガス発生装置に限定されるものではなく、吸着剤にゼオライトを使用する酸素ガス発生装置にも応用が可能であり、オンサイトの窒素ガス、酸素ガス発生装置としてボンベの代わりに用途は非常に幅広く使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧力スイング吸着装置(2塔式5ユニット窒素ガス発生装置)の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1 混合ガスマニホールド
2 混合ガスマニホールド
3 分流ガス調節手段(調節バルブ)
4 吸着ユニット
5 分離ガスマニホールド
6 分離ガスマニホールド
7 均圧ガスマニホールド
8 均圧ガスマニホールド
9 排ガスマニホールド
10 排ガスマニホールド
11 分離ガスサージタンク
12 サイレンサー
Claims (2)
- 複数のガス成分からなる混合ガスを各構成ガス成分に分離するのに用いられる圧力スイング吸着装置で、2以上の吸着塔が並列に連結されることによりひとつの吸着ユニット4を形成し、かつ上記吸着ユニット4が2以上並列に連結されている多連ユニット式の圧力スイング吸着装置において、
上記各吸着ユニット4の混合ガス流入側に、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な第一混合ガスマニホールド2と、B塔、B’塔、‐‐‐に混合ガスを分流することが可能な第二混合ガスマニホールド1とが設けられており、上記第一及び第二混合ガスマニホールド1、2と吸着ユニット4との間には、各吸着ユニット4に流入する混合ガスの流量を調整することが可能な分流ガス調節手段3がそれぞれ設けられていること、
上記各吸着ユニット4の分離ガス流出側には、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な第一分離ガスマニホールド5と、B塔、B’塔、‐‐‐からの分離ガスを合流することが可能な第二分離ガスマニホールド6とが設けられており、各吸着ユニット4の混合ガス流入側には、各吸着ユニットのA塔、A’塔、‐‐‐に接続され、各吸着ユニット4を形成している吸着塔間を均圧とするための均圧ガスの流出入させることが可能な第一均圧ガスマニホールド8と、各吸着ユニットのB塔、B’塔、‐‐‐に接続され、各吸着ユニット4を形成している吸着塔間を均圧とするための均圧ガスの流出入させることが可能な第二均圧ガスマニホールド7が設けられており、上記各吸着ユニット4の排ガス流出側には、A塔、A’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な第一排ガスマニホールド9と、B塔、B’塔、‐‐‐からの排ガスを合流することが可能な第二排ガスマニホールド10が設けられていること、
上記第一及び第二混合ガスマニホールド1及び2における混合ガス流入側、上記第一及び第二分離ガスマニホールド5及び6における分離ガス流出側、均圧ガスの流出入のために接続された上記第一及び第二均圧ガスマニホールド7‐8間、及び、上記第一及び第二排ガスマニホールド9及び10における排ガス流出側の位置には、2以上並列に連結された多連ユニットの全ての吸着ユニットにおける吸着工程、均圧工程、脱着工程を各ユニット同じに行うための切換弁がマニホールド毎に直結してそれぞれ設置されていること、及び、
上記第一及び第二分離ガスマニホールド5、6が分離ガスサージタンク11と連結されており、上記第一及び第二排ガスマニホールド9、10がサイレンサー12と連結されていることを特徴とする圧力スイング吸着装置。 - 上記吸着ユニット4を構成している各吸着塔の材質がアルミニウムであり、当該吸着塔が、アルミニウム製筒状体とアルミニウム製フランジにより構成されており、前記アルミニウム製筒状体の両端側開口がOリングを介して前記アルミニウム製フランジによりシールされた構造で、労働安全衛生法に規定された容量40リットル以上の第2種圧力容器であることを特徴とする請求項1記載の圧力スイング吸着装置。
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